JP2977102B2 - Position measurement device - Google Patents

Position measurement device

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JP2977102B2
JP2977102B2 JP3172813A JP17281391A JP2977102B2 JP 2977102 B2 JP2977102 B2 JP 2977102B2 JP 3172813 A JP3172813 A JP 3172813A JP 17281391 A JP17281391 A JP 17281391A JP 2977102 B2 JP2977102 B2 JP 2977102B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、複数の計測点の3次元
座標を計測する位置計測装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position measuring device for measuring three-dimensional coordinates of a plurality of measuring points.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、被測定対象物の表面形状等を
認識するために該被測定対象物上の複数の点(計測点)
の3次元座標を計測する位置計測装置が種々提案されて
いる。このような装置のうちの一つに、予め複数の計測
点に光をその入射方向と正反対の方向に反射するレトロ
リフレクタを配置し、該複数のレトロリフレクタにレー
ザ光を照射し、その反射光を受光して各レトロリフレク
タ、即ち各計測点の3次元座標を求めるようになした装
置がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, a plurality of points (measurement points) on an object to be measured have been used in order to recognize the surface shape and the like of the object to be measured.
Various position measuring devices for measuring three-dimensional coordinates have been proposed. In one of such devices, a retro-reflector which previously reflects light at a plurality of measurement points in a direction exactly opposite to the incident direction is arranged, and the plurality of retro-reflectors are irradiated with laser light, and the reflected light There is a device that receives the light and obtains the retroreflector, that is, the three-dimensional coordinates of each measurement point.

【0003】図2は前記従来の位置計測装置の一例を示
すもので、図中、1は計測点、2はパルスレーザ光源、
3は光学系、4はストリーク管、5は基準光ファイバ、
6は同期ユニット、7は時間遅れ調整回路、8は電圧印
加抑制回路、9は画像処理装置である。
FIG. 2 shows an example of the conventional position measuring device. In the drawing, reference numeral 1 denotes a measuring point, 2 denotes a pulse laser light source,
3 is an optical system, 4 is a streak tube, 5 is a reference optical fiber,
Reference numeral 6 denotes a synchronization unit, 7 denotes a time delay adjustment circuit, 8 denotes a voltage application suppression circuit, and 9 denotes an image processing device.

【0004】計測点1は図示しない被測定対象物上の複
数の点であり、予め光をその入射方向と正反対の方向に
反射するレトロリフレクタがそれぞれ配置されている。
パルスレーザ光源2は一定周期のパルスレーザ光を発生
する。光学系3はパルスレーザ光源2より出射されたパ
ルスレーザ光を2つに分割し、一方を複数の計測点1に
照射してその反射光をストリーク管4に導くとともに、
他方を一定の長さ、即ち一定の光路長(以下、これを基
準光路長と称す。)を有する基準光ファイバ5を経由さ
せてストリーク管4に導く如くなっている。該光学系3
は凸レンズ10,11,12、パルスレーザ光を拡散さ
せるための凹レンズ13及びハーフミラー14より構成
されている。
The measuring points 1 are a plurality of points on the object to be measured (not shown), and retroreflectors for reflecting light in the direction exactly opposite to the incident direction are arranged in advance.
The pulse laser light source 2 generates a pulse laser light having a constant period. The optical system 3 divides the pulse laser light emitted from the pulse laser light source 2 into two, irradiates one of them into a plurality of measurement points 1 and guides the reflected light to the streak tube 4,
The other is guided to the streak tube 4 via a reference optical fiber 5 having a fixed length, that is, a fixed optical path length (hereinafter, referred to as a reference optical path length). The optical system 3
Is composed of convex lenses 10, 11, and 12, a concave lens 13 for diffusing pulse laser light, and a half mirror 14.

