JP2826107B2 - Ultra-precision chuck - Google Patents

Ultra-precision chuck

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JP2826107B2
JP2826107B2 JP62316896A JP31689687A JP2826107B2 JP 2826107 B2 JP2826107 B2 JP 2826107B2 JP 62316896 A JP62316896 A JP 62316896A JP 31689687 A JP31689687 A JP 31689687A JP 2826107 B2 JP2826107 B2 JP 2826107B2
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JP
Japan
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wedge
jaw
sliding member
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ultra
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義仁 黒木
達栄 沢口
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KITAGAWA TETSUKOSHO KK
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、工作機械などにおいて被加工物を把握する
チャックに係り、特に、被加工物を極めて安定的に把握
することができる超精密チャックに関する。 〔従来技術とその問題点〕 従来から、ウェッジが形成された摺動部材をボディの
軸方向中心孔内に可動に配設するとともに、前記ボディ
の半径方向へ放射状に形成した放射状案内溝内に前記摺
動部材のウェッジと係合するジョウを摺動自在に嵌合
し、前記摺動部材の軸方向移動に伴う楔作用により前記
ジョウが半径方向に移動するようにしたチャックには、
種々のものが知られており、このような従来のものの一
例として、ドイツ連邦共和国特許出願公告第3006786号
明細書記載のものがある。このチャックは、マスタージ
ョウのウェッジ溝を、チャック本体のT字状案内溝に嵌
合される被ガイド突部に形成し、このような構成により
マスタージョウの軸方向長さを短かくして軽量化をはか
ったものである。 しかしながら、この従来のチャックにおいては、第12
図に示すように、黒三角形で示すボディによる摺動部材
のウェッジの支持範囲内にウェッジの作用位置および被
加工物把握位置が位置しておらず、白矢印で示す作用位
置が支持範囲外となっているため、ウェッジはボディに
より片持ち支持されることになる。この結果、曲げモー
メントによりウェッジ前部とマスタージョウとが傾動す
ることになり、被加工物に対する安定的な締付力を得る
ことができない。 〔発明の目的〕 本発明は、このような従来のものにおける問題点を克
服し、ウェッジとジョウとに曲げモーメントが作用する
ことなく摺動部材をボディにより支持し得るようにした
超精密チャックを提供することを目的とする。 〔発明の概要〕 前述した目的を達成するため第1番目の本発明は、ボ
ディと、このボディの軸方向へ可動に配置された摺動部
材と、前記ボディの半径方向に形成した案内部に摺動自
在に嵌挿されたジョウとからなり、このジョウに前記ボ
ディの半径方向において前記ジョウのウェッジ溝のほぼ
外方および内方の少なくとも一方に把握部を備えジョウ
を前記摺動部材の軸方向移動に伴うくさび作用によって
前記ボディの半径方向外方・内方に開閉するチャックで
あって、前記ボディは前記摺動部材を支持する内周面を
備える軸方向のウェッジ挿入穴を有し、このウェッジ挿
入穴内に前記ボディの円周方向に間隔を隔てて複数の摺
動部材が配設され、各摺動部材は、基部と、この基部か
ら前記ボディの軸方向に延材するように突設された支持
部と、この支持部に形成されたウェッジとにより構成さ
れ、前記ボディの円周方向において前記ジョウに対応す
る側の前記各摺動部材に、前記ジョウの側面のウェッジ
溝に嵌合される前記ウェッジを備え、このウェッジの反
対側の前記各摺動部材に前記支持部を備え、前記支持部
は前記ボディのウェッジ挿入穴に嵌挿され支持される摺
動面を備え、かつ、前記ボディの軸方向において常にジ
ョウのウェッジ溝の前後両側において支持されるととも
に、その支持範囲内に前記ジョウの把持部を位置させ、
前記ジョウはその側面に1つのウェッジ溝を備えている
ことを特徴としている。 このような構成によれば、ボディ軸方向においてボデ
ィによりいわゆる両端支持されている支持部の両端支持
間内にジョウのウェッジ溝に対するウェッジの作用位置
および被加工物を把握する把握部が位置しているので、
ボディ軸方向においてウェッジとジョウの両部材にとも
に曲げモーメントが作用することがなく、したがって、
ウェッジとジョウとが傾動せず被加工物に対し安定的な
締付力を得ることができる。 また、第2番目の発明は、前述した第1番目の発明の
構成に、ボディの円周方向におけるジョウのウェッジの
作用位置および被加工物の把握位置がボディによる支持
部の間内に位置していることを付加したことを特徴とし
ている。 このような構成によれば、ボディの円周方向において
もウェッジに左右異なった曲げモーメントが作用しない
ので、ジョウには曲げモーメントが作用せず被加工物に
対しさらに安定的な締付力を得ることができる。 さらに、第3番目の発明は、前述した第2番目の発明
の構成に摺動部材の基部からボディの軸方向前部側に離
間した先端側が結合された形状とされていることを付加
したことを特徴としている。 このような構成によれば、ボディの円周方向において
もジョウに曲げモーメントが作用せず、また、摺動部材
の剛性をさらに高めることができるので、被加工物に対
しさらに安定的な締付力を得ることができる。 〔発明の実施例〕 以下、本発明を図面に示す実施例により説明する。 第1図および第2図は本発明に係る超精密チャックの
第1実施例を示すものであり、軸方向に延在する中心孔
2により全体として円筒状に形成されているボディ1の
第1図において右側たる軸方向先端側には、相互に120
度の間隔を隔てて放射状に3つの円筒系の案内部3,3,3
が形成されている。また、前記ボディ1の第1図におけ
る左側たる基端から軸方向の先端側に向けて、前記ボデ
ィ1の軸方向と平行に延在し、それぞれ前記案内部3に
交差する3つの扁平なウェッジ挿入穴4,4,4が形成され
ており、各ウェッジ挿入穴4は、第2図に詳示するよう
にその半径方向における幅においてボディ1の円周方向
と平行とされ、かつ案内部3の両端から側方に突出して
いる。また、前記ボディ1の基端側には、各ウェッジ挿
入穴4を前記中心孔2に連通せしめる3つの連通開口5,
5,5が形成されている。 前記中心孔2内には円筒形のプランジャ6が摺動可能
に配設されており、このプランジャ6には、前記各連通
開口5を介して各ウェッジ挿入穴4内に臨む突起状の3
つのピストン7,7,7が相互に120度の間隔を隔てて突設さ
れている。また、前記プランジャ6の内周面には、この
プランジャ6を図示しないアクチュエータと接続するた
めの内ねじ8が刻設されている。 前記各案内部3内には、第4図A,B,Cに示すように一
例として厚肉円筒形状のマスタージョウ9が摺動可能に
挿入されており、このマスタージョウ9の外周面の両側
には、それぞれ鏡面対称となるように前記ボディ1の軸
方向に対して傾斜したウェッジ溝10,10が平行に形成さ
れている。また、被加工物を外径把握する場合、前記ボ
ディ1と中心孔2側に位置するマスタージョウ9の端面
9Aは、第4図Cに示すように、中心孔2の曲率に合せて
弯曲しており、この端面9Aには、マスタージョウ9の中
心孔9C内に挿通されている取付ボルト11により螺着され
たパッド12が当接されている。 一方、前記マスタージョウ9の両ウェッジ溝10,10に
嵌合される1対のウェッジ14,14は、第3図に示すよう
に、摺動部材13に形成されている。すなわち、この摺動
部材13、基部15と、この基部15から平行に突設されてい
る断面長方形状の1対の支持部16,16とにより全体とし
てコ字状に形成されており、両支持部16,16は、前記ボ
ディ1のウェッジ挿入穴4の内周面と比較的密に揺動し
得るように形成された摺動面を有し、また、両支持部1
6,16の間隔は前記マスタージョウ9の外径寸法とほぼ等
しい寸法に形成されている。そして、これらの支持部1
6,16の内側には、前記ウェッジ挿入穴4のボディ1の軸
方向における長手方向に対する各ウェッジ溝10の傾斜角
度と等しい傾斜角度からなる前記ウェッジ14,14が支持
部16のボディ1の軸方向における長手方向に対し傾斜す
るように突設されており、各ウェッジ14の肉厚は、前記
ウェッジ溝10内を比較的密に摺動し得るようにボディ1
の軸方向におけるマスタージョウ9のウェッジ溝10の幅
とほぼ等しい寸法に形成されている。また前記基部15の
前方側には、両ウェッジ14,14と一体となって各ウェッ
