JP2910194B2 - Optical integrated pickup - Google Patents

Optical integrated pickup

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JP2910194B2
JP2910194B2 JP2241867A JP24186790A JP2910194B2 JP 2910194 B2 JP2910194 B2 JP 2910194B2 JP 2241867 A JP2241867 A JP 2241867A JP 24186790 A JP24186790 A JP 24186790A JP 2910194 B2 JP2910194 B2 JP 2910194B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、レーザ光により光記録媒体に対し情報の再
生を行う光ピックアップ、さらに詳細には、光導波路を
用いて構成した干渉光学系を備えた光集積型ピックアッ
プに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an optical pickup for reproducing information from an optical recording medium by using a laser beam, and more specifically, to an interference optical system configured using an optical waveguide. The present invention relates to an integrated optical pickup provided.

[従来の技術] 従来、レーザー光により情報の記録、再生を行う光記
録媒体では、ピットの長さによって情報を記録してい
た。さらに高密度の光記録媒体を実現するためには、ピ
ットの長さだけでなくピットの深さによっても情報を記
録、再生する事が必要となる。このような高密度光記録
媒体において、ピットの深さを検出するには、レーザー
光の干渉を利用した除振式ヘテロダイン干渉計が用いら
れる。例えば第8図に示す干渉計はその一例である。
[Prior Art] Conventionally, in an optical recording medium in which information is recorded and reproduced by a laser beam, information is recorded by the length of a pit. In order to realize a high-density optical recording medium, it is necessary to record and reproduce information not only by the pit length but also by the pit depth. In such a high-density optical recording medium, an anti-vibration heterodyne interferometer using laser light interference is used to detect the depth of a pit. For example, an interferometer shown in FIG. 8 is one example.

簡単に説明すると、周波数がfS,fPから成り、かつ偏
光面が互いに直交する例えばゼーマンレーザー等の二周
波直交レーザー500から出たレーザー光を無偏光ビーム
スプリッタ510により計測ビームとモニタービームに2
分する。モニタービームは偏光子570によって偏光面を
揃えられ可干渉光となりその差周波(fS−fP)が光セン
サ595によりモニタされ、基準ビート信号とする。一
方、無偏光ビームスプリッタ510により反射された計測
ビームはビームエクスパンダ520により拡大され、光学
レンズ531、方解石532、光学レンズ533からなる二重焦
点レンズ530に入る。偏光面が紙面に垂直であるS波は
二重焦点レンズ530によって絞られることなく通過し、
対物レンズ540によって光記録媒体表面上に1ミクロン
程度にフォーカスされ、プローブ光となる。一方、偏光
面が紙面に平行であるP波は二重焦点レンズ530によっ
て対物レンズ540の後焦点に絞られ、平行光となって光
記録媒体の広域(数百ミクロン程度)に照射されスキッ
ド光と成る。スポット径が十分小さいプローブ光は、凹
凸を持つ光記録媒体が例えばモーター等の駆動素子によ
り駆動されることにより、ドップラーシフトΔfを受け
る。また外乱振動によるドップラーシフトεも受け光周
波数fS+Δf+εの光となって逆の経路を辿り偏光子58
0を経てセンサ590に入る。またP波であるスキッド光
は、光記録媒体の凹凸に比較して十分大きいので凹凸に
よるドップラーシフトを受けず、外乱振動によるドップ
ラーシフトεのみを受け光周波数fP+εの光となって、
逆の経路を辿り偏光子580を経て偏光面を揃えられ、先
のプローブ光と合波干渉させられる。その結果センサ59
0では振動成分が取り除かれた(fS−fP+Δf)が測定
されるのである。深さ方向の変位は、先の基準ビート光
の周波数fb=fS−fPと比較することにより、Δfを求め
下記の換算式で求まるのである。
Briefly, laser light emitted from a two-frequency orthogonal laser 500, such as a Zeeman laser, whose frequencies are composed of f S and f P and whose polarization planes are orthogonal to each other, is converted into a measurement beam and a monitor beam by a non-polarization beam splitter 510. 2
Minute. Monitor beam the difference frequency becomes the collated coherent light the polarization plane by the polarizer 570 (f S -f P) is monitored by an optical sensor 595, and the reference beat signal. On the other hand, the measurement beam reflected by the non-polarizing beam splitter 510 is expanded by a beam expander 520 and enters a bifocal lens 530 including an optical lens 531, a calcite 532, and an optical lens 533. The S wave whose polarization plane is perpendicular to the paper surface passes through the bifocal lens 530 without being stopped,
The light is focused on the surface of the optical recording medium to about 1 micron by the objective lens 540 and becomes a probe light. On the other hand, the P-wave whose polarization plane is parallel to the paper is focused on the back focal point of the objective lens 540 by the bifocal lens 530, becomes parallel light, and irradiates a wide area (about several hundred microns) of the optical recording medium and skid light. It becomes. The probe light having a sufficiently small spot diameter is subjected to a Doppler shift Δf when the optical recording medium having irregularities is driven by a driving element such as a motor. In addition, the Doppler shift ε due to the disturbance vibration also receives the light of the optical frequency f s + Δf + ε, and follows the reverse path to the polarizer 58.
It enters the sensor 590 via 0. Also, the skid light, which is a P-wave, is sufficiently large as compared with the irregularities of the optical recording medium, and thus does not receive the Doppler shift due to the irregularities, receives only the Doppler shift ε due to the disturbance vibration, and becomes light having an optical frequency f P + ε.
Following the reverse path, the polarization planes are aligned via the polarizer 580, and the multiplexed interference with the probe light is performed. As a result, the sensor 59
At 0, (f S −f P + Δf) from which the vibration component has been removed is measured. Displacement in the depth direction, by comparing the frequency fb = f S -f P of the previous reference beat light is the calculated by the conversion formula below seek Delta] f.

Δz=λ/2・∫(Δf)・dt =λ/4π・∫(δφ/δt)・dt =λ/4π・(φD−φ0) …(1) φDは計測した位相、φ0は初期位相 [発明が解決しようとする課題] しかしながら、この除振式ヘテロダイン干渉光学系
は、通常光学ベンチ等の防振台の上に必要な光学部品を
配置固定して構成されており、部品間の微妙な光軸調整
が必要であり信頼性および生産性が低く、また、光学系
が大型で重いという問題点があった。
Δz = λ / 2 · ∫ ( Δf) · dt = λ / 4π · ∫ (δφ / δt) · dt = λ / 4π · (φ D -φ 0) ... (1) φ D is the phase measured, phi 0 However, the anti-vibration heterodyne interference optical system is generally configured by arranging and fixing necessary optical components on a vibration isolator such as an optical bench. However, there is a problem that the optical axis is required to be finely adjusted, reliability and productivity are low, and the optical system is large and heavy.

本発明は、上述した問題点を解決するためになされた
ものであり、その目的とするところは、薄膜導波技術を
用いて干渉光学系の主要部を一つの基板上に集積化する
ことにより、光軸調整が不要でかつ、小型、安定で信頼
性が高い光集積型干渉系を提供することにある。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to integrate a main part of an interference optical system on a single substrate using a thin-film waveguide technique. Another object of the present invention is to provide a compact, stable, and highly reliable optical integrated interference system that does not require optical axis adjustment.

[課題を解決するための手段] この目的を達成するために、請求項1に係る発明の光
集積ピックアップでは、光源と、前記光源からの光を導
き2つの光導波路に分波する分波手段と、前記分波手段
により分波された光を導くいずれか一方の光導波路にお
いて、導かれた光に一定の周波数シフトを与える光周波
数シフタと、前記分波手段により分波された1の光導波
路に導かれる光を記録媒体のピットに集光して照射しそ
の反射光を導く第1の光学手段と、前記分波手段により
分波された他の1の光導波路に導かれる光を第1の照射
手段より大きな範囲で前記記録媒体に照射しその反射光
を導く、前記第1の光学手段の近傍に配設された第2の
光学手段と、前記第1の光学手段と前記第2の光学手段
とによりそれぞれ導かれた前記反射光を合波干渉させる
合波干渉手段と、前記合波干渉手段により干渉させられ
た反射光が導かれ、当該反射光の干渉信号を検知するセ
ンサーと を有する光集積干渉計を備えたことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve this object, in the optical integrated pickup according to the first aspect of the present invention, a light source and a demultiplexer for guiding light from the light source and splitting the light into two optical waveguides. And an optical frequency shifter for giving a constant frequency shift to the guided light in one of the optical waveguides for guiding the light demultiplexed by the demultiplexing means, and one optical waveguide demultiplexed by the demultiplexing means. First optical means for converging and irradiating the light guided to the wave path to the pits of the recording medium to guide the reflected light, and light for guiding the light guided to another optical waveguide branched by the demultiplexing means to the first optical means. A second optical unit disposed in the vicinity of the first optical unit for irradiating the recording medium in a range larger than the first irradiating unit and guiding the reflected light, the first optical unit and the second optical unit; The reflected light respectively guided by the optical means An integrated optical interferometer comprising: a multiplexing interference unit for causing interference; and a sensor for guiding reflected light interfered by the multiplexing interference unit and detecting an interference signal of the reflected light.

また、請求項2に係る発明の光集積ピックアップで
は、請求項1に記載の光集積ピックアップの構成に加
え、前記光源と前記分波手段の間に設けられ、前記光源
からの光をさらに他の2つの光導波路に分波する第2の
分波手段と、前記第2の分波手段により分波され導かれ
た光を更にそれぞれ2つの光導波路に分波して導く第3
の分波手段及び第4の分波手段と前記第3の分波手段及
び前記第4の分波手段に分波された光を導くそれぞれの
光導波路のいずれか一方の光導波路において、導かれた
光に一定の周波数シフトを与える第2の光周波数シフタ
及び第3の光周波数シフタと、前記第3の分波手段及び
前記第4の分波手段により分波された2つの光導波路に
導かれる光のいずれか一方の光を記録媒体のトラックに
おいて対向するエッジ部にそれぞれ集光して照射しその
反射光を導く第3の光学手段及び第4の光学手段と、前
記第3の光学手段若しくは前記第4の光学手段に光を導
くそれぞれの光導波路と、前記第3の光学手段若しくは
前記第4の光学手段に光を導かない光導波路とから導か
れた光を合波干渉させる第2合波干渉手段及び第3の合
波干渉手段と、前記第2合波干渉手段及び前記第3の合
波干渉手段により合波干渉させられたそれぞれの光が導
かれ、当該反射光の干渉信号をそれぞれ検知する第2の
センサー及び第3のセンサーとを有する第2の光集積干
渉計及び第3の光集積干渉計を更に備えたことを特徴と
する。
In the optical integrated pickup according to the second aspect of the present invention, in addition to the configuration of the optical integrated pickup according to the first aspect, the optical integrated pickup is provided between the light source and the demultiplexing unit, and further transmits light from the light source to another. A second demultiplexing unit for demultiplexing the light into two optical waveguides, and a third demultiplexing unit that further demultiplexes the light demultiplexed and guided by the second demultiplexing unit to the two optical waveguides.
In one of the optical waveguides for guiding the light demultiplexed to the third demultiplexing means and the fourth demultiplexing means and the fourth demultiplexing means. A second optical frequency shifter and a third optical frequency shifter for giving a constant frequency shift to the reflected light, and a second optical frequency shifter and a third optical frequency shifter. A third optical unit and a fourth optical unit for converging and irradiating any one of the incident lights on the opposite edge portions in the track of the recording medium to guide the reflected light, and the third optical unit Alternatively, a second optical waveguide that couples light guided from each optical waveguide for guiding light to the fourth optical means and an optical waveguide that does not guide light to the third optical means or the fourth optical means. A multiplexing interference unit and a third multiplexing interference unit; Each of the lights multiplexed and interfered by the second multiplexing interference means and the third multiplexing interference means is guided, and a second sensor and a third sensor which respectively detect the interference signal of the reflected light are connected. A second integrated optical interferometer and a third integrated optical interferometer.

[作用] 上記の構成を有する本発明の光集積ピックアップで
は、光源であるレーザーから発せられた光は3チャンネ
ルに分波され、トラッキング制御用の第1と第3チャン
ネル光集積干渉計と、記録読み取り用の第2チャンネル
干渉計とにそれぞれ導かれる。詳細には第1と第3チャ
ンネル光集積干渉計に導かれた光は更に3つの第1、第
2、第3の光導波路に導かれる。第2の導波路に導かれ
た光は光周波数シフタによって一定の周波数シフトを与
えられf0+fRとなる。周波数シフトを受けた光はさらに
2つに分波され第4、第5の光導波路に導かれる。第1
の導波路に導かれた光は屈折率分布型レンズによって光
記録媒体のトラックのエッジ部分に集光照射されその反
射光は第6の導波路に導かれる。第3の光導波路を通っ
た光と第4の光導波路を通った光とは合波器によって合
波干渉させられ、その干渉信号は第1の光センサーによ
って検出される。第5の光導波路を通った光と第6の光
導波路を通った光とは合波器によって合波干渉させら
れ、その干渉信号は第2の光センサーによって検出され
る。それぞれのチャンネルの第1、第2の信号の位相差
によってトラッキング制御信号とするのである。
[Operation] In the optical integrated pickup of the present invention having the above configuration, the light emitted from the laser as the light source is split into three channels, and the first and third channel integrated optical interferometers for tracking control are recorded. It is led to the second channel interferometer for reading. Specifically, the light guided to the first and third channel integrated optical interferometers is further guided to three first, second, and third optical waveguides. The light guided to the second waveguide is given a certain frequency shift by the optical frequency shifter, and becomes f 0 + f R. The light having undergone the frequency shift is further split into two and guided to the fourth and fifth optical waveguides. First
The light guided to the waveguide is focused and irradiated on the edge of the track of the optical recording medium by the gradient index lens, and the reflected light is guided to the sixth waveguide. The light passing through the third optical waveguide and the light passing through the fourth optical waveguide are multiplexed and interfered by the multiplexer, and the interference signal is detected by the first optical sensor. The light passing through the fifth optical waveguide and the light passing through the sixth optical waveguide are multiplexed and interfered by a multiplexer, and the interference signal is detected by a second optical sensor. The tracking control signal is determined by the phase difference between the first and second signals of each channel.

第2チャンネル干渉計においても同様に該チャンネル
に分波された光は3つに分波され第1、第2、第3の光
導波路導かれる。第2の導波路に導かれた光は光周波数
シフタによって一定の周波数シフトを与えられf0+fR
なる。その周波数シフトを受けた光はさらに2つに分波
され第4、第5の光導波路に導かれる。第1の導波路に
導かれた光は光記録媒体の記録部分に集光照射しその反
射光は第6の導波路に導かれる。第3の光導波路を通っ
た光と第4の光導波路を通った光とは合波器によって合
波干渉させられ、その干渉信号は第1の光センサーによ
って検出される。第5の光導波路を通った光は屈折率分
布型レンズによって記録媒体の広域部分に照射されその
反射光は第7の導波路に導かれる。第7の導波路に導か
れた光は第6の光導波路を通った光とを合波干渉させら
れ、その干渉信号は第2の光センサーによって検知され
るのである。第1および第2の信号の位相差を上式
(1)の変換式によってもとめピットあるいはピットの
深さを求めるのである。
Similarly, in the second channel interferometer, the light split into the channel is split into three and guided to the first, second, and third optical waveguides. The light guided to the second waveguide is given a certain frequency shift by the optical frequency shifter, and becomes f 0 + f R. The light having undergone the frequency shift is further split into two and guided to the fourth and fifth optical waveguides. The light guided to the first waveguide is focused and irradiated on the recording portion of the optical recording medium, and the reflected light is guided to the sixth waveguide. The light passing through the third optical waveguide and the light passing through the fourth optical waveguide are multiplexed and interfered by the multiplexer, and the interference signal is detected by the first optical sensor. The light passing through the fifth optical waveguide is applied to a wide area of the recording medium by the gradient index lens, and the reflected light is guided to the seventh waveguide. The light guided to the seventh waveguide causes multiplex interference with light passing through the sixth optical waveguide, and the interference signal is detected by the second optical sensor. The phase difference between the first and second signals is obtained by the conversion equation of the above equation (1) to determine the pit or the pit depth.

[実施例] 以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して
説明する。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

光集積型干渉計は例えば第1図のように、GGG(Gd3Ga
5O12)等の基板10上に形成されたBi:YIG(BixY3-xFe5O
12)、Bi:GdIG(BixGd3-xFe5O12)等の磁気光学効果を
有する磁性薄膜15、半導体レーザ20、光アイソレータ3
0、集束レンズ40、Siフォトダイオード等の光検出器N_9
0、N_91とから構成されている。ここで、NはNチャン
ネルであることを表わし、以下すべてNで省略する。
As shown in FIG. 1, for example, an integrated optical interferometer is a GGG (Gd 3 Ga
5 O 12) formed on the substrate 10, such as a Bi: YIG (Bi x Y 3 -x Fe 5 O
12), Bi: GdIG (Bi x Gd 3-x Fe 5 O 12) magnetic thin film 15 having a magneto-optical effect, such as, a semiconductor laser 20, an optical isolator 3
0, focusing lens 40, photodetector N_9 such as Si photodiode
0 and N_91. Here, N represents N channels, and hereinafter all are abbreviated as N.

磁性薄膜15には、第2図に示すような膜厚が他の部分
に対して厚くなったリッジ部分21が設けられており、リ
ッジ型導波路を形成している。レーザ光はこのリッジ部
分21に沿って伝搬する。このリッジ部分21はよく知られ
たフォトリソグラフィーを用いて作製される。すなわ
ち、基板10上に磁性薄膜15を液相成長法、スパッタ法等
の薄膜形成手段で作製し、その上にフォトレジストを塗
布する。そして、所定のリッジ導波路形状にパターニン
グした後、プラズマエッチング、スパッタエッチングあ
るいは、熱燐酸を用いたウェットエッチング等によりリ
ッジ21となる部分以外の部分を所定の厚さだけエッチン
グする。最後に、フォトレジストを取り除くことによ
り、リッジ部分21が形成される。
As shown in FIG. 2, the magnetic thin film 15 is provided with a ridge portion 21 whose thickness is larger than other portions, thereby forming a ridge waveguide. The laser light propagates along the ridge portion 21. The ridge portion 21 is manufactured using well-known photolithography. That is, a magnetic thin film 15 is formed on the substrate 10 by a thin film forming means such as a liquid phase growth method or a sputtering method, and a photoresist is applied thereon. Then, after patterning into a predetermined ridge waveguide shape, a portion other than the portion to be the ridge 21 is etched by a predetermined thickness by plasma etching, sputter etching, wet etching using hot phosphoric acid, or the like. Finally, the ridge portion 21 is formed by removing the photoresist.

半導体レーザ20から発せられたレーザ光は、光を一方
向のみに通す光アイソレータ30を伝搬し、集束レンズ40
によって集束され、リッジ型導波路21に入射する。この
とき、リッジ型導波路21を伝搬するレーザ光が、磁界の
振動方向が薄膜面に平行なTMモードとなるように、半導
体レーザ20は取り付けられている。リッジ型導波路21を
伝搬したレーザ光は、Y分岐Y1、Y2により取り出され、
それぞれ1、2、3の導波路を伝搬し、ヘテロダイン干
渉計で構成される各チャンネル50、60、70にはいる。N
チャンネルに入った光は、第5図(a)、(b)に示す
ようにさらに3つに分波されそれぞれN_1、N_2、N_3で
表わされる第1、第2、第3の導波路にはいる。各チャ
ンネルにおいて、分岐導波路N_2の上には、SiO2等から
成るバッファ層N_115および、Al等の金属から成る電極N
_120が設けられ、周波数シフタN_110を構成している。
この電極N_120に発振器80から電流を流すことにより、
分岐導波路N_2には、レーザ光の伝搬方向に垂直で薄膜
面に平行な磁界が印加される。この磁界により、分岐導
波路N_2が磁化され、磁気光学効果による位相シフトがT
Mモードに対して生じる。すなわち、磁界が印加されて
いないときのTMモードの伝搬定数をβ0、磁界を印加し
たときの伝搬定数をβとすると、 β=β0+γ (1) で表わされる。ここで、γが磁気光学効果による位相シ
フト量である。第1図に示すように、光の伝搬方向にz
軸、薄膜面に垂直方向にx軸をとると、γは、 γ=2ω0ε0∫Re[εxzex ]dx (2) で与えられる。ただし、ω0はレーザ光の角周波数、ε0
は真空の誘電率、exおよびezはTMモードの電界のx成分
およびz成分、εxzは磁性薄膜15の比誘電率テンソルの
非対角成分の1つ、*は複素共役、Reは複素数の実数部
を表わす。εxzはファラデー回転係数θFと、 εxz=j(2n1/k)θF (3) という関係がある。ただし、n1は磁性薄膜15の屈折率、
kは真空中でのレーザ光の波数で、レーザ光の波長をλ
とすると、 k=2π/λ (4) で与えられる。さらに、磁性薄膜15の磁化が飽和しない
範囲では、磁性薄膜15の磁化は印加磁界H、すなわち、
電極N_120に流す電流Iに比例するので、この比例定数
をVとすると、 θF=VI (5) となる。
The laser light emitted from the semiconductor laser 20 propagates through the optical isolator 30 that passes the light in only one direction,
And is incident on the ridge-type waveguide 21. At this time, the semiconductor laser 20 is mounted so that the laser light propagating through the ridge-type waveguide 21 becomes a TM mode in which the direction of the magnetic field oscillation is parallel to the thin film surface. The laser light that has propagated through the ridge-type waveguide 21 is extracted by Y branches Y1 and Y2,
The light propagates through 1, 2, and 3 waveguides, respectively, and enters each of the channels 50, 60, and 70 constituted by the heterodyne interferometer. N
The light entering the channel is further split into three as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b), and the first, second and third waveguides represented by N_1, N_2 and N_3 respectively. I have. In each channel, on the branch waveguide N_2, a buffer layer N_115 made of SiO 2 or the like and an electrode N made of metal such as Al
_120 are provided to constitute a frequency shifter N_110.
By flowing a current from the oscillator 80 to this electrode N_120,
A magnetic field perpendicular to the laser light propagation direction and parallel to the thin film surface is applied to the branch waveguide N_2. This magnetic field magnetizes the branch waveguide N_2, and the phase shift due to the magneto-optical effect is T
Occurs for M mode. That is, assuming that the propagation constant of the TM mode when no magnetic field is applied is β 0 and the propagation constant when a magnetic field is applied is β, β = β 0 + γ (1) Here, γ is the amount of phase shift due to the magneto-optical effect. As shown in FIG. 1, z
Axis, taking the x-axis in the direction perpendicular to the thin film plane, gamma is given by γ = 2ω 0 ε 0 ∫Re [ ε xz e x * e z] dx (2). Where ω 0 is the angular frequency of the laser beam, ε 0
Is the vacuum permittivity, e x and e z are one of the non-diagonal elements of the dielectric tensor of the electric field x component and z component of the TM mode, epsilon xz magnetic thin film 15, * the complex conjugate, Re is Represents the real part of a complex number. ε xz has a relationship with the Faraday rotation coefficient θ F and ε xz = j (2n 1 / k) θ F (3). Where n 1 is the refractive index of the magnetic thin film 15,
k is the wave number of the laser light in a vacuum, and the wavelength of the laser light is λ
Then, k = 2π / λ (4) Further, in a range where the magnetization of the magnetic thin film 15 is not saturated, the magnetization of the magnetic thin film 15 is applied magnetic field H, that is,
Since it is proportional to the current I flowing through the electrode N_120, if this proportionality constant is V, then θ F = VI (5).

(3)式を(2)式に代入すると、 γ=2ω0ε0(2n1/k)θF∫Re[jex ez]dx=Aθ
F (6) となる。ただし、Aは定数である。
(3) Substituting expressions (2) where, γ = 2ω 0 ε 0 ( 2n 1 / k) θ F ∫Re [je x * e z] dx = Aθ
F (6). Here, A is a constant.

分岐導波路N_2において磁界が印加されている部分の
長さを1とすると、位相シフトを受けたTMモードの電界
は、 ex=Exsin[ω0t+(β0+γ)1] =Exsin[ω0t+AθF1+β01] (7) となる。ここで、 θF=ωRt/(Al) (8) すなわち、(5)式より、 I=ωRt/(AlV) (9) となるように電極N_120に電流を流すと、 ex=Exsin[(ω0+ωR)t+β1] (10) となり、レーザ光の角周波数はω0=2πf0からω0+ω
R=2π(f0+fR)へ、すなわち、レーザ光の周波数はf
0からfRだけシフトし、f0+fRとなる。ただし、電極N_1
20に流す参照信号の電流は第3図のように振幅2π/
(AlV)、周期2π/ωRの鋸歯状波としても同様の周波
数シフトが得られる。このようにして分岐導波路N_2に
入射した周波数f0をもつレーザ光は周波数シフタにより
周波数がfRだけシフトされ、周波数がf0+fRり参照光と
なるのである。
When the length of the portion where the magnetic field is applied in the branch waveguide N_2 a 1, field of the TM mode which has received the phase shift, e x = E x sin [ ω 0 t + (β 0 + γ) 1] = E x sin [ω 0 t + Aθ F 1 + β 0 1] (7) Here, θ F = ω R t / (Al) (8) i.e., from (5), when an electric current is applied to the electrodes N_120 such that I = ω R t / (AlV ) (9), e x = E x sin [(ω 0 + ω R ) t + β1] (10), and the angular frequency of the laser light is from ω 0 = 2πf 0 to ω 0 + ω.
R = 2π (f 0 + f R ), that is, the frequency of the laser light is f
It shifted by f R from 0, and f 0 + f R. However, the electrode N_1
As shown in FIG. 3, the current of the reference signal flowing through 20 has an amplitude of 2π /
(AlV), similar frequency shift can be obtained as a sawtooth wave of period 2π / ω R. Thus, the frequency of the laser light having the frequency f 0 incident on the branch waveguide N_2 is shifted by the frequency f R by the frequency shifter, and the frequency becomes the reference light f 0 + f R.

第1チャンネル及び第3チャンネルの干渉計50、70は
第5図(a)に示すものであるが、この干渉計におい
て、分岐導波路N_1を伝搬したレーザ光は、屈折率分布
型レンズN_80によって回転している光記録媒体のトラッ
ク100のエッジ102および103へ照射される。エッジ102お
よび103から反射したレーザ光は、トラック部と溝部の
平均化された位相情報をもって再び屈折率分布型レンズ
N_80に入る。例えばピックアップヘッドが回転中心方向
へ僅かながらずれると、102への照射光(第1チャンネ
ル)は大部分トラック部に当たるためその反射光の位相
は当初より早まり、逆に103から反射光の位相は遅れ
る。このトラックずれによる位相変化をΔTN/Δtとす
ると反射光の周波数はf0+ΔTN/Δtとなって、屈折率
分布型レンズN_80に入るのである。入った光は再び導波
路N_1を戻りその一部は第6の導波路N_6に入る。一方周
波数シフタN_110ではfRだけ周波数シフトを受けた参照
光はY分岐N_Y5で2つに分岐され、それぞれ分岐導波路
N_4、N_5を伝搬し、分岐導波路N_5を伝搬してきた参照
光は、分岐導波路N_6を伝搬してきた信号光とY分岐N_Y
6により合波され光集積ピックアップを出る。その出射
光はミラーN_200を経て光センサN_90に入り、干渉信号f
R+ΔTN/Δtが検知される。
The first and third channel interferometers 50 and 70 are as shown in FIG. 5 (a). In this interferometer, the laser light propagating through the branch waveguide N_1 is distributed by the gradient index lens N_80. The light is emitted to the edges 102 and 103 of the track 100 of the rotating optical recording medium. The laser light reflected from the edges 102 and 103 is again indexed refractive index lens with the averaged phase information of the track and groove.
Enter N_80. For example, if the pickup head is slightly displaced in the direction of the rotation center, most of the irradiation light (first channel) to the track portion hits the track portion, so that the phase of the reflected light is advanced from the beginning, and conversely, the phase of the reflected light is delayed from 103. . Assuming that the phase change due to this track shift is ΔT N / Δt, the frequency of the reflected light is f 0 + ΔT N / Δt, and enters the gradient index lens N_80. The entered light returns to the waveguide N_1 again, and a part of the light enters the sixth waveguide N_6. On the other hand, in the frequency shifter N_110, the reference light having undergone the frequency shift by f R is branched into two by the Y branch N_Y5, and the respective branch waveguides
The reference light propagating through N_4 and N_5 and propagating through the branch waveguide N_5 is the same as the signal light propagating through the branch waveguide N_6 and the Y branch N_Y.
It is multiplexed by 6 and exits the optical integrated pickup. The emitted light enters the optical sensor N_90 via the mirror N_200, and the interference signal f
R + ΔT N / Δt is detected.

また、分岐導波路N_4を伝搬した参照光と、分岐導波
路N_3を伝搬してきた周波数シフトを受けていないレー
ザ光はをY分岐N_Y7により合波干渉させられ光集積ピッ
クアップから出、ミラーN_200を経て光センサN_91に入
る。そして光センサN_91とN_90の出力信号を比較してド
ップラーシフトΔTN/Δtを求め、ΔT1とΔT3が常に一
定になるようにトラッキング制御をするのである。
Further, the reference light that has propagated through the branch waveguide N_4 and the laser light that has not undergone the frequency shift that has propagated through the branch waveguide N_3 are multiplexed and interfered by the Y branch N_Y7, and exit the optical integrated pickup, and pass through the mirror N_200. Enter the optical sensor N_91. Then, the Doppler shift ΔT N / Δt is obtained by comparing the output signals of the optical sensors N_91 and N_90, and tracking control is performed so that ΔT1 and ΔT3 are always constant.

第2チャンネルの干渉計を第5図(b)に示す。この
干渉計において、分岐導波路N_1を伝搬したレーザ光
は、屈折率分布型レンズN_80によって回転している光記
録媒体の記録ピット部分101に照射される。記録ピット1
01で反射したレーザ光は、ピットの深さ情報に対応する
位相差ΔPとディスクの振動成分εをもってf0+ΔP/Δ
t+εの光となって再び屈折率分布型レンズN_80に入
る。例えば第7図示すような深さ情報が1バイト情報に
対応するようなメモリ形態であっても一度のアクセスで
読むことができるのである。屈折率分布型レンズN_80に
入った光は再び導波路N_1に入りその一部は第6の導波
路N_6に入る。一方周波数シフタN_110でfRだけ周波数シ
フトを受けた参照光はY分岐N_Y5で2つに分波され、そ
れぞれ分岐導波路N_4、N_5を伝搬し、分岐導波路N_5を
伝搬してきた参照光は、屈折率分布型レンズN_81で数十
ミクロン径に絞られスキッド光として広域部分に照射さ
れディスクの振動成分εをもってf0+εの光となって再
び屈折率分布型レンズを経て導波路N_5に入る。その一
部は導波路N_7にはいり、先の導波路N_6を通ってきた光
とY分岐N_Y8で合波干渉され振動成分が除去され周波数
がfR+ΔP/Δtとなった光がミラーN_200を経てセンサ
ーN_90に入り検知される。また、分岐導波路N_4を伝搬
した参照光と、分岐導波路N_3を伝搬した周波数シフト
を受けていないレーザ光は先と同様、Y分岐N_Y7により
合波干渉させられミラーN_200を経てその干渉信号fRは
光センサーN_91で検出される。そして光センサN_91と光
センサN_90で得られた信号の位相差を求め、(1)式に
従って、深さ方向の情報ΔZに変換するのである。変換
方法を簡単に説明すると、変換手段は干渉信号をパルス
成形した後、第4図に示すように例えば100MHzの高周波
クォーツクロックにより計数することにより位相差をデ
ジタル量に換算するのである。例えば、基準ビート周波
数100KHz,高周波クォーツクロック100MHz、計数値M、
計測した位相をφD、初期位相をφ0とすると、ピットに
よって生じた位相差をΔPは ΔP=φD−φ0 =2π・(MD−M0)/1000 となる。
FIG. 5B shows the interferometer of the second channel. In this interferometer, the laser light propagating through the branch waveguide N_1 is applied to the recording pit portion 101 of the optical recording medium which is rotating by the gradient index lens N_80. Recording pit 1
The laser light reflected at 01 has a phase difference ΔP corresponding to the pit depth information and a disk vibration component ε, f 0 + ΔP / Δ
The light becomes t + ε and enters the gradient index lens N_80 again. For example, even in a memory form in which the depth information corresponds to 1-byte information as shown in FIG. 7, it can be read by one access. The light that has entered the gradient index lens N_80 enters the waveguide N_1 again, and a part of the light enters the sixth waveguide N_6. On the other hand, the reference light that has been frequency-shifted by fR by the frequency shifter N_110 is split into two by the Y branch N_Y5, propagates through the branch waveguides N_4 and N_5, and the reference light that has propagated through the branch waveguide N_5 is refracted. The diameter is reduced to several tens of microns by the gradient index lens N_81, and is radiated to a wide area as skid light, becomes f 0 + ε light with the vibration component ε of the disk, and enters the waveguide N_5 again via the gradient index lens. A part of the light enters the waveguide N_7, and the light that has passed through the previous waveguide N_6 is multiplexed and interfered by the Y-branch N_Y8, the vibration component is removed, and the light having the frequency of f R + ΔP / Δt passes through the mirror N_200. The sensor enters N_90 and is detected. Further, the reference light propagated through the branch waveguide N_4 and the laser light that has not undergone the frequency shift propagated through the branch waveguide N_3 are multiplexed and interfered by the Y-branch N_Y7 as before, and the interference signal fR passes through the mirror N_200. Is detected by the optical sensor N_91. Then, the phase difference between the signals obtained by the optical sensor N_91 and the optical sensor N_90 is obtained, and is converted into information ΔZ in the depth direction according to the equation (1). To briefly explain the conversion method, the conversion means converts the phase difference into a digital quantity by pulse-shaping the interference signal and counting it with a high-frequency quartz clock of, for example, 100 MHz as shown in FIG. For example, a reference beat frequency of 100 KHz, a high-frequency quartz clock of 100 MHz, a count value of M,
Phases phi D measured, when the initial phase and phi 0, [Delta] P the phase difference caused by pits becomes ΔP = φ D -φ 0 = 2π · (M D -M 0) / 1000.

また、上記(1)式により高さ方向の量に換算する
と、 Δz=λ/4π・(φD−φ0) =λ/2000・(MD−M0) となる。
Also, in terms of the amount in the height direction by the above formula (1), and Δz = λ / 4π · (φ D -φ 0) = λ / 2000 · (M D -M 0).

これらは、第4図に示すコンピュータ手段等から成る
変換手段により計算されるのである。
These are calculated by the conversion means such as the computer means shown in FIG.

ところで、分岐導波路N_1へ戻ったレーザ光は、リッ
ジ部分21、集束レンズ40を伝搬し、光アイソレータ30へ
入射するが、光アイソレータ30は半導体レーザ20から集
束レンズ40の方向の一方向のみに光を伝送するため、光
ファイバN_17からの戻り光は通過できず、半導体レーザ
20には達しない。従って、半導体レーザ20において、戻
り光による雑音の発生がないため、S/Nのよい計測が可
能となる。
By the way, the laser light returning to the branch waveguide N_1 propagates through the ridge portion 21 and the focusing lens 40 and enters the optical isolator 30, but the optical isolator 30 is directed only in one direction from the semiconductor laser 20 to the focusing lens 40. Since the light is transmitted, the return light from the optical fiber N_17 cannot pass, and the semiconductor laser
Does not reach 20. Therefore, in the semiconductor laser 20, since no noise is generated due to the return light, measurement with good S / N can be performed.

以上、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明
したが、本発明はこの実施例に限定されず種々の変更が
可能である。
As described above, one embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to this embodiment, and various modifications can be made.

すなわち、基板、磁性薄膜、バッファ層、電極の材料
については、特に限定しない。例えば、基板にサファイ
ア、ガラス等を、磁性薄膜に希土類鉄ガーネットの他
に、CdMnTe等の希磁性半導体や、ファラデー回転ガラ
ス、TAG(Tb3Al5O12)等の常磁性体等を、バッファー層
にZnO、AlN等の酸化物、窒化物等を、電極に金等を用い
てもよい。
That is, the materials of the substrate, the magnetic thin film, the buffer layer, and the electrode are not particularly limited. For example, sapphire, glass, etc. are used for the substrate, rare-earth semiconductors such as CdMnTe, paramagnetic materials such as Faraday rotating glass, TAG (Tb 3 Al 5 O 12 ), etc. An oxide or a nitride such as ZnO or AlN may be used for the layer, and gold or the like may be used for the electrode.

また、周波数シフタ部のみ磁性薄膜を用い、他の部分
は磁気光学効果を有しない誘電体を用いてもよい。ま
た、周波数シフタに磁界を印加するための電極の形状に
ついても限定しない。さらに、外部に電磁石、コイル等
を設けて磁界を印加してもよい。
Alternatively, a magnetic thin film may be used only for the frequency shifter portion, and a dielectric material having no magneto-optical effect may be used for other portions. Further, the shape of the electrode for applying a magnetic field to the frequency shifter is not limited. Furthermore, a magnetic field may be applied by providing an external electromagnet, coil, or the like.

また上記多チャンネル型光集積ピックアップは第6図
に示すような変形も考えられる。これは第1図に示す多
チャンネル型光集積ピックアップからN_3の光導波路とN
_4の光導波路とセンサーN_91を取り除いて簡略化したも
のである。この場合は周波数シフタを駆動しているドラ
イバの出力の一部を参照ビート信号の代替として使用
し、上記変換手段と同じ手段で位相情報をピットのある
なしあるいはピットの深さ情報に変換するのである。ま
たこの場合周波数シフタは、光導波路N_1上に設けても
良いし、光導波路N_6上に設けてもよいのである。その
他いろいろな変形が考えられるが、当業者は本発明の主
旨を逸脱しない限りにおいて様々な態様で実施できるも
のとする。
The multi-channel optical integrated pickup may be modified as shown in FIG. This is because the multi-channel optical integrated pickup shown in FIG.
_4 and the sensor N_91 have been removed for simplicity. In this case, a part of the output of the driver driving the frequency shifter is used as a substitute for the reference beat signal, and the phase information is converted into the presence or absence of pits or the pit depth information by the same means as the above-mentioned conversion means. is there. In this case, the frequency shifter may be provided on the optical waveguide N_1 or may be provided on the optical waveguide N_6. Although various other modifications are conceivable, those skilled in the art can implement the present invention in various modes without departing from the gist of the present invention.

[発明の効果] 以上詳述したことから明らかなように、本発明によれ
ば、薄膜導波技術を用いて、レーザ光の分波器、合波
器、周波数シフタ等の干渉光学系の主要部を一つの基板
上に集積化しているため、光軸調整が不要、かつ、小
型、安定で信頼性の高い光集積ピックアップを生産性よ
く製造することができる。特に従来複雑で大型の光学系
が必要で、小型化のネックとなっていたプローブ光とス
キッド光の光学系を、実用範囲内で別体化することでそ
の光学系を著しく小型簡便化することができ、もって装
置全体を小型簡便化できるという効果がある。
[Effects of the Invention] As is clear from the above description, according to the present invention, the main components of the interference optical system such as a laser beam splitter, a multiplexer, and a frequency shifter using the thin-film waveguide technology. Since the units are integrated on one substrate, optical axis adjustment is not required, and a compact, stable, and highly reliable optical integrated pickup can be manufactured with high productivity. In particular, the probe and skid light optics, which previously required a complicated and large optical system, which has been a bottleneck in miniaturization, are to be separated as much as possible within the practical range to make the optics extremely compact and simple. Therefore, there is an effect that the whole apparatus can be made compact and simple.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図から第7図までは本発明を具体化した実施例を示
すもので、第1図は、本発明の一実施例である多チャン
ネル型光集積干渉計の構成図であり、第2図はリッジ部
の詳細図であり、第3図は周波数シフタの電極に印加さ
れる電流の波形を示す図であり、第4図は高周波クロッ
クで位相差をカウントするブロック図であり、第5図は
各チャンネルの光集積型干渉計の具体例を示す図であ
り、第6図は、本発明の光集積ピックアップの変形例で
あり、第7図は深さ方向に情報をもつ光ディスクのトラ
ック断面図であり、第8図は、従来のヘテロダイン干渉
計の光学系を利用したピックアップである。 1、2、3……光導波路 10……基板 15……磁性薄膜 20……半導体レーザ 21……リッジ部分、リッジ型導波路 30……光アイソレータ 40……集束レンズ 50……第1チャンネル光集積干渉計 60……第2チャンネル光集積干渉計 70……第3チャンネル光集積干渉計 80……発振器 1_90、1_91……光センサー 2_90、2_91……光センサー 3_90、3_91……光センサー 100……光記録媒体のトラック 101……光記録ピット 102……光記録媒体のトラック上面 1_200……ミラー 2_200……ミラー 3_200……ミラー 500……二周波直交レーザー発生装置 510……無偏光ビームスプリッタ 520……ビームエクスパンダ 530……二重焦点レンズ 531、533……光学ガラス 532……方解石 540……集光レンズ 550……被測定物 560……圧電アクチュエータ 570、580……偏光子 590、595……光センサ 700……反転器 710……高周波クォーツクロック 720……AND器 730……カウンタ 740……バス 750……コンピュータ手段 Y1、Y2……Y分岐 N_Y5……Y分岐 N_Y6……Y分岐 N_Y7……Y分岐 N_Y8……Y分岐 N_1……Nチャンネルの第1の導波路 N_2……Nチャンネルの第2の導波路 N_3……Nチャンネルの第3の導波路 N_4……Nチャンネルの第4の導波路 N_5……Nチャンネルの第5の導波路 N_6……Nチャンネルの第6の導波路 N_7……Nチャンネルの第7の導波路 N_80……Nチャンネルの屈折率分布型レンズ N_81……Nチャンネルの屈折率分布型レンズ N_90……Nチャンネルの光センサ N_91……Nチャンネルの光センサ N_110……Nチャンネルの周波数シフタ N_115……Nチャンネルのバッファ層 N_120……Nチャンネルの電極
FIGS. 1 to 7 show an embodiment embodying the present invention. FIG. 1 is a block diagram of a multi-channel optical integrated interferometer according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a detailed view of a ridge portion, FIG. 3 is a diagram showing a waveform of a current applied to an electrode of a frequency shifter, FIG. 4 is a block diagram for counting a phase difference by a high frequency clock, and FIG. FIG. 6 shows a specific example of an optical integrated interferometer of each channel. FIG. 6 shows a modification of the optical integrated pickup of the present invention. FIG. 7 shows a track of an optical disk having information in the depth direction. FIG. 8 is a sectional view, and FIG. 8 is a pickup using an optical system of a conventional heterodyne interferometer. 1, 2, 3 ... optical waveguide 10 ... substrate 15 ... magnetic thin film 20 ... semiconductor laser 21 ... ridge portion, ridge type waveguide 30 ... optical isolator 40 ... focusing lens 50 ... first channel light Integrated interferometer 60… Second channel optical interferometer 70… Third channel integrated interferometer 80… Oscillator 1_90, 1_91… Optical sensor 2_90, 2_91… Optical sensor 3_90, 3_91… Optical sensor 100… … Track of optical recording medium 101… Optical recording pit 102… Top track of optical recording medium 1_200… Mirror 2_200… Mirror 3_200 Mirror 500… Dual frequency orthogonal laser generator 510… Non-polarizing beam splitter 520 …… Beam expander 530 …… Bifocal lens 531,533 …… Optical glass 532 …… Calcite 540 …… Condenser lens 550 …… Measurement object 560 …… Piezoelectric actuator 570,580 …… Polarizer 590,595 …… Optical sensor 700 …… Reversed 710 High frequency quartz clock 720 AND device 730 Counter 740 Bus 750 Computer means Y1, Y2 Y branch N_Y5 Y branch N_Y6 Y branch N_Y7 Y branch N_Y8 Y Branch N_1 N-channel first waveguide N_2 N-channel second waveguide N_3 N-channel third waveguide N_4 N-channel fourth waveguide N_5 N channel N_6... N-channel sixth waveguide N_7... N-channel seventh waveguide N_80... N-channel refractive index distributed lens N_81... N-channel refractive index distributed lens N_90 N-channel optical sensor N_91 N-channel optical sensor N_110 N-channel frequency shifter N_115 N-channel buffer layer N_120 N-channel electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−240447(JP,A) 特開 昭61−207903(JP,A) 特開 昭59−216008(JP,A) 特開 昭59−214706(JP,A) 特開 平2−176512(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 7/09,7/095 G11B 7/135 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-61-240447 (JP, A) JP-A-61-207903 (JP, A) JP-A-59-216008 (JP, A) JP-A-59-216008 214706 (JP, A) JP-A-2-176512 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 7/09, 7/095 G11B 7/135

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】光源と、 前記光源からの光を導き2つの光導波路に分波する分波
手段と、 前記分波手段により分波された光を導くいずれか一方の
光導波路において、導かれた光に一定の周波数シフトを
与える光周波数シフタと、 前記分波手段により分波された1の光導波路に導かれる
光を記録媒体のピットに集光して照射しその反射光を導
く第1の光学手段と、 前記分波手段により分波された他の1の光導波路に導か
れる光を第1の照射手段より大きな範囲で前記記録媒体
に照射しその反射光を導く、前記第1の光学手段の近傍
に配設された第2の光学手段と、 前記第1の光学手段と前記第2の光学手段とによりそれ
ぞれ導かれた前記反射光を合波干渉させる合波干渉手段
と、 前記合波干渉手段により干渉させられた反射光が導か
れ、当該反射光の干渉信号を検知するセンサーと を有する光集積干渉計を備えたこと を特徴とする光集積ピックアップ。
1. A light source, a demultiplexing unit that guides light from the light source and splits the light into two optical waveguides, and one of the optical waveguides that guides the light split by the splitting unit. An optical frequency shifter for giving a constant frequency shift to the reflected light; and a first light guide for condensing and irradiating light guided to one optical waveguide demultiplexed by the demultiplexing means onto a pit of a recording medium to guide reflected light. An optical means for irradiating the recording medium with light guided to another optical waveguide demultiplexed by the demultiplexing means in a range larger than that of the first irradiating means and guiding reflected light thereof; A second optical unit disposed in the vicinity of the optical unit; a multiplex interference unit configured to multiplex and interfere the reflected lights respectively guided by the first optical unit and the second optical unit; The reflected light interfered by the multiplexing interference means is guided, Optical integrated pickup which comprising the integrated optical interferometer having a sensor for detecting the interference signal Shako.
【請求項2】前記光源と前記分波手段の間に設けられ、
前記光源からの光をさらに他の2つの光導波路に分波す
る第2の分波手段と、 前記第2の分波手段により分波され導かれた光を更にそ
れぞれ2つの光導波路に分波して導く第3の分波手段及
び第4の分波手段と 前記第3の分波手段及び前記第4の分波手段に分波され
た光を導くそれぞれの光導波路のいずれか一方の光導波
路において、導かれた光に一定の周波数シフトを与える
第2の光周波数シフタ及び第3の光周波数シフタと、 前記第3の分波手段及び前記第4の分波手段により分波
された2つの光導波路に導かれる光のいずれか一方の光
を記録媒体のトラックにおいて対向するエッジ部にそれ
ぞれ集光して照射しその反射光を導く第3の光学手段及
び第4の光学手段と、 前記第3の光学手段若しくは前記第4の光学手段に光を
導くそれぞれの光導波路と、前記第3の光学手段若しく
は前記第4の光学手段に光を導かない光導波路とから導
かれた光を合波干渉させる第2合波干渉手段及び第3の
合波干渉手段と、 前記第2合波干渉手段及び前記第3の合波干渉手段によ
り合波干渉させられたそれぞれの光が導かれ、当該反射
光の干渉信号をそれぞれ検知する第2のセンサー及び第
3のセンサーと を有する第2の光集積干渉計及び第3の光集積干渉計を
更に備えたこと を特徴とする請求項1に記載の光集積ピックアップ。
2. A light source provided between said light source and said demultiplexing means,
Second demultiplexing means for demultiplexing the light from the light source to two other optical waveguides; and demultiplexing the light demultiplexed and guided by the second demultiplexing means to two optical waveguides, respectively. One of the optical waveguides for guiding the light demultiplexed to the third demultiplexing means and the fourth demultiplexing means, and the third demultiplexing means and the fourth demultiplexing means. A second optical frequency shifter and a third optical frequency shifter for giving a constant frequency shift to the guided light in the waveguide, and a second optical frequency shifter that is demultiplexed by the third demultiplexer and the fourth demultiplexer. Third optical means and fourth optical means for converging and irradiating any one of the lights guided to the two optical waveguides to the opposite edge portions in the track of the recording medium to guide the reflected light; Guiding the light to the third optical means or the fourth optical means A second multiplexing interference unit and a third multiplexing unit that multiplex and interfere light guided from each of the optical waveguides and an optical waveguide that does not guide the light to the third optical unit or the fourth optical unit. An interference unit, a second sensor that guides each of the lights multiplexed and interfered by the second multiplexing interference unit and the third multiplexing interference unit, and a second sensor and a second sensor that respectively detect an interference signal of the reflected light. The optical integrated pickup according to claim 1, further comprising: a second integrated optical interferometer having a third sensor and a third integrated optical interferometer.
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