【0005】ストリーク管4は受光面4a及び蛍光面4
bを有する一種の電子倍増管であり、該受光面4aに入
射した光は光電変換されて電子となり、蛍光面4bまで
飛行して輝点を生じる。この際、電子の飛行方向と垂直
に且つタイミングを合せて外部より掃引電圧を印加する
ことにより、該電子の飛行方向を偏向することができ、
この偏向量に比例して蛍光面4b上で輝点が移動する。
前記掃引電圧の印加はパルスレーザ光を発光させたタイ
ミングを知り、電気回路による時間遅れを調整すること
により可能であって、同期ユニット6及び時間遅れ調整
回路7によって実現されている。
The streak tube 4 has a light receiving surface 4a and a fluorescent surface 4a.
The light incident on the light receiving surface 4a is photoelectrically converted into electrons, and flies to the fluorescent surface 4b to generate a bright spot. At this time, by applying a sweep voltage from the outside perpendicularly to the flight direction of the electrons and at the same timing, the flight direction of the electrons can be deflected,
The luminescent spot moves on the phosphor screen 4b in proportion to the amount of deflection.
The application of the sweep voltage is possible by knowing the timing at which the pulsed laser light is emitted and adjusting the time delay by an electric circuit, and is realized by the synchronization unit 6 and the time delay adjusting circuit 7.

【0006】前記ストリーク管4において、電子を偏向
させるための電圧は短い周期で発光するパルスレーザ光
の周期と比較してはるかに長い周期を有する交流の鋸歯
状波電圧であり、電圧印加抑制回路8より印加される。
In the streak tube 4, the voltage for deflecting the electrons is an AC sawtooth voltage having a much longer period than the period of the pulsed laser light emitted in a short period. 8 is applied.

【0007】即ち、電圧抑制時においては、図3(a) に
示すように計測点1で反射されたレーザ光による輝点1
5及び基準光ファイバ5を経由したレーザ光による輝点
16は光学系3の光学軸との関係を保ったまま、ストリ
ーク管4の蛍光面4bに映し出され、光学系3の光学性
能より計測点1の装置位置に対する角度がわかる。
That is, at the time of voltage suppression, as shown in FIG.
The luminescent spot 16 caused by the laser beam 5 passing through the reference optical fiber 5 is projected on the fluorescent screen 4 b of the streak tube 4 while maintaining the relationship with the optical axis of the optical system 3. The angle with respect to the device position of No. 1 is known.

【0008】また、電圧印加時においては、前記輝点1
5は図3(b) に示すように計測点1で反射されたレーザ
光と基準光ファイバ5を経由したレーザ光とのストリー
ク管4への到達時間差、即ち計測点1までの距離と基準
光ファイバ5の長さとの差に比例した距離だけ移動し、
輝点15´として映し出される。なお、輝点16は移動
しないが、これは基準光ファイバ5の長さを基準光路長
とするため、掃引電圧を印加しても該輝点16が移動し
ないように、いいかえれば輝点16に対応する電子がス
トリーク管4の偏向部(図示せず)を通過する時点と掃
引電圧が0[V]をクロスする時点とが一致するよう
に、予め前記時間遅れ調整回路7による掃引電圧の時間
遅れを調整していることによるものである。
When a voltage is applied, the bright spot 1
Reference numeral 5 denotes a difference in arrival time at the streak tube 4 between the laser light reflected at the measurement point 1 and the laser light passing through the reference optical fiber 5 as shown in FIG. Moves a distance proportional to the difference from the length of the fiber 5,
The image is displayed as a bright point 15 '. The bright spot 16 does not move. However, since the bright spot 16 does not move even when a sweep voltage is applied, the bright spot 16 is moved to the bright spot 16 because the length of the reference optical fiber 5 is used as the reference optical path length. The time of the sweep voltage by the time delay adjustment circuit 7 is set in advance so that the time when the corresponding electron passes through the deflection unit (not shown) of the streak tube 4 and the time when the sweep voltage crosses 0 [V] coincide. This is due to adjusting the delay.

【0009】前記蛍光面4b上における輝点15−15
´間の移動距離をCCDカメラを用いた画像処理装置9
で撮影して画像解析し、基準光ファイバ5の長さに対す
る相対距離を計算する。この相対距離と基準光ファイバ
5の長さとを加えることにより、計測点1までの絶対距
離がわかる。このように電圧抑制時には計測点1の2つ
の角度情報を計測でき、また、電圧印加時には距離情報
を計測でき、これにより計測点1の3次元座標を計測で
きる。
The luminescent spot 15-15 on the fluorescent screen 4b
Image processing device 9 using CCD camera
The image is analyzed and the relative distance to the length of the reference optical fiber 5 is calculated. By adding this relative distance and the length of the reference optical fiber 5, the absolute distance to the measurement point 1 can be determined. As described above, the two pieces of angle information of the measurement point 1 can be measured when the voltage is suppressed, and the distance information can be measured when the voltage is applied, whereby the three-dimensional coordinates of the measurement point 1 can be measured.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】前記装置における計測
点1の3次元座標の計測はストリーク管4への掃引電圧
の印加及び抑制の2つの段階により順次行われ、これよ
り角度情報及び距離情報を得て、計測点1の3次元座標
を得ている。
The measurement of the three-dimensional coordinates of the measuring point 1 in the above-mentioned apparatus is performed sequentially in two stages of application and suppression of the sweep voltage to the streak tube 4, from which the angle information and the distance information are obtained. Thus, the three-dimensional coordinates of the measurement point 1 are obtained.

