JP2975262B2 - Vibrating gyroscope detection circuit - Google Patents
Vibrating gyroscope detection circuitInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロ検出回路
に関し、特に検出信号から寄生振動による偽信号成分を
除去し、検出精度を向上させるようにして、振動ジャイ
ロスコープの性能の安定化をはかった振動ジャイロ検出
回路に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating gyroscope detecting circuit, and more particularly to stabilizing the performance of a vibrating gyroscope by removing a false signal component due to parasitic vibration from a detection signal and improving detection accuracy. The present invention relates to a vibration gyro detection circuit.
【0002】[0002]
【従来の技術】振動ジャイロスコープは周知のように、
主方向の振動に誘引されたコリオリ力による副振動を検
出して、角速度を検出するものである。該振動ジャイロ
スコープは、慣性ジャイロスコープ、光ファイバジャイ
ロスコープに比べて極めて安価であるが、圧電体が有す
る温度による特性変化、特に、誘電率、圧電定数、弾性
定数の特性変化により、検出感度変化や製造誤差で発生
する寄生信号の変化が発生する。このため、振動ジャイ
ロスコープの検出信号にドリフトが発生し、センサ機能
が低下するという問題があった。2. Description of the Related Art As is well known, a vibration gyroscope is
It detects angular velocity by detecting sub-vibration caused by Coriolis force induced by main-direction vibration. The vibratory gyroscope is extremely inexpensive compared to the inertial gyroscope and the optical fiber gyroscope. And a change in a parasitic signal caused by a manufacturing error. For this reason, there has been a problem that a drift occurs in the detection signal of the vibration gyroscope, and the sensor function deteriorates.
【0003】従来から、この問題点を解決する試みがな
されており、例えば特開平3−172714号公報にお
いては、同期検波回路を2個設け、検波位相ずれによる
感度変化を補正するようにしている。[0003] Conventionally, attempts have been made to solve this problem. For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 3-172714, two synchronous detection circuits are provided to correct a change in sensitivity due to a detection phase shift. .
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の技術は、同期検波される被検波信号が角速度に
比例する信号成分のみで構成される場合には有効である
が、該角速度に比例する信号成分のみから構成される被
検波信号に含まれるヌル波と呼ばれる寄生波成分を除去
するのにはあまり有効でない。その理由は、ヌル波その
ものが同期検波され、最終出力の検出信号に残留するた
めである。However, the above-mentioned prior art is effective when the detected signal to be synchronously detected is composed of only a signal component proportional to the angular velocity, but is proportional to the angular velocity. It is not very effective in removing a parasitic wave component called a null wave included in the test wave signal composed only of the signal component. The reason is that the null wave itself is synchronously detected and remains in the detection signal of the final output.
【0005】本発明の目的は、上記した従来技術の問題
点を除去し、温度変化があっても精度良くヌル波を除去
し、温度等によるドリフトを効果的に抑制することがで
きる振動ジャイロ検出回路を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned problems of the prior art, to accurately remove null waves even when there is a temperature change, and to effectively suppress drift due to temperature or the like. It is to provide a circuit.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、この発明は、ジャイロ振動素子を主方向に振動させ
ている時に発生する、該主方向と直角方向の副方向の振
動から角速度を検出する振動ジャイロ検出回路におい
て、前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバック
信号を、寄生波(ヌル波)が温度変化により移相される
位相量だけ移相する手段と、該移相手段により移送され
たフィードバック信号を検波信号として、前記副方向の
振動によって発生された検出信号を検波する検波回路と
を具備した点に特徴がある。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides an apparatus for detecting an angular velocity from vibration in a sub-direction perpendicular to the main direction, which is generated when a gyro vibrating element is vibrated in a main direction. In a vibrating gyro detection circuit for detecting, a feedback signal obtained from the gyro vibrating element is phase-shifted by an amount of phase in which a parasitic wave (null wave) is shifted by a temperature change, and transferred by the phase shifting means. And a detection circuit for detecting a detection signal generated by the sub-direction vibration using the feedback signal as a detection signal.
