JP2820939B2 - NC laser device - Google Patents

NC laser device

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JP2820939B2
JP2820939B2 JP63205191A JP20519188A JP2820939B2 JP 2820939 B2 JP2820939 B2 JP 2820939B2 JP 63205191 A JP63205191 A JP 63205191A JP 20519188 A JP20519188 A JP 20519188A JP 2820939 B2 JP2820939 B2 JP 2820939B2
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laser
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discharge tube
irradiation
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年康 塩見
信明 家久
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ファナック 株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は数値制御装置(CNC)とガスレーザ発振器を
結合したNCレーザ装置に関し、特にワークの異常反射に
よる加工不良を検知することのできるNCレーザ装置に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an NC laser device in which a numerical controller (CNC) and a gas laser oscillator are combined, and in particular, an NC laser capable of detecting a processing defect due to abnormal reflection of a workpiece. Related to the device.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

CO2ガスレーザ等のガスレーザ発振器は高効率で高出
力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制御装置(CN
C)と結合されたNCレーザ装置として金属加工に広く使
用されている。レーザによる金属加工は、レーザ光をワ
ークの一点に照射し、その部分の温度を上昇させること
によって行う。非常に小さいスポットに絞って照射した
部分を蒸発させることによって穴あけ、切断等の加工を
行い、また焦点を僅かにずらすことによってワークを溶
融状態に停めて溶接等を行うことができる。
A gas laser oscillator such as a CO 2 gas laser can obtain high output with high efficiency and good beam characteristics.
It is widely used in metal processing as NC laser device combined with C). Laser metal processing is performed by irradiating a point on a work with a laser beam and increasing the temperature of that part. Drilling, cutting, and other processing can be performed by evaporating the irradiated portion by focusing on a very small spot, and welding can be performed while the work is stopped in a molten state by slightly shifting the focal point.

ところが、金属は光の反射率が高いので、照射を受け
た最初の時点ではレーザ光のかなりの量をその表面で反
射してしまう。しかし、一度溶融すると反射率は急に低
下して能率よく加工が進む。従って、加工に必要なレー
ザ出力にはワークの材質に応じた最低値が存在し、NCレ
ーザ装置ではこの条件を満たすようにレーザ出力を制御
して加工を行っている。
However, the metal has a high light reflectance, so that a considerable amount of laser light is reflected off its surface at the first point of irradiation. However, once melted, the reflectivity drops abruptly and processing proceeds efficiently. Therefore, the laser output required for processing has a minimum value corresponding to the material of the work, and the NC laser apparatus performs processing by controlling the laser output so as to satisfy this condition.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかし、一般にレーザ光はワークの表面に垂直に照射
されるので、ワークの表面の反射率が非常に高い状態が
生じた場合には、反射光のかなりの部分がレーザ発振器
内に戻ってきてしまうことがある。
However, since the laser light is generally irradiated perpendicularly to the surface of the work, when a state where the reflectivity of the work surface is very high occurs, a considerable portion of the reflected light returns to the laser oscillator. Sometimes.

この場合、オープンレープでレーザ出力を制御してい
る場合、この戻り光により異常にレーザ発振器内部のレ
ーザ光強度が高くなり、同部に設けられている光学部品
が損傷してしまうという障害が発生する。また、クロー
ズドループでレーザ出力を自動制御している場合にはさ
らに不具合な結果となる。
In this case, if the laser output is controlled by open rape, the return light will abnormally increase the laser light intensity inside the laser oscillator, causing damage to the optical components provided in the laser oscillator. I do. Further, in the case where the laser output is automatically controlled in a closed loop, the result becomes even worse.

すなわち、反射光が放電管内に入射することによっ
て、実質的なレーザが出力が低下したにもかかわらず放
電管内では見かけ上のレーザ出力が上昇することにな
る。NCレーザ装置ではこの出力をモニタしてフィードバ
ック信号としているので、このモニタ値の上昇によっ
て、レーザ出力を決定している放電管の電流が減少し、
このためさらに放電管から出力されるレーザ出力が減少
することになり、最終的には正常な加工ができなくなる
状態に陥る。このように、ワークからの異常反射はレー
ザ発振器の性能を劣化させると同時に、実際の加工性能
を左右する重要な問題である。
That is, when the reflected light enters the discharge tube, the apparent laser output increases in the discharge tube despite the substantial decrease in the output of the laser. Since the NC laser device monitors this output and uses it as a feedback signal, the increase in this monitored value reduces the current of the discharge tube that determines the laser output,
For this reason, the laser output output from the discharge tube further decreases, and eventually, a state in which normal processing cannot be performed falls. As described above, the abnormal reflection from the work degrades the performance of the laser oscillator and is an important problem that affects the actual processing performance.

