JP2866799B2 - Abrasive electrodeposition inspection method - Google Patents
Abrasive electrodeposition inspection methodInfo
- Publication number
- JP2866799B2 JP2866799B2 JP6012723A JP1272394A JP2866799B2 JP 2866799 B2 JP2866799 B2 JP 2866799B2 JP 6012723 A JP6012723 A JP 6012723A JP 1272394 A JP1272394 A JP 1272394A JP 2866799 B2 JP2866799 B2 JP 2866799B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive grains
- powder
- state
- electrodeposition
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 title claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 7
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 64
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 47
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 26
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 10
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000004575 stone Substances 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 16
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 5
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、砥石台金表面に砥粒が
電着された砥石において、前記砥粒の電着状態を検査す
るための砥粒電着状態検査方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting an electrodeposited state of abrasive grains for inspecting an electrodeposited state of the abrasive grains in a grindstone having abrasive grains electrodeposited on the surface of a grindstone base.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般的に、砥石台金の表面にダイヤモン
ドやＣＢＮ等の超硬砥粒を電気メッキにより結合させた
電着砥石が、研削用工具として広く採用されている。2. Description of the Related Art In general, an electrodeposition grindstone in which superhard abrasive grains such as diamond and CBN are bonded to the surface of a grindstone base metal by electroplating is widely used as a grinding tool.
【０００３】この種の砥石では、砥粒の電着処理直後に
前記砥粒の電着状態、特に該砥粒の分布状態を検査する
必要があり、通常、作業者が顕微鏡を使用して目視検査
により行っている。この砥粒の分布状態の検査とは、
所定面積（例えば、１ｃｍ2）内での砥粒の数が所定数
であるか、所定面積内での砥粒同士の間隔が平均的で
あるか、という二点について確認するものであり、その
結果によって砥石の良否が判定される。[0003] In this kind of whetstone, it is necessary to inspect the electrodeposited state of the abrasive grains, particularly the distribution state of the abrasive grains, immediately after the electrodeposition treatment of the abrasive grains. Performed by inspection. Inspection of the distribution of abrasive grains
The number of abrasive grains in a predetermined area (for example, 1 cm 2 ) is a predetermined number, or the spacing between the abrasive grains in the predetermined area is an average, to confirm two points, The quality of the grindstone is determined based on the result.
【０００４】また、砥石を実際に所定時間だけ研削作業
に使用した後、砥粒の脱落状態を確認するために、上記
と同様に目視検査が行われている。[0004] After the grindstone is actually used for the grinding operation for a predetermined time, a visual inspection is performed in the same manner as described above in order to confirm the state of the abrasive grains falling off.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
目視検査において、照明光により砥粒およびメッキ面に
乱反射が発生する他、この砥粒とメッキ面、例えばニッ
ケルメッキ面とが近似した色を有している。このため、
前記砥粒の判別作業が相当に困難なものとなってしま
う。However, in the above-mentioned visual inspection, irregular reflection occurs on the abrasive grains and the plating surface due to the illuminating light. doing. For this reason,
The work of discriminating the abrasive grains becomes considerably difficult.
【０００６】特に、実際に研削作業に使用されることに
より砥粒が脱落した際、メッキ層には、該脱落跡に対応
した凹部が形成されるが、その凹部面が砥粒表面と同一
形状の多角形となっている。このため、脱落跡である凹
部面が照明光を乱反射してしまい、砥粒の有無を正確に
判別することができないという問題が指摘されている。[0006] In particular, when the abrasive grains fall off due to actual use in the grinding operation, a concave portion corresponding to the drop-off trace is formed in the plating layer, and the concave surface has the same shape as the abrasive grain surface. It is a polygon. For this reason, it has been pointed out that the concave surface, which is a trace of falling off, irregularly reflects illumination light, and it is not possible to accurately determine the presence or absence of abrasive grains.
【０００７】本発明は、この種の問題を解決するもので
あり、簡単な工程で砥粒の有無や脱落を正確に判定する
ことができ、該砥粒の分布状態を効率的かつ高精度に検
査することが可能な砥粒電着状態検査方法を提供するこ
とを目的とする。The present invention is intended to solve this kind of problem, and it is possible to accurately determine the presence or absence of abrasive grains by a simple process, and to efficiently and accurately determine the distribution of the abrasive grains. An object of the present invention is to provide a method for inspecting the state of electrodeposition of abrasive grains, which can be inspected.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、砥石台金表面に砥粒が電着されて研削
砥面が形成された砥石において、前記砥粒の電着状態を
検査するための砥粒電着状態検査方法であって、粉末体
と揮発液との混合液体を前記研削砥面に塗布する工程
と、前記混合液体中の該揮発液が揮発して粉末層が形成
された後、前記砥粒の電着状態を検査する工程と、を有
することを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention relates to a grindstone in which abrasive grains are electrodeposited on the surface of a grindstone base, and a grinding wheel is formed by electrodeposition of the abrasive grains. An abrasive grain electrodeposition state inspection method for inspecting a state, wherein a step of applying a mixed liquid of a powder body and a volatile liquid to the grinding surface, and a step in which the volatile liquid in the mixed liquid is volatilized to form a powder Inspecting the electrodeposited state of the abrasive grains after the layer is formed.
【０００９】また、前記粉末体が、炭酸カルシウムまた
はセラミックスの微粉末であり、前記揮発液が、アルコ
ールであることが好ましい。It is preferable that the powder is a fine powder of calcium carbonate or ceramics, and the volatile liquid is an alcohol.
【００１０】[0010]
【作用】上記の本発明に係る砥粒電着状態検査方法で
は、粉末体と揮発液との混合液体が砥石の研削砥面に塗
布された後、この揮発液が自然揮発される。このため、
メッキ層表面および砥粒脱落跡である凹部面に粉末体に
よる粉末層が形成され、砥粒のみが前記粉末層から突出
して該砥粒を容易かつ正確に目視することができる。In the method for inspecting the state of electrodeposition of abrasive grains according to the present invention, after a mixed liquid of a powder and a volatile liquid is applied to the grinding surface of a grindstone, the volatile liquid is volatilized spontaneously. For this reason,
A powder layer made of a powder is formed on the surface of the plating layer and on the concave surface where the abrasive grains have fallen, and only the abrasive grains protrude from the powder layer so that the abrasive grains can be easily and accurately visually observed.
【００１１】さらに、粉末体が炭酸カルシウムまたはセ
ラミックスの微粉末であると、白色の粉末層が設けられ
ることになり、砥粒の目視作業がより容易に遂行され
る。また、粉末層を所望の色に着色することが可能とな
り、メッキ層の色等に対応して前記粉末層を任意の色に
設定することによって該目視作業の迅速化かつ高精度化
が達成される。しかも、揮発液がアルコールであると、
容易に自然蒸発して作業性が良いとともに、粘性が低く
粉末層が砥粒の先端を覆うことがない。Further, when the powder body is a fine powder of calcium carbonate or ceramics, a white powder layer will be provided, and visual work of the abrasive grains can be more easily performed. Further, the powder layer can be colored in a desired color, and the visual work can be speeded up and highly accurate by setting the powder layer to an arbitrary color corresponding to the color of the plating layer. You. Moreover, if the volatile liquid is alcohol,
It is easy to spontaneously evaporate and has good workability, and has low viscosity so that the powder layer does not cover the tip of the abrasive grains.
【００１２】[0012]
【実施例】本発明に係る砥粒電着状態検査方法について
実施例を挙げ、添付の図面を参照して以下に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for inspecting the state of electrodeposition of abrasive grains according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【００１３】図１および図２において、参照数字１０
は、本実施例に係る砥粒電着状態検査方法が実施される
砥石を示す。砥石１０は、砥石台金１２と、この砥石台
金１２の表面１２ａに形成されるニッケルのメッキ層１
４と、このメッキ層１４により前記砥石台金１２の表面
１２ａに固着される複数の砥粒１６とを備える。In FIG. 1 and FIG.
Shows a grindstone on which the method for inspecting the state of electrodeposition of abrasive grains according to the present embodiment is performed. The grindstone 10 includes a grindstone base 12 and a nickel plating layer 1 formed on a surface 12 a of the grindstone base 12.
4 and a plurality of abrasive grains 16 fixed to the surface 12 a of the grinding wheel base 12 by the plating layer 14.
【００１４】この砥石１０は、実際に所定時間だけ研削
作業に使用されたものであり、メッキ層１４には、部分
的に砥粒１６が脱落した脱落跡である凹部１８が設けら
れている。The grinding wheel 10 is actually used for a grinding operation only for a predetermined time, and the plating layer 14 is provided with a concave portion 18 which is a trace where the abrasive grains 16 have fallen off.
【００１５】次に、上記砥石１０を用いて、本実施例に
係る砥粒電着状態検査方法を説明する。Next, a method for inspecting the state of electrodeposition of abrasive grains according to the present embodiment using the above-mentioned grindstone 10 will be described.
【００１６】まず、粉末体と揮発液との混合液体が用意
される。この粉末体としては、炭酸カルシウムまたはセ
ラミックスの微粉末が使用される。これは、微粉末化が
容易であるとともに白色でありかつコントラストが付け
易く、しかも所望の色に容易に着色可能であるからであ
る。First, a mixed liquid of a powder and a volatile liquid is prepared. As this powder, fine powder of calcium carbonate or ceramics is used. This is because it is easy to finely powder, is white, easily gives a contrast, and can be easily colored to a desired color.
【００１７】揮発液としては、アルコール、例えば、工
業用アルコールが使用される。これは、蒸発時間が早い
ため作業性が良いとともに、蒸発の際に粉末体が低い位
置に凝集され、さらに粘性が低いため前記粉末体が砥粒
１６の先端まで覆うことがないからである。As the volatile liquid, alcohol, for example, industrial alcohol is used. This is because the workability is good because the evaporation time is short, and the powder is agglomerated at a low position during the evaporation, and the powder does not cover the tip of the abrasive grains 16 because the viscosity is low.
【００１８】そこで、混合液体が砥石１０の研削砥面
（砥粒１６が設けられている表面）に略平均に塗布され
る。この場合、砥粒１６の表面が平滑でありかつこの砥
粒１６がメッキ層１４から外部に突出しているため、前
記砥粒１６の先端側に混合液体が付着することがない。
従って、所定時間経過後に、揮発液が自然蒸発して研削
砥面に粉末層２０が形成される（図３および図４参
照）。その際、粉末層２０は、図３に示すように、メッ
キ層１４の平坦部に設けられる薄肉層２０ａと、凹部１
８内に入り込む厚肉層２０ｂとを有している。Therefore, the mixed liquid is applied to the grinding surface of the grinding wheel 10 (the surface on which the abrasive grains 16 are provided) substantially at an average. In this case, since the surface of the abrasive grains 16 is smooth and the abrasive grains 16 protrude from the plating layer 14 to the outside, the mixed liquid does not adhere to the tip side of the abrasive grains 16.
Therefore, after a lapse of a predetermined time, the volatile liquid spontaneously evaporates to form the powder layer 20 on the grinding surface (see FIGS. 3 and 4). At this time, as shown in FIG. 3, the powder layer 20 includes a thin layer 20 a provided on a flat portion of the plating layer 14 and a concave portion 1.
8 and a thick layer 20b that penetrates the inside.
【００１９】次いで、目視検査により砥石１０における
砥粒１６の脱落状態が確認される。この場合、目視によ
ると、薄肉層２０ａが薄白色に確認され、厚肉層２０ｂ
が濃白色に確認される。そして、砥粒１６の先端側に粉
末層２０が形成されることがないため、前記砥粒１６の
みが前記粉末層２０から外部に露呈して該砥粒１６の有
無を容易かつ確実に検査することができる。Next, the state of the abrasive grains 16 falling off from the grindstone 10 is confirmed by visual inspection. In this case, visually, the thin layer 20a is confirmed to be light white, and the thick layer 20b
Is confirmed as dark white. Since the powder layer 20 is not formed on the tip side of the abrasive grains 16, only the abrasive grains 16 are exposed to the outside from the powder layer 20 and the presence or absence of the abrasive grains 16 is easily and reliably inspected. be able to.
【００２０】これを具体的に説明すると、粉末層２０が
設けられていない場合、図２に示すように、研削砥面に
は砥粒１６と凹部１８とが混在しており、この砥粒１６
および凹部１８の面に照明光が乱反射して該砥粒１６と
凹部１８との区別が困難となってしまう。More specifically, when the powder layer 20 is not provided, as shown in FIG. 2, abrasive grains 16 and concave portions 18 are mixed on the grinding surface, and the abrasive grains 16
In addition, the illumination light is irregularly reflected on the surface of the concave portion 18, and it becomes difficult to distinguish the abrasive 16 from the concave portion 18.
【００２１】しかしながら、本実施例では、研削砥面上
に粉末層２０が形成されるため、図４に示すように、凹
部１８に厚肉層２０ｂが設けられてこの凹部１８が濃白
色に視認される。従って、凹部１８で乱反射することが
なく、砥粒１６の有無を高精度に検出することができ、
該砥粒１６の脱落状態を効率的に確認することが可能に
なるという効果が得られる。また、メッキ層１４の平坦
部に薄肉層２０ａが設けられてこのメッキ層１４が薄白
色に視認されるため、該メッキ層１４における乱反射を
有効に阻止することができ、砥粒１６の有無判定の信頼
性が一層向上するという利点がある。However, in this embodiment, since the powder layer 20 is formed on the grinding surface, the thick layer 20b is provided in the concave portion 18 as shown in FIG. Is done. Therefore, the presence or absence of the abrasive grains 16 can be detected with high accuracy without irregular reflection at the concave portion 18,
The effect is obtained that the falling-off state of the abrasive grains 16 can be efficiently confirmed. Further, since the thin layer 20a is provided on the flat portion of the plating layer 14 and the plating layer 14 is visually recognized as a pale white color, irregular reflection on the plating layer 14 can be effectively prevented, and the presence or absence of the abrasive 16 can be determined. There is an advantage that the reliability of the device is further improved.
【００２２】ところで、砥石１０を電着処理により製造
した直後における目視検査は、上述した検査手順と同様
であり、図５を参照して以下に概略的に説明する。Incidentally, the visual inspection immediately after the grinding wheel 10 is manufactured by the electrodeposition process is the same as the inspection procedure described above, and will be schematically described below with reference to FIG.
【００２３】すなわち、砥石１０の研削砥面に混合液体
が略平均に塗布され、所定時間経過後に揮発液が自然蒸
発して研削砥面に粉末層３０が形成される。この粉末層
３０は、メッキ層１４上に形成されており、砥粒１６の
先端側のみが前記粉末層３０から外部に突出している。That is, the mixed liquid is applied to the grinding surface of the grindstone 10 at a substantially average rate, and after a lapse of a predetermined time, the volatile liquid spontaneously evaporates to form the powder layer 30 on the grinding surface. The powder layer 30 is formed on the plating layer 14, and only the tip side of the abrasive 16 protrudes from the powder layer 30 to the outside.
【００２４】そこで、所定面積内（図５中、一点鎖線で
囲まれた部分）の砥粒１６の数および分布状態を確認す
ることにより、砥石１０の良否判定が行われる。その
際、砥粒１６のみが粉末層３０から外部に突出している
ため、この砥粒１６を容易かつ確実に視認することがで
き、該砥石１０の良否判定作業が高精度に遂行されると
いう効果が得られる。Therefore, the quality of the grinding wheel 10 is determined by checking the number and distribution of the abrasive grains 16 within a predetermined area (a portion surrounded by a chain line in FIG. 5). At this time, since only the abrasive grains 16 protrude from the powder layer 30 to the outside, the abrasive grains 16 can be easily and reliably visually recognized, and the effect that the quality judgment work of the grinding stone 10 is performed with high accuracy. Is obtained.
【００２５】なお、本実施例では、白色の粉末体を使用
して説明したが、これに限定されるものではなく、メッ
キ層１４の色等に対応して前記粉末体を任意の色に設定
（着色）することができる。これによって、目視作業を
一層高精度に行うことが可能になる。Although the present embodiment has been described using a white powder body, the present invention is not limited to this, and the powder body may be set to an arbitrary color corresponding to the color of the plating layer 14 or the like. (Colored). This makes it possible to perform the visual work with higher accuracy.
【００２６】[0026]
【発明の効果】本発明に係る砥粒電着状態検査方法によ
れば、以下の効果乃至利点が得られる。According to the method for inspecting the state of electrodeposition of abrasive grains according to the present invention, the following effects and advantages can be obtained.
【００２７】粉末体と揮発液との混合液体が砥石の研削
砥面に塗布された後、この揮発液が自然揮発されるた
め、メッキ層表面および砥粒脱落による凹部面に粉末体
による粉末層が形成され、砥粒のみが前記粉末層から突
出して該砥粒を容易かつ正確に目視することができる。After the mixed liquid of the powder and the volatile liquid is applied to the grinding surface of the grindstone, the volatile liquid is volatilized spontaneously. Is formed, and only the abrasive grains protrude from the powder layer, so that the abrasive grains can be easily and accurately visually observed.
【００２８】さらに、粉末体が炭酸カルシウムまたはセ
ラミックスの微粉末であると、白色の粉末層が設けられ
ることになり、砥粒の目視作業がより容易に遂行され
る。また、粉末層を所望の色に着色することが可能とな
り、メッキ層の色等に対応して前記粉末層を任意の色に
設定することによって該目視作業の迅速化かつ高精度化
が達成される。しかも、揮発液がアルコールであると、
容易に自然蒸発して作業性が良いとともに、粘性が低い
ため粉末層が砥粒の先端を覆うことがなく、前記砥粒の
有無判定を効率的に遂行することができる。Further, when the powder body is a fine powder of calcium carbonate or ceramics, a white powder layer is provided, and visual work of the abrasive grains can be more easily performed. Further, the powder layer can be colored in a desired color, and the visual work can be speeded up and highly accurate by setting the powder layer to an arbitrary color corresponding to the color of the plating layer. You. Moreover, if the volatile liquid is alcohol,
Easily spontaneous evaporation facilitates good workability, and since the viscosity is low, the powder layer does not cover the tips of the abrasive grains, so that the presence or absence of the abrasive grains can be efficiently determined.
【図１】本発明の実施例に係る砥粒電着状態検査方法が
適用される使用後の砥石の一部縦断説明図である。FIG. 1 is a partially longitudinal explanatory view of a used grindstone to which an abrasive grain electrodeposition state inspection method according to an embodiment of the present invention is applied.
【図２】前記砥石の一部平面図である。FIG. 2 is a partial plan view of the grinding wheel.
【図３】前記砥石に粉末層が形成された状態の一部縦断
説明図である。FIG. 3 is a partial longitudinal sectional view showing a state in which a powder layer is formed on the grinding wheel.
【図４】前記砥石に粉末層が形成された状態の一部平面
図である。FIG. 4 is a partial plan view showing a state in which a powder layer is formed on the grinding wheel.
【図５】本発明の実施例に係る砥粒電着状態検査方法が
適用される電着直後の砥石の一部平面図である。FIG. 5 is a partial plan view of a grinding wheel immediately after electrodeposition to which the method for inspecting the state of electrodeposition of abrasive grains according to the embodiment of the present invention is applied.
１０…砥石 １２…砥石台金 １４…メッキ層 １６…砥粒 １８…凹部 ２０、３０…粉
末層DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Whetstone 12 ... Whetstone base metal 14 ... Plating layer 16 ... Abrasive grains 18 ... Recess 20 and 30 ... Powder layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 33/40 B24D 18/00 G01N 1/28──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G01N 33/40 B24D 18/00 G01N 1/28
Claims (2)
が形成された砥石において、前記砥粒の電着状態を検査
するための砥粒電着状態検査方法であって、 粉末体と揮発液との混合液体を前記研削砥面に塗布する
工程と、 前記混合液体中の該揮発液が揮発して粉末層が形成され
た後、前記砥粒の電着状態を検査する工程と、 を有することを特徴とする砥粒電着状態検査方法。An abrasive grain electrodeposition state inspection method for inspecting the electrodeposition state of the abrasive grains in a grinding stone in which abrasive grains are electrodeposited on a surface of a grinding wheel base metal to form a grinding surface. Applying a mixed liquid of a powder and a volatile liquid to the grinding surface; and after the volatile liquid in the mixed liquid is volatilized to form a powder layer, inspecting the electrodeposition state of the abrasive grains. A method for inspecting the state of electrodeposited abrasive grains, comprising:
は、炭酸カルシウムまたはセラミックスの微粉末であ
り、 前記揮発液は、アルコールであることを特徴とする砥粒
電着状態検査方法。2. A method according to claim 1, wherein said powder is a fine powder of calcium carbonate or ceramics, and said volatile liquid is alcohol.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6012723A JP2866799B2 (en) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | Abrasive electrodeposition inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6012723A JP2866799B2 (en) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | Abrasive electrodeposition inspection method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218416A JPH07218416A (en) | 1995-08-18 |
| JP2866799B2 true JP2866799B2 (en) | 1999-03-08 |
Family
ID=11813356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6012723A Expired - Fee Related JP2866799B2 (en) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | Abrasive electrodeposition inspection method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2866799B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3793810B2 (en) * | 2002-07-09 | 2006-07-05 | 独立行政法人国立高等専門学校機構 | Grinding tool surface inspection method |
-
1994
- 1994-02-04 JP JP6012723A patent/JP2866799B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07218416A (en) | 1995-08-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5760367A (en) | Apparatus and method of engraving indicia on gemstones, and gemstones, produced thereby | |
| DE10228530B4 (en) | Semiconductor wafer dicing | |
| ES2080818T3 (en) | A METHOD OF CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF AN ELECTRONIC COMPONENT SUBSTRATE AND POLISH COMPOSITION FOR THE SAME. | |
| ATE320881T1 (en) | ABRASIVE WITH A WINDOW SYSTEM FOR POLISHING WAFERS AND METHOD THEREFOR | |
| DE69903893D1 (en) | Method and device for dispensing polishing slurry in the mechanical polishing of substrates | |
| WO2004071735A1 (en) | Diamond cutting method and diamond provided by the method | |
| TW200823010A (en) | Method of determining the number of active abrasive grains on a conditioning disk | |
| JP2866799B2 (en) | Abrasive electrodeposition inspection method | |
| JPS61221636A (en) | Article for inspecting comparison utility of crack penetrating agent and manufacture thereof | |
| TWI449680B (en) | Scribing wheel and its manufacturing method | |
| US6143572A (en) | Method for detecting imitation gold, using a pen-like device | |
| WO2002072878A3 (en) | Method for forgery-proof marking; forgery-proof marking and kit | |
| Funkenbusch et al. | Grinding of single crystal sapphire: workpiece roughness correlations | |
| JP2004042158A (en) | Grinding tool, and method for inspecting condition of grinding surface of tool | |
| US4198788A (en) | Method of forming a sharp edge on an optical device | |
| JPH03171138A (en) | Glass substrate for electronic device | |
| US5967889A (en) | Fixture for mechanical grinding and inspection of failed or defective semiconductor devices | |
| JPH0118309Y2 (en) | ||
| US6103194A (en) | Apparatus for testing items of metal such as jewelry | |
| JP5499150B2 (en) | Scribing wheel and manufacturing method thereof | |
| US6448084B1 (en) | Multiple metal etchant system for integrated circuits | |
| JP7442798B2 (en) | Abrasive grain inspection method and abrasive grain inspection device | |
| WO2000076583A1 (en) | Method apparatus and article of manufacture for a branding diamond branding with a focused ion beam | |
| JPS5846649A (en) | Tool for cleaving semiconductor wafer | |
| EP0836089A3 (en) | A method of locating a particle on a surface |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |