JP2812202B2 - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、半導体記憶装置に係
り、特にマスクプログラム等によってデータが不揮発に
記憶される読出し専用メモリ(ROM)に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a read only memory (ROM) in which data is stored in a nonvolatile manner by a mask program or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】マスクROMには従来より、図3に示す
NOR型メモリセルが多く用いられている。各メモリト
ランジスタは例えば、選択的なチャネルイオン注入によ
って、通常のエンハンスメント状態(E型)かまたは、
電源電圧でもオンしない高しきい値状態(HiVt状態)に
設定される。これがデータ書込みである。選択ワード線
を駆動したとき、これにつながるメモリトランジスタが
E型であれば、ビット線に電流が流れ、HiVt状態であれ
ばビット線に電流が流れない。これによりデータ読出し
ができる。
2. Description of the Related Art Conventionally, NOR type memory cells shown in FIG. Each memory transistor may be in a normal enhancement state (E-type) or by selective channel ion implantation, for example.
It is set to a high threshold state (HiVt state) that does not turn on even at the power supply voltage. This is data writing. When the selected word line is driven, if the memory transistor connected to the selected word line is of the E type, current flows through the bit line, and if the memory transistor is in the HiVt state, no current flows through the bit line. Thus, data can be read.

【0003】図3のNOR型メモリセル構成は、個々の
メモリトランジスタのソース,ドレインをそれぞれ接地
線,ビット線に接続することが必要であり、コンタクト
数が多く、これが集積度向上を妨げている。これに対し
て、集積度向上に有利なメモリセル構成として、図4に
示すNAND型メモリセルが知られている。
In the NOR type memory cell configuration shown in FIG. 3, it is necessary to connect the source and drain of each memory transistor to a ground line and a bit line, respectively, and the number of contacts is large, which hinders an improvement in integration. . On the other hand, a NAND memory cell shown in FIG. 4 is known as a memory cell configuration advantageous for improving the degree of integration.

【0004】図4のNAND型メモリセルでは、メモリ
トランジスタはE型または、デプレション型(D型)の
いずれかに設定されてデータ書込みがなされる。データ
読出しは、選択ワード線に読出し電圧を与えてビット線
に電流が流れるか否かを検出することにより行われる。
このとき非選択ワード線には高レベル電圧を印加して、
非選択のメモリトランジスタを導通状態に保つ。このN
AND型メモリセルでは、複数のメモリトランジスタに
ついて、ビット線コンタクト、接地線コンタクトがそれ
ぞれ一つずつで済み、従ってNOR型メモリセルに比べ
て高集積化に有利である。
In the NAND type memory cell shown in FIG. 4, a memory transistor is set to either an E type or a depletion type (D type) to write data. Data read is performed by applying a read voltage to a selected word line and detecting whether a current flows through a bit line.
At this time, a high level voltage is applied to the unselected word lines,
Keep unselected memory transistors conductive. This N
In the AND type memory cell, only one bit line contact and one ground line contact are required for a plurality of memory transistors, which is advantageous for higher integration than the NOR type memory cell.

【0005】しかし、NAND型メモリセル構成では、
一つのメモリトランジスタのデータを読み出すのに、前
述のようにNANDセル内の他のメモリトランジスタの
チャネルを通して電流を流さなければならない。このた
め、実質的にメモリトランジスタのチャネル長を極めて
長い状態にしたと等価になり、高速性能を得ることが難
しい。
However, in the NAND memory cell configuration,
To read data from one memory transistor, a current must be passed through the channel of another memory transistor in the NAND cell as described above. For this reason, it is substantially equivalent to a state where the channel length of the memory transistor is extremely long, and it is difficult to obtain high-speed performance.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来知
られているROMのメモリセル構成では、高集積化と高
速性能を両立させることが難しいという問題があった。
この発明は、上記の点に鑑みなされたもので、高集積化
と高速性能を両立させることを可能としたROMを提供
することを目的としている。
As described above, the conventional ROM memory cell configuration has a problem that it is difficult to achieve both high integration and high-speed performance.
The present invention has been made in view of the above points, and has as its object to provide a ROM that can achieve both high integration and high-speed performance.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明に係るROM
は、一つのワード線により駆動される第1及び第2のメ
モリトランジスタが対をなしてそれらの一端が一つのビ
ット線に接続され、前記第1のメモリトランジスタの他
端にバイアス回路が接続され、前記第2のメモリトラン
ジスタの他端が基準電位に設定されてメモリセルアレイ
が構成され、前記第1及び第2のメモリトランジスタは
それぞれ二つのしきい値状態のいずれかに設定されて不
揮発にデータ書込みがなされ、前記ワード線の選択によ
り、前記ビット線に、前記第1及び第2のメモリトラン
ジスタの各しきい値状態の4つの組み合わせに対応して
4値出力が得られるようにしたことを特徴としている。
A ROM according to the present invention
The first and second memory transistors driven by one word line form a pair, one end of which is connected to one bit line, and a bias circuit is connected to the other end of the first memory transistor. The other end of the second memory transistor is set to a reference potential to form a memory cell array, and the first and second memory transistors are each set to one of two threshold states to store data in a nonvolatile manner. Writing is performed, and by selecting the word line, a quaternary output is obtained on the bit line corresponding to four combinations of threshold states of the first and second memory transistors. Features.