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、
ワークからのレーザ出力の異常反射を検知してレーザ光
の被加工物への照射を自動的に停止させることのできる
NCレーザ装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such a point,
Abnormal reflection of the laser output from the workpiece can be detected and the irradiation of the laser beam to the workpiece can be automatically stopped
An object is to provide an NC laser device.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明では上記課題を解決するために、 数値制御装置(CNC)とガスレーザ発振器を結合したNC
レーザ装置において、レーザ出力をモニタする出力モニ
タ手段を有し、レーザ出力の制御をオープンループと
し、出力指令値を所定値増分した基準値を設け、前記出
力モニタ手段の出力値が前記基準値を越えたときに加工
異常とみなし、表示位置にアラームを表示し、レーザ光
の照射を停止させるように構成したことを特徴とするNC
レーザ装置が、提供される。
In the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, a numerical control device (CNC) and a gas laser oscillator are combined.
The laser device has output monitoring means for monitoring the laser output, controls the laser output as an open loop, provides a reference value obtained by incrementing an output command value by a predetermined value, and sets the output value of the output monitoring means to be equal to the reference value. NC that is regarded as a processing error when it exceeds, displays an alarm at the display position, and stops laser beam irradiation
A laser device is provided.

また、数値制御装置(CNC)とガスレーザ発振器を結
合したNCレーザ装置において、レーザ出力をモニタする
出力モニタ手段を有し、レーザ出力の制御をクローズド
ループとし、放電管電流を反射しない場合のレーザ出力
に換算した値を所定値増分した基準値を設け、前記出力
モニタ手段の出力値が前記基準値を越えた時は加工異常
とみなし、表示位置にアラームを表示し、レーザ光の照
射を停止させるように構成したことを有することを特徴
とするNCレーザ装置が、提供される。
An NC laser device that combines a numerical control device (CNC) and a gas laser oscillator has output monitoring means for monitoring the laser output, controls the laser output in a closed loop, and outputs the laser output when the discharge tube current is not reflected. When the output value of the output monitoring means exceeds the reference value, it is regarded as a processing abnormality, an alarm is displayed at the display position, and the irradiation of the laser beam is stopped. An NC laser device characterized by having such a configuration is provided.

〔作用〕[Action]

レーザ出力の制御をオープンループとし、出力モニタ
手段によってレーザの出力をモニタし、このモニタ出力
値を出力行指令値と比較する。ワークからの異常反射が
生じた場合にはモニタ値が出力値よりも所定値以上増大
するので、これを検出することによって表示画面にアラ
ームを表示し、レーザ光の照射を停止させる。
The output of the laser is monitored by an output monitoring means, and the monitored output value is compared with an output line command value. When abnormal reflection from the work occurs, the monitor value increases by a predetermined value or more than the output value. By detecting this, an alarm is displayed on the display screen and the irradiation of the laser beam is stopped.

また、レーザ出力の制御をクローズドループとし、出
力モニタ手段によってレーザの出力をモニタし、このモ
ニタ値と、放電管電流を反射のない場合のレーザ出力に
換算した値と比較する。ワークからの異常反射が生じた
場合にはモニタ値が放電管電流の換算値よりも所定値以
上増大するので、これを検出することによって表示画面
にアラームを表示し、レーザ光の照射を停止させる。
In addition, the output of the laser is monitored by an output monitor means, and the monitored value is compared with a value obtained by converting the discharge tube current into a laser output when there is no reflection. When an abnormal reflection from the workpiece occurs, the monitor value increases by a predetermined value or more than the converted value of the discharge tube current. By detecting this, an alarm is displayed on the display screen and the irradiation of the laser beam is stopped. .

