JP2943226B2 - Ion source for gas chromatograph mass spectrometer - Google Patents

Ion source for gas chromatograph mass spectrometer

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JP2943226B2
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    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • H01J49/14Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、ガスクロマトグラフ質量分析計(以下、
「GC/MS」という)のイオン源に関し、さらに詳しく
は、複数のフィラメントを装備したイオン源に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a gas chromatograph mass spectrometer (hereinafter, referred to as a gas chromatograph mass spectrometer).
More specifically, the present invention relates to an ion source equipped with a plurality of filaments.

<従来の技術> 一般に、GC/MSにおいては、ガスクロマトグラフで成
分分離された試料成分をイオン源でイオン化した後、質
量分析計に導入して質量分離を行い試料を定性、定量分
析などを行う。
<Conventional technology> In general, in GC / MS, sample components separated by gas chromatography are ionized by an ion source, and then introduced into a mass spectrometer to perform mass separation to perform qualitative and quantitative analysis of the sample. .

特に、多数の試料を同一の分析条件で連続して分析す
ることを目的としたルーチン分析用のGC/MSでは、分析
中にイオン源のフィラメントが断線したような場合にも
分析を継続することができるように、イオン源に複数の
フィラメントを装備したものがあり、一方のフィラメン
トが断線したときには、別のフィラメントに切換えて稼
働時間を延ばすようにしている。
In particular, in a GC / MS for routine analysis that aims to analyze a large number of samples continuously under the same analysis conditions, the analysis should be continued even if the filament of the ion source breaks during the analysis. Some ion sources are equipped with a plurality of filaments, and when one of the filaments is broken, the filament is switched to another filament to extend the operating time.

<発明が解決しようとする課題> ところが、このような複数のフィラメントを装備した
イオン源では、熱電子を発生させていないフィラメン
ト、すなわち、分析に使用していないフィラメントは加
熱されておらず、このため、イオン源内に流入する分析
試料が該フィラメントに付着するなどして汚染されるこ
とになり、このように汚染されたフィラメントに切換え
たときには、汚染物質によって熱電子の放射効率が低下
したり、フィラメント表面で汚染物質と化学反応が生じ
てフィラメントの寿命が短くなるといった難点がある。
<Problems to be Solved by the Invention> However, in an ion source equipped with such a plurality of filaments, a filament that does not generate thermoelectrons, that is, a filament that is not used for analysis, is not heated. Therefore, the analysis sample flowing into the ion source is contaminated by being attached to the filament, and when switching to the contaminated filament, the emission efficiency of thermionic electrons is reduced by the contaminant, There is a drawback in that a chemical reaction occurs with the contaminant on the filament surface and the life of the filament is shortened.

本発明は、上述した点に鑑みて為されたものであっ
て、複数のフィラメントを装備したイオン源において、
使用していないフィラメントの汚染を低減して上述の不
具合を解消することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and in an ion source equipped with a plurality of filaments,
An object of the present invention is to reduce the contamination of unused filaments and to solve the above-mentioned problems.

<課題を解決するための手段> 本発明では、上述の目的を達成するために、次のよう
に構成している。
<Means for Solving the Problems> In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.

すなわち、本発明は、複数のフィラメントを装備した
ガスクロマトグラフ質量分析計のイオン源であって、前
記各フィラメントの通電を制御する通電制御回路を備
え、前記通電制御回路は、分析中に使用されていないフ
ィラメントにも通電して該フィラメントを予熱するよう
に構成している。
That is, the present invention is an ion source of a gas chromatograph mass spectrometer equipped with a plurality of filaments, comprising an energization control circuit for controlling energization of each filament, wherein the energization control circuit is used during analysis. The non-filament is also energized to preheat the filament.

<使用> 上記構成によれば、分析中には、使用されていないフ
ィラメントにも通電されて予熱されるので、分析試料の
付着などによる前記フィラメントの汚染を大幅に低減で
きることになる。
<Use> According to the above configuration, during analysis, even unused filaments are energized and preheated, so that contamination of the filaments due to adhesion of an analysis sample or the like can be greatly reduced.

<実施例> 以下、図面によって本発明の実施例について、詳細に
説明する。
<Example> Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、本発明の一実施例のイオン源部分の概略構
成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an ion source portion according to one embodiment of the present invention.

同図において、1は真空室、2は分析試料が導入され
るイオン化室3を有するイオン源ブロック、4はこのイ
オン源ブロック2を加熱するヒータ、5はイオン源ブロ
ック2の温度を検知する温度センサ、6はこの温度セン
サ5の出力に基づいて、前記ヒータ4の通電を制御して
イオン源ブロック2の温度を、分析試料に対応した200
〜350℃の一定温度に制御するイオン源ブロック温度制
御回路である。
In the figure, 1 is a vacuum chamber, 2 is an ion source block having an ionization chamber 3 into which an analysis sample is introduced, 4 is a heater for heating the ion source block 2, and 5 is a temperature for detecting the temperature of the ion source block 2. The sensor 6 controls energization of the heater 4 based on the output of the temperature sensor 5 to adjust the temperature of the ion source block 2 to 200 corresponding to the analysis sample.
This is an ion source block temperature control circuit that controls the temperature to a constant temperature of 350 ° C.

