JP2841941B2 - Thin plate for Fe-Ni-based shadow mask and method for producing the same - Google Patents
Thin plate for Fe-Ni-based shadow mask and method for producing the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の目的】本発明はFe−Ni系シャドウマスク用薄板
およびその製造方法に係り、板表面粗さが適切とされた
Fe−Ni系シャドウマスク用薄板およびその簡易かつ安定
で比較的低コストに製造することのできる方法を提供し
ようとするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a thin plate for an Fe-Ni-based shadow mask and a method for producing the same, and the surface roughness of the plate is determined to be appropriate.
An object of the present invention is to provide a thin plate for an Fe-Ni-based shadow mask and a method that can be manufactured easily, stably, and at a relatively low cost.
【0002】[0002]
【産業上の利用分野】板表面粗さを適切とされたFe−Ni
系シャドウマスク用薄板およびその製造技術。[Industrial application] Fe-Ni with proper surface roughness
Thin plate for shadow mask and its manufacturing technology.
【0003】[0003]
【従来の技術】シャドウマスクの板表面は良好なエッチ
ング性を確保しつつ、エッチング後の焼鈍時における密
着防止のため適当な粗さを有していることが必要であ
る。2. Description of the Related Art The surface of a plate of a shadow mask needs to have an appropriate roughness to ensure good etching properties and prevent adhesion during annealing after etching.
【0004】特に、近年カラーテレビの高品位化に伴
い、色ずれの問題に対応できる低熱膨張のシャドウマス
ク材料として注目されているFe−Ni系のインバー合金で
は、従来の低炭素鋼によるシャドウマスク材に比べて、
エッチング後のフラットマスクを焼鈍するときに密着焼
付性が著しい。然し、この問題を解決するために好まし
い提案はなされていない。[0004] In particular, in the case of Fe-Ni-based invar alloys, which have been receiving attention as a low thermal expansion shadow mask material capable of coping with the problem of color misregistration in recent years as color televisions have become higher in quality, conventional shadow masks made of low carbon steel are used. Compared to wood,
When the flat mask after etching is annealed, the adhesion baking property is remarkable. However, no favorable proposal has been made to solve this problem.
【0005】即ち、特開昭62−238003号公報の
如きに、従来の低炭素鋼フラットマスクの焼鈍時におけ
る密着焼付を、表面粗度の適正化、即ちRa が0.2〜2.
0μm で、Rsk(粗さ曲線の高さ方向の偏りの指標)を
0以上とするような提案はみられるものの、Fe−Ni系イ
ンバー合金の場合は低炭素鋼とは技術事情が異なり、こ
のFe−Ni系インバー合金によるフラットマスクにおける
焼鈍時の密着焼付発生状態なども異質であり、Rskにつ
いては該発明の比較例が−2または−3程度であったの
に対し実施例では+0.2としたもので、Fe−Ni系インバ
ー合金フラットマスク焼鈍時の焼付防止に関する好まし
い技術は見当らない。That is, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-238003, the conventional baking of low carbon steel flat masks during annealing is performed by optimizing the surface roughness, that is, when Ra is 0.2 to 2.2.
Although there is a proposal to make Rsk (index of the deviation of the roughness curve in the height direction) 0 or more at 0 μm, in the case of Fe-Ni-based Invar alloy, the technical situation is different from that of low-carbon steel, The state of occurrence of adhesion seizure during annealing in a flat mask made of an Fe-Ni-based Invar alloy is also different. Rsk was about -2 or -3 in the comparative example of the present invention, whereas Rsk was +0.2 in the example. However, there is no preferred technique for preventing seizure during flat mask annealing of the Fe-Ni-based Invar alloy.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記したような従来技
術では、低炭素鋼フラットマスクの焼鈍時の密着焼付を
防止しているのみで、前記したFe−Ni合金であるインバ
ー合金の強度は低炭素鋼に比して高く、その曲面プレス
成形前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合に比して高く採らざ
るを得ず、この場合、この従来技術では、インバー合金
フラットマスク焼鈍時の焼付防止をなし得ない。事実、
この従来技術で到達しえた表面粗度、Ra0.65μm 、
Rsk+0.2を有するインバー合金は、焼鈍時で密着焼付
きが著しかったのである。In the prior art as described above, only the adhesion seizure during annealing of a low carbon steel flat mask is prevented, and the strength of the above-mentioned Fe—Ni alloy, Invar alloy, is low. It is higher than carbon steel, and its annealing temperature before curved surface press forming must be higher than that of low carbon steel.In this case, in this conventional technology, prevention of seizure during annealing of Invar alloy flat mask Can not do. fact,
The surface roughness achieved by this conventional technique, Ra 0.65 μm,
The invar alloy having Rsk + 0.2 had remarkable adhesion seizure during annealing.
