JP2942289B2 - Magnetic disk drive and magnetic disk processing method - Google Patents

Magnetic disk drive and magnetic disk processing method

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JP2942289B2 JP33338289A JP33338289A JP2942289B2 JP 2942289 B2 JP2942289 B2 JP 2942289B2 JP 33338289 A JP33338289 A JP 33338289A JP 33338289 A JP33338289 A JP 33338289A JP 2942289 B2 JP2942289 B2 JP 2942289B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスクの加工方法および磁気ディス
クならびに磁気ディスク装置に関し、特に、磁気ディス
クの表面加工において発生する加工傷に起因する位置決
め精度低下などの対策に好適な技術に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk processing method, a magnetic disk, and a magnetic disk device, and more particularly, to a decrease in positioning accuracy due to a processing flaw generated in surface processing of a magnetic disk. It relates to technology suitable for measures such as.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

たとえば、電子計算機システムなどにおける外部記憶
装置として使用される磁気ディスク装置は、高速に回転
する円板状の磁気ディスクの表面に磁気ヘッドを移動自
在に対向させ、磁気ヘッドの径方向における変位によ
り、磁気ディスクの回転中心を中心として同心円状に設
けられた複数のトラック(情報記録領域)群の任意の一
つに磁気ヘッドを位置付けることで、当該磁気ヘッドを
介した情報の記録/再生動作が行われるようになってい
る。
For example, a magnetic disk device used as an external storage device in an electronic computer system or the like has a magnetic head movably opposed to a surface of a disk-shaped magnetic disk that rotates at a high speed, and a radial displacement of the magnetic head causes By positioning the magnetic head at any one of a plurality of tracks (information recording areas) concentrically provided about the center of rotation of the magnetic disk, information recording / reproducing operations can be performed via the magnetic head. It has become.

ところで、磁気ディスクにおける情報の記録密度は、
一般に当該磁気ディスクと磁気ヘッドとの間隙に逆比例
する関係にあるため、当該間隙は狭小化の一途をたどっ
ており、磁気ディスクの表面の凹凸などは磁気ディスク
および磁気ヘッドの損傷や、磁気ディスクに記録された
データ破壊などの致命的な障害をもたらすこととなる。
By the way, the recording density of information on a magnetic disk is
In general, the gap is in inverse proportion to the gap between the magnetic disk and the magnetic head.Therefore, the gap is steadily becoming smaller, and irregularities on the surface of the magnetic disk may cause damage to the magnetic disk and the magnetic head, or damage to the magnetic disk. This will cause a fatal obstacle such as destruction of data recorded in the data.

このため、磁気ディスクの製作工程においては、当該
磁気ディスクを構成する円板素材や、それに被着される
磁性体膜の表面を所望の精度に平坦化する表面仕上げ加
工が必須となっている。
For this reason, in the manufacturing process of the magnetic disk, it is essential to perform a surface finishing process for flattening the surface of the disk material constituting the magnetic disk and the magnetic film adhered to the disk material to a desired accuracy.

このような加工技術としては、従来、たとえば、特開
昭57−64332号公報,特開昭62−170022号公報,実開昭5
9−107722号公報などに記載されているように、磁気デ
ィスクを同軸に支持して回転させながら、当該磁気ディ
スクにおける情報記録領域の径方向の幅よりも広いラッ
ピング・テープを押し当てて一度に加工する方法が、加
工時間も短く一般に行われてきた。
Conventionally, such processing techniques include, for example, JP-A-57-64332, JP-A-62-170022, and
As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-107722 and the like, while supporting and rotating the magnetic disk coaxially, a wrapping tape wider than the radial width of the information recording area on the magnetic disk is pressed at one time. The processing method has been generally performed with a short processing time.

ところで、ラッピング・テープを構成する研磨材は砥
粒の集合体であるため、粒径の不均一さや不純物の混
入、さらには砥粒の目詰まりなどによって、素材円板や
当該素材円板に被着された磁性体膜の表面に幅数μm程
度、長さ数mm〜数十mmの引っ掻き傷(スクラッチ)を発
生させることが知られている。
By the way, since the abrasive material constituting the wrapping tape is an aggregate of abrasive grains, the abrasive material is coated on the material disk or the material disk due to uneven particle size, contamination of impurities, and clogging of the abrasive particles. It is known that a scratch having a width of about several μm and a length of several mm to several tens mm is generated on the surface of the deposited magnetic film.

すなわち、このスクラッチは、素材円板の表面や、当
該表面に被着している磁性体膜が局部的に他の正常な加
工領域よりも余分に深く削り取られたものであり、前記
の従来の加工方法では、加工中に回転する磁気ディスク
の表面に当該磁気ディスクの回転中心に対してほぼ同心
円状の弧形を呈して発生することとなる。
That is, this scratch is a surface of the material disk, or a magnetic material film adhered to the surface is locally cut off more deeply than other normal processing regions, and the above-mentioned conventional scratch is used. In the processing method, a magnetic disk that rotates during the processing has an arc shape that is substantially concentric with the rotation center of the magnetic disk.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

上述のような従来の加工技術によって得られたスクラ
ッチを有する磁気ディスクを実際の磁気ディスク装置に
搭載すると、当該磁気ディスクに同心円状に配置された
トラックに対する磁気ヘッドの位置決め精度の低下を生
じるという問題がある。
When a magnetic disk having a scratch obtained by the conventional processing technique as described above is mounted on an actual magnetic disk device, the positioning accuracy of the magnetic head with respect to tracks arranged concentrically on the magnetic disk is reduced. There is.

すなわち、多くの磁気ディスク装置では、磁気ヘッド
を目的のトラック上に正確に追従させるために、回転駆
動装置に同軸かつ平行に固定された複数の磁気ディスク
の記録面の一つを位置情報を書き込むためのサーボ面と
して使用しており、当該サーボ面に記録される位置決め
信号の一例としては第11図に示されるようになるものが
ある。
That is, in many magnetic disk devices, in order to cause a magnetic head to accurately follow a target track, position information is written on one of the recording surfaces of a plurality of magnetic disks fixed coaxially and parallel to a rotary drive. FIG. 11 shows an example of a positioning signal recorded on the servo surface.

サーボ面に同心円状に配置された複数のトラックに
は、互いに異なる読み出し信号aおよび読み出し信号b
を生じるODDパターンおよびEVENパターンがトラックピ
ッチlPで交互に書き込まれている。そして、隣接するト
ラックAおよびトラックBに跨がるコア幅lhsのサーボ
ヘッドHSで、読み出し信号aおよびbの合成信号cを読
み出し、両者のレベルが等しくなるように、サーボヘッ
ドHSを径方向に変位させるフィードバック制御を行って
いる。
A plurality of tracks concentrically arranged on the servo surface have different read signals a and b from each other.
ODD pattern and EVEN patterns cause is written alternately at a track pitch l P. The combined signal c of the read signals a and b is read by the servo head HS having a core width l hs extending over the adjacent tracks A and B, and the servo head HS is moved in the radial direction so that the levels of both signals are equal. Feedback control is performed.

従って、正常な状態では、サーボヘッドは、コア幅の
中心が隣接するトラックAとBの境界上に追随するよう
に制御される。
Therefore, in a normal state, the servo head is controlled such that the center of the core width follows the boundary between the adjacent tracks A and B.

このようなサーボ面の一部に、上述の従来の加工方法
によって、たとえば第12図に示されるように、トラック
A上に当該トラックAと同心円状に幅wのスクラッチ40
2が存在すると、当該領域を通過するサーボヘッドHSに
よって読み出される合成信号c1は当該スクラッチ402の
幅分だけ、読み出し信号aの出力レベルがΔvだけ低下
した状態となる。そして、これを検知したフィードバッ
ク制御系は、このΔvを補正して、合成信号c2となるよ
うに、Δx=w/2だけサーボヘッドHSをトラックAの側
に移動させる制御行うため、サーボヘッドの位置は本来
の位置よりもΔxだけずれた状態となり、しかも、その
時の合成信号c2の波形は、正常時の合成信号cの波形と
同じであるため、フィードバック制御系ではこのサーボ
ヘッドの位置ずれを認識できないという問題があった。
As shown in FIG. 12, for example, a scratch 40 having a width w concentrically with the track A is formed on a part of such a servo surface by the conventional processing method described above.
When 2 is present, the composite signal c 1 which is read by the servo head HS passing through the region by the width of of the scratch 402, a state in which the output level of the read signal a is lowered by Delta] v. Then, the feedback control system which detects this causes the servo head HS to move to the track A side by Δx = w / 2 so as to correct this Δv so as to become the composite signal c 2. Is shifted from the original position by Δx, and the waveform of the composite signal c 2 at that time is the same as the waveform of the composite signal c in the normal state. There was a problem that the shift could not be recognized.

そこで、本発明の目的は、加工中に発生するスクラッ
チなどに起因する位置決め精度の低下を防止することが
可能な磁気ディスクの加工方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic disk processing method capable of preventing a decrease in positioning accuracy due to a scratch or the like generated during processing.

本発明の他の目的は、表面加工中に発生したスクラッ
チなどに影響されることなく、高記録密度および歩留り
の向上を実現することが可能な磁気ディスクを提供する
ことにある。
Another object of the present invention is to provide a magnetic disk capable of realizing a high recording density and improving the yield without being affected by scratches or the like generated during surface processing.

本発明の他の目的は、情報の記録・再生動作における
信頼性の高い磁気ディスク装置を提供することにある。
It is another object of the present invention to provide a magnetic disk device having high reliability in information recording / reproducing operations.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。
The above and other objects and novel features of the present invention are as follows.
It will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本願において開示される発明のうち、代表的なものの
概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
The outline of a typical invention disclosed in the present application is briefly described as follows.

すなわち、本発明になる磁気ディスクの加工方法は、
円板素材の表面に磁性体膜を被着してなる記録面に配置
される同心円領域に情報が記録される磁気ディスクの加
工方法であって、円板素材および磁性体膜の少なくとも
一方の表面加工における加工軌跡が同心円領域に交差す
るようにしたものである。
That is, the method for processing a magnetic disk according to the present invention includes:
A method for processing a magnetic disk in which information is recorded in concentric regions arranged on a recording surface formed by applying a magnetic film to a surface of a disk material, wherein at least one surface of the disk material and the magnetic material film The processing locus in the processing intersects the concentric circle region.

また、本発明になる磁気ディスク装置は、位置情報が
記録されるサーボ面を有する磁気ディスクおよび通常の
データが記録されるデータ面を有する磁気ディスクの少
なくとも一方を、上述の磁気ディスクの加工方法を用い
て製作したものである。
In addition, the magnetic disk drive according to the present invention includes a method for processing at least one of a magnetic disk having a servo surface on which position information is recorded and a magnetic disk having a data surface on which normal data is recorded by using the above-described magnetic disk processing method. It was manufactured using

また、本発明になる磁気ディスク装置は、磁気ディス
クの同一記録面内に、位置情報および通常のデータが混
在して記録されるデータ面サーボ方式の磁気ディスク装
置において、上述の磁気ディスクの加工方法を用いて製
作された磁気ディスクを搭載したものである。
Further, according to the magnetic disk drive of the present invention, in a magnetic disk drive of a data surface servo system in which positional information and normal data are mixedly recorded on the same recording surface of the magnetic disk, On which a magnetic disk manufactured by using the above method is mounted.

〔作用〕[Action]

上述した本発明の磁気ディスクの加工方法によれば、
加工時におけるスクラッチが、位置情報やデータなどが
記録される同心円領域に交差する状態で発生するので、
後述のような理由により、スクラッチの存在に起因す
る、磁気ディスクに対する磁気ヘッドの位置決め精度の
低下やデータの記録再生動作の信頼性の低下などを防止
できる。
According to the magnetic disk processing method of the present invention described above,
Scratch at the time of processing occurs in a state where it crosses a concentric area where position information, data, etc. are recorded,
For the reasons described below, it is possible to prevent a decrease in the positioning accuracy of the magnetic head with respect to the magnetic disk and a decrease in the reliability of the data recording / reproducing operation due to the presence of the scratch.

すなわち、トラックピッチlPで位置情報が記録された
トラック群(第2の同心円領域)が配置される磁気ディ
スクの記録面において、たとえば第4図に示されるよう
に、当該トラック群に角度θで交差するスクラッチが
形成されており、この位置情報をコア幅lhsのサーボヘ
ッドHSによって読み出す場合を考える。
That is, the recording surface of the magnetic disk track pitch l track group that position information is recorded in P (second concentric region) is arranged, as shown for example in Figure 4, the angle theta 1 to the track group Are considered, and a case where this position information is read out by the servo head HS having the core width l hs is considered.

この場合、サーボヘッドHSからの出力を復調して得ら
れるポジション信号は、周期tで位置ずれ量w/2を発生
させ、当該周期tからその周波数f1は次式(5)で求め
られる。
In this case, the position signal obtained by demodulating the output from the servo head HS generates a positional shift amount w / 2 in period t, the frequency f 1 from the period t is obtained by the following equation (5).

f1=1/t=rω・tanθ1/lhs ・・・(5) ただし、r:トラック半径 ω:磁気ディスクの回転角速度 lhs:サーボヘッドのコア幅 θ1:トラックとスクラッチとのなす角 磁気ディスク装置において一般に使用されている磁気
ヘッドの位置決めサーボ系には、機械的な動作部分が含
まれているため、ある周波数以上のポジション信号の外
乱に対しては追随が不可能になり、磁気ヘッドの位置決
め精度は実質的に低下しない。
f 1 = 1 / t = rω · tan θ 1 / l hs (5) where r: track radius ω: rotational angular velocity of the magnetic disk l hs : core width of the servo head θ 1 : connection between the track and the scratch Since the positioning servo system of the magnetic head generally used in the magnetic disk drive includes a mechanical operation part, it cannot follow the disturbance of the position signal at a certain frequency or more, The positioning accuracy of the magnetic head does not substantially decrease.

通常の磁気ディスク装置においては、この周波数は2
〜5kHz程度である。従って、前記式(5)の周波数f1
2〜5kHz程度になる交差角θ以上に、加工軌跡と同心
円領域(トラック)との交差角を設定することで、たと
え加工中にスクラッチが発生しても、位置決め精度の低
下を防止できる。
In a normal magnetic disk drive, this frequency is 2
It is about 5kHz. Therefore, the equation (5) to the intersection angle theta 1 or more frequency f 1 is about 2~5kHz of, by setting the intersection angle of the machining path and the concentric regions (tracks), if scratches are generated during processing Even so, a decrease in positioning accuracy can be prevented.

また、第5図に示されるように、通常のデータが記録
されるトラック群(同心円領域)にスクラッチが交差角
度θで交差して形成される場合には、データヘッドHD
による当該交差領域における再生出力が低下し、その周
波数f2は、次式(6)で表される。
Further, as shown in FIG. 5, when the normal data scratches are formed to cross at an intersection angle theta 2 to the track group to be recorded (concentric regions), the data head HD
, The reproduction output in the intersection area decreases, and the frequency f 2 is expressed by the following equation (6).

f2=1/t=rω・tanθ2/lhd ・・・(6) ただし、lhd:データヘッドのコア幅 通常、磁気ディスク装置では、データヘッドHDにおけ
る出力変動を無くすために自動利得制御増幅器を用いて
当該出力変動を防止している。
f 2 = 1 / t = rω · tanθ 2 / l hd (6) where l hd is the core width of the data head. Normally, in a magnetic disk device, automatic gain control is performed to eliminate output fluctuations in the data head HD. The output fluctuation is prevented by using an amplifier.

従って、出力変動の周波数f2が自動利得制御増幅器の
応答周波数以下であれば、データヘッドHDの出力変動は
生じない。
Therefore, the frequency f 2 of the output fluctuation is equal to or less than the response frequency of the automatic gain control amplifier, the output variation of the data head HD does not occur.

一般的な磁気ディスク装置におけるデータ読み出し系
の自動利得制御増幅器における応答周波数は約100kHz程
度である。そこで、式(6)によって示される出力変動
の周波数f2が100kHz程度になる交差角度θ以下となる
ように、加工軌跡と同心円領域(トラック群)との交差
角を制御することで、たとえスクラッチが存在していて
もデータヘッドHDにおける読み出し出力の変動を防止で
きる。
The response frequency of an automatic gain control amplifier of a data read system in a general magnetic disk device is about 100 kHz. Accordingly, by controlling the angle of intersection between the formula so that the frequency f 2 of the output fluctuation as indicated by (6) is crossing angle theta 2 below to be about 100kHz, processing locus concentric regions (track group), even if Even if there is a scratch, it is possible to prevent a change in the read output of the data head HD.

また、円板素材の切削加工後などにおける断面形状
は、たとえば第3図に示される凹凸状態となり、表面に
被着される磁性体膜の厚さは、当該加工断面形状に応じ
て変化する。一方、磁気ディスクの磁性体膜に対する情
報の書き込みは、いわゆる飽和書き込みであるため、磁
性体膜の厚い部分では再生出力が大きく、薄い部分では
小さくなる。
In addition, the cross-sectional shape of the disk material after cutting or the like is in an uneven state shown in FIG. 3, for example, and the thickness of the magnetic film deposited on the surface changes according to the processed cross-sectional shape. On the other hand, the writing of information on the magnetic film of the magnetic disk is a so-called saturation write, and therefore, the reproduction output is large in a thick portion of the magnetic film and small in a thin portion.

従って、円板素材における加工軌跡と、その表面に被
着される磁性体膜に配置される同心円領域(トラック
群)との交差角度が前記式(5)から得られる交差角度
θよりも小さくなると、サーボヘッドHSにおける位置
情報の再生出力の低下の一因となり、ヘッド位置決め精
度が劣化する。また、データヘッドHDにおいては、デー
タの再生動作の信頼性が損なわれる一因となる。
Accordingly, smaller and processing locus in the disc material, than the intersection angle theta 1 which the crossing angle of concentric regions (track groups) disposed in magnetic film is deposited on the surface thereof is obtained from the formula (5) If this happens, it causes a reduction in the reproduction output of the position information in the servo head HS, and the head positioning accuracy deteriorates. In addition, in the data head HD, this is one of the factors that impairs the reliability of the data reproducing operation.

さらに、上述のような事情は、円板素材およびその表
面に被着された磁性体膜の表面の平坦化のための仕上げ
加工に限らず、たとえばスパッタリングなどによって形
成された過度に平坦な磁性体膜に対するヘッド吸着現象
を防止すべく実施される面粗し加工(テクスチャー加
工)においても同様である。
Further, the above-mentioned situation is not limited to the finish processing for flattening the surface of the disk material and the magnetic film adhered to the surface of the disk material, and for example, an excessively flat magnetic material formed by sputtering or the like. The same applies to a surface roughening process (texture process) performed to prevent the head adsorption phenomenon on the film.

従って、本発明の磁気ディスクの加工方法では、たと
えば、回転する磁気ディスクなどに対して径方向に加工
工具を移動させながら押し当てることにより、加工軌跡
を螺線状にしたり、磁気ディスクや円板素材を実使用時
における回転中心(同心円領域の中心)から偏心させた
状態で回転させながら加工工具を押し当てて加工軌跡を
偏心させることで、同心円領域に対して加工軌跡が交差
するようにするとともに、磁気ディスクなどの回転速度
と径方向における工具の送り速度との比、または加工時
における磁気ディスクの偏心量を所望の値に制御するこ
とにより、加工軌跡と同心円領域との交差角θが、θ
<θ<θなる関係を満たすようにして、加工時に
不可避的に発生するスクラッチに起因する位置決め精度
やデータの記録・再生動作の信頼性の低下を確実に防止
することができる。
Therefore, in the magnetic disk processing method of the present invention, for example, a processing locus is spirally formed by moving a processing tool against a rotating magnetic disk or the like while moving the processing tool in a radial direction, or a magnetic disk or a disk. By pressing the machining tool while rotating the material while being eccentric from the rotation center (center of the concentric region) in actual use, the machining trajectory is made to intersect the concentric region. By controlling the ratio between the rotation speed of the magnetic disk or the like and the feed speed of the tool in the radial direction or the amount of eccentricity of the magnetic disk during processing to a desired value, the intersection angle θ 3 between the processing locus and the concentric area is controlled. Is θ
By satisfying the relationship of 132, it is possible to reliably prevent the positioning accuracy and the reliability of the data recording / reproducing operation from being lowered due to scratches inevitably generated during processing.

また、このような加工方法によって製作された磁気デ
ィスクでは、当該磁気ディスクに存在するスクラッチが
実質的に致命的な製品不良の原因にはならないため、磁
気ディスクの情報記録密度および歩留りが向上する。
Further, in a magnetic disk manufactured by such a processing method, the scratches present on the magnetic disk do not substantially cause a fatal product defect, so that the information recording density and the yield of the magnetic disk are improved.

また、本発明の磁気ディスク装置では、位置決め情報
とデータとを別の記録面に配置する場合、あるいは、位
置決め情報とデータとを同一の記録面内に混在させて記
録させる場合のいずれにおいても、搭載される磁気ディ
スクが上述のような加工によって製作されているため、
位置決め精度やデータの記録・再生動作における信頼性
が向上する。
Further, in the magnetic disk device of the present invention, when positioning information and data are arranged on different recording surfaces, or when positioning information and data are mixed and recorded on the same recording surface, Because the magnetic disk to be mounted is manufactured by the above processing,
Positioning accuracy and reliability in data recording / reproducing operations are improved.

〔実施例1〕 以下、図面を参照しながら、本発明の一実施例である
磁気ディスクの加工方法および磁気ディスク装置の一例
について図面を参照しながら詳細に説明する。
Embodiment 1 Hereinafter, a magnetic disk processing method and an example of a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、本発明の一実施例である磁気ディスクの加
工方法を実施する加工装置の構成の一例を示す斜視図で
あり、第2図は、その作用の一例を説明する斜視図、さ
らに第8図は前記加工装置によって加工された磁気ディ
スクを搭載する磁気ディスク装置の構成の一例を示す断
面図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a configuration of a processing apparatus for performing a magnetic disk processing method according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view illustrating an example of the operation thereof. FIG. 8 is a sectional view showing an example of the configuration of a magnetic disk drive on which a magnetic disk processed by the processing device is mounted.

まず、第8図などを参照しながら、本実施例の磁気デ
ィスク装置の構成の一例を説明する。
First, an example of the configuration of the magnetic disk drive of the present embodiment will be described with reference to FIG.

筐体1の内部には、モータ2によって回転駆動される
回転駆動軸3が設けられており、この回転駆動軸3に
は、複数の磁気ディスク4が所定の間隔をなして互いに
平行かつ同軸に固定されている。
A rotary drive shaft 3 that is driven to rotate by a motor 2 is provided inside the housing 1, and a plurality of magnetic disks 4 are parallel to and coaxial with each other at a predetermined interval on the rotary drive shaft 3. Fixed.

この磁気ディスク4は、たとえば、所定の表面加工が
なされた円板素材400の表面に、磁性体膜401を被着させ
た構造となっており、当該円板素材400および磁性体膜4
01の表面加工は後述のような加工方法によって行われ
る。
The magnetic disk 4 has, for example, a structure in which a magnetic film 401 is adhered to the surface of a disk material 400 that has been subjected to predetermined surface processing.
The surface processing of 01 is performed by a processing method described later.

これらの複数の磁気ディスク4の複数の記録面のうち
の一つは、サーボ面4aとして使用され、当該磁気ディス
ク4の回転中心に中心が一致した複数の同心円状の図示
しないトラック群に位置決め情報が記録されている。ま
た、その他の記録面は同心円状に設けられた複数のトラ
ックに通常のデータが記録されるデータ面4bとして使用
されるようになっている。
One of the plurality of recording surfaces of the plurality of magnetic disks 4 is used as a servo surface 4a, and a plurality of concentric tracks (not shown) whose centers coincide with the rotation center of the magnetic disk 4 are used for positioning information. Is recorded. The other recording surface is used as a data surface 4b on which normal data is recorded on a plurality of concentrically provided tracks.

このような複数の磁気ディスク4の側方には、当該磁
気ディスク4の径方向に移動自在なキャリッジ5が設け
られており、筐体1に固定されたレール5aに複数のベア
リング5bを介して滑動自在に搭載されている。
A carriage 5 that is movable in the radial direction of the magnetic disk 4 is provided on the side of the plurality of magnetic disks 4 and is mounted on a rail 5a fixed to the housing 1 via a plurality of bearings 5b. It is slidably mounted.

このキャリッジ5にはコイル5cが固定されており、筐
体1の側に固定されて磁気回路を構成する永久磁石など
からなるヨーク5dの内部を移動することにより、当該ヨ
ーク5dとともにボイスコイルモータVCMを構成してい
る。
A coil 5c is fixed to the carriage 5 and moves inside a yoke 5d made of a permanent magnet or the like which is fixed to the housing 1 and forms a magnetic circuit, so that the voice coil motor VCM is moved together with the yoke 5d. Is composed.

そして、コイル5cに対する通電方向や通電量を適宜制
御することにより、キャリッジ5の磁気ディスク4の径
方向における変位方向,変位速度変位量などが制御され
るようになっている。
By appropriately controlling the energizing direction and energizing amount of the coil 5c, the displacement direction and the displacement speed of the carriage 5 in the radial direction of the magnetic disk 4 are controlled.

キャリッジ5において、コイル5cとは反対側の複数の
磁気ディスク4に臨む側面には、当該複数の磁気ディス
ク4の間隙に先端部が位置するように複数のヘッドアー
ム6が固定されている。
A plurality of head arms 6 are fixed to the side of the carriage 5 facing the plurality of magnetic disks 4 on the opposite side of the coil 5c so that the leading ends are located in the gaps between the plurality of magnetic disks 4.

ヘッドアーム6の先端部には、複数の磁気ディスク4
の記録面の各々に対向するように、板バネ6aを介して複
数の磁気ヘッド7が支持されており、これらの磁気ヘッ
ド7のうちサーボ面4aに対応するものは位置情報を読み
出すサーボヘッド7a(HS)として機能し、データ面4bに
対向するその他のものは通常のデータの記録再生動作を
行うデータヘッド7b(HD)として機能するようになって
いる。
At the tip of the head arm 6, a plurality of magnetic disks 4
A plurality of magnetic heads 7 are supported via leaf springs 6a so as to face each of the recording surfaces of the magnetic heads 7. Of these magnetic heads, the one corresponding to the servo surface 4a is a servo head 7a for reading position information. The other that functions as the (HS) and faces the data surface 4b functions as the data head 7b (HD) that performs a normal data recording / reproducing operation.

サーボヘッド7aには、当該サーボヘッド7aから読み出
される位置信号をポジション信号に復調する復調回路8
と、補償回路9と、コイル5cに駆動電流を供給するパワ
ーアンプ10とが接続され、サーボループを構成してい
る。
The servo head 7a has a demodulation circuit 8 for demodulating a position signal read from the servo head 7a into a position signal.
, A compensation circuit 9 and a power amplifier 10 for supplying a drive current to the coil 5c are connected to form a servo loop.

そして、たとえば、サーボヘッド7aのサーボ面4aにお
ける径方向の位置の目的のトラック上からの位置ずれが
零になるようにキャリッジ5を制御し、これにより当該
キャリッジ5に支持されている複数のデータヘッド7bの
データ面4bにおける目標のトラック上への追随動作など
を行うものである。
Then, for example, the carriage 5 is controlled so that the radial displacement of the servo surface 4a of the servo head 7a from the target track becomes zero, and thereby a plurality of data supported by the carriage 5 are controlled. The operation of following the target track on the data surface 4b of the head 7b is performed.

また、データヘッド7bは、プリアンプ11,自動利得制
御増幅(AGC)回路12,データ弁別回路13,図示しないデ
ータ記録系回路などを介して、図示しない上位位置に接
続されており、当該上位装置との間で授受されるデータ
の変復調,増幅,エラー訂正処理などを行うようになっ
ている。
The data head 7b is connected to an upper position (not shown) via a preamplifier 11, an automatic gain control amplification (AGC) circuit 12, a data discrimination circuit 13, a data recording system circuit (not shown), and the like, and It performs modulation / demodulation, amplification, error correction processing, and the like of data exchanged between them.

一方、このような本実施例の磁気ディスク装置に搭載
される磁気ディスク4の表面加工を行う加工装置は、た
とえば、第1図に示されるように、加工対象の磁気ディ
スク4を着脱自在に保持するチャック20と、このチャッ
ク20を介して磁気ディスク4を回転させる回転駆動機構
21とを備えている。
On the other hand, a processing apparatus for processing the surface of the magnetic disk 4 mounted on the magnetic disk device of the present embodiment as described above, for example, as shown in FIG. 1, detachably holds the magnetic disk 4 to be processed. Chuck 20 for rotating the magnetic disk 4 via the chuck 20
21.

さらに、回転駆動機構21の近傍には、チャック20に保
持された磁気ディスク4の径方向に移動自在なリニアウ
ェイ機構22が設けられており、送りモータ22aによって
駆動されている。
Further, a linear way mechanism 22 that is movable in the radial direction of the magnetic disk 4 held by the chuck 20 is provided near the rotation drive mechanism 21, and is driven by a feed motor 22a.

このリニアウェイ機構22には、磁気ディスク4を挟む
ように、互いに対をなす2組の繰り出しプーリ23,巻き
取りプーリ24および繰り出しプーリ25,巻き取りプーリ2
6が支持されており、各々は、複数のモータ23a,24a,25
a,26aによって駆動されている。
The linear way mechanism 22 includes two pairs of a pull-out pulley 23, a take-up pulley 24, a pull-out pulley 25, and a take-up pulley 2, which are paired with each other so as to sandwich the magnetic disk 4.
6 are supported, each having a plurality of motors 23a, 24a, 25
a, 26a.

繰り出しプーリ23と巻き取りプーリ24との間、および
繰り出しプーリ25と巻き取りプーリ26との間には、それ
ぞれラッピング・テープ27およびラッピング・テープ28
が張架されており、経路の途中に配置された加圧ローラ
29および加圧ローラ30によって磁気ディスク4の表裏両
面にそれぞれ押圧される構造となっている。
A wrapping tape 27 and a wrapping tape 28 are provided between the feeding pulley 23 and the winding pulley 24 and between the feeding pulley 25 and the winding pulley 26, respectively.
Is stretched and a pressure roller is placed in the middle of the path.
The magnetic disk 4 is pressed against both the front and back surfaces of the magnetic disk 4 by a pressure roller 29 and a pressure roller 30, respectively.

チャック20に保持された磁気ディスク4を駆動する回
転駆動機構21は、角速度制御部31によって制御されてい
る。
The rotation drive mechanism 21 that drives the magnetic disk 4 held by the chuck 20 is controlled by an angular velocity control unit 31.

また、リニアウェイ機構22を駆動する送りモータ22a
はテープ送り速度制御部32によって制御され、巻き取り
プーリ24,26および繰り出しプーリ23,25を駆動するモー
タ24a,26aおよびモータ23a,25aは、テープ巻き取り速度
制御部33によって制御されている。
Also, a feed motor 22a that drives the linear way mechanism 22
Is controlled by a tape feeding speed control unit 32, and motors 24a, 26a and motors 23a, 25a for driving the winding pulleys 24, 26 and the feeding pulleys 23, 25 are controlled by a tape winding speed control unit 33.

以下、本実施例における磁気ディスクの加工方法およ
びそれを用いた磁気ディスク装置の作用の一例について
説明する。
Hereinafter, an example of a method of processing a magnetic disk in the present embodiment and an operation of a magnetic disk device using the same will be described.

まず、チャック20に対して、前記磁気ディスク装置の
回転駆動軸3に装着する実使用時における回転中心が当
該チャック20の回転中心に一致するように、磁気ディス
ク4を保持させて所定の回転速度で回転させる。
First, the magnetic disk 4 is held on the chuck 20 at a predetermined rotation speed so that the rotation center in actual use mounted on the rotation drive shaft 3 of the magnetic disk device coincides with the rotation center of the chuck 20. Rotate with.

そして、第2図に示されるように、回転する磁気ディ
スク4の両面に、加圧ローラ29および30によってラッピ
ング・テープ27および28を押し当てながら、リニアウェ
イ機構22を作動させることにより、磁気ディスク4を構
成する磁性体膜401の表面をラッピング・テープ27およ
び28によって研磨し、この時の加工軌跡は螺線状にな
る。
Then, as shown in FIG. 2, the linear way mechanism 22 is operated while the wrapping tapes 27 and 28 are pressed against both surfaces of the rotating magnetic disk 4 by the pressure rollers 29 and 30, so that the magnetic disk The surface of the magnetic film 401 constituting 4 is polished by the wrapping tapes 27 and 28, and the processing locus at this time becomes spiral.

そのため、当該加工中に、他の正常な加工領域よりも
磁性体膜401が過度に深く削られるなどして偶発的に発
生するスクラッチは、前記磁気ディスク装置に装着され
た際に磁気ディスク4の回転中心を中心として同心円状
に配置される複数のトラック群に交差する状態となる。
Therefore, during the processing, scratches that occur accidentally due to, for example, the magnetic film 401 being cut excessively deeper than other normal processing regions, cause the magnetic disk 4 to be damaged when mounted on the magnetic disk device. The state intersects a plurality of track groups arranged concentrically around the rotation center.

ここで、本実施例の場合には、チャック20に保持され
た磁気ディスク4の回転駆動機構21による回転の角速度
ωと、ラッピング・テープ27および28の当該磁気ディス
ク4の、リニアウェイ機構22による径方向における移動
(送り)速度V1の関係を、たとえば以下のように設定す
る。
Here, in the case of the present embodiment, the angular velocity ω of rotation of the magnetic disk 4 held by the chuck 20 by the rotation drive mechanism 21 and the linear way mechanism 22 of the magnetic disk 4 of the wrapping tapes 27 and 28 the relationship between the movement (feed) velocity V 1 in the radial direction is set for example as follows.

すなわち、磁気ディスク4およびそれを搭載する磁気
ディスク装置の仕様の一例として、たとえばサーボ面4a
における位置決め信号の最小書き込み半径を90mm,デー
タ面4bにおけるデータ信号の最大書込半径を110mm,トラ
ックピッチが20μm,サーボ系の必要周波数を5kHz以上、
データヘッド7bに連なるAGC回路12における必要周波数
を100kHz以下とすると、スクラッチが位置決め精度を劣
化させないようにするための、加工軌跡と磁気ディスク
4のサーボ面に同心円状に配置されるトラック群との最
小交差角度θは、前記式(1)から求まり、θ=0.
34度となる。なお、種々の条件下におけるθの計算結
果を第6図に示す。
That is, as an example of the specification of the magnetic disk 4 and the magnetic disk device on which the magnetic disk 4 is mounted, for example, the servo surface 4a
The minimum write radius of the positioning signal is 90 mm, the maximum write radius of the data signal on the data surface 4b is 110 mm, the track pitch is 20 μm, the required frequency of the servo system is 5 kHz or more,
When the required frequency in the AGC circuit 12 connected to the data head 7b is set to 100 kHz or less, the processing locus and the track group arranged concentrically on the servo surface of the magnetic disk 4 so that the scratch does not deteriorate the positioning accuracy. The minimum intersection angle θ 1 is obtained from the above equation (1), and θ 1 = 0.
34 degrees. Incidentally, showing the theta 1 of calculation results under various conditions in Figure 6.

また、データ面4bにおけるスクラッチがデータ信号の
検出レベルに悪影響を与えないようにするための、最大
交差角θは、前記式(2)により求まり、θ=2.8
度となる。なお、種々の条件下におけるθの計算結果
を第7図に示す。
Further, for the scratch in the data surface 4b is not adversely affect the detection level of the data signal, the maximum crossing angle theta 2 is approximated by the above formula (2), θ 2 = 2.8
Degree. FIG. 7 shows the calculation results of θ 2 under various conditions.

従って、上述のような仕様の磁気ディスク装置に搭載
される磁気ディスク4の加工時においては、加工時の螺
線状の加工軌跡と同心円領域(サーボ面4aおよびデータ
面4bにおけるトラック群)との交差角度θを、0.34<
θ<2.8の範囲に設定すればよい。
Therefore, when processing the magnetic disk 4 mounted on the magnetic disk device having the above-described specification, the spiral processing trajectory at the time of processing and the concentric area (the track group on the servo surface 4a and the data surface 4b) are formed. the crossing angle theta 3, 0.34 <
What is necessary is just to set it in the range of (theta) 3 <2.8.

チャック20に保持される磁気ディスク4の加工時にお
ける回転数Nをたとえば1000rpmとすると、その角速度
ωは、ω=2πN/60より、ω=10.5rad/secとなる。こ
のときラッピング・テープ27および28の、磁気ディスク
4の径方向における送り速度V1は、前記式(3)より求
まり、V1=5.6〜56mm/secとすれば、0.34<θ<2.8の
条件を満たすことができる。
Assuming that the number of revolutions N at the time of processing the magnetic disk 4 held by the chuck 20 is, for example, 1000 rpm, the angular velocity ω becomes 10.5 rad / sec from ω = 2πN / 60. At this time the wrapping tape 27 and 28, feed speed V 1 in the radial direction of the magnetic disk 4, Motomari from the equation (3), if V 1 = 5.6~56mm / sec, 0.34 <θ 3 <2.8 in Can meet your requirements.

またラッピング・テープ27および28の幅WTを、WT≧V1
×2π/ωのように設定すれば未加工部は発生しない。
In addition, the width W T of the wrapping tapes 27 and 28 is set so that W T ≧ V 1
If it is set as × 2π / ω, no unprocessed portion occurs.

このような条件で表面加工を施した磁気ディスク4を
搭載することにより、加工中にスクラッチが発生してい
ても、前記磁気ディスク装置においては、たとえば磁気
ディスク4のサーボ面4aから読み出される位置情報のス
クラッチによる変動に起因する位置決め精度の低下が防
止されるとともに、データ面4bからのデータ信号の読み
出し出力の大きな低下を生じることもない。
By mounting the magnetic disk 4 which has been subjected to the surface processing under such conditions, even if a scratch occurs during the processing, the magnetic disk device can read the position information read from the servo surface 4a of the magnetic disk 4, for example. This prevents the positioning accuracy from being lowered due to the variation due to the scratches, and does not cause a large drop in the read output of the data signal from the data surface 4b.

この結果、磁気ディスク4のサーボ面4aおよびデータ
面4bに同心円状に配置されるトラック群の一層の狭小化
などによる記録密度の向上と、磁気ディスク装置におけ
る情報の記録/再生動作の信頼性の向上を実現すること
ができる。
As a result, the recording density is improved by further narrowing the track group concentrically arranged on the servo surface 4a and the data surface 4b of the magnetic disk 4, and the reliability of the information recording / reproducing operation in the magnetic disk device is improved. An improvement can be realized.

なお、上記の説明では、磁気ディスク4の表面の磁性
体膜401の表面加工の場合について説明したが、その下
地となる円板素材400の表面加工においても同様であ
る。
In the above description, the case of processing the surface of the magnetic film 401 on the surface of the magnetic disk 4 has been described, but the same applies to the surface processing of the disk material 400 serving as the base.

すなわち、加工時の円板素材400の回転数と、切削工
具の径方向における送り速度の関係を、前述の条件を満
たすように設定することで、円板素材400の表面に螺線
状に生じる凹凸による磁性体膜401の厚さの変動領域
が、当該磁性体膜401に同心円状に配置されるトラック
群と適切な交差角度で交差することにより、磁性体膜40
1の薄い部分での位置信号やデータ信号の再生出力の低
下を回避することができる。
That is, by setting the relationship between the rotation speed of the disk material 400 during processing and the feed speed in the radial direction of the cutting tool so as to satisfy the above-described conditions, a spiral shape is generated on the surface of the disk material 400. The region where the thickness of the magnetic film 401 fluctuates due to the irregularities intersects with the track group concentrically arranged on the magnetic film 401 at an appropriate crossing angle, so that the magnetic film 40
It is possible to avoid a decrease in the reproduction output of the position signal and the data signal in the thin portion of 1.

さらに、円板素材400に対して、たとえばスパッタや
メッキなどの方法によって磁性体膜401を被着形成する
場合には、当該磁性体膜401が過度に平坦となり、たと
えば、コンタクト・スタート・ストップ(CSS)方式の
磁気ディスク装置においては、磁気ディスク4の表面に
塗布される潤滑剤などの作用により、サーボヘッド7aお
よびデータヘッド7bがサーボ面4aやデータ面4bに固着し
て起動困難などの障害を引き起こす場合がある。
Furthermore, when the magnetic film 401 is formed on the disk material 400 by, for example, a method such as sputtering or plating, the magnetic film 401 becomes excessively flat, and for example, a contact start / stop ( In a CSS) type magnetic disk drive, the servo head 7a and the data head 7b are stuck to the servo surface 4a and the data surface 4b due to the action of a lubricant applied to the surface of the magnetic disk 4 and are difficult to start. May cause.

そこで、これを回避するため、過度に平坦な磁性体膜
401の表面を意図的に所定の状態に粗面化するテクスチ
ャー加工を施すことが行われるが、このテクスチャー加
工においても、磁気ディスク4の回転数と、ラッピング
・テープの径方向における送り速度とを、前記の条件を
満たすように設定することにより、たとえテクスチャー
加工中にスクラッチが発生しても、位置決め精度や再生
出力などへの悪影響を防止することができる。
Therefore, to avoid this, an excessively flat magnetic film
Texture processing for intentionally roughening the surface of the surface 401 to a predetermined state is performed. In this texture processing, too, the rotation speed of the magnetic disk 4 and the feed speed in the radial direction of the wrapping tape are changed. By setting so as to satisfy the above conditions, even if scratches occur during texture processing, adverse effects on positioning accuracy, reproduction output, and the like can be prevented.

さらに、通常、磁気ディスク装置の製造工程において
は、第8図に示されるような状態、あるいは回転駆動軸
3に複数の磁気ディスク4を組付けた状態で、サーボ面
4aに対する位置情報の書き込みを行って、磁気ディスク
4における欠陥の有無の最終点な検査を行うことが一般
的である。
Further, usually, in the manufacturing process of the magnetic disk drive, the servo surface is set in a state as shown in FIG.
Generally, writing of position information to 4a is performed to perform a final inspection for the presence or absence of a defect in the magnetic disk 4.

そして、その時点でスクラッチなどによる欠陥が発見
された場合には、せっかく組み立てた複数の磁気ディス
ク4を分解して、再度他の正常な磁気ディスク4を組付
けるという煩雑な作業が必要となるが、本実施例の場合
には、スクラッチが存在していても、前述のように、サ
ーボ面4aからの位置情報の誤った読み取りや、位置信号
およびデータ信号の読み取りレベルの低下などが実質的
に無くなり、磁気ディスク4におけるスクラッチの存在
に起因する無駄な組立分解作業が不要になり、磁気ディ
スク装置の製造工程における生産性が大幅に向上する。
If a defect due to scratches or the like is found at that time, it is necessary to disassemble the plurality of magnetic disks 4 that have been assembled and to assemble another normal magnetic disk 4 again. However, in the case of the present embodiment, even if a scratch is present, as described above, erroneous reading of the position information from the servo surface 4a and a decrease in the reading level of the position signal and the data signal are substantially caused. As a result, unnecessary assembly and disassembly work due to the presence of scratches on the magnetic disk 4 becomes unnecessary, and productivity in the manufacturing process of the magnetic disk device is greatly improved.

〔実施例2〕 第9図は、本発明の他の実施例である磁気ディスクの
加工方法の一例を示す説明図である。
Embodiment 2 FIG. 9 is an explanatory view showing an example of a magnetic disk processing method according to another embodiment of the present invention.

この実施例2の場合には、磁性体膜401の形成後にお
ける表面仕上げなどにおいて、加工中に回転される磁気
ディスク4の回転中心、すなわち加工中心400Bを、当該
磁気ディスク4の磁気ディスク装置に搭載された実使用
状態における中心400A(すなわち同心円状に配置される
トラック群の中心)から所定量ΔYだけ、いずれかの方
向に偏心させた点に設定している。
In the case of the second embodiment, the rotation center of the magnetic disk 4 that is rotated during processing, that is, the processing center 400B, is applied to the magnetic disk device of the magnetic disk 4 in the surface finishing after the formation of the magnetic film 401. It is set at a point decentered in any direction by a predetermined amount ΔY from the center 400A (that is, the center of the concentrically arranged track group) in the mounted actual use state.

このような偏心加工を施した結果、磁気ディスク4の
表面に残る加工跡すなわちスクラッチは、たとえば破線
で示されるスクラッチ402のようになる。
As a result of performing such eccentric processing, a processing mark or scratch remaining on the surface of the magnetic disk 4 becomes, for example, a scratch 402 indicated by a broken line.

第10図は、上記のように偏心加工した磁気ディスク
を、サーボ面4aが形成されるサーボ・ディスクとして磁
気ディスク装置に偏心させることなく搭載し、これに、
位置情報を偏心させることなく書き込んだ状態を示す説
明図である。
FIG. 10 shows that the magnetic disk processed as described above is mounted without being eccentric on the magnetic disk device as a servo disk on which the servo surface 4a is formed.
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a state where position information is written without eccentricity.

前記スクラッチ402の一部が、トラック403と、前記偏
心量ΔYに応じて決まる角度θで交差している。
A part of the scratch 402 crosses the track 403 at an angle θ determined according to the eccentricity ΔY.

トラック403上に位置決めされたサーボヘッド7a(H
S)によって読み出された位置情報から復調された位置
信号404には、スクラッチ402と、当該トラック403上を
移動するサーボヘッド7aとが交差する間、すなわち、ヘ
ッド・コア通過時間ΔTの間、正負一対の位置誤検出量
ΔXを生じる。
Servo head 7a (H
The position signal 404 demodulated from the position information read by S) includes the position signal 404 during the time when the scratch 402 intersects with the servo head 7a moving on the track 403, that is, during the head core passage time ΔT. A pair of positive and negative position erroneous detection amounts ΔX are generated.

そして、前記偏心量ΔYの値を適切に設定すれば、ヘ
ッド・コア通過時間ΔTを磁気ディスク装置におけるサ
ーボ制御系の応答可能時間Tsよりも小さくすることがで
き、スクラッチ402の存在に起因する位置誤検出量ΔX
にサーボヘッド7aが誤って追随するのを防止することが
できる。
Then, by appropriately setting the value of the eccentric amount [Delta] Y, can be smaller than the response available time T s of the servo control system of the head core passing time ΔT in the magnetic disk device, due to the presence of the scratch 402 Position error detection amount ΔX
It is possible to prevent the servo head 7a from following up accidentally.

一方、加工時における前記偏心量ΔYの値を必要以上
に大きく設定すると、次のような不都合が発生する。
On the other hand, if the value of the eccentric amount ΔY during processing is set to be larger than necessary, the following inconvenience occurs.

すなわち、磁気ディスク装置では、通常、位置信号の
検出感度を磁気ディスクの場所によらず均一なものとす
るため、位置情報読み出し信号における前述のようなOD
D成分とEVEN成分の和を一定にするような自動利得制御
(AGC)を行っている。
That is, in the magnetic disk device, usually, the detection sensitivity of the position signal is made uniform regardless of the position of the magnetic disk.
Automatic gain control (AGC) is performed to keep the sum of the D component and the EVEN component constant.

そして、偏心量ΔYを大きく設定すると、前述のよう
に、ヘッド・コア通過時間ΔTは小さくなり、このΔT
がAGC制御系の応答可能時間Taを下回ると、位置情報読
み出し信号に対するAGC制御処理ができなくなり、ヘッ
ド・コア通過時間ΔTにおける位置検出感度が低下する
という弊害を生じる。
When the amount of eccentricity ΔY is set to be large, the head-core passage time ΔT becomes small as described above, and this ΔT
There below the response available time T a of the AGC control system can no longer AGC control processing of a position information read signal, it produces an adverse effect that the position detection sensitivity in the head core passing time ΔT is reduced.

したがって、ヘッド・コア通過時間ΔTが、サーボ制
御系の応答可能時間Tsより短く、かつ、AGC制御系の応
答可能時間Taよりも長くなるように設定する必要があ
る。
Thus, the head core passing time ΔT is shorter than the response available time T s of the servo control system, and it is necessary to set longer than the response available time T a of the AGC control system.

多くの磁気ディスク装置では、前記ΔTsは1ms程度、T
aは10μs程度に設定されているので、上記の条件を満
たすΔTの設定可能範囲は充分に広い。
In many magnetic disk drives, ΔT s is about 1 ms and T
Since a is set to about 10 μs, the settable range of ΔT satisfying the above condition is sufficiently wide.

また、本実施例のような偏心加工を施した磁気ディス
ク4は、サーボ・ディスクとしてのみならず、通常のデ
ータの記録・再生に用いられるデータ・ディスクとして
も使用することができる。
Further, the magnetic disk 4 subjected to the eccentric processing as in this embodiment can be used not only as a servo disk but also as a data disk used for recording / reproducing normal data.

すなわち、データ・ディスクから読み出した再生信号
には、通常、当該再生信号の振幅を一定にするようなAG
C制御が施される。このような、データ再生系におけるA
GC制御系の応答可能時間Tdは数μs程度であり、本実施
例のような偏心加工を施した磁気ディスク4におけるヘ
ッド・コア通過時間ΔTはTdよりも充分に大きいからで
ある。
That is, a reproduced signal read from a data disk usually includes an AG that keeps the amplitude of the reproduced signal constant.
C control is performed. A in such a data reproduction system
This is because the response time Td of the GC control system is about several μs, and the head core passage time ΔT in the magnetic disk 4 subjected to the eccentric processing as in this embodiment is sufficiently larger than Td .

これにより、加工時における偏心量ΔYを前述のよう
な条件を満たす範囲に設定することで、たとえば、磁気
ディスク4をサーボ・ディスクとデータ・ディスクとに
使い分ける場合でも、各々の磁気ディスク4毎に個別の
加工工程を設ける必要がなく、加工設備などを簡略化で
きるという利点がある。
Thus, by setting the eccentricity ΔY during processing to a range that satisfies the above-described condition, for example, even when the magnetic disk 4 is selectively used for a servo disk and a data disk, each magnetic disk 4 has its own eccentricity ΔY. There is an advantage that there is no need to provide individual processing steps, and processing equipment and the like can be simplified.

また、磁気ディスク装置においては、磁気ディスク4
の同一記録面内に、通常のデータとともに位置情報を予
め離散的または連続的に書き込んでおき、実使用時にこ
の位置情報を読み出し、位置信号に復調して、オフトラ
ックの補正またはトラック・フォローイング動作そのも
のを行う、データ面サーボ方式のものがあるが、本実施
例の加工方法を当該データ面サーボ方式の磁気ディスク
装置に搭載される磁気ディスクに適用することで、加工
時のスクラッチなどに起因する位置決め精度の劣化を防
止する効果が得られる。
In the magnetic disk drive, the magnetic disk 4
In the same recording surface, the position information is discretely or continuously written together with normal data in advance, and this position information is read out during actual use, demodulated into a position signal, and the off-track correction or track following is performed. Although there is a data surface servo method that performs the operation itself, the processing method of the present embodiment is applied to a magnetic disk mounted on a magnetic disk device of the data surface servo method. The effect of preventing the deterioration of the positioning accuracy is obtained.

なお、本実施例の加工方法は、磁気ディスク4を構成
する磁性体膜401の表面仕上げのみならず、スパッタや
メッキなどの方法によって過度に平坦に形成された磁性
体膜401のテクスチャー加工に適用しても同様の効果が
得られることは言うまでもない。
The processing method of the present embodiment is applicable not only to the surface finishing of the magnetic film 401 constituting the magnetic disk 4 but also to the texture processing of the magnetic film 401 formed to be excessively flat by a method such as sputtering or plating. Needless to say, the same effect can be obtained.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the embodiments, and it is needless to say that various changes can be made without departing from the gist of the invention. Nor.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものに
よって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおり
である。
The effects obtained by typical aspects of the invention disclosed in the present application will be briefly described as follows.

すなわち、本発明になる磁気ディスクの加工方法は、
円板素材の表面に磁性体膜を被着してなる記録面に配置
される同心円領域に情報が記録される磁気ディスクの加
工方法であって、前記円板素材および前記磁性体膜の少
なくとも一方の表面加工における加工軌跡が前記同心円
領域に交差するようにしたので、たとえば、回転する磁
気ディスクなどに対して径方向に加工工具を移動させな
がら押し当てることにより、加工軌跡を螺線状にした
り、磁気ディスクや円板素子を実使用時における回転中
心(同心円領域の中心)から偏心させた状態で回転させ
ながら加工工具を押し当てて加工軌跡を偏心させること
で、同心円領域に対して加工軌跡が交差するようにする
とともに、磁気ディスクなどの回転速度と径方向におけ
る工具の送り速度との比、または加工時における磁気デ
ィスクの偏心量を所望の値に制御することにより、加工
軌跡と同心円領域との交差角θが、前述のθ<θ
<θなる関係を満たすようにして、加工時に不可避的
に発生するスクラッチに起因する位置決め精度やデータ
の記録・再生動作の信頼性の低下を確実に防止すること
ができる。
That is, the method for processing a magnetic disk according to the present invention includes:
A method for processing a magnetic disk in which information is recorded in concentric regions arranged on a recording surface formed by applying a magnetic film to a surface of a disk material, wherein at least one of the disk material and the magnetic film Since the machining trajectory in the surface machining crosses the concentric area, for example, the machining trajectory may be formed in a spiral shape by pressing the machining tool against a rotating magnetic disk or the like while moving the machining tool in the radial direction. The eccentricity of the machining trajectory by pressing the machining tool while rotating the magnetic disk or disk element while eccentrically rotating from the center of rotation (the center of the concentric area) in actual use makes the machining trajectory relative to the concentric area. And the ratio between the rotation speed of the magnetic disk and the feed rate of the tool in the radial direction, or the amount of eccentricity of the magnetic disk during machining is determined. By controlling the value, the crossing angle theta 3 of the machining locus concentric regions, the aforementioned θ 1 <θ 3
<So as to satisfy the theta 2 the relationship, it is possible to reliably prevent a decrease in reliability of the inevitably recording and reproducing operation of the positioning accuracy and data resulting from the scratches that occur during processing.

また、上述の加工方法によって製作された磁気ディス
クでは、当該磁気ディスクに存在するスクラッチが実質
的に致命的な製品不良の原因にはならないため、磁気デ
ィスクの情報記録密度および歩留りが向上する。
Further, in the magnetic disk manufactured by the above-described processing method, the scratch existing on the magnetic disk does not substantially cause a fatal product defect, so that the information recording density and the yield of the magnetic disk are improved.

また、本発明の磁気ディスク装置では、位置決め情報
とデータとを別の記録面に配置する場合、あるいは、位
置決め情報とデータとを同一の記録面内に混在させて記
録させる場合のいずれにおいても、搭載される磁気ディ
スクが上述のような加工によって製作されているため、
位置決め精度やデータの記録・再生動作における信頼性
が向上する。
Further, in the magnetic disk device of the present invention, when positioning information and data are arranged on different recording surfaces, or when positioning information and data are mixed and recorded on the same recording surface, Because the magnetic disk to be mounted is manufactured by the above processing,
Positioning accuracy and reliability in data recording / reproducing operations are improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明の一実施例である磁気ディスクの加工
方法を実施する加工装置の構成の一例を示す斜視図、 第2図は、その作用の一例を説明する斜視図、 第3図は、磁気ディスクの構造の一例を示す断面図、 第4図は、本発明の一実施例である磁気ディスクの加工
方法の作用を説明する線図、 第5図は同じくその作用を説明する線図、 第6図は同じくその作用を説明する線図、 第7図は同じくその作用を説明する線図、 第8図は、本発明の一実施例である磁気ディスク装置の
構成の一例を示す略断面図、 第9図は、本発明の一実施例である磁気ディスクの加工
方法の一例を説明する説明図、 第10図は、その作用の一例を説明する説明図、 第11図は、一般的な磁気ディスク装置における位置情報
の書き込み方法の一例を示す線図、 第12図は、従来の加工方法における不具合の一例を説明
する線図である。 1……筐体、2……モータ、3……回転駆動軸、4……
磁気ディスク、4a……サーボ面、4b……データ面、5…
…キャリッジ、5a……レール、5b……ベアリング、5c…
…コイル、5d……ヨーク、6……ヘッドアーム、6a……
板バネ、7……磁気ヘッド、7a……サーボヘッド(H
S)、7b……データヘッド(HD)、8……復調回路、9
……補償回路、10……パワーアンプ、11……プリアン
プ、12……AGC回路、13……データ弁別回路、VCM……ボ
イスコイルモータ、20……チャック、21……回転駆動機
構、22……リニアウェイ機構、22a……送りモータ、23,
25……繰り出しプーリ、23a,25a……モータ、24,26……
巻き取りプーリ、24a,26a……モータ、27,28……ラッピ
ング・テープ、29,30……加圧ローラ、31……角速度制
御部、32……テープ送り速度制御部、33……テープ巻き
取り速度制御部、400……円板素材、401……磁性体膜、
402……スクラッチ、403……トラック、404……位置信
号、400A……実使用時の中心(同心円状のトラック群の
中心)、400B……加工時における回転中心。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of the configuration of a processing apparatus for performing a magnetic disk processing method according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view illustrating an example of its operation, FIG. Is a cross-sectional view showing an example of the structure of a magnetic disk, FIG. 4 is a diagram illustrating the operation of a magnetic disk processing method according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6, FIG. 6 is a diagram for explaining the operation, FIG. 7 is a diagram for explaining the operation, and FIG. 8 is an example of the configuration of a magnetic disk drive according to an embodiment of the present invention. FIG. 9 is an explanatory view for explaining an example of a method of processing a magnetic disk according to an embodiment of the present invention, FIG. 10 is an explanatory view for explaining an example of its operation, FIG. FIG. 12 is a diagram showing an example of a method of writing position information in a general magnetic disk drive, Is a diagram illustrating an example of a defect in the conventional processing methods. 1 ... housing, 2 ... motor, 3 ... rotary drive shaft, 4 ...
Magnetic disk, 4a ... servo surface, 4b ... data surface, 5 ...
… Carriage, 5a …… rail, 5b …… bearing, 5c…
... Coil, 5d ... Yoke, 6 ... Head arm, 6a ...
Leaf spring, 7 Magnetic head, 7a Servo head (H
S), 7b: Data head (HD), 8: Demodulation circuit, 9
Compensation circuit, 10 Power amplifier, 11 Preamplifier, 12 AGC circuit, 13 Data discrimination circuit, VCM Voice coil motor, 20 Chuck, 21 Rotary drive mechanism, 22 … Linear way mechanism, 22a …… Feed motor, 23,
25 …… Pull out pulley, 23a, 25a …… Motor, 24,26 ……
Take-up pulley, 24a, 26a Motor, 27, 28 Wrapping tape, 29, 30 Pressure roller, 31 Angular speed control unit 32 Tape feed speed control unit 33 Tape winding Picking speed control unit, 400: disk material, 401: magnetic film,
402: scratch, 403: track, 404: position signal, 400A: center in actual use (center of concentric track group), 400B: center of rotation during processing.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 利昭 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 大谷 祐一 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭63−160010(JP,A) 特開 昭63−300426(JP,A) 特開 平2−134727(JP,A) 特開 平2−158916(JP,A) 特開 平2−297722(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 5/84 G11B 5/82 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Toshiaki Kojima 2880 Kozuhara, Kozuhara-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Odawara Plant, Hitachi, Ltd. 56) References JP-A-63-160010 (JP, A) JP-A-63-300426 (JP, A) JP-A-2-134727 (JP, A) JP-A-2-158916 (JP, A) Hei 2-297722 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 5/84 G11B 5/82

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】円板素材の表面に磁性体膜を被着して記録
面が構成され、通常のデータ信号が記録される第1の同
心円領域および予め位置決め信号が記録された、第1の
同心円領域と異なる第2の同心円領域が前記記録面に配
置される磁気ディスクと、 この磁気ディスクを前記第1および第2の同心円領域と
同軸に支持して回転させる回転駆動部と、 前記第1の同心円領域に対する通常のデータ信号の記録
・再生を行う第1の機能を有するヘッドと、 前記第2の同心円領域からの前記位置決め信号の読み出
しを行う第2の機能を有するヘッドと、 複数の前記ヘッドを、前記磁気ディスクの径方向に変位
自在に支持し、前記第2の機能を有するヘッドを介して
前記第2の同心円領域から得られる前記位置決め信号に
基づいて、前記第1の機能を有するヘッドの前記第1の
同心円領域に対する位置付けを制御する位置決め機構と
からなる磁気ディスク装置であって、 前記円板素材および前記磁性体膜の少なくとも一方の表
面加工における加工軌跡が前記同心円領域に交差する磁
気ディスクを有し、 前記第2の同心円領域と、当該第2の同心円領域が配置
される前記磁気ディスクに対する表面加工における加工
軌跡との交差角θが次式(1)で示される値以上にな
るようにしたことを特徴とする磁気ディスク装置。 θ=tan-1(fa・lhd2/rmin・ω) ・・・(1) ただし、fa:位置決め信号の最低必要周波数、 lhd2:第2の機能を有するヘッドのコア幅、 rmin:位置決め信号の最小書込半径、 ω:磁気ディスクの回転角速度。
A recording surface is formed by applying a magnetic film on the surface of a disk material, and a first concentric region where a normal data signal is recorded and a first concentric region where a positioning signal is recorded in advance. A magnetic disk in which a second concentric area different from the concentric area is arranged on the recording surface; a rotation drive unit that supports and rotates the magnetic disk coaxially with the first and second concentric areas; A head having a first function of recording / reproducing a normal data signal to / from a concentric region of the head; a head having a second function of reading the positioning signal from the second concentric region; A head is supported so as to be displaceable in a radial direction of the magnetic disk, and the first function is performed based on the positioning signal obtained from the second concentric region via the head having the second function. And a positioning mechanism for controlling positioning of the head with respect to the first concentric region, wherein a processing locus in surface processing of at least one of the disk material and the magnetic film intersects the concentric region. It has a magnetic disk, the second concentric region, the value crossing angle theta 1 between processing locus in the surface processing for the magnetic disk to which the second concentric region is disposed is represented by the following formula (1) A magnetic disk drive characterized by the above. θ 1 = tan −1 (fa · l hd2 / r min · ω) (1) where fa: minimum required frequency of the positioning signal, l hd2 : core width of the head having the second function, r min : Minimum writing radius of positioning signal, ω: Rotational angular velocity of magnetic disk.
【請求項2】前記第1の機能を有するヘッドには、自動
利得制御増幅器が接続され、前記磁気ディスクにおける
同心円領域に対する表面加工における加工軌跡の交差角
θが、前記式(1)の値以上で、かつ次式(2)で示さ
れる交差角θ以下となるように表面加工が施された磁
気ディスクを、前記第1の同心円領域および第2の同心
円領域がそれぞれ配置される磁気ディスクとして用いる
ことを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク装置。 θ=tan-1(fb・lhd1/rmax・ω) ・・・(2) ただし、fb:読出系の自動利得制御増幅器の応答周波
数、 lhd1:第1の機能を有するヘッドのコア幅、 rmax:データ信号の最大書込半径、 ω:磁気ディスクの回転角速度。
2. An automatic gain control amplifier is connected to the head having the first function, and an intersection angle .theta. Of a processing locus in a surface processing on a concentric region of the magnetic disk is equal to or more than the value of the expression (1). And a magnetic disk that has been subjected to surface processing so as to have an intersection angle θ 2 or less represented by the following equation (2) is used as a magnetic disk in which the first concentric region and the second concentric region are respectively arranged. 2. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein the magnetic disk drive is used. θ 2 = tan −1 (fb · l hd1 / r max · ω) (2) where fb is the response frequency of the automatic gain control amplifier of the readout system, and l hd1 is the core of the head having the first function. Width, r max : maximum write radius of data signal, ω: rotational angular velocity of the magnetic disk.
【請求項3】円板素材の表面に磁性体膜を被着してなる
記録面に配置される同心円領域に情報が記録される磁気
ディスクの加工方法であって、回転する磁気ディスク表
面に加工工具を押圧し、前記磁気ディスクの回転速度V2
と、前記加工具の当該磁気ディスクの径方向における移
動速度V1より次式(3)に基づいて得られる交差角θ
の値が、次式(4)の条件を満たすように、螺線状の加
工軌跡を描いて前記磁性体膜の表面加工を遂行する磁気
ディスクの加工方法。 θ=tan-1(V1/V2) ・・・(3) θ<θ<θ ・・・(4) ただし、θ1:式(1)より求めた値、 θ2:式(2)より求めた値。
3. A method of processing a magnetic disk in which information is recorded in a concentric area arranged on a recording surface formed by applying a magnetic film to a surface of a disk material, wherein the information is processed on a rotating magnetic disk surface. Pressing the tool, the rotation speed V 2 of the magnetic disk
And an intersection angle θ 3 obtained from the moving speed V 1 of the processing tool in the radial direction of the magnetic disk based on the following equation (3).
A magnetic disk processing method in which a surface of the magnetic film is processed by drawing a spiral processing locus such that the value of the following equation (4) is satisfied. θ 3 = tan −1 (V 1 / V 2 ) (3) θ 132 (4) where θ 1 : a value obtained from the equation (1), θ 2 : Value obtained from equation (2).
【請求項4】円板素材の表面に磁性体膜を被着して記録
面が構成され、通常のデータ信号が記録される第1の同
心円領域および予め位置決め信号が記録された第2の同
心円領域が同一の前記記録面に配置される磁気ディスク
と、 この磁気ディスクを支持して回転させる回転駆動部と、 前記第1の同心円領域に対する通常のデータ信号の記録
・再生を行う第1の機能と、前記第2の同心円領域から
の前記位置決め信号の読み出しを行う第2の機能を有す
るヘッドと、 一つまたは複数の前記ヘッドを、前記磁気ディスクの径
方向に変位自在に支持し、前記第2の機能を用いて前記
第2の同心円領域から得られる前記位置決め信号に基づ
いて、前記ヘッドの前記第1の同心円領域に対する位置
付けを制御する位置決め機構とからなる磁気ディスク装
置であって、 前記円板素材および前記磁性体膜の少なくとも一方の表
面加工における加工軌跡が前記同心円領域に交差する磁
気ディスクを有し、 前記第2の同心円領域と、当該第2の同心円領域が配置
される前記磁気ディスクに対する表面加工における加工
軌跡との交差角θが前記式(1)で示される値以上に
なるようにしたことを特徴とする磁気ディスク装置。
4. A recording surface is formed by applying a magnetic film on the surface of a disk material, and a first concentric area in which a normal data signal is recorded and a second concentric circle in which a positioning signal is recorded in advance. A magnetic disk having an area arranged on the same recording surface; a rotation drive unit for supporting and rotating the magnetic disk; and a first function of recording / reproducing a normal data signal to / from the first concentric area A head having a second function of reading the positioning signal from the second concentric region; and supporting one or more of the heads so as to be displaceable in a radial direction of the magnetic disk. A magnetic disk comprising: a positioning mechanism that controls the positioning of the head with respect to the first concentric area based on the positioning signal obtained from the second concentric area using the function of (2). A magnetic disk in which a processing trajectory in at least one surface processing of the disk material and the magnetic material film intersects the concentric region, wherein the second concentric region and the second concentric region There the magnetic disk device characterized by crossing angle theta 1 between processing locus in the surface processing for the magnetic disk to be arranged is set to be more than a value represented by the formula (1).
【請求項5】前記ヘッドには、自動利得制御増幅器が接
続され、前記磁気ディスクにおける同心円領域に対する
表面加工における加工軌跡の交差角θが、前記式(1)
の値以上で、かつ前記式(2)で示される交差角θ
下となるように表面加工が施された磁気ディスクを、前
記第1の同心円領域および第2の同心円領域が同一の円
板表面に配置される磁気ディスクとして用いることを特
徴とする請求項4記載の磁気ディスク装置。
5. An automatic gain control amplifier is connected to the head, and an intersection angle θ of a processing locus in a surface processing with respect to a concentric region of the magnetic disk is represented by the formula (1).
In the value above, and the formula of the magnetic disk surface processing has been performed so that the crossing angle theta 2 below represented by (2), said first concentric region and a second concentric region identical disc 5. The magnetic disk drive according to claim 4, wherein the magnetic disk drive is used as a magnetic disk disposed on a surface.
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