JP2857726B2 - Direct acting servo valve - Google Patents

Direct acting servo valve

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JP2857726B2
JP2857726B2 JP3316296A JP31629691A JP2857726B2 JP 2857726 B2 JP2857726 B2 JP 2857726B2 JP 3316296 A JP3316296 A JP 3316296A JP 31629691 A JP31629691 A JP 31629691A JP 2857726 B2 JP2857726 B2 JP 2857726B2
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coil
coil bobbin
servo valve
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吉道 赤坂
晋一 安成
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フォースモータでスプ
ールを直接駆動するタイプの直動形サーボ弁に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a direct-acting servo valve of the type in which a spool is directly driven by a force motor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の直動形サーボ弁おいては、スリー
ブ内を軸方向に摺動するスプールの一端に固設されかつ
コイルを巻回されたコイルボビンと、コイルボビンを他
端側に付勢する筒状弾性体と、コイルを横切り磁路を形
成するマグネット、ヨーク及びポールとを備えてなり、
コイルに電流を流して発生させた電磁力によりスプール
筒状弾性体の付勢力に抗して軸方向に摺動させる構成
になっている。従来より各種油圧制御システムには、特
に制御対象のアクチュエータを高速、高精度に制御する
ため制御弁に直動形サーボ弁が用いられている。直動形
サーボ弁は、磁気回路とコイルが巻回しされたコイルボ
ビンとで形成されるフォースモータでスプール弁を直接
駆動することにより、入力電流に比例してスプール弁か
ら出力される作動流体の方向、圧力及び流量を制御する
電気ー油圧変換素子である。
2. Description of the Related Art In a conventional direct acting servo valve, a coil bobbin fixedly mounted at one end of a spool which slides in a sleeve in an axial direction and wound with a coil, and biasing the coil bobbin toward the other end. A cylindrical elastic body, and a magnet that forms a magnetic path across the coil, a yoke and a pole,
The spool is slid in the axial direction against the urging force of the cylindrical elastic body by the electromagnetic force generated by applying a current to the coil. 2. Description of the Related Art Conventionally, in various hydraulic control systems, a direct-acting servo valve has been used as a control valve in order to control an actuator to be controlled at high speed and with high accuracy. Direct-acting servo valves use a force motor formed of a magnetic circuit and a coil bobbin wound with a coil to directly drive the spool valve, so that the direction of the working fluid output from the spool valve is proportional to the input current. , Pressure and flow rate.

【0003】コイルボビンに付勢力を付与する手段とし
ては、機械的及び電気的の2方式に大別される。例え
ば、機械的な方式としてはスプールの片側端面に粘弾性
部材(弾性ゴム)を用いたものがある(特開昭55−1
0198号公報参照)。またスプールの位置決めはスプ
ールの両端に円形断面のコイルばねを配設することによ
り行う方式(特開昭49−133780号公報参照)な
どがある。
[0003] Means for applying a biasing force to the coil bobbin are roughly classified into two types: mechanical and electrical. For example, as a mechanical system, there is a system using a viscoelastic member (elastic rubber) on one end face of a spool (Japanese Patent Laid-Open No. 555-1).
0198). Further, there is a method of positioning the spool by disposing coil springs having a circular cross section at both ends of the spool (see JP-A-49-133780).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の直動形サーボ弁
にあっては、コイルボビンに付勢力を付与する手段とし
て弾性ゴムを用いたものでは,ゴム自身の内部ヒステリ
シスによる減衰効果を利用したものであるが、弾性ゴム
が非常に劣化しやすく寿命が短い。かつ作動油の浸入に
より弾性ゴムが膨潤する。このため常に均一な性質を確
保し難く製品の歩留まりが非常に悪い等の問題があっ
た。一方、コイルばねを用いたものでは、コイルばねを
圧縮すると、合成荷重の作用線が一般にコイルばねの中
心軸から微小量だけ外れたところにくる。この荷重の偏
心によってスプールの両端には不均一な軸方向の力が発
生する。その不均一な力の合力がスプールの軸線に対し
て斜め方向に作用するため、スプールがコイルばねによ
って半径方向に押されスリーブ内面に押しつけられる。
この結果、スプールとスリーブ間の摩擦力が増大され、
スプールの操作信号に対する応答性が悪化するという問
題点があった。
A conventional direct acting servo valve using an elastic rubber as a means for applying a biasing force to a coil bobbin utilizes a damping effect by internal hysteresis of the rubber itself. However, the elastic rubber is extremely deteriorated and has a short life. In addition, the elastic rubber swells due to the intrusion of the hydraulic oil. For this reason, there has been a problem that it is difficult to always maintain uniform properties and the product yield is extremely poor. On the other hand, in the case of using a coil spring, when the coil spring is compressed, the line of action of the combined load generally comes to a place slightly deviated from the center axis of the coil spring. Due to the eccentricity of the load, uneven axial forces are generated at both ends of the spool. Since the resultant force of the non-uniform force acts obliquely to the axis of the spool, the spool is pressed radially by the coil spring and pressed against the inner surface of the sleeve.
As a result, the frictional force between the spool and the sleeve is increased,
There has been a problem that the responsiveness of the spool to operation signals deteriorates.

【0005】本発明の目的は、スプールの変位に対する
抗力を変化させ高応答で高精度、高信頼性を有する直動
形サーボ弁を提供することにある。
An object of the present invention, high precision high response by changing the resistance to displacement of the spool to provide a direct-operated servo valve with high reliability.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプール
の一端に固設された導電材からなるコイルボビンと、前
記コイルボビンに巻回されたコイルと、前記コイルを横
磁路を形成するマグネットとを備えてなり、前記
イルに電流を流して発生させた電磁力によりスプール
方向に摺動させる直動形サーボ弁において、前記コイ
ルボビンは、軸方向に延在させて形成されたスリットを
有してなり、該スリットの少なくとも一方の端が、前記
コイルが巻回された巻線部の端を含む位置と、当該コイ
ルボビンの端部との間に設定され、かつ当該コイルボビ
ンの両端部に少なくともスリットが形成されていない部
位を有してなることを特徴とする。
In order to achieve the object In order to achieve the object, the present invention includes a coil bobbin made of the spool one end fixed to the conductive material that slides inside the sleeve in the axial direction, before
A coil wound around the serial coil bobbin, it includes a magnet for forming a transverse <br/> switching Ru path the coils, an electromagnetic force generated by supplying a current to the co <br/> yl the spool by
In direct acting servo valve sliding axially, the carp
Lubobin has a slit formed by extending in the axial direction.
Having at least one end of the slit,
The position including the end of the winding part around which the coil is wound, and the coil
Between the end of the lubobin and the coil bobbin
Where at least slits are not formed at both ends of the
It is characterized by having a position .