【0007】[0007]
【作用】この発明によれば、環境温度の変化により前記
ヌル波が移相しても、検波信号となる前記フィードバッ
ク信号が、該ヌル波と常に所定の位相関係となるので、
前記検波回路による検出信号の検波時に、ヌル波は完全
に相殺される。このため、温度変化があっても精度良く
ヌル波を除去し、温度等によるドリフトを効果的に抑制
することができる。According to the present invention, even if the null wave is shifted in phase due to a change in environmental temperature, the feedback signal serving as a detection signal always has a predetermined phase relationship with the null wave.
The null wave is completely canceled when the detection signal is detected by the detection circuit. For this reason, even if there is a temperature change, the null wave can be accurately removed, and drift due to temperature or the like can be effectively suppressed.
【0008】[0008]
【実施例】以下に、図面を参照して、本発明を詳細に説
明する。図1は、本発明の一実施例の振動ジャイロ検出
回路のブロック図である。図において、1はジャイロ振
動素子であり、その断面形状は四角、三角、円形等のも
の、あるいは音叉型のものを用いることができる。該ジ
ャイロ振動素子1には、駆動電極2、主方向振動検出電
極(フィードバック電極)3、副方向振動検出電極4お
よび5が設けられている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of a vibration gyro detection circuit according to one embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a gyro vibrating element having a sectional shape of a square, a triangle, a circle, or the like, or a tuning fork type. The gyro vibrating element 1 is provided with a drive electrode 2, a main direction vibration detection electrode (feedback electrode) 3, and sub-direction vibration detection electrodes 4 and 5.
【0009】フィードバック電極(以下、FB電極と略
す)3から出力されたFB信号は、オペアンプからなる
ボルテージフォロワを介して自励振動回路6および検波
信号生成回路7の位相補正回路8に入力する。自励振動
回路6は前記FB信号を増幅しかつ移相処理して、駆動
電圧として、駆動電極2に供給する。An FB signal output from a feedback electrode (hereinafter abbreviated as FB electrode) 3 is input to a self-excited oscillation circuit 6 and a phase correction circuit 8 of a detection signal generation circuit 7 via a voltage follower including an operational amplifier. The self-excited oscillation circuit 6 amplifies the FB signal, performs a phase shift process, and supplies the FB signal to the drive electrode 2 as a drive voltage.
【0010】前記位相補正回路8には、図2に示されて
いるように、入力側抵抗に感温素子8aが用いられてい
る。この位相補正回路8において、コンデンサ、抵抗の
各大きさを、図示のように、C1 、C2 、R1 およびR
2 とすると、自励振動周波数をfとして、2πfC2 R
2 =1/2πfC1 R1 とすると、その入力信号対出力
信号の比Vo /Vi および位相θは、次式のようにな
る。As shown in FIG. 2, the phase correction circuit 8 uses a temperature-sensitive element 8a as an input-side resistor. In the phase correction circuit 8, the magnitudes of the capacitors and the resistors are changed to C1, C2, R1 and
Assuming that the self-excited vibration frequency is f, 2πfC2 R
Assuming that 2 = 1 / 2πfC1 R1, the ratio Vo / Vi of the input signal to the output signal and the phase θ are as follows.
【0011】[0011]
【数1】 位相補正回路8では、上式から明らかなように、位相θ
は、抵抗R1 の変化率ΔR1 /R1 に比例して変化す
る。位相補正回路8で位相を補正されたFB信号はオペ
アンプを含むチャージアンプを経て、同期検波回路9に
入力する。この実施例では同期検波回路9はモスFET
から構成されており、前記FB信号は該モスFETのゲ
ートに入力する。(Equation 1) In the phase correction circuit 8, the phase θ
Changes in proportion to the rate of change .DELTA.R1 / R1 of the resistor R1. The FB signal whose phase has been corrected by the phase correction circuit 8 is input to a synchronous detection circuit 9 via a charge amplifier including an operational amplifier. In this embodiment, the synchronous detection circuit 9 is a MOS FET
The FB signal is input to the gate of the MOS FET.
【0012】一方、前記副方向振動検出電極4および5
によって検出された検出信号は、差動増幅器10によっ
て増幅され、同期検波回路9によって同期検波され、平
滑増幅器11に入力する。On the other hand, the sub-direction vibration detecting electrodes 4 and 5
Is amplified by a differential amplifier 10, synchronously detected by a synchronous detection circuit 9, and input to a smoothing amplifier 11.
【0013】次に、本実施例の主要部の動作について、
図3〜図5を参照して説明する。これらの図において、
(a) は検波信号、(b) は被検波信号成分、(c) は被検波
ヌル波成分の波形を示す。また、該検波信号aは図1の
同期検波回路9に入力する信号であり、被検波信号成分
bおよび被検波ヌル波成分cは差動増幅器10の出力信
号の波形である。Next, the operation of the main part of this embodiment will be described.
This will be described with reference to FIGS. In these figures,
(a) shows a detected signal, (b) shows a signal component to be detected, and (c) shows a waveform of a null component to be detected. The detection signal a is a signal input to the synchronous detection circuit 9 in FIG. 1, and the detection signal component b and the detection null wave component c are waveforms of the output signal of the differential amplifier 10.
【0014】図3は、温度ドリフトがない時の各信号の
波形を示し、この時には、検波信号aと被検波ヌル波成
分cとの位相関係は図示のように90°ずれている。し
たがって、検波期間、すなわち検波信号aが正の期間
に、被検波ヌル波成分cは正と負の成分とで相殺され、
ヌル波成分を含まない検出信号が前記平滑増幅器11に
供給される。FIG. 3 shows the waveform of each signal when there is no temperature drift. At this time, the phase relationship between the detected signal a and the detected null wave component c is shifted by 90 ° as shown. Therefore, during the detection period, that is, during the period when the detection signal a is positive, the detected null wave component c is canceled by the positive and negative components,
A detection signal containing no null wave component is supplied to the smoothing amplifier 11.
【0015】ここで、振動ジャイロスコープに温度ドリ
フトが発生する場合には、図4に示されているように、
被検波ヌル波成分cがΔθだけ移相し、検波信号aとの
位相差が90°ではなくなる。そこで、仮に本実施例に
おいて、位相補正回路8が存在しないとすると、同期検
波回路9は位相補正されない検波信号aによって同期検
波を行うので、図示のように被検波ヌル波成分cは正と
負の成分とで相殺されずに同期検波され、前記検出信号
の中にヌル波成分が混入されることになる。Here, when a temperature drift occurs in the vibration gyroscope, as shown in FIG.
The null wave component c to be detected is shifted in phase by Δθ, and the phase difference with the detection signal a is not 90 °. Therefore, in the present embodiment, assuming that the phase correction circuit 8 does not exist, the synchronous detection circuit 9 performs synchronous detection using the detection signal a whose phase is not corrected, so that the detected null wave component c is positive and negative as shown in the figure. The components are synchronously detected without being canceled by the above components, and a null wave component is mixed into the detection signal.
【0016】しかしながら、本実施例では、位相補正回
路8が設けられているので、図5に示されているよう
に、検波信号aは該位相補正回路8によってΔθだけ移
相される。この結果、被検波ヌル波成分cは同期検波に
より再び正と負の成分とで相殺されることになり、ヌル
波成分を含まない検出信号が前記平滑増幅器11に供給
される。However, in this embodiment, since the phase correction circuit 8 is provided, the detection signal a is shifted by Δθ by the phase correction circuit 8 as shown in FIG. As a result, the detected null wave component c is canceled by the positive and negative components again by the synchronous detection, and a detection signal containing no null wave component is supplied to the smoothing amplifier 11.
【0017】なお、前記感温素子8aは、環境温度に応
じて、位相補正回路8が検波信号aの位相を、被検波ヌ
ル波成分cの温度ドリフト量だけ移相するような特性の
素子であることは勿論である。The temperature sensing element 8a is an element having such a characteristic that the phase correction circuit 8 shifts the phase of the detection signal a by the temperature drift amount of the null wave component c to be detected in accordance with the environmental temperature. Of course there is.
【0018】以上のように、本実施例によれば、振動ジ
ャイロスコープに温度ドリフトが発生すると、これによ
って被検波ヌル波成分cが移相される量Δθと同じ量だ
け検波信号aも移相されるので、該被検波ヌル波成分c
は同期検波時に消滅し、高精度の検出信号を得ることが
できる。一般に、被検波信号の大部分は製造誤差に基づ
くヌル波である。換言すれば、図3からも明らかなよう
に、被検波信号の信号成分は、ヌル波成分に比べてずっ
と小さい。したがって、検波信号の位相を感温素子を用
いて自動的に調整することは、ドリフトの低減化に非常
に有効である。さらに、位相補正回路8で信号を補正す
ると、前記の式からも明らかなように、振幅もやや変化
する。しかしながら、本実施例では、振幅が変化するの
は被検波でなく検波信号であるので、同期検波には殆ど
悪影響が出ず、前記ヌル波成分は検波によって積分され
て相殺され、この時被検波信号成分の振幅は不変であ
る。よって、高精度の検出信号を得ることができる。As described above, according to the present embodiment, when a temperature drift occurs in the vibrating gyroscope, the detection signal a is also shifted in phase by the same amount Δθ as the phase shift of the detected null wave component c. , The test wave null wave component c
Disappears during synchronous detection, and a highly accurate detection signal can be obtained. In general, most of the detected signal is a null wave based on a manufacturing error. In other words, as is clear from FIG. 3, the signal component of the detected signal is much smaller than the null component. Therefore, automatically adjusting the phase of the detection signal using the temperature sensing element is very effective in reducing drift. Further, when the signal is corrected by the phase correction circuit 8, the amplitude slightly changes as is clear from the above equation. However, in the present embodiment, since the detected signal is not the detected signal but the amplitude, the synchronous detection has almost no adverse effect, and the null wave component is integrated and canceled by the detection. The amplitude of the signal component is unchanged. Therefore, a highly accurate detection signal can be obtained.
【0019】次に、本発明の第2実施例を、図6を参照
して説明する。図において、20は位相補正回路、21
は平滑化回路を示し、他の符号は図1と同一または同等
物を示す。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the figure, 20 is a phase correction circuit, 21
Indicates a smoothing circuit, and other reference numerals indicate the same or equivalent components as those in FIG.
【0020】本実施例では、位相補正回路20の帰還抵
抗として感温素子8aを用いた点、および該位相補正回
路20と平滑化回路21とにより駆動電極2の自励振動
回路を形成した点に特徴がある。In this embodiment, the point that the temperature sensing element 8a is used as the feedback resistor of the phase correction circuit 20, and that the self-excited oscillation circuit of the drive electrode 2 is formed by the phase correction circuit 20 and the smoothing circuit 21. There is a feature.
【0021】位相補正回路20の感温素子8aは、環境
温度が変化するとその抵抗値を変化する。このため、位
相補正回路20は、FB電極3から出力されたFB信号
の位相をΔθだけ移相し、同期検波回路9へ出力する。
この結果、第1実施例と同様に、被検波ヌル波成分cを
同期検波時に消滅させることができ、高精度の検出信号
を得ることができる。なお、本実施例は、位相補正回路
20と平滑化回路21とにより駆動電極2の自励振動回
路を形成したので、該駆動電極2に印加される駆動電圧
の振幅変動が若干発生するが、第1実施例より少量の回
路素子で、かつ安価に構成することができるというメリ
ットがある。The temperature-sensitive element 8a of the phase correction circuit 20 changes its resistance value when the environmental temperature changes. For this reason, the phase correction circuit 20 shifts the phase of the FB signal output from the FB electrode 3 by Δθ and outputs it to the synchronous detection circuit 9.
As a result, similarly to the first embodiment, the null wave component c to be detected can be eliminated at the time of synchronous detection, and a highly accurate detection signal can be obtained. In this embodiment, since the self-excited oscillation circuit of the drive electrode 2 is formed by the phase correction circuit 20 and the smoothing circuit 21, the amplitude of the drive voltage applied to the drive electrode 2 slightly varies. There is an advantage that the circuit can be configured with a smaller number of circuit elements and at lower cost than in the first embodiment.
【0022】なお、前記実施例は、圧電型のジャイロ振
動素子1を用いた例で説明したが、本発明はこれに限定
されず、静電力により駆動されるジャイロスコープ、熱
応力により駆動されるジャイロスコープ、あるいは電磁
力により駆動されるジャイロスコープにも適用できるこ
とは勿論である。Although the above embodiment has been described with reference to the example using the piezoelectric gyro vibrating element 1, the present invention is not limited to this, and a gyroscope driven by electrostatic force and driven by thermal stress. Needless to say, the present invention can be applied to a gyroscope or a gyroscope driven by an electromagnetic force.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1〜5の発明によれば、ドリフトの主因であるヌル波
と、同期検波信号との位相ずれを補正し、該補正された
同期検波信号で被検波信号を検波するようにしているの
で、検出信号の中からヌル波を除去することができ、高
精度の振動ジャイロ検出回路を提供することができる。
また、振動ジャイロスコープにおいて問題となっている
温度ドリフトによる悪影響を効果的に低減させることが
できる。As is apparent from the above description, according to the first to fifth aspects of the present invention, the phase shift between the null wave, which is the main cause of the drift, and the synchronous detection signal is corrected, and the corrected synchronous Since the detected signal is detected by the detected signal, a null wave can be removed from the detected signal, and a highly accurate vibration gyro detection circuit can be provided.
Further, it is possible to effectively reduce adverse effects due to temperature drift, which is a problem in the vibration gyroscope.
【0024】また、請求項3の発明によれば、安価に、
本発明の振動ジャイロ検出回路を実現することができ
る。According to the third aspect of the present invention, inexpensively,
The vibration gyro detection circuit of the present invention can be realized.
【図1】 本発明の一実施例の構成を示す回路図であ
る。FIG. 1 is a circuit diagram showing a configuration of one embodiment of the present invention.
【図2】 図1の位相補正回路の一具体例を示す回路図
である。FIG. 2 is a circuit diagram showing a specific example of the phase correction circuit of FIG.
【図3】 ドリフトなしの時の検波信号、被検波信号成
分およびヌル波成分の波形例を示す波形図である。FIG. 3 is a waveform diagram showing waveform examples of a detected signal, a detected signal component, and a null component when there is no drift.
【図4】 ドリフトありでかつ位相補正回路なしの時の
検波信号およびヌル波成分の波形例を示す波形図であ
る。FIG. 4 is a waveform diagram showing a waveform example of a detection signal and a null wave component when there is a drift and there is no phase correction circuit.
【図5】 ドリフトありでかつ位相補正回路ありの時の
検波信号およびヌル波成分の波形例を示す波形図であ
る。FIG. 5 is a waveform diagram showing a waveform example of a detection signal and a null wave component when there is a drift and a phase correction circuit is provided.
【図6】 本発明の第2実施例の構成を示す回路図であ
る。FIG. 6 is a circuit diagram showing a configuration of a second embodiment of the present invention.
1…ジャイロ振動素子、2…駆動電極、3…主方向振動
検出電極(フィードバック電極)、4、5…副方向振動
検出電極、6…自励振動回路、7…検波信号生成回路、
8…位相補正回路、9…同期検波回路、10…差動増幅
回路、11…平滑増幅回路、20…位相補正回路、21
…平滑化回路。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Gyro vibration element, 2 ... Drive electrode, 3 ... Main direction vibration detection electrode (feedback electrode), 4 ... Sub-direction vibration detection electrode, 6 ... Self-excited vibration circuit, 7 ... Detection signal generation circuit,
8: phase correction circuit, 9: synchronous detection circuit, 10: differential amplification circuit, 11: smoothing amplification circuit, 20: phase correction circuit, 21
... Smoothing circuit.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−295716(JP,A) 特開 平4−297874(JP,A) 特開 平5−296771(JP,A) 特開 平5−302833(JP,A) 特開 昭60−188809(JP,A) 特開 平4−273013(JP,A) 特開 平3−48714(JP,A) 特開 昭61−20810(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01C 19/56 G01P 9/04 Continuation of front page (56) References JP-A-4-295716 (JP, A) JP-A-4-297874 (JP, A) JP-A-5-297677 (JP, A) JP-A-5-302833 (JP, A) JP-A-60-188809 (JP, A) JP-A-4-273013 (JP, A) JP-A-3-48714 (JP, A) JP-A-61-20810 (JP, A) (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (5)
いる時に発生する、該主方向と直角方向の副方向の振動
から角速度を検出する振動ジャイロ検出回路において、 前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバック信号
を、寄生波(ヌル波)が温度変化により移相される位相
量だけ移相する手段と、 該移相手段により移送されたフィードバック信号を検波
信号として、前記副方向の振動によって発生された検出
信号を検波する検波回路とを具備し、 前記検出信号に含まれているヌル波の検波後残留成分を
除去するようにしたことを特徴とする振動ジャイロ検出
回路。1. A vibration gyro detection circuit for detecting an angular velocity from a vibration in a sub-direction perpendicular to the main direction generated when the gyro vibration element is vibrated in a main direction, wherein the gyro vibration element is obtained from the gyro vibration element. Means for shifting the feedback signal by a phase amount by which a parasitic wave (null wave) is shifted by a temperature change; and generating the detection signal using the feedback signal transferred by the phase shifting means, by the vibration in the sub-direction. A detection circuit for detecting the detected signal, wherein a residual component after detection of a null wave included in the detection signal is removed.
おいて、 前記移相手段により移相される前のフィードバック信号
を自励振動回路に供給し、該自励振動回路により、前記
ジャイロ振動素子を主方向に振動させる駆動信号を生成
するようにしたことを特徴とする振動ジャイロ検出回
路。2. The vibration gyro detection circuit according to claim 1, wherein a feedback signal before being phase-shifted by said phase shift means is supplied to a self-excited oscillation circuit, and said self-excited oscillation circuit causes said gyro-oscillation element to be driven. A vibration gyro detection circuit, wherein a drive signal for causing vibration in a main direction is generated.
おいて、 前記フィードバック信号を移相する移相手段と平滑回路
とにより自励振動回路を構成し、該自励振動回路によ
り、前記ジャイロ振動素子を主方向に振動させる駆動信
号を生成するようにしたことを特徴とする振動ジャイロ
検出回路。3. The vibration gyro detection circuit according to claim 1, wherein a self-excited oscillation circuit is configured by a phase shifter that shifts the phase of the feedback signal and a smoothing circuit, and the self-excited oscillation circuit is used by the self-excited oscillation circuit. A vibrating gyro detection circuit, which generates a drive signal for vibrating in a main direction.
検出回路において、 前記移相手段は、入力抵抗または帰還抵抗として感温素
子を使用し、 環境温度に応じて、前記検波信号の位相を前記ヌル波の
温度ドリフト量だけ移相するようにしたことを特徴とす
る振動ジャイロ検出回路。4. The vibration gyro detection circuit according to claim 1, wherein said phase shift means uses a temperature-sensitive element as an input resistance or a feedback resistance, and adjusts a phase of said detection signal in accordance with an environmental temperature. Is shifted by the temperature drift amount of the null wave.
て、 前記ジャイロ振動素子が、圧電駆動型、静電力駆動型、
熱応力駆動型、および電磁力駆動型のいずれか一つであ
ることを特徴とする振動ジャイロ検出回路。5. The vibration gyro detection circuit according to claim 1, wherein the gyro vibration element is a piezoelectric drive type, an electrostatic drive type,
A vibration gyro detection circuit, which is one of a thermal stress drive type and an electromagnetic force drive type.
Priority Applications (1)
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JP6173166A JP2975262B2 (en) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | Vibrating gyroscope detection circuit |
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JP6173166A JP2975262B2 (en) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | Vibrating gyroscope detection circuit |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH0814916A JPH0814916A (en) | 1996-01-19 |
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CN1918452B (en) * | 2004-10-08 | 2010-09-08 | 索尼株式会社 | Vibration gyro circuit, vibration gyro unit, and vibration gyro output detecting method |
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