ジ14を補強する補強片17が突設されている。さらに、前
記基部15の連通開口5側には、前記ピストン7の突起が
比較的密に嵌合し得る長溝18が前記ウェッジ挿入穴4の
長手方向に対し直交する方向に形成されている。 なお、前記ボディ1にはその中心孔2と平行に延材す
るボルト挿入孔19が形成されており、このボルト挿入孔
19内には、この超精密チャックを固定するための取付ボ
ルト20が挿入されている。 つぎに、前述した構成の本実施例の作用について説明
する。 第1図に示すように超精密チャックを組立てるには、
各案内部3内にマスタージョウ9を挿入した上で、各マ
スタージョウ9の端面9Aを被覆するように被加工物を把
握するためのパッド(把握部)12を取付ける。一方、プ
ランジャ6の各ピストン7の突起に各摺動部材13の長溝
18を嵌合した上で、プランジャ6をボディ1の中心孔2
内に挿入するとともに、各摺動部材13を各ウェッジ挿入
穴4内に同時に挿入し、各摺動部材13の1対のウェッジ
14,14を、マスタージョウ9が挟持されるようにマスタ
ージョウ9のウェッジ溝10,10に嵌合せしめる(第5図
A,B)。 このようにして第1図に示すような超精密チャックが
形成されたら、ボディ1の中心孔2内に、図示しない被
加工物を挿入し、プランジャ6を第1図において左方向
に移動すると、プランジャ6の各ピストン7に長溝18が
嵌合している各摺動部材13もプランジャ6とともに左方
向に移動し、各摺動部材13に設けられているウェッジ1
4,14と各マスタージョウ9のウェッジ溝10,10との楔作
用により各マスタージョウ9がボディ1の半径方向内方
に移動するので、各マスタージョウ9のパッド12により
被加工物を外径把握することができる。 一方、図示しないが被加工物を内径把握するために
は、ボディ1の外周側に位置する各マスタージョウ9の
端面9Bにパッドを取付け、プランジャ6を第1図におい
て右方向に移動すると、同じく各摺動部材13のウェッジ
14,14と各マスタージョウ9のウェッジ溝10,10との楔作
用により各マスタージョウ9がボディ1の半径方向外方
に移動するので、各マスタージョウ9のパッドにより被
加工物を内径把握することができる。 ところで、各摺動部材13に突設されている1対の支持
部16,16の摺動面はそれぞれその長手方向の全域をボデ
ィ1のウェッジ挿入穴4の内周面により外径把握時はボ
ディ1のウェッジ挿入穴4内周面のボディ1の外側か
ら、内径把握時は内側から支持されており、各支持部16
と一体的なウェッジ14のマスタージョウ9のウェッジ溝
10に対する作用位置は、支持部16,16がボディ軸方向に
おいてボディにより支持されている範囲内とされてい
る。したがって、ウェッジ14,14は第11図に示すように
両端支持されていることになり、この両端支持されてい
る範囲内において各ウェッジ14がマスタージョウ9のウ
ェッジ溝10に対し作用するので、ウェッジ14を隔ててい
る摺動部材13には曲げモーメントが作用せず、この結
果、摺動部材13は傾動することがなく、被加工物に対し
安定的な締付力を得ることができる。一方、被加工物を
把握するパッド(把握部)12は、ボディ1の半径方向に
おいてマスタージョウ9のウェッジ溝10のほぼ内方・外
方に位置するため(実施例第1図は内方に図示)、把握
作用位置は、ウェッジ14のマスタージョウ9のウェッジ
溝10に対する作用位置と同様に支持部16,16がボディ1
により支持されている範囲内とされている。したがっ
て、マスタージョウ9もボディ1の軸方向において、第
11図に示すように、両端支持されていることになり、マ
スタージョウ9にも曲げモーメントは作用せず、そのた
め、マスタージョウ9も傾動することがなく、被加工物
に対しさらに安定的な締付力を得ることができる。 また、ボディ円周方向においては、ウェッジ14に作用
する力によりウェッジ14は曲げモーメントを受けるが、
ウェッジ14は相対向する位置にあるため、2つのウェッ
ジ14,14に生ずる曲げモーメントはほぼ同一となる。そ
のためマスタージョウ9は円周方向においても傾動する
ことはなくなる。 第6図および第7図は本発明に係る超精密チャックの
第2実施例を示すものであり、前述した従来のものと同
一の構成については、図面中に同一の符号を付し、その
説明は省略する。 第6図において、ボディ1のウェッジ挿入穴4内を移
動可能とされている摺動部材21が配設されており、この
摺動部材21は、基部22と1対の支持部23,23とウェッジ2
4とにより形成されている。平板状のウェッジ24は基部2
2および両支持部23,23の内側に張設されている。このウ
ェッジ24は、第8図にも詳示するように、ボディ1の先
端側ほどボディ1の中心に近接するように摺動部材21の
移動方向において傾斜状に形成されており、このウェッ
ジ24の幅方向の中央部には、摺動部材21の移動方向に延
材する長孔25が穿設されている。さらに、このウェッジ
24の先端側には、両支持部23,23を結合してボディ1に
支持される被支持面23Aが形成されている。 一方、後述するマスタージョウ26が嵌合されるボディ
1の放射状に形成された案内部27は、前記ウェッジ挿入
穴4と交差するように形成されており、この案内部27
は、ボディ1の半径方向においてウェッジ挿入穴4より
内側に位置する大径孔28と、ウェッジ挿入穴4より外側
に位置し大径孔28と同心状に形成された小径孔29とによ
り構成されている。前記マスタージョウ26は、ボディ1
の半径方向においてウェッジ24より内側に位置し前記大
径孔28に沿って摺動し得る第1筒体30と、ウェッジ24よ
り外側に位置し前記小径孔29に沿って摺動し得る第2筒
体31とを備えており、前記ウェッジ24に接合する第1筒
体30の端面30Aと第2筒体31の端面31Aは、それぞれウェ
ッジ24と同じ勾配の傾斜をなすウェッジ面を形成してい
る。さらに、前記ボディ1の中心孔2側に位置する第1
筒体30の端面30Bは、第9図に示すように、中心孔2の
曲率に合せて弯曲しており、この第1筒体30の端面30B
に当接されるパッド32の端面32Aは、第10図に示すよう
に端面30Bの曲率と等しい曲率となるように弯曲し、ま
た、このパッド32の端面32Bは、図示しない被加工物の
外径の曲率と等しい曲率となるように弯曲している。そ
して、ボディ1と外周側から第2筒体31の中心孔31Cに
取付けボルト11を挿通した上で、この取付けボルト11を
摺動部材21のウェッジ24の長孔25に挿通し、さらにこの
取付けボルト11を第1筒体30の中心孔30Cに挿通してパ
ッド32に螺着することにより摺動部材21に対しマスター
ジョウ26が相対移動可能に組立てられる。 つぎに、前述した構成の本実施例の作用について説明
する。 ボディ1の中心孔2内に被加工物を挿入し、プランジ
ャ6を第6図において左方向に移動すると、プランジャ
6の各ピストン7に長溝18が嵌合している各摺動部材21
もプランジャ6とともに左方向に移動し、各摺動部材21
の支持部23,23に張設されているウェッジ24と第1筒体3
0のウエッジ面30Aとの楔作用により各マスタージョウ26
がボディ1の半径方向内方に移動するので、各パッド32
により被加工物を外径把握することができる。なお、図
示しない被加工物を内径把握するためには、ボディ1の
外周側に位置する第2筒体31の端面31Bにパッドを取付
けた上で、プランジャ6を第6図において右方向に移動
すれば、前述したとは逆に各マスタージョウ26が半径方
向外方に移動して各パッドにより内径把握を行なうこと
ができる。 本実施例によれば、前述した第1実施例と同様、各摺
動部材21の板状のウェッジ24は、各摺動部材21の基部22
に突設されている両支持部23,23に両側を固着されてお
り、しかも各支持部23は、それぞれの長手方向の全域を
外径把握時はボディ1のウエッジ挿入穴4内周面のボデ
ィ1の外側から、内径把握時は内側から支持されてお
り、ウェッジ24のマスタージョウ26のウェッジ面に対す
る作用位置は、ウェッジ24の長孔25の外周縁部、すなわ
ち、各支持部23がボディ1により支持されている範囲内
とされている。一方、被加工物を把握するパッド(把握
部)32は、ボディ1の半径方向におけるマスタージョウ
26の第1筒体30、第2筒体31のほぼ内方・外方にあり、
ウェッジ24のマスタージョウ26のウェッジ面に対する作
用位置と同じように各支持部23,23がボディ1に支持さ
れている範囲内とされている。したがって、摺動部材21
とマスタージョウ26とに曲げモーメントが作用すること
がなく、被加工物に対し安定的な締付力を得ることがで
きる。 また、本実施例においては、ボディ1の円周方向にお
いても摺動部材21の両支持部23,23を結合して、ボディ
1のウェッジ挿入穴4の内周面に支持される被支持面23
Aが形成されていることから、両支持部23,23が円周方向
において一体になされ、ボディ1の円周方向の両端で支
持される両端範囲内においてウェッジ24がマスタージョ
ウ26のウェッジ面に対し作用しているとともに被加工物
の把握部も位置するので、この方向に関しても摺動部材
21とマスタージョウ26とに曲げモーメントが作用するこ
とがなく、したがって、この点においても被加工物に対
しさらに安定的な締付力を得ることができる。 なお、本発明は、前述した実施例に限定されるもので
はなく、必要に応じて種々の変更が可能である。 〔発明の効果〕 以上説明したように第1番目の本発明は、ボディと、
このボディの軸方向へ可動に配置された摺動部材と、前
記ボディの半径方向に形成した案内部に摺動自在に嵌挿
されたジョウとからなり、このジョウに前記ボディの半
径方向において前記ジョウのウェッジ溝のほぼ外方およ
び内方の少なくとも一方に把握部を備えジョウを前記摺
動部材の軸方向移動に伴うくさび作用によって前記ボデ
ィの半径方向外方・内方に開閉するチャックであって、
前記ボディは前記摺動部材を支持する内周面を備える軸
方向のウェッジ挿入穴を有し、このウェッジ挿入穴内に
前記ボディの円周方向に間隔を隔てて複数の摺動部材が
配設され、各摺動部材は、基部と、この基部から前記ボ
ディの軸方向に延材するように突設された支持部と、こ
の支持部に形成されたウェッジとにより構成され、前記
ボディの円周方向において前記ジョウに対向する側の前
記各摺動部材に、前記ジョウの側面のウェッジ溝に嵌合
される前記ウェッジを備え、このウェッジの反対側の前
記各摺動部材に前記支持部を備え、前記ウェッジの軸方
向長さは前記ジョウのウェッジ溝の軸方向長さよりはる
かに長く形成され、前記支持部は前記ボディのウェッジ
挿入穴に嵌挿され支持される摺動面を備えるとともに前
記ボディの軸方向において常にジョウのウェッジ溝の前
後両側において支持され、前記ジョウはその側面に1つ
のウェッジ溝を備えているので、ボディ軸方向において
ボディにより両端支持されている支持部の両端支持間内
に、ジョウのウェッジ溝に対するウェッジの作用位置お
よび被加工物を把握する把握部が位置しているので、ウ
ェッジとジョウの両部材に曲げモーメントが作用するこ
とがないため、ボディ軸方向においてウェッジとジョウ
とを傾動させることなく被加工物に対し安定的な締付力
を得ることができる。 また、本出願の第2番目の発明は、第1番目の発明の
構成に加え、前記ボディの円周方向においてもウエッジ
に左右異なった曲げモーメントが作用しないため、ジョ
ウに曲げモーメントを発生させることがなく、被加工物
に対し大きな締付力で高い把持精度を有するさらに安定
的な締付力を得ることができる。 さらに、本出願の第3番目の発明は、摺動部材の基部
からボディの軸方向前部側に離間した先端側が結合され
た形状とされているため、ボディの円周方向においてジ
ョウに曲げモーメントが作用せず、また、摺動部材の剛
性をさらに高めることができるので、被加工物に対しさ
らに安定的は大きな締付力と高い把握精度を得ることが
できる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chuck for grasping a workpiece in a machine tool or the like, and in particular, to an ultra-precision chuck capable of extremely stably grasping a workpiece. About. [Prior art and its problems] Conventionally, a sliding member formed with a wedge is movably disposed in an axial center hole of a body, and is disposed in a radial guide groove formed radially in a radial direction of the body. A chuck in which a jaw engaging with a wedge of the sliding member is slidably fitted, and the jaw is moved in a radial direction by a wedge action accompanying the axial movement of the sliding member,
Various types are known, and an example of such a conventional type is described in German Patent Application Publication No. 3006786. In this chuck, the wedge groove of the master jaw is formed in a guided projection fitted into the T-shaped guide groove of the chuck body, and the axial length of the master jaw is shortened by such a configuration to reduce the weight. It is a measure. However, in this conventional chuck, the twelfth
As shown in the figure, the action position of the wedge and the workpiece grasping position are not located within the support range of the wedge of the sliding member by the body indicated by the black triangle, and the action position indicated by the white arrow is out of the support range. The wedge will be cantilevered by the body. As a result, the front portion of the wedge and the master jaw tilt due to the bending moment, and a stable tightening force on the workpiece cannot be obtained. [Object of the Invention] The present invention overcomes such problems in the prior art and provides an ultra-precision chuck capable of supporting a sliding member by a body without a bending moment acting on a wedge and a jaw. The purpose is to provide. [Summary of the Invention] In order to achieve the above-mentioned object, a first aspect of the present invention relates to a body, a sliding member movably arranged in an axial direction of the body, and a guide formed in a radial direction of the body. A slidably inserted jaw, and the jaw has a grasping portion in at least one of an outer side and an inner side of a wedge groove of the jaw in a radial direction of the body. A chuck that opens and closes in a radially outward and inward direction of the body by a wedge action accompanying the directional movement, wherein the body has an axial wedge insertion hole having an inner peripheral surface that supports the sliding member, A plurality of sliding members are disposed in the wedge insertion hole at intervals in the circumferential direction of the body, and each sliding member has a base and a projecting member extending from the base in the axial direction of the body. With the established support The wedge formed on the side of the jaw, the wedge formed on the side corresponding to the jaw in the circumferential direction of the body. The sliding member on the opposite side of the wedge is provided with the support portion, the support portion is provided with a sliding surface that is inserted and supported in a wedge insertion hole of the body, and is provided in the axial direction of the body. At the same time always supported on both front and rear sides of the wedge groove of the jaw, position the grip of the jaw within its support range,
