JP2905131B2 - Absolute pressure measuring device - Google Patents
Absolute pressure measuring deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、流体等の被測定物
の絶対圧を測定する絶対圧測定装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an absolute pressure measuring device for measuring an absolute pressure of an object to be measured such as a fluid.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、被測定物のゲージ圧を測定す
るといった大気圧を基準とした測定を行うゲージ圧測定
装置が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a gauge pressure measuring apparatus for performing measurement based on atmospheric pressure, such as measuring a gauge pressure of an object to be measured.
【０００３】従来のゲージ圧測定装置は、大気を導入す
るための大気用ポート及び被測定物を導入するための被
測定物用ポートとを備えている。大気用ポートから導入
された大気は装置内の大気室に取り込まれ、被測定物用
ポートから導入された被測定物は装置内の被測定室に取
り込まれる。大気室と被測定室との境界には歪ゲージを
備えたダイヤフラムが設けられており、ダイヤフラムが
大気圧と被測定物の圧力との差圧によって歪曲した時
に、歪ゲージは変化する。なお、歪ゲージの変化とは、
例えば歪ゲージが電気的抵抗によって構成されていると
きには、その抵抗における抵抗率が変化することをい
う。そして、歪ゲージの変化によって得られる信号によ
って、被測定物のゲージ圧を測定する。この信号とは、
例えば電気信号の類であり、この電気信号に基づいて適
当な演算処理回路，表示装置等を介して測定されたゲー
ジ圧が利用者に告知される。[0003] A conventional gauge pressure measuring device is provided with an atmospheric port for introducing air and an object port for introducing an object. The atmosphere introduced from the atmosphere port is taken into the atmosphere chamber in the device, and the object to be measured introduced from the object port is taken into the object chamber in the device. A diaphragm provided with a strain gauge is provided at a boundary between the atmosphere chamber and the chamber to be measured, and the strain gauge changes when the diaphragm is distorted by a pressure difference between the atmospheric pressure and the pressure of the object to be measured. In addition, the change of the strain gauge is
For example, when the strain gauge is constituted by an electric resistance, it means that the resistivity at the resistance changes. Then, the gauge pressure of the measured object is measured based on the signal obtained by the change of the strain gauge. This signal is
For example, the gauge pressure is a kind of an electric signal, and a gauge pressure measured based on the electric signal via an appropriate arithmetic processing circuit, a display device, or the like is notified to a user.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、測定すべき
環境によっては、粉塵や水滴等が大気用ポートに付着等
するために、大気を大気室に取り込むことが困難になる
場合や、粉塵や水滴が大気ポートから大気室内に侵入す
ることによって、大気室内に設けられたゲージ圧センサ
と接続された演算処理用の電子回路等が故障又は破損し
てしまう恐れがある。そこで、長い導入管を大気用ポー
トに接続し、クリーンな外部環境から大気を導入するこ
とによって上記の問題を解決していた。しかしながら、
離れた場所から導入管を測定場所まで引込み、大気用ポ
ートに接続することは面倒であり、その作業に手間がか
かっていた。However, depending on the environment to be measured, dust and water droplets may adhere to the air port, making it difficult to take the air into the air chamber. May invade into the atmosphere chamber from the atmosphere port, and there is a possibility that an electronic circuit for arithmetic processing and the like connected to the gauge pressure sensor provided in the atmosphere chamber may be broken or damaged. Therefore, the above problem has been solved by connecting a long introduction pipe to the atmosphere port and introducing the atmosphere from a clean external environment. However,
It was troublesome to draw the introduction pipe from a remote location to the measurement location and connect it to the air port, which was troublesome.
【０００５】そこで、ゲージ圧センサに代えて真空圧に
対する被測定物の圧力、すなわち絶対圧を測定する絶対
圧センサを用いて上記問題を解消したものも製品化され
ているが、絶対圧センサはゲージ圧センサに比べかなり
高価であり、装置の製造コスト面で問題があった。[0005] In order to solve the above-mentioned problem, an absolute pressure sensor that measures the pressure of an object to be measured relative to a vacuum pressure, that is, an absolute pressure, has been commercialized instead of the gauge pressure sensor. It is considerably more expensive than the gauge pressure sensor, and there is a problem in the manufacturing cost of the device.
【０００６】また、圧力センサには耐圧性において限界
があるが、この限界内において、可能な測定範囲を有効
に利用することができないといった問題があった。つま
り、例えば圧力センサの耐圧限界が±１０気圧である場
合、大気室内の大気圧が１気圧であれば、測定室内に導
入される被測定物の圧力限界は、その差圧を考慮すると
１１気圧までとなる。従って、圧力センサの耐圧限界で
ある２０気圧の範囲を充分に利用することができないと
いった問題がある。[0006] Further, the pressure sensor has a limit in pressure resistance, but within this limit, there is a problem that a possible measurement range cannot be used effectively. That is, for example, if the pressure resistance limit of the pressure sensor is ± 10 atm, if the atmospheric pressure in the atmosphere chamber is 1 atm, the pressure limit of the object to be measured introduced into the measurement chamber is 11 atm in consideration of the differential pressure. Up to. Therefore, there is a problem that the range of 20 atm, which is the withstand pressure limit of the pressure sensor, cannot be fully utilized.
【０００７】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたものである。その目的とす
るところは、高価な絶対圧センサを用いなくとも絶対圧
の測定を可能とすることに加えて、圧力センサの圧力測
定の可能範囲を耐圧限界内においてより拡大することに
ある。The present invention has been made by paying attention to such problems existing in the prior art. An object of the present invention is to make it possible to measure an absolute pressure without using an expensive absolute pressure sensor, and to further expand a possible pressure measurement range of the pressure sensor within a withstand pressure limit.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の絶対圧
測定装置の発明では、被測定物の絶対圧を測定する絶対
圧測定装置において、気体を外部から密閉した状態で収
納する密閉室と、該密閉室内に密閉された気体の圧力と
被測定物の圧力との差圧を検知して、その差圧に応じた
出力を行う差圧検知部と、前記密閉室内の圧力変動を補
償する補償手段とを備え、前記補償手段は、密閉室の体
積を変化させることが可能である体積可変部材である。 According to the first aspect of the present invention, there is provided an absolute pressure measuring apparatus for measuring an absolute pressure of an object to be measured. A differential pressure detecting unit that detects a differential pressure between a pressure of a gas sealed in the closed chamber and a pressure of an object to be measured, and performs an output according to the differential pressure, and compensates for pressure fluctuation in the closed chamber. Compensating means , wherein the compensating means comprises a body of a closed chamber.
It is a volume variable member capable of changing the product.
【０００９】請求項２に記載の発明では、被測定物の絶
対圧を測定する絶対圧測定装置において、気体を外部か
ら密閉した状態で収納する密閉室と、該密閉室内に密閉
された気体の圧力と被測定物の圧力との差圧を検知し
て、その差圧に応じた出力を行う差圧検知部と、前記密
閉室内の圧力変動を補償する補償手段とを備え、前記密
閉室内には、差圧検知部の耐圧限界内において大気圧よ
りも高圧の気体を封入した。 According to the second aspect of the present invention, the object to be measured is isolated.
In an absolute pressure measuring device that measures counter pressure, the gas
And a closed room that is housed in a sealed state
Detects the pressure difference between the measured gas pressure and the measured object pressure.
A differential pressure detecting section for performing an output corresponding to the differential pressure,
And compensating means for compensating for pressure fluctuations in the closed chamber.
In a closed room, the atmospheric pressure is within the pressure limit of the differential pressure detector.
A high-pressure gas was sealed.
【００１０】請求項３に記載の発明では、請求項２に記
載の絶対圧測定装置において、前記補償手段は、密閉室
の体積を変化させることが可能である体積可変部材によ
り構成されるものである。[0010] According to the third aspect of the present invention, the second aspect of the present invention is provided.
In the above absolute pressure measuring device, the compensating means is a closed chamber.
Variable volume member that can change the volume of
It is configured .
【００１１】請求項４に記載の発明では、請求項２に記
載の絶対圧測定装置において、前記補償手段は、密閉室
内の気体の温度を検知して、その温度に応じた出力を行
う温度検知部と、該温度検知部により検知された温度変
化に伴う圧力変化分を補償する温度補償手段とから構成
されるものである。 According to the fourth aspect of the present invention, the second aspect of the present invention is provided.
In the above absolute pressure measuring device, the compensating means is a closed chamber.
Detects the temperature of the gas inside, and outputs according to that temperature.
Temperature detecting section and a temperature change detected by the temperature detecting section.
Temperature compensation means to compensate for the pressure change due to
Is what is done.
【００１２】従って、請求項１〜４に記載の発明は次に
ような作用を奏する。請求項１及び請求項２に記載の発
明においては、密閉室内に気体が外部から完全密閉され
た状態で収納されている。そして、差圧検知部によっ
て、密閉室内の気体の圧力と被測定物の圧力との差圧が
検知され、その差圧に応じた出力が行われることによっ
て、被測定物の絶対圧が測定される。さらに、密閉室内
の気体の圧力が変動したときには、補償手段により変動
した圧力が補償される。Accordingly, the first to fourth aspects of the present invention have the following effects. According to the first and second aspects of the present invention, the gas is housed in the closed chamber in a state of being completely sealed from the outside. Then, the differential pressure detector detects the differential pressure between the pressure of the gas in the closed chamber and the pressure of the device under test, and outputs an output corresponding to the pressure difference, thereby measuring the absolute pressure of the device under test. You. Further, when the pressure of the gas in the closed chamber fluctuates, the fluctuating pressure is compensated by the compensating means.
【００１３】又、請求項１及び請求項３に記載の発明に
おいては、密閉室内の体積が体積可変部材を介して変化
されることにともなって、変動した圧力が補償されて被
測定物の絶対圧が測定される。According to the first and third aspects of the present invention, since the volume in the closed chamber is changed via the variable volume member, the fluctuating pressure is compensated and the absolute value of the object to be measured is compensated. The pressure is measured.
【００１４】請求項２に記載の発明においては、前記密
閉室内には、差圧検知部の耐圧限界内において、大気圧
よりも高圧の気体を封入してあるため、差圧検知部の耐
圧範囲が有効利用される。 In the second aspect of the present invention, the density
In a closed room, the atmospheric pressure is within the pressure limit of the differential pressure detector.
The higher pressure gas is sealed, so the differential pressure detector
The pressure range is used effectively.
【００１５】請求項４に記載の発明においては、密閉室
内に設けられた温度検知部によって気体の温度が検知さ
れ、その温度に応じた出力がされる。そして、温度変化
にともなう気体の圧力変化分が、温度補償手段により補
償されて被測定物の絶対圧が測定される。 According to the fourth aspect of the present invention, the closed chamber is provided.
The temperature of the gas is detected by the temperature detector
And outputs an output according to the temperature. And the temperature change
The pressure change of the gas accompanying the
Then, the absolute pressure of the object is measured.
【００１６】[0016]
（第１の実施形態）以下、本発明である絶対圧測定装置
の第１の実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。(First Embodiment) Hereinafter, a first embodiment of an absolute pressure measuring device according to the present invention will be described with reference to FIGS.
【００１７】図１に示すように、絶対圧測定装置１１の
本体ケース１２は、下部本体１３、中部本体１４及び上
部本体１５から構成されている。下部本体１３には、被
測定物を導入する被測定物用ポート１６が設けられると
ともに、センサケース１７を支持する支持部１８が設け
られている。As shown in FIG. 1, a main body case 12 of the absolute pressure measuring device 11 comprises a lower main body 13, a middle main body 14, and an upper main body 15. The lower body 13 is provided with an object port 16 for introducing an object to be measured, and a support 18 for supporting the sensor case 17.
【００１８】支持部１８に支持されるセンサケース１７
の下部には、被測定物用ポート１６から導入された被測
定物の圧力Ｐ２が作用するダイヤフラム２１が設けられ
ている。第１の電子回路基板２２はセンサケース１７上
に配置されており、第１の電子回路基板２２には耐圧限
界がＰ１０であるゲージ圧センサ２３が電気的に接続さ
れている。ゲージ圧センサ２３は、差圧検知部を構成し
ている。そして、ダイヤフラム２１とゲージ圧センサ２
３との間には、シリコンオイルよりなる絶縁体２４が介
在されており、ダイヤフラム２１に作用する被測定物の
圧力Ｐ２をゲージ圧センサ２３に伝達する。また、第２
の電子回路基板２５が第１の電子回路基板２２の上方の
センサケース１７に支持されており、第１の電子回路基
板２２とリード線２６によって電気的に接続される。The sensor case 17 supported by the support 18
Is provided with a diaphragm 21 on which a pressure P2 of the object to be measured introduced from the object port 16 acts. The first electronic circuit board 22 is disposed on the sensor case 17, and a gauge pressure sensor 23 having a withstand voltage limit of P10 is electrically connected to the first electronic circuit board 22. The gauge pressure sensor 23 forms a differential pressure detecting unit. Then, the diaphragm 21 and the gauge pressure sensor 2
An insulator 24 made of silicone oil is interposed between the pressure sensor 3 and the pressure sensor 3 to transmit the pressure P2 of the object to be measured acting on the diaphragm 21 to the gauge pressure sensor 23. Also, the second
The electronic circuit board 25 is supported by the sensor case 17 above the first electronic circuit board 22, and is electrically connected to the first electronic circuit board 22 by the lead wire 26.
【００１９】中部本体１４には、上方が開口した中空孔
３１が設けられている。さらに、中部本体１４には、圧
力調節用孔３４が前記中空孔３１に対して平行に設けら
れており、さらに圧力調節用孔３４の一部にはネジ孔６
１が設けられている。体積可変部材としての圧力調節用
ピストン３３には、ネジ孔６１と係合するネジ部６２が
設けられるとともに、圧力調節用ピストン３３を圧力調
節用孔３４内に挿入させるための挿入口６３、及び圧力
調節用孔３４側とネジ孔６１側とを気密性を保持して隔
離するための０リング６４が設けられている。圧力調節
用ピストン３３はネジ作用によって圧力調節用孔３４内
を移動可能である。The central body 14 is provided with a hollow hole 31 which is open at the top. Further, a pressure adjusting hole 34 is provided in the middle main body 14 in parallel with the hollow hole 31, and a part of the pressure adjusting hole 34 has a screw hole 6.
1 is provided. The pressure adjusting piston 33 as a volume variable member is provided with a screw portion 62 that engages with the screw hole 61, and an insertion port 63 for inserting the pressure adjusting piston 33 into the pressure adjusting hole 34, and An O-ring 64 is provided for isolating the pressure adjustment hole 34 side and the screw hole 61 side while maintaining airtightness. The pressure adjusting piston 33 is movable in the pressure adjusting hole 34 by a screw action.
【００２０】一方、圧力の微調節を行うための体積可変
部材としてのニードル３５が挿入される微調節用孔３６
が、圧力調節用孔３４に直交して設けられているととも
に、。微調節用孔３６の一部にはネジ孔６５が設けられ
ている。また、微調節用孔３６は圧力調節用孔３４に連
通された状態で設けられている。ニードル３５には、ネ
ジ孔６５と係合するネジ部６６、ニードル３５を微調節
用孔３６に挿入させるための挿入口６７、及び微調節用
孔３６とネジ孔６５とを気密性を保持して隔離するため
の０リング６８が設けられている。ニードル３５はネジ
作用によって微調節用孔３６内を移動可能である。微調
節用孔３６は導入孔３７を介して前記中空孔３１と連通
されている。なお、ニードル３５の先端に位置する挿入
部３９が気密性を保って導入孔３７内に挿入されたとき
には、中空孔３１と圧力調節用孔３４及び微調節用孔３
６とは気密性を保持した状態で隔離される。上記のよう
に構成された中部本体１４には、センサケース１７の配
設された下部本体１３がボルト３８によって固着され
る。On the other hand, a fine adjustment hole 36 into which a needle 35 as a volume variable member for fine adjustment of pressure is inserted.
Are provided orthogonal to the pressure adjusting hole 34. A screw hole 65 is provided in a part of the fine adjustment hole 36. The fine adjustment hole 36 is provided so as to communicate with the pressure adjustment hole 34. The needle 35 has a screw portion 66 that engages with the screw hole 65, an insertion opening 67 for inserting the needle 35 into the fine adjustment hole 36, and the fine adjustment hole 36 and the screw hole 65 that maintain airtightness. An O-ring 68 is provided for isolation. The needle 35 is movable in the fine adjustment hole 36 by a screw action. The fine adjustment hole 36 communicates with the hollow hole 31 via the introduction hole 37. When the insertion portion 39 located at the tip of the needle 35 is inserted into the introduction hole 37 while maintaining airtightness, the hollow hole 31, the pressure adjustment hole 34, and the fine adjustment hole 3
6 is isolated while maintaining airtightness. The lower main body 13 provided with the sensor case 17 is fixed to the middle main body 14 configured as described above with bolts 38.
【００２１】上部本体１５にはコネクタ４１が配設さ
れ、ボルト４２によって中部本体１４に固着されてい
る。第２の電子回路基板２５上に載置された第３の電子
回路基板４３は、コネクタ４１及び第２の電子回路基板
２５に電気的に接続されている。また、温度を検知する
温度検知部としての温度センサ４４及び補償手段として
の０点調節部４５が、第３の電子回路基板４３に電気的
に接続された状態で設けられている。A connector 41 is provided on the upper body 15 and is fixed to the middle body 14 by bolts 42. The third electronic circuit board 43 mounted on the second electronic circuit board 25 is electrically connected to the connector 41 and the second electronic circuit board 25. Further, a temperature sensor 44 as a temperature detecting unit for detecting a temperature and a zero-point adjusting unit 45 as a compensating unit are provided in a state of being electrically connected to the third electronic circuit board 43.
【００２２】以上のように構成された絶対圧測定装置１
１には、上部本体１５、中部本体１４、下部本体１３及
びセンサケース１７によって密閉された密閉室としての
気体室５１が形成されており、気体室５１内に封入され
た任意の気体Ａは外部環境から完全に隔離されている。
そして、気体室５１には圧力Ｐ１を有する気体Ａが収納
されており、圧力Ｐ１は予め圧力調節用ピストン３３の
調節によって、大気圧より高圧であるとともに、ゲージ
圧センサ２３の耐圧限界Ｐ１０に満たないものに設定さ
れている。なお、圧力Ｐ１の設定においては、圧力調節
用ピストン３３が圧力調節用孔３４内に挿入されるに従
って圧力Ｐ１は上昇し、一方、圧力調節用ピストン３３
が圧力調節用孔３４内から挿出されるに従って圧力Ｐ１
は降下する。そして、ニードル３５の挿入部３９が導入
孔３７内に挿入されるに従って、圧力Ｐ１は微小量だけ
上昇し、一方、ニードル３５の挿入部３９が導入孔３７
内から挿出されるに従って、圧力Ｐ１は微小量だけ降下
する。また、温度が上昇するに従って圧力Ｐ１は上昇
し、温度が降下するに従って圧力Ｐ１は降下する。Absolute pressure measuring device 1 configured as described above
1, a gas chamber 51 is formed as a closed chamber which is closed by the upper main body 15, the middle main body 14, the lower main body 13, and the sensor case 17, and any gas A sealed in the gas chamber 51 is externally provided. Completely isolated from the environment.
Then, the gas chamber 51 is housed a gas A having a pressure P1, by adjustment of the pressure P1 is previously pressure regulating piston 33, together with a pressure higher than atmospheric pressure, the breakdown voltage limit P10 of the gauge pressure sensor 23 Set to less than In setting the pressure P1, the pressure P1 increases as the pressure adjusting piston 33 is inserted into the pressure adjusting hole 34, while the pressure adjusting piston 33
As the pressure P1 is inserted out of the pressure adjusting hole 34,
Descends. Then, as the insertion portion 39 of the needle 35 is inserted into the introduction hole 37, the pressure P1 increases by a very small amount, while the insertion portion 39 of the needle 35
As it is inserted from the inside, the pressure P1 drops by a very small amount. Further, the pressure P1 increases as the temperature increases, and the pressure P1 decreases as the temperature decreases.
【００２３】前記ゲージ圧センサ２３は、上記のように
変動する気体Ａの圧力Ｐ１と絶縁体２４を介して伝達さ
れた被測定物の圧力Ｐ２との差圧Ｐ２−Ｐ１を検知す
る。次に、上記のように構成された絶対圧測定装置１１
の電気的構成を図２にもとづいて説明する。The gauge pressure sensor 23 detects a differential pressure P2−P1 between the pressure P1 of the gas A that fluctuates as described above and the pressure P2 of the measured object transmitted through the insulator 24. Next, the absolute pressure measuring device 11 configured as described above
Will be described with reference to FIG.
【００２４】まず、ゲージ圧センサ２３側の電気的構成
について説明すると、定電流回路Ｄ１は検知回路Ｄ２に
接続され、検知回路Ｄ２に一定の電流を供給する。検知
回路Ｄ２はホイートストンブリッジ回路Ｄ２−１及び可
変抵抗Ｄ２−２を備え、ホイートストンブリッジ回路Ｄ
２−１には前記定電流回路Ｄ１より一定の電流が供給さ
れ、ホイートストンブリッジ回路Ｄ２−１は密閉された
気体Ａの圧力Ｐ１と被測定物の圧力Ｐ２との差圧に応じ
た電位差Ｖ１を出力する。なお、可変抵抗Ｄ２−２は初
期設定された気体Ａの圧力Ｐ１と被測定物の圧力Ｐ２と
の差圧がゼロである場合に電圧Ｖ１がゼロとなるように
調節するためのゼロ点調節に用いられる。First, the electrical configuration of the gauge pressure sensor 23 will be described. The constant current circuit D1 is connected to the detection circuit D2 and supplies a constant current to the detection circuit D2. The detection circuit D2 includes a Wheatstone bridge circuit D2-1 and a variable resistor D2-2.
2-1 is supplied with a constant current from the constant current circuit D1, and the Wheatstone bridge circuit D2-1 generates a potential difference V1 corresponding to the pressure difference between the pressure P1 of the sealed gas A and the pressure P2 of the device under test. Output. The variable resistor D2-2 is used for zero point adjustment for adjusting the voltage V1 to zero when the pressure difference between the initially set pressure P1 of the gas A and the pressure P2 of the device under test is zero. Used.
【００２５】検知回路Ｄ２には増幅回路Ｄ３が接続さ
れ、検知回路Ｄ２から出力される電圧Ｖ１を増幅した電
圧Ｖ２を出力する。気体室５１内に密閉された気体Ａの
圧力Ｐ１は温度の上昇に応じて変化するものであり、気
体室５１内の気体Ａの温度がΔＴだけ上昇することに伴
って、電位差Ｖ２は図３においてＹ1 に示すようにΔＶ
2 だけ降下する。なお、増幅回路Ｄ３は可変抵抗Ｄ３−
１を備えている。この可変抵抗Ｄ３−１は増幅率（Ｖ２
／Ｖ１）を調節するための増幅率調節に用いられる。An amplification circuit D3 is connected to the detection circuit D2.
And a voltage obtained by amplifying the voltage V1 output from the detection circuit D2.
The pressure V2 is output. Of the gas A sealed in the gas chamber 51
The pressure P1 changes in accordance with the rise in temperature.
As the temperature of gas A in body chamber 51 rises by ΔT,
Therefore, the potential difference V2 is Y in FIG.1ΔV as shown in
TwoJust descend. Note that the amplifier circuit D3 includes a variable resistor D3-
1 is provided. This variable resistor D3-1 has an amplification factor (V2
/ V1) is used for adjusting the amplification factor.
【００２６】次に、温度センサ４４側の電気的構成につ
いて述べる。温度センサ４４及び補償手段を構成する温
度検知回路Ｄ４、並びに圧力Ｐ１を絶対圧として測定す
べく調節が行われる０点調節部４５としての０点調節用
抵抗Ｄ５は、増幅回路ｄ３に接続されている。温度検知
回路Ｄ４は気体Ａの温度変化に応じて抵抗率が変化する
ことにより、温度に応じた電気信号を出力する。０点調
節用抵抗Ｄ５には、気体Ａの圧力Ｐ１を真空圧とみなす
べく予め所定の抵抗率を付しておく。温度検知回路Ｄ４
から得られた電位に対する０点調節用抵抗Ｄ５から得ら
れた電位は、電位差Ｖ３として増幅回路ｄ３に印加され
る。Next, the electrical configuration of the temperature sensor 44 will be described. A temperature sensor 44, a temperature detection circuit D4 constituting a compensating means, and a zero-point adjusting resistor D5 as a zero-point adjusting part 45 for performing adjustment to measure the pressure P1 as an absolute pressure are connected to an amplifier circuit d3. I have. The temperature detection circuit D4 outputs an electric signal corresponding to the temperature when the resistivity changes according to the temperature change of the gas A. The zero-point adjustment resistor D5 is given a predetermined resistivity in advance so that the pressure P1 of the gas A is regarded as a vacuum pressure. Temperature detection circuit D4
Is applied to the amplifier circuit d3 as a potential difference V3.
【００２７】補償手段を構成する増幅回路ｄ３は上記増
幅回路Ｄ３と同一の構成であり、温度検知回路Ｄ４及び
０点調節用抵抗Ｄ５から得られた電位差Ｖ３を電位Ｖ４
に増幅する。なお、可変抵抗ｄ３−１は増幅率（Ｖ４／
Ｖ３）を調節するための増幅率調節に用いられるもので
ある。０点調節用抵抗Ｄ５は、ゲージ圧センサ２３で測
定される被測定物の圧力を図３に示すように温度Ｔ1 の
ときに絶対圧として測定すべく０点調節を行うものであ
り、また可変抵抗ｄ３−１によって温度変化ΔＴにとも
なって上昇するΔＶ4 の傾きが調整される。そして、図
３のＹ2 に示すように０点調節用抵抗Ｄ５及び可変抵抗
ｄ３−１は温度変化ΔＴにともなって、電位Ｖ４がΔＶ
4 （＝ΔＶ2 ）だけ上昇すべく調節されている。これに
よって、気体Ａの温度がΔＴだけ上昇することにともな
って下降した電位ΔＶ2 を、ゲージ圧センサ２３側にて
上昇した電位ΔＶ4 にて補償している。The amplifying circuit d3 constituting the compensating means has the same configuration as the amplifying circuit D3.
To amplify. The variable resistor d3-1 has an amplification factor (V4 /
V3) is used for adjusting the amplification factor for adjusting V3). 0 point adjustment resistor D5 are those performing the zero point adjusted to measure as an absolute pressure when the pressure of the measured object measured by the gauge pressure sensor 23 of temperatures T 1, as shown in FIG. 3, also The slope of ΔV 4 that rises with the temperature change ΔT is adjusted by the variable resistor d3-1. The zero point adjusting resistor D5 and a variable resistor d3-1 as shown in Y 2 in FIG. 3 in accordance with the temperature change [Delta] T, the potential V4 is ΔV
4 (= ΔV 2 ). As a result, the potential ΔV 2, which has fallen as the temperature of the gas A rises by ΔT, is compensated for by the potential ΔV 4 that has risen on the gauge pressure sensor 23 side.
【００２８】前記増幅回路Ｄ３及び増幅回路ｄ３はそれ
ぞれ補償手段としての加算回路Ｄ６に接続され、増幅回
路Ｄ３より出力された電位Ｖ３と増幅回路ｄ３より出力
された電圧Ｖ４とを加算して出力する。The amplifying circuit D3 and the amplifying circuit d3 are connected to an adding circuit D6 as compensation means, respectively, and add and output the potential V3 output from the amplifying circuit D3 and the voltage V4 output from the amplifying circuit d3. .
【００２９】次に、上記のように構成された絶対圧測定
装置１１の動作について説明する。ダイヤフラム２１に
気体Ａの圧力Ｐ１と被測定物の圧力Ｐ２との差圧Ｐ２−
Ｐ１が作用することに起因して、ダイヤフラム２１は歪
曲する。なお、ダイヤフラム２１に作用させることの可
能な被測定物の圧力Ｐ２の大きさは、耐圧限界Ｐ１０に
気体室５１内の圧力Ｐ１を加えた加算圧Ｐ１０＋Ｐ１で
ある。ダイヤフラム２１が歪曲すると、差圧Ｐ２−Ｐ１
はシリコンオイルの充填された絶縁体２４を介してゲー
ジ圧センサ２３に伝達される。そして、ゲージ圧センサ
２３を構成するピエゾ抵抗には応力が加わることによっ
て、検知回路Ｄ２の抵抗の抵抗率が変化する。抵抗率の
変化にともなって電位差Ｖ１が生じると、その電位差Ｖ
１は増幅回路Ｄ３の入力端に印加される。そして、印加
された電位差Ｖ１は増幅回路Ｄ３を介して電圧Ｖ２に増
幅された後、加算回路Ｄ６へ印加される。Next, the operation of the absolute pressure measuring device 11 configured as described above will be described. A differential pressure P2- between the pressure P1 of the gas A and the pressure P2 of the measured object is applied to the diaphragm 21.
Due to the action of P1, the diaphragm 21 is distorted. Note that the magnitude of the pressure P2 of the measured object that can act on the diaphragm 21 is the sum of the pressure P1 and the pressure P1 in the gas chamber 51 plus the pressure P1 + P1. When the diaphragm 21 is distorted, the differential pressure P2-P1
Is transmitted to the gauge pressure sensor 23 via the insulator 24 filled with silicon oil. Then, when a stress is applied to the piezo resistor constituting the gauge pressure sensor 23, the resistivity of the resistance of the detection circuit D2 changes. When the potential difference V1 occurs with the change in the resistivity, the potential difference V1
1 is applied to the input terminal of the amplifier circuit D3. Then, the applied potential difference V1 is amplified to a voltage V2 via an amplifier circuit D3, and then applied to an adder circuit D6.
【００３０】一方、温度センサ４４が気体Ａの温度を検
知すると、その温度に応じて温度検知回路Ｄ４の抵抗に
おける抵抗率が変化する。そして、変化した抵抗率に応
じて検知回路Ｄ４から得られる電位と０点調節用抵抗Ｄ
５を介して得られる電位との電位差Ｖ３が、増幅回路ｄ
３に印加される。電位差Ｖ３は増幅回路ｄ３において電
位Ｖ４に増幅され、加算回路Ｄ６に印加される。On the other hand, when the temperature sensor 44 detects the temperature of the gas A, the resistivity of the resistance of the temperature detection circuit D4 changes according to the detected temperature. Then, the potential obtained from the detection circuit D4 according to the changed resistivity and the zero-point adjusting resistor D
5, the potential difference V3 from the potential obtained through the amplifier circuit d
3 is applied. The potential difference V3 is amplified to a potential V4 in the amplifier circuit d3 and applied to the adder circuit D6.
【００３１】電圧Ｖ２，Ｖ４が加算回路Ｄ６へ印加され
ると、加算電圧Ｖ２＋Ｖ４にもとづく電圧Ｖ５が出力端
から出力される。そして、電位Ｖ５にもとづいて、被測
定物の圧力Ｐ２が電気信号Ｂとして求められる。そし
て、その電気信号Ｂをコネクタ４１を介して絶対圧測定
装置１１の外部に設けられた図示しない表示部に表示さ
せる。When the voltages V2 and V4 are applied to the addition circuit D6, a voltage V5 based on the addition voltage V2 + V4 is output from the output terminal. Then, the pressure P2 of the measured object is obtained as the electric signal B based on the potential V5. Then, the electric signal B is displayed on a display unit (not shown) provided outside the absolute pressure measuring device 11 via the connector 41.
【００３２】この第１の実施形態は以下のような利点を
有する。 （イ） 気体室５１内の気体Ａの温度変化ΔＴにともな
って、電位差Ｖ２が電位ΔＶ2 だけ下降するが、下降し
た電位ΔＶ2 はゲージ圧センサ２３の検知する差圧Ｐ２
−Ｐ１の誤差となる。そこで、温度センサ４４を介して
検知される温度変化ΔＴにともなって、下降した電位Δ
Ｖ2 と等しいだけの上昇した電位ΔＶ4が電位差Ｖ４に
加わるべく、０点調節用抵抗Ｄ５及び可変抵抗ｄ３−１
が設けられている。従って、下降した電位ΔＶ2 と等し
い上昇した電位ΔＶ4 が変化分として加算回路Ｄ６に印
加されることにより、ゲージ圧センサ２３の検知する差
圧Ｐ２−Ｐ１の誤差を取り除くことができる。The first embodiment has the following advantages. (B) with the temperature change ΔT of the gas A in the gas chamber 51, the pressure difference potential difference V2 is but decreases by potential [Delta] V 2, the lowered potential [Delta] V 2 detects the gauge pressure sensor 23 P2
−P1 error. Thus, the potential Δ decreases with the temperature change ΔT detected via the temperature sensor 44.
So only increased potential [Delta] V 4 of equal to V 2 is applied to the potential difference V4, resistor D5 and a variable resistor for adjusting the zero point d3-1
Is provided. Therefore, the increased potential ΔV 4 equal to the decreased potential ΔV 2 is applied to the addition circuit D 6 as a change, so that the error of the differential pressure P 2 -P 1 detected by the gauge pressure sensor 23 can be removed.
【００３３】（ロ） ０点調節用抵抗Ｄ５の調節によ
り、気体室５１内の気体Ａの圧力Ｐ１を真空圧とみなし
て、ゲージ圧センサ２３によって検知される差圧Ｐ２−
Ｐ１を絶対圧として測定すべく補償が行われる。従っ
て、被測定物の絶対圧を測定することが可能となる。(B) By adjusting the zero-point adjusting resistor D5, the pressure P1 of the gas A in the gas chamber 51 is regarded as a vacuum pressure, and the differential pressure P2-
Compensation is performed to measure P1 as absolute pressure. Therefore, it is possible to measure the absolute pressure of the measured object.
【００３４】（ハ） 気体室５１は密閉されているた
め、外部から粉塵や水滴等が気体室５１内に入り込むこ
とはなく、気体室５１内に配設された電子回路基板２
２，２５，４３がそれらの影響により故障又は破損する
といった恐れを防ぐことができる。(C) Since the gas chamber 51 is sealed, dust and water droplets do not enter the gas chamber 51 from the outside, and the electronic circuit board 2 disposed in the gas chamber 51
2, 25, 43 can be prevented from being damaged or damaged due to their influence.
【００３５】（ニ） ０点調節は圧力調節用ピストン３
３が圧力調節用孔３４に挿入される深さによって行われ
るとともに、微調節はニードル３５が微調節用孔３６に
挿入される深さによって行われる。従って、圧力の補償
を容易に行うことができるとともに、気体室５１内の気
体Ａを外部環境から隔離した状態で０点調節を行うこと
が可能であるため、外部環境が悪いときであっても粉塵
や水滴等が気体室５１内に入り込むことはなく、気体室
５１内に配設された電子回路基板２２，２５，４３がそ
れらの影響により故障又は破損するといった恐れを防ぐ
ことができる。(D) Piston for pressure adjustment 3
3 is performed by the depth of insertion into the pressure adjusting hole 34, and the fine adjustment is performed by the depth of insertion of the needle 35 into the fine adjustment hole 36. Accordingly, the pressure can be easily compensated, and the zero point adjustment can be performed while the gas A in the gas chamber 51 is isolated from the external environment. Dust, water droplets, and the like do not enter the gas chamber 51, and it is possible to prevent the electronic circuit boards 22, 25, and 43 disposed in the gas chamber 51 from being damaged or damaged due to the influence thereof.
【００３６】（ホ） ゲージ圧センサ２３を利用してい
るため、絶対圧センサを利用する場合に比して、製造コ
ストの削減が図られる。 （ヘ） 気体Ａの圧力がＰ１であり、さらにダイヤフラ
ム２１の耐圧限界がＰ１０であるときには、ダイヤフラ
ム２１にはＰ１０＋Ｐ１までの大きさの被測定物の圧力
Ｐ２を作用させることが可能となる。例えば圧力Ｐ１の
大きさがＰ１＝Ｐ１０であるとすると、ダイヤフラム２
１に作用させるこのできる圧力は２・Ｐ１０となる。従
って、ダイヤフラム２１の耐圧限界±Ｐ１０内におい
て、測定可能な被測定物の圧力範囲を拡大させることが
可能となる。(E) Since the gauge pressure sensor 23 is used, the manufacturing cost can be reduced as compared with the case where the absolute pressure sensor is used. (F) When the pressure of the gas A is P1 and the withstand pressure limit of the diaphragm 21 is P10, the pressure P2 of the object to be measured having a size up to P10 + P1 can be applied to the diaphragm 21. For example, assuming that the magnitude of the pressure P1 is P1 = P10, the diaphragm 2
The resulting pressure acting on 1 is 2 · P10. Therefore, it is possible to expand the measurable pressure range of the measured object within the withstand pressure limit ± P10 of the diaphragm 21.
【００３７】（ト） 圧力Ｐ１の調節を行う際に利用さ
れる圧力調節用孔３４は、中空孔３１に対して平行に設
けられているため、装置をよりコンパクトに製造するこ
とが可能である。(G) Since the pressure adjusting hole 34 used for adjusting the pressure P1 is provided in parallel with the hollow hole 31, the device can be manufactured more compactly. .
【００３８】なお、この発明は、次のように変更して具
体化することも可能である。 （１） 被測定物の圧力Ｐ２の０点調節を０点調節部４
５の抵抗に応じて自動的に調節する制御手段を備えるこ
と。これによって、０点調節をより精度良く行うことも
可能となる。The present invention can be embodied with the following modifications. (1) The zero-point adjustment unit 4 adjusts the zero-point adjustment of the pressure P2 of the DUT.
5. A control means for automatically adjusting the resistance according to the resistance of 5. As a result, the zero point adjustment can be performed with higher accuracy.
【００３９】（２） ゲージ圧センサ２３及び温度セン
サ４４のみを設け、両者２３，４４より得られた信号を
コネクタ４１を介して絶対圧測定装置の外部に設けられ
た演算回路に出力して、被測定物の絶対圧を求めるこ
と。これによっても、上記（イ）〜（ト）に記載の利点
と同様な効果を得ることができる。(2) Only the gauge pressure sensor 23 and the temperature sensor 44 are provided, and the signals obtained from the two are output to the arithmetic circuit provided outside the absolute pressure measuring device via the connector 41. Obtain the absolute pressure of the measured object. This also provides the same advantages as the advantages described in the above (a) to (g).
【００４０】（３） 被測定物の圧力Ｐ２がゲージ圧セ
ンサ２３の耐圧以内の所定の圧力以上になったときに
は、その旨を表示或いは音声等によって測定者に知らせ
ること。これにより、ゲージ圧センサ２３の耐圧性にも
とづく故障等の可能性をより抑えることができる。(3) When the pressure P2 of the object to be measured becomes equal to or higher than a predetermined pressure within the pressure resistance of the gauge pressure sensor 23, the effect is notified to the measurer by display or voice. Thereby, the possibility of failure or the like based on the pressure resistance of the gauge pressure sensor 23 can be further suppressed.
【００４１】（４） 被測定物用ポート１６に被測定物
の導入を停止するための導入停止弁を設けること。そし
て、ゲージ圧センサ２３によって測定された差圧Ｐ２−
Ｐ１が所定の値以上になったときには、被測定物用ポー
ト１６に設けられた導入停止弁を閉じること。これによ
って、ゲージ圧センサ２３の耐圧性にもとづく故障等か
ら回避することができる。(4) An introduction stop valve for stopping the introduction of the object to be measured is provided in the object port 16. Then, the differential pressure P2- measured by the gauge pressure sensor 23
When P1 becomes equal to or more than a predetermined value, the introduction stop valve provided in the DUT port 16 is closed. Thereby, it is possible to avoid a failure or the like based on the pressure resistance of the gauge pressure sensor 23.
【００４２】（５） 差圧Ｐ２−Ｐ１を測定するゲージ
圧センサ２３を含め複数設け、さらに複数のゲージ圧セ
ンサ２３の平均値をとる回路を設けること。これによ
り、差圧Ｐ２−Ｐ１をより精度良く測定することが可能
となる。(5) A plurality of gauge pressure sensors 23 including the gauge pressure sensors 23 for measuring the differential pressure P2-P1 are provided, and a circuit for obtaining an average value of the plurality of gauge pressure sensors 23 is provided. This makes it possible to measure the differential pressure P2-P1 with higher accuracy.
【００４３】（６） 温度検知回路Ｄ４を介して得られ
る信号及び０点調節用抵抗Ｄ５を介して得られる信号を
演算回路にて処理せず、予めＲＯＭ等に記憶されたデー
タに基づいて両者の信号を出力する制御手段を設けるこ
と。これによっても、絶対圧測定を行うことができる。(6) The signal obtained through the temperature detection circuit D4 and the signal obtained through the zero-point adjusting resistor D5 are not processed by the arithmetic circuit, but are processed based on data stored in advance in a ROM or the like. Control means for outputting a signal of This also allows the absolute pressure measurement to be performed.
【００４４】（７） 図２について、温度検知回路Ｄ
４、０点調節用抵抗Ｄ５、増幅回路ｄ３、加算回路Ｄ６
を省いて、圧力調節用ピストン３３及びニードル３５の
みで調節すること。これによっても、絶対圧測定装置１
１を温度が変動しない場所で利用する場合には、圧力調
節用ピストン３３及びニードル３５のみによって０点調
節を行うことにより、被測定物の絶対圧測定を行うこと
ができる。(7) Referring to FIG.
4, 0 point adjusting resistor D5, amplifying circuit d3, adding circuit D6
And adjusting only with the pressure adjusting piston 33 and the needle 35. This also allows the absolute pressure measuring device 1
When 1 is used in a place where the temperature does not fluctuate, the absolute pressure of the measured object can be measured by adjusting the zero point only by the pressure adjusting piston 33 and the needle 35.
【００４５】（第２の実施形態）次に本発明の第２の実
施形態は、図４に示すように気体室５１の体積を変化さ
せるための圧力調節用ピストン３３及びニードル３５を
備えていない点のみが、前記第１の実施形態とは異な
る。(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention does not include the pressure adjusting piston 33 and the needle 35 for changing the volume of the gas chamber 51 as shown in FIG. Only the point is different from the first embodiment.
【００４６】この第２の実施形態は、上記第１の実施形
態における利点（イ）〜（ハ）、（ホ）〜（ヘ）を有す
る。上記実施形態から把握できる技術的思想について以
下に記載する。The second embodiment has the advantages (a) to (c) and (e) to (f) of the first embodiment. The technical ideas that can be grasped from the above embodiment will be described below.
【００４７】（α） 差圧検知部に作用する密閉室内に
密閉された気体の圧力と被測定物の圧力との差圧が所定
の値以上になったときには、その旨を測定者に知らせる
手段を備えた請求項１〜４のいずれかに記載の絶対圧測
定装置。これにより、検知部の故障等の可能性を抑える
ことができる。(Α) Means for notifying the measurer when the pressure difference between the pressure of the gas sealed in the closed chamber acting on the pressure difference detection section and the pressure of the object to be measured exceeds a predetermined value. The absolute pressure measuring device according to any one of claims 1 to 4, further comprising: Thereby, the possibility of a failure of the detection unit can be suppressed.
【００４８】[0048]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば次
のような優れた効果を奏する。請求項１及び請求項２に
記載の発明によれば、大気及び被測定物との差圧測定の
対象となる気体は密閉室内に密閉された状態で収納され
ているため、外部環境の影響を受けることによる粉塵や
水滴等の悪影響から回避することができる。また、密閉
室内の圧力変動が補償されることにより、被測定物の絶
対圧を精度良く測定することが可能である。As described in detail above, according to the present invention, the following excellent effects can be obtained. According to the first and second aspects of the present invention, since the air and the gas to be measured for the differential pressure between the atmosphere and the object to be measured are stored in a closed chamber in a sealed state, the influence of the external environment is reduced. It is possible to avoid the adverse effects of dust, water droplets, and the like due to receiving. Further, since the pressure fluctuation in the closed chamber is compensated, it is possible to accurately measure the absolute pressure of the measured object.
【００４９】請求項１及び請求項３に記載の発明によれ
ば、密閉室内の圧力を容易に変化させることが可能であ
るとともに、気体は気密性を保持した状態で圧力の変化
を行うことが可能であるため、外部環境が悪いときであ
っても粉塵や水滴等の悪影響から回避することができるAccording to the first and third aspects of the present invention, the pressure in the closed chamber can be easily changed, and the pressure can be changed while maintaining the gas tightness. Because it is possible, even when the external environment is bad, it can be avoided from adverse effects such as dust and water droplets
【００５０】請求項２に記載の発明によれば、圧力測定
可能な範囲をより拡大することが可能となり、被測定物
の圧力をより広い範囲に亘って測定することができる。 According to the second aspect of the present invention, pressure measurement
The possible range can be expanded further,
Can be measured over a wider range.
【００５１】請求項４に記載の発明によれば、密閉室内
の気体の温度が変化することにともなって気体の圧力が
変化したときであっても、圧力変化分を補償することが
できるために、被測定物の絶対圧を精度良く測定するこ
とが可能である。 According to the fourth aspect of the present invention, the closed room
As the temperature of the gas changes, the gas pressure increases
Even when it changes, it is possible to compensate for the pressure change
To be able to measure the absolute pressure of the DUT accurately.
And it is possible.
【図１】 本実施形態におけるゲージ圧測定装置の断面
図。FIG. 1 is a sectional view of a gauge pressure measuring device according to an embodiment.
【図２】 演算処理を行う回路構成を説明する説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a circuit configuration for performing arithmetic processing.
【図３】 密閉室内の温度変化にともなう電圧の変動を
説明する説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining a change in voltage due to a temperature change in a closed chamber.
【図４】 第２の実施形態を説明するための説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining a second embodiment.
１１…絶対圧測定装置、２３…差圧検知部を構成するゲ
ージ圧センサ、３３…体積可変部材としての圧力調節用
ピストン、３５…体積可変部材としてのニードル、４４
…温度検知部としての温度センサ、５１…密閉室として
の気体室、ｄ３…温度補償手段としての増幅回路、Ｄ４
…温度補償手段としての温度検知回路、Ｄ５…０点調節
用抵抗、Ｄ６…温度補償手段としての加算回路、Ａ…気
体、Ｐ１…圧力、Ｐ２…被測定物の圧力。11: Absolute pressure measuring device, 23: Gauge pressure sensor constituting a differential pressure detecting unit, 33: Piston for pressure adjustment as a variable volume member, 35: Needle as a variable volume member, 44
... Temperature sensor as a temperature detecting section, 51. Gas chamber as a closed chamber, d3. Amplifier circuit as temperature compensating means, D4
... Temperature detecting circuit as temperature compensating means, D5: zero-point adjusting resistor, D6: adding circuit as temperature compensating means, A: gas, P1: pressure, P2: pressure of DUT
Claims (4)
装置において、 気体を外部から密閉した状態で収納する密閉室と、 該密閉室内に密閉された気体の圧力と被測定物の圧力と
の差圧を検知して、その差圧に応じた出力を行う差圧検
知部と、 前記密閉室内の圧力変動を補償する補償手段とを備え、
前記補償手段は、密閉室の体積を変化させることが可能
である体積可変部材である絶対圧測定装置。An absolute pressure measuring device for measuring an absolute pressure of an object to be measured, comprising: a sealed chamber for accommodating a gas in a sealed state from the outside; a pressure of the gas sealed in the sealed chamber and a pressure of the object to be measured. And a compensating means for compensating for pressure fluctuations in the sealed chamber ,
The compensation means can change the volume of the closed chamber
Absolute pressure measuring device which is a volume variable member .
装置において、 気体を外部から密閉した状態で収納する密閉室と、 該密閉室内に密閉された気体の圧力と被測定物の圧力と
の差圧を検知して、その差圧に応じた出力を行う差圧検
知部と、 前記密閉室内の圧力変動を補償する補償手段とを備え、
前記密閉室内には、差圧検知部の耐圧限界内において大
気圧よりも高圧の気体を封入した 絶対圧測定装置。2. An absolute pressure measurement for measuring an absolute pressure of an object to be measured.
In the apparatus, a closed chamber for storing gas in a sealed state from the outside, and the pressure of the gas and the pressure of the DUT sealed in the closed chamber
Differential pressure detection that detects the differential pressure of
A sensing unit, and a compensating means for compensating for pressure fluctuations in the closed chamber,
In the closed chamber, a large pressure within the pressure limit of the differential pressure detector
Absolute pressure measuring device in which gas higher than atmospheric pressure is sealed .
せることが可能である体積可変部材である請求項２に記
載の絶対圧測定装置。3. The compensating means changes the volume of the closed chamber.
3. The variable volume member according to claim 2, wherein
Mounting the absolute pressure measuring device.
を検知して、その温度に応じた出力を行う温度検知部
と、該温度検知部により検知された温度変化に伴う圧力
変化分を補償する温度補償手段とからなる請求項２に記
載の絶対圧測定装置。 4. The method according to claim 1, wherein the compensating means is configured to measure a temperature of the gas in the closed chamber.
Temperature detector that detects the temperature and outputs according to the temperature
And the pressure associated with the temperature change detected by the temperature detection unit.
3. A temperature compensation means for compensating for the variation.
Mounting the absolute pressure measuring device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29810295A JP2905131B2 (en) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | Absolute pressure measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29810295A JP2905131B2 (en) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | Absolute pressure measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09138170A JPH09138170A (en) | 1997-05-27 |
| JP2905131B2 true JP2905131B2 (en) | 1999-06-14 |
Family
ID=17855189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29810295A Expired - Lifetime JP2905131B2 (en) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | Absolute pressure measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2905131B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6909975B2 (en) * | 2003-11-24 | 2005-06-21 | Mks Instruments, Inc. | Integrated absolute and differential pressure transducer |
| US7252009B2 (en) * | 2004-08-27 | 2007-08-07 | Ashcroft-Nagano, Inc. | System and method for pressure measurement |
| JP6127009B2 (en) | 2014-03-26 | 2017-05-10 | 長野計器株式会社 | Physical quantity measuring device |
-
1995
- 1995-11-16 JP JP29810295A patent/JP2905131B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09138170A (en) | 1997-05-27 |
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