JP2876915B2 - Laser marking device - Google Patents

Laser marking device

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を用いて被加
工物のマーキングを行うためのレーザマーキング装置に
係わり、詳細にはマーキングを行う位置がずれたときの
補正機構に特徴を持ったレーザマーキング装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser marking apparatus for marking a workpiece by using a laser beam, and more particularly to a correction mechanism when a marking position is shifted. The present invention relates to a laser marking device.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ光を用いて被加工物のマーキング
を行うレーザマーキング装置では、マーキングの位置を
正確に定めるためにモニタ光学系を使用して被加工物を
CRTに表示し、レーザ光の照射される位置にクロスラ
イン等の位置決め用のマークを表示するようにしている
ことが多い。
2. Description of the Related Art In a laser marking apparatus for marking a workpiece by using a laser beam, the workpiece is displayed on a CRT by using a monitor optical system in order to accurately determine the position of the marking, and the laser beam is applied. In many cases, a mark for positioning such as a cross line is displayed at a position to be irradiated.

【0003】モニタ光学系には、通常の場合、CCDカ
メラが使用されている。そこで、従来では被加工物とC
CDカメラの間の光路上に例えばクロスラインの入った
レチクルを配置し、このレチクルとCCD素子の双方の
位置で被加工物を結像させるようにしていた。そして、
予めクロスラインの位置をレーザ光の照射位置に調整し
ておき、この状態の画像をディスプレイ上に表示するよ
うにしていた。レーザマーキング装置の作業者は、被加
工物の照射位置がクロスラインの位置からずれたときに
は、これをディスプレイ上で確認し、このディスプレイ
上でこれらの位置が一致するようにレーザ光の照射位置
を調整していた。
[0003] In the monitor optical system, a CCD camera is usually used. Therefore, conventionally, the workpiece and C
A reticle having a cross line, for example, is arranged on the optical path between the CD cameras, and an image of a workpiece is formed at both positions of the reticle and the CCD element. And
The position of the cross line was previously adjusted to the irradiation position of the laser beam, and an image in this state was displayed on a display. When the irradiation position of the workpiece deviates from the position of the cross line, the operator of the laser marking device checks the position on the display, and adjusts the irradiation position of the laser beam so that these positions match on the display. I was adjusting.

【0004】[0004]

【発明の解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のレーザマーキング装置では、レチクルとCC
D素子の双方の位置で被加工物を結像させるようにして
いたため、このようなモニタ系の機構が複雑になり、レ
ーザマーキング装置自体の小型化が困難であった。ま
た、被加工物のマーキングを行うべき位置がクロスライ
ンの位置からずれて移動しなければならないときには、
スキャニング光学系の走査位置を制御するためのマーキ
ングデータごとにこの移動量を加算する必要があり、そ
の手順が煩雑で時間を要するといった問題があった。
However, in such a conventional laser marking apparatus, a reticle and a CC
Since an image of the workpiece is formed at both positions of the D element, the mechanism of such a monitor system becomes complicated, and it is difficult to reduce the size of the laser marking device itself. Also, when the position at which the workpiece should be marked must be shifted from the position of the cross line,
It is necessary to add this movement amount for each marking data for controlling the scanning position of the scanning optical system, and there is a problem that the procedure is complicated and takes time.

【0005】そこで本発明の目的は、被加工物上におけ
るマーキングを行う位置がずれたような場合に、簡単な
操作で位置ずれを補正することのできるレーザマーキン
グ装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a laser marking device capable of correcting a position shift by a simple operation when a position on a workpiece to be marked is shifted.

【0006】本発明の他の目的は、装置の小型化を達成
することのできるレーザマーキング装置を提供すること
にある。
[0006] Another object of the present invention is to provide a laser marking device capable of achieving downsizing of the device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、レーザ発振器と、このレーザ発振器から出力される
レーザ光を被加工物上で2次元的に走査させるスキャニ
ング光学系と、このスキャニング光学系を通して被加工
物を撮影するカメラと、このカメラの撮影した画像を表
示するディスプレイと、被加工物に対するレーザ光の照
射位置を示すマークをこのディスプレイ上に電子的に発
生させるマーク発生手段と、ディスプレイ上でこのマー
クに対して被加工物におけるレーザ光の照射されるべき
位置を相対的に移動させる移動操作手段と、被加工物上
に定めた複数の基準点に対してこの移動操作手段によっ
てマークの位置を相対的に一致させたとき、スキャニン
グ光学系の走査位置を制御するためのマーキングデータ
をこれに伴って補正するマーキングデータ補正手段とを
レーザマーキング装置に具備させる。
According to the first aspect of the present invention, there is provided a laser oscillator, a scanning optical system for two-dimensionally scanning a laser beam output from the laser oscillator on a workpiece, and the scanning optical system. A camera that captures an image of the workpiece through the system, a display that displays an image captured by the camera, and a mark generation unit that electronically generates a mark indicating an irradiation position of the laser beam on the workpiece on the display. A moving operation means for relatively moving a position to be irradiated with laser light on the workpiece with respect to the mark on the display; and a moving operation means for a plurality of reference points defined on the workpiece. When the mark positions are relatively matched, the marking data for controlling the scanning position of the scanning optical system is corrected accordingly. A marking data correction means is provided in the laser marking device that.

【0008】すなわち、請求項1記載の発明では、スキ
ャニング光学系を通して被加工物を撮影するカメラを用
意し、このカメラの撮影した被加工物の映像を表示する
ディスプレイ上に、電子的にクロスライン等のマークを
発生させる。また、ディスプレイ上における被加工物の
映像を例えばキーボードを打鍵することによってクロス
ライン等のマークに対して相対的に移動させることがで
きるようにしておき、被加工物上の複数の基準点につい
てそれぞれディスプレイ上でマークと一致させたら、こ
れらの相対的な位置関係に関するデータを用いて、被加
工物上の任意の点でマークとマーキングの行われる点が
一致するようにマーキングデータの補正が行われる。
That is, according to the first aspect of the present invention, a camera for photographing a workpiece through a scanning optical system is prepared, and a cross-line is electronically displayed on a display for displaying an image of the workpiece photographed by the camera. And so on. Also, the image of the workpiece on the display can be moved relatively to a mark such as a cross line by, for example, tapping a keyboard, and a plurality of reference points on the workpiece are respectively set. When the mark is matched with the mark on the display, the marking data is corrected using the data on the relative positional relationship so that the mark and the point to be marked at any point on the workpiece match. .

【0009】また、本発明ではクロスライン等のマーク
を電子的にディスプレイ上に発生させるので、モニタの
ための機構を単純化することもできる。
Further, in the present invention, since a mark such as a cross line is generated electronically on the display, the mechanism for monitoring can be simplified.

【0010】[0010]

【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to embodiments.

【0011】図1は、本発明の一実施例におけるレーザ
マーキング装置の構成の概要を表わしたものである。こ
のレーザマーキング装置は、被加工物11を撮影するた
めのCCDカメラ12を備えている。CCDカメラ12
は、fθレンズ13、第1のスキャナミラー14、第2
のスキャナミラー15およびダイクロイックミラー16
を通して被加工物11の画像を受光し、CRT18上に
モニタ画像を表示するようになっている。CRT18に
はディジタル電子ライン発生装置19からクロスライン
信号21も供給されるようになっており、被加工物11
の画像にクロスラインが重ねて表示されるようになって
いる。
FIG. 1 shows an outline of the configuration of a laser marking device according to an embodiment of the present invention. The laser marking device includes a CCD camera 12 for photographing a workpiece 11. CCD camera 12
Is the fθ lens 13, the first scanner mirror 14, the second
Scanner mirror 15 and dichroic mirror 16
, An image of the workpiece 11 is received, and a monitor image is displayed on the CRT 18. The CRT 18 is also supplied with a cross line signal 21 from a digital electronic line generator 19, and
The cross line is superimposed on the image shown in FIG.

【0012】ディジタル電子ライン発生装置19からは
クロスラインの位置を表わした位置データ22も出力さ
れるようになっている。この位置データ22は、レーザ
マーキング装置を制御するためのコンピュータ23に入
力される。コンピュータ23にはマーキングデータを補
正するためのキーボード24が付属している。コンピュ
ータ23はレーザ発振器25から出力されるレーザ光2
6の走査を制御するためのスキャナドライバ27に接続
されている。スキャナドライバ27は第1および第2の
ガルバノメータ型オプティカルスキャナ28、29を接
続している。ここで、第1のガルバノメータ型オプティ
カルスキャナ28は、第1のスキャナミラー14に対し
て特定方向(主走査方向あるいは副走査方向)の走査を
制御するようになっており、第2のガルバノメータ型オ
プティカルスキャナ29は、第2のスキャナミラー15
に対してこれと直交する特定方向(副走査方向あるいは
主走査方向)の走査を制御するようになっている。
The digital electronic line generator 19 also outputs position data 22 representing the position of the cross line. The position data 22 is input to a computer 23 for controlling the laser marking device. The computer 23 is provided with a keyboard 24 for correcting the marking data. The computer 23 outputs the laser light 2 output from the laser oscillator 25.
6 is connected to a scanner driver 27 for controlling scanning. The scanner driver 27 connects the first and second galvanometer-type optical scanners 28 and 29. Here, the first galvanometer-type optical scanner 28 controls the scanning in a specific direction (main scanning direction or sub-scanning direction) with respect to the first scanner mirror 14, and the second galvanometer-type optical scanner 28 The scanner 29 is connected to the second scanner mirror 15.
In contrast, scanning in a specific direction (sub-scanning direction or main scanning direction) orthogonal to this is controlled.