【0007】その他の方法としてショットブラスト加工
・放電加工することも一部に行われているが、この加工
を行ったロールを使用した圧延ではRskは+0.4程度し
か得られず、近時における前記のようなシャドウマスク
の要請に応ずることができない。[0007] As another method, shot blasting and electric discharge machining are also partially performed, but Rsk can be obtained only about +0.4 by rolling using a roll that has been subjected to this machining. It is not possible to meet the demand for the shadow mask as described above.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記したような
従来のものにおける課題を解消するように検討して創案
されたものであって、以下の如くである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-mentioned conventional problems and has been made as follows.
【0009】鋼板表面粗さをRa 0.3 〜0.8μm 、Rsk
+0.5〜+1.2としたことを特徴とするFe−Ni系シャド
ウマスク用薄板。The surface roughness of the steel sheet is Ra 0.3 to 0.8 μm, Rsk
A thin plate for an Fe-Ni-based shadow mask, wherein the thickness is +0.5 to +1.2.
【0010】0.6〜1.6μm Ra にダル加工した直径6
0〜120mmφである上下1対の小径ワークロールを単
位幅荷重0.05〜0.20Ton /mmで接触させ、1000
〜10000回転転動させた後、該ロールを用いて圧延
し鋼板表面粗さをRa 0.3 〜0.8μm 、Rsk+0.5〜+
1.2とすることを特徴とするFe−Ni系シャドウマスク用
薄板の製造方法。Diameter 6 dulled to 0.6-1.6 μm Ra
A pair of upper and lower small-diameter work rolls having a diameter of 0 to 120 mmφ are brought into contact with a unit width load of 0.05 to 0.20 Ton / mm.
After rolling about 10000 rotations, the roll is rolled using the roll to obtain a steel sheet having a surface roughness of Ra 0.3 to 0.8 μm, Rsk + 0.5 to +
1. A method for producing a thin plate for an Fe-Ni-based shadow mask, the method being 1.2.
【0011】[0011]
【作用】表面粗さをRa 0.3 以上とし、又Rskを0.5以
上とすることにより近時カラーテレビ高品位化に伴う色
ずれに即応できる低熱膨張のFe−Ni系シャドウマスクの
エッチング後焼鈍時における密着焼付を適切に防止し、
又Ra の上限をRa 0.8μm とすることによりエッチン
グを適切に行わしめる。更にRskの上限を+1.2とする
ことによってエッチングむらの発生を防止すると共に過
大になることにより前記焼付けが再び発生し易くなるこ
とを回避する。[Function] By post-etching annealing of a low thermal expansion Fe-Ni-based shadow mask capable of immediately responding to color misregistration accompanying color television quality improvement by setting the surface roughness to Ra 0.3 or more and Rsk to 0.5 or more. Properly prevent seizure during printing,
By setting the upper limit of Ra to 0.8 μm , the etching can be properly performed. Further, the baking is prevented from becoming easily generated again by becoming excessive while preventing the occurrence of uneven etching by an upper limit of Rsk + 1. and 2.
【0012】上記シャドウマスク材の製造に当って、直
径60mm以上のワークロールとすることにより鋼板面に
適切な表面粗さ加工を行わせ、しかもロール耐久性を得
しめ、又120mmφ以下とすることにより前記のような
表面粗さの的確な形成を図る。In the production of the above-mentioned shadow mask material, a work roll having a diameter of 60 mm or more is used so that the surface of the steel sheet can be appropriately subjected to surface roughness processing, and the roll durability can be obtained. Thus, accurate formation of the surface roughness as described above is achieved.
【0013】0.6〜1.6μm Ra にダル加工したロール
を用いることにより転動処理後に得られるロール面の凹
部深さを適切に確保する。By using a roll dulled to 0.6 to 1.6 μm Ra, the depth of the concave portion of the roll surface obtained after the rolling process is properly secured.
【0014】ダル加工された前記ロールに単位幅荷重0.
05 Ton/mm以上で接触させ回転転動することによって
ダル加工によって形成された凸部を適切に除去して有効
な加工結果を得しめ、しかもこの単位幅荷重を0.20 T
on/mm以下とすることによりダル加工による凸部が異常
に除去され凹部をも損傷し、圧延に際しバックアップロ
ール面が損なわれるようなことを可及的に回避する。又
転動回数を1000回以上とすることによりダル加工凸
部の好ましい除去を図り、又その上限を10000回と
することによってロールの転動疲労上昇とそれによる劣
化を回避し効率的な加工を得しめる。工業的にこれ以上
転動させても効果が少ない。The dulled roll has a unit width load of 0.
By contacting at a speed of at least 0.05 Ton / mm and rotating and rolling, the convex portion formed by dulling is appropriately removed to obtain an effective working result, and the unit width load is reduced to 0.20 T.
By setting it to on / mm or less, it is possible to avoid as much as possible that a convex part due to dulling is abnormally removed, a concave part is damaged, and a backup roll surface is not damaged during rolling. The dulling convex portion is preferably removed by setting the number of rolling times to 1,000 or more, and by setting the upper limit to 10,000 times, it is possible to avoid an increase in rolling contact fatigue and deterioration due to the rolling fatigue, thereby enabling efficient working. Get it. Even if it rolls more than industrially, the effect is small.
【0015】上記のようにダル加工による凸部が実質的
になくなり凹部を主体としたロール面を形成することに
より、該ロールによるシャドウマスク圧延で凸部の多い
板、即ちRa 0.3〜0.8μm でRskの高い板を的確に得
しめる。As described above, the convex portion due to the dulling process is substantially eliminated, and the roll surface mainly including the concave portion is formed, so that a plate having a large number of convex portions by the shadow mask rolling by the roll, that is, Ra 0.3 to 0.3. A plate with a high Rsk at .8 μm can be obtained accurately.
【0016】本発明における前記のようなロールのダル
加工は、砥石、レーザービーム、ショットブラスト、放
電加工などの何れによってもよいが、好ましくは方向
性、規則性の少ない放電加工、ショットブラストによる
ことが適切であって後述する実施例のものは何れもショ
ットブラストによるものを採用した。In the present invention, the roll dulling as described above may be performed by any of a grindstone, a laser beam, shot blasting, electric discharge machining, and the like, but preferably by electric discharge machining and shot blasting with less directivity and regularity. In all of the embodiments described below, shot blasting was employed.
【0017】[0017]
【実施例】前記したような本発明によるものの具体的な
実施態様について説明すると、本発明者等は36%Ni−
Fe合金によるシャドウマスク用薄板について、圧延後板
粗さRa 、Rskの種々に変化したものを製造し、それら
のエッチング後フラッドマスクを焼鈍したときの密着焼
付発生の有無およびエッチング時のむら発生の有無につ
いて検討した。即ちこのようなシャドウマスク用薄板の
表面粗さ焼鈍後密着の如何を要約して示すと、次の表1
の如くである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The specific embodiment of the present invention as described above will be described.
Regarding the thin plate for shadow mask made of Fe alloy, the plate roughness after rolling was manufactured with various changes in Ra and Rsk, and the presence or absence of occurrence of adhesion seizure when annealing the flood mask after etching and the occurrence of unevenness during etching Was considered. That is, the following summarizes the adhesion of such a shadow mask thin plate after surface roughness annealing.
It is like.
【0018】[0018]
【表1】 [Table 1]
【0019】即ち、AのものはRa は本発明の要件を満
足するもののRskが低く、またH、IのものもRskが満
足しない場合であり、K、LのものはRskは本発明の要
件を満足するがRa が本発明に達しない場合であって、
何れも焼鈍後の焼付発生が認められる。これらに対し、
C〜G,JのものはRa ,Rskの何れもが本発明範囲内
のものであって、何れのものも焼鈍後における焼付の発
生を認めることができなかった。なおB、K〜Nのもの
においてはRskおよびRa の何れか一方または双方が本
発明の範囲外であって、焼付およびエッチングむらの何
れか一方または双方が認められる。That is, in the case of A, the Ra satisfies the requirements of the present invention, but the Rsk is low. In the case of H and I, the Rsk does not satisfy the requirements of the present invention. Is satisfied, but Ra does not reach the present invention,
In any case, seizure occurs after annealing. In contrast,
In samples C to G and J, both Ra and Rsk were within the scope of the present invention, and no occurrence of seizure after annealing was observed in any of the samples. In the cases of B and K to N, one or both of Rsk and Ra are outside the scope of the present invention, and one or both of printing and unevenness in etching are observed.
【0020】然して上記したようなシャドウマスク用薄
板を得るための製造法に関する実施例について説明する
と、36%Ni−Fe合金により前記薄板を得るに当って、
1.2μm Ra 程度にダル加工された直径100mmφの上
下1対のロールに対し単位幅荷重0.15 Ton/mmを作用
させたまま800回および1600回の転動をさせたも
のとショットブラスト加工したものについてロール表面
のプロフィールを測定した結果は図1に示す通りであ
り、(A)の単にショットブラストしただけの従来のも
のに対し、ダル加工後800回の転動を行ったものは
(B)の如くであってロール表面になお凸部が多く残っ
ていて(A)のショットブラストのものと相通ずる様相
を有している。However, an embodiment relating to a manufacturing method for obtaining a thin plate for a shadow mask as described above will be described. In obtaining the thin plate with a 36% Ni-Fe alloy,
Rolling 800 times and 1600 times with a unit width load of 0.15 Ton / mm applied to a pair of upper and lower rolls with a diameter of 100 mm and dulled to about 1.2 μm Ra and shot blasting The result of measuring the profile of the roll surface of the roll obtained is as shown in FIG. 1, and the roll obtained by rolling 800 times after dulling is (A) As shown in B), a lot of protrusions still remain on the roll surface, and the appearance is similar to that of (A) shot blast.
【0021】これに対し更に転動回数を高めることによ
り凸部が大幅に減少し、1600回の転動をなしたもの
は図1(C)の如く凸部の殆んどない状態となって凹部
を主体としたものとなることが確認された。尚Rskの数
式は以下の通りである。 On the other hand, by further increasing the number of rollings, the number of protrusions is greatly reduced, and the one that has made 1600 rollings has almost no protrusions as shown in FIG. 1 (C). It was confirmed that the recess was mainly used. The number of Rsk
The formula is as follows:
【0022】[0022]
【数1】 (Equation 1)
【0023】然して上記のようにして得られた図1
(A)、(B)のものと、同図(C)の本発明によるロ
ールを用いて前記36%Ni −Fe 合金によるシャドウ
マスクの圧延を次の表2に示すような圧延スケジュール
で実施した。FIG. 1 obtained as described above
Rolling of the shadow mask of 36% Ni-Fe alloy was carried out using the rolls according to the present invention shown in (A) and (B) and FIG. (C) according to the rolling schedule shown in Table 2 below. .
【0024】[0024]
【表2】 [Table 2]
【0025】又このような圧延により得られた板粗さに
ついて、ロール粗さと共に示す次の表3の如くであっ
て、本発明による1600回転動したロールにより圧延
したものはRa が0.65μm であるがRskは+1.0と高
い値を示しており、エッチング性およびエンチング後の
焼鈍時における密着防止効果において卓越したものであ
ることが確認された。The plate roughness obtained by such rolling is shown in the following Table 3 together with the roll roughness, and the Ra rolled by the roll rotated 1600 times according to the present invention has Ra of 0.65 μm. However, Rsk showed a high value of +1.0, and it was confirmed that Rsk was excellent in etching property and adhesion preventing effect at the time of annealing after etching.
【0026】[0026]
【表3】 [Table 3]
【0027】本発明におけるロールのショットブラスト
による1例についての空転回数とロール粗さとの関係は
図2に示す如くである。即ちロール径が120mmφで材
質がSKDに相当したロールについての空転回数と幅荷
重がロール粗さに与える影響を示したものであって以下
の如くである。 幅荷重0.1 Ton/mmでは1000回転でロール摩耗
が安定する。即ちロールの凸部が充分除去され、圧延材
のRskを向上せしめる。 幅荷重0.03 Ton/mmではロール摩耗が進行しな
い。 幅荷重0.06 Ton/mmでは1200回転程度で終息
する。FIG. 2 shows the relationship between the number of idling times and the roll roughness in one example of the roll shot blasting according to the present invention. That is, the effects of the number of idling times and the width load on the roll roughness of a roll having a roll diameter of 120 mmφ and a material corresponding to SKD are shown as follows. With a width load of 0.1 Ton / mm, the roll abrasion becomes stable after 1000 rotations. That is, the convex portion of the roll is sufficiently removed, and the Rsk of the rolled material is improved. Roll wear does not progress at a width load of 0.03 Ton / mm. With a width load of 0.06 Ton / mm, it ends at about 1200 revolutions.
【0028】次の表4にはロールのショットブラストダ
ル加工の条件、空転後ロール粗さ、空転回数と圧延後の
板粗さとを示したが、No. 1、2は比較例で、No. 3〜
7は本発明の条件によるものであり、空転幅荷重は0.1
Ton/mmである。The following Table 4 shows the conditions of the shot blast dulling of the roll, the roll roughness after idling, the number of idling times, and the plate roughness after rolling. 3 ~
7 is based on the conditions of the present invention, and the idling width load is 0.1.
Ton / mm.
【0029】[0029]
【表4】 [Table 4]
【0030】又上記した表4のものの圧延スケジュール
については次の表5に示す如くである。The rolling schedule of Table 4 described above is as shown in Table 5 below.
【0031】[0031]
【表5】 [Table 5]
【0032】更に前記した表4、表5に示したものにお
いて、代表的に比較例である。No.1のものと本発明例
であるNo. 5のものについて、圧延ロールのプロフィー
ルと圧延後における板のプロフィールは別に図3として
示す如くであって、本発明によるものが比較例のものに
比しRa 、Rskとも大幅に改善されていて、本発明によ
るものが好ましい製品薄板を得しめることが明かであ
る。Further, in Tables 4 and 5 described above, comparative examples are representatively shown. Regarding No. 1 and No. 5 which is an example of the present invention, the profile of the rolling roll and the profile of the plate after rolling are separately shown in FIG. On the other hand, both Ra and Rsk are greatly improved, and it is clear that the product according to the present invention gives a preferable product sheet.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上説明したような本発明によるときは
シャドウマスクの板表面粗さをRa 0.3〜0.8μm 、R
sk+0.5以上としてエッチング焼鈍時における密着焼付
を適切に防止し、又斯かる特性をもったシャドウマスク
用薄板を容易且つ的確に製造することができ、何れにし
ても品質的に好ましいシャドウマスクが低廉に得られ、
又歩留りの向上を図ることが可能であり、しかもロール
に対する転動処理が頗る容易で、この点からしても有利
にシャドウマスクを得しめるなどの効果を有しており、
工業的にその効果の大きい発明である。According to the present invention as described above, the plate surface roughness of the shadow mask is Ra 0.3 to 0.8 μm, R
By setting sk + 0.5 or more, it is possible to appropriately prevent adhesion burning during etching annealing, and to easily and accurately manufacture a thin plate for a shadow mask having such characteristics. Cheaply obtained,
In addition, it is possible to improve the yield, and furthermore, it is very easy to perform a rolling process on the roll, and from this point, it has an effect of obtaining a shadow mask advantageously,
This invention is industrially effective.
【図1】本発明において用いるロールと従来および比較
例によるロールの各プロフィールを測定した結果の図表
である。FIG. 1 is a table showing the results of measuring the profiles of a roll used in the present invention and rolls according to a conventional example and a comparative example.
【図2】本発明によるロールの1例について、ロール粗
さと空転荷重との関係を幅荷重を変えた場合に関して併
せて示した図表である。FIG. 2 is a chart showing the relationship between the roll roughness and the idling load for one example of the roll according to the present invention, together with the case where the width load is changed.
【図3】本発明におけるロールのショットブラストによ
るプロフィールとそれによって得られた薄板のプロフィ
ールの1例についての1例を従来法によるものと対比し
て示した図表である。FIG. 3 is a table showing one example of a profile of a roll obtained by shot blasting of a roll and an example of a profile of a thin plate obtained thereby in comparison with a profile obtained by a conventional method.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 誠 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日本鋼管株式会社内 (56)参考文献 特開 平2−197301(JP,A) 特開 平2−25201(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B21B 1/22 B21B 3/00 - 3/02 H01J 9/14 H01J 29/07──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Makoto Yamada 1-2-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Nippon Kokan Co., Ltd. (56) References JP-A-2-197301 (JP, A) JP-A-2 -25201 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) B21B 1/22 B21B 3/00-3/02 H01J 9/14 H01J 29/07
Claims (2)
sk+0.5〜+1.2としたことを特徴とするFe−Ni系シャ
ドウマスク用薄板。1. A steel sheet having a surface roughness of Ra 0.3 to 0.8 μm,
A thin plate for an Fe-Ni-based shadow mask, wherein sk is set to +0.5 to +1.2.
60〜120mmφである上下1対の小径ワークロールを
単位幅荷重0.05〜0.20 Ton/mmで接触させ、100
0〜10000回転転動させた後、該ロールを用いて圧
延し鋼板表面粗さをRa 0.3 〜0.8μm 、Rsk+0.5〜
+1.2とすることを特徴とするFe−Ni系シャドウマスク
用薄板の製造方法。2. A pair of upper and lower small-diameter work rolls having a diameter of 60 to 120 mmφ dulled to 0.6 to 1.6 μm Ra are brought into contact with a unit width load of 0.05 to 0.20 Ton / mm, and
After rolling from 0 to 10000 revolutions, the rolls are rolled using the rolls to have a surface roughness of Ra 0.3 to 0.8 μm, Rsk + 0.5 to
+1.2, a method for producing a thin plate for a Fe-Ni-based shadow mask.
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