【0011】しかしながら、前記掃引電圧の印加及び抑
制の切換えに要する時間には電圧印加抑制回路8の時定
数等による限界があり、これらの限界値を越えて計測時
間を短くできないという問題があった。
However, the time required for switching between the application of the sweep voltage and the suppression is limited by the time constant of the voltage application suppression circuit 8, and there is a problem that the measurement time cannot be shortened beyond these limits. .

【0012】本発明は前記従来の問題点に鑑み、計測点
の3次元座標を高速に計測し得る位置計測装置を提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and has as its object to provide a position measuring device capable of measuring three-dimensional coordinates of a measuring point at high speed.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、複数の光ファイバを途中から2つに分けて束ねた光
ファイバ束を有し、1つの画像を全く同一の2つの画像
に分割し得る光学系を用いるとともに、ストリーク管に
は常時、掃引電圧を印加し、また、分岐された画像を別
の画像処理装置で撮影し画像解析するようになした。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention has an optical fiber bundle in which a plurality of optical fibers are divided into two in the middle and bundled, and one image is divided into two identical images. In addition to using the obtained optical system, a sweep voltage was constantly applied to the streak tube, and a branched image was photographed by another image processing device and analyzed.

【0014】[0014]

【作用】本発明によれば、光学系によりストリーク管へ
掃引電圧を印加しない場合と同じ画像を分岐することが
でき、この画像を別の画像処理装置で撮影し画像解析す
ることにより、計測点の角度情報が得られる。また、ス
トリーク管に常時、掃引電圧を印加することにより、計
測点の距離情報が同時に得られることになり、計測時間
の短縮を図ることができる。
According to the present invention, the same image as in the case where no sweep voltage is applied to the streak tube by the optical system can be branched, and this image is taken by another image processing apparatus and analyzed to obtain a measurement point. Is obtained. Further, by constantly applying the sweep voltage to the streak tube, distance information of the measurement points can be obtained at the same time, and the measurement time can be reduced.

【0015】[0015]

【実施例】図1は本発明の位置計測装置の一実施例を示
すもので、図中、従来例と同一構成部分は同一符号をも
って表す。即ち、1は計測点、2はパルスレーザ光源、
4はストリーク管、5は基準光ファイバ、6は同期ユニ
ット、7は時間遅れ調整回路、9,21は画像処理装
置、22は光学系、23は電子計算機である。
FIG. 1 shows an embodiment of a position measuring apparatus according to the present invention. In the figure, the same components as those of the conventional example are denoted by the same reference numerals. That is, 1 is a measurement point, 2 is a pulse laser light source,
4 is a streak tube, 5 is a reference optical fiber, 6 is a synchronization unit, 7 is a time delay adjustment circuit, 9 and 21 are image processing devices, 22 is an optical system, and 23 is an electronic computer.

【0016】光学系22は光ファイバカプラ24、光フ
ァイバ束25、レンズ系26,27,28、光ファイバ
29,30,31及び凹レンズ32より構成されてい
る。
The optical system 22 comprises an optical fiber coupler 24, an optical fiber bundle 25, lens systems 26, 27, 28, optical fibers 29, 30, 31, and a concave lens 32.

【0017】光ファイバカプラ24は図4に示すように
2つの光ファイバカプラ24a及び24bからなってお
り、該光ファイバカプラ24aはパルスレーザ光源2よ
り出射されたレーザ光を2つに分岐し、その一方を基準
光ファイバ5に入射するとともに、他方を光ファイバ2
9に入射する。また、光ファイバカプラ24bは前記基
準光ファイバ5に入射され、これを経由して戻ってきた
レーザ光を2つに分岐し、これらをそれぞれ光ファイバ
30,31に入射する。
The optical fiber coupler 24 comprises two optical fiber couplers 24a and 24b as shown in FIG. 4. The optical fiber coupler 24a splits the laser light emitted from the pulse laser light source 2 into two, One of them enters the reference optical fiber 5 and the other enters the optical fiber 2.
9 is incident. The optical fiber coupler 24b enters the reference optical fiber 5 and splits the laser light returning via the reference optical fiber 5 into two light beams, which are respectively input to the optical fibers 30 and 31.

【0018】光ファイバ束25は複数の光ファイバを隙
間なく束ねて断面略円形に形成した本体部25−1と、
該本体部25−1を構成する複数の光ファイバのうちの
半数の光ファイバをそれぞれ隙間なく束ねて断面略円形
に形成した分岐部25−2及び25−3とからなってい
る。
The optical fiber bundle 25 comprises a main body 25-1 formed by bundling a plurality of optical fibers without any gap and forming a substantially circular section.
It is composed of branch portions 25-2 and 25-3 formed by bundling half of the optical fibers of the plurality of optical fibers constituting the main body portion 25-1 without gaps and forming a substantially circular cross section.

【0019】図は本体部25−1を構成する光ファイ
バのうち、分岐部25−2及び25−3をそれぞれ構成
する光ファイバを示したもので、図中、25aは分岐部
25−2を構成し、また、25bは分岐部25−3を構
成する光ファイバである。該光ファイバ25a及び25
bは本体部25−1の断面(端面)において2次元的に
交互に配置されているものであり、また、それぞれの相
対位置は分岐部25−2及び25−3の断面(端面)に
おいても変化しないように配置されている。従って、本
体部25−1の端面より入力された画像は分岐部25−
2及び25−3のそれぞれの端面にそのまま(画質はや
や低下するが)出力される。
FIG. 5 shows the optical fibers constituting the branching portions 25-2 and 25-3 among the optical fibers constituting the main body 25-1. In the drawing, reference numeral 25a denotes the branching portion 25-2. 25b is an optical fiber constituting the branching section 25-3. The optical fibers 25a and 25
“b” is two-dimensionally arranged alternately in the cross section (end face) of the main body 25-1, and their relative positions are also determined in the cross section (end face) of the branch portions 25-2 and 25-3. It is arranged so as not to change. Therefore, the image input from the end face of the main body 25-1 is transmitted to the branch 25-.
2 and 25-3 are output as they are (although the image quality is slightly reduced).

【0020】なお、本体部25−1のほぼ中心位置には
前記光ファイバ29が配置され、また、分岐部25−2
及び25−3のほぼ中心位置には前記光ファイバ30及
び31がそれぞれ配置されている。
The optical fiber 29 is disposed substantially at the center of the main body 25-1.
The optical fibers 30 and 31 are disposed at substantially the center positions of the optical fibers 30 and 25-3, respectively.

【0021】レンズ系26は光ファイバ束25の本体部
25−1の端面と、凹レンズ32とを結合し、また、レ
ンズ系27及び28は光ファイバ束25の分岐部25−
2及び25−3の端面と、ストリーク管4の受光面4a
及び画像処理装置21の撮像面とをそれぞれ結合する。
The lens system 26 couples the end face of the main body 25-1 of the optical fiber bundle 25 to the concave lens 32, and the lens systems 27 and 28 form the branching portion 25- of the optical fiber bundle 25.
2 and 25-3, and light receiving surface 4a of streak tube 4
And the image pickup surface of the image processing device 21.

【0022】前記装置において、パルスレーザ光源2よ
り出射されたレーザ光は光ファイバカプラ24aで2つ
に分岐され、その一方は基準光ファイバ5に入射され、
また、他方は光ファイバ29に入射される。基準光ファ
イバ5に入射されたレーザ光は該基準光ファイバ5を往
復して光ファイバカプラ24bに入射され、ここで2つ
に分岐されて光ファイバ30及び31に入射される。ま
た、光ファイバ29に入射されたレーザ光は光ファイバ
束25の本体部25−1のほぼ中央よりレンズ系26及
び凹レンズ32を介して計測点1に照射される。
In the above apparatus, the laser light emitted from the pulse laser light source 2 is split into two by an optical fiber coupler 24a, one of which is incident on a reference optical fiber 5,
The other is incident on the optical fiber 29. The laser light incident on the reference optical fiber 5 reciprocates through the reference optical fiber 5 and is incident on the optical fiber coupler 24b, where it is split into two and incident on the optical fibers 30 and 31. The laser beam incident on the optical fiber 29 is applied to the measurement point 1 from substantially the center of the main body 25-1 of the optical fiber bundle 25 via the lens system 26 and the concave lens 32.

