JP2870107B2 - Optical recording medium and recording and / or reproducing method - Google Patents
Optical recording medium and recording and / or reproducing methodInfo
- Publication number
- JP2870107B2 JP2870107B2 JP2087416A JP8741690A JP2870107B2 JP 2870107 B2 JP2870107 B2 JP 2870107B2 JP 2087416 A JP2087416 A JP 2087416A JP 8741690 A JP8741690 A JP 8741690A JP 2870107 B2 JP2870107 B2 JP 2870107B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- recording medium
- optical recording
- layer
- amorphous silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、相変化型の光記録媒体とその記録方法およ
びまたは再生方法に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a phase-change type optical recording medium and a recording method and / or a reproducing method thereof.
本発明は、基本上に、チタン層とアモルファスシリコ
ン層を積層した光記録媒体であり、レーザビームを照射
してチタンシリサイドを形成すれば、アモルファスシリ
コンよりも反射率が大きくなり、この反射率の差異を検
出することによってデータを再生することができる。The present invention is basically an optical recording medium in which a titanium layer and an amorphous silicon layer are laminated, and if titanium silicide is formed by irradiating a laser beam, the reflectance becomes higher than that of amorphous silicon. The data can be reproduced by detecting the difference.
レーザビームによる光記録媒体は、コンピュータのデ
ータや画像データのメモリとして利用されている。この
光記録媒体には、いくつかの種類があるが、相変化型の
媒体を用いて追記あるいは可逆的に記録したり再生した
りする媒体がある。例えば、第3図に示すように、アク
リル等の基本1の表面に、テルル化合物や酸化テルルや
アモルファスシリコンゲルマニウム等の感光層2を被着
し、さらに被覆層3を被着した光記録媒体が提案されて
いた(特開昭56−34154公報)。この光記録媒体は、感
光層に数ミリワットの小出力のレーザビームを照射して
相変化を生じさせ、データを記録するようにしたもの
で、半導体レーザダイオードのような小出力のレーザを
用いて記録することを特徴としている。An optical recording medium using a laser beam is used as a memory for computer data and image data. Although there are several types of optical recording media, there are media that are additionally recordable or reversibly recorded or reproduced using a phase change type medium. For example, as shown in FIG. 3, an optical recording medium in which a photosensitive layer 2 of a tellurium compound, tellurium oxide, amorphous silicon germanium, or the like is deposited on a surface of a base 1 of acrylic or the like, and a coating layer 3 is further deposited. It has been proposed (JP-A-56-34154). This optical recording medium records a data by irradiating a small-power laser beam of several milliwatts to the photosensitive layer to generate a phase change and record data. It is characterized by recording.
近年、光記録媒体を宇宙空間等の過酷な条件で用いる
こともあり、その際、データが消失しないように相変化
の温度をできるだけ高くする必要があった。In recent years, optical recording media are sometimes used under severe conditions such as outer space. At that time, it is necessary to raise the phase change temperature as high as possible so that data is not lost.
本発明の目的は、耐熱性に優れた光記録媒体を実現す
ることにある。An object of the present invention is to realize an optical recording medium having excellent heat resistance.
本発明は、前記課題を解決するために、アモルファス
シリコン(以下aSiという)とチタン(以下Tiという)
とを、レーザビーム等の輻射線をレーザビームを吸収す
るaSi層側から照射して結晶化状態のチタンシリサイド
(以下TiSi2という)を形成し、非記録部が低反射率のa
Siと、記録部が高反射率のTiSi2との反射率の差異を生
じさせることによってデータの記録およびまたは再生を
可能とするものである。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an amorphous silicon (hereinafter referred to as aSi) and a titanium (hereinafter referred to as Ti).
Is irradiated from the side of the aSi layer absorbing the laser beam, such as a laser beam, to form crystallized titanium silicide (hereinafter referred to as TiSi 2 ), and the non-recording portion has a low reflectance a
Data is recorded and / or reproduced by causing a difference in reflectance between Si and TiSi 2 whose recording portion has high reflectance.
aSiに、比較的短波長の輻射線を照射すれば、熱吸収
を生じ、600℃以上になるとTiと反応してTiSi2を形成し
てデータを記録する。このTiSi2は反射率が60%程度で
あって、aSiの反射率が波長380ナノメートルのレーザビ
ームに対して20%程度であるから、その反射率の差異を
検出することによってデータを再生することができる。
すなわち、TiSi2の有無とデータの0または1が対応し
て記録され、再生される。Irradiation of relatively short wavelength radiation to aSi causes heat absorption, and at 600 ° C. or higher, reacts with Ti to form TiSi 2 and records data. This TiSi 2 has a reflectance of about 60%, and the reflectance of aSi is about 20% for a laser beam with a wavelength of 380 nanometers. Therefore, data is reproduced by detecting the difference in the reflectance. be able to.
That is, the presence or absence of TiSi 2 and the data 0 or 1 are recorded and reproduced correspondingly.
本発明の実施例を第1図および第2図を用いて説明す
る。An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
第1図は本発明の光記録媒体の断面図である。まず、
窒化アルミニウム(AIN)や酸化硅素(SiO2)のような
基本11の上に、バリヤ層としてのTiN層12を堆積する。
バリヤ効果を有するには500オングストロームもあれば
充分である。次に、Ti層13を、およそ300オングストロ
ーム堆積する。さらに、aSi層14を、300なしい1000オン
グストローム堆積する。FIG. 1 is a sectional view of the optical recording medium of the present invention. First,
On a base 11 such as aluminum nitride (AIN) or silicon oxide (SiO 2 ), a TiN layer 12 as a barrier layer is deposited.
500 angstroms is enough to have a barrier effect. Next, a Ti layer 13 is deposited by about 300 angstroms. Further, an aSi layer 14 is deposited in a thickness of 300 to 1000 angstroms.
このようにして形成した光記録媒体にデータを記録す
るには、レーザビーム15をaSi層14のデータを記録すべ
き所定の位置に照射する。aSi層は、第2図に示すよう
な反射率の特性を有するので、熱吸収を生じさせるには
500ナノメートル以下の短波長の輻射線がよい。aSi層14
が熱吸収によって600℃以上に昇温すれば、下地のTi層1
3と反応して、TiSi216が形成される。このTiSi216は斜
方晶系であって、その反射率は第2図のTiSi2に示すよ
うに、波長によって大きな変化がなく、ほぼ60%前後で
ある。このように、レーザビーム15を照射してTiSi2の
反応層を形成すれば、データの0または1と対応して記
録することができる。To record data on the optical recording medium formed in this manner, a laser beam 15 is applied to a predetermined position of the aSi layer 14 where data is to be recorded. The aSi layer has a reflectance characteristic as shown in FIG.
Short wavelength radiation below 500 nanometers is preferred. aSi layer 14
If the temperature rises to 600 ° C or more due to heat absorption, the underlying Ti layer 1
Reacts with 3 to form TiSi 2 16. This TiSi 2 16 is orthorhombic, and its reflectivity does not change significantly with wavelength, as shown by TiSi 2 in FIG. 2 , and is about 60%. As described above, if the reaction layer of TiSi 2 is formed by irradiating the laser beam 15, data can be recorded corresponding to 0 or 1.
次に、データの再生方法について説明する。再生時に
用いるレーザビームの波長は、第2図に示すように、aS
iの反射率は380ナノメートルの波長において最も小さ
く、20%である。この380ナノメートルにおけるTiSi2の
反射率は60%である。従って、380ナノメートルのレー
ザビームを用いて光記録媒体からの反射光を検出すると
き、TiSi2層16の有無に従って、反射率が60%と20%に
変化するので、その差異を検出すればデータを再生する
ことができる。レーザビームの波長は380ナノメートル
のみならず反射率の差異を検出し得る190ないし440ナノ
メートルの波長を用いて再生することができる。Next, a data reproducing method will be described. As shown in FIG. 2, the wavelength of the laser beam used for reproduction is aS
i has the lowest reflectivity at a wavelength of 380 nanometers, 20%. The reflectivity of TiSi 2 at this 380 nm is 60%. Therefore, when detecting the reflected light from the optical recording medium using a laser beam of 380 nanometers, the reflectance changes between 60% and 20% according to the presence or absence of the TiSi 2 layer 16, and if the difference is detected, Data can be reproduced. The laser beam can be reproduced not only at a wavelength of 380 nm but also at a wavelength of 190 to 440 nm at which a difference in reflectance can be detected.
なお、記録時におけるレーザビームは、aSi中で熱エ
ネルギーに変換される輻射線であればよく、またレーザ
ビームの照射方向は基体が透明であれば基体側から照射
して記録や再生を行うこともできる。Note that the laser beam at the time of recording need only be radiation that is converted into thermal energy in aSi, and if the substrate is transparent, the laser beam should be irradiated from the substrate side to perform recording and reproduction. Can also.
この場合には、基体上にaSi層を設け、aSi層上にTi層
を設ければよい。In this case, an aSi layer may be provided on the base, and a Ti layer may be provided on the aSi layer.
本発明のTi層上にaSi層を設けた光記録媒体を用いて
データを記録すれば、相変化温度が600℃以上であるか
ら、耐熱性に優れた光記録媒体を実現することができ
る。When data is recorded using the optical recording medium provided with the aSi layer on the Ti layer according to the present invention, an optical recording medium having excellent heat resistance can be realized because the phase change temperature is 600 ° C. or higher.