【0007】また、コイルボビンの巻線部位外の部分を
厚肉に形成し、スリットを巻線部から厚肉部の中間部ま
で延長した構成でもよい。
[0007] Also, the portion outside the winding portion of the coil bobbin is
It may be formed thick and the slit may be extended from the winding part to the middle part of the thick part .

【0008】また巻線部に軸方向のスリットを形成する
とともに、隣接する一方のスリットが巻線部の他端と巻
線部の中間部との間に形成されかつ他方のスリットが
巻線部の一端と巻線部の中間部との間に形成され、それ
ぞれのスリットの終端が巻線部の中間部で互いオーバー
ラップしている構成でもよい。
An axial slit is formed in the winding portion.
At the same time, one adjacent slit is formed between the other end of the winding part and the middle part of the winding part , and the other slit is formed between one end of the winding part and the middle part of the winding part. The end of each slit may be overlapped with each other at the middle part of the winding part.

【0009】さらに圧延機においては、圧下ジャッキ
と、圧下ジャッキに作動油を供給する油圧ポンプと、圧
下ジャッキに供給された作動油を戻すタンクと、作動油
の圧下ジャッキへの供給と排出とを制御するサーボ弁と
を備え、圧延材の板厚を加工す る圧延機において、サー
ボ弁は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプールの一端
に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビンと、該
コイルボビンを他端側に付勢する弾性体と、コイルを横
切り磁路を形成するマグネット、ヨーク及びポールとを
備えてなり、コイルに電流を流して発生させた電磁力に
よりスプールを弾性体の付勢力に抗して軸方向に摺動さ
せる直動形サーボ弁により形成され、コイルボビンは、
コイルを巻回する巻線部と、この巻線部に隣接し巻線部
の外周面より突出した突出部とを有し、巻線部に軸方向
のスリットを形成した構成とする。
Further, in a rolling mill, a reduction jack is used.
And a hydraulic pump that supplies hydraulic oil to the screw-down jack,
A tank for returning the hydraulic oil supplied to the lower jack, and a hydraulic oil
And a servo valve to control the supply and discharge of
The provided, in the rolling mill you processing the plate thickness of the rolled material, Sir
The valve is one end of a spool that slides in the sleeve in the axial direction.
A coil bobbin fixedly mounted on a coil and wound with a coil;
An elastic body that biases the coil bobbin to the other end, and the coil
The magnet, yoke and pole that form the cut magnetic path
Equipped with an electromagnetic force generated by applying current to the coil
The spool is slid in the axial direction against the urging force of the elastic body.
Formed by a direct acting servo valve,
A winding part for winding a coil and a winding part adjacent to this winding part
And a projection protruding from the outer peripheral surface of the winding portion.
Is formed.

【0010】[0010]

【0011】[0011]

【作用】本発明によれば、フレミングの左手の法則によ
って軸方向に発生する電磁力がコイルボビンを動かす
と、この動きを妨げる方向に渦電流が発生する。しか
し、コイルボビンの巻線部に部分的なスリットを設ける
ことにより、コイルボビンを流れる渦電流の流路長さが
変化する。これによりコイルボビンのインダクタンス
(L)および抵抗(R)が変化し、渦電流による抗力
(減衰力)も変化する。この結果、コイルボビンのLと
Rとから決定される時定数が変化する。すなわち、コイ
ルボビンの巻線部に部分的なスリットを設けることによ
り、渦電流に基づく抗力を変化させ、弁(スプール)の
周波数特性を変化させる。言い替えれば、部分スリット
の形状及び寸法を適正に設定することで弁の応答性の向
上が図れる。
According to the present invention, an electromagnetic force generated in the axial direction by the law left Fleming moving the coil bobbin, eddy current is generated in the direction preventing the movement. However, by providing a partial slit in the winding part of the coil bobbin, the flow path length of the eddy current flowing through the coil bobbin changes. As a result, the inductance (L) and resistance (R) of the coil bobbin change, and the drag (damping force) due to the eddy current also changes. As a result, the time constant determined from L and R of the coil bobbin changes. That is, by providing a partial slit in the winding portion of the coil bobbin, the drag based on the eddy current is changed, and the frequency characteristic of the valve (spool) is changed. In other words, the responsiveness of the valve can be improved by appropriately setting the shape and size of the partial slit.

【0012】[0012]

