JP2989904B2 - Magnetic sealing device for vacuum - Google Patents
Magnetic sealing device for vacuumInfo
- Publication number
- JP2989904B2 JP2989904B2 JP3020862A JP2086291A JP2989904B2 JP 2989904 B2 JP2989904 B2 JP 2989904B2 JP 3020862 A JP3020862 A JP 3020862A JP 2086291 A JP2086291 A JP 2086291A JP 2989904 B2 JP2989904 B2 JP 2989904B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- magnetic fluid
- vacuum chamber
- fluid seal
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は真空用磁気シール装置に
関するもので、特に磁性流体を使用した装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic sealing device for a vacuum, and more particularly to a device using a magnetic fluid.
【０００２】[0002]
【従来の技術】真空室内で回転を伴う各種駆動装置を稼
働させる場合、従来大気中に設置してある駆動源で回転
を発生させ、この回転力を軸により真空室の壁面を貫通
して真空室内に伝達する場合、真空室の壁面には磁性流
体シールを使用して真空室内の真空保持を行うことが一
般に実施されている。2. Description of the Related Art When a variety of driving devices that rotate in a vacuum chamber are operated, rotation is generated by a driving source that is conventionally installed in the atmosphere, and the rotational force penetrates a wall of the vacuum chamber by a shaft to form a vacuum. When transmitting light to a room, it is common practice to use a magnetic fluid seal on the wall surface of the vacuum chamber to maintain the vacuum inside the vacuum chamber.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、磁性流体シー
ルはコロイド溶媒を用いているため油分の蒸発により、
実用上使用出来る磁性流体シールの圧力は１０−８Ｔｏ
ｒｒ以上であり、これ以下の超高真空の場合には使用出
来ない。However, since the magnetic fluid seal uses a colloid solvent, the oil evaporates,
The pressure of the magnetic fluid seal that can be used practically is 10 -8 To
rr or more and cannot be used in the case of an ultra-high vacuum less than rr.
【０００４】従って、１０−１０Ｔｏｒｒの超高真空室
内において各種駆動装置を稼働させたい場合に使用出来
る磁性流体シールはなかった。[0004] Therefore, there has been no magnetic fluid seal that can be used when it is desired to operate various driving devices in an ultra-high vacuum chamber of 10 -10 Torr.
【０００５】又、真空室内に腐食性のガスが導入される
場合や高温雰囲気、プラズマ反応等がある環境下では、
磁性流体シールの磁気シール材がこれらにより分解・変
質され、例え１０−８Ｔｏｒｒ以上の真空の場合でも使
用し難いという問題がある。[0005] Further, when corrosive gas is introduced into a vacuum chamber, or in an environment having a high temperature atmosphere, a plasma reaction, or the like,
The magnetic seal material of the magnetic fluid seal is decomposed and deteriorated by these, and there is a problem that it is difficult to use even a vacuum of 10 −8 Torr or more.
【０００６】本発明は上述の問題を解決して、超高真空
の場合や、腐食性のガスを使用する真空室の場合でも安
定して使用可能な磁気シール装置を提供することを課題
とする。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a magnetic seal device which can be used stably even in an ultra-high vacuum or in a vacuum chamber using a corrosive gas. .
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めの装置として、真空室１内に回転動力を伝達するため
に軸３の周囲を磁性流体を用いてシールするシール装置
において、前記軸３が前記真空室１の壁面１ａを貫通す
る軸受部分の円筒形のホルダー２の両端部分に設けられ
た内側及び外側ベアリング６、８の間に設けられたシー
ル手段５により形成される真空キャビティー１０と、こ
の真空キャビティー１０と外側ベアリング８の間に設け
られた磁性流体シール４とよりなるものである。As a device for solving the above-mentioned problems, as a device for sealing the periphery of a shaft 3 using a magnetic fluid to transmit rotational power into a vacuum chamber 1, the shaft device comprises: A vacuum cavity 3 is formed by sealing means 5 provided between inner and outer bearings 6 and 8 provided at both ends of a cylindrical holder 2 of a bearing portion penetrating the wall surface 1a of the vacuum chamber 1. And a magnetic fluid seal 4 provided between the vacuum cavity 10 and the outer bearing 8.
【０００８】又、前記ホルダー２の両端部分に設けられ
た内側及び外側ベアリング６、８のうち、前記内側ベア
リング６より前記真空室１側に設けられたシール手段５
により前記内側ベアリング６を内蔵して形成された真空
キャビティー１０と、この真空キャビティー１０と前記
外側ベアリング８の間に設けられた磁性流体シール４と
よりなるものもある。[0008] Of the inner and outer bearings 6, 8 provided at both ends of the holder 2, a sealing means 5 provided closer to the vacuum chamber 1 than the inner bearing 6.
And a magnetic fluid seal 4 provided between the vacuum cavity 10 and the outer bearing 8.
【０００９】[0009]
【実施例】図１は本発明の一実施例の断面図である。真
空室１の壁面１ａにこれを貫通する状態で円筒形のホル
ダー２が壁面１ａとの間にＯリング９等で真空封止状態
を保持するようにボルト７等で固定されている。FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention. A cylindrical holder 2 is fixed to the wall 1a of the vacuum chamber 1 with bolts 7 or the like so as to maintain a vacuum-sealed state between the wall 1a and the wall 1a by an O-ring 9 or the like.
【００１０】このホルダー２の内部の軸方向で真空室１
側及び外側の両端部分に内側ベアリング６及び外側ベア
リング８が設けられており、この内側及び外側ベアリン
グ６、８で保持されて軸３が真空室１の壁面１ａを貫通
して設けられている。A vacuum chamber 1 is provided in the axial direction inside the holder 2.
An inner bearing 6 and an outer bearing 8 are provided at both end portions on the side and the outer side, and the shaft 3 is provided through the wall surface 1 a of the vacuum chamber 1 while being held by the inner and outer bearings 6, 8.
【００１１】上記ホルダー２内の内側及び外側ベアリン
グ６、８で構成されている空間で、内側ベアリング６側
にはシール手段５が設けられており、このシール手段５
と外側ベアリング８との間には磁性流体シール４が設け
られている。これらのシール手段５と磁性流体シール４
との間で真空キャビティー１０が形成されている。In the space defined by the inner and outer bearings 6 and 8 in the holder 2, a sealing means 5 is provided on the inner bearing 6 side.
A magnetic fluid seal 4 is provided between the outer bearing 8 and the outer bearing 8. These sealing means 5 and magnetic fluid seal 4
And a vacuum cavity 10 is formed between them.
【００１２】上述のシール手段５の一例として、図３に
示すような構造のものがある。この例はホルダー２内に
挿入された環状のシール材５ｂが軸３と接触する接触部
５ａの厚みを薄くして、軸３に接する圧力を小さくし、
軸３との間に微小なコンダクタンスを設けてある。As an example of the above-mentioned sealing means 5, there is one having a structure as shown in FIG. In this example, the thickness of the contact portion 5a where the annular sealing material 5b inserted into the holder 2 contacts the shaft 3 is reduced, and the pressure contacting the shaft 3 is reduced.
A small conductance is provided between the shaft and the shaft 3.
【００１３】この結果、真空キャビティー１０内の圧力
は真空室１内の圧力より比較的高い真空圧となり、磁性
流体シール４が使用出来る真空圧となっている。As a result, the pressure in the vacuum cavity 10 is relatively higher than the pressure in the vacuum chamber 1, and is a vacuum pressure at which the magnetic fluid seal 4 can be used.
【００１４】又、シール手段５の接触部５ａと軸３との
間に微小なコンダクタンスが設けられているので、真空
室１内に導入された腐食性ガスは僅かしか磁性流体シー
ル４に到達せず、磁性流体シール４の耐蝕性に問題が起
こらない。Since a small conductance is provided between the contact portion 5a of the sealing means 5 and the shaft 3, only a small amount of corrosive gas introduced into the vacuum chamber 1 reaches the magnetic fluid seal 4. Therefore, no problem occurs in the corrosion resistance of the magnetic fluid seal 4.