第1図は本発明の光記録媒体の断面図、第2図は本発明
の光記録媒体の反射率の波長依存性を示す図、第3図は
従来の光記録媒体の断面図である。 1、11……基体 2……感光層 3……被覆層 12……TiN層 13……Ti層 14……aSi層 15……レーザビーム 16……TiSi2 FIG. 1 is a cross-sectional view of the optical recording medium of the present invention, FIG. 2 is a view showing the wavelength dependence of the reflectance of the optical recording medium of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional optical recording medium. 1, 11 Base 2 Photosensitive layer 3 Covering layer 12 TiN layer 13 Ti layer 14 aSi layer 15 Laser beam 16 TiSi 2
Claims (3)
ン層を被着してなる光記録媒体であって、レーザビーム
の照射側に該レーザビームを吸収する前記アモルファス
シリコン層を配設したことを特徴とする光記録媒体。An optical recording medium comprising a substrate and a titanium layer and an amorphous silicon layer deposited on the substrate, wherein the amorphous silicon layer for absorbing the laser beam is provided on the laser beam irradiation side. An optical recording medium characterized by the following.
するアモルファスシリコン層側から照射して、アモルフ
ァスシリコンとチタンとを反応させて結晶化し、記録部
が高反射率のチタンシリサイドを形成することを特徴と
する請求項第1項の光記録媒体の記録方法。2. A method of irradiating a laser beam from the side of an amorphous silicon layer that absorbs the laser beam to cause the amorphous silicon and titanium to react and crystallize, thereby forming a titanium silicide having a high reflectance in a recording portion. 2. The recording method for an optical recording medium according to claim 1, wherein:
ビームをアモルファスシリコン層側から照射して、非記
録部が低反射率のアモルファスシリコンと記録部が高反
射率のチタンシリサイドとの反射率の差異を検出するこ
とを特徴とする請求項第1項の光記録媒体の再生方法。3. A laser beam having a wavelength of 190 to 440 nanometers is irradiated from the amorphous silicon layer side, so that the non-recording portion has a low reflectance of amorphous silicon and the recording portion has a high reflectance of titanium silicide. 2. The method according to claim 1, wherein the difference is detected.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2087416A JP2870107B2 (en) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | Optical recording medium and recording and / or reproducing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2087416A JP2870107B2 (en) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | Optical recording medium and recording and / or reproducing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03286433A JPH03286433A (en) | 1991-12-17 |
JP2870107B2 true JP2870107B2 (en) | 1999-03-10 |
Family
ID=13914274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2087416A Expired - Fee Related JP2870107B2 (en) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | Optical recording medium and recording and / or reproducing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2870107B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3151058B2 (en) * | 1992-08-05 | 2001-04-03 | パイオニア株式会社 | optical disk |
CN111101204A (en) * | 2019-12-12 | 2020-05-05 | 华南师范大学 | Single crystal AlN film and preparation method and application thereof |
-
1990
- 1990-04-03 JP JP2087416A patent/JP2870107B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03286433A (en) | 1991-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0038499B1 (en) | Optical recording and reproducing system | |
KR100930243B1 (en) | A recording medium having a high melting point recording layer, an information recording method of the recording medium, and an information reproducing apparatus and an information reproducing method for reproducing information from the recording medium. | |
JPH08153339A (en) | Optical disk | |
JP2830557B2 (en) | Phase change optical disk | |
JP2870107B2 (en) | Optical recording medium and recording and / or reproducing method | |
JPH0222453B2 (en) | ||
JPH04838B2 (en) | ||
EP0549024B1 (en) | Optical record carrier | |
KR100854953B1 (en) | Rewritable optical data storage medium and use of such a medium | |
KR100662671B1 (en) | Optical recording medium comprising a gesbte recording layer | |
US6906995B2 (en) | Information read/write medium | |
JPH0477968B2 (en) | ||
TW479258B (en) | Phase change optical disc | |
JPH087880B2 (en) | Phase change recording medium | |
JPH0256746A (en) | Information carrier disk | |
US5419937A (en) | Optical record carrier | |
JP2583221B2 (en) | Optical recording medium | |
JP2003331465A (en) | Worm type recording optical medium and recording and reproducing method for the same | |
JPH05185733A (en) | Data recording medium | |
JP2978652B2 (en) | Optical information recording medium | |
KR20010029133A (en) | Phase change optical disc | |
JPS6326466B2 (en) | ||
JP3139479B2 (en) | Information recording medium, method for manufacturing information recording medium, method for recording / reproducing information, and method for erasing information | |
JPH06119657A (en) | Optical information recording medium | |
JPH06208731A (en) | Optical recording medium |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080108 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090108 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |