JP2970294B2 - CRT and its manufacturing method - Google Patents

CRT and its manufacturing method

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JP2970294B2 JP5839793A JP5839793A JP2970294B2 JP 2970294 B2 JP2970294 B2 JP 2970294B2 JP 5839793 A JP5839793 A JP 5839793A JP 5839793 A JP5839793 A JP 5839793A JP 2970294 B2 JP2970294 B2 JP 2970294B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、反射防止膜を備えた高
精細ブラウン管及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-definition CRT having an antireflection film and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、ブラウン管の高性能化の観点か
ら、ブラウン管の表面には様々な表面処理膜が作製され
るようになってきている。反射防止膜や帯電防止膜は、
その代表的なものである。中でも、反射防止膜は外光の
反射を抑え、ブラウン管上への映り込みを防止し、視認
性の向上を図るものであり、ブラウン管の機能面で重要
なものとなっている。反射防止膜の中でも、表面に微細
な凹凸を形成し、外来光を物理的に乱反射させるノング
レア膜は、代表的なものである。反射防止膜や帯電防止
膜の形成方法としては、CVD法やスパッタ法などがあ
るが、大がかりな真空装置が必要な上、大型パネル化の
方向に進行しているブラウン管の大面積フェース面への
成膜方法としては適しておらず、生産性などの面でも問
題が多い。このため、現在、ゾルゲル法などで作製した
塗布溶液を用い、これをスプレー又は、スピン塗布し
て、これらの膜を形成する方法が主流となっている(特
開昭61−118946号,同62−143348号)。反射防止膜の材
料としては、最表面にSiO2 薄膜を形成したものが多
い。これらの膜はSi(OR)4 などの金属アルコキシド
を原料に溶液中に無機ポリマー前駆体を生成し、この溶
液をブラウン管フェース面上にスプレー塗布した後、つ
いで150〜180℃程度の熱処理により、膜中の有機
物の加熱分解及び加熱硬化して、表面凹凸を有するSi
2 膜を形成するものである。形成した膜の表面に凹凸
が形成されているものは、ノングレア膜と呼ばれ、該ノ
ングレア膜の表面の凹凸は、外来光を拡散反射させるこ
とにより、ブラウン管フェース面への外光の映り込みを
防止し、表示画像を見やすくするものである。また、こ
れらの膜は、単層膜以外に2層以上に積層した膜を使用
することができる。また、前記ノングレア膜の下層に導
電性膜を形成し、ブラウン管表面の帯電を防止してブラ
ウン管の高性能化を図ったものもある。他にカラーブラ
ウン管において、その色彩をより明瞭にするために、ノ
ングレア膜に有機材料を含有させたり、ノングレア膜の
下層に有機染料を含有した膜を形成したものもある。一
般に、ゾルゲル法による薄膜作製方法は、膜硬化のため
に高温加熱の必要があるが、低温成膜技術の一つとし
て、特開平3−18893号に記載の方法がある。この方法
は、有機金属化合物と水とを含む溶液に、特定波長の電
磁波を照射して前記金属酸化物のプレポリマーの溶液を
塗布して薄膜を形成するか、又は、反応溶液を塗布後、
特定波長の光エネルギーを照射して、プレポリマーを形
成させ、オゾン雰囲気下で酸化して膜を形成するもので
ある。これにはブラウン管の反射防止膜については記載
されていない。
2. Description of the Related Art Recently, from the viewpoint of improving the performance of cathode ray tubes, various surface treatment films have been produced on the surface of cathode ray tubes. Anti-reflection film and anti-static film
This is a typical example. Above all, the anti-reflection film suppresses the reflection of external light, prevents reflection on the CRT, and improves visibility, and is important in terms of the function of the CRT. Among anti-reflection films, a non-glare film that forms fine irregularities on the surface and physically diffusely reflects external light is typical. As a method of forming the antireflection film or the antistatic film, there are a CVD method, a sputtering method, and the like. However, a large-scale vacuum device is required, and a large-area face surface of a cathode ray tube, which is proceeding in the direction of larger panels, is required. It is not suitable as a film forming method, and there are many problems in terms of productivity and the like. For this reason, at present, a method of forming these films by using a coating solution prepared by a sol-gel method or the like and spraying or spin-coating the solution is mainly used (Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 61-118946, 62). No. 143348). As the material of the antireflection film, there are many materials having a SiO 2 thin film formed on the outermost surface. These films generate an inorganic polymer precursor in a solution using a metal alkoxide such as Si (OR) 4 as a raw material, spray-coat the solution on the cathode ray tube face, and then heat-treat the solution at about 150 to 180 ° C. The organic matter in the film is thermally decomposed and cured by heating to form Si having surface irregularities.
This is for forming an O 2 film. A film with irregularities formed on the surface of the formed film is called a non-glare film. The irregularities on the surface of the non-glare film reflect external light on the CRT face by diffusing and reflecting external light. This makes it easier to see the displayed image. In addition, as these films, a film in which two or more layers are stacked in addition to a single-layer film can be used. In some cases, a conductive film is formed under the non-glare film to prevent the surface of the CRT from being charged, thereby improving the performance of the CRT. In addition, there is a color CRT in which an organic material is contained in a non-glare film or a film containing an organic dye is formed below the non-glare film in order to make the color more clear. In general, a thin film preparation method by a sol-gel method requires high-temperature heating to cure the film. One of the low-temperature film formation techniques is a method described in JP-A-3-18893. In this method, a solution containing an organometallic compound and water is irradiated with an electromagnetic wave of a specific wavelength to apply a solution of the metal oxide prepolymer to form a thin film, or after applying a reaction solution,
Irradiation with light energy of a specific wavelength forms a prepolymer, and oxidizes in an ozone atmosphere to form a film. This document does not describe an antireflection film of a cathode ray tube.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記した通常の方法で
のディスプレイ用コーティング膜の作製方法では、原料
に有機物を含むため、それら不純物の除去、及び薄膜の
緻密化のためには高温での熱処理が必要である。このた
め、熱処理プロセスの際、生成したSiO2 膜中に構造
欠陥であるSi欠陥が発生しやすい。このSi欠陥は、
可視光波長によって発光するため、特にカラーブラウン
管におけるR,G,B光による発光が生じ、これが原因
となり、画面の不鮮明さが生じ、問題となっている。ま
たブラウン管作製プロセス上からも、高い熱処理を与え
るため、製品内部に熱歪が生じることや、電子銃のエミ
ッション特性の劣化などの問題が生じている。またノン
グレア膜とブラウン管パネルとの熱膨張率の差により、
形成した膜に亀裂が生じたり、膜が剥離するなどの問題
があった。またそのために、ブラウン管作製プロセスに
おける焼成温度の昇降温度には、5℃/分程度で行う必
要があり、温度調整の手間と焼成に時間がかかった。ま
た、熱処理するために大型炉が必要なため、該膜作製設
備が大がかりとなり、製造コストの点からも問題となっ
ていた。本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決
するためになされたもので、低温で作製した緻密な反射
防止膜を備えた高精細ブラウン管及びその製造方法、及
び装置を提供することにある。
In the above-described method for producing a coating film for a display by the usual method, since the raw material contains an organic substance, heat treatment at a high temperature is required to remove these impurities and to densify the thin film. is necessary. Therefore, during the heat treatment process, Si defects, which are structural defects, are likely to occur in the generated SiO 2 film. This Si defect is
Since light is emitted by the wavelength of visible light, light is emitted by R, G, and B lights, particularly in a color cathode ray tube, and this causes a problem in that the screen becomes unclear. Also, from the viewpoint of the cathode ray tube manufacturing process, high heat treatment gives rise to problems such as the occurrence of thermal distortion inside the product and the deterioration of the emission characteristics of the electron gun. In addition, due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the non-glare film and the CRT panel,
There were problems such as cracks in the formed film and peeling of the film. For that purpose, it is necessary to raise and lower the baking temperature in the cathode ray tube manufacturing process at about 5 ° C./min, which takes time and labor for temperature adjustment and baking. In addition, since a large furnace is required for heat treatment, the film production equipment becomes large-scale, and there has been a problem in terms of manufacturing cost. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a high-definition CRT having a dense antireflection film manufactured at a low temperature, a method of manufacturing the same, and an apparatus therefor. .

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、基体表面の少なくとも一部に酸化ケイ
素を主成分とし、可視光領域の波長の光照射によっても
実質的に発光しない反射防止膜を備えた高精細ブラウン
管を作製したものである。またこの酸化ケイ素を主成分
とする反射防止膜中における、ケイ素の構造欠陥を10
10−1014個/cm3 である膜を形成して、高精細ブラウ
ン管としたものである。また本発明における反射防止膜
は、酸化ケイ素を主成分とし、膜中に含まれる全Si−
O−Si単位のうち、屈曲したSi−O−Si単位の割
合が30%以下であり、残りが直線的なSi−O−Si
単位である反射防止膜を作製したことを特徴とする。ま
た本発明の反射防止膜は、酸化ケイ素を主成分とし、紫
外光の250nmより190nmの吸収が小さいことを特
徴とし、またSi−O−Si対称伸縮振動に対応するピ
ークが812cm-1より高波長側に現われることを特徴と
する。上記した反射防止膜を備えた高精細ブラウン管に
おいて、酸化ケイ素以外の金属酸化物を含有し、酸化イ
ンジウム,酸化亜鉛、及び酸化アンチモンの少なくとも
一種を含むことにより導電性コーティング膜を備えた高
精細ブラウン管とすることができる。また上記の反射防
止膜は、ブラウン管フェース面上にゾルゲル法によるシ
リコンアルコキシドを含む溶液をスプレーコートし、低
温加熱すると共に紫外光照射して、作製した表面に凹凸
を形成することにより製造することができる。上記薄膜
を作製するために、本発明では、ブラウン管のパネル表
面にゾルゲル法によりM(OR)nで表示される金属アル
コキシド溶液の塗膜を形成し、該塗膜を紫外光照射によ
り硬化して、微細な凹凸膜を形成することを特徴とする
ノングレア膜を有する高精細ブラウン管の製法としたも
のである。また本発明では、ブラウン管の少なくともパ
ネル表面に帯電防止膜を作製し、帯電防止膜を形成した
ブラウン管のパネル表面にゾルゲル法により、M(OR)
nで示される金属アルコキシドを原料とする溶液の塗膜
を形成し、該塗膜を紫外光照射により硬化して微細な凹
凸膜を形成することを特徴とするノングレア膜を有する
ブラウン管の製法としたものである。前記ノングレア膜
を有するブラウン管の製法において、ノングレア膜が有
機染料を含んでいてもよいし、またブラウン管パネル面
に、下地膜として有機染料を含む被膜が形成されていて
もよい。また紫外光照射は、100℃以下の雰囲気中で
行うのがよい。更に、本発明では、前記ノングレア膜を
有するブラウン管の製造装置として、ブラウン管パネル
面にノングレア膜形成用溶液を塗布する塗布手段を備
え、前記溶液塗布後のブラウン管を移送する手段を備
え、前記塗膜を光照射する紫外光照射手段を備えている
こととしたものである。そして、上記製造装置におい
て、塗膜の紫外光照射時に該塗膜面を加熱できる加熱手
段を備えているものがよい。
In order to achieve the above object, according to the present invention, at least a part of the surface of a substrate contains silicon oxide as a main component, and does not substantially emit light even when irradiated with light having a wavelength in a visible light region. A high-definition CRT provided with an antireflection film was produced. Further, in the antireflection film containing silicon oxide as a main component, the structural defects of silicon are reduced by 10%.
A film having a density of 10 −10 14 / cm 3 was formed to obtain a high-definition CRT. Further, the antireflection film according to the present invention contains silicon oxide as a main component and contains all Si-
Among the O-Si units, the ratio of the bent Si-O-Si unit is 30% or less, and the rest is linear Si-O-Si.
It is characterized in that an antireflection film as a unit is produced. Further, the antireflection film of the present invention contains silicon oxide as a main component, is characterized in that absorption of ultraviolet light at 190 nm is smaller than 250 nm, and a peak corresponding to Si—O—Si symmetric stretching vibration is higher than 812 cm −1. It appears on the wavelength side. A high-definition cathode-ray tube provided with the above-described anti-reflection film, comprising a metal oxide other than silicon oxide and containing at least one of indium oxide, zinc oxide and antimony oxide, and having a conductive coating film. It can be. Further, the above antireflection film can be manufactured by spray-coating a solution containing silicon alkoxide by a sol-gel method on a cathode ray tube face surface, heating at a low temperature and irradiating with ultraviolet light to form irregularities on the produced surface. it can. In order to prepare the thin film, in the present invention, a coating film of a metal alkoxide solution represented by M (OR) n is formed on the panel surface of a cathode ray tube by a sol-gel method, and the coating film is cured by irradiation with ultraviolet light. And a method of manufacturing a high-definition CRT having a non-glare film characterized by forming a fine uneven film. In the present invention, an antistatic film is formed on at least the panel surface of the CRT, and the M (OR) is formed on the panel surface of the CRT on which the antistatic film is formed by a sol-gel method.
forming a coating film of a solution using a metal alkoxide represented by n as a raw material, and curing the coating film by irradiation with ultraviolet light to form a fine uneven film. Things. In the method of manufacturing a cathode ray tube having a non-glare film, the non-glare film may contain an organic dye, or a film containing an organic dye may be formed as a base film on the surface of the cathode ray tube panel. Irradiation with ultraviolet light is preferably performed in an atmosphere of 100 ° C. or lower. Further, in the present invention, as a device for manufacturing a CRT having the non-glare film, a coating device for applying a non-glare film forming solution to a CRT panel surface is provided, and a device for transferring the CRT after applying the solution is provided, Is provided with an ultraviolet light irradiation means for irradiating light. It is preferable that the above-mentioned manufacturing apparatus is provided with a heating means capable of heating the surface of the coating film when the coating film is irradiated with ultraviolet light.

【0005】[0005]

【作用】本発明のポイントは、金属アルコキシドゾルの
塗膜を形成し、これを熱エネルギーにより無機膜に変換
するゾルゲル法において、熱エネルギーの代わりに光エ
ネルギーを使用することにある。すなわち光照射により
硬化して形成したノングレア膜をブラウン管パネル面に
設ける点にある。通常、ゾルゲル法は、金属アルコキシ
ドを原料に溶液中における加水分解反応と縮合反応を基
本とし、溶液中に無機ポリマー前駆体を生成し、つい
で、この溶液を成膜し、熱処理して酸化物薄膜を得るも
のである。本発明では、このゾルゲル反応において、金
属−アルコキシ基結合の切断に必要なエネルギーを紫外
光照射により付与し、ゾルゲル反応を完遂させることが
できる。また、この溶液を成膜後、オゾンを発生させる
より短波長の光を照射し、低温で化学量論比の揃った酸
化物薄膜を得ることができる。本手法を用いれば、従来
よりも低温で緻密な薄膜を得ることができるため、ブラ
ウン管表面処理膜の作製手法としては最適である。ま
た、本発明は、紫外光照射に加熱を併用しても良い。こ
の場合の加熱温度は、これまでよりも低温度、例えば1
00℃以下で十分であり、また、短時間(10〜15分
程度)の加熱でよいので、ブラウン管内部に及ぼす熱の
影響はほとんど無い。このため、ブラウン管の電子銃の
エミッション特性への悪影響も無く、また、ブラウン管
全体の熱歪みも避けることができる。また、熱処理に伴
う膜剥れなどの発生も除去することができる。また、低
温で処理時間を短縮できるため、製造コスト,設備コス
トの大幅な低下が見込める。特に、加熱をする場合、本
手法によれば、低温でよいため加熱上昇温度を従来より
も早くすることができる。たとえば、従来の手法では1
60℃で熱処理するため、加熱上昇温度は5℃/min と
非常にゆっくりとしたものであった。本手法によれば加
熱の温度は、100℃以下でよいため加熱上昇温度は2
倍以上に早めることができる。
The point of the present invention is to use light energy instead of heat energy in the sol-gel method for forming a coating film of a metal alkoxide sol and converting it into an inorganic film by heat energy. That is, a non-glare film formed by curing by light irradiation is provided on the surface of the CRT panel. In general, the sol-gel method is based on a hydrolysis reaction and a condensation reaction in a solution using a metal alkoxide as a raw material, and forms an inorganic polymer precursor in the solution. Is what you get. In the present invention, in this sol-gel reaction, the energy necessary for breaking the metal-alkoxy group bond is applied by ultraviolet light irradiation, and the sol-gel reaction can be completed. In addition, after this solution is formed, irradiation with light having a shorter wavelength than that for generating ozone can be performed to obtain an oxide thin film having a uniform stoichiometric ratio at a low temperature. By using this method, a dense thin film can be obtained at a lower temperature than in the past, so that it is optimal as a method for producing a CRT surface treatment film. In the present invention, heating may be used in combination with ultraviolet light irradiation. The heating temperature in this case is lower than before, for example, 1
A temperature of 00 ° C. or less is sufficient, and heating for a short time (about 10 to 15 minutes) is sufficient, so that there is almost no influence of heat on the inside of the cathode ray tube. Therefore, there is no adverse effect on the emission characteristics of the electron gun of the cathode ray tube, and thermal distortion of the whole cathode ray tube can be avoided. Further, generation of film peeling and the like due to the heat treatment can also be removed. Further, since the processing time can be shortened at a low temperature, a drastic reduction in manufacturing cost and equipment cost can be expected. In particular, in the case of heating, according to the present method, since the temperature may be low, the heating rise temperature can be made faster than before. For example, in the conventional method, 1
Since the heat treatment was performed at 60 ° C., the heating rise temperature was extremely slow at 5 ° C./min. According to this method, the heating temperature may be 100 ° C. or less, so the heating temperature is 2
Can be more than doubled.

【0006】本発明のさらに良い点は、低温で化学量論
比の揃ったノングレア膜を作製することができるため、
膜中におけるSiO2 の構造欠陥を従来のものと比較し
て、大幅に減少することができることである。通常の手
法による高い温度での熱処理(150〜180℃以上)
では、膜中にSiO2 構造欠陥(E′センタ等)が生じ
るため、可視光領域の光があたるとこの領域全体に蛍光
を発する様になる。この蛍光は、カラーブラウン管の場
合、赤,青,緑のカラー3原色の鮮明さを阻害するた
め、高精細ブラウン管を開発する場合、大きな問題とな
るものである。本発明によれば、構造欠陥の極めて少な
い膜が得られるため、カラーブラウン管等のR,G,B
発光では、実質的に蛍光を生じない膜が得られる。この
ため、本発明による発光しない膜では、CRT内部から
出るR,G,Bの色を鮮明に画面上から視認者へと伝達
することができる。一方、従来の方法で作製した膜は、
可視光領域の光の照射によって数時間にわたって蛍光を
発しつづける。このため、ブラウン管面に不鮮明さを生
じる。ブラウン管の螢光体の発する発光スペクトルを測
定すると、従来の膜を形成したものでは、B,Gのスペ
クトルは余分な蛍光が重なっているため、かなり幅広な
ものとなる。しかし、本発明の膜を形成したものでは、
余分な蛍光が無いためスペクトルの半値幅は80nm以
下と、より狭いものとなり、これが色純度の向上につな
がる。
A further advantage of the present invention is that a non-glare film having a uniform stoichiometric ratio can be produced at a low temperature.
The structural defect of SiO 2 in the film can be greatly reduced as compared with the conventional one. Heat treatment at high temperature by ordinary method (150-180 ° C or higher)
In this case, since a SiO 2 structural defect (E ′ center or the like) is generated in the film, when light in the visible light region shines, the entire region emits fluorescence. In the case of a color cathode ray tube, this fluorescent light impairs the clarity of the three primary colors of red, blue and green, and this is a serious problem when developing a high definition cathode ray tube. According to the present invention, a film having very few structural defects can be obtained.
In light emission, a film that does not substantially generate fluorescence is obtained. Therefore, in the non-light emitting film according to the present invention, the colors of R, G, and B emitted from the inside of the CRT can be transmitted to the viewer from the screen clearly. On the other hand, the film produced by the conventional method
The fluorescent light is continuously emitted for several hours by irradiation with light in the visible light region. For this reason, the CRT surface becomes unclear. When the emission spectrum of the phosphor of the cathode ray tube is measured, the spectrum of B and G becomes considerably wider in the case where the conventional film is formed due to the overlap of the excess fluorescence. However, when the film of the present invention is formed,
Since there is no extra fluorescence, the half width of the spectrum is as narrow as 80 nm or less, which leads to an improvement in color purity.