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明のNCレーザ装置の第一の実施例の、オ
ープンループによるレーザ出力制御系のブロック図であ
る。図において、PC1はレーザの出力指令値、Y1はワー
クに吸収されるレーザ出力である。1は出力制御回路で
あり、出力指令値PC1を電流指令値に変換して出力す
る。2はレーザ用電源であり、商用電源を整流して、出
力制御回路1からの指令に応じた高周波の電圧を出力す
る。3は放電管であり、内部にレーザガスを循環させ、
これにレーザ用電源2からの高周波電圧を印加して放電
させることによって内部のレーザガスを励起状態にし、
誘導放出によりレーザを出力する。放電管3の内部で出
力されたレーザは、放電管3の両端に設けられている反
射鏡3a及び出力鏡3b間を往復することにより増幅され、
出力鏡3bから一部がレーザ出力YA1として出力される。
FIG. 1 is a block diagram of an open-loop laser output control system of a first embodiment of the NC laser device of the present invention. In the figure, PC1 is a laser output command value, and Y1 is a laser output absorbed by a work. Reference numeral 1 denotes an output control circuit which converts the output command value PC1 into a current command value and outputs it. Reference numeral 2 denotes a laser power supply that rectifies a commercial power supply and outputs a high-frequency voltage according to a command from the output control circuit 1. 3 is a discharge tube for circulating a laser gas inside,
By applying a high-frequency voltage from the laser power supply 2 to this and discharging it, the internal laser gas is excited,
A laser is output by stimulated emission. The laser output inside the discharge tube 3 is amplified by reciprocating between the reflecting mirror 3a and the output mirror 3b provided at both ends of the discharge tube 3,
A part is output as the laser output YA1 from the output mirror 3b.

4はワークであり、YB1はワークによって反射された
レーザ出力である。ワークに吸収されるレーザ出力Y1
は、出力鏡3bから出力されるレーザ出力YA1と反射レー
ザ出力YB1の差となる。反射レーザ出力YB1は出力鏡3bに
入射し、放電管3、反射鏡3aを通過して、放電管内で発
生したレーザ出力と共にパワーセンサに入力される。6
はレーザ出力をモニタするパワーセンサであり、反射鏡
3aの一部を透過させて出力されたモニタ用レーザ出力
を、熱電あるいは光電変換素子等を用いて測定し、モニ
タ値PA1を出力する。
Reference numeral 4 denotes a work, and YB1 denotes a laser output reflected by the work. Laser output Y1 absorbed by work
Is the difference between the laser output YA1 output from the output mirror 3b and the reflected laser output YB1. The reflected laser output YB1 enters the output mirror 3b, passes through the discharge tube 3 and the reflecting mirror 3a, and is input to the power sensor together with the laser output generated in the discharge tube. 6
Is a power sensor that monitors the laser output,
The monitor laser output transmitted through part of 3a is measured using a thermoelectric or photoelectric conversion element or the like, and a monitor value PA1 is output.

7aは増分値PO1であり、その値については後述する。8
aは演算器であり、出力指令値PC1と増分値PO1の和を出
力する。9aは比較手段Aであり、モニタ値PA1と演算器8
aの出力値を入力し、モニタ値PA1が演算器8aの出力値を
越えている時は異常検出信号AR1を出力する。異常検出
信号AR1が出力されると、図示されていない表示装置に
アラームを表示し、同時にレーザ光の照射を停止させ
る。
7a is an increment value PO1, the value of which will be described later. 8
a is an arithmetic unit that outputs the sum of the output command value PC1 and the increment value PO1. 9a is a comparison means A, and the monitor value PA1 and the arithmetic unit 8
The output value of a is input, and when the monitor value PA1 exceeds the output value of the computing unit 8a, the abnormality detection signal AR1 is output. When the abnormality detection signal AR1 is output, an alarm is displayed on a display device (not shown), and irradiation of the laser beam is stopped at the same time.

第2図は出力指令値PC1とモニタ値PA1との関係を表し
たグラフである。図において、横軸は出力指令値PC1で
あり、縦軸はモニタ値PA1である。20は理想的な制御状
態の場合の特性であり、出力指令値PC1とモニタ値PA1が
完全に一対一で比例している。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the output command value PC1 and the monitor value PA1. In the figure, the horizontal axis is the output command value PC1, and the vertical axis is the monitor value PA1. Reference numeral 20 denotes a characteristic in an ideal control state, in which the output command value PC1 and the monitor value PA1 are completely proportional to each other.

ところで、正常に加工が行われている場合でも、ある
程度の量の反射があるので理想特性20からは僅かにずれ
る。すなわち、出力指令値PC1に対しモニタ値PA1が増え
ることがある。この増分量は、正常な加工の場合には20
%を越えることはないが、異常反射が生じた場合には20
%を越え、場合によっては100%近く反射することもあ
る。22はこの異常反射時の特性の一例である。
By the way, even if the processing is performed normally, there is a certain amount of reflection, so that it slightly deviates from the ideal characteristic 20. That is, the monitor value PA1 may increase with respect to the output command value PC1. This increment is 20 for normal machining.
%, But 20 if abnormal reflection occurs
%, And in some cases, nearly 100%. 22 is an example of the characteristic at the time of this abnormal reflection.

従って、20%の増分量をしきい値として、出力指令値
PC1とモニタ値PA1を比較すればワークによる異常反射現
象を検知することができる。21は出力指令値PC1に対し
て増分量を20%とした特性であり、この特性は第1図の
増分値PO1を出力指令値PC1の20%に設定することによっ
て演算器8aの出力として実現できる。このようにして、
本発明のNCレーザ装置によってワークの異常反射現象が
検知できる。
Therefore, with the 20% increment as the threshold, the output command value
By comparing the PC1 with the monitor value PA1, an abnormal reflection phenomenon due to the work can be detected. Reference numeral 21 denotes a characteristic in which the increment is 20% with respect to the output command value PC1, and this characteristic is realized as the output of the computing unit 8a by setting the increment value PO1 in FIG. 1 to 20% of the output command value PC1. it can. In this way,
The abnormal reflection phenomenon of the workpiece can be detected by the NC laser device of the present invention.

第3図は本発明の第一の実施例の異常反射時の処理の
フローチャート図である。図において、Sに続く数値は
ステップ番号を示す。
FIG. 3 is a flowchart of a process at the time of abnormal reflection according to the first embodiment of the present invention. In the figure, a numerical value following S indicates a step number.

〔S1〕レーザ光照射中かどうかを判断する。照射中の場
合はS2へいく。照射中でない場合は終了する。
[S1] It is determined whether the laser beam irradiation is being performed. If irradiation is in progress, go to S2. If the irradiation is not being performed, the process ends.

〔S2〕モニタ値PA1が、出力指令値PC1と増分値PO1の和
を越えているかどうかを判断する。越えている場合はS3
へいく。越えていない場合は終了する。
[S2] It is determined whether or not the monitor value PA1 exceeds the sum of the output command value PC1 and the increment value PO1. S3 if exceeded
Go to. If not, the process ends.

〔S3〕表示装置にアラームを表示する。[S3] An alarm is displayed on the display device.

〔S4〕ベース放電状態にして、レーザ光照射を停止させ
る。
[S4] The laser beam irradiation is stopped in the base discharge state.

次に本発明の第二の実施例について説明する。第4図
は本発明のNCレーザ装置のクローズドループによるレー
ザ出力制御系のブロック図である。図において、第1図
と同じ機能を有するものについては同じ番号を付してあ
り、説明を省略する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a block diagram of a closed loop laser output control system of the NC laser device of the present invention. In the figure, components having the same functions as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

PC2は出力指令値であり、Y2はワークに吸収されるレ
ーザ出力である。YA2は出力鏡3bより出力されるレーザ
出力、YB2はワークよりの反射レーザ出力である。パワ
ーセンサ6から出力されるレーザ出力のモニタ値PA2は
演算器11に入力される。演算器11は出力指令値PC2とモ
ニタ値PA2との差を出力制御回路1に出力する。従っ
て、この制御系ではモニタ値PA2が出力指令値PC2に一致
するように自動制御されるので、第1の実施例の方法で
モニタ値PA2と出力指令値PC2を比較してワークからの異
常反射現象を検知することはできない。
PC2 is an output command value, and Y2 is a laser output absorbed by the work. YA2 is a laser output output from the output mirror 3b, and YB2 is a reflected laser output from the work. The monitor value PA2 of the laser output output from the power sensor 6 is input to the arithmetic unit 11. The calculator 11 outputs the difference between the output command value PC2 and the monitor value PA2 to the output control circuit 1. Therefore, in this control system, the monitor value PA2 is automatically controlled so as to coincide with the output command value PC2. Therefore, the monitor value PA2 is compared with the output command value PC2 by the method of the first embodiment, and abnormal reflection from the work is performed. The phenomenon cannot be detected.

I2はレーザ用電源2より出力される放電管電流であ
る。12は変換回路であり、レーザ用電源2より供給され
る放電管電流I2を検出して、これを反射のない場合のレ
ーザ出力に換算した換算値PI2に変換して出力する。7b
は増分値PO2であり、その値については後述する。8bは
演算器であり、換算値PI2と増分値PO2の和を出力する。
9bは比較手段Bであり、演算器8bの出力をモニタ値PA2
と比較して、モニタ値PA2が演算器8bの出力値を越えて
いる時は異常検出信号AR2を出力する。異常検出信号AR2
が出力されると、図示されていない表示装置にアラーム
を表示し、同時にレーザ光の照射を停止させる。
I2 is a discharge tube current output from the laser power supply 2. Reference numeral 12 denotes a conversion circuit which detects a discharge tube current I2 supplied from the laser power supply 2, converts it into a converted value PI2 converted into a laser output without reflection, and outputs the converted value. 7b
Is an increment value PO2, the value of which will be described later. Reference numeral 8b denotes an arithmetic unit that outputs the sum of the converted value PI2 and the increment value PO2.
9b is a comparison means B, which outputs the output of the computing unit 8b to the monitor value
When the monitor value PA2 exceeds the output value of the computing unit 8b, the abnormality detection signal AR2 is output. Error detection signal AR2
Is output, an alarm is displayed on a display device (not shown), and at the same time, the irradiation of the laser beam is stopped.

第5図(a)は放電管電流I2とモニタ値PA2の関係を
表したグラフである。図において、横軸は放電管電流I
2、縦軸はモニタ値PA2である。ワークからの反射が全く
ない理想状態では30に示す特性となる。しかし、反射が
あるとモニタ値PA2が増大するので、制御系は放電管電
流I2を減少させてモニタ値PA2を一定に保つように制御
する。従って、第5図(a)では30の特性が左方向にず
れる結果となる。正常な加工状態でもこの減少は僅かに
生じるが、異常反射が生じた場合にはこの減少が大きく
現れ31のような特性になるので、これを検出することに
よってワークからの異常反射を検知することができる。
FIG. 5A is a graph showing the relationship between the discharge tube current I2 and the monitor value PA2. In the figure, the horizontal axis represents the discharge tube current I.
2, the vertical axis is the monitor value PA2. In the ideal state where there is no reflection from the work, the characteristic shown in FIG. However, since the monitor value PA2 increases when there is reflection, the control system controls the discharge tube current I2 to decrease so as to keep the monitor value PA2 constant. Therefore, in FIG. 5 (a), the result is that the characteristics of 30 are shifted to the left. This decrease slightly occurs even in a normal machining state.However, when abnormal reflection occurs, the decrease appears greatly and has a characteristic like 31.Therefore, by detecting this, it is necessary to detect abnormal reflection from the work. Can be.

しかし、放電管電流I2とモニタ値PA2の関係は単純な
比例関係ではないため、このまま比較することは難し
い。従って、本発明では、放電管電流I2を、第4図の変
換回路12によってレーザ出力PI2に換算することによっ
て、換算値PI2とモニタ値PA2を一次関数上で比較してい
る。
However, since the relationship between the discharge tube current I2 and the monitor value PA2 is not a simple proportional relationship, it is difficult to compare them as they are. Therefore, in the present invention, the conversion value PI2 and the monitor value PA2 are compared on a linear function by converting the discharge tube current I2 into the laser output PI2 by the conversion circuit 12 in FIG.

第5図(b)は、換算値PI2と、モニタ値PA2との関係
を表したグラフである。図において、40はワークからの
反射レーザ光YB2が全くない場合の特性であり、換算値P
I2とモニタ値PA2は完全に一致する。42はワークからの
異常反射が生じた場合の特性であり、換算値PI2を基準
にした場合、モニタ値PA2が増えることとなる。ここ
で、正常時においてはこの増分量は20%を越えることは
ないので、20%の増分量の特性41をしきい値として両者
の値を比較すればワークからの異常反射を検知すること
ができる。この特性41は第4図の増分値PO2を換算値PI2
の20%に設定することによって実現できる。
FIG. 5B is a graph showing the relationship between the converted value PI2 and the monitor value PA2. In the figure, reference numeral 40 denotes a characteristic when there is no reflected laser beam YB2 from the workpiece, and the converted value P
I2 and the monitor value PA2 completely match. Reference numeral 42 denotes a characteristic in a case where abnormal reflection from the work occurs. When the converted value PI2 is used as a reference, the monitor value PA2 increases. Here, since the increment does not exceed 20% under normal conditions, an abnormal reflection from the work can be detected by comparing the two values with the characteristic 41 of the increment of 20% as a threshold value. it can. This characteristic 41 is obtained by converting the increment value PO2 in FIG.
This can be achieved by setting it to 20%.

第6図は上述した本発明の第二の実施例の異常反射時
の処理のフローチャート図である。図において、Sに続
く数値はステップ番号を示す。
FIG. 6 is a flowchart of the processing at the time of abnormal reflection according to the second embodiment of the present invention. In the figure, a numerical value following S indicates a step number.

〔S11〕レーザ光照射中かどうかを判断する。照射中の
場合はS12へいく。照射中でない場合は終了する。
[S11] It is determined whether the laser beam irradiation is being performed. If irradiation is in progress, go to S12. If the irradiation is not being performed, the process ends.

〔S12〕モニタ値PA2が、換算値PI2と増分値PO2の和を越
えているかどうかを判断する。越えている場合はS13へ
いく。越えていない場合は終了する。
[S12] It is determined whether or not the monitor value PA2 exceeds the sum of the converted value PI2 and the increment value PO2. If so, go to S13. If not, the process ends.

〔S13〕表示装置にアラームを表示する。[S13] An alarm is displayed on the display device.

〔S14〕ベース放電状態にして、レーザ光の照射を停止
させる。
[S14] The state is changed to a base discharge state, and irradiation of laser light is stopped.

なお、本発明の第一及び第二の実施例においては各増
分値を20%としたが、この値は一例であり、NCレーザ装
置の特性あるいはワークの条件等に応じて変更して適用
することができる。
In the first and second embodiments of the present invention, each increment value is set to 20%. However, this value is merely an example, and is applied after being changed according to the characteristics of the NC laser device or the condition of the work. be able to.

また、本実施例ではレーザ光の照射を停止する場合、
レーザ発振を停止させるような放電状態へ移行させるこ
とで記述したが、レーザ発振は続行させたまま、レーザ
発振装置とワークの間に設けられたメカニカルなビーム
シャッターを閉じることによっても実現できる。
In this embodiment, when stopping the irradiation of the laser beam,
Although the description has been made in terms of shifting to a discharge state in which laser oscillation is stopped, it can also be realized by closing a mechanical beam shutter provided between the laser oscillation device and the work while continuing laser oscillation.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明では、レーザ出力の制御を
オープンループとし、モニタ出力値が、出力指令値より
も所定値増分した基準値より増大したときに、表示画面
にアラームを表示し、レーザ光の照射を停止するように
構成したので、オープンループ制御に対応した異常反射
の検出ができ、加工不良を防止できる。
As described above, according to the present invention, the control of the laser output is performed in an open loop, and when the monitor output value is larger than a reference value obtained by incrementing the output command value by a predetermined value, an alarm is displayed on the display screen and the laser light is displayed. , The abnormal reflection corresponding to the open loop control can be detected, and processing defects can be prevented.

また、レーザ出力の制御をクローズドループとし、放
電管電流を反射のない場合のレーザ出力に換算した基準
値より増大したときに、表示画面をアラームを表示し、
レーザ光の照射を停止するように構成したので、クロー
ズループに対応した異常反射を検出でき、加工不良を防
止できる。
In addition, the control of the laser output is closed loop, and when the discharge tube current increases from a reference value converted into the laser output when there is no reflection, an alarm is displayed on the display screen,
Since the laser beam irradiation is stopped, abnormal reflection corresponding to the closed loop can be detected, and processing defects can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の第一の実施例のレーザ出力制御系のブ
ロック図、 第2図は本発明の第一の実施例の出力指令値とモニタ値
との関係を表したグラフ、 第3図は本発明の第一の実施例の異常反射時の処理のフ
ローチャート図、 第4図は本発明の第二の実施例のレーザ出力制御系のブ
ロック図、 第5図(a)は本発明の第二の実施例の放電管電流とモ
ニタ値との関係を表したグラフ、 第5図(b)は本発明の第二の実施例の放電管電流をレ
ーザ出力に換算した値とモニタ値との関係を表したグラ
フ、 第6図は本発明の第二の実施例の異常反射時の処理のフ
ローチャート図である。 1……出力制御回路 2……レーザ用電源 3……放電管 4……ワーク 6……パワーセンサ 7a……増分値PO1 7b……増分値PO2 8a、8b……演算器 9a……比較手段A 9b……比較手段B 11……演算器 12……変換回路 PC1、PC2……出力指令値 YA1、YA2……出力鏡からのレーザ出力 YB1、YB2……ワークからの反射レーザ出力 Y1、Y2……ワークに吸収されるレーザ出力 PA1、PA2……モニタ値 I2……放電管電流 PI2……放電管電流の換算値 AR1、AR2……異常検出信号
FIG. 1 is a block diagram of a laser output control system according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a graph showing a relationship between an output command value and a monitor value according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a flowchart of a process at the time of abnormal reflection according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram of a laser output control system according to a second embodiment of the present invention. FIG. FIG. 5 (b) is a graph showing the relationship between the discharge tube current and the monitor value according to the second embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6 is a flowchart of a process at the time of abnormal reflection according to the second embodiment of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Output control circuit 2 ... Laser power supply 3 ... Discharge tube 4 ... Work 6 ... Power sensor 7a ... Incremental value PO1 7b ... Incremental value PO2 8a, 8b ... Computer 9a ... Comparison means A 9b Comparison means B 11 Computing unit 12 Conversion circuit PC1, PC2 Output command value YA1, YA2 Laser output from output mirror YB1, YB2 Reflected laser output from work Y1, Y2 Laser output absorbed by workpiece PA1, PA2 Monitor value I2 Discharge tube current PI2 Conversion value of discharge tube current AR1, AR2 Abnormality detection signal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 家久 信明 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580 番地 ファナック株式会社商品開発研究 所内 (56)参考文献 特開 昭58−54945(JP,A) 特開 平1−321671(JP,A) 実開 昭62−77687(JP,U) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Nobuaki Ieku, No. 3580 Kobaba, Oshino-mura, Oshino-mura, Minamitsuru-gun, Yamanashi Prefecture FANUC CORPORATION Product Development Laboratory (56) References JP-A-58-54945 (JP, A) JP-A-1-321671 (JP, A) JP-A-62-277687 (JP, U)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】数値制御装置(CNC)とガスレーザ発振器
を結合したNCレーザ装置において、 レーザ出力をモニタする出力モニタ手段を有し、 レーザ出力の制御をオープンループとし、出力指令値を
所定値増分した基準値を設け、前記出力モニタ手段の出
力値が前記基準値を越えたときに加工異常とみなし、表
示装置にアラームを表示し、レーザ光の照射を停止させ
るように構成したことを特徴とするNCレーザ装置。
An NC laser device comprising a numerical controller (CNC) and a gas laser oscillator, comprising output monitoring means for monitoring a laser output, controlling the laser output in an open loop, and increasing an output command value by a predetermined value. A reference value is provided, and when the output value of the output monitoring means exceeds the reference value, it is regarded as a processing abnormality, an alarm is displayed on a display device, and irradiation of the laser beam is stopped. NC laser device.
【請求項2】数値制御装置(CNC)とガスレーザ発振器
を結合したNCレーザ装置において、 レーザ出力をモニタする出力モニタ手段を有し、 レーザ出力の制御をクローズドループとし、放電管電流
を反射のない場合のレーザ出力に換算した値を所定値増
分した基準値を設け、前記出力モニタ手段の出力値が前
記基準値を越えた時は加工異常とみなし、表示装置にア
ラームを表示し、レーザ光の照射を停止させるように構
成したことを有することを特徴とするNCレーザ装置。
2. An NC laser apparatus comprising a numerical controller (CNC) and a gas laser oscillator, comprising output monitoring means for monitoring a laser output, wherein the laser output is controlled in a closed loop and the discharge tube current is not reflected. A reference value obtained by incrementing the value converted into the laser output in the case by a predetermined value is provided, and when the output value of the output monitoring means exceeds the reference value, it is regarded as a processing abnormality, an alarm is displayed on a display device, and An NC laser device characterized in that irradiation is stopped.
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