The jaw is provided with one wedge groove on a side surface thereof. According to such a configuration, the grasping portion that grasps the working position of the wedge with respect to the wedge groove of the jaw and the workpiece is located between both ends of the support portion that is so-called both ends supported by the body in the body axis direction. Because
No bending moment acts on both the wedge and jaw members in the body axis direction.
The wedge and the jaw do not tilt, and a stable tightening force can be obtained for the workpiece. According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect described above, the operation position of the wedge of the jaw and the grasping position of the workpiece in the circumferential direction of the body are located between the support portions of the body. Is added. According to such a configuration, since different bending moments do not act on the wedge even in the circumferential direction of the body, the bending moment does not act on the jaw, and a more stable tightening force is obtained on the workpiece. be able to. Further, the third aspect of the present invention is characterized in that, in addition to the configuration of the above-described second aspect of the present invention, a configuration is adopted in which a distal end side separated from the base of the sliding member toward the axial front side of the body is joined. It is characterized by. According to such a configuration, no bending moment acts on the jaw even in the circumferential direction of the body, and the rigidity of the sliding member can be further increased, so that a more stable fastening to the workpiece can be achieved. You can gain power. Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments shown in the drawings. FIGS. 1 and 2 show a first embodiment of an ultra-precision chuck according to the present invention, wherein a first hole of a body 1 formed as a whole by an axially extending central hole 2 is formed. In the figure, the right end in the axial direction
3 cylindrical guides 3,3,3 radially spaced at an interval of degrees
Are formed. In addition, three flat wedges extending in parallel with the axial direction of the body 1 from the base end, which is the left side in FIG. Insertion holes 4, 4, 4 are formed, and each wedge insertion hole 4 has a width in the radial direction parallel to the circumferential direction of the body 1 as shown in detail in FIG. Project laterally from both ends. In the base end of the body 1, three communication openings 5, which allow each wedge insertion hole 4 to communicate with the center hole 2,
5,5 are formed. A cylindrical plunger 6 is slidably disposed in the center hole 2. The plunger 6 has a protruding 3 that faces into each wedge insertion hole 4 through each communication opening 5.
The two pistons 7, 7, 7 project from each other at an interval of 120 degrees. On the inner peripheral surface of the plunger 6, an inner screw 8 for connecting the plunger 6 to an actuator (not shown) is formed. As shown in FIGS. 4A, 4B, and 4C, for example, a thick cylindrical master jaw 9 is slidably inserted into each of the guide portions 3, and both sides of the outer peripheral surface of the master jaw 9 are provided. Are formed in parallel with each other, wedge grooves 10, 10 inclined with respect to the axial direction of the body 1 so as to be mirror-symmetrical. When the outer diameter of the workpiece is to be grasped, the end face of the master jaw 9 located on the body 1 and the center hole 2 side.
