JP2858028B2 - Thermionic emitter and method of manufacturing the same - Google Patents

Thermionic emitter and method of manufacturing the same

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JP2858028B2 JP11500890A JP11500890A JP2858028B2 JP 2858028 B2 JP2858028 B2 JP 2858028B2 JP 11500890 A JP11500890 A JP 11500890A JP 11500890 A JP11500890 A JP 11500890A JP 2858028 B2 JP2858028 B2 JP 2858028B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は熱電子放出体、より詳細には、例えばイオン
移動度分光計(Ion Mability Spectrometer)の様な器
具に用いられる陽イオン放出器に関する。
The present invention relates to a thermionic emitter, and more particularly to a cation emitter for use in instruments such as, for example, an ion mobility spectrometer. .

(従来の技術) 1956年 4月17日に発行さた米国特許No.2.742.585に
は電気式蒸気検出器が記載されている。
2. Description of the Related Art An electric steam detector is described in U.S. Pat. No. 2,742,585 issued on Apr. 17, 1956.

ここでは数ミルの厚さを有する特別の金属酸化物製の
薄い難溶解性コーティングが絶縁物としても、又約700
℃から1200〜1300℃以上の温度範囲においてアルカリイ
オン放出体としても作用する。該難溶解性コーティング
はアルミニウムの酸化物(アルミナ)、チタニウムの酸
化物(チタニア)、ベリリウムの酸化物(ベリリア)、
トリウムの酸化物(トリア)、マグネシウムの酸化物
(マグネシア)、並びにカルシアム、モリブデン、鉄、
マンガン、ケイ素、コバルト、ニッケル、(原子番号57
から71までの)希土類元素の各々の酸化物である。作動
時においては、700℃以上の温度で該難溶解性コーティ
ングからの初期イオン流が低下する。その後、該検出器
は1mmHgの真空系中においてハロゲン及びその化合物の
蒸気を検出することとなる。ハロゲン及びその化合物の
蒸気の難溶解性コーティング表面への進入は、負に滞電
させたコレクターに集まる陽イオン流の増加の原因とな
る。この電気式蒸気検出器はコーティング表面からのア
ルカリイオンの蒸発が増えることからハロゲン及びその
化合物を検出する。
Here a thin, hardly soluble coating made of a special metal oxide with a thickness of a few mils can be used as an insulator, or about 700
It also acts as an alkali ion emitter in the temperature range from 1200C to 1200C or higher. The hardly soluble coating includes oxides of aluminum (alumina), oxides of titanium (titania), oxides of beryllium (beryllia),
Oxides of thorium (Thria), oxides of magnesium (Magnesia), and calcium, molybdenum, iron,
Manganese, silicon, cobalt, nickel, (atomic number 57
To 71) oxides of each of the rare earth elements. In operation, at temperatures above 700 ° C., the initial ion flux from the poorly soluble coating decreases. Thereafter, the detector will detect the vapor of halogen and its compounds in a vacuum system of 1 mmHg. The entry of halogen and its compounds vapors into the poorly soluble coating surface causes an increase in cation flow that collects on the negatively charged collector. This electric vapor detector detects halogen and its compounds because the evaporation of alkali ions from the coating surface increases.

1959年 9月17日に発行された米国特許No.2.806.991
には各種のガス中のある種の物質又は不純物の検出をす
るための電気式検出器が記載されている。この検出器は
水酸化ナトリウムの溶液に含浸される円筒形のセラミッ
クコアに巻回した螺旋状の二重巻線ヒーターから成る。
電極は冷陰極として作動するセラミックコア内の穴に挿
入されきっちり嵌合する。
US Patent No. 2.806.991 issued September 17, 1959
Describes an electric detector for detecting a certain substance or impurity in various gases. The detector consists of a helically wound double wound heater wound on a cylindrical ceramic core impregnated with a solution of sodium hydroxide.
The electrode is inserted and fitted snugly in a hole in the ceramic core acting as a cold cathode.

該セラミックコアは例えば、NaOH、NaF、LiClの様な
高電導性塩に含浸されねばならない。この蒸気検出器は
特に可撚性ガス、還元性ガス若しくは水素を含む蒸気中
の水素を検出するのに適している。
The ceramic core must be impregnated with a highly conductive salt such as, for example, NaOH, NaF, LiCl. The steam detector is particularly suitable for detecting hydrogen in twistable gas, reducing gas or steam containing hydrogen.

1976年 8月3日に発行された米国特許No.3.972.480
には、添加剤を含まないβ−アルミナ粒子の懸濁液の調
整方法が記載されている。
U.S. Patent No. 3.972.480 issued August 3, 1976
Describes a method for preparing a suspension of β-alumina particles containing no additive.

1979年 8月28日に発行された米国特許No.4,166,009
には、被測定物質と対照物質との間で発生した起電力を
監視することによる固体金属乃至合金又は溶解金属乃至
合金における特定元素の不純物の測定方法が記載されて
いる。対照物質は検出されるべき元素或いは該元素の化
合物を含むβ−アルミナから成る固体電解質である。プ
ローブ用のβ−アルミナペレットは熱間プレス技術によ
ってα−アルミナ管の一端の取付け位置において成形さ
れる。アルミン酸ナトリウム(NaAl2O3)とα−Al2O3
粉体はよく混合され、共に空気中で1,400℃に加熱され
その後該混合物は粉砕されて粉体となる。α−アルミナ
管の内径と同じ径を持つカーボンロッドは粉体を25kg/c
m2で冷却間プレスするために用いられ、粉体が1,150℃
の温度に加熱されている間は、負荷が維持される。該負
荷と温度はその後増加される。カーボンロッドの大部分
は、α−Al2O3管の外に切削除去され残った部分は小さ
な酸素ランスを使い燃焼させる。この燃焼作業中に達す
る高温はペレットを硬化するのに役立つ。
U.S. Patent No. 4,166,009 issued August 28, 1979
Describes a method for measuring impurities of a specific element in a solid metal or alloy or a dissolved metal or alloy by monitoring an electromotive force generated between a substance to be measured and a control substance. The control substance is a solid electrolyte consisting of β-alumina containing the element to be detected or a compound of said element. The β-alumina pellet for the probe is formed by hot pressing at the mounting position at one end of the α-alumina tube. The powder of sodium aluminate (NaAl 2 O 3 ) and α-Al 2 O 3 are mixed well, and both are heated to 1,400 ° C. in air, and then the mixture is pulverized to a powder. Carbon rod with the same diameter as the inside diameter of α-alumina tube can reduce powder to 25kg / c
used for cooling-pressed m 2, and the powder 1,150 ° C.
The load is maintained during the heating to the temperature. The load and temperature are then increased. Most of the carbon rod is cut off outside the α-Al 2 O 3 tube and the remaining portion is burned using a small oxygen lance. The high temperatures reached during this burning operation help to cure the pellets.

1985年 2月12日に発行された米国特許No.4,499,054
には、基本的にβ−アルミナから成る陽イオン源とヒー
ターとイオンコレクター電極か成るハロゲン化炭素水素
ガス検出素子が記載されている。ハロゲンガスの存在下
では、Na+イオンの放出が各表面の相互作用のために増
加する。
US Patent No. 4,499,054 issued February 12, 1985
Describes a halogenated carbon gas detection element comprising a cation source consisting essentially of β-alumina, a heater and an ion collector electrode. In the presence of halogen gas, the release of Na + ions increases due to the interaction of each surface.

Na+イオンは電圧によりコレクター電極に引かれる。
該特許No.4,499,654においては、β−アルミナ表面近傍
にハロゲン化炭化水素があるとNa+イオンの放出が増え
ることが観察された。
Na + ions are attracted to the collector electrode by the voltage.
In this patent No. 4,499,654, it was observed that the release of Na + ions increased when halogenated hydrocarbons were present near the β-alumina surface.

(発明が解決しようとする課題) しかし、いずれの引例も電力消費を低くして陽イオン
を発生する問題を解決するものではない。
(Problems to be solved by the invention) However, none of the references solves the problem of generating cations with low power consumption.

従って、低電力消費により陽イオンを発生できるイオ
ン移動度分光計(その他の器具)のための、熱電子放出
体を提供し、前記先行技術の欠陥や不都合を軽減するこ
とが本発明の課題である。
Accordingly, it is an object of the present invention to provide a thermionic emitter for an ion mobility spectrometer (other instruments) capable of generating cations with low power consumption and to reduce the deficiencies and disadvantages of the prior art. is there.

(課題を解決するための手段) 本発明の陽イオンを供給する熱電子放出体にはβ−ア
ルミナと不活性物質の混合物が含まれ、β−アルミナと
不活性物質の各々はその一部を該混合物表面に露出させ
る部分を有する。該不活性物質の露出部分が高仕事関数
を有する表面箇所を与え、陽イオンの放出を増加する。
そして、(例えばフィラメントの様な)ヒーターが所定
の温度に該混合物を加熱するために配設される。
(Means for Solving the Problems) The thermionic emitter for supplying cations of the present invention includes a mixture of β-alumina and an inert substance, and each of the β-alumina and the inert substance forms a part thereof. The mixture has a portion exposed on the surface of the mixture. The exposed portion of the inert material provides a surface location having a high work function and increases the release of cations.
A heater (such as a filament) is then provided to heat the mixture to a predetermined temperature.

更に、本発明の教示に従うと、β−アルミナを粉砕し
て粉体をつくる工程を含む熱電子放出体の製造方法も開
示する。(例えば木炭の様な)不活性物質は粉砕されて
粉体となり、粉砕されたβ−アルミナ粉と混合される。
(例えば珪酸ナトリウムと水の様な)無機バイダーが添
加され、そして該混合物は時間をかけて(例えば300℃
の様な)温度に加熱され、露出されたβ−アルミナと不
活性物質の部分乃至は箇所のある外面を有する固体又は
コーティングを形成する。
Further, in accordance with the teachings of the present invention, a method of making a thermionic emitter is disclosed that includes the step of pulverizing β-alumina to form a powder. Inert substances (such as charcoal) are ground to a powder and mixed with the ground β-alumina powder.
An inorganic binder (e.g., sodium silicate and water) is added and the mixture is allowed to cool over time (e.g.
) To form a solid or coating having exposed exterior surfaces with portions of beta-alumina and inert material.

(実施例) 本発明の目的は添付図面と共に以下の明細書の記載か
ら明確となる。
(Example) The purpose of the present invention will be clear from the description in the following specification with the accompanying drawings.

第1図に関連して、ガス環境12下にイオンを放出する
熱電子(イオン)放出体10が図示されている。熱電子放
出体10には、フィラメントワイヤ16上のコーティング14
が含まれる。該フィラメントワイヤ16は抵抗性のある、
例えば、ニッケルとクロム製のワイヤであり、電流がフ
ィラメントワイヤ16を通過する時にはいつも熱、即ち、
所定の温度をコーティング14に供給する。該フィラメン
トワイヤ16の端部15は電池18の陰極にリード線17を介し
て接続されている。電池18の陽極はスイッチ20の一側に
リード線19を介して接続されるが、該スイッチは単投単
極のものである。
Referring to FIG. 1, a thermionic (ion) emitter 10 that emits ions under a gaseous environment 12 is illustrated. Thermionic emitter 10 has a coating 14 on filament wire 16
Is included. The filament wire 16 is resistant;
For example, a wire made of nickel and chromium, and when current passes through the filament wire 16, heat, that is,
A predetermined temperature is supplied to the coating 14. The end 15 of the filament wire 16 is connected to the cathode of the battery 18 via the lead wire 17. The anode of the battery 18 is connected to one side of a switch 20 via a lead 19, which is a single throw single pole.

スイッチ20の他端はフィラメント16の端部22にリード
線21を介して接続される。スイッチ20を閉じた時、電池
18は各リード線19と17を通して、フィラメント16に電流
を流し、それによってコーティング14を加熱し所定の温
度にする。
The other end of the switch 20 is connected to an end 22 of the filament 16 via a lead wire 21. When switch 20 is closed, the battery
18 passes a current through the filaments 16 through each of the leads 19 and 17, thereby heating the coating 14 to a predetermined temperature.

コーティング14はβ−アルミナ24と例えば、ガラスチ
ップ、木炭、珪藻土、セラミック粉、シリカ粉、アルミ
ナ粉等の不活性物質26の混合物である。β−アルミナ24
は、化学式Na2、0、5Al2O3により表されるものであ
る。β−アルミナ24はコーティング14とその表面28に
(例えばナトリウムの様な)アルカリイオンを供給す
る。このβ−アルミナ24は米国ユタ州84119、ソルトレ
イク市2425サウス900ウェストのセラマテック社から販
売されていてるものである。
The coating 14 is a mixture of β-alumina 24 and an inert material 26 such as, for example, glass chips, charcoal, diatomaceous earth, ceramic powder, silica powder, alumina powder, and the like. β-alumina 24
Is represented by the chemical formula Na 2 , 0,5Al 2 O 3 . Beta-alumina 24 provides the coating 14 and its surface 28 with alkali ions (such as sodium). The beta-alumina 24 is available from Ceramate, 2425 South 900 West, Salt Lake City, Utah, 84119, USA.

コーティング14は、β−アルミナ24を粉砕し(例えば
80−100メッシュ程度の)微粒子にし、該β−アルミナ2
4を珪酸ナトリウムと水と(これも粉砕して粉体にし
た)不活性物質を混合することによって調整される。
(不活性物質を除き)その比率はβ−アルミナが40.98
%、珪酸ナトリウムが1.93%、そして残りは水である。
珪酸ナトリウムの代りに他の無機バインダーを用いるこ
ともできる。該混合物はフィラメントに約1mmの厚さに
添付され得るようにペースト状に形成し、フィラメント
を100℃で2時間、200℃で2時間、300℃で1晩以上徐
々に加熱することによって硬化される。この様な方法に
よって調整されたイオン源は十分な電力(0.6乃至20w)
がフィラメントに供給されて、コーティング14が600乃
至1,000゜Kに加熱された時にイオン放出によりナトリウ
ムイオンを放出する。
The coating 14 is obtained by grinding β-alumina 24 (for example,
Into fine particles (about 80-100 mesh), and the β-alumina 2
4 is prepared by mixing sodium silicate and water with an inert material (also ground to a powder).
The ratio (excluding inactive substances) is 40.98 for β-alumina.
%, Sodium silicate 1.93%, and the rest is water.
Other inorganic binders can be used instead of sodium silicate. The mixture is formed into a paste so that it can be attached to the filament to a thickness of about 1 mm, and is cured by gradually heating the filament at 100 ° C. for 2 hours, 200 ° C. for 2 hours, and 300 ° C. overnight. You. The ion source adjusted by such a method has sufficient power (0.6 to 20w)
Is supplied to the filament to release sodium ions by ion release when the coating 14 is heated to 600-1,000 ° K.

作動時に、コーティング14はフィラメント16に電子を
渡すことによってNaイオン放出ナトリウム原子を提供す
る。ナトリウムイオンはβ−アルミナ24の格子構造を通
り表面28に移動する。ガス環境12へのナトリウムイオン
の熱放出はコーティング14の表面28から発生する。
In operation, the coating 14 provides Na ion releasing sodium atoms by passing electrons to the filament 16. The sodium ions move to the surface 28 through the lattice structure of β-alumina 24. Thermal release of sodium ions into the gaseous environment 12 occurs from the surface 28 of the coating 14.

サハーラングミュアの式(Saha−Langmuirequation)
は熱電子放出のためのエネルギー論を提供し、次式によ
って表わされる自由エネルギー変化を含む。
Saha-Langmuirequation
Provides the energetics for thermionic emission and includes a free energy change represented by:

即ち、 である。That is, It is.

上式中、Φは放出面28からの平均仕事関数(言い換れ
ば、電子を取り出すのに必要なエネルギー)であり、E
は表面28に存在する電界であり、I(A)はアルカリ原
子Aのイオン化ポテンシャルであり、D(AX)はアルカ
リ原子と表面28の間の結合を引き離すために必要な解離
エネルギーである。自由エネルギーが大きく且つ負であ
る(言い換れば発熱を伴う)時には、表面28からのイオ
ン放出が増加するので、放出面28には、より高い仕事関
数が求められる。(化学的に不活性である)不活性物質
26は、表面28上に、β−アルミナ表面に隣接して高仕事
関数を有する箇所をつくり、該不活性物質26の表面はβ
−アルミナ24の表面よりも自由に陽イオンを放出するこ
ととなる。β−アルミナ24の表面のアルカリ金属イオン
はβ−アルミナの表面の仕事関数を下げる。
In the above equation, Φ is the average work function from the emission surface 28 (in other words, the energy required to extract electrons), and E
Is the electric field present at the surface 28, I (A) is the ionization potential of the alkali atom A, and D (AX) is the dissociation energy required to break the bond between the alkali atom and the surface 28. When the free energy is large and negative (in other words, accompanied by heat generation), ion emission from the surface 28 increases, so that a higher work function is required for the emission surface 28. Inert substances (which are chemically inert)
26 creates a location on the surface 28 with a high work function adjacent to the β-alumina surface, the surface of the
The cations are released more freely than the surface of the alumina 24; Alkali metal ions on the surface of β-alumina 24 lower the work function of the surface of β-alumina.

表面28に分散した不活性物質26のために、フィラメン
ト16と表面28の温度は適切なアルカリイオンの放出、即
ち、アルカリイオンの飽和流によって下げられる。従来
の熱イオン源においては、アルカリイオン放出は固体物
質を通して表面へ拡散するイオンの拡散速度に依存し
た。アルカリイオン放出用にβ−アルミナ24を用いる
と、ナトリムイオンが格子構造の空孔を通り表面28に移
動でき、そのために、ナトリウムイオンの無限供給とな
る。不活性物質26は表面28全体に分散した複数の放出用
表面箇所30を提供する。
Due to the inert material 26 dispersed on the surface 28, the temperature of the filament 16 and the surface 28 is reduced by a suitable release of alkali ions, ie a saturated flow of alkali ions. In conventional thermionic sources, the release of alkali ions was dependent on the diffusion rate of the ions diffusing to the surface through the solid material. The use of beta-alumina 24 for the release of alkali ions allows sodium ions to migrate through the vacancies of the lattice structure to the surface 28, resulting in an infinite supply of sodium ions. Inert material 26 provides a plurality of release surface locations 30 dispersed throughout surface 28.

不活性物質26の表面箇所30をつくる別の方法は、表面
28にマスクを通して不活性物質26を蒸着することにより
行われる。この場合には、不活性物質26は例えばニッケ
ルの様な金属蒸着物である。
Another way to create the surface spots 30 of the inert material 26 is to use surface
This is performed by depositing an inert material 26 through a mask 28. In this case, the inert material 26 is a metal deposit, such as nickel.

(実験的に行われた)不活性物質の1例は木炭であ
り、該木炭は粉砕して粉とし、更に、β−アルミナと珪
酸ナトリウムと水の混合物と混合される。木炭は、コー
ティング14中に0乃至100%の範囲内で変更含有でき
る。コーティング14中に10%木炭を使用することによっ
てコーティング14のイオン放出に必要な電力がより少な
くてすむことと、コーティング14が主にカリウム陽イオ
ン源であったことが判明した。この低電力は、炭素表面
個所30の高仕事関数だけではなく、カリウムの低イオン
化ポテンシャルに由来したものと確信する。カリウム陽
イオンは木炭の不純物から発生したものと考えられ、結
果的に同時に放出されたナトリウムイオンよりもカリウ
ムイオンの方が多くなる。
One example of an inert material (performed experimentally) is charcoal, which is ground to a powder and further mixed with a mixture of β-alumina, sodium silicate and water. Charcoal may vary within the coating 14 from 0 to 100%. It was found that the use of 10% charcoal in the coating 14 required less power to release ions from the coating 14, and that the coating 14 was primarily a source of potassium cations. We believe that this low power is due to the low ionization potential of potassium as well as the high work function at the carbon surface location 30. Potassium cations are thought to be generated from charcoal impurities, resulting in more potassium ions than simultaneously released sodium ions.

この熱電子放出体10はイオン移動度分光計にも使用さ
れ、検出すべきサンプルイオンと反応させるために反応
領域に反応イオンとしてのアルカリイオンを提供する。
イオン移動度分光計の一例は1989年12月8日に発行され
た米国特許No.4,712,008に記載されている。
This thermionic emitter 10 is also used in an ion mobility spectrometer, and provides alkali ions as reaction ions to a reaction region to react with sample ions to be detected.
One example of an ion mobility spectrometer is described in U.S. Patent No. 4,712,008 issued December 8, 1989.

該米国特許において、熱電子放出体は放射性イオン源
である金属箔を取り去った状態で反応領域に配置され
る。
In the U.S. patent, the thermionic emitter is placed in the reaction zone with the metal foil, the radioactive ion source, removed.

(発明の効果) 従って、熱電子放出体がβ−アルミナと不活性物質
(例えば木炭)の混合物であって、そのβ−アルミナと
不活性物質の各々が、その一部を該混合物の表面に露出
させるものを含むために、陽イオンの連続流が得られる
ことは当業者によって認められる。露出した不活性物質
の部分は陽イオン放出のための高仕事関数を有する表面
箇所を形成し、そして該混合物は所定温度に加熱され
る。例えば、ヒーターは抵抗フィラメント線と電力源を
含む。
(Effect of the Invention) Accordingly, the thermionic emitter is a mixture of β-alumina and an inert substance (for example, charcoal), and each of the β-alumina and the inert substance causes a part of the mixture to be on the surface of the mixture It will be appreciated by those skilled in the art that a continuous flow of cations is obtained to include the exposing. The exposed portion of the inert material forms a surface location with a high work function for cation release, and the mixture is heated to a predetermined temperature. For example, a heater includes a resistive filament wire and a power source.

明らかに、多くの変形例が本発明の基本的精神から逸
脱することなくなされうる。
Obviously, many modifications may be made without departing from the basic spirit of the invention.

従って、特許請求の範囲内において本発明が、特にこ
こに記載されたもの以外にも実施されることは当業者に
よって認められるものである。
Accordingly, it will be appreciated by those skilled in the art that the present invention, within the scope of the appended claims, may be practiced other than as specifically described herein.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の1実施例を示す概念図である。 10……熱電子放出体 16……フィラメントワイヤ 18……電池 24……β−アルミナ 26……不活性物質 28……表面 30……箇所 FIG. 1 is a conceptual diagram showing one embodiment of the present invention. 10: Thermionic emitter 16: Filament wire 18: Battery 24: β-alumina 26: Inactive substance 28: Surface 30: Location

フロントページの続き (72)発明者 ドナルド ノブル キャンベル アメリカ合衆国 メリーランド 21093 チモニウム イースト パドニア ロ ード 242 (56)参考文献 特開 昭58−37556(JP,A) 特公 昭35−448(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01N 27/62 - 27/70 H01J 49/00 - 49/48Continuing from the front page (72) Inventor Donald Noble Campbell Maryland 21093 Timonium East Padonia Road 242 (56) References JP-A-58-37556 (JP, A) JP-B-35-448 (JP, B1) (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01N 27/62-27/70 H01J 49/00-49/48

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】陽イオン供給用熱電子放出体(10)におい
て、β−アルミナ(24)と不活性物質(26)との混合物
であって、該β−アルミナ(24)と不活性物質(26)が
混合物の表面にその一部を露出させ、該露出した不活性
物質の各部分が陽イオン放出のための高仕事関数を有す
る箇所(30)を形成するものと、該混合物を所定の温度
に加熱する手段(17、18、19、20、21)とを含むことを
特徴とする熱電子放出体。
1. A thermoelectron emitter for supplying cations, comprising a mixture of β-alumina (24) and an inert substance (26), wherein the β-alumina (24) and the inert substance (26) are mixed. 26) exposing a portion of the mixture to the surface of the mixture, and forming portions (30) in which each portion of the exposed inert substance has a high work function for cation release; and Means for heating to a temperature (17, 18, 19, 20, 21).
【請求項2】該不活性物質が木炭であることを特徴とす
る請求項第1項記載の熱電子放出体。
2. The thermionic emitter according to claim 1, wherein said inert substance is charcoal.
【請求項3】該不活性物質が珪藻土であることを特徴と
する請求項第1項記載の熱電子放出体。
3. The thermionic emitter according to claim 1, wherein said inert substance is diatomaceous earth.
【請求項4】該不活性物質がガラス粉チップであること
を特徴とする請求項第1項記載の熱電子放出体。
4. The thermionic emitter according to claim 1, wherein said inert substance is a glass powder chip.
【請求項5】該不活性物質がシリカであることを特徴と
する請求項第1項記載の熱電子放出体。
5. The thermionic emitter according to claim 1, wherein said inert substance is silica.
【請求項6】該不活性物質がニッケルであることを特徴
とする請求項第1項記載の熱電子放出体。
6. The thermoelectron emitter according to claim 1, wherein said inert substance is nickel.
【請求項7】該不活性物質が金属であることを特徴とす
る請求項第1項記載の熱電子放出体。
7. The thermionic emitter according to claim 1, wherein said inert substance is a metal.
【請求項8】β−アルミナを粉砕して第1の粉体とする
工程と不活性物質を粉砕して第2の粉体とする工程と第
1及び第2の粉体を混合して混合物をつくる工程と該混
合物に無機バインダーを添加する工程と該混合物を加熱
して露出部分を有する外面を含む固体を形成する工程と
を含むことを特徴とする熱電子放出体の製造方法。
8. A step of pulverizing β-alumina to form a first powder, a step of pulverizing an inert substance to form a second powder, and mixing the first and second powders to form a mixture. And a step of adding an inorganic binder to the mixture, and a step of heating the mixture to form a solid including an outer surface having an exposed portion.
【請求項9】該無機バインダーが珪酸ナトリウムである
ことを特徴とする請求項第8項記載の製造方法。
9. The method according to claim 8, wherein said inorganic binder is sodium silicate.
【請求項10】該混合物が約300℃に加熱されて、固体
を形成することを特徴とする請求項第8項記載の製造方
法。
10. The method according to claim 8, wherein said mixture is heated to about 300 ° C. to form a solid.
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