【0007】また、この構造欠陥は、SiO2 ネットワ
ーク構造における欠陥であるため、膜の機械的強度及び
耐水性に大きな影響を及ぼす。膜の強度及び耐水性は、
反射防止膜であるノングレア膜がブラウン管パネルの最
表面に形成されるため、特に重要な要素である。本発明
によるSiO2 膜は、構造欠陥が少ないため、膜の強度
及び耐水性とも向上している。膜の構造欠陥及びその定
量は、電子スピン共鳴スペクトル(ESR)により測定
することができる。ESRにより推定されたSi欠陥の
量は、1010−1014個/cm3 である。図4に示すよう
に、本発明によるSiO2 膜は、160nmまで透明な
ものを作製することができるが、従来の熱処理のみの膜
では、紫外領域に吸収を持ち、200nmより短波長側
では強い吸収が生じる。これは、SiO2 膜の構造欠陥
に基づく吸収であると言われており、吸収スペクトルか
らも、膜の構造欠陥の存在を知ることができる。本発明
の手法により、熱処理時に光照射することにより、紫外
領域200nm以下の吸収と、可視光照射した際発生す
る蛍光が消滅する。これは、光照射することにより、膜
の構造欠陥が無くなったことを意味する。また、膜の分
子構造も、光照射した膜と熱処理のみの膜とでは異なる
ことが明らかとなった。膜の分子構造に関する情報は、
29Si固体NMR、またはラマン分光スペクトルの測定
により得られる。例えば、ラマン分光では、SiO2
中におけるSi−O−Si結合の屈曲性及び結合力の強
さの情報を得ることができる。ラマンスペクトルにおけ
る、Si−O−Si対称伸縮振動及び逆対称伸縮振動の
両者のピークが観察されれば、膜中のSi−O−Si結
合は屈曲した結合を多く含む。また、対称伸縮振動のみ
が観察され、逆対称伸縮振動のピークが観察されなけれ
ば、膜中のSi−O−Si結合は直線的な結合だけから
なる。屈曲したSi−O−Si結合は歪が大きいため、
これを多く含む膜の強度は弱いものとなる。また、耐水
性においても、この歪の大きなSi−O−Si結合を水
分子が攻撃しやすくなるために、耐水性は悪化する。一
方、これらラマンシフトのピーク位置が、高波数側であ
るほど強い結合が形成されている。以上のように、ラマ
ン分光においてピーク強度及び振動の種類及びラマンシ
フトの位置より、膜の分子構造の変化を半定量的に知る
ことができる。ゾルゲル法で常温で作製した膜では、弱
い対称伸縮振動と強い逆対称伸縮振動が観察され、膜中
に不安定な歪が大きな屈曲したSi−O−Si結合が多
量に含まれることが観察される。この膜を熱処理して、
次第に処理温度を上昇させていくと、両者のピーク強度
比は逆転し、数百℃で熱処理した膜では、強い対称伸縮
振動は観察されるが、逆対称伸縮振動は観察されなくな
る。すなわち、熱処理により、不安定な屈曲したSi−
O−Si結合から安定な直線状Si−O−Si結合へと
分子構造の変化が生じたことがわかる。一方、光照射し
た場合、熱処理した場合と同様なスペクトルの変化が観
察されるが、変化の生じる温度が半分以下であることが
判明した。すなわち、光照射することにより、従来より
も低温で、安定な膜を得ることができる。光照射して作
製した膜のうち、反射防止膜として、充分な強度を持つ
膜では全Si−O−Si単位のうち、屈曲したSi−O
−Si単位の割合が30%以下であり、残りが直線的な
Si−O−Si単位であることが判明した。すなわち、
この比率以上の膜で充分な強度の膜が得られることにな
る。以上のように、本発明によれば、SiO2 膜中にお
けるSi欠陥のない(少ない)また、膜中における歪の
ない直線的なSiO2 ネットワーク構造を持つノングレ
ア膜を作製することができる。これにより、高精細ブラ
ウン管を提供することができる。また、本手法は、ノン
グレア膜だけではなく、光の干渉効果を利用した積層膜
の反射防止膜にも適用できることは言うまでもない。ま
た、光照射用光源として、レーザ光を用いても良い。
[0007] Further, since this structural defect is a defect in the SiO 2 network structure, it greatly affects the mechanical strength and water resistance of the film. The strength and water resistance of the membrane
This is a particularly important element because a non-glare film as an anti-reflection film is formed on the outermost surface of the CRT panel. Since the SiO 2 film according to the present invention has few structural defects, the strength and water resistance of the film are improved. The structural defect of the film and its quantification can be measured by electron spin resonance spectrum (ESR). The amount of Si defects estimated by ESR is 10 10 -10 14 / cm 3 . As shown in FIG. 4, the SiO 2 film according to the present invention can be transparent up to 160 nm. However, a conventional heat-treated film has absorption in the ultraviolet region and is strong on the shorter wavelength side than 200 nm. Absorption occurs. This is said to be absorption based on the structural defect of the SiO 2 film, and the presence of the structural defect of the film can be known from the absorption spectrum. According to the method of the present invention, light irradiation during heat treatment eliminates absorption in the ultraviolet region of 200 nm or less and fluorescence generated upon irradiation with visible light. This means that the irradiation with light has eliminated the structural defect of the film. It was also found that the molecular structure of the film was different between the light-irradiated film and the heat-treated film. Information on the molecular structure of the membrane
It can be obtained by measurement of 29 Si solid state NMR or Raman spectroscopy. For example, Raman spectroscopy can provide information on the flexibility and strength of the Si—O—Si bond in the SiO 2 film. If peaks of both the Si—O—Si symmetric stretching vibration and the antisymmetric stretching vibration are observed in the Raman spectrum, the Si—O—Si bond in the film contains many bent bonds. If only the symmetric stretching vibration is observed and the peak of the inverse symmetric stretching vibration is not observed, the Si—O—Si bond in the film consists of only a linear bond. Since the bent Si—O—Si bond has a large strain,
The strength of the film containing a large amount of this is low. Water resistance also deteriorates because water molecules easily attack the Si-O-Si bond having a large strain. On the other hand, the stronger the peak position of the Raman shift is on the higher wave number side, the stronger the coupling is formed. As described above, the change in the molecular structure of the film can be semi-quantitatively known from the peak intensity, the type of vibration, and the position of the Raman shift in Raman spectroscopy. In films prepared at room temperature by the sol-gel method, weak symmetric stretching vibration and strong antisymmetric stretching vibration are observed, and a large amount of unstable Si-O-Si bonds with unstable strain is observed in the film. You. Heat-treat this film,
When the treatment temperature is gradually increased, the peak intensity ratio of the two is reversed, and in the film heat-treated at several hundred degrees Celsius, strong symmetric stretching vibration is observed, but inverse symmetric stretching vibration is not observed. That is, an unstable bent Si-
It can be seen that the molecular structure changed from the O-Si bond to a stable linear Si-O-Si bond. On the other hand, in the case of light irradiation, a change in spectrum similar to that in the case of heat treatment was observed, but it was found that the temperature at which the change occurred was less than half. That is, by irradiating light, a stable film can be obtained at a lower temperature than before. Among films made by irradiating light, a film having sufficient strength as an anti-reflection film has a bent Si-O of all the Si-O-Si units.
It was found that the proportion of -Si units was 30% or less, and the balance was linear Si-O-Si units. That is,
A film having a sufficient strength can be obtained with a film having a ratio of not less than this ratio. As described above, according to the present invention, a non-glare film having no (small) Si defects in the SiO 2 film and having a linear SiO 2 network structure without distortion in the film can be produced. Thereby, a high-definition CRT can be provided. In addition, it goes without saying that the present method can be applied not only to the non-glare film but also to an anti-reflection film of a laminated film utilizing the light interference effect. Alternatively, laser light may be used as a light irradiation light source.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

(実施例1)テトラエトキシシラン,水,エタノール,
硝酸をモル比で、1:12:45:0.25 の割合で混
合して原料溶液とした。この溶液を作製して、すぐに、
ブラウン管フェース面にスプレーコーティングした。こ
の薄膜上に、90℃で加熱しながら254nm(10m
W/cm2)、ついで184nm(1mW/cm2)の光を1
0分間照射した。このブラウン管の表示画面は、蛍光体
(R,G,B)の発光による、ノングレア膜の無用な発
光が生じないため、色彩,色調度の極めて高いブラウン
管が製造できた。図1に蛍光体(R,G,B)の発光ス
ペクトルを示す。本発明のブラウン管のものは(点
線)、従来のもの(実線)に比べ、その半値幅が狭いた
め、色純度が向上した。また、表面は、高さが0.2−
0.3μm,幅が30μm程度の凹凸を持つ反射防止機
能の膜が作製されているため、反射率1%以下の反射の
少ない高精細ブラウン管を作製することができた。次に
本実施例で作製した反射防止膜及び従来の熱処理のみの
方法で作製した反射防止膜について、その性質を比較し
て示す。図2は、160℃で熱処理した膜に、490n
mの可視光を照射したときのノングレア膜の発光スペク
トルを示したものである。530nm付近にピークを持
ち、可視光領域全域にわたり、幅広な発光スペクトルを
示す。この発光は、可視光領域全般にわたっているた
め、画面は、緑白色発光が生じた状態となる。また、こ
の発光強度を時間に対してプロットしたものを図3に示
す。この発光は、かなり長時間にわたり続く。またこの
発光は、カラーブラウン管の蛍光体RGB発光のスペク
トルに重なりあうため、画像の不鮮明さを生じさせる。
一方、光照射して作製した膜では、このような発光は観
察されない。このため、高精細ブラウン管を作製するこ
とが可能となった。この発光は、膜の欠陥構造によるこ
とが知られており、ESRよりE′センタの存在が確認
された。また、その量は1017個/cm3 であった。一
方、光照射膜ではその存在は、確認されない。図4に膜
の吸収スペクトルを示す。熱処理膜は、紫外光領域に吸
収を持ち、200nm付近よりその吸収強度が立ち上が
る。この吸収は、SiO2の構造欠陥に基づく吸収と言われ
ており、吸収スペクトルからも、熱処理膜の構造欠陥が
推定される。一方、光処理膜では、このような吸収は観
察されない。図5には、膜の分子構造についての情報が
得られる光照射した膜のラマンスペクトルの変化を示
す。図中(a),(b),(c)はそれぞれSi−O−Si
対称伸縮振動,Si−OH,Si−O−Si逆対称伸縮
振動である。光照射すると(c)のピークが減じ、
(a)のピークが増加していることがわかる。(c)は
屈曲したSi−O−Siの結合に対応したピークであ
り、次第に屈曲した構造が直線性の構造に変化している
ものと推定される。同様な変化は、従来の方法では、高
い処理温度で生じる。このスペクトルより90℃光処理
膜において、屈曲性と直線性のSi−O−Si単位を見
積ったところ、屈曲したSi−O−Si単位が10%
で、残りは、直線性のSi−O−Si単位であることが
判明した。図6には、(a)のSi−O−Si対称伸縮
振動ピーク位置の変化を示す。処理温度の増加と共にこ
のピーク位置は高波数側へ移行し、結合が強まっている
ことが観察される。90℃光処理膜のピーク位置は81
2.5cm-1 であり、この位置は、160℃熱処理膜に匹
敵する。すなわち光処理することにより低温で、高い温
度で処理したものに匹敵する強いネットワーク構造のも
のが得られた。
(Example 1) Tetraethoxysilane, water, ethanol,
Nitric acid was mixed at a molar ratio of 1: 12: 45: 0.25 to obtain a raw material solution. After making this solution,
The face of the cathode ray tube was spray-coated. On this thin film, 254 nm (10 m
W / cm 2 ) and then 184 nm (1 mW / cm 2 ) light
Irradiated for 0 minutes. On the display screen of the cathode ray tube, unnecessary light emission of the non-glare film due to light emission of the phosphors (R, G, B) does not occur, so that a cathode ray tube with extremely high color and tone can be manufactured. FIG. 1 shows the emission spectrum of the phosphor (R, G, B). The CRT of the present invention (dotted line) has a smaller half-width than that of the conventional CRT (solid line), and therefore has improved color purity. The surface has a height of 0.2-
Since a film having an anti-reflection function having irregularities of about 0.3 μm and a width of about 30 μm was produced, a high-definition CRT with a reflectance of 1% or less and little reflection could be produced. Next, the properties of the anti-reflection film manufactured in this example and the anti-reflection film manufactured by the conventional method using only heat treatment are shown in comparison. FIG. 2 shows that the film heat-treated at 160 ° C.
3 shows an emission spectrum of the non-glare film when irradiating visible light of m. It has a peak around 530 nm and shows a broad emission spectrum over the entire visible light region. Since this light emission extends over the entire visible light region, the screen is in a state where green-white light emission has occurred. FIG. 3 shows the luminescence intensity plotted against time. This emission lasts for a fairly long time. This emission overlaps with the spectrum of the phosphor RGB emission of the color cathode ray tube, thereby causing an image to be unclear.
On the other hand, such light emission is not observed in a film formed by light irradiation. For this reason, it has become possible to produce a high-definition CRT. This light emission is known to be due to the defect structure of the film, and ESR confirmed the presence of the E 'center. The amount was 10 17 pieces / cm 3 . On the other hand, its existence is not confirmed in the light irradiation film. FIG. 4 shows the absorption spectrum of the film. The heat-treated film has absorption in the ultraviolet region, and its absorption intensity rises from around 200 nm. This absorption is called absorption based on the structural defect of SiO 2, and the structural defect of the heat-treated film is estimated from the absorption spectrum. On the other hand, such absorption is not observed in the light-treated film. FIG. 5 shows a change in Raman spectrum of a light-irradiated film from which information on the molecular structure of the film can be obtained. In the figure, (a), (b) and (c) are Si-O-Si, respectively.
Symmetrical stretching vibration, Si-OH, Si-O-Si inverse symmetrical stretching vibration. When light is irradiated, the peak of (c) decreases,
It can be seen that the peak of (a) has increased. (C) is a peak corresponding to a bent Si—O—Si bond, and it is presumed that the bent structure gradually changes to a linear structure. Similar changes occur in conventional methods at high processing temperatures. Estimation of the flexibility and linearity of the Si—O—Si unit in the 90 ° C. light-treated film from this spectrum revealed that the bent Si—O—Si unit was 10%.
The remainder was found to be linear Si-O-Si units. FIG. 6 shows the change in the Si—O—Si symmetric stretching vibration peak position in FIG. As the processing temperature increases, this peak position shifts to a higher wavenumber side, and it is observed that the coupling is strengthened. The peak position of the 90 ° C. light-treated film is 81
2.5 cm -1, which is comparable to a 160 ° C. heat treated film. In other words, a low-temperature, strong network structure comparable to that processed at a high temperature was obtained by light treatment.

【0009】(実施例2)テトラエトキシシラン,水,
エタノール,硝酸をモル比で、1:12:45:0.2
5の割合で混合し、直径0.1μm以下の酸化アンチモ
ンを含有した酸化スズ(Sb/Sn=5mol%)の微粒子
をテトラエトキシシランに対して等量加えて、それらを
均一に分散させて原料溶液とした。この溶液をブラウン
管表面にスプレーコートし、成膜した。この膜に90℃
で加熱しながら254nm(10mW/cm2)、ついで
184nm(1mW/cm2)の光を10分間照射した。
作製した膜は、SiO2 マトリックス中に導電性の酸化
アンチモンを含有した酸化スズの微粒子が均一に分散し
た状態となっている。この膜の抵抗は、表面抵抗で10
9Ω/□であった。本手法を用いて作製した帯電防止兼
反射防止膜は、従来問題となっていた高熱処理によるブ
ラウン管内部に与える悪影響もなく、良好な性能を示し
た。図7は、ブラウン管のスイッチオンついでオフ以
降、パネル最外表面で観測される誘導電圧が減衰する帯
電特性を示したものである。図中(a)は、反射防止膜
のみのもの、(b)は、本実施例のものである。酸化ス
ズを含まないものは、誘導電圧が0になるのに5分以上
を要するのに対して、本実施例の膜を付けたものでは、
数秒で誘導電圧が0になるのが確かめられた。本実施例
の膜は、また、反射防止機能も良好であった。
Example 2 Tetraethoxysilane, water,
Ethanol and nitric acid in a molar ratio of 1: 12: 45: 0.2
Of tin oxide (Sb / Sn = 5 mol%) containing antimony oxide having a diameter of 0.1 μm or less is added in an equal amount to tetraethoxysilane, and they are uniformly dispersed. The solution was used. This solution was spray-coated on the surface of a cathode ray tube to form a film. 90 ° C for this film
While heating at 254 nm, light of 254 nm (10 mW / cm 2 ) and then 184 nm (1 mW / cm 2 ) were irradiated for 10 minutes.
The prepared film is in a state in which fine particles of tin oxide containing conductive antimony oxide are uniformly dispersed in a SiO 2 matrix. The resistance of this film is 10
It was 9 Ω / □. The antistatic and antireflection film produced using this method showed good performance without adverse effects on the inside of the cathode ray tube due to high heat treatment, which had been a problem in the past. FIG. 7 shows the charging characteristics in which the induced voltage observed on the outermost surface of the panel attenuates after the CRT is switched on and then off. In the figure, (a) is for only the anti-reflection film, and (b) is for this embodiment. Those containing no tin oxide require 5 minutes or more for the induced voltage to become zero, whereas those provided with the film of this example provide:
It was confirmed that the induced voltage became 0 in a few seconds. The film of this example also had a good antireflection function.

