JP2948096B2 - Thin coil - Google Patents

Thin coil

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conductive thin
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寿政 小林
隆文 桑沢
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、薄型コイルに関する。
更に詳述すると本発明は、棒状の導電性薄膜巻回体をス
ライスして得られる薄型コイルに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin coil.
More specifically, the present invention relates to a thin coil obtained by slicing a rod-shaped conductive thin film roll.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、導電性薄膜を巻いた棒状の薄膜巻
回体をスライスすることによって得られる薄型コイル
は、スライス砥粒を用いてスライスされる際に切断面の
溶着やばりを生じさせるためそのままでは層間でショー
ト(短絡)を起こしてしまう。そこで、薄型コイルのス
ライス面の導体のばりや溶着部分をエッチング処理によ
り除去して各層の導電性薄膜の間での短絡(層間シヨー
ト)を除くようにしている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a thin coil obtained by slicing a rod-shaped thin film wound around a conductive thin film causes welding or burrs on a cut surface when sliced using slice abrasive grains. Therefore, short-circuiting (short-circuiting) occurs between layers as it is. Therefore, the burrs and welded portions of the conductor on the slice surface of the thin coil are removed by etching to remove short-circuits (interlayer shorts) between the conductive thin films of the respective layers.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の薄型コイルによると、スライス面の導体・導電性薄
膜のばりや溶着等を取り除いて導電性薄膜の層間ショー
トをなくしていたにもかかわらず、原因不明の導通が起
きていた。
However, according to this conventional thin coil, although the burrs and welding of the conductor / conductive thin film on the slice surface are removed, interlayer short-circuit of the conductive thin film is eliminated. An unknown continuity had occurred.

【0004】そこで、本発明は、層間ショートが少なく
かつ銅薄膜の傷つ付きを防ぐことができる薄型コイルを
提供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a thin coil in which interlayer short-circuit is small and the copper thin film can be prevented from being damaged.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明者等が種々検討した結果、絶縁材と接着剤か
ら成る絶縁層によって絶縁されているはずの導電性薄膜
の層と層とが実際には砥粒によって導通していることを
知見するに到った。
In order to achieve the above object, the present inventors have conducted various studies, and as a result, have found that the layers of a conductive thin film which should be insulated by an insulating layer made of an insulating material and an adhesive. Actually came to know that they were electrically conducted by the abrasive grains.

【0006】一般に、スライス加工によって導電性薄膜
巻回体から切り出された薄型コイルは、スライス面の表
面で導体薄膜のばりや溶着などに起因する層間ショート
が発生していることは知られている。しかし、実際には
図2に示すようにスライス面104の表面よりも深い所
でも絶縁が導電性薄膜103に食い込んだ砥粒105に
よって破られ層間ショートを起こしている現象(以下こ
の現象をスライスダメージと言い、それが起きている層
をスライスダメージ層と言う)が本発明者等によって確
認された。そして、そのダメージ深さは、使用砥粒径が
大きくなればなるほど比例して深くなっていることも解
った。尚、符号102は絶縁層である。
Generally, it is known that a thin coil cut out of a conductive thin film roll by slicing causes an interlayer short-circuit due to burrs or welding of the conductive thin film on the surface of the slice surface. . However, in practice, as shown in FIG. 2, even at a depth deeper than the surface of the slice surface 104, the insulation is broken by the abrasive grains 105 that have penetrated the conductive thin film 103, causing an interlayer short circuit (hereinafter, this phenomenon is referred to as slice damage). And the layer in which this occurs is called a slice damage layer). It was also found that the depth of the damage increased in proportion to the abrasive grain size. Incidentally, reference numeral 102 denotes an insulating layer.

【0007】即ち、層間ショートは、スライス面の表面
の層間ショートとスライス砥粒の食い込みによるスライ
スダメージによる層間ショートの2種類がある。したが
って、層間ショートはスライス面の表面の導電性薄膜の
ばりや溶着等を除くだけではなく、スライスダメージ層
まで完全に除去しなければ完全に防ぐことができないこ
とを知見するに至った。
That is, there are two types of interlayer short-circuits: interlayer short-circuits on the surface of the slice surface and interlayer short-circuits due to slice damage caused by bite of slice abrasive grains. Therefore, it has been found that interlayer short-circuiting cannot be completely prevented unless the conductive thin film on the surface of the slice is not completely removed until the slice damage layer is completely removed.

【0008】本発明は、かかる知見に基づいて為された
ものであって、絶縁層を設けた導電性薄膜を巻回した棒
状の導電性薄膜巻回体をスライスして得られる薄型コイ
ルにおいて、スライス面に露出する絶縁層が導電性薄膜
よりも突出しており、絶縁層の突出量は少なくとも導電
性薄膜巻回体のスライスに用いた砥粒の平均粒径のほぼ
半分以上の高さであるようにしている。
The present invention has been made on the basis of the above findings, and a thin coil obtained by slicing a rod-shaped conductive thin film wound around a conductive thin film provided with an insulating layer, The insulating layer exposed on the slice surface protrudes from the conductive thin film, and the amount of protrusion of the insulating layer is at least conductive.
Of the average grain size of the abrasive grains used for slicing the conductive thin film roll
At least half the height.

【0009】また、本発明の薄型コイルの絶縁層の突出
は、スライス面をエッチング処理して形成するようにし
ている。
Further , the protrusion of the insulating layer of the thin coil of the present invention.
Should be formed by etching the sliced surface.
ing.

【0010】[0010]

【作用】したがって、導電性薄膜は、スライス面表面の
ばりや溶着等は勿論のこと、食い込んだ砥粒も除かれ
る。特に、絶縁層の突出量をスライスに使用した砥粒の
平均粒径のほぼ半分程度に少なくとも達するようにして
いるので、絶縁層の突出をスライス面をエッチング処理
して形成した場合、基準化された画一的エッチング処理
としても、砥粒が食い込んだスライスダメージ層はほぼ
完全に除去される。そして、砥粒による導通が除かれ
る。
Therefore, the conductive thin film not only removes burrs and welds on the surface of the slice surface, but also removes abrasive grains that have penetrated. In particular, so as to at least reach about almost half of the average grain size of the abrasive grains used for slicing amount of protrusion of the insulating layer
Since the insulation layer is projected, the slice surface is etched.
In this case, the slice damage layer in which the abrasive grains have penetrated is almost completely removed even with a standardized uniform etching process. Then, conduction by the abrasive grains is removed.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The construction of the present invention will be described below in detail with reference to the embodiments shown in the drawings.

【0012】図1に本発明の薄型コイルの一実施例を示
す。この薄型コイル1は、絶縁材と接着剤あるいは絶縁
機能を有する接着剤から成る絶縁層2を一方の面に形成
した導電性薄膜3を巻回した棒状の導電性薄膜巻回体を
所定厚みに砥粒を用いてスライスすることによって得ら
れる。そして、スライス面4において絶縁層2が導電性
薄膜3よりも突出して形成されている。ここで、絶縁層
2の突出量H、即ちスライス面4からの導電性薄膜3の
凹み量は砥粒の食い込みによって損傷したスライスダメ
ージ層を少なくとも除去し得る程度、より好ましくはス
ライスダメージ層よりやや深めとなるように設けられて
いる。
FIG. 1 shows an embodiment of a thin coil according to the present invention. The thin coil 1 has a rod-shaped conductive thin film wound around a conductive thin film 3 having an insulating layer 2 made of an insulating material and an adhesive or an adhesive having an insulating function formed on one surface, and having a predetermined thickness. It is obtained by slicing using abrasive grains . The insulating layer 2 is formed on the slice surface 4 so as to protrude from the conductive thin film 3. Here, the amount of protrusion H of the insulating layer 2, that is, the amount of dent of the conductive thin film 3 from the slice surface 4 is such that at least the slice damage layer damaged by the penetration of abrasive grains can be removed, and more preferably slightly more than the slice damage layer. It is provided to be deeper.

【0013】絶縁層2の導電性薄膜3からの突出は、例
えばスライス面をエッチング処理することによって形成
される。エッチング処理の目安としては、スライスに使
用した砥粒の平均粒径のほぼ半分の深さまで行うことが
好ましい。この場合には砥粒の食い込みで損傷したスラ
イスダメージ層をほぼ完全に除去できることが解った。
ここで、エッチングの深さとエッチング処理時間との間
には比例関係が成り立っているので、エッチング条件が
一定であれば処理時間の制御によってエッチング深さを
所望の量にできる。
The protrusion of the insulating layer 2 from the conductive thin film 3 is formed, for example, by etching the slice surface. As a guide for the etching treatment, it is preferable to perform the etching to a depth of about half the average particle diameter of the abrasive grains used for slicing. In this case, it was found that the slice damage layer damaged by the penetration of the abrasive grains could be almost completely removed.
Here, since a proportional relationship is established between the etching depth and the etching processing time, if the etching conditions are constant, the etching depth can be made a desired amount by controlling the processing time.

【0014】以上のように構成された薄型コイルによる
と、スライス面から深くエッチングされた導電性薄膜部
分には砥粒が残っておらず、層間ショートをほぼ完全に
なくすことができた。また、導電性薄膜3と導電性薄膜
3との間から突出する絶縁層2が導電性薄膜3に直接他
の部材が接触するのを阻止する保護壁として機能する。
According to the thin coil configured as described above, no abrasive grains remain in the conductive thin film portion deeply etched from the slice surface, and interlayer short-circuit was almost completely eliminated. In addition, the conductive thin film 3 and the insulating layer 2 protruding from between the conductive thin films 3 function as a protection wall for preventing other members from directly contacting the conductive thin film 3.

【0015】なお、前述の実施例は好適な実施例の1つ
ではあるがこれに限定されるものではなく、本発明の要
旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。
The above-described embodiment is one of preferred embodiments, but is not limited thereto, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の薄型コイルは、スライス面に露出する絶縁層が導電性
薄膜よりも突出しているので、導体のばりや溶着等だけ
でなく砥粒が食い込んだ部分も完全に除去され、砥粒に
よる導通箇所が除かれて層間ショートのない完全に絶縁
されたものとできる。また、絶縁層が導電性薄膜よりも
突出しているので、後工程で多少傷がついても突出した
絶縁層に保護されて導電性薄膜自体に傷つくことがな
い。依って、本発明によると、スライス処理によって生
ずる層間ショートが完全に除去されるので良品率の高い
薄型コイルを製造できる。また、絶縁層の突出量は少な
くとも導電性薄膜巻回体のスライスに用いた砥粒の平均
粒径のほぼ半分以上の高さとしているので、絶縁層の突
出をスライス面をエッチング処理して形成した場合、基
準化された画一的エッチング処理例えばエッチング処理
時間を一定にしたエッチング処理としても、砥粒が食い
込んだスライスダメージ層は完全に除去され、薄型コイ
ルの層間ショートを簡単になくすことができる。
As is clear from the above description, in the thin coil of the present invention, since the insulating layer exposed on the slice surface protrudes from the conductive thin film, not only the burrs and welding of the conductor but also the abrasive The portion that has been entrapped is also completely removed, and the conductive portion due to the abrasive grains is removed, so that it is possible to completely insulate without interlayer short-circuit. Further, since the insulating layer protrudes from the conductive thin film, even if the insulating film is slightly damaged in a later step, the conductive thin film itself is protected from being protected by the protruding insulating layer. Therefore, according to the present invention, the interlayer short-circuit caused by the slicing process is completely removed, so that a thin coil having a high yield can be manufactured. Also, the amount of protrusion of the insulating layer is small.
Average of abrasive grains used for slicing at least conductive thin film roll
The height of the insulating layer is more than half of the particle size.
If the protrusions are formed by etching the sliced surface,
Leveled uniform etching process, for example, etching process
Even if the etching process with a fixed time
The sliced damage layer is completely removed.
This can easily eliminate short-circuit between layers.

【0017】[0017]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の薄型コイルの一例をスライス面近傍を
拡大して示す断面図である。
FIG. 1 is an enlarged sectional view showing an example of a thin coil of the present invention in the vicinity of a slice plane.

【図2】従来の薄型コイルの一例をスライス面近傍を拡
大して示す断面図である。
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing an example of a conventional thin coil in the vicinity of a slice surface.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 薄型コイル 2 絶縁層 3 導電性薄膜 4 スライス面 H 絶縁層の突出高さ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thin coil 2 Insulating layer 3 Conductive thin film 4 Slice surface H Projection height of insulating layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−125842(JP,A) 特開 平3−148812(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01F 27/28 H01F 17/00 H01F 27/32 H01F 41/12 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-49-125842 (JP, A) JP-A-3-148812 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H01F 27/28 H01F 17/00 H01F 27/32 H01F 41/12

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 絶縁層を設けた導電性薄膜を巻回した棒
状の導電性薄膜巻回体を砥粒を用いてスライスして得ら
れる薄型コイルにおいて、スライス面に露出する前記絶
縁層が前記導電性薄膜よりも突出しており、前記絶縁層
の突出量は少なくとも導電性薄膜巻回体のスライスに用
いた砥粒の平均粒径のほぼ半分以上の高さであることを
特徴とする薄型コイル。
1. A thin coil obtained by slicing a rod-shaped conductive thin film wound around a conductive thin film provided with an insulating layer using abrasive grains, wherein the insulating layer exposed on the slice surface is Protruding from the conductive thin film , the insulating layer
The protrusion amount is at least used for slicing the conductive thin film roll.
That the height is at least half of the average
Features a thin coil.
【請求項2】 前記絶縁層の突出は、前記スライス面を
エッチング処理して形成したことを特徴する請求項1記
載の薄型コイル。
2. The method according to claim 1 , wherein the protruding portion of the insulating layer forms the slice surface.
The thin coil according to claim 1, wherein the coil is formed by etching .
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