JP2862535B2 - Vacuum generation unit - Google Patents

Vacuum generation unit

Info

Publication number
JP2862535B2
JP2862535B2 JP61302290A JP30229086A JP2862535B2 JP 2862535 B2 JP2862535 B2 JP 2862535B2 JP 61302290 A JP61302290 A JP 61302290A JP 30229086 A JP30229086 A JP 30229086A JP 2862535 B2 JP2862535 B2 JP 2862535B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
port
passage
ejector
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61302290A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS63154900A (en
Inventor
茂和 永井
吉治 伊藤
哲夫 久々湊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ESU EMU SHII KK
Original Assignee
ESU EMU SHII KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ESU EMU SHII KK filed Critical ESU EMU SHII KK
Priority to JP61302290A priority Critical patent/JP2862535B2/en
Publication of JPS63154900A publication Critical patent/JPS63154900A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2862535B2 publication Critical patent/JP2862535B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空発生用ユニットに関し、一層詳細には、
所望の真空状態を得るための構成要素であるエゼクタ、
フィルタ等をユニット化し、これらの複数個の流体機器
を一体的となるよう連結して構成自体を可及的に簡略化
し且つ汎用性を向上させることを可能とする真空発生用
ユニットに関する。 近年、真空状態を利用して物品の把持、搬送等を行う
ために真空チャック並びに真空パッド等の真空吸引装置
が工場の自動化、省力化を目的として広汎に採用されて
いる。この場合、真空状態を得るためには、真空ポンプ
あるいはエゼクタ等の真空発生源並びに電磁切換弁、真
空用フィルタ等の各種流体機器を管体接続しているのが
一般的である。 すなわち、このように管体接続される真空用回路は、
実質的に、真空ポンプあるいはエゼクタ等の真空発生源
並びに電磁切換弁、真空フィルタ等の流体機器を夫々独
立し分離配設している。従って、前記各々の流体機器の
間に夫々管体を配設しなければならず、この配管作業が
極めて煩雑なものとなっている。さらに、前記流体機器
を個別に配設すると、前記真空用回路自体として占有す
る空間が増大し、狭小な空間を有効に利用することが出
来ないという欠点が指摘されている。 また、前記のように構成される真空用回路において、
当該流体機器の保守管理若しくは修理、調整作業を行お
うとする時、前記管体を取り外して作業を行い、次いで
再び配管作業を施す必要性が屡現れる。このため、前記
作業に相当な時間が費やされ、結局、本来の生産工程等
の遂行に大きな支障を来たしているのが現状である。 本発明は前記の不都合を克服するためになされたもの
であって、真空状態を得るために必要とされる真空発生
源、電磁切換弁、空気供給源、流量調整弁等の各構成要
素を実質的に略同一形状となるように構成し、任意の選
択作用下に少なくとも2つを一体的になるように接続
し、しかも必要に応じて前記一体的に接続した流体機器
をマニホールドを介して複数個並設出来るように構成し
て配管作業を可及的に少なくし、これによって前記流体
機器等の保守管理、各種調整作業を容易に且つ効率的に
行うことを可能とすると共に、真空を得るための回路自
体が占有する空間を狭小にすることを可能とする真空発
生用ユニットを提供することを目的とする。 前記の目的を達成するために、本発明は、真空吸引手
段の内部に所望の真空状態を得るための回路を構成する
ユニットであって、 前記回路に必要なバルブブロック、エゼクタおよび検
出手段等を含む流体機器の中、前記バルブブロックと前
記検出手段との間に前記エゼクタを挟持するように構成
した第1ユニットと、前記第1ユニットの中、前記エゼ
クタを除いた前記バルブブロックと前記検出手段とを一
体的に連結するように構成した第2ユニットとを選択可
能に設け、 前記バルブブロック、エゼクタおよび検出手段等を含
む流体機器の内部に相互に連通する流体用通路を形成す
ることを特徴とする。 次に、本発明に係る真空発生用ユニットについて好適
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に
説明する。 第1図並びに第2図において、参照符号10は本発明に
係る真空発生用ユニットを示し、この真空発生用ユニッ
ト10は、基本的には、バルブブロック12、12a、マニホ
ールド14、エゼクタ16、16a、検出部18、18aおよびフィ
ルタ20、20aから構成されている。これらは図示してい
ないが、スタッド等によって一体的に構成することが可
能である。なお、この場合、前記バルブブロック12、12
a、エゼクタ16、16a、検出部18、18a、フィルタ20、20a
は夫々略同一に構成されるものであり、従って、一方に
ついて詳細に説明し、他方については同一の構成要素を
示す参照数字に符号aを付し、その詳細な説明を省略す
る。 前記バルブブロック12の内部には後述する2ポート2
位置型の切換弁が配設される。また、前記バルブブロッ
ク12の一側面部には前記切換弁のいずれか一方のポート
と連通する第1のポート22が画成される。前記第1ポー
ト22の上方には第2のポート24と第3のポート26および
第4のポート28とが設けられている。さらに、前記第2
ポート24乃至第4ポート28の近傍には螺孔30が形成さ
れ、この螺孔30に実質的に流量調整弁32を構成する弁体
を螺合する。 前記バルブブロック12の上面部には第1の電磁切換弁
34と第2の電磁切換弁36が配設される。この場合、前記
夫々の電磁切換弁34、36の各ポートは前記バルブブロッ
ク12に画成された後述の通路に夫々連通するように構成
されている。 一方、前記バルブブロック12の他側面部には前記マニ
ホールド14の一側面部が当接するように配設されてい
る。前記マニホールド14は、実質的に、前記バルブブロ
ック12と当接するマニホールドベース38と、このマニホ
ールドベース38の両端面部に取着される一組のエンドプ
レート40、42とからなる。この場合、当該マニホールド
14には前記エンドプレート40、42およびマニホールドベ
ース38を貫通する第1の孔部44、第2の孔部46、第4の
孔部48、第4の孔部50が夫々所定間隔離間して画成され
ている。 前記マニホールド14の他側面部には前記エゼクタ16が
取着され、このエゼクタ16に実質的に当該エゼクタ16に
おける真空状態を検出するための検出部18が連設され
る。この場合、前記検出部18は屈曲形状を呈する筐体52
と、この筐体52の内部に上方から挿入される真空スイッ
チ53とを含む。前記真空スイッチ53は、後述するよう
に、切換弁を付勢することにより真空圧を所定の値に調
整するよう機能するためのものである。前記筐体52の端
面部54は真空発生ポート56を画成する(第2図参照)。