【００１５】図２は本発明の他の実施例の断面図であ
る。この実施例の場合は、シール手段５が内側ベアリン
グ６より更に真空室側に設けられたものである。従っ
て、シール手段５と磁性流体シール４との間の真空キャ
ビティー１０には内側ベアリング６が内蔵された構造で
ある。FIG. 2 is a sectional view of another embodiment of the present invention. In the case of this embodiment, the sealing means 5 is provided further on the vacuum chamber side than the inner bearing 6. Therefore, the vacuum cavity 10 between the sealing means 5 and the magnetic fluid seal 4 has a structure in which the inner bearing 6 is incorporated.
【００１６】その他の構造は前記実施例と同じであるの
で、説明は省略する。The other structure is the same as that of the above embodiment, and the description is omitted.
【００１７】[0017]
【発明の効果】上述ように磁性流体シールの真空側に真
空室より比較的圧力の高い真空キャビティーを設けたの
で、従来の磁性流体シールでは実用上使用出来ない低い
圧力の真空室にも使用できる。即ち、シール手段５を磁
性流体シール４の真空側に取付け、シール手段５と磁性
流体シール４との間に真空室１内より比較的圧力の高い
真空キャビティー１０を設けたもので、磁性流体シール
４が使用出来ない超高真空室でも使用出来る。As described above, since the vacuum cavity having a relatively higher pressure than the vacuum chamber is provided on the vacuum side of the magnetic fluid seal, it can also be used in a low pressure vacuum chamber which cannot be practically used with the conventional magnetic fluid seal. it can. That is, the sealing means 5 is mounted on the vacuum side of the magnetic fluid seal 4, and a vacuum cavity 10 having a relatively higher pressure than the inside of the vacuum chamber 1 is provided between the sealing means 5 and the magnetic fluid seal 4. It can be used even in an ultra-high vacuum chamber where the seal 4 cannot be used.
【００１８】又、腐食性のガスが真空室１内に導入され
る場合、磁性流体シール４の真空側に微少なコンダクタ
ンスを持つシール手段５を設けたので、このシール手段
５を通して磁性流体シール４に到達する腐食性ガスの量
は微少となり、磁性流体シール４の耐蝕性の向上が図ら
れる。When a corrosive gas is introduced into the vacuum chamber 1, a sealing means 5 having a small conductance is provided on the vacuum side of the magnetic fluid seal 4. The amount of the corrosive gas reaching the magnetic fluid seal 4 is very small, and the corrosion resistance of the magnetic fluid seal 4 is improved.
【図１】本発明の一実施例の真空用磁気シール装置の断
面図である。FIG. 1 is a sectional view of a magnetic sealing device for vacuum according to one embodiment of the present invention.
【図２】本発明の他の実施例の真空用磁気シール装置の
断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a magnetic sealing device for vacuum according to another embodiment of the present invention.
【図３】シール手段の一例の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of an example of a sealing means.
１ 真空室 １ａ 壁面 ２ ホルダー ３ 軸 ４ 磁性流体シール ５ シール手段 ５ａ 接触部 ６ 内側ベアリング ７ ボルト ８ 外側ベアリング ９ Ｏリング １０ 真空キャビティー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum chamber 1a Wall surface 2 Holder 3 Shaft 4 Magnetic fluid seal 5 Sealing means 5a Contact part 6 Inner bearing 7 Bolt 8 Outer bearing 9 O-ring 10 Vacuum cavity
Claims (2)
の周囲を磁性流体を用いてシールするシール装置におい
て、前記軸が前記真空室の壁面を貫通する軸受部分の円
筒形のホルダーの両端部分に設けられた内側及び外側ベ
アリングの間に設けられたシール手段により形成される
真空キャビティーと、この真空キャビティーと外側ベア
リングの間に設けられた磁性流体シールとよりなること
を特徴とする真空用磁気シール装置。1. A sealing device for sealing the periphery of a shaft with a magnetic fluid in order to transmit rotational power into a vacuum chamber, wherein both ends of a cylindrical holder of a bearing portion in which the shaft penetrates a wall surface of the vacuum chamber. A vacuum cavity formed by sealing means provided between the inner and outer bearings provided on the portion, and a magnetic fluid seal provided between the vacuum cavity and the outer bearing. Magnetic sealing device for vacuum.
側及び外側ベアリングのうち、前記内側ベアリングより
前記真空室側に設けられたシール手段により前記内側ベ
アリングを内蔵して形成された真空キャビティーと、こ
の真空キャビティーと前記外側ベアリングの間に設けら
れた磁性流体シールとよりなることを特徴とする請求項
１記載の真空用磁気シール装置。2. A vacuum cavity formed by incorporating said inner bearing by sealing means provided on the vacuum chamber side of said inner bearing among inner and outer bearings provided at both end portions of said holder. 2. The magnetic seal device for vacuum according to claim 1, further comprising a magnetic fluid seal provided between the vacuum cavity and the outer bearing.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3020862A JP2989904B2 (en) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | Magnetic sealing device for vacuum |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3020862A JP2989904B2 (en) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | Magnetic sealing device for vacuum |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04258575A JPH04258575A (en) | 1992-09-14 |
| JP2989904B2 true JP2989904B2 (en) | 1999-12-13 |
Family
ID=12038946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3020862A Expired - Fee Related JP2989904B2 (en) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | Magnetic sealing device for vacuum |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989904B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180053940A (en) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 박용호 | Magnetic fluid seal |
| CN111336338A (en) * | 2018-12-18 | 2020-06-26 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | Rotary telescopic sealing structure for vacuum chamber |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0760447A (en) * | 1993-08-27 | 1995-03-07 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | Device for welding in hermetic state |
| JP2008064315A (en) * | 2007-10-29 | 2008-03-21 | Nabtesco Corp | Seal |
-
1991
- 1991-02-14 JP JP3020862A patent/JP2989904B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180053940A (en) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 박용호 | Magnetic fluid seal |
| CN111336338A (en) * | 2018-12-18 | 2020-06-26 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | Rotary telescopic sealing structure for vacuum chamber |
| CN111336338B (en) * | 2018-12-18 | 2022-03-29 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | Rotary telescopic sealing structure for vacuum chamber |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04258575A (en) | 1992-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5340122A (en) | Differentially-pumped ferrofluidic seal | |
| US4179043A (en) | Rotary valve apparatus | |
| US20060027326A1 (en) | Semiconductor substrate processing chamber and substrate transfer chamber interfacial structure | |
| JPS6479545A (en) | Pump for pumping up hydrogen | |
| JP2989904B2 (en) | Magnetic sealing device for vacuum | |
| JP2007009939A (en) | Positioning device | |
| US6031235A (en) | Ultra-high vacuum apparatus | |
| JPH0389080A (en) | Seal mechanism for vacuum pump lubricating oil | |
| US6119537A (en) | Method and apparatus for rotary motion transfer into an isolated region | |
| US8671854B2 (en) | Shaft seal for pyrolytic waste treatment system | |
| US4097052A (en) | Gas-sealed contact-free shaft seal | |
| US2689753A (en) | Translating, rotating bearing device | |
| JP2615373B2 (en) | External sealing device for end of long material | |
| JP2002310300A (en) | Sealing device | |
| JP2003314705A (en) | Sealing device utilizing magnetic fluid | |
| JPS60125467A (en) | High vacuum shaft sealing device using magnetic fluid | |
| JPH04347070A (en) | Multistage magnetic fluid sealing device for vacuum | |
| CN115406787B (en) | Stator nitriding detection tool and detection method thereof | |
| JPS61160671A (en) | Magnetic fluid sealing device | |
| KR970010869B1 (en) | Sealing of shaft | |
| JPS61160670A (en) | Magnetic fluid sealing device | |
| JP4141178B2 (en) | Turbo molecular pump seal structure | |
| JPS63190932A (en) | Mechanical seal device for rolling bearing | |
| JPH08320072A (en) | Multistage magnetic fluid shaft sealing device | |
| JP2539400Y2 (en) | Rotary shaft sealing device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |