JP2897506B2 - 原子状酸素ビーム発生装置 - Google Patents
原子状酸素ビーム発生装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、低地球周回軌道上の
宇宙環境において、宇宙飛行体の表面暴露部材が受ける
原子状酸素による衝撃をシミュレートするのに利用され
る原子状酸素ビームの発生装置に関するものである。
宇宙環境において、宇宙飛行体の表面暴露部材が受ける
原子状酸素による衝撃をシミュレートするのに利用され
る原子状酸素ビームの発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】スペースシャトルや宇宙ステーションが
飛行する高度（低地球周回軌道）では、宇宙線や紫外線
の影響で酸素分子が解離され、わずかに存在する大気の
組成は原子状の酸素がその主成分を占めていることが知
られている。１９８１年から始まったスペースシャトル
の飛行実験により低地球周回軌道における宇宙飛行体の
表面暴露部材の劣化現象が顕著に認識されるようになっ
た。
飛行する高度（低地球周回軌道）では、宇宙線や紫外線
の影響で酸素分子が解離され、わずかに存在する大気の
組成は原子状の酸素がその主成分を占めていることが知
られている。１９８１年から始まったスペースシャトル
の飛行実験により低地球周回軌道における宇宙飛行体の
表面暴露部材の劣化現象が顕著に認識されるようになっ
た。
【０００３】宇宙飛行体の表面は高真空，紫外線，放射
線等による厳しい複合環境に曝されるが、軌道速度約８
ｋｍ／ｓに対応するエネルギー（約５ｅｖ）で表面に入
射してくる化学反応性の高い原子状酸素の衝撃による表
面反応が表面部材劣化の主要原因と考えられている。ス
ペースシャトルの飛行高度での速度ベクトルに垂直な面
での原子状酸素の流束は約１０19個／ｍ２・ｓに達して
いる。
線等による厳しい複合環境に曝されるが、軌道速度約８
ｋｍ／ｓに対応するエネルギー（約５ｅｖ）で表面に入
射してくる化学反応性の高い原子状酸素の衝撃による表
面反応が表面部材劣化の主要原因と考えられている。ス
ペースシャトルの飛行高度での速度ベクトルに垂直な面
での原子状酸素の流束は約１０19個／ｍ２・ｓに達して
いる。
【０００４】このような背景から宇宙飛行体の表面部材
劣化現象の解析を行なうため、地上でこのような環境を
模擬するための原子状酸素ビーム発生装置の開発が熱望
されており、多くの機関で開発が進められている。
劣化現象の解析を行なうため、地上でこのような環境を
模擬するための原子状酸素ビーム発生装置の開発が熱望
されており、多くの機関で開発が進められている。
【０００５】この原子状酸素ビーム発生装置に要求され
る基本事項は、ビームの成分が中性の原子状酸素である
こと、運度エネルギーが軌道速度約８ｋｍ／ｓに対応す
る５ｅＶであること、流束が低地球周回軌道上の値１０
17〜１０19個／ｍ２・ｓ程度以上であることを満足する
ことである。
る基本事項は、ビームの成分が中性の原子状酸素である
こと、運度エネルギーが軌道速度約８ｋｍ／ｓに対応す
る５ｅＶであること、流束が低地球周回軌道上の値１０
17〜１０19個／ｍ２・ｓ程度以上であることを満足する
ことである。
【０００６】これまで開発されてきた原子状酸素ビーム
発生装置としては、超音速ノズル方式，イオンビーム方
式、さらにはＣＯ２レーザ推進方式などがある。
発生装置としては、超音速ノズル方式，イオンビーム方
式、さらにはＣＯ２レーザ推進方式などがある。
【０００７】これらのうち、図２は、超音速ノズル方式
の原子状酸素ビーム発生装置の一例を示すものであっ
て、図に示す装置は、真空槽２１の一方の側壁に、アー
ク放電ユニット２２を備えたチャンバ２３を設けてお
り、該チャンバ２３内には酸素供給管２４を介して酸素
ガスが供給されるようになっている。
の原子状酸素ビーム発生装置の一例を示すものであっ
て、図に示す装置は、真空槽２１の一方の側壁に、アー
ク放電ユニット２２を備えたチャンバ２３を設けてお
り、該チャンバ２３内には酸素供給管２４を介して酸素
ガスが供給されるようになっている。
【０００８】前記アーク放電ユニット２２の電極は、そ
れぞれアーク放電用電源２５に接続され、該電極の周囲
には供給管２６を介してアルゴンガスが供給されるよう
になっており、酸素供給管２４からチャンバ２３に送給
された酸素ガスは、アーク放電ユニット２２における放
電によって解離され、アルゴンなどのキャリアガスによ
ってエネルギーを与えられた原子状酸素は前記チャンバ
２３のノズル２３ａから噴出して真空槽２１内のサンプ
ルホルダ２７に固定された試料２８の表面に照射され
る。
れぞれアーク放電用電源２５に接続され、該電極の周囲
には供給管２６を介してアルゴンガスが供給されるよう
になっており、酸素供給管２４からチャンバ２３に送給
された酸素ガスは、アーク放電ユニット２２における放
電によって解離され、アルゴンなどのキャリアガスによ
ってエネルギーを与えられた原子状酸素は前記チャンバ
２３のノズル２３ａから噴出して真空槽２１内のサンプ
ルホルダ２７に固定された試料２８の表面に照射され
る。
【０００９】図３は、イオンビーム方式の原子状酸素ビ
ーム発生装置の一例を示すものであって、図に示す装置
は、逆Ｌ字状に屈曲した真空槽２１の一端側にイオンガ
ン２９、当該真空槽２１の屈曲部分に質量分離マグネッ
ト３０をそれぞれ設けると共に、前記真空槽２１内部の
中心軸に沿って集束電極３１，減速電極３２，中性化器
３３，偏向電極３４およびサンプルホルダ２７をそれぞ
れ配設したものであって、酸素供給管２４を介して供給
された酸素ガスをイオンガン２９によって酸素イオンと
なし、静電的に加速したのち中性化して原子状酸素ビー
ムとして前記サンプルホルダ２７に固定した試料２８に
照射するようになっている。
ーム発生装置の一例を示すものであって、図に示す装置
は、逆Ｌ字状に屈曲した真空槽２１の一端側にイオンガ
ン２９、当該真空槽２１の屈曲部分に質量分離マグネッ
ト３０をそれぞれ設けると共に、前記真空槽２１内部の
中心軸に沿って集束電極３１，減速電極３２，中性化器
３３，偏向電極３４およびサンプルホルダ２７をそれぞ
れ配設したものであって、酸素供給管２４を介して供給
された酸素ガスをイオンガン２９によって酸素イオンと
なし、静電的に加速したのち中性化して原子状酸素ビー
ムとして前記サンプルホルダ２７に固定した試料２８に
照射するようになっている。
【００１０】また、図４に示すＣＯ２レーザ推進方式の
原子状酸素ビーム発生装置は、真空槽２１内に設置され
たノズル３５に酸素ガスを供給する高速分子線バルブ３
６と、前記ノズル３５内の酸素ガスにＣＯ２レーザを照
射するＣＯ２レーザ発振器３７を備えており、酸素供給
管２４を経て高速分子線バルブ３６によりノズル３５内
に供給された酸素ガスにＣＯ２レーザを照射して酸素ガ
スをブレークダウン（絶縁破壊）させ、そのときのブラ
ストウエーブ（爆発波）で酸素分子を原子状に解離させ
るとともに加速することによって、真空槽２１内のサン
プルホルダ２７に固定した試料２８に照射するようにな
っている。
原子状酸素ビーム発生装置は、真空槽２１内に設置され
たノズル３５に酸素ガスを供給する高速分子線バルブ３
６と、前記ノズル３５内の酸素ガスにＣＯ２レーザを照
射するＣＯ２レーザ発振器３７を備えており、酸素供給
管２４を経て高速分子線バルブ３６によりノズル３５内
に供給された酸素ガスにＣＯ２レーザを照射して酸素ガ
スをブレークダウン（絶縁破壊）させ、そのときのブラ
ストウエーブ（爆発波）で酸素分子を原子状に解離させ
るとともに加速することによって、真空槽２１内のサン
プルホルダ２７に固定した試料２８に照射するようにな
っている。
【００１１】なお、ＣＯ２レーザのパルス光は、一般に
図５に実線で示すように、高いエネルギーピークＰ１と
幅の広い低いエネルギーピークＰ２とから構成されてお
り、当該ＣＯ２レーザ推進方式の装置においては、酸素
ガスの供給圧とレーザのエネルギーピークＰ１とを調節
することにより原子状酸素ビームの流束および運度エネ
ルギーを調整するようになっている。
図５に実線で示すように、高いエネルギーピークＰ１と
幅の広い低いエネルギーピークＰ２とから構成されてお
り、当該ＣＯ２レーザ推進方式の装置においては、酸素
ガスの供給圧とレーザのエネルギーピークＰ１とを調節
することにより原子状酸素ビームの流束および運度エネ
ルギーを調整するようになっている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記超
音速ノズル方式の原子状酸素ビーム発生装置にあっては
イオン化を行なわないためビームの流束を大きく取れる
ものの原子状酸素ビームの衝突速度を実際の低地球周回
軌道上の宇宙環境と同じにするにはノズル温度を数千度
にする必要があり、またノズル前後の圧力比を１０６〜
１０７にする必要があって真空排気装置系にも非常に困
難を伴う。
音速ノズル方式の原子状酸素ビーム発生装置にあっては
イオン化を行なわないためビームの流束を大きく取れる
ものの原子状酸素ビームの衝突速度を実際の低地球周回
軌道上の宇宙環境と同じにするにはノズル温度を数千度
にする必要があり、またノズル前後の圧力比を１０６〜
１０７にする必要があって真空排気装置系にも非常に困
難を伴う。
【００１３】また、イオンビーム方式にあっては、酸素
イオンの中性化が困難で空間電荷によりビームが発散す
るために流束を低地球周回軌道上の宇宙環境と同程度に
まで大きくすることが困難である。
イオンの中性化が困難で空間電荷によりビームが発散す
るために流束を低地球周回軌道上の宇宙環境と同程度に
まで大きくすることが困難である。
【００１４】さらに、ＣＯ２レーザ推進方式の装置にあ
ってはＣＯ２レーザ発振器は非常に大型になりレーザの
容量も大きくする必要がある。
ってはＣＯ２レーザ発振器は非常に大型になりレーザの
容量も大きくする必要がある。
【００１５】そして、これらの各装置を現有の装置に取
り付けて低地球周回軌道の環境をシミュレートした試験
を行なうには大規模な設計変更とスペースが必要という
問題点があり、これら問題点の解決がこのような原子状
酸素ビーム発生装置における課題となっていた。
り付けて低地球周回軌道の環境をシミュレートした試験
を行なうには大規模な設計変更とスペースが必要という
問題点があり、これら問題点の解決がこのような原子状
酸素ビーム発生装置における課題となっていた。
【００１６】
【発明の目的】この発明は、従来の原子状酸素ビーム発
生装置における上記課題に着目してなされたものであっ
て、酸素ガスを効率よく原子状酸素に解離することがで
きると共に、原子状酸素ビームの流束や運動エネルギー
の調整範囲が広くて種々の条件でのシミュレートが可能
で、しかも比較的安価でコンパクトな原子状酸素ビーム
発生装置を提供することを目的としている。
生装置における上記課題に着目してなされたものであっ
て、酸素ガスを効率よく原子状酸素に解離することがで
きると共に、原子状酸素ビームの流束や運動エネルギー
の調整範囲が広くて種々の条件でのシミュレートが可能
で、しかも比較的安価でコンパクトな原子状酸素ビーム
発生装置を提供することを目的としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる原子状
酸素ビーム発生装置は、真空槽内に設置されたノズルの
端部に酸素ガスを供給する高速分子線バルブと、レーザ
パルス光を発するＹＡＧレーザ発振器と、前記ＹＡＧレ
ーザ発振器より発せられたレーザパルス光を前記ノズル
の端部に集光させて該端部に供給された酸素ガスに照射
する集光装置と、同じく前記ノズルの端部に供給された
酸素ガスにパルス光を照射するＸｅアークフラッシュラ
ンプを具備してなる構成としたものであって、原子状酸
素ビーム発生装置における上記構成を前述した課題を解
決するための手段としたことを特徴としている。
酸素ビーム発生装置は、真空槽内に設置されたノズルの
端部に酸素ガスを供給する高速分子線バルブと、レーザ
パルス光を発するＹＡＧレーザ発振器と、前記ＹＡＧレ
ーザ発振器より発せられたレーザパルス光を前記ノズル
の端部に集光させて該端部に供給された酸素ガスに照射
する集光装置と、同じく前記ノズルの端部に供給された
酸素ガスにパルス光を照射するＸｅアークフラッシュラ
ンプを具備してなる構成としたものであって、原子状酸
素ビーム発生装置における上記構成を前述した課題を解
決するための手段としたことを特徴としている。
【００１８】
【作用】この発明に係わる原子状酸素ビーム発生装置に
おける原子状酸素ビーム発生のメカニズムについては、
ＣＯ２レーザ推進方式と基本的に同じであるが、この発
明においては酸素ガスの解離およひ解離した原子状酸素
の加速のためのエネルギーをＹＡＧレーザとＸｅアーク
フラッシュランプのパルス光との両者で供給するように
なっており図５に示したＣＯ２レーザのエネルギーピー
クＰ１に相当するエネルギーをＹＡＧレーザによって、
またＣＯ２レーザのエネルギーピークＰ２に相当するエ
ネルギーをＸｅアークフラッシュランプのパルス光によ
って、それぞれ独立して別系統より供給するようにして
いる。
おける原子状酸素ビーム発生のメカニズムについては、
ＣＯ２レーザ推進方式と基本的に同じであるが、この発
明においては酸素ガスの解離およひ解離した原子状酸素
の加速のためのエネルギーをＹＡＧレーザとＸｅアーク
フラッシュランプのパルス光との両者で供給するように
なっており図５に示したＣＯ２レーザのエネルギーピー
クＰ１に相当するエネルギーをＹＡＧレーザによって、
またＣＯ２レーザのエネルギーピークＰ２に相当するエ
ネルギーをＸｅアークフラッシュランプのパルス光によ
って、それぞれ独立して別系統より供給するようにして
いる。
【００１９】したがって、ＹＡＧレーザとＸｅアークフ
ラッシュランプのパルス光のそれぞれのエネルギーピー
ク（図５におけるＰ１およびＰ２に相当）のタイミング
や強度比の調整が自由であり、これらを酸素ガス供給の
圧力やタイミングに合わせて調節することによって酸素
ガスの解離効率が向上するとともに原子状酸素の流束お
よび運動エネルギーの調整が任意となる。また、ＹＡＧ
レーザ発振器およびＸｅアークフラッシュランプは、基
本的に小型で安価なものであるので大型化やコストアッ
プ要因となることはない。
ラッシュランプのパルス光のそれぞれのエネルギーピー
ク（図５におけるＰ１およびＰ２に相当）のタイミング
や強度比の調整が自由であり、これらを酸素ガス供給の
圧力やタイミングに合わせて調節することによって酸素
ガスの解離効率が向上するとともに原子状酸素の流束お
よび運動エネルギーの調整が任意となる。また、ＹＡＧ
レーザ発振器およびＸｅアークフラッシュランプは、基
本的に小型で安価なものであるので大型化やコストアッ
プ要因となることはない。
【００２０】
【実施例】図１は、この発明に係わる原子状酸素ビーム
発生装置の一実施例を示すものであって、図に示す原子
状酸素ビーム発生装置１は、真空槽２の図中左端側内部
にノズル３が設置してあり、当該ノズル３の図中左側端
部３ａには酸素導入管４を介して高速分子線バルブ５が
接続されていて、該高速分子線バルブ５からの酸素ガス
が前記ノズル３の端部３ａに供給されるようになってい
る。
発生装置の一実施例を示すものであって、図に示す原子
状酸素ビーム発生装置１は、真空槽２の図中左端側内部
にノズル３が設置してあり、当該ノズル３の図中左側端
部３ａには酸素導入管４を介して高速分子線バルブ５が
接続されていて、該高速分子線バルブ５からの酸素ガス
が前記ノズル３の端部３ａに供給されるようになってい
る。
【００２１】前記真空槽２の外部左方には、ＹＡＧレー
ザ発振器６が設けてあると共に、該ＹＡＧレーザ発振器
６と前記真空槽２との中間位置には集光装置である赤外
線用顕微鏡レンズ７が配置してあって、前記ＹＡＧレー
ザ発振器６から発せられたレーザパルス光を絞って、前
記ノズル３の端部３ａに集光させ、当該レーザパルス光
を前記ノズル端部３ａに供給されて来る酸素ガスに照射
するようになっている。
ザ発振器６が設けてあると共に、該ＹＡＧレーザ発振器
６と前記真空槽２との中間位置には集光装置である赤外
線用顕微鏡レンズ７が配置してあって、前記ＹＡＧレー
ザ発振器６から発せられたレーザパルス光を絞って、前
記ノズル３の端部３ａに集光させ、当該レーザパルス光
を前記ノズル端部３ａに供給されて来る酸素ガスに照射
するようになっている。
【００２２】また、前記真空槽２の図中右端側上部に
は、窓２ａが設けてあり、真空槽２の外部右方に配設さ
れたＸｅアークフラッシュランプ８から発せられたパル
ス光が、前記ノズル３の図中右方向に円錐状に開口する
ノズル口３ｂを通って当該ノズル３の端部３ａに斜め上
方から入射し、ノズル端部３ａに供給されて来る酸素ガ
スに照射するようになっている。
は、窓２ａが設けてあり、真空槽２の外部右方に配設さ
れたＸｅアークフラッシュランプ８から発せられたパル
ス光が、前記ノズル３の図中右方向に円錐状に開口する
ノズル口３ｂを通って当該ノズル３の端部３ａに斜め上
方から入射し、ノズル端部３ａに供給されて来る酸素ガ
スに照射するようになっている。
【００２３】さらに、真空槽２の内部には、前記ＹＡＧ
レーザ発振器６，赤外線用顕微鏡レンズ７およびノズル
３を結ぶ光軸上に、試料９を固定するためのサンプルホ
ルダ１０が設置してある。
レーザ発振器６，赤外線用顕微鏡レンズ７およびノズル
３を結ぶ光軸上に、試料９を固定するためのサンプルホ
ルダ１０が設置してある。
【００２４】上記構成を有する原子状酸素ビーム発生装
置１を起動させると、ＹＡＧレーザ発振器６より発せら
れたレーザパルス光は、矢印Ａで示すように赤外線用顕
微鏡レンズ７に入射し、数μｍから数１０μｍの径に絞
られてノズル３の端部３ａに集光される。
置１を起動させると、ＹＡＧレーザ発振器６より発せら
れたレーザパルス光は、矢印Ａで示すように赤外線用顕
微鏡レンズ７に入射し、数μｍから数１０μｍの径に絞
られてノズル３の端部３ａに集光される。
【００２５】一方、Ｘｅアークフラッシュランプ８から
発せられたパルス光は、矢印Ｂに示すように、真空槽２
の窓２ａを通過して斜め上方から前記ノズル３の端部３
ａに入射する。
発せられたパルス光は、矢印Ｂに示すように、真空槽２
の窓２ａを通過して斜め上方から前記ノズル３の端部３
ａに入射する。
【００２６】この状態で、酸素導入管４を経て高速分子
線バルブ５から前記ノズル３の端部３ａに供給された酸
素ガスは、ＹＡＧレーザ発振器６からのレーザパルス光
とＸｅアークフラッシュランプ８からのパルス光との両
者のエネルギーによってブレークダウンされ、原子状酸
素に解離すると共に加速され、原子状酸素ビームとなっ
て、矢印Ｃに示す方向に試料ホルダ１０に固定された解
析用試料９に照射される。
線バルブ５から前記ノズル３の端部３ａに供給された酸
素ガスは、ＹＡＧレーザ発振器６からのレーザパルス光
とＸｅアークフラッシュランプ８からのパルス光との両
者のエネルギーによってブレークダウンされ、原子状酸
素に解離すると共に加速され、原子状酸素ビームとなっ
て、矢印Ｃに示す方向に試料ホルダ１０に固定された解
析用試料９に照射される。
【００２７】このとき、ＹＡＧレーザ発振器６およびＸ
ｅアークフラッシュランプ８は、それぞれ個別に制御す
ることができるようになっており、ＹＡＧレーザパルス
光とＸｅアークパルス光のエネルギーピークのタイミン
グや強度比を酸素ガス供給の圧力やタイミングに合わせ
て調整することによって、シミュレートしようとする条
件に合致する流束と運動エネルギーとを任意に選択する
ことができる。
ｅアークフラッシュランプ８は、それぞれ個別に制御す
ることができるようになっており、ＹＡＧレーザパルス
光とＸｅアークパルス光のエネルギーピークのタイミン
グや強度比を酸素ガス供給の圧力やタイミングに合わせ
て調整することによって、シミュレートしようとする条
件に合致する流束と運動エネルギーとを任意に選択する
ことができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係わる
原子状酸素ビーム発生装置は、酸素ガスを供給する高速
分子線バルブや集光装置と共にＹＡＧレーザ発振器およ
びＸｅアークフラッシュランプを備えており、酸素ガス
を解離して原子状酸素となし、これを加速して原子状酸
素ビームとするためのエネルギーをＹＡＧレーザパルス
光およびＸｅアークパルス光の両者によって付与するよ
うにしているので、高速分子線バルブより供給された酸
素ガスを効率よく原子状酸素に解離することができると
共に、原子状酸素ビームの流束や運動エネルギーの柔軟
な調整が可能で、希望するシミュレート条件に合致した
流束，運動エネルギーを有する原子状酸素ビームを容易
に得ることができるといる優れた効果をもたらすもので
ある。また、本発明に係わる原子状酸素ビーム発生装置
は、小型で安価なＹＡＧレーザ発振器とＸｅアークフラ
ッシュランプを用いているため、比較的安価でコンパク
トに他の試験機への取付けが可能となる。
原子状酸素ビーム発生装置は、酸素ガスを供給する高速
分子線バルブや集光装置と共にＹＡＧレーザ発振器およ
びＸｅアークフラッシュランプを備えており、酸素ガス
を解離して原子状酸素となし、これを加速して原子状酸
素ビームとするためのエネルギーをＹＡＧレーザパルス
光およびＸｅアークパルス光の両者によって付与するよ
うにしているので、高速分子線バルブより供給された酸
素ガスを効率よく原子状酸素に解離することができると
共に、原子状酸素ビームの流束や運動エネルギーの柔軟
な調整が可能で、希望するシミュレート条件に合致した
流束，運動エネルギーを有する原子状酸素ビームを容易
に得ることができるといる優れた効果をもたらすもので
ある。また、本発明に係わる原子状酸素ビーム発生装置
は、小型で安価なＹＡＧレーザ発振器とＸｅアークフラ
ッシュランプを用いているため、比較的安価でコンパク
トに他の試験機への取付けが可能となる。
【図１】この発明に係わる原子状酸素ビーム発生装置の
一実施例の構造を示す概略図である。
一実施例の構造を示す概略図である。
【図２】従来の原子状酸素ビーム発生装置のうちの超音
速ノズル方式の装置を示す概略図である。
速ノズル方式の装置を示す概略図である。
【図３】従来の原子状酸素ビーム発生装置のうちのイオ
ンビーム方式の装置を示す概略図である。
ンビーム方式の装置を示す概略図である。
【図４】従来の原子状酸素ビーム発生装置のうちのＣＯ
２レーザ推進方式の装置を示す概略図である。
２レーザ推進方式の装置を示す概略図である。
【図５】ＣＯ２レーザパルスのエネルギー分布を示すグ
ラフである。
ラフである。
１ 原子状酸素ビーム発生装置 ２ 真空槽 ３ ノズル ３ａ 端部 ５ 高速分子線バルブ ６ ＹＡＧレーザ発振器 ７ 赤外線用顕微鏡レンズ（集光装置） ８ Ｘｅアークフラッシュランプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−2586（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−72100（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−122000（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−119998（ＪＰ，Ａ) 特許2861796（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H05H 3/00 - 3/06 B01J 19/12 B64G 1/00 - 9/00 G21K 1/00 - 7/00 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 真空槽内に設置されたノズルの端部に酸
素ガスを供給する高速分子線バルブと、 レーザパルス光を発するＹＡＧレーザ発振器と、 前記ＹＡＧレーザ発振器より発せられたレーザパルス光
を前記ノズルの端部に集光させて該端部に供給された酸
素ガスに照射する集光装置と、 同じく前記ノズルの端部に供給された酸素ガスにパルス
光を照射するＸｅアークフラッシュランプを具備してな
ることを特徴とする原子状酸素ビーム発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP320592A JP2897506B2 (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 原子状酸素ビーム発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP320592A JP2897506B2 (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 原子状酸素ビーム発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05190295A JPH05190295A (ja) | 1993-07-30 |
| JP2897506B2 true JP2897506B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=11550940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP320592A Expired - Fee Related JP2897506B2 (ja) | 1992-01-10 | 1992-01-10 | 原子状酸素ビーム発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2897506B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102085920B (zh) * | 2009-12-04 | 2013-06-19 | 北京卫星环境工程研究所 | 低地轨道空间原子氧、紫外、电子综合环境地面模拟系统 |
-
1992
- 1992-01-10 JP JP320592A patent/JP2897506B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102085920B (zh) * | 2009-12-04 | 2013-06-19 | 北京卫星环境工程研究所 | 低地轨道空间原子氧、紫外、电子综合环境地面模拟系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05190295A (ja) | 1993-07-30 |
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