【0008】[0008]

【作用】この発明によると、一つのワード線により駆動
される二つのメモリトランジスタを対として、一つのビ
ット線に4値出力が得られるようにしている。従来のN
OR型メモリセル構成でも、一つのワード線により選択
される二つのメモリトランジスタを対として見れば、そ
れらのデータ状態の組み合わせは4通りになる。しかし
この場合、その二つのメモリトランジスタのデータは互
いに異なるビット線に読み出されることになる。つまり
この発明の場合、従来のNOR型メモリセル構成に比べ
てビット線数が1/2で済む。更に二つのメモリトラン
ジスタは全く別のものでよいため、TFTまたはSOI
方式等の2階建て構造が可能となり、その場合メモリ面
積を1/2にすることができる。またこの発明では、N
AND型メモリセル構成のように複数のメモリトランジ
スタが一つのビット線に直列につながることはないか
ら、通常のNOR型メモリセル構成の場合と同様の高速
性能が実現できる。
According to the present invention, two memory transistors driven by one word line are paired so that a quaternary output can be obtained on one bit line. Conventional N
Even in the OR type memory cell configuration, when two memory transistors selected by one word line are viewed as a pair, there are four combinations of their data states. However, in this case, the data of the two memory transistors are read to bit lines different from each other. That is, in the case of the present invention, the number of bit lines can be reduced to 1 / compared with the conventional NOR type memory cell configuration. Further, since the two memory transistors may be completely different, a TFT or SOI
A two-story structure such as a system can be realized, in which case the memory area can be reduced to half. Also, in the present invention, N
Since a plurality of memory transistors are not connected in series to one bit line unlike the AND type memory cell configuration, the same high-speed performance as that of the normal NOR type memory cell configuration can be realized.

【0009】[0009]

【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例を
説明する。図1は、この発明の一実施例に係るマスクR
OMの要部構成を示す。メモリセル1は、互いに交差し
て配設されたワード線WLiとビット線BLj、及びこ
れらの交差位置に配置されたnチャネルのメモリMOS
トランジスタMijにより構成される。一つのビット線
BL1と一つのワード線WL1に着目して説明すると、
このワード線WL1により駆動される二つのメモリトラ
ンジスタM11とM12とは対をなして、一つのメモリセル
MCを構成している。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a mask R according to an embodiment of the present invention.
The main configuration of the OM is shown. The memory cell 1 includes a word line WLi and a bit line BLj arranged crossing each other, and an n-channel memory MOS arranged at the crossing position between the word line WLi and the bit line BLj.
It is composed of a transistor Mij. Focusing on one bit line BL1 and one word line WL1, a description will be given.
The two memory transistors M11 and M12 driven by the word line WL1 form a pair and constitute one memory cell MC.

【0010】メモリセルMCを構成する第1のメモリト
ランジスタM11と第2のメモリトランジスタM12のそれ
ぞれ一端は、同じビット線BL1に接続されている。第
1のメモリトランジスタM11の他端はバイアス回路2に
より所定のバイアスが与えられるVp線に接続され、第
2のメモリトランジスタM12の他端は基準電位線である
VSS線に接続されている。バイアス回路2は、ゲート・
ドレインをVp線に接続しソースをVDDに接続したpチ
ャネルMOSトランジスタQP1と、nチャネルMOSト
ランジスタQN1とから構成されている。
One end of each of the first memory transistor M11 and the second memory transistor M12 forming the memory cell MC is connected to the same bit line BL1. The other end of the first memory transistor M11 is connected to a Vp line to which a predetermined bias is given by the bias circuit 2, and the other end of the second memory transistor M12 is connected to a VSS line which is a reference potential line. The bias circuit 2 has a gate
It comprises a p-channel MOS transistor QP1 having a drain connected to the Vp line and a source connected to VDD, and an n-channel MOS transistor QN1.

【0011】ビット線BL1に隣接するビット線BL2
についても同様であり、詳細な説明は省くが、この実施
例の場合図示のように、VSS線を挟んでBL1側の部分
とBL2側の部分とが反転パターンをなしてレイアウト
されている。これによりメモリトランジスタの2階建て
構造が可能となる。そしてこれらビット線BL1,BL
2はこの実施例の場合、nチャネルMOSトランジスタ
QN3,QN4からなるカラムセレクタ3を介してセンスア
ンプ4に接続されている。
The bit line BL2 adjacent to the bit line BL1
Similarly, the detailed description is omitted, but in the case of this embodiment, as shown in the figure, the portion on the BL1 side and the portion on the BL2 side are laid out in an inverted pattern with the VSS line interposed therebetween. This enables a two-story structure of the memory transistor. These bit lines BL1, BL
Reference numeral 2 in this embodiment is connected to a sense amplifier 4 via a column selector 3 comprising n-channel MOS transistors QN3 and QN4.

【0012】センスアンプ4は、ビット線BLの電位変
化を検知するインバータIと、このインバータIの入出
力によりそれぞれソース、ゲートが制御され、ドレイン
が出力端子OUTにつながるnチャネルMOSトランジ
スタQN5と、電流源用のpチャネルMOSトランジスタ
QP2とにより構成されている。ビット線BLのセンスア
ンプ4と反対側の端部には、nチャネルMOSトランジ
スタQN2からなる電流源5が設けられている。MOSト
ランジスタQN2はドレイン・ゲートが共通にビット線B
Lに接続され、ソースはVSS線に接続されている。これ
によりビット線の電位上昇が抑えられるようになってい
る。
The sense amplifier 4 includes an inverter I for detecting a potential change of the bit line BL, an n-channel MOS transistor QN5 whose source and gate are controlled by the input and output of the inverter I, and whose drain is connected to the output terminal OUT. And a p-channel MOS transistor QP2 for a current source. A current source 5 including an n-channel MOS transistor QN2 is provided at an end of the bit line BL opposite to the sense amplifier 4. MOS transistor QN2 has a common drain / gate bit line B
L and the source is connected to the VSS line. As a result, an increase in the potential of the bit line is suppressed.

【0013】メモリセルアレイ1へのデータ書込みは、
例えば選択的なチャネルイオン注入による。一つのメモ
リトランジスタに着目すると、通常のNOR型メモリセ
ルと同様に、E型状態か、または電源電圧でもオンしな
い高しきい値のHiVt状態のいずれかに設定される。この
とき、対をなす二つのメモリトランジスタからなる一つ
のメモリセルMCに着目すると、データ状態の組み合わ
せは4通りになる。そしてこの実施例では、この4通り
のデータ状態に対応してそれぞれ電圧レベルが異なる4
値出力がビット線BLに得られるようになっている。
Data writing to the memory cell array 1 is performed as follows.
For example, by selective channel ion implantation. Focusing on one memory transistor, it is set to either an E-type state or a high-threshold HiVt state that does not turn on even at the power supply voltage, as in a normal NOR-type memory cell. At this time, focusing on one memory cell MC including two memory transistors forming a pair, there are four combinations of data states. In this embodiment, the voltage levels are different according to the four data states.
A value output is obtained on the bit line BL.

