JP2941866B2 - Electron gun - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、陰極線管用の電子銃に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electron gun for a cathode ray tube.
本発明は、陰極線管用の電子銃、特にステンレス鋼か
らなる第1電極及び第2電極が絶縁スペーサを介してろ
う付けされてなる電子銃であって、真空炉又は水素炉中
で焼鈍処理することによって、第1電極及び第2電極の
ビッカース硬度を150未満とすることにより、上記ろう
付け時の絶縁スペーサの破損を防ぎ、信頼性の向上を図
り、併せて製造工程を煩雑化しないようにしたものであ
る。The present invention relates to an electron gun for a cathode ray tube, in particular, an electron gun in which a first electrode and a second electrode made of stainless steel are brazed through insulating spacers, and which is annealed in a vacuum furnace or a hydrogen furnace. By setting the Vickers hardness of the first electrode and the second electrode to less than 150, breakage of the insulating spacer during the brazing is prevented, reliability is improved, and the manufacturing process is not complicated. Things.
カラー陰極線管の電子銃として第3図に示す3ビーム
単電子銃が知られている。この電子銃(10)は赤、緑及
び青に対応する3つのカソードK〔Kr,Kg,Kb〕を3つの
第1電極G1〔G1r,G1g,G1b〕と、3つのカソードKに対
して共通の第2電極G2と第3電極G3と第4電極G4と第5
電極G5とを有し、その後段に4枚の静電偏向電極板
(Pa)(Pb)(Pc)及び(P4)からなるコンバージェン
ス手段を配して構成される。(h1)〔(h1r),
(h1g),(h1b)〕は夫々第1電極G1r,G1g,G1bに形成
された電子ビーム通過孔、(h2)〔(h2r),(h2g),
(h2b)〕は第2電極G2に形成された電子ビーム透過
孔、(h3)〔(h3r),(h3g),(h3b)〕は第3電極G
3に形成された電子ビーム透過孔である。各、カソードK
r,Kg,Kbからの電子ビームBr,Bg,Bbはアノード電圧が与
えられる第3電極及び第5電極G5とフォーカス電圧が与
えられる第4電極G4とで形成される主電子レンズにその
レンズ中心で交叉するように入射し、その後コンバージ
ェンス手段(C)によって蛍光面上にコンバージェンス
するようになされる。A three-beam single electron gun shown in FIG. 3 is known as an electron gun for a color cathode ray tube. The electron gun (10) is red, three cathodes K corresponding to the green and blue [K r, K g, K b] the three first electrodes G 1 [G 1r, G 1g, G 1b] and, 3 One of the second electrode G 2 of the common with respect to the cathode K and the third electrode G 3 and the fourth electrode G 4 5
And an electrode G 5, constituted by arranging a convergence means comprising four electrostatic deflection electrode plates (P a) (P b) (P c) and (P 4) to a subsequent stage. (H 1 ) [(h 1r ),
(H 1g ), (h 1b )] are electron beam passage holes formed in the first electrodes G 1r , G 1g , G 1b , respectively, and (h 2 ) [(h 2r ), (h 2g ),
(H 2b )] is an electron beam transmitting hole formed in the second electrode G 2 , and (h 3 ) [(h 3r ), (h 3g ), (h 3b )] is a third electrode G
3 is an electron beam transmission hole formed in FIG. Each, cathode K
r, is formed by the K g, the electron beam B r from K b, B g, B b fourth electrode G 4 provided third electrode and the fifth electrode G 5 and the focus voltage is applied anode voltage The light is incident on the main electron lens so as to intersect at the center of the lens, and then converges on the phosphor screen by the convergence means (C).
通常このような電子銃の各電極G1〜G5及びコンバージ
ェンス手段(C)には、SUS304やオーステナイト系非磁
性ステンレス鋼等の所謂ステンレス鋼が用いられてい
る。Usually the respective electrodes G 1 ~G 5 and convergence means such electron gun (C) is a so-called stainless steel such as SUS304 and austenitic non-magnetic stainless steel is used.
一方、高精細度カラー陰極線管用の3ビーム単電子銃
として、予め各第1電極G1r,G1g,G1bと共通の第2電極G
2を互いに薄い絶縁スペーサを介してろう付けし一体化
した後、他の電極G3〜G5及びコンバージェンス手段
(C)と共にビーディングガラスに支持して組立精度を
向上せしめた電子銃が開発された。On the other hand, as a three-beam single electron gun for a high-definition color cathode ray tube, a second electrode G common to each of the first electrodes G 1r , G 1g , G 1b in advance is used.
After integrating Shi brazed via a thin insulating spacer from each other 2, electron gun allowed improved assembly accuracy and supported by the beading glass with other electrodes G 3 ~G 5 and convergence means (C) has been developed Was.
ところで、絶縁スペーサとして用いるセラミック材は
熱膨張係数が6.5×10-6(40℃〜400℃に於て)であり、
また電極を構成する例えばSUS304は熱膨張係数が14.4×
10-6(0℃〜100℃に於て)である。従って、上記新規
な電子銃において、絶縁スペーサを介して第1電極G1と
第2電極G2をろう付けする際に(最高で860℃程度で加
熱される)、上記の熱膨張係数の差によって絶縁スペー
サが割れるという問題が生じた。By the way, the ceramic material used as the insulating spacer has a thermal expansion coefficient of 6.5 × 10 −6 (at 40 ° C. to 400 ° C.)
Also, for example, SUS304 constituting the electrode has a thermal expansion coefficient of 14.4 ×
10 -6 (at 0 ° C to 100 ° C). Thus, in the novel electron gun (heated at about up to 860 ° C.) when brazing the first electrode G 1 and the second electrode G 2 through an insulating spacer, the difference in the thermal expansion coefficient of the This causes a problem that the insulating spacer is broken.
第1電極G1及び第2電極G2の材質をコバール(熱膨張
係数4.5〜5.4×10-6、30℃〜450℃に於て)、又は42%N
i−Fe合金(熱膨張係数4.5〜5.3×10-6、25℃〜325℃に
於て)等の低熱膨張合金材を用いれば、上述の問題は解
決できるが、材質を変えることによるコスト高、プレス
加工性の悪さ等の不都合が生じるものであった。The material of the first electrode G 1 and the second electrode G 2 is Kovar (coefficient of thermal expansion 4.5 to 5.4 × 10 -6 at 30 ° C. to 450 ° C.) or 42% N
The use of a low-thermal-expansion alloy material such as an i-Fe alloy (at a thermal expansion coefficient of 4.5 to 5.3 × 10 -6 at a temperature of 25 to 325 ° C.) can solve the above-mentioned problem. Inconveniences such as poor press workability occur.
本発明は、上述の点に鑑み、電極材としてステンレス
鋼を用いるも、ろう付け時の絶縁スペーサの破損を回避
できるようにした信頼性の高い電子銃を提供するもので
ある。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, the present invention provides a highly reliable electron gun that uses stainless steel as an electrode material but can avoid damage to an insulating spacer during brazing.
本発明は、ステンレス鋼からなる第1電極及び第2電
極が絶縁スペーサを介してろう付けされてなる電子銃で
あって、真空炉又は水素炉中で焼鈍処理することによっ
て、第1電極及び第2電極のビッカース硬度を150未満
とした構成とする。The present invention is an electron gun in which a first electrode and a second electrode made of stainless steel are brazed via insulating spacers, and the first electrode and the second electrode are annealed in a vacuum furnace or a hydrogen furnace. The Vickers hardness of the two electrodes is set to less than 150.
ステンレス鋼からなる第1電極G1及び第2電極G2にお
いて、そのステンレス鋼のビッカース硬度を150未満と
することによって、絶縁スペーサ(1)の割れが阻止さ
れる。すなわち、絶縁スペーサ(1)を介して第1電極
G1と第2電極G2をろう付けする際の熱工程で、電極G1,G
2と絶縁スペーサ(1)の熱膨張係数の差により生ずる
応力が、硬度150未満の軟らかい電極G1,G2に吸収される
ために、絶縁スペーサ(1)の割れが回避される。In the first electrode G 1 and the second electrode G 2 made of stainless steel, by the Vickers hardness of the stainless steel to less than 150, cracking of the insulating spacer (1) it is prevented. That is, the first electrode is interposed via the insulating spacer (1).
In the heating process when brazing G 1 and the second electrode G 2 , the electrodes G 1 , G
The stress caused by the difference between the thermal expansion coefficients of the insulating spacer 2 and the insulating spacer 1 is absorbed by the soft electrodes G 1 and G 2 having a hardness of less than 150, so that the insulating spacer 1 is prevented from cracking.
真空炉又は水素炉中で焼鈍処理するので、電子銃の組
立前の脱ガス工程中で、その温度条件を変えるだけで目
的のビッカース硬度が容易に得られ、電子銃の製造工程
を煩雑化しない。Since the annealing treatment is performed in a vacuum furnace or a hydrogen furnace, the desired Vickers hardness can be easily obtained only by changing the temperature condition during the degassing process before assembling the electron gun, and the manufacturing process of the electron gun is not complicated. .
以下、図面を参照して本発明による電子銃の実施例を
説明する。Hereinafter, an embodiment of an electron gun according to the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本発明に係る電子銃の一例を示すもので、高
精細度カラー陰極線管用の3ビーム単電子銃に適用した
場合である。FIG. 1 shows an example of an electron gun according to the present invention, which is applied to a three-beam single electron gun for a high-definition color cathode ray tube.
本例の電子銃(9)は、前述の第3図と同様に、赤、
緑及び青に対応する3つのカソードK〔Kr,Kg,Kb〕と3
つの第1電極G1〔G1r,G1g,G1b〕と、3つのカソードK
に対して共通の第2電極G2、第3電極G3、第4電極G4及
び第5電極G5と、4枚の静電偏向電極板(Pa)(Pb)
(Pc)(Pd)からなるコンバージェンス手段(C)を有
するも、各第1電極G1r,G1g,G1bと之に対向する第2電
極板G2を互に絶縁スペーサ(例えばセラミックスペー
サ)(1)を介してろう付けにより一体化して構成す
る。h1〔h1r,h1g,h1b〕は第1電極G1r,G1g,G1bに夫々形
成された電子ビーム透過孔、h2〔h2r,h2g,h2b〕は第2
電極G2に形成された電子ビーム透過孔、h3〔h3r,h3g,h
3b〕は第3電極G3に形成された電子ビーム透孔孔であ
る。The electron gun (9) of this example has a red,
Three cathodes K [ Kr , Kg , Kb ] corresponding to green and blue and 3
Three first electrodes G 1 [G 1r , G 1g , G 1b ] and three cathodes K
A common second electrode G 2, the third electrode G 3, fourth and electrode G 4 and the fifth electrode G 5, 4 sheets of the electrostatic deflection electrode plates with respect to (P a) (P b)
(P c) (P d) also have a convergence means (C) consisting of the first electrode G 1r, G 1 g, mutually insulating spacer (for example, a ceramic and the second electrode plate G 2 opposed to this and G 1b It is configured integrally by brazing via a spacer) (1). h 1 [h 1r , h 1g , h 1b ] is an electron beam transmission hole formed in each of the first electrodes G 1r , G 1g , G 1b , and h 2 [h 2r , h 2g , h 2b ] is a second electrode
Electron beam transmission hole formed in the electrode G 2, h 3 [h 3r, h 3g, h
3b] is an electron-beam through holes holes formed in the third electrode G 3.
この電子銃(9)では、予め各第1電極G1r,G1g,G1b
と第2電極G2とを絶縁スペーサ(1)を介してろう付け
して一体化した後、他の第3電極G3〜第5電極G5及びコ
ンバージェンス手段(C)と共に所定の位置関係をもっ
て配列してビーディングガラス(図示せず)にて固定さ
れる。In this electron gun (9), each of the first electrodes G 1r , G 1g , G 1b
With the after integrally brazing the second electrode G 2 through an insulating spacer (1), a predetermined positional relationship with other third electrode G 3 ~ fifth electrode G 5, and convergence means (C) They are arranged and fixed with beading glass (not shown).
第1電極G1及び第2電極G2と絶縁スペーサ(1)との
ろう付けに際しては、第2図に示すように中央に透孔
(3)を有したセラミックスペーサ(4)の両面に数μ
m程度のNiメッキ層(5)を形成し、その上に数10μm
程度のMoMnメタライズ層(6)を形成し、さらにその上
に数10μm程度のろう材例えば銀ろう(7)を形成して
なる絶縁スペーサ(1)を用意する。この絶縁スペーサ
(1)を各第1電極G1r,G1g,G1bと第2電極G2間に配
し、治具で固定した状態で真空炉又は水素炉等により86
0℃、30分程度の加熱を行って各第1電極G1r,G1g,G1bと
共通の第2電極G2とを接合する。In the attached curse the first electrode G 1 and the second electrode G 2 insulating spacer (1), the number on both sides of the ceramic spacers (4) having a hole (3) in the center as shown in FIG. 2 μ
m Ni plating layer (5) is formed, and several tens μm
An MoMn metallized layer (6) is formed, and an insulating spacer (1) is further prepared by forming a brazing material, for example, a silver braze (7) of about several tens of μm thereon. This insulating spacer (1) is arranged between each of the first electrodes G 1r , G 1g , G 1b and the second electrode G 2 , and fixed with a jig by a vacuum furnace or a hydrogen furnace.
The first electrodes G 1r , G 1g , G 1b and the common second electrode G 2 are joined by heating at 0 ° C. for about 30 minutes.
しかして、本例では、特に第1電極G1r,G1g,G1b及び
第2電極G2をビッカース硬さ数150未満好ましくは145以
下としたステンレス鋼をもって形成する。即ち、第1電
極G1r,G1g,G1b及び第2電極G2を例えばSUS304やオース
テナイト系非磁性ステンレス鋼等の所謂ステンレス鋼に
て形成して、電子銃の組立て前の焼鈍条件を通常よりも
きつくして第1電極G1r,G1g,G1b及び第2電極G2の硬度
を150未満好ましくは145以下とする。In this embodiment, the first electrodes G 1r , G 1g , G 1b and the second electrode G 2 are formed of stainless steel having a Vickers hardness of less than 150, preferably 145 or less. That is, the first electrodes G 1r , G 1g , G 1b and the second electrode G 2 are formed of a so-called stainless steel such as SUS304 or austenitic non-magnetic stainless steel, and the annealing conditions before assembling the electron gun are usually set. The hardness of the first electrodes G 1r , G 1g , G 1b and the second electrode G 2 is set to be less than 150, preferably 145 or less.
なお、他の第3電極G3〜第5電極G5及びコンバージェ
ンス手段(C)は同様のステンレス鋼で形成し、通常の
焼鈍条件で焼鈍を行う。The other of the third electrode G 3 ~ fifth electrode G 5, and convergence means (C) is formed by a similar stainless steel, performing annealing under normal annealing conditions.
通常、陰極線管用電子銃に用いるSUS304やオーステナ
イト系非磁性ステンレス鋼の電極は、電子銃の組立て前
に、主として脱ガス(その他としては金属組織の均一化
による非磁性化、残留応力の除去等)の為に、焼鈍処理
を行う。この焼鈍処理は通常、例えば最高温度約1050℃
の水素炉中に合計時間約30分行われる。このときに各電
極は軟らかくなり、例えばオーステナイト系非磁性ステ
ンレス鋼の場合、ビッカース硬度で150程度になる。Normally, electrodes of SUS304 or austenitic non-magnetic stainless steel used for cathode ray tube electron guns are mainly degassed before assembly of the electron gun (otherwise, demagnetization by uniform metal structure, removal of residual stress, etc.) For this purpose, an annealing treatment is performed. This annealing process is usually performed, for example, at a maximum temperature of about 1050 ° C.
For a total time of about 30 minutes. At this time, each electrode becomes soft. For example, in the case of austenitic non-magnetic stainless steel, the Vickers hardness becomes about 150.
本実施例では、第1電極G1及び第2電極G2に対するこ
のときの焼鈍処理をきつくして(1100℃以上として)硬
度を(ビッカース硬度で)150未満好ましくは145以下に
さげる。具体例としては、最高温度1170℃の真空炉又は
水素炉中で2時間(合計時間)の焼鈍を行うと、オース
テナイト系非磁性ステンレス鋼の場合、その硬度を145
以下(実際は130〜140程度)に下げることができる。In this embodiment, by tightly annealing treatment at this time with respect to the first electrode G 1 and the second electrode G 2 (as a 1100 ° C. or higher) hardness (Vickers hardness) less than 150 preferably lowers to 145 below. As a specific example, when annealing is performed for 2 hours (total time) in a vacuum furnace or a hydrogen furnace having a maximum temperature of 1170 ° C., the hardness of austenitic non-magnetic stainless steel is reduced to 145%.
It can be reduced to below (actually around 130-140).
このように新焼鈍法によって硬度を下げたステンレス
鋼製の第1電極G1と第2電極G2を上述の絶縁スペーサ
(1)を介してろう付けすることにより、絶縁スペーサ
即ちセラミックスペーサ(1)の割れを防ぐことができ
る。すなわち、ろう付け時の熱処理工程でセラミックス
ペーサ(1)と電極G1及びG2の熱膨張係数の差により生
ずる応力が軟らかくなった電極G1及びG2に吸収されてセ
ラミックスペーサ(1)の破損が回避される。By brazing Thus new annealing method by the first electrode G 1 stainless steel having a reduced hardness and the second electrode G 2 through the aforementioned insulating spacer (1), insulating spacers i.e. ceramic spacer (1 ) Can be prevented. That it is absorbed by the electrodes G 1 and G 2 stress caused by the difference of the ceramic spacer (1) and the thermal expansion coefficient of the electrodes G 1 and G 2 is softened in the heat treatment step during brazing the ceramic spacers (1) Breakage is avoided.
因みに、第1電極G1及び第2電極G2の硬度と電子銃の
良品の歩留りの関係をみると、硬度150では50%以下の
歩留りであり、硬度が150を切ると50%を越える歩留り
となり、硬度145では90%以上の歩留りが得られた。硬
度の測定は、松沢精機株式会社製ミクロビッカース硬度
計DMH−1を用いて行った。Incidentally, viewing the relationship between the non-defective yield of hardness and the electron gun of the first electrode G 1 and the second electrode G 2, a yield of hardness in 150 less than 50%, the yield exceeds 50%, the hardness off 150 With a hardness of 145, a yield of 90% or more was obtained. The hardness was measured using a micro Vickers hardness meter DMH-1 manufactured by Matsuzawa Seiki Co., Ltd.
上述した電子銃(9)によれば、ステンレス鋼からな
る第1電極G1及び第2電極G2の焼鈍処理後の硬度を150
未満、好ましくは145以下とすることにより、絶縁スペ
ーサ(1)を介して第1電極G1及び第2電極G2をろう付
する際の熱処理工程において、熱膨張係数の差による絶
縁スペーサの割れを防ぐことができ、この種の電子銃の
信頼性を向上すると共に、良品の歩留りを向上すること
ができる。上記焼鈍処理は、真空炉又は水素炉中でなさ
れるので、電子銃組立前の脱ガス工程中で、その温度条
件を変えるだけでビッカーズ硬度を150未満とすること
ができ、電子銃の製造工程を煩雑化しない。また、電極
材としてステンレス鋼を用いることができるので、プレ
ス加工がし易く、製造が容易であると共に、安価に電子
銃を提供できる。According to the electron gun (9) described above, the hardness after annealing treatment of the first electrode made of stainless steel G 1 and the second electrode G 2 0.99
Less, preferably by a 145 or less, in the heat treatment step in the first with the electrode G 1 and the second electrode G 2 brazing through an insulating spacer (1), cracking of the insulating spacer due to the difference in thermal expansion coefficient Can be prevented, the reliability of this type of electron gun can be improved, and the yield of non-defective products can be improved. Since the above annealing treatment is performed in a vacuum furnace or a hydrogen furnace, the Vickers hardness can be reduced to less than 150 only by changing the temperature condition during the degassing process before assembling the electron gun, and the electron gun manufacturing process Is not complicated. Further, since stainless steel can be used as the electrode material, press working is easy, manufacturing is easy, and an electron gun can be provided at low cost.
尚、上例においては、3つの分離した第1電極G1r,G
1g,G1bと共通の第2電極G2をろう付けした電子銃に適用
したが、その他、3つのカソードKに対して共通の第1
電極G1と、共通の第2電極G2をろう付けした3ビーム単
電子銃にも適用でき、さらに第1電極G1と第2電極G2を
ろう付けしたモノクロ陰極線管用の電子銃にも適用でき
る。In the above example, three separated first electrodes G 1r , G
1g, is applied to the second electrode G 2 of the common and G 1b in brazed electron gun, other common for the three cathodes K first
An electrode G 1, the second electrode G 2 of the common can be applied to the brazed three-beam single electron gun, to further electron gun for a monochrome cathode ray tube of the first electrode G 1 and the second electrode G 2 brazed Applicable.
本発明の電子銃によれば、ステンレス鋼からなる第1
電極及び第2電極のビッカース硬度を150未満とするこ
とにより、第1、第2電極と絶縁スペーサとのろう付け
工程での絶縁スペーサの割れを防ぐことができ、製造の
歩留りを向上し、安価で信頼性の高い電子銃を提供する
ことができる。また、ビッカース硬度を150未満とする
ときの焼鈍処理が真空炉又は水素炉中で行うので、電子
銃の組立前の電極の脱ガス工程で、その温度条件を変え
るだけで可能となり、この種の電子銃の製造工程を煩雑
化することがない。According to the electron gun of the present invention, the first
By setting the Vickers hardness of the electrode and the second electrode to less than 150, it is possible to prevent the insulating spacer from cracking in the brazing step between the first and second electrodes and the insulating spacer, thereby improving the manufacturing yield and reducing the cost. And a highly reliable electron gun can be provided. Further, since the annealing treatment when the Vickers hardness is less than 150 is performed in a vacuum furnace or a hydrogen furnace, it becomes possible only by changing the temperature conditions in the electrode degassing process before assembling the electron gun, and this type of The manufacturing process of the electron gun is not complicated.
従って、高精細度カラー陰極線管用の電子銃に適用し
て好適ならしめるものである。Therefore, the present invention can be suitably applied to an electron gun for a high-definition color cathode ray tube.
第1図は本発明による電子銃の一例を示す構成図、第2
図は絶縁スペーサの例を示す断面図、第3図は従来の電
子銃の例を示す構成図である。 K〔Kr,Kg,Kb〕はカソード、G1〔G1r,G1g,G1b〕は第1
電極、G2は第2電極、G3は第3電極、G4は第4電極、G5
は第5電極、(C)はコンバージェンス手段、(1)は
絶縁スサーサである。FIG. 1 is a block diagram showing an example of an electron gun according to the present invention.
FIG. 3 is a sectional view showing an example of an insulating spacer, and FIG. 3 is a configuration diagram showing an example of a conventional electron gun. K [K r, K g, K b] a cathode, G 1 [G 1r, G 1g, G 1b] first
Electrode, G 2 is a second electrode, G 3 and the third electrode, G 4 and the fourth electrode, G 5
Is a fifth electrode, (C) is a convergence means, and (1) is an insulating sensor.
フロントページの続き (72)発明者 平居 芳郎 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチ ズン時計株式会社田無製造所内 (72)発明者 牛窪 忠次 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチ ズン時計株式会社田無製造所内 (56)参考文献 特開 平2−226641(JP,A) 特開 昭57−87041(JP,A) 特開 昭54−139464(JP,A) 特開 昭62−272426(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01J 29/48 - 29/51 H01J 1/46 - 1/48 H01J 9/02 - 9/18 Continued on the front page (72) Inventor Yoshiro Hirai 6-11-12 Honcho, Tanashi-shi, Tokyo Citizen Watch Co., Ltd. Inside Tanashi Factory (72) Inventor Tadashi Ushikubo 6-1-112, Honcho, Tanashi-shi, Tokyo Citizen Watch Co., Ltd. Tanashi Factory (56) References JP-A-2-226641 (JP, A) JP-A-57-87041 (JP, A) JP-A-54-139464 (JP, A) JP-A-62-272426 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H01J 29/48-29/51 H01J 1/46-1/48 H01J 9/02-9/18
Claims (1)
極が絶縁スペーサを介してろう付けされてなる電子銃で
あって、 真空炉又は水素炉中で焼鈍処理することによって、上記
第1電極及び第2電極のビッカース硬度を150未満とす
ることを特徴とする電子銃。An electron gun in which a first electrode and a second electrode made of stainless steel are brazed via insulating spacers, and wherein the first electrode is formed by annealing in a vacuum furnace or a hydrogen furnace. And an electron gun wherein the Vickers hardness of the second electrode is less than 150.
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1989
- 1989-12-08 JP JP31940189A patent/JP2941866B2/en not_active Expired - Fee Related
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