さらに、前記検出部18を構成する筐体52の屈曲部位には
フィルタ20が載置される。前記フィルタ20の内部には実
質的に塵埃等の不純物を除去するフィルタ本体(後述す
る)が配設されると共に、その上部は栓部材58で閉塞し
ている。従って、前記栓部材58を取り外すことにより当
該フィルタ20内に配設されるフィルタ本体を交換するこ
とが可能である。 次に、前記真空発生用ユニット10に形成される流体用
回路について説明する。 第3図並びに第4図に示すように、バルブブロック12
の一側面部に形成される第1ポート22には通路60の一端
側が連通し、この通路60の他端側はマニホールド14に画
成される第1孔部44に連通する。また、当該通路60はそ
の途上で分岐し、バルブブロック12内に配設される2ポ
ート2位置型の切換弁62を構成する第1の室63と連通す
るポート64に接続される。前記切換弁62に画成される第
2の室65に連通するポート66にはマニホールド14に形成
される通路68の一端側が接続される。前記通路68の他端
側はエゼクタ16に画成される流体導入用ポート70に連通
する。当該流体導入用ポート70はエゼクタ本体73に連通
している。また、前記エゼクタ16には室72が設けられ
る。前記室72には検出部18に画成された通路75が連通
し、この通路75は前記検出部18、フィルタ20のフィルタ
本体71を介して真空発生ポート56に連通する。さらに、
前記通路75には前記エゼクタ16とフィルタ20との間に通
路74を介して真空スイッチ53が接続される(第4図参
照)。 前記エゼクタ16の流体導出用ポート76には通路80が接
続され、この通路80の端部はサイレンサ82に到達する。
この場合、前記通路80はその途上において通路84を介し
て前記マニホールド14に画成される第3孔部48と連通し
ている。前記第3孔部48には前記バルブブロック12に画
成される第3ポート26と連通する通路86が接続される。
前記通路86はその途上で分岐して第2電磁切換弁36のポ
ート88と連通する(第4図参照)。 一方、前記バルブブロック12に画成される第2ポート
24には通路90の一端側が連通し、この通路90の他端側は
前記マニホールド14に形成される第2孔部46に連通する
と共に、当該通路90はその途上で分岐して前記第2電磁
切換弁36のポート92に接続される。この場合、前記第2
電磁切換弁36のポート94は、第4図中、破線で示す通路
96を介して前記2ポート2位置型の切換弁62のパイロッ
ト圧導入側へと連通している。 さらに、前記バルブブロック12に形成される第4ポー
ト28は通路98を介して前記マニホールド14に画成される
第4孔部50と連通する。前記通路98はその途上で分岐し
て第1電磁切換弁34のポート100に接続される(第4図
参照)。前記第1電磁切換弁34のポート102には通路104
の一端側が接続され、当該通路104の他端側は流量調整
分32を介し、且つ複数屈曲して前記エゼクタ16に形成さ
れる室72に連通する。 なお、前記バルブブロック12に画成される第1ポート
22、第2ポート24、第4ポート28には夫々図示しない流
体供給源が接続されると共に、真空発生ポート56には、
例えば、真空パッド等からなる真空吸引手段を接続して
おく。この場合、他方のバルブブロック12aの第1ポー
ト22a、第2ポート24a、第4ポート28aには流体供給源
を接続する必要はない。すなわち、前記バルブブロック
12a側には一方のバルブブロック12に接続される流体供
給源からマニホールド14を介して圧力流体が供給される
ように構成されている。従って、前記バルブブロック12
a側の第1ポート22a、第2ポート24、第4ポート28aは
栓部材等で気密に閉塞しておけばよいことになる。 このように構成される真空発生用ユニット10に他の真
空発生用ユニットを並設することも出来る。この場合、
前記真空発生用ユニット10を構成するマニホールド14の
第1孔部44乃至第4孔部50に他の真空発生用ユニットを
構成するマニホールドの各孔部を連通させるように接続
すればよいことは容易に諒解されよう。 本発明に係る真空発生用ユニットは基本的には以上の
ように構成されるものであり、次にその作用並びに効果
について説明する。 なお、バルブブロック12a、エゼクタ16a、検出部18
a、フィルタ20a側は一方のバルブブロック12、エゼクタ
16、検出部18、フィルタ20側と略同様の作用および効果
を営むため、ここではその説明を省略する。 先ず、第4図において、バルブブロック12に画成され
る第1ポート22並びに第2ポート24に図示しない流体供
給源から圧力流体、例えば、空気を供給する。前記第1
ポート22に供給された空気は通路60を介して切換弁62の
ポート64に供給される。これと共に、第2ポート24に供
給された空気は通路90を介して第2電磁切換弁36のポー
ト92に送給される。 そこで、前記第2電磁切換弁36を作動させて当該第2
電磁切換弁36のポート92とポート94とを連通させる。こ
れによって、前記ポート92に送給された空気はポート9
4、通路96を介して前記切換弁62のパイロット圧導入側
へと送給され、この結果、前記切換弁62が駆動される。
前記切換弁62の駆動作用下に当該切換弁62のポート64と
ポート66が連通して前記ポート64に供給された空気が通
路68を介してエゼクタ16の流体導入用ポート70へと供給
される。この場合、前記空気をエゼクタ16内において流
体導入用ポート70から流体導出用ポート76側へと噴出さ
せることによってエゼクタ16に形成される室72内の圧力
が降下する。このため、当該エゼクタ16に通路75、フィ
ルタ20、真空発生ポート56を介して連通される真空パッ
ド等の真空吸引手段内部の空気が吸引されることにな
る。その際、前記真空吸引手段内部の空気に混入する塵
埃等の不純物はフィルタ20のフィルタ本体71によって除
去される。一方、前記流体導出用ポート76へと噴出され
た空気並びに前記吸引された空気は夫々通路80、84を介
してマニホールド14の第3孔部48へと導出される。前記
第3孔部48へと導出された空気は通路86を介して第3ポ
ート26から外方へと排出されるに至る。 このようにして前記真空発生ポート56に接続される真
空吸引手段内部の空気が吸引されて所望の真空圧を得る
ことが出来る。この場合、前記真空吸引手段内部の真空
圧が所定の値以上あるいはそれ以下になると、前記通路
75に通路74を介して連通する真空スイッチ53が作動し、
これによって第2電磁切換弁36等を駆動して前記真空発
生ポート56側の真空圧を、常時、所望の値となるよう調
整している。 以上のような作用により、所望の真空圧を得ている真
空吸引手段内部の圧力を大気圧に戻す際には、先ず、第
2電磁切換弁36を滅勢してポート94とポート88とを連通
させる。この結果、切換弁62のパイロット圧導入側へ供
給された空気が通路96、第2電磁切換弁36、通路86を介
して第3ポート26から外方へと排出される。これによっ
て、前記切換弁62が作動してポート64とポート66との連
通状態を遮断する。 次いで、前記バルブブロック12の第4ポートに接続さ
れる流体供給源を駆動し、当該流体供給源の駆動作用下
に前記第4ポート28に空気を供給する。当該第4ポート
28に供給された空気は通路98を介して第4孔部50に供給
されると共に第1電磁切換弁34のポート100に供給され
る。 そこで、前記第1電磁切換弁34を作動させてポート10
0とポート102とを連通する。これによって、前記空気は
前記ポート100からポート102へと送給され、次いで、通
路104を介して前記エゼクタ16に形成される室72へと送
給される。その際、前記室72に供給される空気の流量を
流量調整弁32によって所望の流量に調整することが可能
である。前記室72に供給された流体はこれに連通する通
路75から真空発生ポート56を介して前記真空吸引手段へ
と供給され、前記真空吸引手段内部の圧力を上昇させる
に至る。 以上のように、本実施例によれば、バルブブロック1
