JP2971270B2 - Mossbauer sensor - Google Patents

Mossbauer sensor

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JP2971270B2
JP2971270B2 JP4301388A JP30138892A JP2971270B2 JP 2971270 B2 JP2971270 B2 JP 2971270B2 JP 4301388 A JP4301388 A JP 4301388A JP 30138892 A JP30138892 A JP 30138892A JP 2971270 B2 JP2971270 B2 JP 2971270B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は反射電子X線γ線を同時
検出としたメスバウアセンサに関するものであり、2相
(フェライト相とオーステナイト相)ステンレス鋼構造
物の加熱脆化検出などの非破壊検査に適用可能なメスバ
ウアセンサに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Mossbauer sensor which simultaneously detects reflected electron X-rays and .gamma.-rays. The invention relates to a non-destructive method such as heating embrittlement detection of a two-phase (ferrite phase and austenite phase) stainless steel structure. The present invention relates to a Mossbauer sensor applicable to inspection.

【0002】[0002]

【従来の技術】メスバウア効果(Mossbauer effect)は
無反跳γ線共鳴吸収あるいは核の蛍光γ線共鳴とも呼ば
れ、科学の様々な分野で広く応用されている。そして、
金属構造物の検査もその応用分野の一つである。
2. Description of the Related Art The Mossbauer effect, also called non-recoil γ-ray resonance absorption or nuclear γ-ray resonance, has been widely applied in various fields of science. And
Inspection of metal structures is one of the fields of application.

【0003】蛍光γ線共鳴の測定はγ線を放射する放射
線源を移動させてドップラ現象により、γ線を変調し、
この変調γ線を試料(吸収体)内に入射させることによ
り、γ線の一部は試料に吸収された後、あらゆる方向に
再放出されるが、これを陽極線で収集することにより行
う。
[0003] In the measurement of fluorescence γ-ray resonance, a γ-ray is modulated by the Doppler phenomenon by moving a radiation source that emits γ-rays.
When the modulated γ-ray is made incident on the sample (absorber), a part of the γ-ray is absorbed by the sample and then re-emitted in all directions. This is performed by collecting the γ-ray with an anode line.

【0004】γ線の照射により再放出されるのはγ線ば
かりではなく電子もあるが、これは試料にごく近い位置
でのみ得られ、距離が離れると急速に減衰して収集でき
ない。そして、収集する対象がγ線やX線であるか、電
子であるかにより、被検体(試料)の深さに関する情報
が異なる。従って、両者を測定することで表面の影響
(酸化膜等)の除去や内部の構造が解析できるようにな
る。
[0004] Not only γ-rays but also electrons are re-emitted by γ-ray irradiation. However, these electrons are obtained only at a position very close to the sample. The information on the depth of the subject (sample) differs depending on whether the object to be collected is a γ-ray, an X-ray, or an electron. Therefore, by measuring both, the influence of the surface (such as an oxide film) can be removed and the internal structure can be analyzed.

【0005】メスバウア効果を利用しての、2相(フェ
ライト相とオーステナイト相)ステンレス鋼構造物の加
熱脆化検出や鉄を含む金属構造物の非破壊検査等に用い
る従来の反射電子検出センサおよび反射電子γ線X線検
出センサについて、図4および図5を用いて説明する。
図4は反射電子検出センサのブロック図であり、図5は
反射X線γ線検出センサのブロック図である。
[0005] A conventional backscattered electron detection sensor used for detecting heating embrittlement of a two-phase (ferrite phase and austenite phase) stainless steel structure and nondestructive inspection of a metal structure containing iron utilizing the Mossbauer effect. The backscattered electron γ-ray X-ray detection sensor will be described with reference to FIGS.
FIG. 4 is a block diagram of the backscattered electron detection sensor, and FIG. 5 is a block diagram of the backscattered X-ray γ-ray detection sensor.

【0006】電子検出センサは図4に示す如く、放射線
遮蔽材料により形成された箱状の検出センサ40の片面
中央部に放射線透過窓41が形成されており、検出セン
サ40内におけるこの放射線透過窓41の対向部に試料
20を配置する。検出センサ40内には陽極線8が張り
渡してある。
As shown in FIG. 4, a radiation transmitting window 41 is formed at the center of one side of a box-shaped detecting sensor 40 made of a radiation shielding material. The sample 20 is arranged at the facing portion of 41. The anode wire 8 extends in the detection sensor 40.

【0007】このような構成おいて、放射線源からのγ
線1を放射線透過窓41を介して検出センサ40内に入
射させ、検出センサ40内に配設してある試料20に入
射させると、このγ線1が試料20にぶつかることによ
り、試料20からは電子6が発生する。そして、この発
生した電子6を陽極線8で集めることにより、検出信号
として得、この検出信号より劣化検出を行うセンサであ
る。
In such a configuration, γ from the radiation source
When the ray 1 is incident on the detection sensor 40 through the radiation transmission window 41 and is incident on the sample 20 disposed in the detection sensor 40, the γ-ray 1 Generates electrons 6. The generated electrons 6 are collected by the anode wire 8 to obtain a detection signal, and the sensor performs deterioration detection based on the detection signal.

【0008】反射X線γ線検出センサは図5に示す如
く、放射線遮蔽材料により形成されたブロック状のセン
サ本体50の一方側の面の中央に、比較的大きく開口す
る凹部50aを形成してあり、また、センサ本体50の
他方側の面の中央に、この凹部に通ずるγ線導入路51
を形成してあり、さらにこのγ線導入路51の脇に、一
部が前記凹部50aに開口するように、断面円形の空間
を形成し、これを検出室52とすると共に、検出室52
には陽極線8を張り渡してある。
As shown in FIG. 5, the reflection X-ray γ-ray detection sensor has a relatively large opening concave portion 50a formed in the center of one surface of a block-shaped sensor main body 50 formed of a radiation shielding material. And a γ-ray introduction path 51 communicating with the concave portion at the center of the other surface of the sensor body 50.
A space having a circular cross section is formed beside the γ-ray introduction path 51 so that a part of the space opens into the concave portion 50a.
Has an anode wire 8 stretched over it.

【0009】このような構成において、センサ本体50
をその凹部50aの開口部を試料20の表面にあててセ
ットした後、放射線源からのγ線1をγ線導入路51を
通して試料20に入射させる。これにより、試料20か
らX線またはγ線が再放出される。この放出されたX線
またはγ線はセンサ本体50の凹部50aを介して検出
室52に入射する。検出室52では、この入射したX線
またはγ線7を陽極線8で集め、信号として得る。そし
て、この検出信号により劣化検出を行う。
In such a configuration, the sensor body 50
After setting the opening of the concave portion 50 a to the surface of the sample 20, the γ-ray 1 from the radiation source is incident on the sample 20 through the γ-ray introduction path 51. As a result, X-rays or γ-rays are re-emitted from the sample 20. The emitted X-rays or γ-rays enter the detection chamber 52 via the concave portion 50a of the sensor main body 50. In the detection chamber 52, the incident X-rays or γ-rays 7 are collected by the anode rays 8 and are obtained as signals. Then, deterioration detection is performed based on this detection signal.

【0010】このように反射X線γ線検出センサおよび
反射電子検出センサはいずれも、γ線を試料に照射する
ことにより、試料から放射される放射線または電子線を
陽極電極で収集し、劣化検出を行うセンサであるが、従
来は、放射線用、電子線用それぞれが別であり、従っ
て、それぞれ別々に測定を行う必要があり、また、反射
電子検出センサは試料をセンサ本体内に配置しなければ
ならないので、非破壊検査のできる構成にはなっていな
かった。
As described above, the reflected X-ray γ-ray detection sensor and the backscattered electron detection sensor collect the radiation or the electron beam emitted from the sample by the anode electrode by irradiating the sample with the γ-ray, and detect the deterioration. Conventionally, the sensor for radiation and the sensor for electron beam are different from each other. Therefore, it is necessary to measure separately, respectively.In addition, in the case of the backscattered electron detection sensor, the sample must be arranged in the sensor body. Therefore, it was not configured for non-destructive inspection.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】このように、メスバウ
ア効果を利用して2相ステンレス鋼構造物の加熱脆化検
出などに使用される従来のセンサは電子用と、γ線,X
線用が別々のものであり、検査にあたってはこのそれぞ
れを測定する必要があることから、電子用と、γ線,X
線用の2種のセンサを用いてそれぞれ別個に検出してい
た。
As described above, the conventional sensors used for detecting the heating embrittlement of a duplex stainless steel structure utilizing the Mossbauer effect are the ones for electronic use and those for γ-ray and X-ray.
For inspection, it is necessary to measure each of them for inspection.
Detection was performed separately using two types of sensors for lines.

【0012】これらのセンサは被検体の深さに関する情
報が異なるため、どちらか一方だけを用いての検査では
表面の影響(酸化膜等)をどれくらい受けているのか分
からない。そのため、2種のセンサによる検出を行うこ
とになるが、一方のセンサによる測定が終わってから、
他方のセンサによる測定を行うことになるので、検査に
時間がかかり、取扱いも不便であった。しかも、従来の
反射電子検出センサは,試料をセンサ内において使用す
る構造であるため、非破壊検査には適用できなかった。
[0012] Since these sensors have different information on the depth of the subject, it is difficult to know how much influence is exerted on the surface (such as an oxide film) by an inspection using only one of them. Therefore, detection by two types of sensors is performed, but after measurement by one of the sensors is completed,
Since the measurement is performed by the other sensor, the inspection takes time and the handling is inconvenient. Moreover, the conventional backscattered electron detection sensor has a structure in which a sample is used in the sensor, and thus cannot be applied to nondestructive inspection.

【0013】そこで、この発明の目的とするところは、
反射電子、X線、γ線を同時に計測可能であり、コンパ
クト化、計測時間の短縮を図ることができて、しかも、
非破壊検査に適用し得るメスバウアセンサを提供するこ
とにある。
Therefore, the object of the present invention is to:
Reflected electrons, X-rays and γ-rays can be measured at the same time, making it possible to reduce the size and measurement time.
It is to provide a Mossbauer sensor applicable to nondestructive inspection.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は次のように構成する。すなわち、内部が空
洞状であり、対向する2面が開放されると共に、内部に
電子収集用の陽極線を配設してなり、前記開放された面
の一方は被検体に対する接触面となる反射電子検出用セ
ンサ部と、この反射電子検出用センサ部の他方の開放さ
れた面側に設けられ、中央にこの反射電子検出用センサ
部の前記一方の開放された面側に向かうγ線導入路が形
成されると共に、内部に前記反射電子検出用センサ部を
経て入射する放射線を検出するための検出手段を設けて
構成した反射電子X線γ線検出用センサ部とより構成し
た。
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. That is, the inside is hollow, two opposing surfaces are open, and an anode wire for electron collection is disposed inside, and one of the open surfaces is a reflection surface serving as a contact surface with the subject. An electron detection sensor portion, and a γ-ray introduction path provided on the other open surface side of the reflected electron detection sensor portion and toward the one open surface side of the reflected electron detection sensor portion at the center. And a sensor unit for detecting a backscattered electron X-ray and γ-ray which is provided with a detection means for detecting radiation incident through the backscattered electron detection sensor unit.

【0015】[0015]

【作用】上記の構成の本装置は、反射電子検出センサ部
の背面に、反射X線γ線検出センサ部を配置した積層構
成とし、反射電子検出センサ部の一方の開放面を被検体
に接して配置すると共に、反射X線γ線検出センサ部の
背面より、その導入路を介してγ線を被検体に照射し、
被検体より放出される電子およびX線γ線を電子は被検
体に近接する反射電子検出センサ部により、また、X線
γ線は反射X線γ線検出センサ部にて検出することによ
り、1回の測定で、電子、γ線およびX線を同時に得る
ことができ、そのために被検体の異なる深さ(表面層お
よび内部)からの情報が一度に得られるようになる。そ
して、この結果、反射電子からは表面層の情報が得ら
れ、反射γ線、X線からはより内部に亙る情報を得るこ
とができる。また、反射γ線、X線信号と補正した反射
電子信号を演算処理するようにすれば、表面の不純物層
(酸化膜等)の影響を受けない内部の情報を得ることが
でき、表面処理することなく、材料の内部の情報を得る
ことができるようになる。
The present device having the above-described configuration has a laminated structure in which a reflected X-ray γ-ray detection sensor is disposed on the back of the reflected electron detection sensor, and one open surface of the reflected electron detection sensor is brought into contact with the subject. And irradiating the subject with γ-rays from the back of the reflected X-ray γ-ray detection sensor section through its introduction path,
The electrons emitted from the subject and the X-ray γ-rays are detected by the reflected electron detection sensor unit close to the subject, and the X-ray γ-rays are detected by the reflected X-ray γ-ray detection sensor unit. In a single measurement, electrons, γ-rays and X-rays can be obtained simultaneously, so that information from different depths (surface layer and inside) of the subject can be obtained at once. As a result, information on the surface layer can be obtained from the reflected electrons, and more internal information can be obtained from the reflected γ-rays and X-rays. In addition, if arithmetic processing is performed on the reflected γ-ray and X-ray signals and the corrected reflected electron signal, it is possible to obtain internal information that is not affected by an impurity layer (such as an oxide film) on the surface, and perform the surface treatment. Without this, information inside the material can be obtained.