【0014】具体的に図2を参照して、4値データの読
出し動作を説明すると、次の通りである。データ読出し
時、選択ワード線には例えばVDDが与えられる。図2
は、メモリセルMCの4通りのデータ状態〜と、そ
れぞれのデータ状態に応じてセンスアンプ4に読み出さ
れる出力の関係を示している。まず、第1及び第2のメ
モリトランジスタM11,M12が共にHiVt状態であるデー
タ状態のときは、ワード線WL1が選択されてもメモ
リトランジスタM11,M12ともにオフである。このと
き、ビット線BL1は、電流源5による引き込み電流で
決まる中間レベルになる。これがセンスアンプ4で増幅
されて、出力端子OUTには電圧レベルV2で示す出力
が得られる。
The operation of reading quaternary data will be described with reference to FIG. At the time of data reading, VDD is applied to the selected word line, for example. FIG.
Shows the relationship between the four data states of the memory cell MC and the output read out to the sense amplifier 4 according to each data state. First, when the first and second memory transistors M11 and M12 are in the HiVt data state, both the memory transistors M11 and M12 are off even when the word line WL1 is selected. At this time, the bit line BL1 is at an intermediate level determined by the current drawn by the current source 5. This is amplified by the sense amplifier 4, and an output indicated by the voltage level V2 is obtained at the output terminal OUT.

【0015】次に、第1のメモリトランジスタM11がE
状態、第2のメモリトランジスタM12がHiVt状態のデー
タ状態の場合、ワード線WL1が選択されると、第1
のメモリトランジスタM11がオン、第2のメモリトラン
ジスタM12がオフである。従って第1のメモリトランジ
スタM11を介してバイアス回路2からビット線BL1に
電流が供給され、これが電流源5による電流に加算され
て、ビット線BL1は電位上昇する。このビット線電位
上昇がセンスアンプ4により検出されて、出力端子OU
Tにはデータ状態に比べてより高いレベルV2の出力
が得られる。
Next, the first memory transistor M11 is
When the word line WL1 is selected when the second memory transistor M12 is in the HiVt state, the first memory transistor M12 is in the first state.
Is turned on, and the second memory transistor M12 is turned off. Therefore, a current is supplied from the bias circuit 2 to the bit line BL1 via the first memory transistor M11, and this is added to the current from the current source 5 to raise the potential of the bit line BL1. This bit line potential rise is detected by sense amplifier 4 and output terminal OU
At T, a higher level V2 output is obtained compared to the data state.

【0016】次に、第1及び第2のメモリトランジスタ
M11,M12が共にE状態であるデータ状態の場合、ワ
ード線WL1が選択されると、これらのメモリトランジ
スタM11,M12が同時にオンになる。これにより、バイ
アス回路2により第1のメモリトランジスタM11を介し
てビット線BL1に電流が供給されると同時に、第2の
メモリトランジスタM12によりビット線BL1からVSS
に電流が引き込まれる。このとき、後者のVSSへの引き
込み電流の方が供給電流より大きくなるように回路条件
を予め設計すれば、ビット線BL1の電位はデータ状態
の場合より低下する。これをセンスアンプ4が検出し
て、出力端子OUTには、データ状態に比べて低いレ
ベルV3の出力が得られる。
Next, in a data state where both the first and second memory transistors M11 and M12 are in the E state, when the word line WL1 is selected, these memory transistors M11 and M12 are simultaneously turned on. As a result, a current is supplied from the bias circuit 2 to the bit line BL1 via the first memory transistor M11, and at the same time, the second memory transistor M12 supplies a current from the bit line BL1 to VSS.
Current is drawn into the At this time, if the circuit conditions are designed in advance so that the latter current drawn into VSS becomes larger than the supply current, the potential of the bit line BL1 becomes lower than in the data state. This is detected by the sense amplifier 4, and an output of a level V3 lower than the data state is obtained at the output terminal OUT.

【0017】最後に、第1のメモリトランジスタM11が
HiVt状態、第2のメモリトランジスタM12がE状態のデ
ータ状態の場合、ワード線WL1が選択されると、第
2のメモリトランジスタM12のみがオンとなる。これに
よりビット線BL1はデータ状態の場合より電位低下
する。センスアンプ4はこれを検出して、出力端子OU
Tにはデータ状態より低いレベルV4の出力が得られ
る。
Finally, the first memory transistor M11 is
When the word line WL1 is selected in the HiVt state and the data state of the second memory transistor M12 in the E state, only the second memory transistor M12 is turned on. As a result, the potential of the bit line BL1 becomes lower than that in the data state. The sense amplifier 4 detects this and outputs the output terminal OU
At T, an output of level V4 lower than the data state is obtained.

【0018】以上のようにこの実施例によれば、二つの
メモリトランジスタを対として、それらの二つのしきい
値状態の組み合わせにより一本のビット線に4値出力が
得られる。この4値出力は例えば、A/Dコンバータを
通すことより、“11”,“10”,“01”,“0
0”という2値データに変換することができる。通常の
NOR型メモリセルの場合、2値出力であるから、この
実施例の4値出力に対応するデータ量を得るには、二本
のビット線が必要である。従ってこの実施例によれば、
通常のNOR型メモリセル構成に比べて同じ記憶容量と
する場合にビット線数を少なくすることができる。また
二つのメモリトランジスタは同一製造工程でなく、例え
ば一つはTFTでも良いので、ワード線の上下にトラン
ジスタを置く2階建て構造とすることができ、これによ
りメモリセル面積を通常の1/2にする事ができる。N
AND型メモリセルのようにデータ読出しに非選択メモ
リセルのチャネルを使うことはないから、NOR型メモ
リセル構成と同様の高速動作も可能である。
As described above, according to this embodiment, two memory transistors are paired, and a quaternary output can be obtained on one bit line by a combination of the two threshold states. The quaternary output is passed through, for example, an A / D converter, so that "11", "10", "01", "0
0 ". In the case of a normal NOR type memory cell, a binary output is required. To obtain a data amount corresponding to the quaternary output of this embodiment, two bits are required. Lines are needed, so according to this embodiment,
The number of bit lines can be reduced when the storage capacity is the same as in a normal NOR memory cell configuration. Further, since the two memory transistors are not formed in the same manufacturing process, for example, one may be a TFT, a two-story structure in which transistors are provided above and below a word line can be used. It can be. N
Since the channel of the non-selected memory cell is not used for data reading unlike the AND memory cell, high-speed operation similar to the NOR memory cell configuration is possible.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、一
対のメモリトランジスタにより一つのビット線に4値デ
ータが出力できるようにして、高集積化と高速化を両立
させたROMを提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a ROM capable of achieving both high integration and high speed by enabling quaternary data to be output to one bit line by a pair of memory transistors. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の一実施例のマスクROMの要部構
成を示す。
FIG. 1 shows a main configuration of a mask ROM according to an embodiment of the present invention.

【図2】 同実施例の動作を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the embodiment.

【図3】 NOR型メモリセル構成を示す。FIG. 3 shows a NOR type memory cell configuration.

【図4】 NAND型メモリセル構成を示す。FIG. 4 shows a NAND memory cell configuration.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…メモリセルアレイ、2…バイアス回路、3…カラム
セレクタ、4…センスアンプ、5…電流源、M11…第1
のメモリトランジスタ、M12…第2のメモリトランジス
タ、MC…メモリセル。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Memory cell array, 2 ... Bias circuit, 3 ... Column selector, 4 ... Sense amplifier, 5 ... Current source, M11 ... First
, A memory transistor M12, a second memory transistor, and MC, a memory cell.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 一つのワード線により駆動される第1及
び第2のメモリトランジスタが対をなしてそれらの一端
が一つのビット線に接続され、前記第1のメモリトラン
ジスタの他端にバイアス回路が接続され、前記第2のメ
モリトランジスタの他端が基準電位に設定されてメモリ
セルアレイが構成され、 前記第1及び第2のメモリトランジスタはそれぞれ二つ
のしきい値状態のいずれかに設定されて不揮発にデータ
書込みがなされ、 前記ワード線の選択により、前記ビット線に、前記第1
及び第2のメモリトランジスタの各しきい値状態の4つ
の組み合わせに対応して4値出力が得られるようにした
ことを特徴とする半導体記憶装置。
A first memory transistor driven by one word line is paired with one end connected to one bit line, and a bias circuit is connected to the other end of the first memory transistor. And the other end of the second memory transistor is set to a reference potential to form a memory cell array. The first and second memory transistors are each set to one of two threshold states. Data is written in a non-volatile manner, and the first word line is selected and the first bit line is written to the bit line.
And a quaternary output corresponding to four combinations of each threshold state of the second memory transistor.
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