【0010】(実施例3)テトラエトキシシラン,水,
エタノール,硝酸をモル比で、1:12:45:0.2
5の割合で混合し、これに直径0.1μm以下の酸化ス
ズを含有した酸化インジウム(Sn/In=5mol%)の
微粒子をテトラエトキシシランに対して等量加えて、そ
れらを均一に分散させて原料溶液とした。この溶液をブ
ラウン管表面にスプレーコートし、成膜した。この膜に
90℃で加熱しながら254nm(10mW/cm2)、ついで
184nm(1mW/cm2)の光を10分間照射した。
作製した膜は、SiO2 マトリックス中に導電性の酸化
スズを含有した酸化インジウムの微粒子が均一に分散し
た状態となっている。この膜の抵抗は、表面抵抗で10
9Ω/□ であった。本手法を用いて作製した帯電防止兼
反射防止膜は、従来問題となっていた高熱処理によるブ
ラウン管内部に与える悪影響もなく、良好な性能を示し
た。この膜は、スイッチオン時にも発光がなく、また、
反射防止及び帯電防止の両機能を持っているため、高精
細なブラウン管が得られた。
Example 3 Tetraethoxysilane, water,
Ethanol and nitric acid in a molar ratio of 1: 12: 45: 0.2
5 and mixed with an equal amount of fine particles of indium oxide (Sn / In = 5 mol%) containing tin oxide having a diameter of 0.1 μm or less with respect to tetraethoxysilane to uniformly disperse them. To obtain a raw material solution. This solution was spray-coated on the surface of a cathode ray tube to form a film. The film was irradiated with light of 254 nm (10 mW / cm 2 ) and then at 184 nm (1 mW / cm 2 ) for 10 minutes while heating at 90 ° C.
The prepared film has a state in which fine particles of indium oxide containing conductive tin oxide are uniformly dispersed in a SiO 2 matrix. The resistance of this film is 10
9 Ω / □. The antistatic and antireflection film produced using this method showed good performance without adverse effects on the inside of the cathode ray tube due to high heat treatment, which had been a problem in the past. This film does not emit light when the switch is turned on,
Since it has both antireflection and antistatic functions, a high-definition CRT was obtained.

【0011】(実施例4)テトラエトキシシラン,水,
エタノール、硝酸をモル比で、1:12:45:0.2
5の割合で混合し,直径0.1μm以下の酸化アンチモ
ンを含有した酸化スズ(Sb/Sn=5mol%)の微粒子
をテトラエトキシシランに対して等量加えて、それらを
均一に分散させて原料溶液とした。この溶液をブラウン
管表面にスプレーコートし、成膜した。ついで、テトラ
エトキシシラン,水,エタノール,硝酸をモル比で、
1:12:45:0.25の割合で混合した溶液をブラ
ウン管フェース面にスプレーコーティングした。この薄
膜上に、90℃で加熱しながら254nm(10mW/
cm2)、ついで184nm(1mW/cm2)の光を10分
間照射した。このブラウン管は、2層膜が形成されてお
り、下層は帯電防止膜、上層は反射防止機能を持つ膜で
ある。このブラウン管は、可視光領域に編な発光がない
ため、高精細であった。また、反射防止及び帯電防止の
両機能も良好であった。
Example 4 Tetraethoxysilane, water,
Ethanol and nitric acid in a molar ratio of 1: 12: 45: 0.2
Of fine particles of tin oxide (Sb / Sn = 5 mol%) containing antimony oxide having a diameter of 0.1 μm or less are added to tetraethoxysilane in an equal amount, and they are uniformly dispersed to obtain a raw material. The solution was used. This solution was spray-coated on the surface of a cathode ray tube to form a film. Next, tetraethoxysilane, water, ethanol, and nitric acid are used in a molar ratio.
A solution mixed at a ratio of 1: 12: 45: 0.25 was spray-coated on the face of the cathode ray tube. On this thin film, 254 nm (10 mW /
cm 2 ) and then at 184 nm (1 mW / cm 2 ) for 10 minutes. The cathode ray tube has a two-layer film, the lower layer is an antistatic film, and the upper layer is a film having an antireflection function. This cathode-ray tube had high definition because there was no knitted light emission in the visible light region. In addition, both antireflection and antistatic functions were good.

【0012】(実施例5)テトラエトキシシラン,水,
エタノール,硝酸をモル比で、1:12:45:0.2
5 の割合で混合した溶液に、570nm付近に吸収波
長を持つキナクドリン系の耐光性有機染料のエタノール
溶液をテトラエトキシシランに対して約5mol%加え
た。この溶液をブラウン管上にスピンコート(150r
pm)して膜を形成した。ついで、この膜上にテトラエ
トキシシラン,水,エタノール,硝酸をモル比で、1:
12:45:0.25 の割合で混合した溶液を実施例1
で示したものと同様な方法で反射防止膜を形成した。こ
のようにして作製したブラウン管は、人間の視感感度が
最も高い550−570nmに吸収を持つ膜が形成され
ているため、外来光の550−570nm付近の光を吸
収し、反射防止機能を高める。このようにして高精細な
ブラウン管を作製した。
Example 5 Tetraethoxysilane, water,
Ethanol and nitric acid in a molar ratio of 1: 12: 45: 0.2
To the solution mixed at a ratio of 5 was added about 5 mol% of an ethanol solution of a quinacudrine-based light-fast organic dye having an absorption wavelength near 570 nm, based on tetraethoxysilane. This solution was spin-coated on a CRT (150 r
pm) to form a film. Then, on this film, tetraethoxysilane, water, ethanol and nitric acid in a molar ratio of 1: 1:
Example 1 was prepared by mixing a solution mixed at a ratio of 12: 45: 0.25.
An anti-reflection film was formed in the same manner as shown in the above. The cathode ray tube manufactured in this manner has a film having absorption at 550-570 nm, which is the highest in human luminous sensitivity, and therefore absorbs light in the vicinity of 550-570 nm of extraneous light to enhance the antireflection function. . Thus, a high-definition cathode ray tube was manufactured.

【0013】(実施例6)図8に高性能ブラウン管のノ
ングレア膜の製造装置の概略図を示す。塗膜を形成する
ブラウン管は、フード16内を移動するコンベア14上
の固定台15に取り付けられ、膜形成用溶液貯蔵タンク
18から導入される該溶液をスプレーガン13により、
ブラウン管11のパネル面に吹き付け塗布する。塗膜形
成後のブラウン管はコンベア14によって移送され、金
属アルコキシド溶液に対応した波長の光及びオゾンの発
生のための紫外線ランプ17が設けられたフード16内
に移送され、前記と膜の硬化に必要な光の照射を受け
る。膜形成用溶液貯蔵タンク18にはノングレア膜,ノ
ングレア帯電防止膜,色付きノングレア膜等必要な膜形
成溶液を入れスプレーガン13に送液することができ
る。この製造装置では従来のように加熱する必要がない
ので経済的であり、加熱炉が不要なため装置も小型化で
きる。また、紫外光照射時に100℃以下の加熱を併用
すればより硬化を促進することができるが、この場合の
加熱はフード16内へ加熱空気を挿入することで、十分
目的を達成することができる。
(Embodiment 6) FIG. 8 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a non-glare film of a high-performance CRT. The CRT for forming a coating film is attached to a fixed base 15 on a conveyor 14 moving in a hood 16, and the solution introduced from a film forming solution storage tank 18 is sprayed by a spray gun 13.
Spray coating is applied to the panel surface of the cathode ray tube 11. The CRT after the coating is formed is transferred by a conveyor 14 and transferred into a hood 16 provided with an ultraviolet lamp 17 for generating light having a wavelength corresponding to the metal alkoxide solution and ozone, and necessary for curing the film. Receiving the best light. The film forming solution storage tank 18 can contain a necessary film forming solution such as a non-glare film, a non-glare antistatic film, and a colored non-glare film, and can send it to the spray gun 13. This manufacturing apparatus is economical because there is no need for heating as in the prior art, and the apparatus can be downsized because a heating furnace is not required. In addition, curing can be further promoted by using heating of 100 ° C. or less at the time of irradiation with ultraviolet light. In this case, heating can be achieved sufficiently by inserting heated air into the hood 16. .

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明によれば、低温で緻密な反射防止
膜を作製することができる。この薄膜は、膜の欠陥が無
いため、螢光体の光が照射されても余分な発光を生じ無
い。このため、従来のものと比べ、色純度の向上した高
精細なブラウン管を作製することができる。また、極め
て低温かつ短時間で膜を形成できるため、コスト低減に
大きな効果を及ぼす。
According to the present invention, a dense antireflection film can be manufactured at a low temperature. Since this thin film has no defects in the film, it does not emit extra light even when irradiated with phosphor light. For this reason, a high-definition CRT with improved color purity can be manufactured as compared with the conventional one. In addition, since the film can be formed at a very low temperature in a short time, it has a great effect on cost reduction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】カラーテレビ螢光体の発光スペクトルの比較
(点線−光処理膜,実線−熱処理膜)。
FIG. 1 is a comparison of emission spectra of color television phosphors (dotted line—light treated film, solid line—heat treated film).

【図2】熱処理膜の発光スペクトル。FIG. 2 is an emission spectrum of a heat-treated film.

【図3】熱処理膜の発光スペクトルの時間変化。FIG. 3 is a time change of an emission spectrum of a heat-treated film.

【図4】光処理膜,熱処理膜の吸収スペクトル(a−熱
処理膜,b−光処理膜)。
FIG. 4 shows absorption spectra of a light-treated film and a heat-treated film (a-heat-treated film, b-light-treated film).

【図5】光処理膜のラマンスペクトルの変化。FIG. 5 is a graph showing a change in a Raman spectrum of a light-treated film.

【図6】光処理膜におけるSi−O−Si対称伸縮振動
の処理温度依存性。
FIG. 6 shows the processing temperature dependence of Si—O—Si symmetric stretching vibration in the optical processing film.

【図7】スイッチ印加時のブラウン管表面上に誘導され
る電圧。
FIG. 7 shows a voltage induced on the surface of a cathode ray tube when a switch is applied.

【図8】ブラウン製造設備。FIG. 8 is a brown production facility.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…ブラウン管、12…形成膜、13…スプレーガ
ン、14…コンベア、15…固定台、16…フード、1
7…光照射用ランプ、18…膜形成用溶液貯蔵タンク。
11 ... CRT, 12 ... Forming film, 13 ... Spray gun, 14 ... Conveyor, 15 ... Fixed table, 16 ... Hood, 1
7 ... Light irradiation lamp, 18 ... Film formation solution storage tank.

フロントページの続き (72)発明者 高橋 研 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所 日立研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−118932(JP,A) 特開 平3−197572(JP,A) 特開 昭64−41149(JP,A) 特開 平1−154445(JP,A) 特開 平5−107403(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01J 29/88 H01J 29/89 C03C 17/25 Continuation of front page (72) Inventor Ken Takahashi 4026 Kuji-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi, Ltd. Hitachi Research Laboratory (56) References JP-A-61-118932 (JP, A) JP-A-3-197572 (JP) JP-A-64-41149 (JP, A) JP-A-1-154445 (JP, A) JP-A-5-107403 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB Name) H01J 29/88 H01J 29/89 C03C 17/25

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ガラス基板と、 該ガラス基板上にゾルゲル法でシリコンアルコキシドを
含む溶液をスプレーコートした後、熱処理しながら光照
射して形成した反射防止膜とからなるブラウン管であっ
て、該反射防止膜が50−50nmの光を吸収する
有機染料を含むことを特徴とするブラウン管。
1. A cathode ray tube comprising: a glass substrate; and an antireflection film formed by spray-coating a solution containing silicon alkoxide on the glass substrate by a sol-gel method and then irradiating with light while performing heat treatment. CRT which comprises an organic dye barrier layer absorbs light of 5 5 0-5 7 0nm.
【請求項2】ガラス基板と、 該ガラス基板上にゾルゲル法でシリコンアルコキシドを
含む溶液をスプレーコートした後、熱処理しながら光照
射して形成した反射防止膜とからなるブラウン管であっ
て、該ガラス基板と該反射防止膜との間に50−5
0nmの光を吸収する有機染料を含む皮膜が形成されて
いることを特徴とするブラウン管。
2. A glass substrate was a solution spray coating a containing silicon alkoxide by a sol-gel method on the glass substrate, a cathode ray tube consisting of an anti-reflection film formed by irradiation with heat treatment, the glass 5 between the substrate and the antireflection film 5 0-5 7
A cathode ray tube having a film containing an organic dye that absorbs 0 nm light .
【請求項3】ゾルゲル法により、M(OR)n(M:金
属,R:低級アルキル基,n:整数)で示される金属ア
ルコキシド溶液の塗膜を形成する塗膜工程と、 該塗膜を熱処理しながら紫外光照射により硬化する硬化
工程とからなることを特徴とする反射防止膜を有するブ
ラウン管の製法。
3. A coating step of forming a coating film of a metal alkoxide solution represented by M (OR) n (M: metal, R: lower alkyl group, n: integer) by a sol-gel method; CRT production method having an antireflection film characterized by comprising a curing step of curing by ultraviolet irradiation with heat treatment.
【請求項4】ブラウン管のパネル面に反射防止膜形成用
溶液を塗布する手段と、 前記溶液塗布後のブラウン管を移送する手段と、 前記塗膜を加熱できる手段と、 前記塗膜を熱処理しながら、前記塗膜を光硬化する光照
射手段を備えていることを特徴とする反射防止膜を有す
るブラウン管の製造装置。
4. A means for applying a solution for forming an anti-reflection film on a panel surface of a cathode ray tube, a means for transferring the cathode ray tube after the application of the solution, a means for heating the coating film, and a heat treatment for the coating film. An apparatus for producing a CRT having an anti-reflection film, comprising a light irradiation means for photo-curing the coating film.
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