【0016】[0016]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例にか
かる反射電子X線γ線同時検出メスバウアセンサついて
説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A Mossbauer sensor for simultaneous detection of reflected electron X-rays and gamma rays according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】図1は本発明の第1実施例を示すブロック
図である。図1において、2はブロック状の被検体であ
り、100はこの被検体2の表面に取りけた本発明のメ
スバウアセンサである。メスバウアセンサ100は反射
電子検出センサ部4Aと反射γ線X線検出センサ部5A
とからなる。
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 2 denotes a block-shaped subject, and reference numeral 100 denotes a Mossbauer sensor of the present invention mounted on the surface of the subject 2. The Mossbauer sensor 100 includes a reflected electron detection sensor unit 4A and a reflected γ-ray X-ray detection sensor unit 5A.
Consists of

【0018】反射電子検出センサ部4Aは放射線遮蔽材
料により形成された筒状もしくは枠状のセンサ本体4内
に陽極線8が張り渡してあり、一方の開口面側には溝4
aを形成してシール用のOリング3を取り付けてあっ
て、このOリング3の配設部分を被検体2の表面に接触
させることにより密着させ、外部に対し、気密構造とす
ることができる。
The backscattered electron detection sensor section 4A has an anode wire 8 extending in a cylindrical or frame-shaped sensor main body 4 formed of a radiation shielding material, and a groove 4 is formed on one opening surface side.
a is formed and an O-ring 3 for sealing is attached, and the arrangement portion of the O-ring 3 is brought into close contact with the surface of the subject 2 by bringing it into contact with the surface of the subject 2 to form an airtight structure with respect to the outside. .

【0019】反射電子検出センサ部4Aの他方の開口部
には反射γ線X線検出センサ部5Aが設けられる。反射
X線γ線検出センサ部5Aは、放射線遮蔽材料により形
成されたブロック状のセンサ本体5の一方側の面(反射
電子検出センサ部4A側の面)の中央に、比較的大きく
開口する凹部5aを形成してあり、また、センサ本体5
の他方側の面の中央に、この凹部5aに貫通するγ線導
入路5bを形成してあり、さらにこのγ線導入路5bの
脇に、もしくはγ線導入路5bを囲んで、一部が前記凹
部5aに開口するように、断面円形の空間を形成し、こ
れを検出室5cとすると共に、検出室5cには陽極線8
を張り渡してある。
A reflected γ-ray X-ray detection sensor 5A is provided in the other opening of the reflected electron detection sensor 4A. The reflected X-ray γ-ray detection sensor portion 5A is a relatively large recessed portion in the center of one surface (the surface on the backscattered electron detection sensor portion 4A side) of the block-shaped sensor main body 5 formed of a radiation shielding material. 5a, and the sensor body 5
A γ-ray introduction path 5b penetrating the concave portion 5a is formed at the center of the other side surface of the γ-ray introduction path 5b, and a part thereof surrounds the γ-ray introduction path 5b or partially surrounds the γ-ray introduction path 5b. A space having a circular cross section is formed so as to open in the concave portion 5a, and this space is used as a detection chamber 5c.
Is stretched out.

【0020】10は信号補償回路であり、反射電子検出
センサ部4Aと反射γ線X線検出センサ部5Aにより検
出された信号9a,9bはそのままでは表面状態(酸化
膜等)の影響を受けているため、その影響分をこれらの
信号9a,9bに対して補償するものである。
Reference numeral 10 denotes a signal compensating circuit, and the signals 9a and 9b detected by the backscattered electron detection sensor unit 4A and the reflected γ-ray X-ray detection sensor unit 5A are directly affected by the surface condition (oxide film or the like). Therefore, the influence is compensated for these signals 9a and 9b.

【0021】このような構成のメスバウアセンサ100
は反射電子検出センサ部4Aと反射γ線X線検出センサ
部5Aを積層した構成であり、反射電子検出センサ部4
A側が被検体2に近接するように配置が工夫されてい
る。
The Mossbauer sensor 100 having such a configuration
Has a configuration in which a backscattered electron detection sensor unit 4A and a reflected γ-ray X-ray detection sensor unit 5A are stacked.
The arrangement is devised so that the A side is close to the subject 2.

【0022】そして、反射γ線X線検出センサ部5Aの
背面側より、そのγ線導入路5bを介して、線源より発
生されるγ線1を導入する。γ線導入路5bは空洞状態
の反射電子検出センサ部4Aを介して被検体2に対向し
ており、線源より入射してきたγ線1が被検体2に照射
されることにより、この被検体2で共鳴散乱され、その
時、メスバウア効果により、被検体2から反射電子6お
よび反射γ線、X線7が発生する。反射電子検出センサ
部4Aには、被検体2との接触を良くし、密閉度を高め
るため、Oリング3を用いている。
Then, from the back side of the reflected γ-ray X-ray detection sensor section 5A, γ-rays 1 generated from the source are introduced through the γ-ray introduction path 5b. The γ-ray introduction path 5b faces the subject 2 via the backscattered electron detection sensor unit 4A in a hollow state, and the subject 2 is irradiated with the γ-ray 1 incident from the radiation source, thereby 2, reflected electrons 6 and reflected γ-rays and X-rays 7 are generated from the subject 2 by the Mossbauer effect. The O-ring 3 is used in the backscattered electron detection sensor unit 4A in order to improve the contact with the subject 2 and increase the degree of sealing.

【0023】被検体2により発生した反射電子6は飛程
が短く、表面層の情報を持つ。そして、この反射電子6
は反射電子検出センサ部4Aの陽極線8に捕らえられ、
検出されて信号9bとなる。
The reflected electron 6 generated by the subject 2 has a short range and has information on the surface layer. Then, the reflected electrons 6
Is captured by the anode wire 8 of the backscattered electron detection sensor unit 4A,
It is detected and becomes signal 9b.

【0024】一方、被検体2により発生した反射γ線、
X線7は飛程が長く、内部の情報を持つ。そしてこの反
射γ線、X線7は反射γ線X線検出センサ部5の陽極線
8に捕らえられ、検出され、信号9aとなる。
On the other hand, reflected gamma rays generated by the subject 2
The X-ray 7 has a long range and has internal information. The reflected γ-rays and X-rays 7 are caught and detected by the anode lines 8 of the reflected γ-ray X-ray detection sensor unit 5, and become signals 9a.

【0025】検出された信号9a,9bはそのままでは
表面状態(酸化膜等)の影響を受けているため、これら
の信号9a,9bを信号補償回路10に入力し、信号9
aから、補正した信号9bを減算することにより、表面
の悪影響を取り除くようにしている。
Since the detected signals 9a and 9b are affected by the surface condition (oxide film or the like) as they are, these signals 9a and 9b are input to the signal compensating circuit 10 and
By subtracting the corrected signal 9b from a, an adverse effect on the surface is removed.

【0026】以上のように、メスバウアセンサを、被検
体接触側に反射電子検出センサ部、そして、その背面に
X線γ線検出センサ部を設けた積層構成とすることによ
り、発生する電子、X線、γ線を同時に検出することが
でき、装置のコンパクト化、および計測時間の短縮が可
能になる。また、信号補償回路にて補償することによ
り、表面の汚れ(酸化膜等)の影響を受けることなく、
被検体内部の情報を得ることができるようになる。
As described above, when the Mossbauer sensor has a stacked structure in which the reflected electron detection sensor section is provided on the subject contact side and the X-ray γ-ray detection sensor section is provided on the back surface thereof, electrons generated by the sensor are reduced. X-rays and γ-rays can be detected at the same time, making it possible to make the apparatus compact and reduce the measurement time. In addition, by compensating with the signal compensation circuit, it is not affected by surface contamination (oxide film, etc.)
Information inside the subject can be obtained.

【0027】また、第2実施例として、図2のような構
成とすることもできる。これは図1に示す第1実施例に
おける信号補償回路10を除去した構成であり、この場
合、供試体(被検体)の表面を予め酸化の影響が無いよ
うに、サンドペーパ等で仕上げておく。このような供試
体としておけば、信号補償回路を用いることなく、深さ
の異なる点での供試体の特性を一度に、非破壊的に検出
することができるようになる。
As a second embodiment, a configuration as shown in FIG. 2 can be adopted. This is a configuration in which the signal compensating circuit 10 in the first embodiment shown in FIG. 1 is removed. In this case, the surface of the test sample (test object) is previously finished with sandpaper or the like so as not to be affected by oxidation. With such a specimen, it is possible to detect non-destructively the characteristics of the specimen at different points at once without using a signal compensation circuit.

【0028】次に上述のメスバウアセンサを使用するメ
スバウア検査装置の構成を説明する。図3はメスバウア
検査装置の構成を示すブロック図である。図3におい
て、2はブロック状の被検体であり、この被検体2の表
面に、本発明のメスバウアセンサ100が、その反射電
子検出センサ部4A側を以て取り付けている。トランス
デューサ12はγ線1を放射する線源11を被検体2の
方向に移動させ、ドップラー現象を起こさせるものであ
る。
Next, the configuration of a Mossbauer inspection device using the above-described Mossbauer sensor will be described. FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the Mossbauer inspection device. In FIG. 3, reference numeral 2 denotes a block-shaped subject, and the Mossbauer sensor 100 of the present invention is attached to the surface of the subject 2 with its backscattered electron detection sensor unit 4A side. The transducer 12 moves the radiation source 11 that emits the γ-ray 1 in the direction of the subject 2 to cause a Doppler phenomenon.

【0029】このトランスデューサ12によって変調さ
れたγ線1を被検体2に入射させることにより、被検体
2から反射γ線またはX線7および反射電子6が再放出
される。このうち、反射γ線X線7を検出するのが、メ
スバウアセンサ100の反射γ線X線検出センサ部5A
である。
When the γ-ray 1 modulated by the transducer 12 is incident on the subject 2, the reflected γ-ray or X-ray 7 and the reflected electrons 6 are re-emitted from the subject 2. Among them, the reflected γ-ray X-ray 7 is detected by the reflected γ-ray X-ray detection sensor 5A of the Mossbauer sensor 100.
It is.

【0030】それぞれのセンサ部4A,5Aで検出され
た信号9a,9bはプリアンプ14により増幅され、マ
ルチチャネルアナライザ15により記憶される。このマ
ルチチャネルアナライザ15はファンクションジェネレ
ータ16と同期されており、ファンクションジェネレー
タ16との相関により記憶場所を決定している。
The signals 9a and 9b detected by the respective sensor units 4A and 5A are amplified by the preamplifier 14 and stored by the multi-channel analyzer 15. The multi-channel analyzer 15 is synchronized with the function generator 16, and determines the storage location based on the correlation with the function generator 16.

【0031】ファンクションジェネレータ16はトラン
スデューサ12についている線源11の移動距離(振
幅)および移動速度を決定する装置であり、ファンクシ
ョンジェネレータ16から出力された信号はパワーアン
プ17で増幅され、線源11を駆動するトランスデュー
サ12に伝えられる。
The function generator 16 is a device for determining the moving distance (amplitude) and moving speed of the radiation source 11 attached to the transducer 12. The signal output from the function generator 16 is amplified by the power amplifier 17, It is transmitted to the transducer 12 to be driven.

【0032】このような構成の本装置において、ファン
クションジェネレータ16から目的の移動距離(振幅)
および移動速度を与える出力信号が発生されると、この
出力信号はパワーアンプ17で増幅され、トランスデュ
ーサ12に伝えられる。すると、トランスデューサ12
は上述の移動速度(振幅)、移動距離に対応した移動速
度、移動距離だけ、線源11を動かし、γ線1を変調す
る。
In the present apparatus having such a configuration, a desired moving distance (amplitude) is transmitted from the function generator 16.
When an output signal giving the speed and the moving speed is generated, the output signal is amplified by the power amplifier 17 and transmitted to the transducer 12. Then, the transducer 12
Moves the radiation source 11 by the moving speed and the moving distance corresponding to the moving speed (amplitude) and the moving distance described above, and modulates the γ-ray 1.

【0033】この変調されたγ線1による被検体2から
の反射γ線またはX線7はメスバウアセンサ100の反
射γ線X線検出センサ部5Aにより、また、反射電子6
は反射電子検出センサ部4Aにて検出され、それぞれの
検出信号9a,9bはプリアンプ14により増幅され
て、マルチチャネルアナライザ15により記憶されるこ
とで、γ線の照射により再放出された被検体2からのγ
線(あるいはX線)並びに電子を測定することができる
ようになる。なお、マルチチャネルアナライザ15に蓄
積された検出信号9a,9bはパソコン18により演算
処理され、表面の悪影響を取り除くようにしている。
The reflected γ-rays or X-rays 7 from the subject 2 due to the modulated γ-rays 1 are reflected by the reflected γ-ray X-ray detection sensor unit 5A of the Mossbauer sensor 100, and the reflected electrons 6
Is detected by the backscattered electron detection sensor unit 4A, and the respective detection signals 9a and 9b are amplified by the preamplifier 14 and stored by the multi-channel analyzer 15, so that the subject 2 re-emitted by γ-ray irradiation Γ from
It becomes possible to measure a line (or X-ray) and an electron. The detection signals 9a and 9b stored in the multi-channel analyzer 15 are subjected to arithmetic processing by the personal computer 18 so as to remove the adverse effect on the surface.

【0034】この結果、本実施例のメスバウアセンサ1
00を使用することで、γ線(あるいはX線)ばかりで
なく、γ線の照射により再放出される試料にごく近い位
置でのみ検出可能な電子をも測定することができるよう
になり、収集する対象がγ線やX線であるか、電子であ
るかにより、被検体(試料)の深さに関する情報が異な
るので、両者を測定できるようにしたことで、表面の影
響(酸化膜等)の除去や内部の構造が解析できるように
なる。
As a result, the Mossbauer sensor 1 of this embodiment
The use of 00 makes it possible to measure not only γ-rays (or X-rays) but also electrons that can be detected only at a position very close to the sample re-emitted by γ-ray irradiation. The information on the depth of the subject (sample) differs depending on whether the object to be measured is γ-rays, X-rays, or electrons, so that both can be measured, and the influence of the surface (oxide film, etc.) Removal and internal structure analysis.

【0035】以上、本発明について種々説明したが、要
するに本発明による装置は、反射電子検出センサ部の背
面に、反射X線γ線検出センサ部を配置した積層構成と
し、反射電子検出センサ部内と反射X線γ線検出センサ
部内を連通させると共に、反射電子検出センサ部の一方
の開放面を被検体に接して配置するようにし、反射X線
γ線検出センサ部の背面より、その導入路を介してγ線
を被検体に照射し、被検体より放出される電子およびX
線γ線を電子は被検体に近接する反射電子検出センサ部
により、また、X線γ線は反射X線γ線検出センサ部に
て検出することにより、1回の測定で、電子、γ線およ
びX線を同時に得ることができ、そのために被検体の異
なる深さ(表面層および内部)からの情報が一度に得ら
れるようになると言うものである。
The present invention has been described in various ways. In short, the apparatus according to the present invention has a laminated structure in which a reflected X-ray γ-ray detecting sensor is disposed on the back of a reflected electron detecting sensor. The inside of the reflection X-ray γ-ray detection sensor unit is communicated, and one open surface of the reflection electron detection sensor unit is arranged in contact with the subject. Irradiates the subject with γ-rays through the
By detecting the γ-rays of the electrons by the reflected electron detection sensor unit close to the subject, and detecting the X-ray γ-rays by the reflected X-ray γ-ray detection sensor unit, the electron and γ-ray can be measured in one measurement. And X-rays can be obtained at the same time, so that information from different depths (surface layer and inside) of the subject can be obtained at once.

【0036】そして、この結果、反射電子からは表面層
の情報が得られ、反射γ線、X線からはより内部に亙る
情報を得ることができる。また、反射γ線、X線信号と
補正した反射電子信号を演算処理するようにすれば、表
面の不純物層(酸化膜等)の影響を受けない内部の情報
を得ることができ、表面処理することなく、材料の内部
の情報を得ることができるようになる。尚、本発明は上
述した実施例に限定されるものではなく、その要旨を変
更しない範囲内で適宜、変形して実施し得るものであ
る。
As a result, information on the surface layer can be obtained from the reflected electrons, and more internal information can be obtained from the reflected γ-rays and X-rays. In addition, if arithmetic processing is performed on the reflected γ-ray and X-ray signals and the corrected reflected electron signal, it is possible to obtain internal information that is not affected by an impurity layer (such as an oxide film) on the surface, and perform the surface treatment. Without this, information inside the material can be obtained. It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the invention.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、反射電
子、X線、γ線の同時計測が可能となり、これらによっ
て、装置のコンパクト化、計測時間の短縮を図ることが
でき、また、表面状態によらず、被検体内部の情報を得
ることができるようになる。また、被検体に接して配置
するだけで良いので、2相ステンレス鋼構造物等の非破
壊検査に用いることができる等の特徴を有するメスバウ
アセンサを提供できる。
As described above, according to the present invention, simultaneous measurement of backscattered electrons, X-rays and γ-rays becomes possible, which makes it possible to reduce the size of the apparatus and the measurement time. Thus, information inside the subject can be obtained regardless of the surface state. Further, since it is only necessary to dispose the sensor in contact with the subject, it is possible to provide a Mossbauer sensor having such a feature that it can be used for nondestructive inspection of a duplex stainless steel structure or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例にかかる反射電子X線γ線
同時検出メスバウアセンサの全体構成を示すブロック
図。
FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of a Mossbauer sensor for simultaneous detection of reflected electron X-rays and γ-rays according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施例にかかる反射電子X線γ線
同時検出メスバウアセンサの全体構成を示すブロック
図。
FIG. 2 is a block diagram showing an overall configuration of a Mossbauer sensor for simultaneous detection of reflected electron X-rays and γ-rays according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明のメスバウアセンサを使用したメスバウ
ア検査装置の構成を示すブロック図。
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a Mossbauer inspection device using the Mossbauer sensor of the present invention.

【図4】従来の反射X線検出メスバウアセンサの構成を
示すブロック図。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a conventional reflected X-ray detection Mossbauer sensor.

【図5】従来の反射X線γ線検出メスバウアセンサの構
成を示すブロック図。
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a conventional reflected X-ray γ-ray detection Mossbauer sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…線源より入射するγ線 2…被検体 3…シール用Oリング 4…センサ本
体 4A…反射電子検出センサ部 4a…溝 5…センサ本体 5A…反射γ
線X線検出センサ部 5a…凹部 5b…γ線導
入路 5c…検出室 6…反射電子 7…反射γ線またはX線 8…陽極線 9a…反射γ‐X線より検出した信号 9b…反射電
子より検出した信号 10…信号補償回路 100…メス
バウアセンサ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... γ-ray incident from a radiation source 2 ... Subject 3 ... O-ring for sealing 4 ... Sensor body 4A ... Reflection electron detection sensor part 4a ... Groove 5 ... Sensor body 5A ... Reflection gamma
X-ray detection sensor section 5a ... concave section 5b ... gamma ray introduction path 5c ... detection chamber 6 ... reflected electrons 7 ... reflected gamma rays or X-rays 8 ... anode rays 9a ... signals detected from reflected gamma-X rays 9b ... reflected electrons Signal detected from 10: Signal compensation circuit 100: Mossbauer sensor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川口 聖一 兵庫県高砂市荒井町新浜二丁目1番1号 三菱重工業株式会社高砂研究所内 (72)発明者 山岡 隆 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町一丁目1番 1号 三菱重工業株式会社神戸造船所内 (56)参考文献 特開 平4−160351(JP,A) 特開 昭64−43747(JP,A) 特開 平2−131143(JP,A) 特開 平1−102348(JP,A) 特開 昭59−150333(JP,A) 特開 平3−24235(JP,A) 特公 昭50−35832(JP,B1) 実公 昭47−5836(JP,Y1) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01T 1/02 G01N 23/22 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Seichi Kawaguchi 2-1-1, Shinhama, Arai-machi, Takasago-shi, Hyogo Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Inside Takasago Research Laboratory (72) Inventor Takashi Yamaoka Wakazaki-cho, Hyogo-ku, Kobe-shi, Hyogo 1-1-1 1-1 Inside Kobe Shipyard, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. (56) References JP-A-4-160351 (JP, A) JP-A-64-43747 (JP, A) JP-A-2-131143 (JP, A) JP-A-1-102348 (JP, A) JP-A-59-150333 (JP, A) JP-A-3-24235 (JP, A) JP-B-50-35832 (JP, B1) JP-B-47 5836 (JP, Y1) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G01T 1/02 G01N 23/22

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 内部が空洞状であり、対向する2面が開
放されると共に、内部に電子収集用の陽極線を配設して
なり、前記開放された面の一方は被検体に対する接触面
となる反射電子検出用センサ部と、 この反射電子検出用センサ部の他方の開放された面側に
設けられ、中央にこの反射電子検出用センサ部の前記一
方の開放された面側に向かうγ線導入路が形成されると
共に、内部に前記反射電子検出用センサ部を経て入射す
る放射線を検出するための検出手段を設けて構成した反
射電子X線γ線検出用センサ部とを具備してなるメスバ
ウアセンサ。
1. An interior having a hollow shape, two opposing surfaces are opened, and an anode wire for electron collection is disposed inside, and one of the opened surfaces is a contact surface with a subject. A backscattered-electron detection sensor section, which is provided on the other open surface side of the backscattered-electron detection sensor section, and has a center toward the one open surface side of the backscattered-electron detection sensor section. A ray introduction path is formed, and a reflected electron X-ray γ-ray detection sensor unit configured to include a detection unit for detecting radiation incident through the reflected electron detection sensor unit inside. Messbauer sensor.
【請求項2】 反射電子の検出信号と、反射γ線X線検
出信号とを補正するための信号補償回路を設けたことを
特徴とする請求項1記載のメスバウアセンサ。
2. The Mossbauer sensor according to claim 1, further comprising a signal compensation circuit for correcting a reflected electron detection signal and a reflected γ-ray X-ray detection signal.
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