JP2859468B2 - Magnetic head and method of manufacturing magnetic head - Google Patents

Magnetic head and method of manufacturing magnetic head

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JP2859468B2
JP2859468B2 JP3168324A JP16832491A JP2859468B2 JP 2859468 B2 JP2859468 B2 JP 2859468B2 JP 3168324 A JP3168324 A JP 3168324A JP 16832491 A JP16832491 A JP 16832491A JP 2859468 B2 JP2859468 B2 JP 2859468B2
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magnetic
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等の磁気
媒体に対して相対移動しながら情報の記録・再生を行う
磁気ヘッドとその製造方法に係り、特に、磁気媒体に対
する磁気ヘッドの対向面を湾曲にして接触面積を少なく
した磁気ヘッドとその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for recording / reproducing information while moving relative to a magnetic medium such as a magnetic disk, and a method of manufacturing the same. And a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、コンピュータ等の磁気記録装置
の記録媒体であるハードディスクに情報の記録・再生を
行うための磁気ヘッド1は、例えば、図6のaと図6の
bに示すような支持装置2によって、弾性を有するアー
ムの先端に取り付けられて磁気媒体3の上に吊持されて
いる。そして、磁気媒体3を回転させることにより、磁
気ヘッド1を磁気媒体3より微小の隙間だけ浮上させる
浮動式の磁気ヘッドや、磁気ヘッド1を磁気媒体から浮
上させない接触式の磁気ヘッドにより、磁気媒体3の表
面を走査させて、記録または再生を行うようになってい
る。
2. Description of the Related Art In general, a magnetic head 1 for recording / reproducing information on / from a hard disk which is a recording medium of a magnetic recording apparatus such as a computer has a support as shown in FIGS. 6A and 6B. The apparatus 2 is attached to the tip of an elastic arm and suspended above the magnetic medium 3. Then, by rotating the magnetic medium 3, a floating magnetic head that floats the magnetic head 1 by a smaller gap than the magnetic medium 3 or a contact magnetic head that does not float the magnetic head 1 from the magnetic medium 3 The recording or reproduction is performed by scanning the surface of No.3.

【0003】この種の磁気ヘッドの一例として小型の2
レールモノリシック型のフェライトヘッドが知られてい
る。図7に示すように、このフェライトヘッド4は、熱
間静水圧プレス処理をした多結晶Mn−Znフェライト
等の焼結フェライトからなる高密度フェライトで形成し
た略矩形のスライダ5を備えている。このスライダ5の
磁気媒体に対向する対向面であるABS(Air Be
aringSurface)面6に、フェライトヘッド
4を磁気記録媒体3に対して浮上させるための負圧溝7
を磁気媒体に対する相対移動方向と平行に凹設して、2
本のレール8a,8bが形成されている。そして、1本
のレール8aと高密度フェライトで形成した略コの字型
のヘッドコア9が、適宜なギャップ10を介してガラス
11により接合されている。そして、このヘッドコア9
とスライダ5のレール8aの端部には、両者の幅方向中
心部にトラック幅に対応した狭幅の記録・再生部13が
両者を削ることにより形成されており、この削り取られ
た部分に補強ガラス12,12を接合して、記録・再生
部13が補強されている。
As an example of this type of magnetic head, a small 2
Rail monolithic ferrite heads are known. As shown in FIG. 7, the ferrite head 4 includes a substantially rectangular slider 5 formed of high-density ferrite made of sintered ferrite such as polycrystalline Mn-Zn ferrite subjected to hot isostatic pressing. ABS (Air Be), which is a facing surface of the slider 5 facing the magnetic medium.
a negative pressure groove 7 for floating the ferrite head 4 with respect to the magnetic recording medium 3 on the surface 6 of the magnetic recording medium 3.
Are provided in parallel with the direction of relative movement with respect to the magnetic medium, and 2
Book rails 8a and 8b are formed. One rail 8 a and a substantially U-shaped head core 9 formed of high-density ferrite are joined by a glass 11 via an appropriate gap 10. And this head core 9
A narrow recording / reproducing section 13 corresponding to the track width is formed at the center of the rail 8a of the slider 5 and the end of the rail 8a by shaving both parts. The recording / reproducing section 13 is reinforced by joining the glasses 12, 12.

【0004】従来、この種のフェライトヘッド4におい
ては、ABS面6と磁気媒体に対向しない面である底面
14とは、互いに平行状態とされ、かつ、それぞれ平面
状に形成されているのが一般的である。
Conventionally, in this type of ferrite head 4, the ABS surface 6 and the bottom surface 14, which is not facing the magnetic medium, are generally parallel to each other and formed in a plane. It is a target.

【0005】このフェライトヘッド4を図6のaと図6
のbに示す磁気ヘッド1に適用した場合、ABS面6
は、磁気媒体3と静止状態で接触されているときに、吸
着により密着することとなり、磁気媒体3の回転起動時
あるいは終了時に摩擦抵抗が大きくなり、磁気媒体3に
傷を付けたり、磁気媒体3を回転させるモータのトルク
を増加させたりしていた。
The ferrite head 4 is shown in FIGS.
When applied to the magnetic head 1 shown in FIG.
When the magnetic medium 3 is in contact with the magnetic medium 3 in a stationary state, the magnetic medium 3 adheres to the magnetic medium 3 by suction, and the frictional resistance increases when the rotation of the magnetic medium 3 starts or ends. For example, the torque of the motor for rotating the motor 3 was increased.

【0006】そこで、CSS(コンタクト・スタート・
ストップ)特性および摺動特性を向上させるためにフェ
ライトヘッド4のABS面6をクラウン形状として、前
記クラウン形状の頂点を磁気媒体3と接触させるように
した磁気ヘッドが、例えば、特開平2−50307号公
報に提案されている。
Therefore, CSS (contact start,
A magnetic head in which the ABS surface 6 of the ferrite head 4 has a crown shape in order to improve the stop and sliding characteristics and the apex of the crown shape is brought into contact with the magnetic medium 3 is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-50307. No. 1993.

【0007】前記ABS面6をクラウン形状に形成する
製造方法としては、ABS面6に形成する所望の曲率と
合致させたR加工を、ラッピングおよびポリッシング加
工に使用する定盤に施すことによる加工方法や、ABS
面6を所望の曲率に従わせて動かしながらラッピングお
よびポリッシング加工をする加工方法、そして、フェラ
イトヘッド4に治具等で強制的に外圧を加えてラッピン
グおよびポリッシング加工をして、その変形を利用する
等の方法がある。
[0007] As a manufacturing method for forming the ABS 6 in a crown shape, a processing method in which an R process matched with a desired curvature to be formed on the ABS 6 is applied to a surface plate used for lapping and polishing processes. And ABS
A processing method of performing lapping and polishing while moving the surface 6 in accordance with a desired curvature, and utilizing the deformation by lapping and polishing by forcibly applying an external pressure to the ferrite head 4 with a jig or the like. There is a method such as doing.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来のABS面をクラウン形状に形成する製造方法に
おいては、クラウン形状の加工精度が不十分であるとと
もに、クラウン形状の加工時に段取り時間や加工時間が
多く、さらに、管理項目が多く手間を食い、歩留まりが
悪い等の問題があった。従って、従来の磁気ヘッドにお
いては、ABS面のクラウン形状の信頼性が劣るという
問題点があった。
However, in the above-mentioned conventional manufacturing method for forming the ABS surface in a crown shape, the processing accuracy of the crown shape is insufficient, and the setup time and the processing time during the processing of the crown shape are insufficient. In addition, there are many problems, such as a lot of management items, a lot of trouble, and a low yield. Therefore, the conventional magnetic head has a problem that the reliability of the crown shape on the ABS is inferior.

【0009】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、前述した従来のものにおける問題点を克服し、
信頼性の優れたABS面のクラウン形状を有する磁気ヘ
ッドを提供するとともに、そのABS面を、簡単な方法
で精度良く、信頼性の極めて優れたクラウン形状に形成
することができ、しかも当該クラウン形状をABS面の
磁気媒体に対する相対移動方向と平行な方向と直角方向
との一方および両方に選択して形成することもできる磁
気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的とする。
[0009] The present invention has been made in view of these points, and overcomes the above-mentioned problems in the conventional art.
A magnetic head having a highly reliable ABS surface crown shape is provided, and the ABS surface can be formed in a highly reliable and extremely reliable crown shape by a simple method. On the ABS
Direction parallel to and perpendicular to the direction of movement relative to the magnetic medium
The magnet can also be formed by selecting one or both of
It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a magnetic head and a magnetic head.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため請求項1に記載の本発明の磁気ヘッドは、トワイマ
ン効果による残留応力により、ABS面の少なくとも磁
気媒体に対する相対移動方向と平行な方向がクラウン形
状に形成されたスライダを有することを特徴としてい
る。
According to the present invention, there is provided a magnetic head comprising:
The slider is characterized in that the slider has a crown formed at least in the direction parallel to the relative movement direction of the ABS surface with respect to the magnetic medium due to the residual stress caused by the magnetic effect .

【0011】また、請求項2に記載の本発明の磁気ヘッ
ドの製造方法は、磁気ヘッドのABS面と底面を平行な
平面に加工した後、前記ABS面と底面の一方を前記加
工面と異なる面粗度に加工を施し、残留応力により、前
記ABS面の少なくとも磁気媒体に対する相対移動方向
と平行な方向をクラウン形状とすることを特徴としてい
る。
According to a second aspect of the present invention, in the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, after the ABS surface and the bottom surface of the magnetic head are processed into a plane parallel to the magnetic head, one of the ABS surface and the bottom surface is added to the magnetic head.
The surface is processed to have a roughness different from that of the machined surface, and at least a direction parallel to a direction of relative movement of the ABS with respect to the magnetic medium is formed into a crown shape by residual stress.

【0012】[0012]

【作用】請求項1に記載の本発明の磁気ヘッドによれ
ば、トワイマン効果による残留応力により、磁気媒体と
相対移動する磁気ヘッドのABS面の少なくとも前記相
対移動方向と平行な方向(以下、縦方向と称する)にク
ラウン形状が形成されているので、ABS面は、磁気媒
体と静止状態で接触されているときに、両者の接触面積
が少なく、吸着による密着を確実に防止して、従来例に
おいてみられた磁気媒体の回転起動時あるいは終了時に
摩擦抵抗が大きくなり、磁気媒体に傷を付けたり、磁気
媒体を回転させるモータのトルクを増加させたりする悪
影響を確実に防止することができる請求項2に記載の
本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、磁気ヘッドの
ABS面と底面との面粗度を異なるように加工を施し、
トワイマン効果による残留応力により、磁気ヘッドのA
BS面の少なくとも縦方向にクラウン形状を形成するこ
とができ、従って、一般的な加工方法で簡単に形成する
ことができ、ABS面にクラウン形状を精度良く確実に
形成することができる。
According to the magnetic head of the present invention, due to the residual stress due to the Twyman effect , the ABS of the magnetic head moving relative to the magnetic medium at least in a direction parallel to the relative movement direction (hereinafter referred to as a vertical direction). (Referred to as the direction), the ABS surface has a small contact area between the ABS surface and the magnetic medium when it is in a stationary state, and the ABS surface is reliably prevented from sticking by suction. When the rotation of the magnetic medium starts or ends, the frictional resistance increases, and the adverse effects of damaging the magnetic medium and increasing the torque of the motor that rotates the magnetic medium can be reliably prevented . According to the method of manufacturing a magnetic head according to the second aspect of the present invention ,
Processing so that the surface roughness of the ABS surface and the bottom surface are different,
Due to the residual stress due to the Twyman effect, the magnetic head A
A crown shape must be formed at least in the longitudinal direction of the BS surface .
Therefore, it can be easily formed by a general processing method, and the crown shape can be accurately and reliably formed on the ABS surface.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参考にして説
明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0014】図1は本発明に係る磁気ヘッドの一実施例
を示し、前述した従来例と同一部分については、図面中
に同一の符号を付してある。
FIG. 1 shows an embodiment of a magnetic head according to the present invention, and the same parts as those in the above-described conventional example are denoted by the same reference numerals in the drawings.

【0015】本実施例は、小型の2レールモノリシック
型のフェライトヘッドに適用したものであり、図1に示
すように、フェライトヘッド4の磁気媒体3に対向する
ABS面6が、少なくとも縦方向にクラウン形状となる
ように形成されている。
The present embodiment is applied to a small, two-rail monolithic ferrite head. As shown in FIG. 1, the ABS surface 6 of the ferrite head 4 facing the magnetic medium 3 is at least vertically extended. It is formed so as to have a crown shape.

【0016】つぎに、本実施例のフェライトヘッド4の
製造方法を図2のaおよびbにより説明する。図2は説
明の都合上、ABS面を上向きにしてある。
Next, a method of manufacturing the ferrite head 4 according to this embodiment will be described with reference to FIGS. In FIG. 2, the ABS is turned upward for convenience of explanation.

【0017】図2のaは、ABS面6をクラウン形状に
加工する直前まで加工された、加工途中の磁気ヘッドを
示しており、スライダ5の素材となる長尺なスライダブ
ロックと、ヘッドコア9の素材となる長尺なコアブロッ
クとをガラス11を持ってギャップ10を形成しながら
接合し、その長尺物の上下面を一体的に研磨して所定厚
さに成形した後に、各スライダ5の上面に負圧溝7を凹
状に形成して2本のレール8a,8bを形成するととも
にコアブロックの不要部分を切断して1本のレール8a
にギャップ10を介して対向するヘッドコア9を形成
し、この長尺物より磁気ヘッドの単体を切り出した状態
を示している。
FIG. 2A shows a magnetic head in the process of being machined until immediately before machining the ABS 6 into a crown shape. A long slider block serving as a material for the slider 5 and a head core 9 are shown. A long core block as a material is joined while holding a glass 11 to form a gap 10, and the upper and lower surfaces of the long object are integrally polished and formed to a predetermined thickness. Negative pressure grooves 7 are formed in the upper surface to form two rails 8a and 8b, and unnecessary portions of the core block are cut to form one rail 8a.
2 shows a state in which a head core 9 opposed to the head core 9 via a gap 10 is formed, and a single magnetic head is cut out from this long object.

【0018】その後、図2のaに示すようにABS面6
とスライダ5の低面14とが平行状態にある加工途中の
磁気ヘッドに対して、低面14をダイヤモンドパウダに
よりラッピングして鏡面加工をすることにより面粗度を
向上させるとともに、図2のbに示すように、トワイマ
ン効果により、ABS面6にクラウン形状を形成する。
その後、ヘッドコア9およびスライダ5のクラウン形状
に形成した2本のレール15a、15bの角隅部に所定
の面取り加工を施す。そして、さらに必要とされる適宜
の仕上げ加工を施して図2のbおよび図1に示すような
小型の2レールモノリシック型のフェライトヘッド4が
形成される。
Thereafter, as shown in FIG.
The surface roughness is improved by lapping the low surface 14 with diamond powder and mirror-finish the magnetic head in the process of processing in which the low surface 14 of the slider 5 and the low surface 14 of the slider 5 are in parallel with each other. As shown in (1), a crown shape is formed on the ABS 6 by the Twyman effect.
Thereafter, the corners of the two rails 15a and 15b formed in the crown shape of the head core 9 and the slider 5 are subjected to a predetermined chamfering process. Then, a necessary finishing process is further performed to form a small two-rail monolithic ferrite head 4 as shown in FIG. 2B and FIG.

【0019】つぎに、前述した磁気ヘッドの製造方法に
おいて、トワイマン効果を用いフェライトヘッド4のス
ライダ5にクラウン形状を形成することについて、具体
例を例示して作用とともに説明する。
Next, the formation of a crown shape on the slider 5 of the ferrite head 4 using the Twyman effect in the above-described method of manufacturing a magnetic head will be described together with its operation by way of a specific example.

【0020】まず、トワイマン効果を説明すると、例え
ば、図3のaに示す平板状の長方体のワーク16の一面
(本例においては下面)へ研磨,ラッピング,ポリッシ
ング等の加工を施すと、加工表面に加工変質層17が形
成され、この加工変質層17には、残留応力が蓄えられ
る。そして、前記加工変質層17を形成された表面と他
の表面の応力が異なることとなり、ワーク16全体の初
期状態の内部応力バランスが変化することで、図3のb
に示すように形状が湾曲変形する。
First, the Twyman effect will be described. For example, when one surface (a lower surface in this example) of a flat rectangular object 16 shown in FIG. 3A is subjected to processing such as polishing, lapping, and polishing, A damaged layer 17 is formed on the processed surface, and residual stress is accumulated in the damaged layer 17. Then, the stress on the surface on which the work-affected layer 17 is formed is different from the stress on the other surface, and the internal stress balance in the initial state of the entire work 16 is changed.
As shown in FIG.

【0021】つぎに、トワイマン効果による変形と残留
応力の関係について、図4のaに示すように、長さL,
厚さHの板が長さ方向に変形するモデルにより説明する
と、図4のaに示すように、上下面をラッピングした後
で、加工変質層をエッチング処理により除去して残留応
力の無い試料を得る。
Next, as for the relationship between the deformation due to the Twyman effect and the residual stress, as shown in FIG.
A model in which a plate having a thickness H is deformed in the length direction will be described. As shown in FIG. 4A, after lapping the upper and lower surfaces, the work-affected layer is removed by etching to remove a sample having no residual stress. obtain.

【0022】ついで、試料の上面を研磨して加工変質層
17を設けると図3のbに示すように変形する。このと
きの変形量δを測定する。
Then, when the upper surface of the sample is polished to provide a work-affected layer 17, the sample is deformed as shown in FIG. The amount of deformation δ at this time is measured.

【0023】つぎに、図4のcに示すように、試料の上
面を研磨して形成した加工変質層17面を除いた他の面
を樹脂18により被覆して、前記加工変質層17をエッ
チング処理により除去する。このときのエッチング処理
により除去した加工変質層17の厚みaを測定する。
Next, as shown in FIG. 4C, the surface other than the surface of the work-affected layer 17 formed by polishing the upper surface of the sample is covered with a resin 18, and the work-affected layer 17 is etched. Removed by processing. At this time, the thickness a of the affected layer 17 removed by the etching treatment is measured.

【0024】そして、図4のdに示すように、試料に被
覆した樹脂18を除去した後で、再び変形量δを測定す
る。この変形量の変化がなくなるまで前記工程を繰り返
して、前記加工変質層17を完全に除去したときの変形
量をδ’とすると、加工変質層17の残留応力σは次式
で求めることができる。
Then, as shown in FIG. 4D, after removing the resin 18 coated on the sample, the deformation amount δ is measured again. The above process is repeated until there is no change in the amount of deformation, and when the amount of deformation when the affected layer 17 is completely removed is δ ′, the residual stress σ of the affected layer 17 can be obtained by the following equation. .

【0025】 [0025]

【0026】ここで、Eは弾性係数である。Here, E is an elastic coefficient.

【0027】以上のような、加工表面に設けた加工変質
層をコントロールして、残留応力バランスによるトワイ
マン効果を利用したクラウン形状を、磁気ヘッドに設け
ることができ、このような、残留応力を変化させクラウ
ン形状を設ける方法は、磁気ヘッドの底面14を加工し
て、底面14の圧縮応力が大きくなるようにする方法
と、スライダ5のABS面6を加工して、ABS面6の
圧縮応力が少なくなるようにする方法とがある。
By controlling the deteriorated layer provided on the processing surface as described above, a crown shape utilizing the Twyman effect by the residual stress balance can be provided in the magnetic head. The method of forming the crown shape by processing the bottom surface 14 of the magnetic head to increase the compressive stress of the bottom surface 14 and the method of processing the ABS surface 6 of the slider 5 to reduce the compressive stress of the ABS surface 6 There is a way to reduce it.

【0028】図5にMn−Znフェライトの表面に#4
00砥石による研磨面と、粒径が3μmのダイヤモンド
パウダによるラッピング面に形成した加工変質層17と
における各表面からの深さと残留応力の関係の一例をそ
れぞれ示す。
FIG. 5 shows that # 4
One example of the relationship between the depth from each surface and the residual stress in the polished surface with a 00 grindstone and the affected layer 17 formed on the lapping surface with diamond powder having a particle diameter of 3 μm is shown.

【0029】前記した例では、Mn−Znフェライトの
片面に#400砥石による24MPaの圧縮応力を持つ
研磨面、他方の面に粒径3μmのダイヤモンドパウダに
よる42MPaの圧縮応力を持つラッピング面とした平
行な試料を作成し、一方の前記研磨面を粒径3μmのダ
イヤモンドパウダによりさらにラッピング加工する。前
記研磨面は、42MPaの圧縮応力を持つラッピング面
となり、この後加工されたラッピング面が収縮すること
により、先にラッピング加工されていたラッピング面が
クラウン形状に形成される。
In the above-described example, the Mn-Zn ferrite has a polished surface having a compressive stress of 24 MPa by a # 400 grindstone on one surface and a lapping surface having a compressive stress of 42 MPa by diamond powder having a grain size of 3 μm on the other surface. A polished sample is prepared, and one of the polished surfaces is further wrapped with diamond powder having a particle size of 3 μm. The polished surface becomes a lapping surface having a compressive stress of 42 MPa, and the lapping surface that has been processed thereafter shrinks, whereby the lapping surface that has been previously wrapped is formed into a crown shape.

【0030】以上述べたように、加工変質層17の状態
により残留応力が決定されるため、一般的に、研磨,ラ
ッピング,ポリッシング等の加工においては、面粗度と
残留応力との間に、面粗度が細かくなると圧縮応力が増
加するという相関関係がある。このことより、加工前の
面粗度と加工後の面粗度の差を大きくすることにより、
クラウン形状の変形量を大きくさせることができ、前記
した加工前の面粗度と加工後の面粗度の差を所望の値に
することにより、所望のクラウン形状の変形量(クラウ
ンハイト量)を得ることができることとなる。
As described above, since the residual stress is determined by the state of the work-affected layer 17, generally, in processing such as polishing, lapping, and polishing, the surface stress and the residual stress are set between the surface roughness and the residual stress. There is a correlation that the compression stress increases as the surface roughness decreases. From this, by increasing the difference between the surface roughness before processing and the surface roughness after processing,
The amount of deformation of the crown shape can be increased, and by setting the difference between the surface roughness before processing and the surface roughness after processing to a desired value, the desired amount of crown shape deformation (crown height amount) Can be obtained.

【0031】そして、これらのことにより数nm/mm
から数百nm/mmのクラウンハイト量の範囲で所望の
クラウンハイト量を設定させることができる。
Then, several nanometers / mm
The desired crown height can be set within the range of the crown height from 100 to several hundred nm / mm.

【0032】さらに、加工方向をスライダ5のABS面
6の縦方向およびこれと直行する方向(以下横方向とい
う)の一方若しくは双方向と任意に選択することによ
り、クラウン形状の変形方向をABS面6の縦方向,横
方向の一方若しくは双方向と自由に選択することもでき
る。
Further, the direction of deformation of the crown shape can be set to any one of a longitudinal direction of the ABS surface 6 of the slider 5 and a direction perpendicular thereto (hereinafter, referred to as a lateral direction) or a bidirectional direction. 6 can be freely selected as either the vertical direction, the horizontal direction, or both directions.

【0033】また、本実施例により製造されたフェライ
トヘッド4は、ABS面6または底面14の少なくとも
一方が鏡面となり、さらに、ABS面6と底面14の両
者がほぼ同一の曲率を持って変形するという特徴を有す
る。
In the ferrite head 4 manufactured according to this embodiment, at least one of the ABS surface 6 and the bottom surface 14 is a mirror surface, and both the ABS surface 6 and the bottom surface 14 are deformed with substantially the same curvature. It has the feature of.

【0034】前記実施例においては、磁気ヘッドのスラ
イダ5の単体に対してABS面6をクラウン形状にする
加工を施して製造したけれども、磁気ヘッドのスライダ
5の単体を切り出す前のスライダブロックとコアブロッ
クとを接合した長尺物に対して、ABS面となる部分を
クラウン形状になるように加工するようにしても良い。
この場合、その後の加工によりABS面のクラウン形状
が変形するが、その変形量を予測して、変形があっても
使用に耐えるクラウン形状を有するように加工を施すと
良い。
In the above embodiment, the slider 5 of the magnetic head was manufactured by subjecting the ABS 5 to a crown shape, but the slider block and the core before cutting the slider 5 of the magnetic head alone were manufactured. A portion to be an ABS may be processed into a crown shape for a long object to which a block is joined.
In this case, the crown shape of the ABS surface is deformed by the subsequent processing. It is preferable to predict the amount of the deformation and perform the processing so as to have a crown shape that can be used even if there is deformation.

【0035】なお、本発明は前述した各実施例に限定さ
れるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能であ
る。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made as necessary.

【0036】また、本発明は前記実施例のフェライトヘ
ッドに限定されるものではなく、当然コンポジット型の
フェライトヘッド等の複合型磁気ヘッドにも適用するこ
とができ、さらに、薄膜磁気ヘッド等の磁気ヘッドに対
しても同様に適用することができる。
The present invention is not limited to the ferrite head of the above embodiment, but can be applied to a composite magnetic head such as a composite ferrite head. The same can be applied to a head.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、トワイマ
ン効果による残留応力を発生させる加工を施すこと、例
えば、スライダのABS面と底面を平行な平面に加工し
た後、前記ABS面と底面の一方を前記加工面と異なる
面粗度に加工を施すことにより、簡単な方法で精度が高
く、信頼性の極めて優れた所望のクラウンハイト量を有
するクラウン形状をしたABS面をスライダに備えた、
磁気ヘッドを得ることができるとともに、前記クラウン
形状をABS面の磁気媒体に対する相対移動方向と平行
な方向と直角方向との一方および両方に選択して形成す
ることもでき、このような優れた技術的効果を有する磁
気ヘッドを、精度良く簡単に製造することができ、ま
た、経済性に極めて優れたものとなる等の効果を奏す
る。
As described above, according to the present invention is, Towaima
Processing to generate residual stress due to the
For example , after processing the ABS surface and the bottom surface of the slider into a parallel plane, one of the ABS surface and the bottom surface is different from the processed surface.
By processing the surface roughness , the slider is provided with a crown-shaped ABS surface having a desired crown height amount that is highly accurate and highly reliable by a simple method,
A magnetic head can be obtained, and the crown can be obtained.
The shape is parallel to the relative movement direction of the ABS surface to the magnetic medium
Direction and at right angles, and both.
Rukoto also, the magnetic head having such excellent technical effect, precisely can be easily manufactured, also an effect such as whereby a composition with remarkably superior economics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドを小型の2レールモノリシ
ック型フェライトヘッドに適用した全体を示す斜視図
FIG. 1 is a perspective view showing the whole of a magnetic head of the present invention applied to a small-sized two-rail monolithic ferrite head.

【図2】aおよびbは、本発明の磁気ヘッドの製造方法
に従って小型の2レールモノリシック型を製造する場合
の製造工程を示す図
FIGS. 2A and 2B are views showing a manufacturing process when a small 2-rail monolithic type is manufactured according to the magnetic head manufacturing method of the present invention. FIGS.

【図3】aおよびbは、トワイマン効果を説明する図3A and 3B are diagrams for explaining the Twyman effect.

【図4】aからdは、トワイマン効果による変形と残留
応力の関係を調べる工程を説明する図
4A to 4D are diagrams illustrating a process of examining a relationship between deformation due to the Twyman effect and residual stress.

【図5】加工変質層の表面からの深さと残留応力の関係
の一例を示す線図
FIG. 5 is a diagram showing an example of the relationship between the depth from the surface of a work-affected layer and residual stress.

【図6】従来の磁気ヘッドの支持状態を示す図で、aは
正面図、bは側面図
6A and 6B are diagrams showing a state of support of a conventional magnetic head, wherein a is a front view and b is a side view.

【図7】従来の小型の2レールモノリシック型フェライ
トヘッドを示す斜視図
FIG. 7 is a perspective view showing a conventional small two-rail monolithic ferrite head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4 フェライトヘッド 5 スライダ 6 ABS面 7 負圧溝 9 ヘッドコア 14 底部 15a,15b (クラウン形状の)レール 17 加工変質層 Reference Signs List 4 Ferrite head 5 Slider 6 ABS surface 7 Negative pressure groove 9 Head core 14 Bottom 15a, 15b (Crown-shaped) rail 17 Work-affected layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−186572(JP,A) 特開 平4−167279(JP,A) 特開 昭64−76418(JP,A) 特開 昭62−166934(JP,A) 実開 昭62−110764(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 21/21 101──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-4-186572 (JP, A) JP-A-4-167279 (JP, A) JP-A-64-76418 (JP, A) JP-A-62-162 166934 (JP, A) Japanese Utility Model Showa 62-110764 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 21/21 101

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 トワイマン効果による残留応力により、
ABS面の少なくとも磁気媒体に対する相対移動方向と
平行な方向がクラウン形状に形成されたスライダを有す
ることを特徴とする磁気ヘッド。
1. Due to the residual stress due to the Twyman effect ,
A magnetic head comprising a slider in which at least a direction parallel to a relative movement direction of an ABS surface with respect to a magnetic medium is formed in a crown shape.
【請求項2】 スライダのABS面と底面を平行な平面
に加工した後、前記ABS面と底面の一方を前記加工面
と異なる面粗度に加工を施し、残留応力により、前記A
BS面の少なくとも磁気媒体に対する相対移動方向と平
行な方向をクラウン形状とすることを特徴とする磁気ヘ
ッドの製造方法。
2. After processing the ABS surface and the bottom surface of the slider into a parallel plane, one of the ABS surface and the bottom surface is processed by the processing surface.
Surface roughness different from that of
A method of manufacturing a magnetic head, comprising: forming a crown shape at least in a direction parallel to a relative movement direction of a BS surface with respect to a magnetic medium.
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