【実施例】本発明の一実施例を図1を参照しながら説明
する。図1に3方弁タイプの直動形サーボ弁の構造を示
す断面図、図2に直動形サーボ弁のコイルボビンの付近
の拡大部分断面図が示されている。図1に示すように、
スリーブ6内を軸方向に摺動するスプール4の一端に固
設されかつコイル20を巻回されたコイルボビン18
と、コイルボビン18を他端側に付勢する筒状弾性体
(弾性体)24と、コイル20を横切り磁路を形成する
マグネット12、ヨーク14及びポール16とを備えて
なり、コイル20に電流を流して発生させた電磁力によ
りスプール6を筒状弾性体24の付勢力に抗して軸方向
に摺動させる直動形サーボ弁であって、筒状弾性体24
の軸方向中間部に円周方向の複数のスリット状の開口部
24aが設けられ、コイルボビン18は、コイル20の
巻線部と、この巻線部に隣接しこの巻線部の外周面より
突出したリブ25及び厚肉部27などの突出部とを有
し、巻線部に軸方向の複数のスリット30を形成した構
成とする。すなわち、駆動力発生部としてのフォースモ
ータ1と、フォースモータ1によって駆動され流体の流
れる方向、流量及び圧力等を制御する弁部2とで構成さ
れる。弁部2はスプール4、スリーブ6及び弁ボディ8
を主要構成要素とし、スリーブ6に対するスプール4の
相対位置を高精度に制御することによって流路10a〜
10cに流れる流体の方向、流量あるいは圧力等を制御
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a three-way valve type direct acting servo valve, and FIG. 2 is an enlarged partial sectional view showing the vicinity of a coil bobbin of the direct acting servo valve. As shown in FIG.
A coil bobbin 18 fixed to one end of the spool 4 sliding in the sleeve 6 in the axial direction and wound with the coil 20.
And a cylindrical elastic body for urging the coil bobbin 18 to the other end side
(Elastic body) 24 , a magnet 12, a yoke 14 and a pole 16 which traverse the coil 20 to form a magnetic path. The spool 6 is formed into a cylindrical elastic body by an electromagnetic force generated by applying a current to the coil 20. 24. A direct acting servo valve which slides in the axial direction against the urging force of a cylindrical elastic body 24.
A plurality of slit-shaped openings 24a in the circumferential direction are provided in the axial middle portion of the coil bobbin 18. The coil bobbin 18 is provided with a winding portion of the coil 20 and an outer peripheral surface of the winding portion adjacent to the winding portion.
It has a protruding portion such as a protruding rib 25 and a thick portion 27.
Then, a plurality of axial slits 30 are formed in the winding part. That is, it is composed of a force motor 1 as a driving force generating unit, and a valve unit 2 driven by the force motor 1 to control a flowing direction, a flow rate, a pressure and the like of the fluid. The valve portion 2 includes a spool 4, a sleeve 6, and a valve body 8.
Are the main constituent elements, and by controlling the relative position of the spool 4 with respect to the sleeve 6 with high precision, the flow paths 10 a to 10
The direction, flow rate, pressure and the like of the fluid flowing through 10c are controlled.

【0013】一方、フォースモータ1は、マグネット1
2、ヨーク14及びポール16と、スプール4の端部に
固着されたコイルボビン18及びコイルボビン18の周
囲に取り付けられたドライブコイル(コイル)20を主
要構成要素とし、このドライブコイル20に通電する電
流の方向及び大きさを制御してスプール4の軸方向に生
ずる力の方向と大きさを制御する。すなわち、マグネッ
ト12、ヨーク14及びポール16で磁路を形成し、こ
の磁路中に置かれたドライブコイル20へ電流を流すと
フレミングの左手の法則に基づき、スプール4及びコイ
ルボビン18を駆動させる電磁力F(F=Bli ここ
に、B:磁束密度,l:コイルの有効長さ,i:電流の
大きさ )を発生する。このようにして、ドライブコイ
ル20に発生した電磁力Fはコイルボビン18を介して
弁部2のスプール4に伝達され、このスプール4を直接
駆動する。またヨーク14を貫通し、かつコイルボビン
18の反弁部側端面22と接するように配設された筒状
弾性体24は、スプール4およびドライブコイル20の
中立位置を保持するとともに、ドライブコイル20に発
生した電磁力Fに比例してスプール4に変位を与える。
ここで、筒状弾性体24は接着すべき座巻のコイル部分
が皆無であるとともに、軸方向中間部に螺旋状または多
数の円周方向のスリット状の開口部を形成した金属体で
形成しているため、良好な線形ばね特性が得られる。こ
の結果、筒状弾性体24は圧縮および引っ張り状態で使
用してもスプールに半径方向の力を与えず、スプールと
スリーブ間の摩擦力を増大させることはない。一方、こ
の筒状弾性体24の働きによってドライブコイル20に
電磁力Fが生じていないときは、スプール4は中立位置
に保持される。また、ドライブコイル20に発生した電
磁力Fに比例してスプール4が変位することにより、流
体の流量あるいは圧力が制御されることになる。
On the other hand, the force motor 1 has a magnet 1
2, a yoke 14, a pole 16, a coil bobbin 18 fixed to an end of the spool 4, and a drive coil (coil) 20 attached around the coil bobbin 18 as main components. By controlling the direction and the magnitude, the direction and magnitude of the force generated in the axial direction of the spool 4 are controlled. That is, a magnetic path is formed by the magnet 12, the yoke 14, and the pole 16, and when an electric current is supplied to the drive coil 20 placed in the magnetic path, the electromagnetic force for driving the spool 4 and the coil bobbin 18 based on Fleming's left-hand rule. A force F (F = Bli, where B: magnetic flux density, l: effective length of coil, i: magnitude of current) is generated. In this way, the electromagnetic force F generated in the drive coil 20 is transmitted to the spool 4 of the valve section 2 via the coil bobbin 18, and directly drives the spool 4. A cylindrical elastic body 24 that penetrates the yoke 14 and is in contact with the non-valve portion side end face 22 of the coil bobbin 18 maintains the neutral position of the spool 4 and the drive coil 20, and The spool 4 is displaced in proportion to the generated electromagnetic force F.
Here, the tubular elastic body 24 is formed of a metal body having no coil portion of the end winding to be bonded and having a spiral or a large number of circumferential slit-shaped openings formed in an axial middle portion. Therefore, good linear spring characteristics can be obtained. As a result, even when the cylindrical elastic body 24 is used in the compressed and stretched state, it does not apply a radial force to the spool, and does not increase the frictional force between the spool and the sleeve. On the other hand, when the electromagnetic force F is not generated in the drive coil 20 by the action of the cylindrical elastic body 24, the spool 4 is held at the neutral position. Further, the displacement or displacement of the spool 4 in proportion to the electromagnetic force F generated in the drive coil 20 controls the flow rate or pressure of the fluid.