【0023】この際、計測点1で反射されたレーザ光は
凹レンズ32及びレンズ系26を介して光ファイバ束2
5の本体部25−1に入射される。該本体部25−1に
入射されたレーザ光(による画像)は前述したように分
岐部25−2及び25−3にそれぞれ分岐され、そのう
ち、分岐部25−2に分岐されたレーザ光は光ファイバ
30より入射される基準光ファイバ5を経由したレーザ
光とともにレンズ系27を介してストリーク管4に導か
れ、また、分岐部25−3に分岐されたレーザ光は光フ
ァイバ31より入射される基準光ファイバ5を経由した
レーザ光とともにレンズ系28を介して画像処理装置2
1に導かれる。
At this time, the laser beam reflected at the measurement point 1 is transmitted through the concave lens 32 and the lens system 26 to the optical fiber bundle 2.
5 is incident on the main body 25-1. The laser beam (image by the laser beam) incident on the main body 25-1 is branched to the branch portions 25-2 and 25-3 as described above, and the laser beam branched to the branch portion 25-2 is light. The laser beam, which is incident from the fiber 30 and passes through the reference optical fiber 5, is guided to the streak tube 4 via the lens system 27, and the laser beam branched to the branch portion 25-3 is incident from the optical fiber 31. The image processing device 2 via the lens system 28 together with the laser beam passing through the reference optical fiber 5
It is led to 1.

【0024】ストリーク管4には同期ユニット6及び時
間遅れ調整回路7によりパルスレーザ光の発光タイミン
グ、電気回路の遅れ等を考慮した掃引電圧が常時、印加
されており、その蛍光面4bを従来例の場合と同様に画
像処理装置9で撮影し画像解析することによって、計測
点1の距離情報が得られる。一方、画像処理装置21に
入射されるレーザ光(による画像)はストリーク管4へ
掃引電圧を印加しない場合と同様であるから、該画像処
理装置21で撮影し画像解析することによって、計測点
1の角度情報が得られる。この2つの画像処理装置9,
21からの距離及び角度情報を用いて電子計算機23で
計算することにより、計測点1の3次元座標が得られ
る。
A sweep voltage is always applied to the streak tube 4 by the synchronization unit 6 and the time delay adjusting circuit 7 in consideration of the emission timing of the pulsed laser light, the delay of the electric circuit, and the like. As in the case of (1), the distance information of the measurement point 1 can be obtained by taking an image with the image processing device 9 and analyzing the image. On the other hand, the laser light (image by) incident on the image processing device 21 is similar to the case where the sweep voltage is not applied to the streak tube 4, so that the image is captured by the image processing device 21 and the image is analyzed to obtain the measurement point 1 Is obtained. These two image processing devices 9,
The three-dimensional coordinates of the measurement point 1 are obtained by the calculation by the electronic computer 23 using the distance and angle information from 21.

【0025】このように前記装置によれば、計測点の距
離情報及び角度情報が同時に得られ、ストリーク管への
掃引電圧の印加、抑制の切換えが不要となるので、計測
時間を短縮でき、計測点の3次元座標を高速に計測する
ことができる。また、電圧印加抑制回路が不要となり、
その切換えに伴う雑音、回路の安定性等の問題を回避で
きる。また、ハーフミラー等による光学系の設定が不要
であり、操作性が良い。さらにまた、光ファイバ束を構
成する光ファイバを長くすることにより、容易に光学系
とストリーク管及び画像処理装置とを離して設置するこ
とができ、環境の厳しい宇宙空間における衛星のように
センサヘッドのみを宇宙空間に露出させ、処理回路等を
衛星本体に入れて保護する構成に適している。
As described above, according to the apparatus, distance information and angle information of a measurement point can be obtained at the same time, and there is no need to switch between application and suppression of the sweep voltage to the streak tube. The three-dimensional coordinates of a point can be measured at high speed. In addition, the voltage application suppression circuit becomes unnecessary,
Problems associated with the switching, such as noise and circuit stability, can be avoided. In addition, it is not necessary to set an optical system using a half mirror or the like, and the operability is good. Furthermore, by increasing the length of the optical fiber constituting the optical fiber bundle, the optical system can be easily separated from the streak tube and the image processing apparatus. It is suitable for a configuration in which only the circuit is exposed to the outer space, and the processing circuit and the like are put in the body of the satellite for protection.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、計
測点の距離情報及び角度情報が同時に得られ、ストリー
ク管への掃引電圧の印加、抑制の切換えが不要となるの
で、計測時間を短縮でき、計測点の3次元座標を高速に
計測することができる。
As described above, according to the present invention, distance information and angle information of a measurement point can be obtained at the same time, and there is no need to switch between applying and suppressing the sweep voltage to the streak tube. The measurement can be shortened, and the three-dimensional coordinates of the measurement point can be measured at high speed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の位置計測装置の一実施例を示す構成図FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a position measuring device according to the present invention.

【図2】従来の位置計測装置の一例を示す構成図FIG. 2 is a configuration diagram showing an example of a conventional position measuring device.

【図3】電圧抑制時及び印加時におけるストリーク管の
蛍光面上に表示される輝点の一例を示す説明図
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of a bright spot displayed on a phosphor screen of a streak tube when voltage is suppressed and when voltage is applied.

【図4】図1の装置における光学系の詳細説明図FIG. 4 is a detailed explanatory view of an optical system in the apparatus of FIG. 1;

【図5】図4のA−A線矢視方向の断面図FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…計測点、2…パルスレーザ光源、4…ストリーク
管、4b…蛍光面、5…基準光ファイバ、6…同期ユニ
ット、7…時間遅れ調整回路、9,21…画像処理装
置、22…光学系、23…電子計算機、24…光ファイ
バカプラ、25…光ファイバ束、26,27,28…レ
ンズ系、29,30,31…光ファイバ、32…凹レン
ズ。
REFERENCE SIGNS LIST 1 measurement point 2 pulse laser light source 4 streak tube 4 b fluorescent screen 5 reference optical fiber 6 synchronization unit 7 time delay adjustment circuit 9, 21 image processing device 22 optics System, 23: Computer, 24: Optical fiber coupler, 25: Optical fiber bundle, 26, 27, 28: Lens system, 29, 30, 31: Optical fiber, 32: Concave lens.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 パルスレーザ光を発生するパルスレーザ
光源と、 入射された光に対応した輝点を生じる蛍光面を有するス
トリーク管と、該ストリーク管にパルスレーザ光の発光タイミング、電
気回路の遅れ等を考慮した掃引電圧を常時印加する手段
と、 一定の光路長を有する基準光路と、 複数の光ファイバを一端側では全て隙間なく束ね、他端
側では半数をそれぞれ隙間なく束ねてなり、一端側及び
2つの他端側における各光ファイバの相対位置を該一端
側より入力された画像が2つの他端側にそれぞれそのま
ま出力される如く配置してなる光ファイバ束を有し、パ
ルスレーザ光源より出射されたパルスレーザ光を2つに
分割し、一方を複数の計測点に照射してその反射光を前
記光ファイバ束の一端側に入射し、他方を基準光路を経
由させ、さらに2つに分割して前記光ファイバ束の2つ
の他端側それぞれ入射し、該光ファイバ束の他端側
一方をストリーク管に導く光学系と、 ストリーク管の蛍光面及び光ファイバ束の他端側の他方
をそれぞれ撮影し画像解析する一対の画像処理装置とを
備えたことを特徴とする位置計測装置。
1. A pulse laser light source for generating a pulse laser beam, a streak tube having a fluorescent screen for generating a bright spot corresponding to the incident light, a light emission timing of the pulse laser beam,
A means for constantly applying a sweep voltage taking into account the delay of the air circuit, etc.
And a reference optical path having a constant optical path length, and a plurality of optical fibers bundled without any gap at one end, and the other end
On the side, half of them are bundled without gaps,
The relative position of each optical fiber at the two other ends is
The image input from the
The optical fiber bundle has an optical fiber bundle arranged so as to be output, divides a pulse laser beam emitted from a pulse laser light source into two, irradiates one to a plurality of measurement points, and reflects the reflected light to the optical fiber. incident on one end of the bundle and the other is through the reference optical path, two of said optical fiber bundle is divided further into two
Respectively incident on the other end of an optical system for guiding one of the other end of the optical fiber bundle in the streak tube, the phosphor screen and each photographed image analysis the other end of the other one of the optical fiber bundle of the streak tube A position measuring device comprising a pair of image processing devices.
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