JP2876831B2 - Wastewater treatment method and apparatus - Google Patents

Wastewater treatment method and apparatus

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  • Treatment Of Biological Wastes In General (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フッ素を含む有機性廃
水の処理方法及び処理装置に関する。
The present invention relates to a method and an apparatus for treating fluorine-containing organic wastewater.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、工業技術の高度化に伴って電子工
業分野では、フッ酸とメタノール等を含有する有機性廃
水が排出される。特に、半導体製造業では、工程で使用
されたメタノール、イソプロパノール等の溶剤とフッ酸
とが含まれる廃水が多量に排出される。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of electronics industry, organic wastewater containing hydrofluoric acid, methanol and the like is discharged with the advance of industrial technology. In particular, in the semiconductor manufacturing industry, a large amount of wastewater containing hydrofluoric acid and a solvent such as methanol or isopropanol used in the process is discharged.

【0003】従来、この種の廃水については、フッ酸を
凝集沈澱処理し、有機物を生物処理する方法が用いられ
ていた。フッ酸の凝集沈澱処理には、消石灰を用い、次
式によりフッ化カルシウムとして沈澱除去した。 2F- +Ca(OH)2 →CaF2
Heretofore, for this type of wastewater, a method has been used in which hydrofluoric acid is subjected to coagulation and sedimentation treatment, and organic matter is biologically treated. In the flocculation and precipitation treatment of hydrofluoric acid, slaked lime was used and calcium fluoride was precipitated and removed by the following formula. 2F - + Ca (OH) 2 → CaF 2 ↓

【0004】また、有機物の生物処理には、活性汚泥
法、接触酸化法等が用いられていた。しかしながら、こ
れらの方法ではBOD除去率をあまり高くできない。そ
こで、固定化微生物を用いることにより高速処理を可能
とすることが考えられる。ところが、カルシウム沈殿法
と固定化微生物を用いる曝気処理とを組み合わせると、
次第に固定化微生物ペレットの活性が低下し、BOD除
去率が低下してしまうという欠点があった。
Activated sludge method, catalytic oxidation method and the like have been used for biological treatment of organic substances. However, these methods cannot increase the BOD removal rate very much. Therefore, it is conceivable that high-speed processing can be performed by using immobilized microorganisms. However, combining calcium precipitation and aeration using immobilized microorganisms,
There is a drawback that the activity of the immobilized microorganism pellet gradually decreases, and the BOD removal rate decreases.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術の欠点を解消し、固定化微生物ペレットの活性を低下
させることなく、高いフッ素除去率及びBOD除去率を
達成しうるフッ素含有有機性廃水の処理方法及び処理装
置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the prior art and provides a fluorine-containing organic material capable of achieving a high fluorine removal rate and a high BOD removal rate without reducing the activity of the immobilized microorganism pellet. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for treating wastewater.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者は、カルシウム
沈澱法によりフッ素を沈殿除去した後の上澄液には、過
剰のカルシウムイオンが存在し、これが曝気槽内で炭酸
カルシウム等の難溶性カルシウム化合物を形成して固定
化微生物ペレットの細孔に付着すると、目詰まりを起こ
し、BOD除去活性が低下するが、炭酸カルシウムが付
着すると、ペレットの色調が茶色から白色に変化した
り、ペレット径が増大したりすることを見出し、ペレッ
トの色調及び/又は大きさによって炭酸カルシウムの付
着を判定し、液のpHを6〜7に調整すれば、炭酸カルシ
ウムを溶解・剥離させることができることを見出した。
本発明はかかる知見に基づいて完成したものである。
The inventor of the present invention has found that, after the fluorine is precipitated and removed by the calcium precipitation method, an excess of calcium ions is present in the supernatant, which is hardly soluble in calcium carbonate or the like in the aeration tank. When a calcium compound is formed and adheres to the pores of the immobilized microorganism pellet, clogging occurs and the BOD removal activity decreases. However, when calcium carbonate adheres, the color tone of the pellet changes from brown to white or the pellet diameter increases. Of calcium carbonate is determined based on the color tone and / or size of the pellet, and calcium carbonate can be dissolved and exfoliated by adjusting the pH of the solution to 6 to 7. Was.
The present invention has been completed based on such findings.

【0007】すなわち、本発明による廃水の処理方法
は、フッ素含有廃水に水溶性カルシウム化合物を添加
し、生成するフッ化カルシウムを凝集沈殿させ、次いで
曝気槽内で固定化微生物ペレットと接触させてBOD成
分を除去することから成る廃水の処理方法において、曝
気槽内の固定化微生物ペレットの色調及び/又は大きさ
の変化により該ペレットへの難溶性カルシウム化合物の
付着の有無を判定し、付着が起こったとき、液のpHを6
〜7に調整することを特徴とする。
That is, in the method for treating wastewater according to the present invention, a water-soluble calcium compound is added to wastewater containing fluorine to cause coagulation and sedimentation of generated calcium fluoride, and then contacted with immobilized microorganism pellets in an aeration tank to obtain a BOD. In a method for treating wastewater comprising removing components, the presence or absence of adhesion of a poorly soluble calcium compound to a pellet of immobilized microorganisms in an aeration tank is determined based on a change in color and / or size of the pellet. The pH of the solution
-7.

【0008】また、本発明の廃水の処理装置は、フッ化
カルシウムの凝集沈殿槽と固定化微生物ペレットを流動
させる曝気槽から成る廃水の処理装置において、ペレッ
トの色調及び/又は大きさを判定する画像処理装置を設
置したことを特徴とする。
Further, the wastewater treatment apparatus of the present invention is a wastewater treatment apparatus comprising a flocculation settling tank of calcium fluoride and an aeration tank through which immobilized microorganism pellets flow, and judges the color and / or size of the pellet. An image processing apparatus is provided.

【0009】本発明においては、まず、廃水中に含まれ
るフッ素をカルシウム沈澱法により除去する。水溶性カ
ルシウム化合物としては、カルシウム沈澱法に通常使用
される任意の水溶性カルシウム化合物を使用することが
でき、例えば水酸化カルシウム、塩化カルシウムなどが
挙げられる。カルシウム化合物の添加量は、廃水に含ま
れるフッ素の濃度によって異なるが、水酸化カルシウム
を用いる場合には、一般に、廃水のpHが9〜12になる
程度に水酸化カルシウムを添加する。これによりフッ化
カルシウムを凝集沈殿させる。ここで、必要に応じて、
凝集剤を添加することができる。凝集剤としては、例え
ば、硫酸アルミニウム、硫酸第二鉄、硫酸第一鉄、アル
ミン酸ナトリウム、アンモニウム明ばん等の無機凝集剤
あるいは様々な高分子物質からなる有機凝集剤を使用す
ることができる。
In the present invention, first, fluorine contained in wastewater is removed by a calcium precipitation method. As the water-soluble calcium compound, any water-soluble calcium compound usually used in a calcium precipitation method can be used, and examples thereof include calcium hydroxide and calcium chloride. The amount of the calcium compound to be added varies depending on the concentration of fluorine contained in the wastewater. However, when calcium hydroxide is used, generally, the calcium hydroxide is added so that the pH of the wastewater becomes 9 to 12. Thereby, calcium fluoride is coagulated and precipitated. Here, if necessary,
A flocculant can be added. As the coagulant, for example, an inorganic coagulant such as aluminum sulfate, ferric sulfate, ferrous sulfate, sodium aluminate, ammonium alum or the like, or an organic coagulant composed of various polymer substances can be used.

【0010】この凝集沈澱後の上澄液には、余剰のカル
シウム化合物が多量に含まれ、一般に、カルシウムイオ
ンが200〜500mg/l の濃度で存在し、生物処理の
過程で炭酸カルシウム等の難溶性カルシウム化合物を形
成する。このような上澄液をそのまま固定化微生物ペレ
ットと接触させて生物処理に付すと、固定化微生物ペレ
ットの細孔にカルシウムが付着し、目詰まりが起こり、
有機物が透過せず、BODの除去活性が低下してしま
う。
The supernatant after the coagulation and precipitation contains a large amount of excess calcium compounds, and generally contains calcium ions at a concentration of 200 to 500 mg / l. Form soluble calcium compounds. When such a supernatant is directly contacted with the immobilized microorganism pellet and subjected to biological treatment, calcium adheres to the pores of the immobilized microorganism pellet, and clogging occurs.
Organic substances do not permeate, and the activity of removing BOD decreases.

【0011】しかし、この種の付着物は、液のpHを6〜
7に調整すると、炭酸カルシウムが溶解し、ペレットか
ら剥離する。pHがこの範囲外であると、炭酸カルシウム
が溶解せず、ペレットの表面の付着物を溶解除去するこ
とができない。そこで、本発明においては、pHを調整す
るための酸の添加を自動的に行うために、付着の有無の
判定をペレットの色調及び/又は大きさによって行う。
ペレットの色調及び/又は大きさは、水中カメラを接続
した画像処理装置を用いるか、又はペレットをサンプリ
ングして画像処理することによって容易に行うことがで
きる。
[0011] However, this kind of deposit has a pH of 6 to
When adjusted to 7, the calcium carbonate dissolves and separates from the pellet. If the pH is out of this range, calcium carbonate does not dissolve, and the deposits on the surface of the pellet cannot be dissolved and removed. Therefore, in the present invention, in order to automatically add an acid for adjusting the pH, the presence or absence of adhesion is determined based on the color tone and / or size of the pellet.
The color tone and / or size of the pellet can be easily determined by using an image processing device connected to an underwater camera or by sampling the pellet and performing image processing.

【0012】使用する微生物の種類は、特に制限はな
く、処理対象の廃水の性質に応じて適宜選定することが
できる。例えば、電子工業分野で排出されるメタノー
ル、イソプロパノール等の溶剤とフッ酸とを含む廃水を
処理する場合には、主成分である低級アルコールを分解
する分子量10万以上のデヒドロゲナーゼ等の酵素を多
量に分泌する微生物、例えば、メチロモナス属菌(Meth
ylomonas sp.) 、サッカロミセス科( Saccharomycetace
ae) の菌、スポロボロミセス科 (Sporobolomycetacea
e)、クリプトコックス科( Cryptococcaceae)等の酵母が
好適であり、これらの微生物を多く含んでいる活性汚泥
が最適である。
The type of microorganism used is not particularly limited, and can be appropriately selected according to the nature of the wastewater to be treated. For example, when treating wastewater containing hydrofluoric acid and a solvent such as methanol or isopropanol discharged in the electronics industry, a large amount of an enzyme such as dehydrogenase having a molecular weight of 100,000 or more that decomposes a lower alcohol as a main component is used. Secreting microorganisms, for example, Methylomonas sp.
ylomonas sp.), Saccharomycetaceae (Saccharomycetace
ae), Sporobolomycetacea
e), yeasts such as Cryptococcaceae are suitable, and activated sludge containing a large amount of these microorganisms is most suitable.

【0013】本発明においては、上記のような微生物を
固定化材料で包括固定して用いる。固定化材料として
は、特に制限はないが、分画分子量が67,000以下
の細孔を持ち、BOD成分の分解に関与するデヒドロゲ
ナーゼ等の酵素をペレット内部に保持でき、材料からの
BOD成分の溶出がないポリウレタン、ポリビニルアル
コール、ポリエチレングリコール、ポリアクリルアミド
などを使用することが好ましい。
In the present invention, the above-mentioned microorganisms are used by being immobilized and immobilized on an immobilizing material. The immobilizing material is not particularly limited, but has pores having a molecular weight cut-off of 67,000 or less and can hold enzymes such as dehydrogenase involved in the decomposition of the BOD component inside the pellet. It is preferable to use polyurethane, polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, polyacrylamide or the like which does not elute.

【0014】上記のように、固定化微生物ペレットと接
触させて曝気処理を行った際に微生物の漏出は極めて少
ないが、漏出した微生物と残存フッ素を共沈させるた
め、次に、凝集剤を添加する。ここで、凝集剤として
は、前記のような各種の無機あるいは有機凝集剤を使用
することができる。
As described above, when aeration treatment is performed by bringing the microorganisms into contact with the immobilized microorganism pellets, the leakage of the microorganisms is extremely small. However, in order to coprecipitate the leaked microorganisms and residual fluorine, a coagulant is added. I do. Here, as the coagulant, various inorganic or organic coagulants as described above can be used.

【0015】[0015]

【実施例】図1は、本発明の装置の一実施例を示す系統
図である。図1に示した装置で廃水を処理する場合、廃
水はまず凝集沈殿槽1で水溶性カルシウム化合物、例え
ば消石灰と混合され、廃水中のフッ酸をフッ化カルシウ
ムの形で沈殿させて除去する。次に、曝気槽2で流動す
る固定化微生物ペレットと接触させてBOD成分を除去
し、さらに、凝集沈殿槽3で固定化微生物ペレットから
漏出した微生物と残存フッ酸を共沈させるため、凝集剤
を添加して処理される。
FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment of the apparatus of the present invention. When treating wastewater with the apparatus shown in FIG. 1, the wastewater is first mixed with a water-soluble calcium compound, for example, slaked lime, in the coagulation sedimentation tank 1, and hydrofluoric acid in the wastewater is precipitated and removed in the form of calcium fluoride. Next, in order to remove the BOD component by contacting the immobilized microorganism pellets flowing in the aeration tank 2 and to coprecipitate the microorganisms leaked from the immobilized microorganism pellets and the residual hydrofluoric acid in the coagulation sedimentation tank 3, a coagulant is used. Is added.

【0016】曝気槽2には、画像処理装置5に接続され
たカメラ4が設置されており、カメラ4により固定化微
生物ペレットが撮影され、画像処理装置5でペレットの
色調及び/又は大きさが解析・判定される。炭酸カルシ
ウムが固定化微生物ペレットに付着すると、ペレットが
茶色から白色に変化し、ペレット径が増大する。これに
よりペレットへの炭酸カルシウムの付着の有無を判定す
ることができる。ペレットの色調及び/又は大きさを正
確に判定するため、カメラ4は曝気槽2内で水没して配
置されるのが好ましい。そのため、カメラとしては、水
中カメラが好ましい。
A camera 4 connected to an image processing device 5 is installed in the aeration tank 2, and the immobilized microorganism pellet is photographed by the camera 4, and the color tone and / or the size of the pellet is determined by the image processing device 5. It is analyzed and determined. When calcium carbonate adheres to the immobilized microbial pellet, the pellet changes from brown to white and the pellet diameter increases. This makes it possible to determine whether calcium carbonate has adhered to the pellets. In order to accurately determine the color and / or size of the pellet, the camera 4 is preferably placed submerged in the aeration tank 2. Therefore, the camera is preferably an underwater camera.

【0017】画像処理装置5がペレットに付着したと判
定すると、オンラインで酸供給装置6を作動させ、酸を
曝気槽2に添加し、液のpHを6〜7に調整し、付着した
炭酸カルシウムを溶解剥離させる。酸供給装置として
は、酸注入ポンプなどを使用するのが好ましい。また、
酸としては、塩酸、リン酸などの無機酸が好ましい。こ
の処理により、固定化微生物ペレットの活性は向上し、
BOD成分の除去を効率よく行うことができる。
When it is determined that the image processing device 5 has adhered to the pellets, the acid supply device 6 is operated online, the acid is added to the aeration tank 2, the pH of the solution is adjusted to 6 to 7, and the adhered calcium carbonate is adjusted. Is dissolved and peeled off. As the acid supply device, an acid injection pump or the like is preferably used. Also,
As the acid, an inorganic acid such as hydrochloric acid or phosphoric acid is preferable. By this treatment, the activity of the immobilized microorganism pellet is improved,
It is possible to efficiently remove the BOD component.

【0018】実施例1 この実施例ではT社のBOD240〜310mg/lの廃
水を処理対象水として用いた。メチロモナス属菌を多く
含む活性汚泥2重量%、ポリエチレングリコールジメタ
クリレート8重量%、アクリルアミド5重量%、N,
N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミン 0.5重
量%及び過硫酸カリウム 0.25重量%を用いてゲルを作
製し、3mm角の立方体の固定化微生物ペレットを得た。
Example 1 In this example, wastewater having a BOD of 240 to 310 mg / l of Company T was used as the water to be treated. Activated sludge containing a large amount of Methylomonas bacteria 2% by weight, polyethylene glycol dimethacrylate 8% by weight, acrylamide 5% by weight, N,
A gel was prepared using 0.5% by weight of N, N ', N'-tetramethylethylenediamine and 0.25% by weight of potassium persulfate to obtain a 3 mm square cubic immobilized microorganism pellet.