【0014】さらにコイルボビン18が電導材、例えば
アルミニウム合金等で形成されているときには、コイル
ボビン18が磁路における磁束を横切ると、電磁誘導作
用によってコイルボビン18に電圧が誘起され、渦電流
Ieがコイルに流れる電流iと逆向きに流れる(フレミ
ングの右手の法則)。さらに渦電流Ieと磁束との間で
抗力fがコイルに発生する電磁力(駆動力)Fと逆方向に
生じる。この結果、フォースモータの駆動力はFーfと
なる。ここで注目すべき点は、渦電流によって生じる抗
力fはコイルボビン18が磁束を横切る速度に比例す
る。したがって、入力電流iの周波数が高くなると渦電
流Ieによる抗力fも大きくなり、これがサーボ弁のス
プール4の動きに大きな減衰力を付与することになる。
Further, when the coil bobbin 18 is made of a conductive material, for example, an aluminum alloy or the like, when the coil bobbin 18 crosses the magnetic flux in the magnetic path, a voltage is induced in the coil bobbin 18 by an electromagnetic induction action, and an eddy current Ie is applied to the coil. It flows in the opposite direction to the flowing current i (Fleming's right-hand rule). Further, a drag f is generated between the eddy current Ie and the magnetic flux in a direction opposite to the electromagnetic force (driving force) F generated in the coil. As a result, the driving force of the force motor becomes Ff. It should be noted that the drag f generated by the eddy current is proportional to the speed at which the coil bobbin 18 crosses the magnetic flux. Therefore, when the frequency of the input current i increases, the drag f due to the eddy current Ie also increases, which gives a large damping force to the movement of the spool 4 of the servo valve.

【0015】本発明ではこの点に注目し、図2に示すよ
うに、コイルボビン18のドライブコイルの巻線部26
の軸方向には微小幅を有するスリット30をリブ25と
厚肉部27との間に複数本設けてある。このようにコイ
ルボビン18のコイル20の巻線部にスリット30を設
けると、電導材のコイルボビン18に発生する渦電流I
eの流路長さがスリット30がない場合に比べて変わる
ため、流路抵抗を変化させることができる。この結果、
コイルボビン18のインダクタンスLと抵抗Rの比L/
Rで決まる時定数を変化させる。これにより、渦電流に
基づく抗力、すなわち減衰力を変化させ、スプールに適
正なダンピングを付与することができる。
In the present invention, attention is paid to this point, and as shown in FIG.
A plurality of slits 30 having a minute width are provided between the rib 25 and the thick portion 27 in the axial direction. When the slit 30 is provided in the winding part of the coil 20 of the coil bobbin 18 in this manner, the eddy current I generated in the coil bobbin 18 of the conductive material is generated.
Since the flow path length e changes as compared with the case where the slit 30 is not provided, the flow path resistance can be changed. As a result,
The ratio L / L of the inductance L and the resistance R of the coil bobbin 18
The time constant determined by R is changed. Thereby, the drag, that is, the damping force based on the eddy current is changed, and appropriate damping can be applied to the spool.

【0016】ここで、本実施例によるダンピング性能を
実験により確認し、その結果を図3に示す。図3ではフ
ルスリット型及びスリットレス型並びに部分スリット型
コイルボビンを用いたときの周波数応答のゲイン特性を
対比して示している。図3からも分かるようにコイルボ
ビンに部分スリットを形成することでゲイン特性のピー
ク値の増加分は、スリットレス型コイルボビンの場合に
比べ1〜2dB程度に抑制できる。またスリットレス型
コイルボビンの場合には、渦電流によるダンピング作用
を最大限に発揮させることができる。この結果、図3か
らもわかるように応答周波数の値は、部分スリット型コ
イルボビンの場合に比べ若干低下する。反面、ゲイン特
性のピーク値は、コイルボビンに発生する渦巻流を10
0%減衰力として利用できるため、+3dB程度に抑制
でき制御安定性の向上が図れる。
Here, the damping performance according to the present embodiment was confirmed by experiments, and the results are shown in FIG. FIG. 3 shows gain characteristics of frequency response when a full slit type, a slitless type, and a partial slit type coil bobbin are used. As can be seen from FIG. 3, by forming a partial slit in the coil bobbin, the increase in the peak value of the gain characteristic can be suppressed to about 1 to 2 dB as compared with the case of the slitless coil bobbin. In the case of a slitless coil bobbin, the damping action by the eddy current can be maximized. As a result, as can be seen from FIG. 3, the value of the response frequency is slightly lower than in the case of the partial slit type coil bobbin. On the other hand, the peak value of the gain characteristic indicates that the spiral flow generated in the coil bobbin is 10
Since it can be used as 0% damping force, it can be suppressed to about +3 dB, and control stability can be improved.

【0017】これにより本発明の実施例によれば、図2
に示すように、コイルボビン18のコイル巻線部26に
スリット30を設けることにより、直動形サーボ弁で要
求される相反する課題の応答性と制御安定性の両方を解
決することができる。
Thus, according to the embodiment of the present invention, FIG.
As shown in (1), by providing the slit 30 in the coil winding portion 26 of the coil bobbin 18, it is possible to solve both the responsiveness and the control stability of the contradictory problems required for the direct acting servo valve.

【0018】図4は本発明に係る第2の実施例を示して
いる。本実施例ではコイルボビン18に対する部分スリ
ット32が図2の場合と異なっている。すなわち、コイ
ルボビン18の軸方向に設ける複数本の部分スリット3
2は巻線部26からコイルボビン18の厚肉部27の中
間部まで延長されている点が異なっている。これによ
り、渦電流Ieの流路抵抗を変化させることができる。
さらに磁束密度の大きい巻線部26と厚肉部27との境
界部分に部分スリット32を設けることにより渦電流I
eによる抗力を低下させることができる。この結果、渦
電流によるダンピング効果を緩和させ、直動形サーボ弁
の周波数特性を図3の場合に比べ向上させることができ
る。
FIG. 4 shows a second embodiment according to the present invention. In the present embodiment, the partial slit 32 for the coil bobbin 18 is different from that of FIG. That is, a plurality of partial slits 3 provided in the axial direction of the coil bobbin 18
2 is different in that it extends from the winding part 26 to the middle part of the thick part 27 of the coil bobbin 18. Thereby, the flow path resistance of the eddy current Ie can be changed.
Further, by providing a partial slit 32 at the boundary between the winding portion 26 having a large magnetic flux density and the thick portion 27, the eddy current I
The drag by e can be reduced. As a result, the damping effect due to the eddy current can be reduced, and the frequency characteristics of the direct acting servo valve can be improved as compared with the case of FIG.

【0019】図5は本発明に係る第3の実施例を示して
いる。本実施例ではコイルボビン18に対する部分スリ
ット34が図2の場合と異なっている。すなわち、コイ
ルボビン18の巻線部26の軸方向に設ける複数本の部
分スリット34は、巻線部26の全幅に対して設けるの
ではなく途中(中間部)までとしている。しかもコイル
ボビン18の厚肉部27側からリブ25側に向かって巻
線部26に設ける部分スリット34aと、リブ25側か
ら厚肉部27側に向かって巻線部26に設ける部分スリ
ット34bとは、巻線部26の幅内の中間部で両者部分
スリット34a,34bの終端の長さがオーバーラップ
するようにしてある。このように部分スリット34a,
34bをオーバーラップさせることにより、コイルボビ
ン18に発生する渦電流の流路抵抗を増大させることが
できる。この結果、渦電流による抗力を図2の場合に比
べ低減させ、直動形サーボ弁の応答性向上が図れる。
FIG. 5 shows a third embodiment according to the present invention. In the present embodiment, the partial slit 34 for the coil bobbin 18 is different from the case of FIG. In other words, the plurality of partial slits 34 provided in the axial direction of the winding portion 26 of the coil bobbin 18 are not provided for the entire width of the winding portion 26 but extend to the middle (intermediate portion). Moreover, the partial slit 34a provided in the winding portion 26 from the thick portion 27 side of the coil bobbin 18 toward the rib 25 and the partial slit 34b provided in the winding portion 26 from the rib 25 side to the thick portion 27 side The end lengths of both partial slits 34a and 34b are overlapped at an intermediate portion within the width of the winding portion 26. Thus, the partial slits 34a,
By overlapping 34b, the flow path resistance of the eddy current generated in the coil bobbin 18 can be increased. As a result, the drag due to the eddy current is reduced as compared with the case of FIG. 2, and the response of the direct acting servo valve can be improved.

【0020】さらに図6は前述の第2及び第3の実施例
を併用することによる相乗効果を狙ったものである。す
なわち、コイルボビン18の巻線部26と厚肉部27に
設ける部分スリット36a,36bは、互いに周方向に
位相をずらし、しかも隣接するスリットの長さはオーバ
ーラップするようにコイルボビン18の軸方向に複数本
のスリットを設けたことである。この結果、前述の実施
例の場合に比べて渦電流による減衰力を低減させること
ができ、さらに弁の応答性の向上が図れる。
FIG. 6 aims at a synergistic effect by using the second and third embodiments in combination. That is, the partial slits 36a and 36b provided in the winding part 26 and the thick part 27 of the coil bobbin 18 are shifted in phase in the circumferential direction from each other, and the lengths of the adjacent slits are overlapped in the axial direction of the coil bobbin 18. That is, a plurality of slits are provided. As a result, the damping force due to the eddy current can be reduced as compared with the above-described embodiment, and the responsiveness of the valve can be further improved.

【0021】図7及び図8は本発明に係る第5及び第6
の実施例を示している。本実施例は前述の第1および第
2の実施例の変形例である。ここではコイルボビン18
の巻線部26に設ける部分スリット38,40の途中を
切断し非接続部38a,40aを設けてある。これによ
りコイルボビン18の巻線部26に発生する渦電流の流
路を部分スリット38,40によって絞り形状としたこ
とである。この結果、この絞り部を通過する渦電流が発
生することにより直動形サーボ弁に対する抗力が第1お
よび第2の実施例に比べ増大する。この結果、直動形サ
ーボ弁の制御安定性の向上が期待できる。
FIGS. 7 and 8 show the fifth and sixth embodiments according to the present invention.
Is shown. This embodiment is a modification of the first and second embodiments. Here, the coil bobbin 18
In the middle of the partial slits 38 and 40 provided in the winding part 26, non-connection parts 38a and 40a are provided. Thus, the flow path of the eddy current generated in the winding portion 26 of the coil bobbin 18 is formed into a throttle shape by the partial slits 38 and 40. As a result, an eddy current passing through the throttle portion is generated, so that the drag on the direct acting servo valve is increased as compared with the first and second embodiments. As a result, an improvement in control stability of the direct acting servo valve can be expected.

【0022】図9は本発明に係る第7の実施例を示して
いる。本実施例ではコイルボビン18の軽量化のために
設けられた隣接する空孔部44aと44bの間に巻線部
26及び厚肉部27を通して部分スリット42をコイル
ボビン18の軸方向に複数本設けてある。これより、巻
線部26および厚肉部27と巻線部26との境界部分、
並びに厚肉部27の3個所で渦電流による抗力を低減で
きる。
FIG. 9 shows a seventh embodiment according to the present invention. In this embodiment, a plurality of partial slits 42 are provided in the axial direction of the coil bobbin 18 through the winding portion 26 and the thick portion 27 between adjacent holes 44a and 44b provided for reducing the weight of the coil bobbin 18. is there. Thus, the boundary between the winding portion 26 and the thick portion 27 and the winding portion 26,
In addition, the drag due to the eddy current can be reduced at three places of the thick portion 27.

【0023】本実施例によれば、渦電流によるダンピン
グ効果を最大限に軽減できるため、直動形サーボ弁の
答性の向上が実現可能となる。
According to this embodiment, since the damping effect due to the eddy current can be reduced to the maximum, the response of the direct acting servo valve can be reduced.
Improvement of responsiveness can be realized.

【0024】図10は本発明に係る部分スリットを有す
るコイルボビンで2段形サーボ弁のパイロット弁を構成
した第8の実施例である。本実施例では図1で示した直
動形サーボ弁と同一の部材もしくは類似の部材には同一
の符号を記し,ここではその詳しい説明は省略する。
FIG. 10 shows an eighth embodiment in which a pilot valve of a two-stage servo valve is constituted by a coil bobbin having a partial slit according to the present invention. In this embodiment, the same or similar members as those of the direct acting servo valve shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0025】2段形サーボ弁の応答性向上とダンピング
付与の相反する課題に対して、本発明に係るコイルボビ
ンに部分スリットを設ける手法は、直動形サーボ弁の場
合と同様有効な手段である。
The method of providing a partial slit in a coil bobbin according to the present invention is an effective means as in the case of a direct acting servo valve, against the contradictory problem of improving the response of a two-stage servo valve and providing damping. .

【0026】図11は本発明に係る部分スリット構造を
電気フィードバック方式の直動形サーボ弁に適用した第
9の実施例を示す。すなわち、コイルボビンの反弁体側
端面に比較的弱いばね定数の筒状弾性体52を配設し、
かつスプール4の端面には変位検出器50を設け、スプ
ール4の位置を電気的に検出し、この検出値をフィード
バックゲインKxで増幅するとともに、入力指令値Xc
と突き合わせることにより生ずる偏差信号で直動形サー
ボ弁のスプール4の動きを制御機構75で制御するよう
にしたことである。この場合、サーボ弁の応答性は電気
的にフィードバック補償しているため、高応答が期待で
きるのは自明である。また、図11に示した本発明によ
る実施例は、以下に示すように変形することも可能であ
る。すなわち、スプールの位置を変位検出器により電気
的に検出し、かつ直動形サーボ弁のアンプにフィードバ
ックすることにより閉ループ位置サーボ系を構成させ、
しかも出力を直動形サーボ弁駆動用アンプ内で速度信号
に変換し、電力増幅器の入力側に負帰還することにより
電気的にダンピングを付加する方式の直動形サーボ弁に
おいて、コイルボビンの反弁体側端面には軸方向中間部
に螺旋状または多数の円周方向のスリット状の開口部を
形成した金属性の筒状弾性体を配設するとともに、コイ
ルボビンはスリットレス型または部分スリット型のう
ち、いずれか一方のコイルボビンで構成したことを特徴
とする。このような構成とすることにより、直動形サー
ボ弁の高応答性と高制御性を実現できるとともに、電気
フィードバックループがOFFとなった場合でも、筒状
弾性体のばね定数とスプールなどの可動部質量とで決定
される応答性は確保できる。この結果、本直動形サーボ
弁による制御対象が暴走するなどの致命的なトラブルを
未然に防止できる。
FIG. 11 shows a ninth embodiment in which the partial slit structure according to the present invention is applied to an electric feedback type direct acting servo valve. That is, a cylindrical elastic body 52 having a relatively weak spring constant is disposed on the end face of the coil bobbin opposite to the valve body,
In addition, a displacement detector 50 is provided on the end face of the spool 4 to electrically detect the position of the spool 4, amplify the detected value by a feedback gain Kx, and input an input command value Xc
The movement of the spool 4 of the direct acting servo valve is controlled by the control mechanism 75 using a deviation signal generated by the comparison. In this case, it is obvious that a high response can be expected because the response of the servo valve is electrically compensated by feedback. Further, the embodiment according to the present invention shown in FIG. 11 can be modified as shown below. That is, the position of the spool is electrically detected by a displacement detector, and a feedback control is provided to an amplifier of a direct acting servo valve to form a closed loop position servo system.
In addition, in the direct-acting servo valve, the output is converted into a speed signal in the direct-acting servo valve drive amplifier and negatively fed back to the input side of the power amplifier to electrically add damping. On the body side end surface, a metallic cylindrical elastic body having a spiral or a number of circumferential slit-shaped openings formed in the axial middle part is disposed, and the coil bobbin is a slitless type or a partial slit type. And one of the coil bobbins. With such a configuration, high response and high controllability of the direct acting servo valve can be realized, and even when the electric feedback loop is turned off, the spring constant of the cylindrical elastic body and the movable state of the spool and the like can be improved. Responsiveness determined by the partial mass can be ensured. As a result, it is possible to prevent a fatal trouble such as a runaway of the control target by the direct acting servo valve.

【0027】一方、制御安定性の付与については、これ
までスプール変位を一回微分して速度信号をつくり、こ
れをフィードバックして安定化させる手法や、変位検出
器とは別に速度検出器を設けてその信号を直接用いて安
定化させる方法、さらにはオブザーバを用いて安定化さ
せる方法、また弁にオイルダンパを配設し安定化させる
等の手法が考えられている。しかし、これら従来のダン
ピング付与手法を適用する場合にはコスト的にアップす
ること、または適正な制御ゲインの設定が困難となるこ
と、また油温度や作動流体中の混入空気等の影響を直接
受けることなどの問題点を有している。
On the other hand, in order to impart control stability, a method of generating a speed signal by differentiating the spool displacement once and feeding it back to stabilize, or providing a speed detector separately from the displacement detector has been provided. A method of directly using the signal to stabilize the signal, a method of stabilizing the signal by using an observer, and a method of disposing an oil damper in a valve to stabilize the signal have been considered. However, when these conventional damping methods are applied, the cost is increased, or it is difficult to set an appropriate control gain, and the temperature is directly affected by oil temperature, air mixed in the working fluid, and the like. It has problems such as that.

【0028】これに対し本実施例では前述のように特別
な減衰付与手法および制御装置を新たに設ける必要がな
く、コイルボビンに設ける部分スリットの位置および形
状のみを適正化することで前記課題に対処できる。この
結果、安価でしかも高応答、高安定な直動形サーボ弁を
提供することができる。なお、本実施例では3方弁の場
合についての実施例について述べたが、本発明はこれに
限定されることはなく4方弁の場合についても同様に適
用でき、しかも3方弁の場合と同様な効果が期待でき
る。
On the other hand, in the present embodiment, it is not necessary to newly provide a special damping method and a control device as described above, and the above problem is solved by optimizing only the position and shape of the partial slit provided on the coil bobbin. it can. As a result, it is possible to provide an inexpensive, highly responsive, and stable direct acting servo valve. In the present embodiment, the embodiment in the case of the three-way valve has been described. However, the present invention is not limited to this, and can be similarly applied to the case of the four-way valve. Similar effects can be expected.

【0029】図12は本発明の直動形サーボ弁を圧延機
用油圧圧下装置に使用した例である。図12に示すよう
に、油圧ポンプ64より吐出される作動油は、本発明の
直動形サーボ弁69により圧下ジャッキ61に供給され
たり、または圧下ジャッキ61からタンク63に戻され
たりするように方向、流量及び圧力が制御される。この
とき、圧下ジャッキ61には圧下ラムの高さを検出する
センサ62が内蔵され、このセンサ62の出力信号を制
御装置70に取り込むことにより、直動形サーボ弁69
への入力電流を制御し圧下ジャッキ61のストロークを
制御するようになっている。本発明の直動形サーボ弁を
使用した油圧圧下装置を圧縮機に備えることにより、直
接圧下ジャッキの位置を高応答でしかも高精度に制御す
ることが可能となり、圧延材80の板厚をμm単位の高
精度に制御できる。
FIG. 12 shows an example in which the direct acting servo valve of the present invention is used in a hydraulic pressure reducing device for a rolling mill. As shown in FIG. 12, the hydraulic oil discharged from the hydraulic pump 64 is supplied to the screw-down jack 61 by the direct-acting servo valve 69 of the present invention, or is returned from the screw-down jack 61 to the tank 63. Direction, flow and pressure are controlled. At this time, a sensor 62 for detecting the height of the pressing down ram is built in the pressing down jack 61, and the output signal of this sensor 62 is taken into the control device 70 so that the direct acting servo valve 69 is provided.
And the stroke of the pressure reduction jack 61 is controlled. By providing the compressor with a hydraulic pressure reduction device using the direct acting servo valve of the present invention, it is possible to directly control the position of the pressure reduction jack with high response and high accuracy, and to reduce the thickness of the rolled material 80 to μm. The unit can be controlled with high precision.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明によれば、コイルボビンのコイル
の巻線部に軸方向の部分スリットを設、コイルボビン
に生ずる渦電流の流路長さを変化させ、かつスプールの
変位に対する抗力を変化させることにより、弁に適正な
ダンピング力を付与するとともに応答性の向上が図れ
る。また、の制御安定性と応答性向上とを簡単な手段
で安価に実現できる。
According to the present invention, only setting the axial portion slit winding portion of the coil of the coil bobbin, to change the flow path length of the eddy current generated in the coil bobbin, and the spool
By changing the resistance to the displacement, an appropriate damping force is applied to the valve, and the responsiveness can be improved. Also, control stability and responsiveness of the valve can be improved at low cost by simple means.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のー実施例を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1のコイルボビンを示す拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view showing the coil bobbin of FIG.

【図3】コイルボビンのスリット形状の相違による周波
数特性を比較した図である。
FIG. 3 is a diagram comparing frequency characteristics due to differences in slit shapes of coil bobbins.

【図4】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図7】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図9】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing another embodiment of the present invention.

【図10】本発明の他の実施例として2段形サーボ弁を
示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a two-stage servo valve as another embodiment of the present invention.

【図11】本発明の他の実施例として電気フィードバッ
ク式の直動形サーボ弁を示す図である。
FIG. 11 is a view showing an electric feedback type direct acting servo valve as another embodiment of the present invention.

【図12】本発明の他の実施例として圧延機油圧圧下装
置を示す図である。
FIG. 12 is a view showing a rolling mill hydraulic pressure reduction device as another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4 スプール 6 スリーブ 8 ボディ 12 マグネット 18 コイルボビン 20 ドライブコイル 26 コイルボビンの巻線部 27 コイルボビンの厚肉部 24,52 筒状弾性体 30,32,34a,34b,36a,36b,38,
40,42 スリット 50 変位検出器 69 直動形サーボ弁
Reference Signs List 4 spool 6 sleeve 8 body 12 magnet 18 coil bobbin 20 drive coil 26 winding part of coil bobbin 27 thick part of coil bobbin 24, 52 cylindrical elastic body 30, 32, 34a, 34b, 36a, 36b, 38,
40, 42 Slit 50 Displacement detector 69 Direct acting servo valve

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−57705(JP,A) 特開 昭59−196698(JP,A) 特開 昭61−102153(JP,A) 実開 昭57−26194(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) F15B 13/044 H02K 33/18──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-2-57705 (JP, A) JP-A-59-196698 (JP, A) JP-A-61-102153 (JP, A) 26194 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) F15B 13/044 H02K 33/18

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 スリーブ内を軸方向に摺動するスプール
の一端に固設された導電材からなるコイルボビンと、前
記コイルボビンに巻回されたコイルと、前記コイルを横
磁路を形成するマグネットとを備えてなり、前記コ
イルに電流を流して発生させた電磁力により前記スプー
を軸方向に摺動させる直動形サーボ弁において、前記
コイルボビンは、軸方向に延在させて形成されたスリッ
トを有してなり、該スリットの少なくとも一方の端が、
前記コイルが巻回された巻線部の端を含む位置と、当該
コイルボビンの端部との間に設定され、かつ当該コイル
ボビンの両端部に少なくともスリットが形成されていな
い部位を有してなることを特徴とする直動形サーボ弁。
A coil bobbin made of a conductive material fixed to one end of a spool that slides in a sleeve in an axial direction ;
Axis the spool and a coil wound around the serial coil bobbin, before SL becomes and a magnet forming a lateral <br/> switching Ru magnetic path coil, the electromagnetic force generated by applying a current to said coil in direct acting servo valve sliding direction, the
The coil bobbin has a slit formed to extend in the axial direction.
At least one end of the slit,
A position including an end of a winding portion around which the coil is wound;
Between the end of the coil bobbin and the coil
At least slits are not formed at both ends of the bobbin
Direct-acting servo valve, characterized in that it has a large area .
【請求項2】 請求項1に記載の直動形サーボ弁におい
て、 前記コイルボビンは、前記巻線部よりも大径の厚肉部が
前記巻線部に隣接させて形成され、前記スリットの端が
前記厚肉部の中間部に位置されてなる ことを特徴とする
直動形サーボ弁。
2. The direct acting servo valve according to claim 1, wherein
The coil bobbin has a thick portion having a diameter larger than that of the winding portion.
The end of the slit is formed adjacent to the winding portion.
A direct-acting servo valve, which is located at an intermediate portion of the thick portion .
【請求項3】 請求項1に記載の直動形サーボ弁におい
て、 前記コイルボビンは、前記巻線部よりも大径の厚肉部が
前記巻線部に隣接させて形成され、前記スリットが前記
コイルボビンの周方向に複数形成され、 隣接する一方の
スリットが前記巻線部の他端と該巻線部の中間部との間
に形成され、かつ他方のスリットが前記巻線部の一端と
該巻線部の中間部との間に形成され、それぞれのスリッ
トの終端が前記巻線部の中間部で互いオーバーラップ
していることを特徴とする直動形サーボ弁。
3. The direct acting servo valve according to claim 1, wherein
The coil bobbin has a thick portion having a diameter larger than that of the winding portion.
The slit is formed adjacent to the winding portion, and the slit is
A plurality of slits are formed in the circumferential direction of the coil bobbin, and one adjacent slit is formed between the other end of the winding part and an intermediate part of the winding part, and the other slit is formed between one end of the winding part and the one end of the winding part. is formed between the intermediate portion of the winding unit, direct acting servo valve end of each slit, characterized in that the overlap to each other at an intermediate portion of the winding portion.
【請求項4】 圧下ジャッキと、該圧下ジャッキに作動
油を供給する油圧ポンプと、前記圧下ジャッキに供給さ
れた前記作動油を戻すタンクと、該作動油の前記圧下ジ
ャッキへの供給と排出とを制御するサーボ弁体とを備
え、圧延材の板厚を加工する圧延機において、前記サー
ボ弁体は、スリーブ内を軸方向に摺動するスプールの一
端に固設されかつコイルを巻回されたコイルボビンと、
該コイルボビンを他端側に付勢する弾性体と、前記コイ
ルを横切り磁路を形成するマグネット、ヨーク及びポー
ルとを備えてなり、前記コイルに電流を流して発生させ
た電磁力により前記スプールを前記弾性体の付勢力に抗
して軸方向に摺動させる直動形サーボ弁により形成さ
れ、前記コイルボビンは、軸方向に延在させて形成され
たスリットを有してなり、該スリットの少なくとも一方
の端が、前記コイルが巻回された巻線部の端を含む位置
と、当該コイルボビンの端部との間に設定され、かつ当
該コイルボビンの両端部に少なくともスリットが形成さ
れていない部位を有してなることを特徴とする圧延機。
4. A screw-down jack, a hydraulic pump that supplies hydraulic oil to the screw-down jack, a tank that returns the hydraulic oil supplied to the screw-down jack, and a supply and discharge of the hydraulic oil to and from the screw-down jack. And a servo valve body for controlling the thickness of the rolled material, wherein the servo valve body is fixed to one end of a spool that slides in the sleeve in the axial direction and is wound with a coil. Coil bobbin and
An elastic body for urging the coil bobbin to the other end side, and a magnet, a yoke, and a pole traversing the coil to form a magnetic path, and the spool is moved by an electromagnetic force generated by applying a current to the coil. The coil bobbin is formed by a direct acting servo valve that slides in the axial direction against the urging force of the elastic body, and the coil bobbin is formed to extend in the axial direction.
Having at least one of the slits
Is located at a position including the end of the winding portion around which the coil is wound.
And the end of the coil bobbin
At least slits are formed at both ends of the coil bobbin.
A rolling mill characterized by having a portion that is not provided .
【請求項5】 請求項4に記載の圧延機において、前記
コイルボビンは、前記巻線部よりも大径の厚肉部が前記
巻線部に隣接させて形成され、前記スリットの端が前記
厚肉部の中間部に位置されてなることを特徴とする圧延
機。
5. The rolling mill according to claim 4, wherein
The coil bobbin has a thick portion having a diameter larger than that of the winding portion.
The end of the slit is formed adjacent to the winding part,
A rolling mill, which is located at an intermediate part of a thick part .
【請求項6】 スリーブと該スリーブ内の軸方向に摺動
自由に装着されたスプールとを有する弁部と、前記スプ
ールの一端に連結されたコイルボビンと、該コイルボビ
ンに巻回されたコイルと、前記コイルを横切る磁路を形
成するマグネットとを有するフォースモータ部とを備え
てなり、前記コイルに電流を流して発生させた電磁力に
より前記スプールを摺動させる直動形サーボ弁におい
て、前記コイルボビンは、軸方向に延在させて形成され
たスリットを有してなり、該スリットの少なくとも前記
スプール側の端が、前記コイルが巻回された巻線部の端
を含む位置と、当該コイルボビンのスプール側の端部と
の間に設定されて、かつ当該コイルボビンの両端部に少
なくともスリットが形成されていない部位を有してなる
ことを特徴とする直動形サーボ弁。
6. A sleeve and an axial slide in the sleeve.
A valve portion having a freely mounted spool;
A coil bobbin connected to one end of the
A coil wound around the coil and a magnetic path crossing the coil.
And a force motor unit having a magnet to be formed.
And the electromagnetic force generated by applying a current to the coil
The direct acting servo valve that slides the spool
The coil bobbin is formed to extend in the axial direction.
Having at least the slit
The end on the spool side is the end of the winding part around which the coil is wound.
And the end of the coil bobbin on the spool side.
Between both ends of the coil bobbin.
At least a part where no slit is formed
A direct acting servo valve characterized by the following:
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