JP2868668B2 - Spectral colorimeter - Google Patents

Spectral colorimeter

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JP2868668B2
JP2868668B2 JP12402792A JP12402792A JP2868668B2 JP 2868668 B2 JP2868668 B2 JP 2868668B2 JP 12402792 A JP12402792 A JP 12402792A JP 12402792 A JP12402792 A JP 12402792A JP 2868668 B2 JP2868668 B2 JP 2868668B2
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light
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光正 岡林
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Juki Corp
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、分光色彩計に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spectral colorimeter.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、例えば図3に示されるように、試
料1に光を照射し、この試料1からの反射光をレンズ2
によってコリメート受光し、スリット板3のスリット3
Aを通って凹面グレーティング4に導いて、分光し、そ
の分光光を受光素子アレイ5によって受光し、試料1の
分光分布(スペクトル)を測定し、色彩を数値として表
現するようにした分光色彩計がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in, for example, FIG. 3, a sample 1 is irradiated with light, and reflected light from the sample 1 is transmitted through a lens 2.
The collimated light is received by the slit 3 of the slit plate 3.
A, the light is guided to the concave grating 4 to be split, and the separated light is received by the light receiving element array 5, the spectral distribution (spectrum) of the sample 1 is measured, and the color is expressed as a numerical value. There is.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】図3の従来の分光色彩
計において、例えば図4に示されるように、小さな面積
の試料1Aを測定する場合、レンズ2にコリメート受光
させるためには、該レンズ2の前側に結像レンズ6を置
き、試料1Aからの反射光をコリメート光とする必要が
ある。
In the conventional spectral colorimeter shown in FIG. 3, for example, as shown in FIG. 4, when measuring a sample 1A having a small area, the lens 2 is required to receive collimated light. It is necessary to place the imaging lens 6 on the front side of the sample 2 and use the reflected light from the sample 1A as collimated light.

【0004】ここで、結像レンズ6は試料1Aが焦点位
置となるようにし、これにより該試料1Aの像をスリッ
ト3Aに結像させるようにしなければならない。
[0004] Here, the imaging lens 6 must be so set that the sample 1A is at the focal position, so that an image of the sample 1A is formed on the slit 3A.

【0005】従って、結像レンズ6の、試料1Aからの
距離の精度が要求され、距離が僅かに狂っても、測定精
度が低下してしまうという問題点を生じる。
[0005] Therefore, the accuracy of the distance of the imaging lens 6 from the sample 1A is required, and even if the distance is slightly deviated, there arises a problem that the measurement accuracy is reduced.

【0006】この発明は、上記従来の問題点に鑑みて成
されたものであって、試料が小面積の場合であっても、
試料と光学系との距離に精度が要求されず、従って、試
料とレンズとの距離に関係なく精度良く測定することが
できるようにした分光色彩計を提供することを目的とす
る。
[0006] The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and even if the sample has a small area,
It is an object of the present invention to provide a spectrocolorimeter that does not require precision in the distance between the sample and the optical system, and therefore can accurately measure the distance regardless of the distance between the sample and the lens.

【0007】この発明は、試料からの反射光をコリメー
ト受光レンズにより受光し、該受光光を前記コリメート
受光レンズの焦点位置にあるスリットを経て、分光手段
により分光して測定する分光色彩計において、前記コリ
メート受光レンズの入射側に、前記試料からの平行光を
小ビーム径でコリメート受光すると共に、これを前記コ
リメート受光レンズの受光径にまでビーム径を拡大した
コリメート光として、前記コリメート受光レンズに向け
て出光するビームエキスパンダを設けることにより、上
記目的を達成するものである。前記ビームエキスパンダ
は、前記コリメート受光レンズの入射側光路上に着脱自
在としてもよい。
According to the present invention, there is provided a spectral colorimeter for receiving reflected light from a sample by a collimating light receiving lens, passing the received light through a slit at a focal position of the collimating light receiving lens, and spectrally measuring the light by a spectral means. the entrance side of the collimator light receiving lens, the parallel light from the sample <br/> with collimates light in a small beam diameter, which was the collimated light obtained by enlarging the beam diameter to a light receiving diameter of the collimating light receiving lens , Toward the collimated light receiving lens
The above object is achieved by providing a beam expander that emits light. The beam expander may be detachable on an incident side optical path of the collimating light receiving lens.

【0008】[0008]

【作用及び効果】この発明においては、コリメート受光
レンズの前側に、小ビーム径でコリメート受光し、且つ
コリメート受光レンズの径にまでビーム径を拡大してコ
リメート光とするビームエキスパンダを設けたので、試
料との距離の変動に影響されることなく、精度高く測定
することができる。
In the present invention, a beam expander for receiving collimated light with a small beam diameter and expanding the beam diameter to the diameter of the collimated light receiving lens to provide collimated light is provided in front of the collimating light receiving lens. The measurement can be performed with high accuracy without being affected by the fluctuation of the distance to the sample.