2、12aとマニホールド14とエゼクタ16、16aと検出部1
8、18aおよびフィルタ20、20aとにより、所望の流体用
通路を有する真空発生用ユニット10を構成している。こ
のため、当該真空発生用ユニット10の一方に流体の供給
源を接続し、他方に真空を利用する装置を接続するだけ
で前記装置に対して所望の真空圧を発生させることが出
来る。従って、各構成要素を組み立てるだけで管路が接
続され、この結果、従来技術のように管路接続作業が不
要となる。しかも、前記真空発生用ユニット10自体はこ
れを構成するバルブブロック12、12a、マニホールド1
4、エゼクタ16、16a、検出部18、18a、フィルタ20、20a
等の夫々の構成要素を一体的に組み込むために、相当に
小形化出来、従って、真空を発生させるための装置自体
が占有するスペースを狭小にすること可能である。 本発明に係る真空発生用ユニットの第1の実施例は以
上のようであり、次に第2の実施例について説明する。
なお、この第2の実施例において、前記第1実施例と同
一の参照符号は同一の構成要素を示すものとし、従っ
て、その詳細な説明を省略する。 本実施例に係る真空発生用ユニット110は、第5図並
びに第6図からも容易に諒解されるように、前記第1の
実施例に係る真空発生用ユニット10を構成する真空発生
源としてのエゼクタ16、16aを取り除いたものである。
すなわち、前記真空発生用ユニット110はバルブブロッ
ク12、12aとマニホールド14と検出部18、18aとフィルタ
20、20aとから一体的に構成されている。 従って、本実施例に係る真空発生ユニット110に形成
される流体用回路としては第1の実施例においてエゼク
タ16に形成されていた室72、通路80並びに当該通路80に
連通する通路84およびサイレンサ82が割愛される。 すなわち、第7図に示すように、バルブブロック12内
に配設される2ポート2位置型の切換弁62のポート66に
接続する通路68は通路75に連通する。この通路75はフィ
ルタ20を介して真空発生ポート56に連通している。 一方、第1電磁切換弁34のポート102に連通する通路1
04は前記通路75に連通する。なお、前記バルブブロック
12の第1ポート22には、図示を省略したが、真空ポンプ
が接続される。 以上のように構成される真空発生用ユニット110にお
いて真空状態を得るためには、先ず、バルブブロック12
の第2ポート24に空気を供給すると共に、第2電磁切換
弁36を作動して当該第2電磁切換弁36のポート92とポー
ト94とを連通させる。これによって前記第2ポート24に
供給された空気は、前記第1の実施例と同様に、通路9
0、第2電磁切換弁36および通路96を介して切換弁62へ
と導入されて切換弁62を駆動するに至る。前記切換弁62
の駆動作用下に当該切換弁62のポート64とポート66とが
連通する。 そこで、前記バルブブロック12の第1ポート22に接続
される図示しない真空ポンプを駆動する。前記真空ポン
プの駆動作用下に真空発生ポート56に接続される真空吸
引手段内部の空気はフィルタ20、通路75、通路68、切換
弁62、通路60を介して前記真空ポンプ側に吸引され、前
記真空発生ポート56に接続される当該真空吸引手段内部
を真空状態にすることが出来る。 このようにして真空状態を生起させ、この真空圧を前
記第1の実施例と同様にして調整すると共に大気圧に戻
すことが出来る。 この場合、本実施例によれば、前記第1の実施例に係
る真空発生用ユニット10と同様に真空発生用ユニット11
0を構成する各機器を連結するのみで所望の通路を形成
することが出来る。従って、管体接続作業を必要とする
ことなく真空発生ポート56に接続される真空吸引手段内
部に真空圧を発生させることが可能となる。しかも、第
1の実施例において採用している真空発生源としてのエ
ゼクタ16を取り除き、これに代替して真空ポンプを第1
ポート22に接続しているため、真空発生用ユニットを一
層小型化することが可能となる。 以上のように、本発明によれば、真空を得るために真
空フィルタ、電磁切換弁等の流体機器の中、少なくとも
2つを一体的になるように連結させて、その内部に所望
の流体用通路を形成する1つの真空発生用ユニットを構
成すると共に、前記真空発生用ユニットをマニホールド
を介して複数個並設出来るよう構成している。従って、
当該真空発生用ユニットを用いれば、真空を発生させる
ための回路の管路接続作業が極めて容易となり、しかも
前記回路自体として占有する空間を可及的に狭小にする
ことが可能となる効果を奏する。また、前記真空発生用
ユニット自体が小型化されているため、これを、例え
ば、ロボットのアーム先端等、狭小な場所にも取着出
来、しかも前述したようにユニットを複数個並設出来る
ため、当該ユニットの汎用性が向上するという効果も得
られる。 以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明した
が、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことは勿論である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum generating unit,
An ejector that is a component for obtaining a desired vacuum state,
The present invention relates to a unit for vacuum generation, in which a filter or the like is unitized and a plurality of fluid devices are connected so as to be integrated, thereby simplifying the configuration itself as much as possible and improving versatility. 2. Description of the Related Art In recent years, vacuum suction devices such as vacuum chucks and vacuum pads have been widely used for the purpose of factory automation and labor saving in order to perform gripping and transporting of articles using a vacuum state. In this case, in order to obtain a vacuum state, a vacuum source such as a vacuum pump or an ejector and various fluid devices such as an electromagnetic switching valve and a vacuum filter are generally connected by a tube. That is, the vacuum circuit connected in this manner is
Substantially, a vacuum source such as a vacuum pump or an ejector and fluid devices such as an electromagnetic switching valve and a vacuum filter are independently and separately disposed. Therefore, a pipe must be provided between each of the fluid devices, and this piping work is extremely complicated. Further, it is pointed out that when the fluid devices are individually arranged, the space occupied by the vacuum circuit itself increases, and a narrow space cannot be used effectively. In the vacuum circuit configured as described above,
When the maintenance, repair, or adjustment work of the fluid device is to be performed, it is often necessary to remove the pipe, perform the work, and then perform the pipe work again. For this reason, a considerable amount of time is spent on the above-mentioned work, and as a result, the actual production process and the like are ultimately hindered. The present invention has been made in order to overcome the above-mentioned disadvantages, and substantially includes each of components such as a vacuum generation source, an electromagnetic switching valve, an air supply source, and a flow control valve required to obtain a vacuum state. Are configured so as to have substantially the same shape, at least two are connected so as to be integrated under an arbitrary selection action, and if necessary, a plurality of the fluid devices integrally connected are connected via a manifold. It is configured to be able to be installed side by side to reduce piping work as much as possible, thereby making it possible to easily and efficiently perform maintenance management and various adjustment works of the fluid equipment and obtain vacuum. To provide a vacuum generating unit capable of reducing the space occupied by the circuit itself. In order to achieve the above object, the present invention is a unit that constitutes a circuit for obtaining a desired vacuum state inside a vacuum suction unit, and includes a valve block, an ejector, a detection unit, and the like necessary for the circuit. A first unit configured to sandwich the ejector between the valve block and the detection unit in the fluid device including the valve block and the detection unit except for the ejector in the first unit; And a second unit configured so as to be integrally connected to each other, and a fluid passage communicating with each other is formed inside a fluid device including the valve block, the ejector, the detecting means, and the like. And Next, a preferred embodiment of the vacuum generating unit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 and 2, reference numeral 10 denotes a vacuum generating unit according to the present invention. The vacuum generating unit 10 basically includes a valve block 12, 12a, a manifold 14, an ejector 16, 16a. , Detecting sections 18, 18a and filters 20, 20a. These are not shown, but can be integrally formed by studs or the like. In this case, the valve blocks 12, 12
a, ejectors 16, 16a, detectors 18, 18a, filters 20, 20a
Are substantially identical to each other. Therefore, one of them will be described in detail, and the other will be denoted by the reference numeral a indicating the same component, and the detailed description thereof will be omitted. The valve block 12 has a two-port 2
A position type switching valve is provided. In addition, a first port 22 communicating with one of the ports of the switching valve is defined on one side surface of the valve block 12. Above the first port 22, a second port 24, a third port 26, and a fourth port 28 are provided. Further, the second
A screw hole 30 is formed in the vicinity of the port 24 to the fourth port 28, and a valve body substantially constituting the flow control valve 32 is screwed into the screw hole 30. A first electromagnetic switching valve is provided on the upper surface of the valve block 12.
34 and a second electromagnetic switching valve 36 are provided. In this case, each port of each of the electromagnetic switching valves 34 and 36 is configured to communicate with a passage described later defined in the valve block 12. On the other hand, the other side surface of the valve block 12 is disposed so that one side surface of the manifold 14 is in contact with the other side surface portion. The manifold 14 substantially includes a manifold base 38 in contact with the valve block 12, and a pair of end plates 40 and 42 attached to both end surfaces of the manifold base 38. In this case, the manifold
A first hole 44, a second hole 46, a fourth hole 48, and a fourth hole 50 penetrating the end plates 40, 42 and the manifold base 38 are respectively provided on the 14 at predetermined intervals. It is defined. The ejector 16 is attached to the other side surface of the manifold 14, and a detecting unit 18 for detecting a vacuum state in the ejector 16 is connected to the ejector 16. In this case, the detection unit 18 is a housing 52 having a bent shape.
And a vacuum switch 53 inserted into the housing 52 from above. The vacuum switch 53 functions to adjust the vacuum pressure to a predetermined value by urging the switching valve, as described later. The end surface 54 of the housing 52 defines a vacuum generating port 56 (see FIG. 2).
Further, the filter 20 is mounted on a bent portion of the housing 52 constituting the detection unit 18. A filter body (to be described later) for substantially removing impurities such as dust is provided inside the filter 20, and the upper part thereof is closed by a plug member 58. Therefore, by removing the plug member 58, it is possible to replace the filter main body provided in the filter 20. Next, a fluid circuit formed in the vacuum generating unit 10 will be described. As shown in FIG. 3 and FIG.
One end of a passage 60 communicates with a first port 22 formed on one side surface of the first side, and the other end of the passage 60 communicates with a first hole 44 defined in the manifold 14. The passage 60 branches off on the way, and is connected to a port 64 communicating with a first chamber 63 constituting a two-port two-position switching valve 62 provided in the valve block 12. One end of a passage 68 formed in the manifold 14 is connected to a port 66 communicating with a second chamber 65 defined by the switching valve 62. The other end of the passage 68 communicates with a fluid introduction port 70 defined in the ejector 16. The fluid introduction port 70 communicates with the ejector body 73. A chamber 72 is provided in the ejector 16. The chamber 72 communicates with a passage 75 defined by the detection unit 18. The passage 75 communicates with the vacuum generation port 56 via the detection unit 18 and the filter body 71 of the filter 20. further,
A vacuum switch 53 is connected to the passage 75 between the ejector 16 and the filter 20 via a passage 74 (see FIG. 4). A passage 80 is connected to the fluid outlet port 76 of the ejector 16, and an end of the passage 80 reaches a silencer 82.
In this case, the passage 80 communicates with the third hole 48 defined in the manifold 14 via the passage 84 on the way. The third hole 48 is connected to a passage 86 communicating with the third port 26 defined in the valve block 12.
The passage 86 branches on the way and communicates with the port 88 of the second electromagnetic switching valve 36 (see FIG. 4). On the other hand, a second port defined in the valve block 12
One end of a passage 90 communicates with 24, the other end of the passage 90 communicates with a second hole 46 formed in the manifold 14, and the passage 90 branches on the way to form the second electromagnetic wave. Connected to port 92 of switching valve 36. In this case, the second
The port 94 of the solenoid-operated directional control valve 36 is a passage shown by a broken line in FIG.
The two-port two-position switching valve 62 is in communication with the pilot pressure introduction side of the switching valve 62 via 96. Further, a fourth port 28 formed in the valve block 12 communicates with a fourth hole 50 defined in the manifold 14 via a passage 98. The passage 98 branches on the way and is connected to the port 100 of the first electromagnetic switching valve 34 (see FIG. 4). A passage 104 is provided in a port 102 of the first electromagnetic switching valve 34.
The other end of the passage 104 is connected to the chamber 72 formed in the ejector 16 by bending a plurality of portions through the flow rate adjusting portion 32. The first port defined in the valve block 12
A fluid supply source (not shown) is connected to each of the 22, the second port 24, and the fourth port 28.
For example, vacuum suction means such as a vacuum pad is connected. In this case, it is not necessary to connect a fluid supply source to the first port 22a, the second port 24a, and the fourth port 28a of the other valve block 12a. That is, the valve block
On the 12a side, a pressure fluid is supplied via a manifold 14 from a fluid supply source connected to one valve block 12. Therefore, the valve block 12
The first port 22a, the second port 24, and the fourth port 28a on the a side may be airtightly closed by a plug member or the like. Another vacuum generating unit can be provided in parallel with the vacuum generating unit 10 configured as described above. in this case,
It is easy to connect the first hole 44 to the fourth hole 50 of the manifold 14 constituting the vacuum generating unit 10 so that the respective holes of the manifold constituting another vacuum generating unit communicate with each other. Will be appreciated. The vacuum generating unit according to the present invention is basically configured as described above. Next, its operation and effects will be described. In addition, the valve block 12a, the ejector 16a,
a, filter 20a side is one valve block 12, ejector
Since the functions and effects are substantially the same as those of the detection unit 16, the detection unit 18, and the filter 20, the description is omitted here. First, in FIG. 4, a pressurized fluid, for example, air is supplied to a first port 22 and a second port 24 defined in the valve block 12 from a fluid supply source (not shown). The first
The air supplied to the port 22 is supplied to the port 64 of the switching valve 62 via the passage 60. At the same time, the air supplied to the second port 24 is supplied to the port 92 of the second electromagnetic switching valve 36 via the passage 90. Then, the second electromagnetic switching valve 36 is operated to activate the second
The port 92 and the port 94 of the electromagnetic switching valve 36 are communicated. As a result, the air supplied to the port 92 is changed to the port 9
4. It is fed to the pilot pressure introduction side of the switching valve 62 via the passage 96, and as a result, the switching valve 62 is driven.
Under the operation of the switching valve 62, the port 64 and the port 66 of the switching valve 62 communicate with each other, and the air supplied to the port 64 is supplied to the fluid introduction port 70 of the ejector 16 through the passage 68. . In this case, the pressure in the chamber 72 formed in the ejector 16 drops by ejecting the air from the fluid introduction port 70 to the fluid outlet port 76 side in the ejector 16. For this reason, the air inside the vacuum suction means such as a vacuum pad or the like that is connected to the ejector 16 via the passage 75, the filter 20, and the vacuum generation port 56 is sucked. At this time, impurities such as dust mixed into the air inside the vacuum suction means are removed by the filter body 71 of the filter 20. On the other hand, the air ejected to the fluid outlet port 76 and the sucked air are led out to the third hole 48 of the manifold 14 through the passages 80 and 84, respectively. The air led to the third hole 48 is discharged to the outside from the third port 26 through the passage 86. In this way, the air inside the vacuum suction means connected to the vacuum generation port 56 is sucked, and a desired vacuum pressure can be obtained. In this case, when the vacuum pressure inside the vacuum suction means becomes equal to or higher than a predetermined value or lower, the passage is closed.
A vacuum switch 53 communicating with 75 via a passage 74 is actuated,
Thus, the second electromagnetic switching valve 36 and the like are driven to constantly adjust the vacuum pressure on the vacuum generating port 56 side to a desired value. When the pressure inside the vacuum suction means for obtaining the desired vacuum pressure is returned to the atmospheric pressure by the above-described operation, first, the second electromagnetic switching valve 36 is deactivated and the ports 94 and 88 are connected. Communicate. As a result, the air supplied to the pilot pressure introduction side of the switching valve 62 is discharged to the outside from the third port 26 via the passage 96, the second electromagnetic switching valve 36, and the passage 86. As a result, the switching valve 62 operates to cut off the communication between the port 64 and the port 66. Next, a fluid supply source connected to the fourth port of the valve block 12 is driven, and air is supplied to the fourth port 28 under the driving action of the fluid supply source. The fourth port
The air supplied to 28 is supplied to the fourth hole 50 through the passage 98 and to the port 100 of the first electromagnetic switching valve 34. Therefore, the first solenoid-operated switching valve 34 is operated to
0 and the port 102 are communicated. Thereby, the air is supplied from the port 100 to the port 102, and then supplied to the chamber 72 formed in the ejector 16 through the passage 104. At this time, the flow rate of the air supplied to the chamber 72 can be adjusted to a desired flow rate by the flow control valve 32. The fluid supplied to the chamber 72 is supplied from the passage 75 communicating with the chamber 72 to the vacuum suction means via the vacuum generation port 56 to increase the pressure inside the vacuum suction means. As described above, according to the present embodiment, the valve block 1
2, 12a, manifold 14, ejector 16, 16a and detector 1
The vacuum generating unit 10 having a desired fluid passage is constituted by the 8, 18a and the filters 20, 20a. For this reason, a desired vacuum pressure can be generated for the vacuum generating unit 10 only by connecting a fluid supply source to one of the units and connecting a device using vacuum to the other unit. Therefore, the pipes are connected only by assembling the respective components, and as a result, the pipe connection work as in the prior art is not required. Moreover, the vacuum generating unit 10 itself includes the valve blocks 12, 12a,
4, ejectors 16, 16a, detectors 18, 18a, filters 20, 20a
In order to incorporate the respective components integrally, the size of the device for generating a vacuum can be considerably reduced, and thus the space occupied by the device for generating a vacuum can be reduced. The first embodiment of the vacuum generating unit according to the present invention is as described above. Next, a second embodiment will be described.
In the second embodiment, the same reference numerals as those in the first embodiment denote the same components, and a detailed description thereof will be omitted. As can be easily understood from FIGS. 5 and 6, the vacuum generating unit 110 according to the present embodiment serves as a vacuum generating source constituting the vacuum generating unit 10 according to the first embodiment. The ejectors 16 and 16a are removed.
That is, the vacuum generating unit 110 includes the valve blocks 12, 12a, the manifold 14, the detecting units 18, 18a, and the filter.
20 and 20a. Therefore, the fluid circuit formed in the vacuum generating unit 110 according to the present embodiment includes the chamber 72, the passage 80 formed in the ejector 16 in the first embodiment, the passage 84 communicating with the passage 80, and the silencer 82. Is omitted. That is, as shown in FIG. 7, the passage 68 connected to the port 66 of the two-port two-position switching valve 62 provided in the valve block 12 communicates with the passage 75. The passage 75 communicates with the vacuum generating port 56 via the filter 20. On the other hand, the passage 1 communicating with the port 102 of the first electromagnetic switching valve 34
04 communicates with the passage 75. The valve block
Although not shown, a vacuum pump is connected to the first port 22. In order to obtain a vacuum state in the vacuum generating unit 110 configured as described above, first, the valve block 12
In addition to supplying air to the second port 24, the second solenoid-operated directional control valve 36 is operated to make the port 92 and the port 94 of the second solenoid-operated directional control valve 36 communicate with each other. As a result, the air supplied to the second port 24 is supplied to the passage 9 as in the first embodiment.
0, which is introduced into the switching valve 62 via the second electromagnetic switching valve 36 and the passage 96 to drive the switching valve 62. The switching valve 62
The port 64 and the port 66 of the switching valve 62 communicate with each other under the driving action of. Therefore, a vacuum pump (not shown) connected to the first port 22 of the valve block 12 is driven. The air inside the vacuum suction means connected to the vacuum generation port 56 under the operation of the vacuum pump is sucked toward the vacuum pump through the filter 20, the passage 75, the passage 68, the switching valve 62, and the passage 60, The inside of the vacuum suction means connected to the vacuum generation port 56 can be brought into a vacuum state. In this way, a vacuum state is generated, and the vacuum pressure can be adjusted and returned to the atmospheric pressure in the same manner as in the first embodiment. In this case, according to this embodiment, the vacuum generation unit 11 is similar to the vacuum generation unit 10 according to the first embodiment.
A desired passage can be formed only by connecting the respective devices constituting the “0”. Therefore, it is possible to generate a vacuum pressure inside the vacuum suction means connected to the vacuum generation port 56 without the need for a pipe connection operation. In addition, the ejector 16 as a vacuum source used in the first embodiment is removed, and a vacuum pump is used instead of the ejector 16 in the first embodiment.
Because it is connected to the port 22, it is possible to further reduce the size of the vacuum generating unit. As described above, according to the present invention, in order to obtain a vacuum, at least two fluid devices such as a vacuum filter and an electromagnetic switching valve are integrally connected to each other, and a desired fluid One vacuum generating unit that forms the passage is configured, and a plurality of the vacuum generating units can be arranged side by side via a manifold. Therefore,
The use of the vacuum generating unit makes it very easy to connect the pipes of a circuit for generating a vacuum, and furthermore, it is possible to reduce the space occupied by the circuit itself as much as possible. . Further, since the vacuum generating unit itself is miniaturized, it can be attached to a narrow place, for example, the tip of a robot arm, and a plurality of units can be arranged side by side as described above. The effect that the versatility of the unit is improved is also obtained. As described above, the present invention has been described with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to these embodiments, and various improvements and design changes can be made without departing from the gist of the present invention. Of course.

【図面の簡単な説明】 第1図は本発明に係る真空発生用ユニットの斜視図、 第2図は本発明に係る真空発生用ユニットの側面図、 第3図は本発明に係る真空発生用ユニットの一部省略断
面説明図、 第4図は本発明に係る真空発生用ユニットに形成される
流体用通路を説明する回路図、 第5図は本発明に係る真空発生用ユニットの他の実施例
を示す斜視図、 第6図は第5図に示す真空発生用ユニットの側面図、 第7図は第5図並びに第6図に示す真空発生用ユニット
に形成される流体用通路を説明する回路図である。 10……真空発生用ユニット 12、12a……バルブブロック 14……マニホールド、16、16a……エゼクタ 18、18a……検出部、20、20a……フィルタ 32……流量調整弁、34、36……電磁切換弁 56……真空発生ポート、62……切換弁
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a vacuum generating unit according to the present invention, FIG. 2 is a side view of the vacuum generating unit according to the present invention, and FIG. 3 is a vacuum generating unit according to the present invention. 4 is a circuit diagram illustrating a fluid passage formed in a vacuum generating unit according to the present invention. FIG. 5 is another embodiment of a vacuum generating unit according to the present invention. FIG. 6 is a side view of the vacuum generating unit shown in FIG. 5, FIG. 7 is a diagram illustrating a fluid passage formed in the vacuum generating unit shown in FIG. 5 and FIG. It is a circuit diagram. 10 Vacuum generating units 12 and 12a Valve block 14 Manifolds 16 and 16a Ejectors 18 and 18a Detectors 20, 20a Filter 32 Flow control valves 34 and 36 … Electromagnetic switching valve 56 …… Vacuum generation port, 62 …… Switching valve

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久々湊 哲夫 草加市稲荷6−19−1 エスエムシー株 式会社草加工場内 (56)参考文献 実開 昭61−200500(JP,U)   ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page    (72) Inventor Tetsuo Kukuminato               6-19-1 Inari, Soka-shi SMC strain               Shikisha Grass Processing Plant                (56) References Japanese Utility Model Showa 61-200500 (JP, U)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 1.真空吸引手段の内部に所望の真空状態を得るための
回路を構成するユニットであって、 前記回路に必要なバルブブロック、エゼクタおよび検出
手段等を含む流体機器の中、前記バルブブロックと前記
検出手段との間に前記エゼクタを挟持するように構成し
た第1ユニットと、前記第1ユニットの中、前記エゼク
タを除いた前記バルブブロックと前記検出手段とを一体
的に連結するように構成した第2ユニットとを選択可能
に設け、 前記バルブブロック、エゼクタおよび検出手段等を含む
流体機器の内部に相互に連通する流体用通路を形成する
ことを特徴とする真空発生用ユニット。 2.請求項1記載のユニットにおいて、流体用通路は、
スタッド等の連結手段を介して一体的に結合される流体
機器並びにエゼクタの所定部位に夫々連結される相手方
通路と対峙して形成されることを特徴とする真空発生用
ユニット。 3.請求項1または2記載のユニットにおいて、当該真
空発生用ユニットは、マニホールドを介して複数個連設
可能に形成されることを特徴とする真空発生用ユニッ
ト。
(57) [Claims] A unit constituting a circuit for obtaining a desired vacuum state inside a vacuum suction unit, wherein the valve block and the detection unit are included in a fluid device including a valve block, an ejector, a detection unit, and the like necessary for the circuit. A first unit configured to sandwich the ejector between the first unit and a second unit configured to integrally connect the valve block and the detection unit in the first unit excluding the ejector. A unit for fluid generation including a valve block, an ejector, a detecting means and the like, and a fluid passage communicating with each other inside the fluid device including the valve block, the ejector and the detecting means. 2. 2. The unit of claim 1, wherein the fluid passage comprises:
A vacuum generating unit, which is formed so as to face a fluid device integrally connected via a connecting means such as a stud and a counterpart passage connected to a predetermined portion of an ejector. 3. 3. The vacuum generating unit according to claim 1, wherein a plurality of the vacuum generating units are formed so as to be continuously connected via a manifold.
JP61302290A 1986-12-18 1986-12-18 Vacuum generation unit Expired - Lifetime JP2862535B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61302290A JP2862535B2 (en) 1986-12-18 1986-12-18 Vacuum generation unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61302290A JP2862535B2 (en) 1986-12-18 1986-12-18 Vacuum generation unit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63154900A JPS63154900A (en) 1988-06-28
JP2862535B2 true JP2862535B2 (en) 1999-03-03

Family

ID=17907212

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61302290A Expired - Lifetime JP2862535B2 (en) 1986-12-18 1986-12-18 Vacuum generation unit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2862535B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2558918Y2 (en) * 1991-06-26 1998-01-14 エスエムシー株式会社 Vacuum supply unit
DE69214976T2 (en) * 1991-02-22 1997-05-28 Smc Kk Method of processing vacuum pressure information in a vacuum unit for failure detection
US5320497A (en) * 1991-06-26 1994-06-14 Smc Kabushiki Kaisha Vacuum feeding apparatus
DE69232566T3 (en) * 1991-09-10 2008-11-06 Smc K.K. Fluid pressure device
EP0603395B1 (en) * 1991-09-10 1999-05-06 Smc Kabushiki Kaisha Fluid pressure apparatus
US5556259A (en) * 1995-06-06 1996-09-17 Fleck Controls, Inc. Vortex generating fluid injector assembly

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0716080Y2 (en) * 1985-06-06 1995-04-12 エスエムシ−株式会社 Ejector device

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63154900A (en) 1988-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5244242A (en) Manipulator with a suction gripper and method for handling and testing fluid-passing components
EP0833239A3 (en) Pneumatic pressure relay
US5617338A (en) Method of and system for electrically processing vacuum pressure information suitable for use in vacuum unit
EP0610501B2 (en) Fluid pressure device
JP2862535B2 (en) Vacuum generation unit
JPH024799B2 (en)
JP2005262351A (en) Vacuum suction unit
US4960364A (en) Vacuum ejector device
CN100564205C (en) Vacuum attraction system and control method thereof
US3465772A (en) Fluid amplifier system
US6155795A (en) Ejector
JPH1151226A (en) Process gas supply unit
JP3332391B2 (en) Vacuum supply device
JP2000515227A (en) Decompression device
CN219102208U (en) Multi-channel air inlet vacuum generating module
USD426615S (en) Supply and exhaust block for manifold solenoid valve
JP3220482B2 (en) Vacuum supply unit with suction pad
CN219549080U (en) Positive and negative pressure multipath combined switching device
ATE368600T1 (en) COMPRESSED AIR VALVE FOR BRAKE SYSTEMS
JPH0716080Y2 (en) Ejector device
JPH0121200Y2 (en)
US20220372997A1 (en) Fluid control system
JPH0441280Y2 (en)
JPH0346240Y2 (en)
JPH11264478A (en) Integrated pneumatic valve for thermoforming machine