【0019】廃水に消石灰を添加し、凝集沈殿を行い、
フッ素濃度8〜37mg/l、BOD240〜310mg/
lとした廃水を次に、上記の固定化微生物ペレットを1
0%投入した曝気槽2に入れ、生物処理した。画像処理
装置5としては日立製作所製HIDIC/IP−200
を用いた。ペレットの色が白くなった時に塩酸を添加す
るように制御した。曝気処理した水をさらに凝集沈殿槽
3へ送り、アルミニウム明礬を添加し、ペレットから漏
出した微生物と残存フッ素を共沈させた。得られた処理
水のBOD値を測定し、下記の表1に示す。また、処理
終了後のペレットの組成及び活性を測定し、表1に示
す。
Slaked lime is added to the wastewater to perform coagulation and sedimentation.
Fluorine concentration 8-37 mg / l, BOD 240-310 mg /
of the immobilized microorganism pellets described above,
It was placed in the aeration tank 2 charged with 0% and subjected to biological treatment. As the image processing apparatus 5, HIDIC / IP-200 manufactured by Hitachi, Ltd.
Was used. It was controlled so that hydrochloric acid was added when the color of the pellet became white. The aerated water was further sent to the coagulation sedimentation tank 3 and aluminum alum was added to coprecipitate the microorganisms leaking from the pellets and residual fluorine. The BOD value of the obtained treated water was measured and is shown in Table 1 below. In addition, the composition and activity of the pellets after the treatment were measured and are shown in Table 1.

【0020】従来法として、画像処理を行わず、塩酸添
加なしで運転した際の処理水質、ペレットの組成及び活
性を測定し、結果を表1に示す。
As a conventional method, the quality of the treated water, the composition and the activity of the pellets when operated without adding the hydrochloric acid and without performing the image processing were measured, and the results are shown in Table 1.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】本発明によれば、従来法に比べて明らかに
BOD除去率が高く、ペレットの活性が高いことが分か
る。
According to the present invention, it can be seen that the BOD removal rate is clearly higher and the pellet activity is higher than in the conventional method.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明によれば、固定化微生物ペレット
に炭酸カルシウム等の難溶性カルシウム化合物が付着し
ないため、ペレットの活性低下がなく、長時間にわたっ
て高いBOD除去率を達成することができる。
According to the present invention, since a hardly soluble calcium compound such as calcium carbonate does not adhere to the immobilized microorganism pellet, the activity of the pellet does not decrease and a high BOD removal rate can be achieved for a long time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の装置の一実施例を示す系統図である。FIG. 1 is a system diagram showing one embodiment of the apparatus of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 凝集沈殿槽 2 曝気槽 4 カメラ 5 画像処理装置 6 酸供給装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Coagulation sedimentation tank 2 Aeration tank 4 Camera 5 Image processing device 6 Acid supply device

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 フッ素含有廃水に水溶性カルシウム化合
物を添加し、生成するフッ化カルシウムを凝集沈殿さ
せ、次いで曝気槽内で固定化微生物ペレットと接触させ
てBOD成分を除去することから成る廃水の処理方法に
おいて、曝気槽内の固定化微生物ペレットの色調及び/
又は大きさの変化により該ペレットへの難溶性カルシウ
ム化合物の付着の有無を判定し、付着が起こったとき、
液のpHを6〜7に調整することを特徴とする廃水の処理
方法。
A wastewater comprising adding a water-soluble calcium compound to a fluorine-containing wastewater, coagulating and sedimenting the generated calcium fluoride, and then contacting the immobilized microorganism pellets in an aeration tank to remove BOD components. In the treatment method, the color tone of the immobilized microorganism pellets in the aeration tank and / or
Or to determine the presence or absence of adhesion of the poorly soluble calcium compound to the pellet by the change in size, when the adhesion occurs,
A method for treating wastewater, wherein the pH of the liquid is adjusted to 6 to 7.
【請求項2】 フッ化カルシウムの凝集沈殿槽と固定化
微生物ペレットを流動させる曝気槽から成る廃水の処理
装置において、ペレットの色調及び/又は大きさを判定
する画像処理装置を設置したことを特徴とする廃水の処
理装置。
2. A wastewater treatment apparatus comprising a flocculation settling tank for calcium fluoride and an aeration tank for flowing immobilized microorganism pellets, wherein an image processing apparatus for judging the color tone and / or size of the pellets is provided. Wastewater treatment equipment.
【請求項3】 画像処理装置に酸供給装置を接続した請
求項2記載の廃水の処理装置。
3. The wastewater treatment device according to claim 2, wherein an acid supply device is connected to the image processing device.
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