9A is curved in accordance with the curvature of the center hole 2 as shown in FIG. 4C, and is screwed to the end face 9A by a mounting bolt 11 inserted into the center hole 9C of the master jaw 9. Pad 12 is in contact therewith. On the other hand, a pair of wedges 14, 14 fitted into the two wedge grooves 10, 10 of the master jaw 9 are formed on a sliding member 13, as shown in FIG. That is, the sliding member 13 and the base portion 15 and a pair of support portions 16 and 16 having a rectangular cross section projecting in parallel from the base portion 15 are formed in a U-shape as a whole. The portions 16 and 16 have sliding surfaces formed so as to be able to swing relatively densely with the inner peripheral surface of the wedge insertion hole 4 of the body 1.
The interval between 6, 16 is formed to be substantially equal to the outer diameter of the master jaw 9. And these support parts 1
Inside the wedge insertion holes 4, the wedges 14, 14 having an inclination angle equal to the inclination angle of each wedge groove 10 with respect to the longitudinal direction in the axial direction of the body 1 of the wedge insertion hole 4 are provided on the axis of the body 1 of the support 16. Each wedge 14 has a thickness such that the body 1 can slide relatively densely in the wedge groove 10.
Is formed to have dimensions substantially equal to the width of the wedge groove 10 of the master jaw 9 in the axial direction. Further, on the front side of the base portion 15, a reinforcing piece 17 for reinforcing each wedge 14 integrally with the two wedges 14, 14 is provided so as to protrude. Further, a long groove 18 into which the protrusion of the piston 7 can be fitted relatively densely is formed on the communication opening 5 side of the base 15 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the wedge insertion hole 4. The body 1 is formed with a bolt insertion hole 19 extending parallel to the center hole 2 thereof.
Inside 19, mounting bolts 20 for fixing the ultra-precision chuck are inserted. Next, the operation of this embodiment having the above-described configuration will be described. To assemble the ultra-precision chuck as shown in FIG.
After inserting the master jaws 9 into the respective guide portions 3, a pad (grasping portion) 12 for grasping a workpiece so as to cover the end face 9A of each master jaw 9 is attached. On the other hand, the projection of each piston 7 of the plunger 6 has a long groove of each sliding member 13.
18 and fit the plunger 6 into the center hole 2 of the body 1.
And each sliding member 13 is simultaneously inserted into each wedge insertion hole 4, and a pair of wedges of each sliding member 13 is inserted.
14 and 14 are fitted into the wedge grooves 10 and 10 of the master jaw 9 so that the master jaw 9 is held therebetween (FIG. 5).
A, B). When an ultra-precision chuck as shown in FIG. 1 is formed in this way, a workpiece (not shown) is inserted into the center hole 2 of the body 1 and the plunger 6 is moved leftward in FIG. Each sliding member 13 in which the long groove 18 is fitted to each piston 7 of the plunger 6 also moves to the left along with the plunger 6, and the wedge 1 provided on each sliding member 13 is provided.
Since each master jaw 9 moves inward in the radial direction of the body 1 by the wedge action of the wedge grooves 10 and 10 of each master jaw 9, the workpiece 12 is moved outside by the pad 12 of each master jaw 9. You can figure out. On the other hand, although not shown, in order to grasp the inner diameter of the workpiece, a pad is attached to the end face 9B of each master jaw 9 located on the outer peripheral side of the body 1 and the plunger 6 is moved rightward in FIG. Wedge of each sliding member 13
Since each master jaw 9 moves outward in the radial direction of the body 1 by the wedge action of the wedge grooves 10 and 10 of each master jaw 9, the inner diameter of the workpiece is grasped by the pad of each master jaw 9. be able to. By the way, the sliding surfaces of the pair of support portions 16 and 16 protruding from each sliding member 13 cover the entire area in the longitudinal direction by the inner peripheral surface of the wedge insertion hole 4 of the body 1 when the outer diameter is grasped. Each of the support portions 16 is supported from the outside of the body 1 on the inner peripheral surface of the wedge insertion hole 4 of the body 1 and from the inside when grasping the inner diameter.
Wedge groove of master jaw 9 integral with wedge 14
The position of operation with respect to 10 is within a range in which the support portions 16, 16 are supported by the body in the body axial direction. Therefore, the wedges 14, 14 are supported at both ends as shown in FIG. 11, and each wedge 14 acts on the wedge groove 10 of the master jaw 9 within the range where both ends are supported. No bending moment acts on the sliding member 13 separating the sliding member 14. As a result, the sliding member 13 does not tilt, and a stable tightening force can be obtained on the workpiece. On the other hand, since the pad (grasping portion) 12 for grasping the workpiece is located substantially inside and outside the wedge groove 10 of the master jaw 9 in the radial direction of the body 1 (FIG. The gripping operation position is the same as the operation position of the wedge 14 with respect to the wedge groove 10 of the master jaw 9.
Within the range supported by Therefore, the master jaw 9 also moves in the axial direction of the body 1.
As shown in FIG. 11, since both ends are supported, no bending moment acts on the master jaw 9, so that the master jaw 9 does not tilt, so that the master jaw 9 is more stably fastened to the workpiece. An urging force can be obtained. In the body circumferential direction, the wedge 14 receives a bending moment due to the force acting on the wedge 14,
Since the wedges 14 are located at opposite positions, the bending moments generated in the two wedges 14 and 14 are substantially the same. Therefore, the master jaw 9 does not tilt even in the circumferential direction. 6 and 7 show a second embodiment of the ultra-precision chuck according to the present invention. The same components as those of the conventional one described above are denoted by the same reference numerals in the drawings, and the description thereof will be omitted. Is omitted. In FIG. 6, a sliding member 21 which is movable in the wedge insertion hole 4 of the body 1 is provided, and the sliding member 21 includes a base 22 and a pair of supporting portions 23, 23. Wedge 2
4 and is formed. Flat wedge 24 is base 2
It is stretched inside 2 and both support parts 23,23. As shown in detail in FIG. 8, the wedge 24 is formed so as to be inclined in the moving direction of the sliding member 21 so that the tip side of the body 1 is closer to the center of the body 1. An elongated hole 25 extending in the moving direction of the sliding member 21 is formed at the center in the width direction of the sliding member 21. In addition, this wedge
A supported surface 23A, which is supported by the body 1 by connecting the two support portions 23, 23, is formed on the distal end side of 24. On the other hand, a radially formed guide portion 27 of the body 1 into which a master jaw 26 to be described later is fitted is formed so as to intersect with the wedge insertion hole 4.
Is composed of a large diameter hole 28 located inside the wedge insertion hole 4 in the radial direction of the body 1 and a small diameter hole 29 located outside the wedge insertion hole 4 and formed concentrically with the large diameter hole 28. ing. The master jaw 26 has a body 1
A first cylindrical body 30 located inside the wedge 24 and slidable along the large-diameter hole 28 in the radial direction, and a second cylindrical body located outside the wedge 24 and slidable along the small-diameter hole 29. An end face 30A of the first cylinder 30 and an end face 31A of the second cylinder 31 joined to the wedge 24 form a wedge surface having the same inclination as the wedge 24, respectively. I have. Further, a first member located on the side of the center hole 2 of the body 1 is provided.
As shown in FIG. 9, the end surface 30B of the cylindrical body 30 is curved in accordance with the curvature of the center hole 2, and the end surface 30B of the first cylindrical body 30 is bent.
The end surface 32A of the pad 32 abutting on the end surface is curved so as to have a curvature equal to the curvature of the end surface 30B as shown in FIG. 10, and the end surface 32B of the pad 32 It is curved so as to have a curvature equal to the curvature of the diameter. Then, after the mounting bolt 11 is inserted from the outer peripheral side of the body 1 into the center hole 31C of the second cylindrical body 31, the mounting bolt 11 is inserted into the long hole 25 of the wedge 24 of the sliding member 21. By inserting the bolt 11 into the center hole 30C of the first cylindrical body 30 and screwing it to the pad 32, the master jaw 26 is assembled so as to be relatively movable with respect to the sliding member 21. Next, the operation of this embodiment having the above-described configuration will be described. When a workpiece is inserted into the center hole 2 of the body 1 and the plunger 6 is moved to the left in FIG. 6, each sliding member 21 in which the long groove 18 is fitted to each piston 7 of the plunger 6.
Also moves to the left with the plunger 6, and each sliding member 21
The wedge 24 and the first cylindrical body 3 stretched on the support portions 23
Each master jaw 26 by wedge action with 0 wedge surface 30A
Moves inward in the radial direction of the body 1 so that each pad 32
Thus, the outer diameter of the workpiece can be grasped. In order to grasp the inside diameter of the workpiece (not shown), a pad is attached to the end face 31B of the second cylindrical body 31 located on the outer peripheral side of the body 1, and then the plunger 6 is moved rightward in FIG. Then, contrary to the above, each master jaw 26 can be moved outward in the radial direction, and the inner diameter can be grasped by each pad. According to the present embodiment, as in the first embodiment described above, the plate-like wedge 24 of each sliding member 21 is attached to the base 22 of each sliding member 21.
Both sides are fixed to both support portions 23, 23 protruding from the inner surface of the wedge insertion hole 4 of the body 1 when the outer diameter of the entire region in the longitudinal direction is grasped. When the inside diameter is grasped, the wedge 24 is supported from the outside of the body 1 by the inner side when the inner diameter is grasped. 1 is within the range supported by. On the other hand, a pad (grasping portion) 32 for grasping the workpiece is provided with a master jaw in the radial direction of the body 1.
26 are located substantially inside and outside the first cylinder 30 and the second cylinder 31,
Similarly to the position where the wedge 24 acts on the wedge surface of the master jaw 26, each support portion 23 is within a range where the support portion 23 is supported by the body 1. Therefore, the sliding member 21
No bending moment acts on the master jaw 26 and the master jaw 26, and a stable tightening force can be obtained on the workpiece. Further, in the present embodiment, the two supporting portions 23, 23 of the sliding member 21 are also joined in the circumferential direction of the body 1, so that the supported surface supported on the inner circumferential surface of the wedge insertion hole 4 of the body 1 is supported. twenty three
Since the A is formed, the two support portions 23, 23 are integrally formed in the circumferential direction, and the wedge 24 is formed on the wedge surface of the master jaw 26 within a range of both ends supported by both ends in the circumferential direction of the body 1. And the gripping part of the workpiece is also located, so the sliding member
Since no bending moment acts on the master jaw 21 and the master jaw 26, a more stable tightening force can be obtained on the workpiece also in this respect. Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made as necessary. [Effect of the Invention] As described above, the first aspect of the present invention provides a body,
A sliding member movably arranged in the axial direction of the body, and a jaw slidably fitted in a guide portion formed in a radial direction of the body. A chuck provided with a grasping portion substantially at least one of an outer side and an inner side of a wedge groove of the jaw, and opening and closing the jaw outward and inward in a radial direction of the body by a wedge action accompanying the axial movement of the sliding member. hand,
The body has an axial wedge insertion hole having an inner peripheral surface for supporting the sliding member, and a plurality of sliding members are arranged in the wedge insertion hole at intervals in a circumferential direction of the body. Each of the sliding members includes a base, a support protruding from the base in the axial direction of the body, and a wedge formed on the support, and a circumference of the body. The sliding member on the side facing the jaw in the direction includes the wedge fitted into a wedge groove on the side surface of the jaw, and the sliding member on the opposite side of the wedge includes the support portion. An axial length of the wedge is formed much longer than an axial length of a wedge groove of the jaw, and the support portion has a sliding surface inserted and supported in a wedge insertion hole of the body, and Axial direction The jaw is always supported on both front and rear sides of the wedge groove of the jaw. Since the jaw has one wedge groove on its side surface, between both ends of the support portion supported at both ends by the body in the body axial direction, Since the grip position for grasping the position of the wedge acting on the wedge groove of the jaw and the workpiece is located, no bending moment acts on both members of the wedge and the jaw. A stable tightening force can be obtained on the workpiece without tilting the workpiece. According to a second aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect, since a different bending moment does not act on the wedge in the circumferential direction of the body, a bending moment is generated in the jaw. Therefore, it is possible to obtain a more stable tightening force having high gripping accuracy with a large tightening force on the workpiece. Further, in the third invention of the present application, since the distal end side separated from the base of the sliding member toward the front side in the axial direction of the body is connected, the bending moment is applied to the jaw in the circumferential direction of the body. Does not act, and the rigidity of the sliding member can be further increased, so that a large clamping force and a high grasping accuracy can be obtained more stably with respect to the workpiece.

【図面の簡単な説明】 第1図ないし第6図は本発明に係る超精密チャックの第
1実施例を示すものであり、第1図は縦断面正面図、第
2図は第1図の一部縦断概略側面図、第3図は摺動部材
の斜視図、第4図Aはマスタージョウの斜視図、第4図
Bは第4図AのIV−IV線による断面図、第4図Cは第4
図Aの右側面図、第5図Aは摺動部材とマスタージョウ
の嵌合状態を示す斜視図、第5図Bは第5図Aの平面
図、第6図ないし第10図は本発明の第2実施例を示すも
のであり、第6図は縦断面正面図、第7図は第6図の一
部縦断概略側面図、第8図は摺動部材とマスタージョウ
の分解斜視図、第9図は第1筒体の側面図、第10図はパ
ッドの側面図、第11図は本発明の第1実施例におけるウ
ェッジの支持状態を示す模式図、第12図は従来のものに
おけるウェッジの支持状態を示す模式図である。 1……ボディ、2……中心孔、3,27……案内部、4……
ウェッジ挿入穴、6……プランジャ、9,26……マスター
ジョウ、1……ウェッジ溝、12,32……摺動部(パッ
ド)、13,21……摺動部材、14,24……ウェッジ、15,22
……基部、16,23……支持部、30……第1筒体、31……
第2筒体。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIGS. 1 to 6 show a first embodiment of an ultra-precision chuck according to the present invention, wherein FIG. 1 is a front view in vertical section, and FIG. FIG. 3 is a perspective view of a sliding member, FIG. 4A is a perspective view of a master jaw, FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 4A, FIG. C is 4th
FIG. 5A is a right side view, FIG. 5A is a perspective view showing a fitted state of a sliding member and a master jaw, FIG. 5B is a plan view of FIG. 5A, and FIGS. 6 is a longitudinal sectional front view, FIG. 7 is a partial longitudinal schematic side view of FIG. 6, FIG. 8 is an exploded perspective view of a sliding member and a master jaw, FIG. 9 is a side view of the first cylindrical body, FIG. 10 is a side view of the pad, FIG. 11 is a schematic view showing a support state of the wedge in the first embodiment of the present invention, and FIG. It is a schematic diagram which shows the support state of a wedge. 1 ... body, 2 ... center hole, 3, 27 ... guide part, 4 ...
Wedge insertion hole, 6, plunger, 9,26 master jaw, 1 ... wedge groove, 12, 32 sliding part (pad), 13, 21 sliding member, 14, 24 wedge , 15,22
... Base, 16, 23.
The second cylinder.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 1.ボディと、このボディの軸方向へ可動に配置された
摺動部材と、前記ボディの半径方向に形成した案内部に
摺動自在に嵌挿されたジョウとからなり、このジョウに
前記ボディの半径方向において前記ジョウのウェッジ溝
のほぼ外方および内方の少なくとも一方に把握部を備え
ジョウを前記摺動部材の軸方向移動に伴うくさび作用に
よって前記ボディの半径方向外方・内方に開閉するチャ
ックであって、 前記ボディは前記摺動部材を支持する内周面を備える軸
方向のウェッジ挿入穴を有し、 このウェッジ挿入穴内に前記ボディの円周方向に間隔を
隔てて複数の摺動部材が配設され、各摺動部材は、基部
と、この基部から前記ボディの軸方向に延材するように
突設された支持部と、この支持部に形成されたウェッジ
とにより構成され、 前記ボディの円周方向において前記ジョウに対向する側
の前記各摺動部材に、前記ジョウの側面のウェッジ溝に
嵌合される前記ウェッジを備え、このウェッジの反対側
の前記各摺動部材に前記支持部を備え、 前記支持部は前記ボディのウェッジ挿入穴に嵌挿され支
持される摺動面を備え、かつ、前記ボディの軸方向にお
いて常にジョウのウェッジ溝の前後両側において支持さ
れるとともに、その支持範囲内に前記ジョウの支持部を
位置させ、 前記ジョウはその側面に1つのウェッジ溝を備えている
ことを特徴とする超精密チャック。 2.ボディと、このボディの軸方向へ可動に配置された
摺動部材と、前記ボディの半径方向に形成した案内部に
摺動自在に嵌挿されたジョウとからなり、このジョウに
前記ボディの半径方向において前記ジョウのウェッジ溝
のほぼ外方および内方の少なくとも一方に把握部を備え
ジョウを前記摺動部材の軸方向移動に伴うくさび作用に
よって前記ボディの半径方向外方・内方に開閉するチャ
ックであって、 前記ボディは前記摺動部材を支持する内周面を備える軸
方向のウェッジ挿入穴を有し、 このウェッジ挿入穴内に前記ボディの円周方向に間隔を
隔てて複数の摺動部材が配設され、各摺動部材は、基部
と、この基部から前記ボディの軸方向に延在するように
突設された支持部と、この支持部に形成されたウェッジ
とにより構成され、 前記各摺動部材は、前記ジョウを挟んで前記ボディの円
周方向において相対向する形状とされ、 前記ジョウに対向する側の前記各摺動部材に、前記ジョ
ウの両側面にそれぞれ形成されたウェッジ溝に嵌合され
る1対の前記ウェッジを備え、これらの各ウェッジの反
対側の前記各摺動部材にそれぞれ前記支持部を備え、 前記支持部は前記ボディのウェッジ挿入穴に嵌挿され支
持される摺動面を備え、かつ、前記ボディの軸方向にお
いて常にジョウのウェッジ溝の前後両側において支持さ
れるとともに、その支持範囲内に前記ジョウの把持部を
位置させ、 前記ジョウはその両側面に2つのウェッジ溝を備えてい
ることを特徴とする超精密チャック。 3.前記ジョウはほぼ円柱状に形成されている特許請求
の範囲第2項記載の超精密チャック。 4.前記摺動部材は二又のフォークエンド形状に形成さ
れている特許請求の範囲第2項または第3項記載の超精
密チャック。 5.前記ジョウは前記ボディの半径方向に着脱可能に形
成されている特許請求の範囲第2項ないし第4項のいず
れか1項記載の超精密チャック。 6.ボディと、このボディの軸方向へ可動に配置された
摺動部材と、前記ボディの半径方向に形成した案内部に
摺動自在に嵌挿されたジョウとからなり、このジョウに
前記ボディの半径方向において前記ジョウのウェッジ溝
のほぼ外方および内方の少なくとも一方に把握部を備え
ジョウを前記摺動部材の軸方向移動に伴うくさび作用に
よって前記ボディの半径方向外方・内方に開閉するチャ
ックであって、 前記ボディは前記摺動部材を支持する内周面を備える軸
方向のウェッジ挿入穴を有し、 このウェッジ挿入穴内に前記ボディの円周方向に間隔を
隔てて複数の摺動部材が配設され、各摺動部材は、基部
と、この基部から前記ボディの軸方向に延在するように
突設された支持部と、この支持部に形成されたウェッジ
とにより構成されるとともに、各摺動部材は、前記ジョ
ウを挟んで前記ボディの円周方向において相対向すると
ともに前記基部から前記ボディの軸方向前部側に離間し
た先端側が結合された形状とされ、 前記ジョウに対向する側の前記各摺動部材に、前記ジョ
ウの両側面にそれぞれ形成されたウェッジ溝に嵌合され
る1対の前記ウェッジを備え、これらの各ウェッジの反
対側の前記各摺動部材にそれぞれ前記支持部を備え、前
記支持部は前記ボディのウェッジ挿入穴に嵌挿され支持
される摺動面を備え、 前記支持部は、前記ボディの軸方向において常にジョウ
のウェッジ溝の前後両側において支持され、かつ、前記
ボディの円周方向において常にウェッジ溝の左右両側に
おいて支持されるとともに、その支持範囲内に前記ジョ
ウの把持部を位置させ、 前記ジョウはその両側面に2つのウェッジ溝を備えてい
ることを特徴とする超精密チャック。 7.前記ジョウはほぼ円柱状に形成されている特許請求
の範囲第6項記載の超精密チャック。 8.前記摺動部材は基部が連結された矩形形状に形成さ
れている特許請求の範囲第6項または第7項記載の超精
密チャック。 9.前記ジョウは前記ボディの半径方向に着脱可能に形
成されている特許請求の範囲第6項ないし第8項のいず
れか1項記載の超精密チャック。
(57) [Claims] A body, a sliding member movably arranged in the axial direction of the body, and a jaw slidably fitted in a guide formed in a radial direction of the body. A grasping portion is provided at least in at least one of the wedge grooves of the jaw in the direction, and the jaw is opened and closed radially outward and inward of the body by a wedge action accompanying the axial movement of the sliding member. A chuck, wherein the body has an axial wedge insertion hole having an inner peripheral surface for supporting the sliding member, and a plurality of slides in the wedge insertion hole at circumferentially spaced intervals of the body. A member is disposed, each sliding member is constituted by a base, a support protruding from the base in the axial direction of the body, and a wedge formed on the support, The body The sliding member on the side facing the jaw in the circumferential direction includes the wedge fitted into a wedge groove on a side surface of the jaw, and the sliding member on the opposite side of the wedge supports the wedge. The supporting portion has a sliding surface that is inserted and supported in a wedge insertion hole of the body, and is always supported on both front and rear sides of a wedge groove of a jaw in the axial direction of the body. An ultra-precision chuck wherein a support portion of the jaw is positioned within a support range, and the jaw has one wedge groove on a side surface thereof. 2. A body, a sliding member movably arranged in the axial direction of the body, and a jaw slidably fitted in a guide formed in a radial direction of the body. A grasping portion is provided at least in at least one of the wedge grooves of the jaw in the direction, and the jaw is opened and closed radially outward and inward of the body by a wedge action accompanying the axial movement of the sliding member. A chuck, wherein the body has an axial wedge insertion hole having an inner peripheral surface for supporting the sliding member, and a plurality of slides in the wedge insertion hole at circumferentially spaced intervals of the body. A member is provided, and each sliding member is configured by a base, a support protruding from the base in the axial direction of the body, and a wedge formed on the support, Each slide The members are shaped to face each other in the circumferential direction of the body with the jaw therebetween, and are fitted to wedge grooves respectively formed on both side surfaces of the jaw on the sliding members facing the jaw. A pair of the wedges to be combined with each other, and each of the sliding members on the opposite side of each of the wedges includes the supporting portion; and the supporting portion is inserted into and supported by a wedge insertion hole of the body. A moving surface is provided, and is always supported on both front and rear sides of a wedge groove of the jaw in the axial direction of the body, and the jaw gripping part is positioned within the support range. An ultra-precision chuck having a wedge groove. 3. 3. The ultra-precision chuck according to claim 2, wherein said jaw is formed in a substantially cylindrical shape. 4. 4. The ultra-precision chuck according to claim 2, wherein the sliding member is formed in a forked end shape. 5. The ultra-precision chuck according to any one of claims 2 to 4, wherein the jaw is formed detachably in a radial direction of the body. 6. A body, a sliding member movably arranged in the axial direction of the body, and a jaw slidably fitted in a guide formed in a radial direction of the body. A grasping portion is provided at least in at least one of the wedge grooves of the jaw in the direction, and the jaw is opened and closed radially outward and inward of the body by a wedge action accompanying the axial movement of the sliding member. A chuck, wherein the body has an axial wedge insertion hole having an inner peripheral surface for supporting the sliding member, and a plurality of slides in the wedge insertion hole at circumferentially spaced intervals of the body. A member is provided, and each sliding member includes a base, a support protruding from the base in an axial direction of the body, and a wedge formed on the support. With Each of the sliding members is opposed to each other in the circumferential direction of the body with the jaw therebetween, and has a shape in which a distal end side separated from the base to the front side in the axial direction of the body is combined, and faces the jaw. The sliding member on the side includes a pair of wedges fitted into wedge grooves formed on both side surfaces of the jaw, respectively. The sliding member on the opposite side of each wedge includes the pair of wedges. A support portion, the support portion includes a sliding surface that is inserted and supported in a wedge insertion hole of the body, and the support portion is always supported on both front and rear sides of a wedge groove of a jaw in the axial direction of the body. And, while being always supported on the left and right sides of the wedge groove in the circumferential direction of the body, the grip portion of the jaw is positioned within the support range, An ultra-precision chuck having two wedge grooves on a side surface. 7. 7. The ultra-precision chuck according to claim 6, wherein said jaw is formed in a substantially cylindrical shape. 8. The ultra-precision chuck according to claim 6 or 7, wherein the sliding member is formed in a rectangular shape having a base connected thereto. 9. The ultra-precision chuck according to any one of claims 6 to 8, wherein the jaw is detachably formed in a radial direction of the body.
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