7,8はタングステンなどから成る熱電子発生用の第1,
第2フィラメント、9,10は各フィラメント7,8の通電を
制御する第1,第2通電制御回路、11はイオン化された分
析試料を引き出して質量分析計に収束させるためのイオ
ンビーム収束レンズである。
7 and 8 are the first for generating thermoelectrons made of tungsten etc.
The second filaments 9 and 10 are first and second energization control circuits for controlling energization of the filaments 7 and 8, respectively, and 11 is an ion beam converging lens for extracting an ionized analysis sample and converging it on a mass spectrometer. is there.

このガスクロマトグラフ質量分析計のイオン源では、
上述のように、2つの第1,第2フィラメント7,8が装備
されており、従来と同様に、一方のフィラメント7
(8)で熱電子を発生させて分析を行っている場合に、
該一方のフィラメント7(8)が断線したようなときに
は、他方のフィラメント8(7)に切換えて稼働時間を
延ばすようにしている。
In this ion source of this gas chromatograph mass spectrometer,
As described above, two first and second filaments 7 and 8 are provided, and one filament 7 and
When the analysis is performed by generating thermoelectrons in (8),
When one of the filaments 7 (8) is broken, the other filament 8 (7) is switched to extend the operating time.

さらに、この実施例では、分析に使用されていないフ
ィラメントが、分析試料によって汚染されるのを可及的
に低減するために、使用されていないフィラメントにも
通電して予熱するようにしている。
Further, in this embodiment, in order to minimize the contamination of the filament not used for analysis with the analysis sample, the filament not used is also energized and preheated.

例えば、第1通電制御回路9によって第1フィラメン
ト7に通電されて該フィラメント7が2000℃に加熱され
て熱電子が発生し、この熱電子によって分析試料をイオ
ン化して分析を行っているときには、第2通電制御回路
10によって使用されていない第2フィラメント8にも通
電され、この第2フィラメント8が、例えば、分析試料
の沸点以上の温度である500℃程度に予熱されている。
For example, when electricity is supplied to the first filament 7 by the first electricity supply control circuit 9 and the filament 7 is heated to 2000 ° C. to generate thermoelectrons, and the thermoelectrons ionize the analysis sample to perform analysis, Second energization control circuit
Electric current is also supplied to the second filament 8 which is not used by 10, and the second filament 8 is preheated to, for example, about 500 ° C. which is a temperature not lower than the boiling point of the analysis sample.

このように使用していない第2フィラメント8を予熱
しておくことにより、分析試料が付着して第2フィラメ
ント8が汚染されるのを制御することができ、これによ
って、第1フィラメント7が断線して第2フィラメント
8に切換えたときに、熱電子の放射効率が低下したり、
汚染物質との化学反応によってフィラメント8の寿命が
短くなるといったことがなく、実質的に稼働時間を延ば
すことが可能となる。
By preheating the unused second filament 8 in this way, it is possible to control that the analysis sample adheres and the second filament 8 is contaminated, whereby the first filament 7 is disconnected. Then, when switching to the second filament 8, the emission efficiency of thermionic electrons decreases,
The life of the filament 8 is not shortened by the chemical reaction with the contaminant, and the operating time can be substantially extended.

<発明の効果> 以上のように本発明によれば、分析中に使用されてい
ないフィラメントにも通電して該フィラメントを予熱す
るようにしているので、分析試料の付着などによる前記
フィラメントの汚染を大幅に低減でき、従来例に比べて
実質的に稼働時間を延ばすことができる。
<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, the filament not used during the analysis is also energized to preheat the filament. The operation time can be significantly reduced, and the operation time can be substantially extended as compared with the conventional example.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例のイオン源部分の概略構成図
である。 1……真空室、2……イオン源ブロック、3……イオン
化室、7,8……第1,第2フィラメント、9,10……第1,第
2通電制御回路。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an ion source portion according to one embodiment of the present invention. 1 ... vacuum chamber, 2 ... ion source block, 3 ... ionization chamber, 7, 8 ... first and second filaments, 9, 10 ... first and second energization control circuits.

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01J 49/10 - 49/18 H01J 37/08 H01J 27/00 - 27/26 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H01J 49/10-49/18 H01J 37/08 H01J 27/00-27/26

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数のフィラメントを装備したガスクロマ
トグラフ質量分析計のイオン源であって、 前記各フィラメントの通電を制御する通電制御回路を備
え、 前記通電制御回路は、分析中に使用されていないフィラ
メントにも通電して該フィラメントを予熱するものであ
ることを特徴とするガスクロマトグラフ質量分析計のイ
オン源。
1. An ion source for a gas chromatograph mass spectrometer equipped with a plurality of filaments, comprising an energization control circuit for controlling energization of each filament, wherein the energization control circuit is not used during analysis. An ion source for a gas chromatograph mass spectrometer, wherein a current is supplied to a filament to preheat the filament.
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