【0013】また、CRT18上で被加工物11の照射
位置をクロスラインの位置に一致するように被加工物1
1の移動制御を行った場合には、このときにキーボード
24から入力された被加工物11の移動量を示す移動量
信号31は、位置ずれに対する補正量としてコンピュー
タ23に入力されるようになっている。
Also, the work piece 1 is placed on the CRT 18 such that the irradiation position of the work piece 11 coincides with the position of the cross line.
When the movement control of No. 1 is performed, the movement amount signal 31 indicating the movement amount of the workpiece 11 input from the keyboard 24 at this time is input to the computer 23 as a correction amount for the positional deviation. ing.

【0014】このような構成のレーザマーキング装置で
は、被加工物11上に予め例えば3か所の基準位置をマ
ーキングしておく。そして、CRT18上に映ったこれ
ら各基準位置のそれぞれが、CRT18の中央部分に固
定して表示されるクロスラインの中心位置と正確に一致
するようにキーボード24を用いてそれぞれ調整を行っ
ておく。これは、マーキングの行われる任意の位置とク
ロスラインの位置とを常に一致させるためである。コン
ピュータ23は、キーボード24から入力された3つの
基準位置に対する補正量を基にして、被加工物11の2
次元平面に対する第1および第2のスキャナミラー1
4、15の移動制御ためのマーキングデータを補正する
ことになる。
In the laser marking apparatus having such a configuration, for example, three reference positions are marked on the workpiece 11 in advance. Then, the respective adjustments are performed using the keyboard 24 so that each of the reference positions shown on the CRT 18 exactly matches the center position of the cross line fixedly displayed at the center of the CRT 18. This is because the arbitrary position where the marking is performed always coincides with the position of the cross line. The computer 23 determines the two of the workpiece 11 based on the correction amounts for the three reference positions input from the keyboard 24.
First and second scanner mirrors 1 for a three-dimensional plane
The marking data for movement control in steps 4 and 15 is corrected.

【0015】このような補正のための作業が行われた状
態でレーザ発振器25から出力されるレーザ光26は、
ダイクロイックミラー16で反射された後、第1および
第2のガルバノメータ型オプティカルスキャナ28、2
9を通過して、これらによって2次元的に走査位置を特
定され、CRT18上でクロスラインによって指定され
た被加工物11の所定位置にマーキングが行われること
になる。このとき、第1および第2のガルバノメータ型
オプティカルスキャナ28、29は、コンピュータ23
からスキャナドライバ27に対して送られる位置制御信
号33に基づいて、マーキングの行われる位置の制御を
行う。
The laser beam 26 output from the laser oscillator 25 in a state where such a work for correction is performed is
After being reflected by the dichroic mirror 16, the first and second galvanometer optical scanners 28, 2
9, the scanning position is specified two-dimensionally by these, and marking is performed on a predetermined position of the workpiece 11 specified by the cross line on the CRT 18. At this time, the first and second galvanometer-type optical scanners 28 and 29
Is controlled based on a position control signal 33 sent to the scanner driver 27 from the printer.

【0016】このようなレーザマーキング装置で、マー
キングを行う際のレーザビームの照射について位置ずれ
が生じたものとする。この場合に作業者は前記した各基
準点のマーキングを再度利用してこれらの各位置でCR
T18上で基準点とクロスラインが一致するように被加
工物11の画像を移動させる。このときにもキーボード
24の操作が行われる。移動量は、移動量信号31とし
てコンピュータ23に送られ、マーキングデータに対す
るオフセット量として加算される。
It is assumed that such a laser marking device causes a positional shift in laser beam irradiation when performing marking. In this case, the operator re-uses the above-mentioned markings of the respective reference points to obtain the CR at these positions.
The image of the workpiece 11 is moved so that the reference point and the cross line match on T18. At this time, the operation of the keyboard 24 is also performed. The movement amount is sent to the computer 23 as a movement amount signal 31 and added as an offset amount to the marking data.

【0017】このような補正作業を、前記した複数の基
準点に対して行えば、時間の経過と共に生じたゲイン変
動やオフセット量の変動等によるマーキングの位置ずれ
に対する補正を完全に行うことができる。
If such a correction operation is performed for the above-described plurality of reference points, it is possible to completely correct the positional deviation of the marking due to the fluctuation of the gain or the offset amount caused with the lapse of time. .

【0018】以上説明したように本実施例によれば、複
数の基準点を設けてこれらに対するマーキングの位置ず
れを補正するようにしたので、例えば3点以上の基準点
を設けた場合には2次元平面上のいずれの点においても
位置ずれを完全に補正することができるという利点があ
る。
As described above, according to the present embodiment, a plurality of reference points are provided to correct the positional deviation of the marking with respect to these reference points. For example, when three or more reference points are provided, two reference points are provided. There is an advantage that the displacement can be completely corrected at any point on the dimensional plane.

【0019】なお、実施例ではキーボード24を用いて
補正のための操作を行うことにしたが、マウス等のポイ
ンティング・デバイスやその他の入力手段を用いること
は自由である。また実施例ではクロスラインを固定して
被加工物の画像をCRT18上で移動させたが、画像を
固定してクロスラインを移動させるようにしてもよいこ
とはもちろんである。
In the embodiment, the operation for correction is performed by using the keyboard 24. However, a pointing device such as a mouse or other input means can be used freely. Further, in the embodiment, the image of the workpiece is moved on the CRT 18 with the cross line fixed, but it goes without saying that the cross line may be moved with the image fixed.

【0020】[0020]

【発明の効果】このように本発明によれば、ディスプレ
イ上に電子的にマークを表示させることにしたので、ク
ロスラインの入ったレチクルが不要になり光学系が単純
化される他、ディスプレイ上に表示するマークをクロス
ライン等の各種のものに変化させることが可能になる。
また、複数の基準点に対してマークの位置を一致させる
ようにすれば被加工物上の各点の照射位置を補正するこ
とができるので、補正作業が簡単かつ容易に行われるよ
うになるという効果もある。
As described above, according to the present invention, the mark is electronically displayed on the display, so that the reticle having the cross line is not required, the optical system is simplified, and the display is displayed on the display. Can be changed to various kinds of marks such as cross lines.
Further, if the positions of the marks are made to coincide with a plurality of reference points, the irradiation position of each point on the workpiece can be corrected, so that the correction operation can be performed easily and easily. There is also an effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例におけるレーザマーキング装
置の回路構成の要部を示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a main part of a circuit configuration of a laser marking device according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 被加工物 12 CCDカメラ 14 第1のスキャナミラー 15 第2のスキャナミラー 16 ダイクロイックミラー 18 CRT 19 ディジタル電子ライン発生装置 21 クロスライン信号 22 位置データ 23 コンピュータ 24 キーボード 25 レーザ発振器 27 スキャナドライバ 28 第1のガルバノメータ型オプティカルスキャナ 29 第2のガルバノメータ型オプティカルスキャナ 31 移動量信号 33 位置制御信号 11 Workpiece 12 CCD Camera 14 First Scanner Mirror 15 Second Scanner Mirror 16 Dichroic Mirror 18 CRT 19 Digital Electronic Line Generator 21 Cross Line Signal 22 Position Data 23 Computer 24 Keyboard 25 Laser Oscillator 27 Scanner Driver 28 First Galvanometer type optical scanner 29 Second galvanometer type optical scanner 31 Movement amount signal 33 Position control signal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01S 3/101 B23K 26/00 B23K 26/02 H01S 3/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) H01S 3/101 B23K 26/00 B23K 26/02 H01S 3/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 レーザ発振器と、 このレーザ発振器から出力されるレーザ光を被加工物上
で2次元的に走査させるスキャニング光学系と、 このスキャニング光学系を通して前記被加工物を撮影す
るカメラと、 このカメラの撮影した画像を表示するディスプレイと、 前記被加工物に対するレーザ光の照射位置を示すマーク
をこのディスプレイ上に電子的に発生させるマーク発生
手段と、 前記ディスプレイ上でこのマークに対して前記被加工物
におけるレーザ光の照射されるべき位置を相対的に移動
させる移動操作手段と、 前記被加工物上に定めた複数の基準点に対してこの移動
操作手段によってマークの位置を相対的に一致させたと
き、前記スキャニング光学系の走査位置を制御するため
のマーキングデータをこれに伴って補正するマーキング
データ補正手段とを具備することを特徴とするレーザマ
ーキング装置。
1. A laser oscillator; a scanning optical system for two-dimensionally scanning a laser beam output from the laser oscillator on a workpiece; a camera for photographing the workpiece through the scanning optical system; A display for displaying an image photographed by the camera; a mark generating means for electronically generating a mark indicating the irradiation position of the laser beam on the workpiece on the display; and Moving operation means for relatively moving a position to be irradiated with laser light on the workpiece; and moving the mark relative to the plurality of reference points defined on the workpiece by the moving operation means. Markin which, when matched, corrects marking data for controlling the scanning position of the scanning optical system accordingly. A laser marking device comprising: a data correction unit.
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