【0009】請求項2によれば、ビームエキスパンダは
着脱自在であるので、試料の測定面積が大きい場合はビ
ームエキスパンダを光路上から取り外し、又、小さな面
積の場合は光路上に設置することによって、試料面積に
応じて自在に測定することができる。
According to the second aspect, since the beam expander is detachable, the beam expander is removed from the optical path when the measurement area of the sample is large, and is installed on the optical path when the measurement area of the sample is small. Thus, the measurement can be freely performed according to the sample area.

【0010】[0010]

【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0011】図1に示されるように、この実施例に係る
分光色彩計10は、試料12からの反射光をコリメート
受光レンズ14により受光し、該受光光をコリメート受
光レンズ14の焦点位置にあるスリット16Aを経て凹
面グレーティング18で分光するものにおいて、前記コ
リメート受光レンズ14の入射側に、前記試料12から
の平行光を小ビーム径でコリメート受光すると共に、こ
れを前記コリメート受光レンズ14の受光径にまでビー
ム径を拡大したコリメート光とするビームエキスパンダ
20を設けたものである。
As shown in FIG. 1, a spectral colorimeter 10 according to this embodiment receives reflected light from a sample 12 by a collimating light receiving lens 14, and the received light is located at a focal position of the collimating light receiving lens 14. In the case where the light is split by the concave grating 18 through the slit 16A , the sample 12
Is provided with a beam expander 20 which collimates and receives the parallel light with a small beam diameter and converts the parallel light into a collimated light whose beam diameter is enlarged to the light receiving diameter of the collimating light receiving lens 14.

【0012】このビームエキスパンダ20は、試料12
よりもやや大きい径の凹レンズ20Aと、この凹レンズ
20Aと焦点を共有するコリメートレンズ20Bとから
構成されている。
This beam expander 20 is used to
It is composed of a concave lens 20A having a slightly larger diameter and a collimating lens 20B sharing a focus with the concave lens 20A.

【0013】このビームエキスパンダ20は、前記コリ
メート受光レンズ14の入射側光路14A上に着脱自在
とされている。
The beam expander 20 is detachable on the incident side optical path 14A of the collimating light receiving lens 14.

【0014】即ち、凹レンズ20A及びコリメートレン
ズ20Bは、同一の鏡筒22に取り付けられ、この鏡筒
22が前記入射側光路14A上に着脱自在とされてい
る。
That is, the concave lens 20A and the collimating lens 20B are mounted on the same lens barrel 22, and the lens barrel 22 is detachable on the incident side optical path 14A.

【0015】図の符号16はスリット16Aが形成され
たスリット板、24は凹面グレーティング18からの分
光光を受光する受光素子アレイ、26は受光素子アレイ
24で発生した電気信号をデジタル信号に変換するため
のA/Dコンバータ、28はこのデジタル信号を処理し
て最終的な測定値(スペクトル)とするための中央処理
装置をそれぞれ示す。
In the figure, reference numeral 16 denotes a slit plate provided with a slit 16A, 24 denotes a light receiving element array for receiving the spectral light from the concave grating 18, and 26 converts an electric signal generated by the light receiving element array 24 to a digital signal. An A / D converter 28 represents a central processing unit for processing this digital signal into a final measured value (spectrum).

【0016】この実施例においては、測定面積が小さな
試料12の場合は、ビームエキスパンダ20を、コリメ
ート受光レンズ14における入射側光路14A上に配置
して、試料12からの反射光をコリメート受光し、且つ
これをコリメート受光レンズ14の受光径までビーム拡
大し、コリメート光として該コリメート受光レンズ14
に受光させる。
In this embodiment, in the case of the sample 12 having a small measurement area, the beam expander 20 is arranged on the incident side optical path 14A of the collimating light receiving lens 14 to collimate and receive the reflected light from the sample 12. The beam is expanded to the light receiving diameter of the collimating light receiving lens 14 and the collimated light receiving lens 14
To receive light.

【0017】即ち、ビームエキスパンダ20の入射側も
出射側も共にコリメート光となるため、該ビームエキス
パンダ20の試料12及びコリメート受光レンズ14に
対する位置、更には、コリメート受光レンズ14及びス
リット板16の試料12に対する光軸方向位置が乱れて
も、常に所定の測定精度を得ることができる。
That is, since both the incident side and the outgoing side of the beam expander 20 are collimated light, the position of the beam expander 20 with respect to the sample 12 and the collimating light receiving lens 14, and furthermore, the collimating light receiving lens 14 and the slit plate 16 Even if the position of the sample 12 in the optical axis direction is disturbed, a predetermined measurement accuracy can always be obtained.

【0018】又、図1において、2点鎖線で示されるよ
うな、測定面積の大きな試料12Aの場合は、前記ビー
ムエキスパンダ20を、鏡筒22を経て、入射側光路1
4Aから取り外せばよい。
In the case of a sample 12A having a large measurement area as shown by a two-dot chain line in FIG. 1, the beam expander 20 is passed through a lens barrel 22 to enter an optical path 1 on the incident side.
What is necessary is just to remove from 4A.

【0019】これによって、分光色彩計10の光学系
は、前記図3に示される従来の分光色彩計におけると同
様となり、コリメート受光レンズ14によって直接コリ
メート受光して測定を行うことができる。
Thus, the optical system of the spectral colorimeter 10 is the same as that of the conventional spectral colorimeter shown in FIG. 3, and the measurement can be performed by directly receiving the collimated light by the collimating light receiving lens 14.

【0020】上記実施例は、凹レンズ20Aとコリメー
トレンズ20Bとからビームエキスパンダ20を構成し
たものであるが、本発明はこれに限定されるものでな
く、ビームエキスパンダは、小さな受光面積でコリメー
ト受光し、且つこれをコリメート受光レンズ14の受光
径までビームを拡大し、コリメート光とできるものであ
ればよい。
In the above embodiment, the beam expander 20 is constituted by the concave lens 20A and the collimating lens 20B. However, the present invention is not limited to this. It is sufficient that the light is received and the beam is expanded to the light receiving diameter of the collimating light receiving lens 14 so as to be collimated light.

【0021】従って、例えば図2に示されるように、凸
レンズ21Aとコリメートレンズ21Bとからビームエ
キスパンダ21を構成するようにしてもよい。
Therefore, for example, as shown in FIG. 2, the beam expander 21 may be constituted by the convex lens 21A and the collimating lens 21B.

【0022】更に、上記実施例に係る分光色彩計10
は、凹面グレーティング18と受光素子アレイ24を備
えたものであるが、本発明はこれに限定されるものでな
く、凹面グレーティング以外の分光手段を用いるように
してもよく、又、受光素子アレイ24は、分光光から波
長に応じた信号を形成できるものであれば他の手段であ
ってもよい。
Further, the spectral colorimeter 10 according to the above embodiment is used.
Is provided with a concave grating 18 and a light receiving element array 24. However, the present invention is not limited to this, and a spectral unit other than the concave grating may be used. May be another means as long as it can form a signal corresponding to the wavelength from the spectral light.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る分光色彩計の実施例を示す一部ブ
ロック図を含む略示断面図
FIG. 1 is a schematic sectional view including a partial block diagram showing an embodiment of a spectral colorimeter according to the present invention.

【図2】本発明に係る分光色彩計の第2実施例を示す略
示断面図
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a second embodiment of the spectral colorimeter according to the present invention.

【図3】従来の分光色彩計の概略を示す略示断面図FIG. 3 is a schematic sectional view schematically showing a conventional spectral colorimeter.

【図4】従来の分光色彩計により測定面積の小さな試料
を測定する場合の光学系を示す略示断面図
FIG. 4 is a schematic sectional view showing an optical system when a sample having a small measurement area is measured by a conventional spectral colorimeter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…分光色彩計 12、12A…試料 14…コリメート受光レンズ 14A…入射側光路 16…スリット 18…凹面グレーティング(分光手段) 20、21…ビームエキスパンダ 22…鏡筒 24…受光素子アレイ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Spectral colorimeter 12, 12A ... Sample 14 ... Collimated light receiving lens 14A ... Incident side optical path 16 ... Slit 18 ... Concave grating (spectral means) 20, 21 ... Beam expander 22 ... Lens barrel 24 ... Light receiving element array

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】試料からの反射光をコリメート受光レンズ
により受光し、該受光光を前記コリメート受光レンズの
焦点位置にあるスリットを経て、分光手段により分光し
て測定する分光色彩計において、前記コリメート受光レ
ンズの入射側に、前記試料からの平行光を小ビーム径で
コリメート受光すると共に、これを前記コリメート受光
レンズの受光径にまでビーム径を拡大したコリメート光
して、前記コリメート受光レンズに向けて出光するビ
ームエキスパンダを設けたことを特徴とする分光色彩
計。
1. A spectral colorimeter for receiving reflected light from a sample by a collimating light-receiving lens, passing the received light through a slit at the focal position of the collimating light-receiving lens, and measuring the light by spectral means. on the incident side of the light receiving lens, the parallel light from the sample with collimates light in a small beam diameter, which was the collimated light <br/> enlarging the beam diameter to a light receiving diameter of the collimating light receiving lens, wherein A spectral colorimeter comprising a beam expander for emitting light toward a collimating light receiving lens .
【請求項2】請求項1において、前記ビームエキスパン
ダは、前記コリメート受光レンズの入射側光路上に着脱
自在としたことを特徴とする分光色彩計。
2. The spectral colorimeter according to claim 1, wherein said beam expander is detachable on an optical path on an incident side of said collimating light receiving lens.
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