JP2801746B2 - Optical information recording / reproducing device and double diffraction grating - Google Patents

Optical information recording / reproducing device and double diffraction grating

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JP2801746B2
JP2801746B2 JP2172964A JP17296490A JP2801746B2 JP 2801746 B2 JP2801746 B2 JP 2801746B2 JP 2172964 A JP2172964 A JP 2172964A JP 17296490 A JP17296490 A JP 17296490A JP 2801746 B2 JP2801746 B2 JP 2801746B2
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optical
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光情報記録媒体を用いて情報の記録等を行
うと共に、トラッキングサーボやフォーカスサーボを行
う光情報記録再生装置及び二重回折格子に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information recording / reproducing apparatus and a double diffraction grating which perform information recording and the like using an optical information recording medium and perform tracking servo and focus servo. .

従来の技術 従来、光情報記録再生装置において、光の光束分離手
段に回折格子を用いたものとしては、まず、第一の従来
例として特開昭61−230634号公報に開示されているもの
がある。すなわち、第36図に示すように、半導体レーザ
1から出射されたレーザ光はコリメートレンズ2で平行
化され、偏光ビームスプリッタ3に入射する。この場
合、その入射光の偏光方向は偏光ビームスプリッタ3の
溝と平行方向の状態となるようにしてあるため、回折し
て1/4波長板4に入射し円偏光波となり、対物レンズ5
により集光され光情報記録媒体としての光ディスク6に
照射され、これにより情報の記録等が行われる。また、
その光ディスク6からの反射光は前記1/4波長板4で直
線偏光波に変換され、これにより偏光ビームスプリッタ
3を透過して信号検出光学系7に導かれ臨界角回折格子
8に入射する。この場合、その入射光は2回の臨界角回
折と全反射を生じ回折光となって4分割された受光素子
9に入射し、これによりそれら分割された受光素子9で
検出されることにより情報の再生や、フォーカスエラー
信号、トラックエラー信号の検出が行われる。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an optical information recording / reproducing device, as a device using a diffraction grating as a light beam separating means, a device disclosed in JP-A-61-230634 as a first conventional example is first disclosed. is there. That is, as shown in FIG. 36, the laser light emitted from the semiconductor laser 1 is collimated by the collimator lens 2 and enters the polarization beam splitter 3. In this case, since the polarization direction of the incident light is set to be parallel to the groove of the polarization beam splitter 3, it is diffracted and enters the quarter-wave plate 4 to become a circularly polarized wave, and the objective lens 5
And irradiates the optical disk 6 as an optical information recording medium, thereby recording information and the like. Also,
The reflected light from the optical disk 6 is converted into a linearly polarized wave by the quarter-wave plate 4, thereby passing through the polarization beam splitter 3, being guided to the signal detection optical system 7, and entering the critical angle diffraction grating 8. In this case, the incident light undergoes two critical angle diffractions and total reflection, becomes a diffracted light, enters the four-divided light-receiving element 9, and is detected by the divided light-receiving elements 9 to obtain information. And a focus error signal and a track error signal are detected.

次に、第二の従来例として、第37図に示すように、デ
ュアル型回折格子10を用いたものがある。すなわち、半
導体レーザ11からの出射光はコリメートレンズ12により
平行化された後、2枚の整形プリズム13を介して、ビー
ムスプリッタ14により反射された対物レンズ15により集
光され光磁気ディスク16に照射されることにより情報の
記録等が行われる。また、この光磁気ディスク16からの
反射光は、前記ビームスプリッタ14を透過して信号検出
光学系17に導かれ、集光レンズ18により集光されデュア
ル型回折格子10の両面に形成された回折格子10aを透過
又は回折する。このうち、透過してそのまま直進した0
次光Tは4分割受光素子19aに導かれ、一方、回折され
た1次光Kは2分割受光素子19bに導かれる。これによ
り、再生信号となる光磁気信号は0次光Tと1次光Kと
の光量差により検出され、また、フォーカスエラー信号
は非点収差法により0次光Tを用いて検出され、トラッ
クエラー信号はプシュプル法等により1次光Kを用いて
検出される。
Next, as a second conventional example, as shown in FIG. 37, there is one using a dual type diffraction grating 10. That is, the emitted light from the semiconductor laser 11 is collimated by the collimating lens 12, and then condensed by the objective lens 15 reflected by the beam splitter 14 through two shaping prisms 13 and irradiated on the magneto-optical disk 16. By doing so, information recording and the like are performed. The reflected light from the magneto-optical disk 16 passes through the beam splitter 14 and is guided to the signal detection optical system 17, where it is focused by the condenser lens 18 and formed on both surfaces of the dual-type diffraction grating 10. The light is transmitted or diffracted through the grating 10a. Of these, 0 passed straight through
The next light T is guided to the four-divided light receiving element 19a, while the diffracted primary light K is guided to the two-divided light receiving element 19b. As a result, a magneto-optical signal serving as a reproduction signal is detected based on a light amount difference between the zero-order light T and the primary light K, and a focus error signal is detected using the zero-order light T by an astigmatism method. The error signal is detected using the primary light K by a push-pull method or the like.

次に、第三の従来例について説明する。レーザ光源と
しての半導体レーザから出射された光は、コリメートレ
ンズにより平行化された後、その平行光は光路分離手段
により反射され、対物レンズにより集光されて光情報記
録媒体としての光磁気ディスクの表面に照射され、これ
により情報の記録が行われる。また、その光磁気ディス
クからの反射光は、光路分離手段を通過して信号検出光
学系内に導かれ受光素子に検出され、これにより情報の
再生や、フォーカスエラー信号、トラックエラー信号の
検出を行っている。
Next, a third conventional example will be described. Light emitted from a semiconductor laser as a laser light source is collimated by a collimating lens, and the parallel light is reflected by an optical path separating means and condensed by an objective lens to form a magneto-optical disk as an optical information recording medium. The surface is illuminated, thereby recording information. The reflected light from the magneto-optical disk passes through the optical path separating means, is guided into the signal detection optical system, and is detected by the light receiving element, thereby reproducing information and detecting a focus error signal and a track error signal. Is going.

第四の従来例を第38図に基づいて説明する。半導体レ
ーザ20から出射した光は、光束分離素子21の一面に形成
された回折格子22により反射され、コリメートレンズ23
により平行化された後、対物レンズ24により集光されて
光磁気ディスク25の表面に照射され、これにより情報の
記録が行われる。また、光磁気ディスク25からの反射光
は、対物レンズ24、コリメートレンズ23を順次透過した
後、光束分離素子21の回折格子22を透過することにより
0次光Tと1次光Kとに分離され、その裏面に形成され
た全反射面26により反射された後、再び、回折格子22を
透過して外部に出射される。これにより0次光Tと1次
光Kとは互いに光路長が異なる状態とされ、半導体レー
ザ20と同一面内に配設された2個の受光素子27にそれぞ
れ導かれることによって各種信号の検出を行うことがで
きる。
A fourth conventional example will be described with reference to FIG. Light emitted from the semiconductor laser 20 is reflected by a diffraction grating 22 formed on one surface of a light beam splitting element 21 and a collimator lens 23
After being collimated, the light is condensed by the objective lens 24 and irradiated onto the surface of the magneto-optical disk 25, thereby recording information. The reflected light from the magneto-optical disk 25 is transmitted through the objective lens 24 and the collimating lens 23 sequentially, and then transmitted through the diffraction grating 22 of the light beam separating element 21 to be separated into the 0th order light T and the 1st order light K. After being reflected by the total reflection surface 26 formed on the back surface, the light is again transmitted through the diffraction grating 22 and emitted to the outside. As a result, the 0th-order light T and the 1st-order light K have different optical path lengths from each other, and are guided to the two light receiving elements 27 disposed in the same plane as the semiconductor laser 20, thereby detecting various signals. It can be performed.

発明が解決しようとする課題 まず、第一の問題点について述べる。第36図に示すよ
うな第一の従来例の場合、光情報記録媒体に追記型の光
ディスクやCDを適用することは可能であるが、光磁気信
号の検出機能がないので、書換え可能な光ディスクヘッ
ドとしては使用することができない。
Problems to be Solved by the Invention First, the first problem will be described. In the case of the first conventional example as shown in FIG. 36, a write-once optical disc or CD can be applied to the optical information recording medium, but since there is no magneto-optical signal detection function, a rewritable optical disc is not available. It cannot be used as a head.

次に、第二の問題点について述べる。第37図に示すよ
うな第二の従来例の場合、デュアル型回折格子を用いて
おりこれを通過して形成された0次光Tと1次光Kの出
射方向をほぼ同一方向に向けることができるため、信号
検出光学系17のある程度のスペースの省略化を図ること
は可能であるが、しかし、装置全体としてみた場合、ビ
ームスプリッタ14や集光レンズ18等の光学部品が残り十
分な小型化、軽量化を図ることができないという問題が
ある。
Next, the second problem will be described. In the case of the second conventional example as shown in FIG. 37, a dual-type diffraction grating is used, and the emission directions of the 0th-order light T and the 1st-order light K formed therethrough are directed substantially in the same direction. Therefore, it is possible to save a certain amount of space in the signal detection optical system 17, however, when viewed as a whole, the optical components such as the beam splitter 14 and the condenser lens 18 remain and are sufficiently small. There is a problem that weight reduction and weight reduction cannot be achieved.

次に、第三の問題点について述べる。第三の従来例の
場合、レーザ光源から出射された出射光と光磁気ディス
クからの反射光との光束を分離するために、光路分離手
段を用いている。この光束分離手段としては、一般的に
ビームスプリッタ等のプリズムを用いたものが多い。し
かし、近年、アクセス時間の短縮を図るために、光ピッ
クアップ光学系の小型、軽量化が重要な課題となってき
ている。このような課題を解決するための一つの手段と
して、前述したような光束分離手段として、表裏両面に
回折格子の形成されたデュアル回折格子を用いたものが
ある。このデュアル回折格子を用いることにより、光ピ
ックアップ光学系全体の部品点数の削減やスペースの省
略化を図り、シーク移動の高速化を図っている。
Next, the third problem will be described. In the case of the third conventional example, an optical path separating means is used to separate the light flux of the emitted light emitted from the laser light source and the reflected light from the magneto-optical disk. In general, many light beam separating means use a prism such as a beam splitter. However, in recent years, in order to shorten the access time, it has become important to reduce the size and weight of the optical pickup optical system. As one means for solving such a problem, there is an apparatus using a dual diffraction grating having diffraction gratings formed on both front and back surfaces as the light beam separating means as described above. By using this dual diffraction grating, the number of components in the entire optical pickup optical system is reduced, the space is omitted, and seek movement is speeded up.

しかし、そのようなデュアル型回折格子に形成される
回折格子は、その性質上、波長変動の影響を受けやす
く、しかも、その回折格子の形成された面が脆く格子形
状がくずれやすい。このためそのような回折格子を用い
ることにより、反射、透過、回折した波面の精度が劣化
して集光スポットが大きくなり、その結果、正確な情報
の記録、再生等を行うことができないという問題が生じ
る。
However, the diffraction grating formed in such a dual type diffraction grating is susceptible to wavelength fluctuations due to its properties, and the surface on which the diffraction grating is formed is brittle, and the grating shape is likely to be lost. Therefore, the use of such a diffraction grating degrades the accuracy of the reflected, transmitted, and diffracted wavefronts and increases the size of the condensed light spot. As a result, it is not possible to perform accurate information recording and reproduction. Occurs.

次に、第四の問題点について述べる。第37図に示すよ
うな第二の従来例の場合、光学系全体のレイアウトが、
出射光学系Aと信号検出光学系Bとに分けられているた
め全体として部品点数が多くなり、その結果コストがか
かるという問題がある。
Next, the fourth problem will be described. In the case of the second conventional example as shown in FIG. 37, the layout of the entire optical system is
Since it is divided into the emission optical system A and the signal detection optical system B, there is a problem that the number of parts is increased as a whole, and as a result, the cost is increased.

次に、第五の問題点について述べる。第38図に示すよ
うな第四の従来例の場合、半導体レーザ20と受光素子27
とを一体化しており、しかも、1枚の回折格子22で、2
枚の回折格子の場合と同じように波長変動に対して回折
角変動が小さくなるようになっている。しかし、光磁気
ディスク25への照射光とその光磁気ディスク25からの反
射光との分離が光路分離素子21の基板28の板厚によって
決まるため、発光点と受光点の間隔やフォーカス感度に
対して設計の自由度が狭くなり、しかも、調整、組付
け、作製がきびしくなるという問題がある。また、この
場合、回折格子22表面の反射により光利用効率が低下す
るという問題がある。
Next, the fifth problem will be described. In the case of the fourth conventional example as shown in FIG. 38, the semiconductor laser 20 and the light receiving element 27
And a single diffraction grating 22
As in the case of a single diffraction grating, the variation in the diffraction angle with respect to the variation in the wavelength is reduced. However, since the separation between the irradiation light to the magneto-optical disk 25 and the reflected light from the magneto-optical disk 25 is determined by the thickness of the substrate 28 of the optical path separating element 21, the distance between the light-emitting point and the light-receiving point and the focus sensitivity Therefore, there is a problem that the degree of freedom of design is narrowed, and adjustment, assembling, and manufacturing are severe. Further, in this case, there is a problem that light utilization efficiency is reduced due to reflection on the surface of the diffraction grating 22.

次に、第六の問題点について述べる。第38図に示すよ
うな第四の従来例の場合、回折格子22と全反射面26とを
有する光束分離素子21を配設したことにより、光学系の
部品点数が削減され、スペースの省略化を図ることがで
きる。しかし、この場合、透過光T及び回折光Kを検出
する2個の受光素子27は、半導体レーザ20を挟んだ両側
の位置に配設された形で1つの基板上に実装されてい
る。このためその実装の際に、それら2つの受光素子27
と半導体レーザ20との位置決め、すなわち、微調整を行
うことに困難を極める。また、この場合、半導体レーザ
20と受光素子27とは実装基板29からの距離が異なるた
め、別個に高さ調整用の装置が必要となる。このように
受光素子27は、半導体レーザ20を挟んだ両側に配置され
ているため、その組付け調整が面倒で手間がかかるとい
う問題がある。
Next, the sixth problem will be described. In the case of the fourth conventional example as shown in FIG. 38, by disposing the light beam separating element 21 having the diffraction grating 22 and the total reflection surface 26, the number of components of the optical system is reduced, and the space is reduced. Can be achieved. However, in this case, the two light receiving elements 27 for detecting the transmitted light T and the diffracted light K are mounted on one substrate in such a manner that they are arranged at positions on both sides of the semiconductor laser 20. Therefore, when mounting the two light receiving elements 27
Positioning of the semiconductor laser 20 with the semiconductor laser 20, that is, fine adjustment is extremely difficult. In this case, the semiconductor laser
Since the distance between the light receiving element 27 and the light receiving element 27 differs from each other, a separate height adjusting device is required. As described above, since the light receiving elements 27 are arranged on both sides of the semiconductor laser 20, there is a problem that the assembling adjustment is troublesome and troublesome.

課題を解決するための手段 請求項1記載の発明では、レーザ光源から出射された
光を対物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射し
情報の記録を行うと共に、その光情報記録媒体からの反
射光を検出することにより情報用の再生信号やトラック
エラー信号、フォーカスエラー信号の検出を行う光情報
記録再生装置において、前記レーザ光源より出射された
出射光が前記対物レンズに向かう間の光路上に半反射膜
を有する第一回折部材を設け、前記光情報記録媒体から
の反射光が前記第一回折部材を通過した光路上に第二回
折部材を配設し、前記第一回折部材と前記第二回折部材
とを通過することにより分離して得られた透過光と回折
光とをそれぞれ検出する受光素子を設けた。
Means for Solving the Problems According to the invention described in claim 1, light emitted from a laser light source is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus that detects a reproduction signal for information, a track error signal, and a focus error signal by detecting reflected light of the laser beam, the light emitted from the laser light source is directed toward the objective lens. Providing a first diffractive member having a semi-reflective film on the path, disposing a second diffractive member on the optical path where the reflected light from the optical information recording medium has passed through the first diffractive member, the first diffractive member and A light receiving element for detecting the transmitted light and the diffracted light obtained by being separated by passing through the second diffraction member was provided.

請求項2記載の発明では、レーザ光源から出射された
光をコリメートレンズにより平行化し、この平行化され
た光を対物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射
し情報の記録を行うと共に、その光情報記録媒体からの
反射光を受光素子に導くことにより情報の再生やトラッ
クエラー信号、フォーカスエラー信号の検出を行う光情
報記録再生装置において、前記レーザ光源から出射され
た光の光路側に位置する面に入射した光の一部を反射さ
せる半反射膜を有する表面回折格子が形成されこの面と
相対する側の面に裏面回折格子の形成された光束分離手
段を設け、前記裏面回折格子の形成された側の光路上に
前記受光素子を配設した。
According to the second aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is collimated by a collimator lens, and the collimated light is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus for reproducing information, detecting a track error signal, and detecting a focus error signal by guiding the reflected light from the optical information recording medium to a light receiving element, the optical information recording / reproducing apparatus has a light path side of light emitted from the laser light source. A surface diffraction grating having a semi-reflective film for reflecting a part of the light incident on the surface to be located, and a light beam separating means having a back surface diffraction grating formed on a surface opposite to this surface; The light-receiving element was disposed on the optical path on the side where is formed.

請求項3記載の発明では、レーザ光源から出射された
光をコリメートレンズにより平行化し、この平行化され
た光を対物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射
して情報の記録を行うと共に、その光情報記録媒体から
の反射光を受光素子に導くことにより情報の再生やトラ
ックエラー信号、フォーカスエラー信号の検出を行う光
情報記録再生装置において、前記レーザ光源から出射さ
れた光の光路側に位置する面に入射した光の一部を反射
させる半反射膜を有する回折格子が形成されこの面と相
対する側の面に全反射面の形成された光束分離手段を設
け、前記レーザ光源の設けられた側の光路上に前記受光
素子を配設した。
According to the third aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is collimated by a collimating lens, and the collimated light is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus for reproducing information, detecting a track error signal, and detecting a focus error signal by guiding reflected light from the optical information recording medium to a light receiving element, an optical path side of light emitted from the laser light source A diffraction grating having a semi-reflective film that reflects a part of the light incident on the surface located on the surface is formed, and a light beam separating unit having a total reflection surface formed on a surface on the side opposite to this surface is provided, and the laser light source of the laser light source is provided. The light receiving element was arranged on the optical path on the side provided.

請求項4記載の発明では、レーザ光源から出射された
光をコリメートレンズにより平行化し、その平行光を対
物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射すること
により情報の記録を行うと共に、その光情報記録媒体か
らの反射光を信号検出光学系内の受光素子に導くことに
より情報の再生や、フォーカスエラー信号、トラックエ
ラー信号の検出を行う光情報記録再生装置において、前
記レーザ光源から出射された光の光路上に、片面に第一
回折部材の形成された半反射性の第一基板とこの第一基
板の前記第一回折部材の形成された側の面とスペーサを
介して対向配置された側の面に第二回折部材の形成され
た透過性の第二基板とよりなる二重回折格子素子を配設
した。
According to the fourth aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is collimated by a collimating lens, and the parallel light is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus that reproduces information by guiding reflected light from an optical information recording medium to a light receiving element in a signal detection optical system and detects a focus error signal and a track error signal, the laser light emitted from the laser light source is used. On the optical path of the light, a semi-reflective first substrate having a first diffractive member formed on one surface and a surface of the first substrate on which the first diffractive member is formed are opposed to each other via a spacer. A double diffraction grating element comprising a transparent second substrate on which a second diffraction member was formed was disposed on the surface on the other side.

請求項5記載の発明では、レーザ光源から出射された
光をコリメートレンズにより平行化し、その後対物レン
ズにより集光して光情報記録媒体に照射することにより
情報の記録を行うと共に、前記光情報記録媒体からの反
射光を検出して情報の再生や、トラックエラー信号、フ
ォーカスエラー信号の検出を行う光情報記録再生装置に
おいて、前記コリメートレンズと前記対物レンズとの間
の光路上にくさび状をなす非平行基板の一面に半反射膜
を有する回折格子が形成され他面に全反射面が形成され
た光束分離手段を配設し、この光束分離手段により反射
された光が前記コリメートレンズを透過した前記レーザ
光源側の光路上に前記光情報記録媒体からの反射光を検
出する2個の受光素子を配設した。
According to the fifth aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is collimated by a collimator lens, and then condensed by an objective lens to irradiate an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus which detects reflected light from a medium to reproduce information, and detects a track error signal and a focus error signal, a wedge is formed on an optical path between the collimating lens and the objective lens. A diffraction grating having a semi-reflection film is formed on one surface of the non-parallel substrate, and a light beam separation means having a total reflection surface formed on the other surface is provided, and light reflected by this light beam separation means passes through the collimating lens. Two light receiving elements for detecting reflected light from the optical information recording medium were provided on the optical path on the side of the laser light source.

請求項6記載の発明では、レーザ光源から出射された
光をコリメートレンズにより平行化し、その後対物レン
ズにより集光して光情報記録媒体に照射することにより
情報の記録を行うと共に、前記光情報記録媒体からの反
射光を検出して情報の再生や、トラックエラー信号、フ
ォーカスエラー信号の検出を行う光情報記録再生装置に
おいて、前記コリメートレンズと前記対物レンズとの間
の光路上に非平行基板の一面に半反射膜を有する回折格
子が形成され他面にウェッジプリズム形状をなす全反射
面が形成された光束分離手段を配設し、この光束分離手
段により反射された光が前記コリメートレンズを透過し
た前記レーザ光源側の光路上に前記光情報記録媒体から
の反射光を検出する2個の受光素子を2組配設した。
According to the sixth aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is collimated by a collimating lens, and then condensed by an objective lens to irradiate an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus that detects reflected light from a medium and reproduces information or detects a track error signal and a focus error signal, a non-parallel substrate is provided on an optical path between the collimator lens and the objective lens. A light beam separating means having a diffraction grating having a semi-reflective film on one surface and a total reflection surface in the form of a wedge prism formed on the other surface is provided, and the light reflected by the light beam separating means passes through the collimating lens. Two sets of two light receiving elements for detecting the reflected light from the optical information recording medium were provided on the optical path on the side of the laser light source.

請求項7記載の発明では、レーザ光源から出射された
光を対物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射す
ることにより情報の記録を行うと共に、前記光情報記録
媒体からの反射光を検出して情報の再生や、トラックエ
ラー信号、フォーカスエラー信号の検出を行う光情報記
録再生装置において、前記レーザ光源より出射された光
が前記対物レンズに向かう間の光路上に基板の一面に回
折格子が形成されその一部表面に半反射膜を有し他面に
全反射面が形成された光束分離手段を配設し、この光束
分離手段により回折されて進む1次光の光路上に第1受
光素子を配設し、前記光束分離手段により屈折されて進
む0次光の光路上に第2受光素子を配設した。
In the invention according to claim 7, information is recorded by condensing light emitted from a laser light source by an objective lens and irradiating the optical information recording medium, and detecting reflected light from the optical information recording medium. In the optical information recording / reproducing apparatus for reproducing information and detecting a track error signal and a focus error signal, a diffraction grating is provided on one surface of a substrate on an optical path while light emitted from the laser light source is directed to the objective lens. And a light beam separating means having a semi-reflective film on one surface and a total reflection surface formed on the other surface, and a first light beam on the optical path of the primary light diffracted by the light beam separating device and traveling. A light receiving element is provided, and a second light receiving element is provided on the optical path of the zero-order light which is refracted by the light beam separating means and travels.

請求項8記載の発明では、上述した請求項7記載の発
明の構成において、レーザ光源より出射された光が光束
分離手段に向かう間の光路上にコリメートレンズを配設
した。
According to an eighth aspect of the present invention, in the configuration of the seventh aspect of the present invention, a collimating lens is disposed on an optical path while the light emitted from the laser light source travels toward the light beam separating means.

請求項9記載の発明では、レーザ光源から出射された
出射光をコリメートレンズを介して対物レンズにより集
光して光情報記録媒体に照射することにより情報の記録
を行うと共に、前記光情報記録媒体からの反射光を検出
して情報の再生や、トラックエラー信号、フォーカスエ
ラー信号の検出を行う光情報記録再生装置において、前
記出射光が前記コリメートレンズを通過して前記対物レ
ンズに向かう間の光路上に基板の一面に回折格子が形成
されその表面に半反射膜を有し他面に全反射面が形成さ
れたくさび状の光束分離手段を配設し、前記出射光が前
記半反射膜により反射されて得られた1本の主ビームと
前記半反射膜を透過して得られた2本の副ビームとが前
記光情報記録媒体に導かれるようにくさび状をした前記
光束分離手段のくさび角を設定した。
According to the ninth aspect of the present invention, information is recorded by emitting light emitted from a laser light source through a collimator lens by an objective lens and irradiating the optical information recording medium with the light. In the optical information recording / reproducing device which detects reflected light from the optical disc to reproduce information, and detects a track error signal and a focus error signal, the light emitted from the output light passes through the collimating lens and travels toward the objective lens. A diffraction grating is formed on one surface of the substrate on the road, and a wedge-shaped light beam separating means having a semi-reflective film on the surface and a total reflection surface formed on the other surface is provided, and the emitted light is reflected by the semi-reflective film. The wedge-shaped light beam separating means has a wedge shape so that one main beam obtained by reflection and two sub-beams obtained by transmitting through the semi-reflective film are guided to the optical information recording medium. Set the corner.

請求項10記載の発明では、上述した請求項9記載の発
明の構成において、光情報記録媒体により反射された主
ビーム及び副ビームのうち、前記主ビームを受光する2
つの3分割受光素子を設け、前記副ビームを受光する2
つの無分割受光素子を設けた。
According to a tenth aspect of the present invention, in the configuration of the ninth aspect of the present invention, of the main beam and the sub-beam reflected by the optical information recording medium, the main beam and the sub-beam are received.
Two three-divided light receiving elements for receiving the sub-beam
Two non-divided light receiving elements were provided.

請求項11記載の発明では、レーザ光源から出射された
光をコリメートレンズにより平行化した後、対物レンズ
により集光して光情報記録媒体の表面に照射し情報の記
録を行うと共に、その光情報記録媒体からの反射光を受
光素子により検出してフォーカスエラー信号、トラック
エラー信号の検出を行う光情報記録再生装置において、
前記レーザ光源から出射された光が前記コリメートレン
ズに向かう間の光路上に、透過型回折格子とこの透過型
回折格子に一定角度をなして配設された高反射面とを有
する光束分離手段を設けた。
In the invention according to claim 11, after the light emitted from the laser light source is collimated by the collimating lens, the light is condensed by the objective lens and irradiated on the surface of the optical information recording medium to record information, and the optical information is recorded. In an optical information recording / reproducing apparatus which detects a reflected light from a recording medium by a light receiving element and detects a focus error signal and a track error signal,
On the optical path while the light emitted from the laser light source is directed to the collimating lens, a light beam separating means having a transmission type diffraction grating and a high reflection surface disposed at an angle to the transmission type diffraction grating. Provided.

請求項12記載の発明では、片面に第一回折部材の形成
された半反射性の第一基板と、この第一基板の前記第一
回折部材の形成された側の面とスペーサを介して対向配
置された側の面に第一回折部材の形成された透過性の第
二基板とよりなる二重回折格子を設けた。
In the invention according to claim 12, a semi-reflective first substrate having a first diffractive member formed on one surface thereof is opposed to a surface of the first substrate on which the first diffractive member is formed via a spacer. A double diffraction grating consisting of a transparent second substrate on which the first diffraction member was formed was provided on the surface on the side where it was arranged.

作用 請求項1記載の発明により、レーザ光源から出射され
た光は、第一回折部材に形成された半反射膜により反射
された後、光情報記録媒体により反射され再び第一回折
部材に導かれ、第一回折部材と第二回折部材とを通過す
ることにより透過光と回折光とに分離され、これら分離
された2つの光が受光素子に検出されることによって、
情報の再生や、トラックエラー信号、フォーカスエラー
信号を検出することができる。
According to the first aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is reflected by the semi-reflective film formed on the first diffraction member, then reflected by the optical information recording medium, and guided again to the first diffraction member. By passing through the first diffractive member and the second diffractive member, is separated into transmitted light and diffracted light, and these two separated lights are detected by the light receiving element,
It is possible to reproduce information and detect a track error signal and a focus error signal.

請求項2記載の発明により、レーザ光源から出射され
た光は、光束分離手段の表面回折格子に形成された半反
射膜により反射された後、光情報記録媒体により反射さ
れ再び表面回折格子に導かれ、さらに、裏面回折格子を
通過することによりほぼ同一方向に出射方向をもつ0次
光と1次光とに分離されほぼ同一方向に出射され、これ
ら分離された2つの光は受光素子に検出されることによ
って、情報の再生や、トラックエラー信号、フォーカス
エラー信号を検出することができる。
According to the second aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is reflected by the semi-reflective film formed on the surface diffraction grating of the light beam separating means, reflected by the optical information recording medium, and guided again to the surface diffraction grating. Then, by passing through the back-side diffraction grating, the light is separated into the 0th-order light and the 1st-order light having the emission directions in almost the same direction, and emitted in almost the same direction. These two separated lights are detected by the light receiving element. As a result, it is possible to reproduce information and detect a track error signal and a focus error signal.

請求項3記載の発明により、レーザ光源から出射され
た光は、光束分離手段の表面回折格子に形成された半反
射膜により反射された後、光情報記録媒体により反射さ
れ再び表面回折格子に導かれ、さらに、全反射面により
反射され再び表面回折格子を通過してレーザ光源と同一
面内に配置された受光素子に検出されることによって、
情報の再生や、トラックエラー信号、フォーカスエラー
信号を検出することができる。
According to the third aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is reflected by the semi-reflective film formed on the surface diffraction grating of the light beam separating means, then reflected by the optical information recording medium, and guided again to the surface diffraction grating. It is further reflected by the total reflection surface, passes through the surface diffraction grating again, and is detected by the light receiving element arranged in the same plane as the laser light source,
It is possible to reproduce information and detect a track error signal and a focus error signal.

請求項4記載の発明により、レーザ光源から出射され
た光は、二重回折格子素子の半反射性の第一基板により
反射され、コリメートレンズにより平行化され光情報記
録媒体により反射された後、再び二重回折格子素子に導
かれ、その第一基板の第一回折部材により透過光と回折
光との2つの光に分離され、ともにスペーサを通過した
後、透過光は第二基板の第二回折格子をそのまま透過し
回折光はその第二回折格子によりさらに回折され各々分
離された状態で二重回折格子を通過し、信号検出光学系
内に導かれることにより、情報の再生や、フォーカスエ
ラー信号、トラックエラー信号の検出を行うことができ
る。
According to the fourth aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is reflected by the semi-reflective first substrate of the double diffraction grating element, collimated by the collimating lens, and reflected by the optical information recording medium. Again, guided to the double diffraction grating element, separated by the first diffractive member of the first substrate into two lights of transmitted light and diffracted light, and after passing through both spacers, the transmitted light is The transmitted light passes through the second diffraction grating as it is, and the diffracted light is further diffracted by the second diffraction grating, passes through the double diffraction grating in a separated state, and is guided into the signal detection optical system, so that information can be reproduced or reproduced. , A focus error signal and a track error signal can be detected.

請求項5記載の発明により、回折格子と全反射面とが
非平行な基板の両面に形成された光束分離手段を用いて
0次光と1次光とをスポット分離しているので光学系全
体のレイアウトの設計が容易となり、しかも、その光束
分離手段はコリメータレンズと対物レンズとの間に配設
されているので平行化された光が回折格子に入射するよ
うになり、これにより高性能な偏光分離を行うことがで
きるため光利用効率も上げることができる。
According to the fifth aspect of the present invention, the 0th-order light and the 1st-order light are spot-separated using the light beam separation means formed on both surfaces of the substrate in which the diffraction grating and the total reflection surface are not parallel. The layout design is easy, and since the light beam separating means is disposed between the collimator lens and the objective lens, the collimated light is incident on the diffraction grating, thereby providing a high-performance Since the polarization separation can be performed, the light use efficiency can be improved.

請求項6記載の発明により、全反射面をウェッジプリ
ズム形状とし、2個の受光素子を2組配設したことによ
ってダブルナイフエッジ法を用いてフォーカスエラー信
号の検出を行うことが可能となり、これにより組付け精
度を従来よりも一段とゆるくすることができ、常に安定
した信号の検出を行うことができる。
According to the invention of claim 6, it is possible to detect a focus error signal by using the double knife edge method by making the total reflection surface into a wedge prism shape and arranging two sets of two light receiving elements. As a result, the assembling accuracy can be further reduced than before, and a stable signal can always be detected.

請求項7記載の発明により、レーザ光源から出射され
た光は、光束分離手段の半反射膜により反射されて光情
報記録媒体に導かれこれにより情報の記録を行うと共
に、その光情報記録媒体からの反射光は光束分離手段の
半反射膜を透過して0次光と1次光とに分離され、これ
ら0次光と1次光とは半反射膜以外の領域の回折格子を
透過して外部に出射され第1、第2の受光素子にそれぞ
れ導かれることにより情報の再生や信号の検出を行うこ
とができ、これにより、光束分離手段の回折格子により
分離された0次光と1次光とが全反射面により反射され
外部に出射する際には、回折格子における半反射膜以外
の透過領域を通過することになるため、従来に比べ一段
と光利用効率を上げることができる。
According to the seventh aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is reflected by the semi-reflective film of the light beam separating means, guided to the optical information recording medium, thereby recording information, and from the optical information recording medium. The reflected light passes through the semi-reflective film of the light beam separating means and is separated into 0th-order light and 1st-order light. These 0th-order light and 1st-order light pass through the diffraction grating other than the semi-reflective film and pass through the outside. And the light is guided to the first and second light receiving elements, respectively, to reproduce information and detect signals, whereby the 0th-order light and the 1st-order light separated by the diffraction grating of the light beam separating means can be obtained. When light is reflected by the total reflection surface and emitted to the outside, the light passes through a transmission region other than the semi-reflective film in the diffraction grating, so that the light use efficiency can be further improved as compared with the related art.

請求項8記載の発明により、レーザ光源から出射され
た光をコリメータレンズを通過させた後に光束分離手段
に導くようにしたので、出射光のうち平行光のみが回折
格子に入射するため高性能な偏光分離を行うことがで
き、これにより光利用効率もさらに一段と上げることが
できる。
According to the eighth aspect of the present invention, since the light emitted from the laser light source is guided to the light beam separating means after passing through the collimator lens, only parallel light out of the emitted light is incident on the diffraction grating, so that high performance is achieved. Polarization separation can be performed, thereby further increasing the light use efficiency.

請求項9記載の発明により、出射光が光束分離手段の
回折格子の表面に形成された半反射膜に入射した光のう
ち、その半反射膜による反射光を主ビームとしまた透過
光を副ビームとしているため3ビームトラッキングを行
うことが可能となり、これにより光情報記録媒体に光磁
気ディスクやCD等を用いた各種装置に本装置を対応させ
ることができるため、その応用範囲を従来に比べ一段と
広げることができる。
According to the ninth aspect of the present invention, out of the light whose outgoing light is incident on the semi-reflective film formed on the surface of the diffraction grating of the light beam separating means, the reflected light by the semi-reflective film is used as a main beam and the transmitted light is used as a sub beam. Therefore, it is possible to perform three-beam tracking, and this allows the apparatus to be compatible with various apparatuses using a magneto-optical disk, CD, or the like as an optical information recording medium. Can be spread.

請求項10記載の発明により、光情報記録媒体により反
射された主ビーム及び副ビームを各々の受光素子により
全て無駄なく受光させているため、光利用効率を従来に
比べ一段と向上させることができる。
According to the tenth aspect of the present invention, the main beam and the sub beam reflected by the optical information recording medium are all received by the respective light receiving elements without waste, so that the light use efficiency can be further improved as compared with the related art.

請求項11記載の発明により、透過型回折格子とこれに
一定角度をなして配設された高反射面とを有する光束分
離手段を設けたことにより、この光束分離手段により分
離される透過光と反射光との光路を変えることができる
ため、従来のようにレーザ光源を挟んだ両側に受光素子
を設ける必要がなくなり、これにより、レーザ光源用の
基板と受光素子用の基板とを別個に作成して実装するこ
とができるため、従来に比べ組付け調整が簡素化され作
業効率を上げることが可能となる。
According to the invention of claim 11, by providing a light beam separating means having a transmission type diffraction grating and a high reflection surface disposed at a constant angle to the transmission type diffraction grating, the transmitted light separated by the light beam separating means and Since the optical path to the reflected light can be changed, there is no need to provide light receiving elements on both sides of the laser light source as in the past, thereby separately creating a substrate for the laser light source and a substrate for the light receiving element. The mounting and adjustment can be simplified and the work efficiency can be increased as compared with the related art.

請求項12記載の発明により、第一回折部材と第二回折
格子とを互いに向かい合せて構成したことによって回折
格子面が内側に密閉される形となり、これにより格子形
状が安定ししかも2つの回折格子が近接しているため、
波長変動による1次光のシフト変動を受けにくくするこ
とができる。
According to the invention of claim 12, since the first diffraction member and the second diffraction grating are configured to face each other, the surface of the diffraction grating is sealed inside, whereby the grating shape is stabilized and two diffraction gratings are formed. Because the grids are so close,
It is possible to make it difficult to receive the shift fluctuation of the primary light due to the wavelength fluctuation.

実施例 請求項1,2記載の発明の一実施例を第1図ないし第5
図に基づいて説明する。なお、本実施例は、第一の問題
点及び第二の問題点に対処したものである。
Embodiment One embodiment of the invention described in claims 1 and 2 is shown in FIGS.
Description will be made based on the drawings. This embodiment addresses the first problem and the second problem.

レーザ光源としての半導体レーザ30から出射された光
の光路上には、光束分離手段としてのデュアル型回折格
子31が配設されている。このデュアル型回折格子31に
は、前記半導体レーザ30側に位置する面に入射した光の
一部を反射させる半反射膜32を表層部分に有する第一回
折部材としての表面回折格子33が形成されており、この
表面回折格子33と相対する側の面には第二回折部材とし
ての裏面回折格子34が形成されている。これら表裏両面
に形成された回折格子33,34は、偏光方向により回折効
率が変化するようになっている。また、前記表面回折格
子33の形成された側の光路上には、コリメートレンズ3
5、対物レンズ36、光情報記録媒体としての光磁気ディ
スク37が順次配設されている。さらに、前記裏面回折格
子34の形成された側の光路上には、フォーカスエラー信
号、トラックエラー信号等を検出する受光素子38が配設
されている。このような構成において、半導体レーザ30
から出射された光は、表面回折格子33上の半反射膜32に
より反射される。この半反射膜32は、光磁気ディスク37
に所望の光パワーが照射されるようになっている。その
反射された光は、コリメートレンズ35により平行光とな
る。この平行光は単なる反射光であり、表面回折格子33
の回折光ではないので収差は生じず、従って表面回折格
子33の形状も特に曲線形状や変調ピッチ化する必要はな
い。その平行光は、対物レンズ36により集光されスポッ
トの状態で光磁気ディスク37の表面に照射される。そし
て、その照射された光は、カー効果により、光磁気ディ
スク37上の情報信号に応じて偏光方向が傾けられた状態
で反射され、再び、コリメートレンズ35へと戻り、この
コリメートレンズ35より収束光となって表面回折格子33
に入射される。この場合、デュアル型回折格子31は、そ
の表裏両面に形成された回折格子33,34が光磁気ディス
ク37からの反射光に対してブラック角となるように配置
されている。すなわち、第5図に示すように、表裏両面
に形成された回折格子33,34は半導体レーザ30からの光
の偏光方向に対して45゜をなすような向きに形成されて
いる。そして、この表面回折格子33に入射した光は透過
光Tと回折光Kに分離された後、裏面回折格子34に入射
する。この裏面回折格子34は透過型の回折格子であり、
その格子方向は表面回折格子33と同じである。すなわ
ち、表面回折格子33の透過光(0次光)は裏面回折格子
34でもそのまま透過して0次光となり、表面回折格子33
の回折光(1次光)は裏面回折格子34でも回折され1次
光Kとなる。このようにして0次光Tと1次光Kとの2
つの光に分離された光は、受光素子38により受光される
ことによって、それら0次光Tと1次光Kとの光強度差
から光情報信号や、フォーカスエラー信号、トラックエ
ラー信号を検出することができる。
On an optical path of light emitted from a semiconductor laser 30 as a laser light source, a dual type diffraction grating 31 as a light beam separating means is provided. In this dual type diffraction grating 31, a surface diffraction grating 33 as a first diffraction member having a semi-reflective film 32 in a surface layer portion for reflecting a part of light incident on a surface located on the semiconductor laser 30 side is formed. On the surface facing the front diffraction grating 33, a back diffraction grating 34 as a second diffraction member is formed. The diffraction efficiencies of the diffraction gratings 33 and 34 formed on both the front and back surfaces change according to the polarization direction. A collimating lens 3 is provided on the optical path on the side where the surface diffraction grating 33 is formed.
5. An objective lens 36 and a magneto-optical disk 37 as an optical information recording medium are sequentially arranged. Further, a light receiving element 38 for detecting a focus error signal, a track error signal and the like is provided on the optical path on the side where the back diffraction grating 34 is formed. In such a configuration, the semiconductor laser 30
Is reflected by the semi-reflective film 32 on the surface diffraction grating 33. The semi-reflective film 32 is
Is irradiated with a desired optical power. The reflected light becomes parallel light by the collimator lens 35. This parallel light is simply reflected light, and the surface diffraction grating 33
Therefore, no aberration occurs, and thus the shape of the surface diffraction grating 33 does not need to be particularly curved or modulated. The parallel light is condensed by the objective lens 36 and is irradiated on the surface of the magneto-optical disk 37 in a spot state. The irradiated light is reflected by the Kerr effect in a state where the polarization direction is inclined according to the information signal on the magneto-optical disk 37, returns to the collimating lens 35 again, and converges from the collimating lens 35. It becomes light and the surface diffraction grating 33
Is incident on. In this case, the dual-type diffraction grating 31 is arranged such that the diffraction gratings 33 and 34 formed on the front and back surfaces thereof have a black angle with respect to the reflected light from the magneto-optical disk 37. That is, as shown in FIG. 5, the diffraction gratings 33 and 34 formed on the front and back surfaces are formed so as to form an angle of 45 ° with respect to the polarization direction of the light from the semiconductor laser 30. Then, the light incident on the front diffraction grating 33 is separated into transmitted light T and diffracted light K, and then is incident on the back diffraction grating 34. This back surface diffraction grating 34 is a transmission type diffraction grating,
The grating direction is the same as that of the surface diffraction grating 33. That is, the transmitted light (zero-order light) of the front diffraction grating 33 is transmitted to the back diffraction grating.
Even at 34, the light passes through as it is to become the zero-order light, and the surface diffraction grating 33
(First-order light) is also diffracted by the back-side diffraction grating 34 to become the first-order light K. In this way, the second order of the zero-order light T and the first-order light K
The light separated into two lights is received by the light receiving element 38, so that an optical information signal, a focus error signal, and a track error signal are detected from the light intensity difference between the 0th order light T and the 1st order light K. be able to.

この場合、そのフォーカスエラー信号の検出方法とし
ては、まず、第一に、第4図(a)に示すように、0次
光Tを用いた平行平板による非点収差法、第二に、第4
図(b)に示すように、表面回折格子33及び裏面回折格
子34を変調ピッチ化し1次光Kを用いた非点収差法、第
三に、第4図(c)に示すように、0次光Tと1次光K
との間に存在する光路差を利用したビームサイズ法等が
ある。また、トラックエラー信号の検出方法としては、
プシュプル法により行う場合は2分割された受光素子38
により検出を行い、サンプルサーボ方式により行う場合
は反射光強度を受光素子38で受光することにより検出す
ることができる。
In this case, as a method of detecting the focus error signal, first, as shown in FIG. 4 (a), astigmatism method using a parallel plate using the zero-order light T, and second, 4
As shown in FIG. 4B, the front diffraction grating 33 and the back diffraction grating 34 are modulated with a modulation pitch and the astigmatism method using the primary light K. Third, as shown in FIG. Next order light T and first order light K
And a beam size method utilizing an optical path difference existing between the two. As a method of detecting a track error signal,
In the case of the push-pull method, the light receiving element 38 is divided into two.
When the detection is performed by the sample servo method, the reflected light intensity can be detected by receiving the reflected light intensity by the light receiving element 38.

上述したように、デュアル型回折格子31を設け光を2
回通過させるようにしたことにより、波長変動に対する
スポットの位置ずれを小さくすることが可能となり、ま
た、一方の表面回折格子33の一面に半反射性の半反射膜
32を形成したことにより、単にデュアル型回折格子31を
設けるだけで、出射光学系と信号検出光学系との光束分
離を行わせることができ、これにより光学部品点数を大
幅に削減することができるため、装置全体の構成を小
型、軽量化することができると共に低コスト化すること
ができるものである。
As described above, the dual diffraction grating 31 is provided to
By allowing the light to pass through multiple times, it is possible to reduce the displacement of the spot due to the wavelength variation, and to provide a semi-reflective semi-reflective film on one surface of one surface diffraction grating 33.
By forming the 32, the luminous flux separation between the emission optical system and the signal detection optical system can be performed by merely providing the dual type diffraction grating 31, thereby greatly reducing the number of optical components. Therefore, the configuration of the entire device can be reduced in size and weight, and the cost can be reduced.

次に、請求項1,3記載の発明の一実施例を第6図に基
づいて説明する。なお、本実施例は、第一の問題点及び
第二の問題点に対処したものである。また、請求項2記
載の発明と同一部分については同一符号を用いる。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment addresses the first problem and the second problem. Further, the same reference numerals are used for the same portions as those of the second aspect of the present invention.

光束分離手段としての片面回折格子39は、半導体レー
ザ30側に位置する面に偏光方向により回折効率が変化す
る第一回折部材としての回折格子40が形成されており、
この回折格子40と相対する側の面には第二回折部材とし
ての全反射面41が形成されている。前記回折格子40に
は、光磁気ディスク37に所望の光パワーが照射されるよ
うな一定の反射率をもつ半反射膜42が形成されている。
また、受光素子38は、回折格子40の形成された側の半導
体レーザ30と一体化して構成されている。なお、片面回
折格子39は、光磁気ディスク37からの反射光に対してブ
ラック角となるように配設されている。
The single-sided diffraction grating 39 as a light beam separating means has a diffraction grating 40 as a first diffraction member whose diffraction efficiency changes depending on the polarization direction on a surface located on the semiconductor laser 30 side,
On the surface opposite to the diffraction grating 40, a total reflection surface 41 as a second diffraction member is formed. The diffraction grating 40 is formed with a semi-reflective film 42 having a constant reflectance so that the magneto-optical disk 37 is irradiated with a desired optical power.
The light receiving element 38 is formed integrally with the semiconductor laser 30 on the side where the diffraction grating 40 is formed. The single-sided diffraction grating 39 is disposed so as to have a black angle with respect to the light reflected from the magneto-optical disk 37.

このような構成において、半導体レーザ30から出射さ
れた光は回折格子40上の半反射膜42により反射され、コ
リメートレンズ35により平行光となり、対物レンズ36に
より集光されて光磁気ディスク37面上に照射され情報信
号の読取りが行われる。そして、この光磁気ディスク37
からの反射光は、再び、回折格子40に戻り、その入射し
た光は0次光Tと1次光Kとに分離され、裏面に形成さ
れた全反射面41により反射された後、再び、回折格子40
を通過して、半導体レーザ30と一体化構成された受光素
子38により検出され、これにより、情報信号の再生や、
フォーカスエラー信号、トラックエラー信号の検出が行
われる。なお、これらの信号の検出方法については、前
述した請求項2記載の発明の中で述べたので、ここでの
説明は省略する。
In such a configuration, light emitted from the semiconductor laser 30 is reflected by the semi-reflective film 42 on the diffraction grating 40, becomes parallel light by the collimator lens 35, is collected by the objective lens 36, and is converged on the surface of the magneto-optical disk 37. And an information signal is read. And this magneto-optical disk 37
Reflected light returns to the diffraction grating 40 again, and the incident light is separated into the 0th-order light T and the 1st-order light K, and is reflected by the total reflection surface 41 formed on the back surface. Diffraction grating 40
And is detected by the light receiving element 38 integrally formed with the semiconductor laser 30, thereby reproducing an information signal,
A focus error signal and a track error signal are detected. The method of detecting these signals has been described in the second aspect of the present invention, and a description thereof will be omitted.

従って、本実施例のように、回折格子40を片面のみに
形成することによって、その回折格子40の作製及びその
取扱いが一層容易となり、また、裏面に形成された全反
射面41により光を出射光学系に戻すようにしたので半導
体レーザ30と受光素子38とを一体化させて構成すること
ができ、これにより部品点数を削減して一段と小型化し
た装置を得ることができる。
Therefore, by forming the diffraction grating 40 on only one side as in this embodiment, the fabrication and handling of the diffraction grating 40 are further facilitated, and light is emitted by the total reflection surface 41 formed on the back surface. Since the optical system is returned to the optical system, the semiconductor laser 30 and the light receiving element 38 can be integrally formed, whereby the number of parts can be reduced and a more compact device can be obtained.

次に、請求項1,4,12記載の発明の第一の実施例を第7
図及び第8図に基づいて説明する。なお、本実施例は、
第三の問題点に対処したものである。
Next, the first embodiment of the invention described in claims 1, 4 and 12 will be described in the seventh embodiment.
Explanation will be made based on FIG. 8 and FIG. In this embodiment,
It addresses the third problem.

レーザ光源としての半導体レーザ43から出射された光
の光路上には、二重回折格子素子としてのデュアル型回
折格子44が形成されている。このデュアル型回折格子44
は、第8図に示すように、片面に第一回折部材としての
第一回折格子45aの形成された半反射性の第一基板45
と、この第一基板45の前記第一回折格子45aの形成され
た側の面とスペーサ46を介して対向配置された側の面に
第二回折部材としての第二回折格子47aの形成された透
過性の第二基板47とよりなっている。また、前記デュア
ル型回折格子44の前記第一基板45側に位置してコリメー
トレンズ48、対物レンズ49が順次配設され、さらに、そ
の対物レンズ49に対向した位置には光情報記録媒体とし
ての光磁気ディスク50が配設されている。さらに、前記
デュアル型回折格子44の前記第二基板47側に位置した信
号検出光学系51内には、受光素子としての4分割受光素
子52a、2分割受光素子52bが配設されている。
On an optical path of light emitted from a semiconductor laser 43 as a laser light source, a dual diffraction grating 44 as a double diffraction grating element is formed. This dual type diffraction grating 44
As shown in FIG. 8, a semi-reflective first substrate 45 having a first diffraction grating 45a as a first diffraction member formed on one surface.
A second diffraction grating 47a as a second diffraction member was formed on the surface of the first substrate 45 on the side on which the first diffraction grating 45a was formed and on the surface on the side oppositely disposed via the spacer 46. It is composed of a transparent second substrate 47. Further, a collimating lens 48 and an objective lens 49 are sequentially arranged on the first substrate 45 side of the dual-type diffraction grating 44, and a position facing the objective lens 49 is used as an optical information recording medium. A magneto-optical disk 50 is provided. Further, in the signal detection optical system 51 located on the second substrate 47 side of the dual diffraction grating 44, a four-divided light receiving element 52a as a light receiving element and a two-divided light receiving element 52b are arranged.

なお、前記デュアル型回折格子44において、前記第一
基板45の前記第一回折格子45aの形成されていない入射
光側に位置する面45bは、高精度の半反射性の研磨面に
仕上げられており、反射波面が乱れるようなことはな
く、また、前記第二基板47の第二回折格子47aの形成さ
れていない出射光側の面47bは無反射コート等により乱
反射を防ぐように構成されている。
In the dual diffraction grating 44, the surface 45b of the first substrate 45 located on the side of the incident light where the first diffraction grating 45a is not formed is finished to a highly accurate semi-reflective polished surface. The reflected wavefront is not disturbed, and the surface 47b of the second substrate 47 on the outgoing light side where the second diffraction grating 47a is not formed is configured to prevent irregular reflection by a non-reflective coating or the like. I have.

このような構成において、半導体レーザ43から出射さ
れた発散光Aは、デュアル型回折格子44の半反射性の第
一基板45の表面により反射されてコリメートレンズ48に
より平行化された後、さらに、その平行光は対物レンズ
49により集光されて光磁気ディスク50の表面に照射さ
れ、これにより情報の記録が行われる。また、その光磁
気ディスク50からの反射光は、対物レンズ49、コリメー
トレンズ48を順次介して、再びデュアル型回折格子44に
導かれる。このデュアル型回折格子44に入射した反射光
は、第8図に示すように、第一基板45の第一回折格子45
aにより透過光(0次光)Tと回折光(1次光)Kとに
分離される(P点)。そして、その0次光Tはスペーサ
46を通過して第二基板47に形成された第二回折格子47a
をそのまま透過していき(Q点)、一方、1次光Kはス
ペーサ46を通過して第二基板47に形成された第二回折格
子47aによりさらに回折されて進んでいく(R点)。
In such a configuration, the divergent light A emitted from the semiconductor laser 43 is reflected by the surface of the semi-reflective first substrate 45 of the dual-type diffraction grating 44 and collimated by the collimating lens 48, and further, The parallel light is an objective lens
The light is condensed by 49 and is irradiated on the surface of the magneto-optical disk 50, thereby recording information. The reflected light from the magneto-optical disk 50 is guided again to the dual diffraction grating 44 via the objective lens 49 and the collimating lens 48 in order. The reflected light incident on the dual type diffraction grating 44 is, as shown in FIG.
The light is separated into transmitted light (zero-order light) T and diffracted light (first-order light) K by a (point P). The 0-order light T is a spacer
The second diffraction grating 47a formed on the second substrate 47 passing through 46
Is transmitted as it is (point Q), while the primary light K passes through the spacer 46 and is further diffracted by the second diffraction grating 47a formed on the second substrate 47 (point R).

その後、このようにして信号検出光学系51内に導かれ
た0次光Tと1次光Kのうち、0次光Tはデュアル型回
折格子44の基板の厚さが比較的厚いため非点収差を発生
した状態となりこれにより4分割受光素子52aを用いて
非点収差法によりフォーカスエラー信号を検出すること
ができる。また、1次光Tも同様に非点収差を発生した
状態となるが、この場合には回折格子の作用によりその
非点収差を打ち消すことにより2分割受光素子52bを用
いてプシュプル法によりトラックエラー信号を検出する
ことができる。さらに、微小ピッチをなした第一回折格
子45a、第二回折格子47aの偏光分離特性により4分割受
光素子52a、2分割受光素子52bにそれぞれ検出された両
光束の強度を比較することにより光磁気信号を検出する
ことができる。
Thereafter, of the zero-order light T and the first-order light K guided into the signal detection optical system 51 in this way, the zero-order light T is astigmatic because the thickness of the substrate of the dual diffraction grating 44 is relatively large. A state in which an aberration has occurred is established, whereby a focus error signal can be detected by the astigmatism method using the four-divided light receiving element 52a. Similarly, the primary light T is also in a state in which astigmatism is generated. In this case, the astigmatism is canceled by the action of the diffraction grating, and the track error is generated by the push-pull method using the two-divided light receiving element 52b. The signal can be detected. Further, by comparing the intensities of both light beams detected by the four-divided light receiving element 52a and the two-divided light receiving element 52b based on the polarization separation characteristics of the first diffraction grating 45a and the second diffraction grating 47a having a minute pitch, the magneto-optical is obtained. The signal can be detected.

上述したように、半反射性の面45bと内部に二枚の回
折格子45a、47aをもったデュアル型回折格子44を用いて
0次光Tと1次光Kとのいずれか片方のみに非点収差を
発生させるようにしたので、回折格子は内側で密閉され
た状態となって格子形状が安定となり、また、2つの回
折格子が近接した状態で配置されているため波長変動に
よる1次光のシフト変動を受けにくいものとなり、これ
により、常に安定した信頼性の高い信号検出を行うこと
ができる。また、デュアル型回折格子44の一面を半反射
性の面45bとしたことにより、高精度のビームスプリッ
タ機能を持ち合わせることができるので、これにより光
学系の部品点数を削減して小型、軽量化を図ることがで
きると共に、高速シーク移動が可能となりアクセス時間
の短縮を一段と図ることができる。
As described above, by using the dual-type diffraction grating 44 having the semi-reflective surface 45b and the two diffraction gratings 45a and 47a inside, only one of the zero-order light T and the first-order light K is used. Since the astigmatism is generated, the diffraction grating is sealed inside and the shape of the grating is stabilized, and since the two diffraction gratings are arranged close to each other, the primary light due to wavelength fluctuation is generated. , Which is less susceptible to shift fluctuations, whereby stable and reliable signal detection can always be performed. In addition, since one surface of the dual-type diffraction grating 44 is a semi-reflective surface 45b, a high-precision beam splitter function can be provided, thereby reducing the number of parts of the optical system and reducing the size and weight. As a result, high-speed seek movement can be performed, and the access time can be further reduced.

次に、請求項1,4,12記載の発明の第二の実施例を第9
図に基づいて説明する。なお、本実施例も、第三の問題
点に対処したものである。
Next, a second embodiment of the invention described in claims 1, 4 and 12 will be described in ninth embodiment.
Description will be made based on the drawings. This embodiment also addresses the third problem.

ここでは、半導体レーザ43とデュアル型回折格子44と
の間の光路上に、コリメートレンズ48を配設し、また、
デュアル型回折格子44の第二基板47側に位置して集光レ
ンズ53を配設したものである。これにより、半導体レー
ザ43から出射された光は、コリメートレンズ48より平行
化された状態でデュアル型回折格子44に入射することに
なり、また、光磁気ディスク50からの反射光も平行光束
の状態でデュアル型回折格子44に入射することになる。
このためデュアル型回折格子44を通過した光のうち、0
次光Tは非点収差を発生しないため2分割受光素子52b
を用いてトラックエラー信号を検出することができ、一
方、1次光Kは回折格子により非点収差を持たせること
ができるため4分割受光素子52aを用いてフォーカスエ
ラー信号を検出することができる。なお、光磁気信号は
前述した内容と同様にして検出を行うことができる。
Here, a collimator lens 48 is provided on the optical path between the semiconductor laser 43 and the dual type diffraction grating 44, and
The condenser lens 53 is disposed on the side of the second substrate 47 of the dual type diffraction grating 44. As a result, the light emitted from the semiconductor laser 43 enters the dual diffraction grating 44 in a state where the light is collimated by the collimating lens 48, and the reflected light from the magneto-optical disk 50 is also in the state of a parallel light beam. With this, the light enters the dual diffraction grating 44.
Therefore, of the light that has passed through the dual type diffraction grating 44,
Since the next light T does not generate astigmatism, it is divided into two light receiving elements 52b.
Can be used to detect a track error signal, while the primary light K can be given astigmatism by a diffraction grating, so that a focus error signal can be detected using the four-divided light receiving element 52a. . The magneto-optical signal can be detected in the same manner as described above.

次に、請求項1,4,12記載の発明の第三の実施例を第10
図に基づいて説明する。なお、本実施例も、第三の問題
点に対処したものである。
Next, a third embodiment of the invention described in claims 1, 4 and 12 will be described as a tenth embodiment.
Description will be made based on the drawings. This embodiment also addresses the third problem.

ここでは、第二の実施例(第9図参照)におけるデュ
アル型回折格子44と集光レンズ53との間に、シリンドリ
カルレンズ54を配設したものである。これにより、紙面
に平行な方向から見た第11図(a)に示すように、デュ
アル型回折格子44が1次光Kを紙面方向で集光し、その
集光点Bと凹状のシリンドリカルレンズ54の焦点が一致
する時には、そのシリンドリカルレンズ54を通過した1
次光Kは非点収差をもたない。なお、第11図(b)は信
号検出光学系51を紙面に垂直な方向からみた時の様子を
示したものである。従って、その非点収差をもたない1
次光Kを2分割受光素子52bに検出させることによりト
ラックエラー信号を検出することができ、また、0次光
Tはシリンドリカルレンズ54により非点収差をもつの
で、4分割受光素子52aを用いてフォーカスエラー信号
を検出することができる。
Here, a cylindrical lens 54 is disposed between the dual diffraction grating 44 and the condenser lens 53 in the second embodiment (see FIG. 9). As a result, as shown in FIG. 11 (a) viewed from a direction parallel to the plane of the paper, the dual type diffraction grating 44 condenses the primary light K in the plane of the paper, and the condensing point B and the concave cylindrical lens When the focus of 54 coincides, the 1 that passed through the cylindrical lens 54
The next light K has no astigmatism. FIG. 11 (b) shows a state when the signal detection optical system 51 is viewed from a direction perpendicular to the paper surface. Therefore, 1 which does not have the astigmatism
A track error signal can be detected by detecting the secondary light K by the two-division light receiving element 52b. Further, since the zero-order light T has astigmatism by the cylindrical lens 54, the four-division light receiving element 52a is used. A focus error signal can be detected.

次に、請求項1,5,6記載の発明の第一の実施例を第12
図ないし第14図に基づいて説明する。なお、本実施例
は、第四の問題点及び第五の問題点に対処したものであ
る。
Next, the first embodiment of the invention described in claims 1, 5, and 6 will be described in the twelfth embodiment.
This will be described with reference to FIGS. This embodiment addresses the fourth problem and the fifth problem.

まず、本装置の全体構成を第12図に基づいて述べる。
レーザ光源としての半導体レーザ55から出射された光が
コリメートレンズ56を透過した光の光路上には、くさび
状をした非平行基板57からなる光束分離手段としてのプ
リズム58が配設されている。その非平行基板57の一面に
は第13図に示すような変調ピッチ化された第一回折部材
としての回折格子59が形成されており、その他面には第
二回折部材としての全反射面60が形成されている。前記
回折格子59の表面には半反射膜としてのコーティング層
59aが形成されている。なお、平面に対する回折格子5
9、全反射面60のなす角をそれぞれα、βとすると、β
−αをくさび角度として表わすことができる。
First, the overall configuration of the present apparatus will be described with reference to FIG.
On the optical path of the light emitted from the semiconductor laser 55 as the laser light source and transmitted through the collimator lens 56, a prism 58 as a light beam separating means including a wedge-shaped non-parallel substrate 57 is provided. On one surface of the non-parallel substrate 57, a diffraction grating 59 as a first diffraction member having a modulated pitch as shown in FIG. 13 is formed, and on the other surface, a total reflection surface 60 as a second diffraction member. Are formed. A coating layer as a semi-reflective film is formed on the surface of the diffraction grating 59.
59a is formed. Note that the diffraction grating 5
9. If the angles formed by the total reflection surface 60 are α and β, respectively, β
−α can be expressed as a wedge angle.

また、そのプリズム58の回折格子59の形成された面側
に位置して、対物レンズ61が配設されている。この対物
レンズ61に近接した位置には光情報記録媒体としての光
磁気ディスク62が設けられている。一方、前記半導体レ
ーザ55の設けられた光学系63側の光路上には、前記光磁
気ディスク62からの反射光を検出する受光素子64,65が
同一面内に2個配設されている。
Further, an objective lens 61 is provided on the side of the prism 58 on which the diffraction grating 59 is formed. At a position close to the objective lens 61, a magneto-optical disk 62 is provided as an optical information recording medium. On the other hand, on the optical path on the side of the optical system 63 provided with the semiconductor laser 55, two light receiving elements 64 and 65 for detecting the reflected light from the magneto-optical disk 62 are arranged in the same plane.

このような構成において、半導体レーザ55から出射さ
れた光は、コリメートレンズ56により平行光となり、プ
リズム58の偏光方向によって回折効率が変化する回折格
子59へと導かれる。この回折格子59には、第14図に示す
ような偏光依存性と光磁気ディスク62に適切な光パワー
を照射するために所望の反射率をもつようにコーティン
グ層59aが形成されているわけであるが、このコーティ
ング層59aによりコリメートレンズ56からの平行光は一
部が反射されて対物レンズ61方向へと進んでいく。一
方、反射せずにそのまま透過した平行光は、回折格子59
により0次光Tと1次光Kとに分離されて全反射面60の
方向へと進んでいく。この全反射面60は回折格子59と平
行ではなくてくさび型になっているため、ここで反射さ
れた光はコーティング層59aで反射された光とは平行に
ならず異なる方向へ進んでいき分離された光となるため
悪影響を及ぼすようなこともない。その後、対物レンズ
61へと進んだコーティング層59aからの反射光は光磁気
ディスク62の面上に照射され、これにより情報の記録を
行うことができる。
In such a configuration, the light emitted from the semiconductor laser 55 becomes parallel light by the collimator lens 56, and is guided to the diffraction grating 59 whose diffraction efficiency changes depending on the polarization direction of the prism 58. A coating layer 59a is formed on the diffraction grating 59 so as to have a polarization dependency as shown in FIG. 14 and a desired reflectance for irradiating the magneto-optical disk 62 with an appropriate optical power. However, a part of the parallel light from the collimator lens 56 is reflected by the coating layer 59a and proceeds toward the objective lens 61. On the other hand, the parallel light transmitted as it is without being reflected is
As a result, the light is separated into the zero-order light T and the first-order light K, and travels toward the total reflection surface 60. Since the total reflection surface 60 is not parallel to the diffraction grating 59 but is wedge-shaped, the light reflected here is not parallel to the light reflected by the coating layer 59a but travels in a different direction and is separated. It does not adversely affect the light. Then the objective lens
The reflected light from the coating layer 59a that has proceeded to 61 is irradiated onto the surface of the magneto-optical disk 62, whereby information can be recorded.

また、光磁気ディスク62からの反射光は、その記録さ
れた情報の信号を読取り、カー効果により偏光方向が回
転された状態となっており、再び、回折格子59へと導か
れる。この回折格子59によりその反射光は、0次光Tと
1次光Kとに分離され、その裏面の全反射面60により反
射されて再び回折格子59を通過して外部へ出射される。
この時、0次光Tと1次光Kとは、半導体レーザ55から
出射された平行光とは異なる角度をもって回折格子59か
ら出射される。
The reflected light from the magneto-optical disk 62 reads the signal of the recorded information, is in a state where the polarization direction is rotated by the Kerr effect, and is guided to the diffraction grating 59 again. The reflected light is separated into the zero-order light T and the first-order light K by the diffraction grating 59, reflected by the total reflection surface 60 on the back surface, and passed through the diffraction grating 59 again to be emitted outside.
At this time, the zero-order light T and the first-order light K are emitted from the diffraction grating 59 at an angle different from that of the parallel light emitted from the semiconductor laser 55.

そして、それら0次光Tと1次光Kとは、コリメート
レンズ56を通過し、受光素子64,65に検出される。この
場合、1次光Kは、2回回折格子59を通過するため、波
長変動による回折角度ずれはほぼキャンセルできること
になる。また、回折格子59は変調ピッチ化されているた
め1次光Kに非点収差を発生することができ、これによ
りその1次光Kを一方の受光素子65に導くことによりフ
ォーカスエラー信号を検出することができる。一方、0
次光Tには、非点収差は発生しないので、この光を片方
の受光素子64に導くことによりプシュプル法を用いて安
定したトラッキングエラー信号の検出を行うことができ
る。さらに、それら2つの受光素子64,65により検出さ
れる信号の強度差を求めることによって光磁気信号の検
出を行い、これにより情報の再生を行うができる。
Then, the zero-order light T and the first-order light K pass through the collimating lens 56 and are detected by the light receiving elements 64 and 65. In this case, since the primary light K passes through the diffraction grating 59 twice, the diffraction angle shift due to the wavelength fluctuation can be almost canceled. Also, since the diffraction grating 59 has a modulation pitch, it is possible to generate astigmatism in the primary light K, thereby guiding the primary light K to one light receiving element 65 to detect a focus error signal. can do. On the other hand, 0
Since astigmatism does not occur in the next light T, by guiding this light to one of the light receiving elements 64, a stable tracking error signal can be detected using the push-pull method. Further, a magneto-optical signal is detected by obtaining a difference in intensity between the signals detected by the two light receiving elements 64 and 65, thereby reproducing information.

上述したように、半導体レーザ55から出射された光の
偏光方向は、回折格子59の格子方向と45度ずらしておく
ことにより、従来、必要とされたλ/2板を省くことがで
き、これにより部品点数を削減することができる。ま
た、プリズム58のくさび角度により0次光Tと1次光K
とのスポット間隔を任意に設定することができ、しか
も、フォーカス感度は変調ピッチの程度により決まるの
で、これにより設計の自由度が大きくなり各々の部品の
最適設計が可能となり、小型で高感度な光磁気ヘッドを
実現することができるものである。
As described above, by shifting the polarization direction of the light emitted from the semiconductor laser 55 by 45 degrees from the grating direction of the diffraction grating 59, the conventionally required λ / 2 plate can be omitted. Thereby, the number of parts can be reduced. The 0th order light T and the 1st order light K depend on the wedge angle of the prism 58.
The focus sensitivity is determined by the degree of the modulation pitch, so that the degree of freedom in design is increased and the optimal design of each part becomes possible. A magneto-optical head can be realized.

次に、請求項1,5,6記載の発明の第二の実施例を第15
図ないし第17図に基づいて説明する。なお、本実施例
は、第4の問題点及び第五の問題点に対処したものであ
る。これは、上述した第一の実施例において、受光素子
64,65の配設位置を変えたものであり、その他の構成に
ついては何ら変わるところはない。
Next, a second embodiment of the invention described in claims 1, 5, and 6 will be described as a fifteenth embodiment.
This will be described with reference to FIGS. The present embodiment addresses the fourth problem and the fifth problem. This is the same as the light receiving element in the first embodiment described above.
The arrangement positions of 64 and 65 are changed, and the other configurations are not changed at all.

第16図は、受光素子64,65をコリメートレンズ56側か
ら見たものであり、それぞれ3分割された形状になって
いる。また、この場合、受光素子64,65は、光軸方向に
前後にずらした状態で配設されている。このため、ここ
でのフォーカスエラー信号は、非点収差法ではなくビー
ムサイズ法により検出を行うことになる。
FIG. 16 shows the light receiving elements 64 and 65 as viewed from the collimating lens 56 side, and each has a shape divided into three. Further, in this case, the light receiving elements 64 and 65 are disposed so as to be shifted back and forth in the optical axis direction. For this reason, the focus error signal here is detected not by the astigmatism method but by the beam size method.

このような方式により信号の検出を行うことによっ
て、組立て、位置調整の公差を大きくとることができる
ため、これにより組付け調整が容易となり、一層の量産
化を図ることが可能となる。また、本実施例の場合、非
点収差を必要としないため、グレーティング59のピッチ
は等ピッチに形成することができるため、その分、グレ
ーティング59の作製を容易にすることができる。
By detecting a signal in such a manner, it is possible to increase the tolerance of assembly and position adjustment, thereby facilitating assembly adjustment and achieving further mass production. In addition, in the case of the present embodiment, since the astigmatism is not required, the pitch of the gratings 59 can be formed at the same pitch, so that the fabrication of the grating 59 can be facilitated accordingly.

次に、請求項1,5,6記載の発明の第三の実施例を第18
図及び第19図に基づいて説明する。なお、本実施例も、
第四の問題点及び第五の問題点に対処したものである。
Next, a third embodiment of the invention described in claims 1, 5, and 6 will be described as an eighteenth embodiment.
Explanation will be made based on FIG. 19 and FIG. In this embodiment,
It addresses the fourth and fifth problems.

これは、第一の実施例(第12図参照)において、光束
分離手段の形状を変えたものである。すなわち、光束分
離手段としてのプリズム58には、その非平行基板57の一
面に偏光分離用のグレーティング59が形成され他面に全
反射面60が形成されているが、本実施例においては、そ
の全反射面60の形状は平面ではなく、第18図に示すよう
にウェッジプリズム形状に形成されている。
This is a modification of the first embodiment (see FIG. 12) in which the shape of the light beam separating means is changed. That is, the prism 58 as the light beam separating means has a grating 59 for polarization separation formed on one surface of the non-parallel substrate 57 and a total reflection surface 60 formed on the other surface. The shape of the total reflection surface 60 is not a plane but a wedge prism shape as shown in FIG.

このため、光学系全体のレイアウトを第12図と同じに
すれば、コリメートレンズ56側から見た受光光学系は、
第19図に示すように、2分割受光素子66,67,68,69を計
4個用いて構成されることになる。すなわち、この場
合、0次光T又は1次光Kによってできる2つのスポッ
トを用いてダブルナイフエッジ法によりフォーカスエラ
ー信号Foの検出を行い、また、他の2つのスポット(1
つでもよい)を用いてプシュプル法によりトラックエラ
ー信号Trの検出を行うようにする。さらに、光磁気信号
Moは、0次光Tと1次光Kとの光強度差により検出する
ことができる。従って、このような方法により信号検出
を行うことにより、2分割受光素子66,67,68,69が全て
同一面内に配設されるので一体化して形成することがで
き、しかも、ダブルナイフエッジ法を用いてフォーカス
エラー信号の検出を行うことにより非点収差法に比べ
て、波長変動の影響を小さくすることができるという利
点がある。
For this reason, if the layout of the entire optical system is the same as that in FIG. 12, the light receiving optical system viewed from the collimator lens 56 side is:
As shown in FIG. 19, it is constituted by using a total of four two-divided light receiving elements 66, 67, 68 and 69. That is, in this case, the focus error signal Fo is detected by the double knife edge method using two spots formed by the zero-order light T or the primary light K, and the other two spots (1
The tracking error signal Tr is detected by the push-pull method using the following method. In addition, magneto-optical signals
Mo can be detected by the light intensity difference between the 0th order light T and the 1st order light K. Therefore, by performing signal detection by such a method, the two-divided light receiving elements 66, 67, 68, and 69 are all disposed in the same plane, so that they can be integrally formed. By detecting the focus error signal using the method, there is an advantage that the influence of wavelength fluctuation can be reduced as compared with the astigmatism method.

次に、請求項1,7,8記載の発明の一実施例を第20図な
いし第22図に基づいて説明する。なお、本実施例は、第
四の問題点及び第五の問題点に対処したものである。
Next, an embodiment of the invention described in claims 1, 7, and 8 will be described with reference to FIGS. 20 to 22. This embodiment addresses the fourth problem and the fifth problem.

レーザ光源としての半導体レーザ70から出射された光
の光路上には、基板としての平行基板71の一面に回折格
子(第一回折格子)としての透過型回折格子72が形成さ
れ、他面に第二回折格子としての全反射面73が形成され
た光束分離手段としての光束分離素子74が配設されてい
る。前記透過型回折格子72の中央の一部には、半反射膜
としての半透過型回折格子75が形成されている。また、
その半透過型回折格子75により反射された光の光路上に
は、対物レンズ76を介して、光情報記録媒体としての光
磁気ディスク77が配設されている。さらに、その光磁気
ディスク77により反射された光が前記光束分離素子74に
より回折されて進む1次光Kの光路上には第1受光素子
78が配設されており、また、前記光束分離素子74により
屈折されて進む0次光Tの光路上には第2受光素子79が
配設されている。
On the optical path of light emitted from the semiconductor laser 70 as a laser light source, a transmission type diffraction grating 72 as a diffraction grating (first diffraction grating) is formed on one surface of a parallel substrate 71 as a substrate, and a transmission type diffraction grating 72 is formed on the other surface. A light beam separating element 74 as a light beam separating means provided with a total reflection surface 73 as a two diffraction grating is provided. At a part of the center of the transmission type diffraction grating 72, a semi-transmission type diffraction grating 75 as a semi-reflection film is formed. Also,
On the optical path of the light reflected by the transflective grating 75, a magneto-optical disk 77 as an optical information recording medium is provided via an objective lens. Further, the light reflected by the magneto-optical disk 77 is diffracted by the light beam splitting element 74 and the first light receiving element is provided on the optical path of the primary light K.
A second light receiving element 79 is provided on the optical path of the zero-order light T which is refracted by the light beam separating element 74 and travels.

このような構成において、半導体レーザ70から出射さ
れた光は、拡散光として光束分離素子74の方向へと進ん
でいく。この光束分離素子74に入射した光は、その一部
が反射率の高い半透過型回折格子75により反射され、対
物レンズ76により集光されて光磁気ディスク77の面上に
照射され、これにより情報の記録等が行われる。
In such a configuration, light emitted from the semiconductor laser 70 travels in the direction of the light beam separating element 74 as diffused light. A part of the light incident on the light beam separating element 74 is reflected by the semi-transmissive diffraction grating 75 having a high reflectance, condensed by the objective lens 76, and irradiated on the surface of the magneto-optical disk 77. Information recording and the like are performed.

また、その光磁気ディスク77からの反射光は、その記
録された情報の信号を読取ることによってカー効果によ
りその信号に応じた偏光の回転を受けた状態となり、再
度、光束分離素子74の半透過型回折格子75に導かれる。
そして、この半透過型回折格子75を透過することによっ
て光は0次光Tと1次光Kとに分離され、その裏面の全
反射面73により各々別個に反射される。その後、1次光
Kは透過型回折格子72を透過して外部に出射されて第1
受光素子78に導かれ、一方、0次光Tは別の場所に位置
する透過型回折格子72を透過して外部に出射されること
により第2受光素子79に導かれる。
The reflected light from the magneto-optical disk 77 is rotated by the Kerr effect to rotate the polarized light according to the signal by reading the signal of the recorded information, and is again transmitted through the light separating element 74. Guided to the diffraction grating 75.
Then, the light is separated into the 0th-order light T and the 1st-order light K by passing through this semi-transmission type diffraction grating 75, and is separately reflected by the total reflection surface 73 on the back surface. Thereafter, the primary light K is transmitted through the transmission type diffraction grating 72 and emitted to the outside to
The zero-order light T is guided to the light receiving element 78, while the zero-order light T passes through the transmission type diffraction grating 72 located at another place and is emitted to the outside to be guided to the second light receiving element 79.

この場合、第1受光素子78及び第2受光素子79は、第
22図(a)(b)に示すように、それぞれ3分割されて
おり、フォーカスエラー信号はビームサイズ法を用い
て、トラックエラー信号はプルシュプル法を用いてそれ
ぞれ検出を行うことができる。また、光磁気信号の検出
は、それら第1受光素子78と第2受光素子79とによりそ
れぞれ検出される信号出力の差分を求めることによって
検出することができる。ただし、そのような方法により
光磁気信号を検出する場合には、第21図(a)に示すよ
うに、半導体レーザ70から出射される光の偏光方向と格
子方向とは45゜をなすように調整しておく必要がある。
In this case, the first light receiving element 78 and the second light receiving element 79 are
As shown in FIGS. 22A and 22B, the focus error signal can be detected by using the beam size method and the track error signal can be detected by using the push-pull method. Further, the detection of the magneto-optical signal can be detected by calculating the difference between the signal outputs detected by the first light receiving element 78 and the signal output detected by the second light receiving element 79, respectively. However, when a magneto-optical signal is detected by such a method, as shown in FIG. 21 (a), the polarization direction and the lattice direction of the light emitted from the semiconductor laser 70 should be 45 °. It needs to be adjusted.

従って、上述したように光束分離素子74に半透過型回
折格子75と透過型回折格子72を形成したことによって、
光磁気ディスク77からの反射光がその光束分離素子74の
半透過型回折格子75に入射して得られる0次光Tと1次
光Kが全反射面73により反射され外部に出射する時の回
折格子は透過型回折格子72であるため、これにより従来
よりも一段と光利用効率を上げることができ、しかも、
小型で軽量、低コストな光ヘッドを得ることができる。
Accordingly, as described above, by forming the transflective grating 75 and the transmissive grating 72 in the light beam separating element 74,
When the 0th-order light T and the 1st-order light K obtained by the reflected light from the magneto-optical disk 77 being incident on the semi-transmission type diffraction grating 75 of the light beam separating element 74 are reflected by the total reflection surface 73 and emitted to the outside. Since the diffraction grating is a transmission type diffraction grating 72, the light use efficiency can be further increased as compared with the conventional one, and
An optical head that is small, lightweight, and low in cost can be obtained.

また、上述したような構成において、半導体レーザ70
より出射された光が光束分離素子74に向かう間の光路上
に、図示しないコリメートレンズを配設することによっ
て、半導体レーザ70から出射された光はコリメートレン
ズを通過した後に光束分離素子74に導かれることにな
り、これにより、出射光のうち平行光のみが半透過型回
折格子75に入射するため高性能な偏光分離を行うことが
でき、光利用効率をさらに一段と上げることが可能とな
る。
Further, in the configuration as described above, the semiconductor laser 70
By arranging a collimating lens (not shown) on the optical path between the light emitted from the semiconductor device and the light separating element 74, the light emitted from the semiconductor laser 70 passes through the collimating lens and is guided to the light separating element 74. As a result, only parallel light out of the outgoing light is incident on the transflective grating 75, so that high-performance polarization separation can be performed, and the light use efficiency can be further increased.

次に、第1受光素子78及び第2受光素子79を用いて信
号検出を行う変形例について述べる。まず、その第一の
変形例として、フォーカスエラー信号の検出に非点収差
法を用いた場合について述べる。第23図(a)(b)は
その構成を示したものである。この場合、第23図(a)
の0次光Tを検出する第2受光素子79は4分割の形状と
し、光束分離素子74の厚さ、傾き、屈折率を適当に変え
ることにより0次光Tに非点収差を発生させ、その4分
割された第2受光素子79を最適位置に配することによ
り、非点収差法を用いてフォーカスエラー信号の検出を
行うことができる。一方、1次光Kを検出する第1受光
素子78は2分割の形状とすることによって、プシュプル
法を用いてトラックエラー信号の検出を行うことができ
る。
Next, a modification in which signal detection is performed using the first light receiving element 78 and the second light receiving element 79 will be described. First, as a first modified example, a case where an astigmatism method is used to detect a focus error signal will be described. FIGS. 23 (a) and 23 (b) show the configuration. In this case, FIG. 23 (a)
The second light-receiving element 79 for detecting the zero-order light T is divided into four parts, and astigmatism is generated in the zero-order light T by appropriately changing the thickness, inclination, and refractive index of the light beam separating element 74. By arranging the four divided second light receiving elements 79 at the optimum positions, it is possible to detect a focus error signal using the astigmatism method. On the other hand, by forming the first light receiving element 78 for detecting the primary light K into a two-divided shape, it is possible to detect the track error signal using the push-pull method.

また、第二の変形例として、他のもう一つの非点収差
法を用いてフォーカスエラー信号の検出を行う方法につ
いて述べる。半透過型回折格子75又は透過型回折格子72
の少なくとも一方を変調ピッチ化することにより、今度
は1次光K側に非点収差を発生させる方法である。この
場合、フォーカス感度を最適化するのが格子ピッチの変
調度であるため、上述した第一の変形例の非点収差法に
比べて設計の自由度をより一層大きくとることができ
る。
As a second modification, a method of detecting a focus error signal using another astigmatism method will be described. Transflective grating 75 or transmissive grating 72
This is a method in which astigmatism is generated on the primary light K side by converting at least one of them into a modulation pitch. In this case, since the focus sensitivity is optimized by the degree of modulation of the grating pitch, the degree of freedom in design can be further increased as compared with the astigmatism method of the first modification.

なお、フォーカスエラー信号の検出は、ビームサイズ
法、非点収差法のどちらでも利用することができ、ま
た、トラックエラー信号の検出は、上述したようなコン
ティニュアス方式の他に、サンプルサーボ方式でも検出
することができる。また、0次光Tのみが通過する片方
の領域に設けられた透過型回折格子72は単に0次光Tが
透過するだけなので、作製上問題がなければ別に設けな
くても性能上の問題は起こらない。さらに、ここでの光
束分離素子74の基板は平行平板としたが、第1受光素子
78と第2受光素子79との間隔を適正化するために、図示
しないウェッジプリズムのような形状にしても同様な効
果を得ることができる。
The focus error signal can be detected by either the beam size method or the astigmatism method. The track error signal can be detected by the sample servo method in addition to the continuous method described above. But it can be detected. In addition, since the transmission type diffraction grating 72 provided in one region through which only the zero-order light T passes simply transmits the zero-order light T, there is no problem in performance even if it is not separately provided if there is no problem in fabrication. Does not happen. Further, the substrate of the light beam splitting element 74 here is a parallel plate, but the first light receiving element
A similar effect can be obtained even if the space between the second light receiving element 79 and the second light receiving element 79 is made to have a shape such as a wedge prism (not shown) in order to optimize the distance.

次に、請求項1,9,10記載の発明の一実施例を第25図な
いし第29図に基づいて説明する。なお、本実施例は、第
四の問題点及び第五の問題点に対処したものである。
Next, an embodiment of the invention described in claims 1, 9 and 10 will be described with reference to FIGS. 25 to 29. This embodiment addresses the fourth problem and the fifth problem.

レーザ光源としての半導体レーザ80から出射された出
射光aがコリメートレンズ81を通過して対物レンズ82に
向かう間の光路上には、基板83の一面に回折格子(第一
回折部材)としての偏光分離回折格子84が形成され、他
面に第二回折部材としての全反射面85が形成されたくさ
び状の光束分離手段としての光束分離素子86が配設され
ている。前記偏光分離回折格子84の表面には、半反射膜
87が形成されている。また、この半反射膜87により反射
された光の光路上には、集光レンズ82を介して、光情報
記録媒体としての光ディスク88が配設されている。
On the optical path while the emitted light a emitted from the semiconductor laser 80 as the laser light source passes through the collimator lens 81 and travels toward the objective lens 82, the polarization as a diffraction grating (first diffraction member) is formed on one surface of the substrate 83. A wedge-shaped light beam separating element 86 as a wedge-shaped light beam separating means having a separation diffraction grating 84 formed on the other surface and a total reflection surface 85 as a second diffraction member is provided. The surface of the polarization separation diffraction grating 84 has a semi-reflective film.
87 are formed. On the optical path of the light reflected by the semi-reflective film 87, an optical disk 88 as an optical information recording medium is provided via a condenser lens.

この場合、前記半反射膜87により反射されて得られた
1本の反射光89と前記半反射膜87を透過して得られた2
本の透過光90,91a,b(第26図参照)とが前記光ディスク
88に導かれるようにくさび状をした前記光束分離素子86
のくさび角θを設定した。ただし、くさび角θは、偏光
分離回折格子84の形成された側の面の水平面となす角を
α、全反射面85の形成された側の面の水平面となす角を
βとすると、θ=α−βとして表わすことができる。
In this case, one reflected light 89 obtained by being reflected by the semi-reflective film 87 and two reflected lights 89 obtained by transmitting through the semi-reflective film 87.
The transmitted light 90, 91a, b (see FIG. 26) of the book
The light beam separating element 86 having a wedge shape to be led to 88
The wedge angle θ was set. Here, assuming that the angle between the horizontal surface of the surface on which the polarization splitting diffraction grating 84 is formed and the horizontal surface of the surface on which the total reflection surface 85 is formed is β, the wedge angle θ is θ = It can be represented as α-β.

また、第27図〜第29図に示すように、前記光ディスク
88により反射された反射光(主ビーム)89及び透過光
(副ビーム)91a,91bのうち、前記反射光89を受光する
2つの3分割受光素子92,93及び前記透過光91a,91bを受
光する2つの無分割受光素子94,95を、前記コリメート
レンズ81の前記半導体レーザ80側の光路上に配設した。
Also, as shown in FIGS. 27 to 29, the optical disk
Among the reflected light (main beam) 89 and transmitted light (sub-beam) 91a, 91b reflected by 88, two three-divided light receiving elements 92, 93 for receiving the reflected light 89 and the transmitted light 91a, 91b are received. The two non-divided light receiving elements 94 and 95 are disposed on the optical path of the collimator lens 81 on the semiconductor laser 80 side.

このような構成において、半導体レーザ80から出射さ
れた出射光aは、コリメートレンズ81により平行光とな
り、くさび状をした光束分離手段86の偏光分離回折格子
84が形成された側の面に入射する。この時、出射光a
は、偏光分離回折格子84の格子方向(紙面垂直方向)と
45゜をなす直線偏光とすると、まず、第26図に示すよう
に、その出射光aは半反射膜87により一部が反射され、
反射光89(以下、主ビーム89と呼ぶ)として光ディスク
88の表面に照射され、また、半反射膜87を透過した透過
光90(以下、副ビーム90と呼ぶ)は、偏光分離回折格子
84で2つに分離され、0次光91a(透過光)と1次光91b
(回折光)とに分離される。
In such a configuration, the outgoing light a emitted from the semiconductor laser 80 becomes parallel light by the collimator lens 81, and the polarization separation diffraction grating of the wedge-shaped light beam separation means 86
The light enters the surface on the side where 84 is formed. At this time, the outgoing light a
Is the grating direction of the polarization separation diffraction grating 84 (perpendicular to the paper) and
Assuming a linear polarization of 45 °, first, as shown in FIG. 26, the emitted light a is partially reflected by the semi-reflective film 87,
Optical disk as reflected light 89 (hereinafter referred to as main beam 89)
The transmitted light 90 (hereinafter, referred to as a sub-beam 90) that has been irradiated on the surface of the mirror 88 and transmitted through the semi-reflective film 87 is converted into a polarization separation diffraction grating.
The light is split into two at 84, and the 0th order light 91a (transmitted light) and the 1st order light 91b
(Diffraction light).

そして、0次光91aは、全反射面85で反射され、再び
偏光分離回折格子84を透過する。この時、全反射面85が
偏光分離回折格子84の形成された側の面とくさび角θだ
けずれていることから、その0次光91aは主ビーム89と
は平行にならず、ある所望の角度をもって対物レンズ82
の方向へ向かう。一方、1次光91bは、偏光分離回折格
子84により回折された後、全反射面85で反射され、再び
偏光分離回折格子84で回折される。この場合にも、全反
射面85がくさび角θをもっているため、2回目に偏光分
離回折格子84を通る時の入射角は大きくなり、それに合
わせて回折角も大きくなることから、その1次光91bも
主ビーム89とは平行にならず、ある所望の角度をもって
対物レンズ82に向かうことになる。従って、このように
して得られた1本の主ビーム29(反射光)と2本の副ビ
ーム90(0次光91aと1次光91b)とは、対物レンズ82に
より集光されて3つのスポットを形成し光ディスク88の
表面に照射されることになり、これにより、情報の記録
を行うことができると共に3ビームトラッキング方式が
可能となる。
Then, the zero-order light 91a is reflected by the total reflection surface 85 and transmits through the polarization splitting diffraction grating 84 again. At this time, since the total reflection surface 85 is shifted from the surface on which the polarization splitting diffraction grating 84 is formed by the wedge angle θ, the zero-order light 91a is not parallel to the main beam 89 and has a desired value. Objective lens with an angle of 82
Head in the direction of. On the other hand, the primary light 91b is diffracted by the polarization splitting diffraction grating 84, is reflected by the total reflection surface 85, and is diffracted again by the polarization splitting diffraction grating 84. Also in this case, since the total reflection surface 85 has the wedge angle θ, the incident angle when passing through the polarization splitting diffraction grating 84 for the second time increases, and the diffraction angle also increases accordingly. The beam 91b is not parallel to the main beam 89, but goes to the objective lens 82 at a certain desired angle. Accordingly, one main beam 29 (reflected light) and two sub-beams 90 (0-order light 91a and primary light 91b) obtained in this way are condensed by the objective lens 82 to form three beams. A spot is formed to irradiate the surface of the optical disk 88, whereby information can be recorded and a three-beam tracking method can be performed.

また、光ディスク88により反射された3ビーム(1本
の主ビーム89、2本の副ビーム91a,91b)は、対物レン
ズ82を通過して、再び光束分離素子86の半反射膜87に入
射する。このうち、2本の副ビーム91a,91bは、その半
反射膜87により反射され、コリメートレンズ81により集
光され、第28図に示すような2つの無分割受光素子94,9
5にそれぞれ受光され、これによりその光強度差からト
ラックエラー信号Trを検出することができる。
The three beams (one main beam 89 and two sub-beams 91a and 91b) reflected by the optical disk 88 pass through the objective lens 82 and again enter the semi-reflective film 87 of the light beam separating element 86. . Of these, the two sub-beams 91a and 91b are reflected by the semi-reflective film 87 and condensed by the collimating lens 81, and the two non-divided light receiving elements 94 and 9 as shown in FIG.
The track error signal Tr can be detected from the difference in light intensity.

一方、光ディスク88により反射された1本の主ビーム
89は、第27図に示すように、半反射膜87を透過し(一部
は反射される)、偏光分離回折格子84により透過光89a
と回折光89bとにその偏光方向により分離される。その
透過光89aは、全反射面85で全反射された後、再度偏光
分離回折格子84を透過して3分割受光素子92,93の方向
に向かう。この場合、その透過光89aはくさび形をした
面による反射により出射光aの光軸a0とは平行になら
ず、所定の角度をもってコリメートレンズ81に入射しこ
れにより集光されて一方の3分割受光素子92に検出され
る。また、回折光89bは、全反射面85で反射された後、
再び偏光分離回折格子84に向かうが、この時、くさび形
の面による反射のためその偏光分離回折格子84への入射
角は1回目より角度が小さくなり、その結果、回折角も
小さくなって出射される。この場合にも、その回折光89
bは出射光aの光軸とは平行にならず、所定の角度をも
ってコリメートレンズ81に入射しこれにより集光されて
他方の3分割受光素子93に検出される。従って、このよ
うに主ビーム89は、透過光89aと回折光89bとに分離され
るため、その光強度差から光磁気信号Moを検出すること
ができ、これにより光ディスク88に記録された情報の再
生を行うことができる。
On the other hand, one main beam reflected by the optical disk 88
As shown in FIG. 27, the light 89 is transmitted through the semi-reflective film 87 (partially reflected), and is transmitted by the polarization separation diffraction grating 84 so that the transmitted light 89a
And the diffracted light 89b according to the polarization direction. The transmitted light 89a is totally reflected by the total reflection surface 85, and then passes through the polarization splitting diffraction grating 84 again to travel toward the three-divided light receiving elements 92 and 93. In this case, the transmitted light 89a does not become parallel to the optical axis a 0 of the emitted light a by reflection by the plane in which the wedge-shaped, one 3 is thereby condensed enters the collimator lens 81 at a predetermined angle The light is detected by the divided light receiving element 92. Also, after the diffracted light 89b is reflected by the total reflection surface 85,
The light again goes to the polarization splitting diffraction grating 84. At this time, the angle of incidence on the polarization splitting diffraction grating 84 becomes smaller than that of the first time due to the reflection by the wedge-shaped surface. Is done. Also in this case, the diffracted light 89
b is not parallel to the optical axis of the emitted light a, enters the collimator lens 81 at a predetermined angle, is condensed by this, and is detected by the other three-division light receiving element 93. Accordingly, since the main beam 89 is separated into the transmitted light 89a and the diffracted light 89b in this manner, the magneto-optical signal Mo can be detected from the difference in the light intensity, and thereby the information recorded on the optical disk 88 can be detected. Playback can be performed.

また、第29図は、これまで述べてきた無分割受光素子
94,95及び2つの3分割受光素子92,93の位置関係を示し
たものである。この場合、主ビーム89は、光軸a0の方向
に対して前後にずらして配置され互いに焦点距離の異な
る2つの3分割受光素子92,93により検出されることか
ら、フォーカスエラー信号Foをビームサイズ法を用いて
検出することができる。
FIG. 29 shows the non-segmented light receiving element described so far.
9 shows a positional relationship between 94, 95 and two three-division light receiving elements 92, 93. In this case, the main beam 89, from being detected by the two 3-division light receiving elements 92 and 93 having different shifting are arranged focal length from each other back and forth relative to the direction of the optical axis a 0, a focus error signal Fo beam It can be detected using the size method.

上述したように、主ビーム89を3分割受光素子92,93
に検出させ、副ビーム90を無分割受光素子94,95に検出
させることによって、光磁気信号Mo、フォーカスエラー
信号Fo、トラックエラー信号Trを検出することが可能と
なり、さらに、この場合、トラックエラー信号Trの検出
方法としては、3ビーム法、プシュプル法、サンプルサ
ーボ法を採用することができ、これにより多種の光ディ
スク88に対応させることが可能となる。
As described above, the main beam 89 is divided into three light receiving elements 92 and 93.
In this case, the sub-beam 90 is detected by the non-divided light receiving elements 94 and 95, so that the magneto-optical signal Mo, the focus error signal Fo, and the track error signal Tr can be detected. As a method of detecting the signal Tr, a three-beam method, a push-pull method, and a sample servo method can be adopted, and thereby, it is possible to correspond to various types of optical disks 88.

また、光束分離素子86をクサビ形状にしたことにより
3ビーム化が可能となり、これにより3ビームトラッキ
ング法が可能となるため、CDや追記形光ディスク、さら
には、光磁気ディスクの各メディアに対してコンパチブ
ルで、しかも、小型化、軽量化された光ピックアップを
得ることができるものである。
Further, since the light beam separating element 86 is formed in a wedge shape, three beams can be formed, thereby enabling a three-beam tracking method. Therefore, a CD, a write-once optical disk, and a magneto-optical disk can be used. It is possible to obtain an optical pickup that is compatible and that is reduced in size and weight.

次に、請求項1,11記載の発明の一実施例を第30図ない
し第34図に基づいて説明する。なお、本実施例は、第六
の問題点に対処したものである。また、従来技術(第38
図参照)と同一部分についての説明は省略する。
Next, an embodiment of the invention described in claims 1 and 11 will be described with reference to FIGS. 30 to 34. The present embodiment addresses the sixth problem. In addition, the conventional technology (No. 38
The description of the same parts as those in FIG.

光束分離手段としての光束分離素子96は、第31図に示
すように、第一回折部材としての透過型回折格子97とこ
の透過型回折格子97に一定角度(くさび角)Δθをなし
て配設された第二回折部材としての高反射面98とを有し
ている。この光束分離素子96は、レーザ光源としての半
導体レーザ99から出射された光がコリメートレンズ100
に向かう間の光路上に位置して設けられている。
As shown in FIG. 31, a light beam separating element 96 serving as a light beam separating means is provided with a transmission type diffraction grating 97 serving as a first diffraction member and a fixed angle (wedge angle) Δθ formed on the transmission type diffraction grating 97. And a high reflection surface 98 as a second diffraction member. The light beam separating element 96 is provided with a light emitted from a semiconductor laser 99 as a laser light source.
Is provided on the optical path between the two.

このような構成において、光磁気ディスク101からの
反射光は、対物レンズ102、コリメートレンズ100を順次
介した後、光束分離手段96の透過型回折格子97に入射
し、透過光Tと回折光Kとに分離される。その透過光T
は、高反射面98により反射され、透過型回折格子97を再
び透過し、これにより2回とも透過した光となる。一
方、その回折光Kは、高反射面98により反射され、透過
型回折格子97により再び回折され、これにより2回とも
回折した光となる。
In such a configuration, the reflected light from the magneto-optical disk 101 passes through the objective lens 102 and the collimating lens 100 sequentially, then enters the transmission type diffraction grating 97 of the light beam separating means 96, where the transmitted light T and the diffracted light K And separated. The transmitted light T
Is reflected by the high-reflection surface 98 and transmitted again through the transmission type diffraction grating 97, thereby becoming light that has been transmitted twice. On the other hand, the diffracted light K is reflected by the high reflection surface 98 and is diffracted again by the transmission type diffraction grating 97, thereby becoming light diffracted twice.

この場合、回折光Kの回折条件式は、次のようになる
(第32図参照)。
In this case, the diffraction condition equation of the diffracted light K is as follows (see FIG. 32).

sinθi+sinθ=λ/Λ …(1) sin(θ−2Δθ)+sinθ …(2) なお、 θi:入射角、 θ0:1回回折角 Δθ:くさび角、θ1:2回回折角 λ:波長、 Λ:回折格子のピッチ ここで、θを求めると、 となる。sin θi + sin θ 0 = λ / Λ (1) sin (θ 0 -2Δθ) + sin θ 1 (2) θi: incident angle, θ 0 : one-time diffraction angle Δθ: wedge angle, θ 1 : two-time diffraction angle λ: wavelength , Λ: pitch of diffraction grating Here, when θ 1 is obtained, Becomes

ここで、回折軸ずれ角ψd、透過軸ずれ角度ψtをそ
れぞれ、次のように定義する。
Here, the diffraction axis shift angle Δd and the transmission axis shift angle Δt are defined as follows, respectively.

ψd=入射角−2回回折角 =θi−θ …(4) ψt=2Δθ …(5) そして、これら(4)、(5)式を用いて、2回とも
回折された回折光Kと2回とも透過した透過光Tとの角
度差(分離角)ψsを求めると、 ψs=ψd−ψt=θi−θ−2Δθ …(6) となる。
ψd = incident angle−diffraction angle = θi−θ 1 (4) ψt = 2Δθ (5) Then, using these equations (4) and (5), the diffracted light K and 2 diffracted twice. When the angle difference (separation angle) ψs from the transmitted light T that has been transmitted each time is obtained, the following is obtained: 差 s = ψd-ψt = θi-θ 1 -2Δθ (6)

従って、このようなことから、第30図に示すように、
2個の受光素子103,104を半導体レーザ99の隣りに近接
して配置させることができるので、半導体レーザ用の基
板と受光素子用の基板とを別個に作成することが可能と
なる。従って、これにより、半導体レーザ99と受光素子
103,104とは別個に実装することができるため組付け調
整が容易となる。
Therefore, from this, as shown in FIG. 30,
Since the two light receiving elements 103 and 104 can be arranged close to and adjacent to the semiconductor laser 99, a semiconductor laser substrate and a light receiving element substrate can be separately formed. Therefore, by this, the semiconductor laser 99 and the light receiving element
Since it can be mounted separately from 103 and 104, assembly adjustment becomes easy.

この場合、受光素子103,104の形状としては、第33図
に示すように、一方を4分割受光面105とし他方を2分
割受光面106とすることができる。この場合、2分割受
光面106によりプシュプル法を用いてトラックエラー信
号を検出することができ、また、4分割受光面105から
は非点収差法によりフォーカスエラー信号を検出するこ
とができる。なお、サンプルサーボトラッキングの場合
には、2分割受光面は無分割としてよい。また、第34図
(a)の受光面は、ビームサイズ法によるフォーカスエ
ラー信号検出のためのものである。また、プシュプル法
でトラックエラー信号を検出する時は、第34図(b)に
示すように、破線部で左右に分割線107を加えることに
より、左右の光量差により検出することができる。な
お、サンプルサーボトラッキングの場合にはその分割線
107は不要である。
In this case, as shown in FIG. 33, one of the light receiving elements 103 and 104 may be a four-divided light receiving surface 105 and the other may be a two-divided light receiving surface 106, as shown in FIG. In this case, a track error signal can be detected by the two-part light receiving surface 106 using the push-pull method, and a focus error signal can be detected from the four-part light receiving surface 105 by the astigmatism method. In the case of sample servo tracking, the two-divided light receiving surface may be undivided. The light receiving surface in FIG. 34 (a) is for detecting a focus error signal by the beam size method. When a track error signal is detected by the push-pull method, as shown in FIG. 34 (b), by adding a dividing line 107 on the left and right at a broken line portion, it is possible to detect the difference on the left and right light amounts. In the case of sample servo tracking, the dividing line
107 is unnecessary.

次に、本実施例の変形例を第35図に示す。前述した実
施例は、第31図に示したように、光束分離手段96を構成
する透過型回折格子97と高反射面98とは分離されていた
が、ここでは、一定角度Δθを有するくさび108の片面
に透過型回折格子97を形成し、その他面に高反射面98を
形成するようにしたものである。このように形成しても
同様な効果を得ることができる。
Next, a modification of the present embodiment is shown in FIG. In the above-described embodiment, as shown in FIG. 31, the transmission type diffraction grating 97 and the high reflection surface 98 constituting the light beam separation means 96 are separated, but here, the wedge 108 having a constant angle Δθ is used. The transmission type diffraction grating 97 is formed on one side of the substrate, and the high reflection surface 98 is formed on the other side. A similar effect can be obtained by forming the substrate in this manner.

発明の効果 請求項1記載の発明は、レーザ光源から出射された光
を対物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射し情
報の記録を行うと共に、その光情報記録媒体からの反射
光を検出することにより情報用の再生信号やトラックエ
ラー信号、フォーカスエラー信号の検出を行う光情報記
録再生装置において、レーザ光源より出射された出射光
が対物レンズに向かう間の光路上に半反射膜を有する第
一回折部材を設け、光情報記録媒体からの反射光が第一
回折部材を通過した光路上に第二回折部材を配設し、前
記第一回折部材と前記第二回折部材とを通過することに
より分離して得られた透過光と回折光とをそれぞれ検出
する受光素子を設けたので、スペースの省略化を図り出
射光学系と信号検出光学系とを一体化して構成すること
ができ、これにより装置全体の部品点数を削減して小型
で軽量、しかも、安価な装置を得ることができるもので
ある。
According to the first aspect of the present invention, light emitted from a laser light source is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information, and reflected light from the optical information recording medium is reflected. In an optical information recording / reproducing apparatus for detecting a reproduction signal for information, a track error signal, and a focus error signal by detecting, a semi-reflective film is formed on an optical path while light emitted from a laser light source is directed to an objective lens. Providing a first diffractive member having a second diffractive member disposed on the optical path where the reflected light from the optical information recording medium has passed through the first diffractive member, passing the first diffractive member and the second diffractive member As a result, the light receiving elements that respectively detect the transmitted light and the diffracted light obtained by the separation are provided, so that it is possible to reduce the space and integrate the emission optical system and the signal detection optical system. , As a result, the number of components of the entire apparatus can be reduced, and a compact, lightweight, and inexpensive apparatus can be obtained.

請求項2記載の発明は、レーザ光源から出射された光
をコリメートレンズにより平行化し、この平行化された
光を対物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射し
情報の記録を行うと共に、その光情報記録媒体からの反
射光を受光素子に導くことにより情報の再生やトラック
エラー信号、フォーカスエラー信号の検出を行う光情報
記録再生装置において、レーザ光源から出射された光の
光路上に半反射膜を有する表面回折格子及び裏面回折格
子の形成された光束分離手段を配設したので、スペース
の省略化を図り出射光学系と信号検出光学系とを一体化
して構成することができ、これにより、装置全体の部品
点数を削減して小型で軽量、しかも、安価な装置を得る
ことができるものである。
According to a second aspect of the present invention, the light emitted from the laser light source is collimated by a collimating lens, and the collimated light is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus that reproduces information and detects a track error signal and a focus error signal by guiding the reflected light from the optical information recording medium to a light receiving element, a half of the light emitted from the laser light source is placed on the optical path. Since the light beam separating means provided with the front surface diffraction grating and the back surface diffraction grating having the reflection film is provided, the space can be reduced, and the emission optical system and the signal detection optical system can be integrated and configured. Thus, the number of components of the entire apparatus can be reduced, and a compact, lightweight, and inexpensive apparatus can be obtained.

請求項3記載の発明は、レーザ光源から出射された光
をコリメートレンズにより平行化し、この平行化された
光を対物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射し
て情報の記録を行うと共に、その光情報記録媒体からの
反射光を受光素子に導くことにより情報の再生やトラッ
クエラー信号、フォーカスエラー信号の検出を行う光情
報記録再生装置において、レーザ光源から出射された光
の光路上に半反射膜を有する回折格子及び全反射面の形
成された光束分離手段を配設したので、片面のみの回折
格子を作製すればよいためその作製作業や取扱いが非常
に容易となり、また、レーザ光源と受光素子とを一体化
して構成させることもできるため部品点数の大幅な削減
が図れ、これにより組付け作業を簡素化でき一段と小型
化、軽量化した装置を得ることができるものである。
According to a third aspect of the present invention, light emitted from a laser light source is collimated by a collimator lens, and the collimated light is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus for reproducing information, detecting a track error signal, and detecting a focus error signal by guiding the reflected light from the optical information recording medium to a light receiving element, the optical information recording / reproducing apparatus may be arranged on an optical path of light emitted from a laser light source. Since a diffraction grating having a semi-reflective film and a light beam separating means having a total reflection surface are provided, it is only necessary to manufacture a diffraction grating having only one surface. And the light receiving element can be integrated, so that the number of parts can be greatly reduced, thereby simplifying the assembling work and making the device even more compact and lightweight. Those that can be obtained.

請求項4記載の発明は、レーザ光源から出射された光
をコリメートレンズにより平行化し、その平行光を対物
レンズにより集光して光情報記録媒体に照射することに
より情報の記録を行うと共に、その光情報記録媒体から
の反射光を信号検出光学系内の受光素子に導くことによ
り情報の再生や、フォーカスエラー信号、トラックエラ
ー信号の検出を行う光情報記録再生装置において、レー
ザ光源から出射された光の光路上に、片面に第一回折格
子の形成された半反射性の第一基板とこの第一基板の前
記第一回折格子の形成された側の面とスペーサを介して
対向配置された側の面に第二回折格子の形成された透過
性の第二基板とよりなる二重回折格子素子を配設したの
で、この二重回折格子素子を用いて透過光と回折光との
いずれか片方に非点収差を発生させてフォーカスエラー
信号の検出を行うことにより波長変動の影響を受けない
常に安定した信号検出を行うことができ、また、二重回
折格子素子は回折格子面が近接して配置されており、波
長変動による1次光のシフト変動の影響を受けにくくな
っているため、従来よりも信頼性の高い信号検出を行う
ことができるものである。
The invention according to claim 4 records information by collimating light emitted from a laser light source by a collimating lens, condensing the parallel light by an objective lens, and irradiating the collimated light on an optical information recording medium. In an optical information recording / reproducing apparatus that reproduces information by guiding reflected light from an optical information recording medium to a light receiving element in a signal detection optical system and detects a focus error signal and a track error signal, the light emitted from a laser light source is used. On the optical path of light, a semi-reflective first substrate having a first diffraction grating formed on one surface and a surface of the first substrate on which the first diffraction grating was formed were arranged to face each other via a spacer. A double diffraction grating element comprising a transparent second substrate on which a second diffraction grating is formed is disposed on the side surface, so that transmitted light and diffracted light can be generated using this double diffraction grating element. Astigmatism on one side By generating a difference and detecting a focus error signal, stable signal detection can be performed without being affected by wavelength fluctuation.In addition, a double diffraction grating element is arranged with diffraction grating surfaces close to each other. Since it is hardly affected by the primary light shift fluctuation due to the wavelength fluctuation, the signal detection can be performed with higher reliability than before.

請求項5記載の発明は、レーザ光源から出射された光
をコリメートレンズにより平行化し、その後対物レンズ
により集光して光情報記録媒体に照射することにより情
報の記録を行うと共に、前記光情報記録媒体からの反射
光を検出して情報の再生や、トラックエラー信号、フォ
ーカスエラー信号の検出を行う光情報記録再生装置にお
いて、前記コリメートレンズと前記対物レンズとの間の
光路上にくさび状をなす非平行基板の一面に半反射膜を
有する回折格子が形成され他面に全反射面が形成された
光束分離手段を配設し、この光束分離手段により反射さ
れた光が前記コリメートレンズを透過した前記レーザ光
源側の光路上に前記光情報記録媒体からの反射光を検出
する2個の受光素子を配設したので、そのような回折格
子と全反射面とが非平行な基板の両面に形成された光束
分離手段を用いて0次光と1次光とをスポット分離して
いるため光学系全体のレイアウトの設計が容易となり、
しかも、その光束分離手段はコリメートレンズと対物レ
ンズとの間に配設されているので平行化された光が回折
格子に入射するようになり、これにより、高性能な偏光
分離を行うことができるため光利用効率を一層高めるこ
とができるものである。
According to a fifth aspect of the present invention, information emitted from a laser light source is collimated by a collimating lens, and then condensed by an objective lens to irradiate an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus which detects reflected light from a medium to reproduce information, and detects a track error signal and a focus error signal, a wedge is formed on an optical path between the collimating lens and the objective lens. A diffraction grating having a semi-reflection film is formed on one surface of the non-parallel substrate, and a light beam separation means having a total reflection surface formed on the other surface is provided, and light reflected by this light beam separation means passes through the collimating lens. Since two light receiving elements for detecting the reflected light from the optical information recording medium are provided on the optical path on the side of the laser light source, such a diffraction grating and the total reflection surface are not in contact with each other. Design layout of the entire optical system is facilitated because it spot separating the 0-order light and first order light by using a light flux separating means formed on both sides of the row substrate,
In addition, since the light beam separating means is disposed between the collimator lens and the objective lens, the collimated light is incident on the diffraction grating, whereby high-performance polarization separation can be performed. Therefore, the light use efficiency can be further improved.

請求項6記載の発明は、レーザ光源から出射された光
をコリメートレンズにより平行化し、その後対物レンズ
により集光して光情報記録媒体に照射することにより情
報の記録を行うと共に、前記光情報記録媒体からの反射
光を検出して情報の再生や、トラックエラー信号、フォ
ーカスエラー信号の検出を行う光情報記録再生装置にお
いて、前記コリメートレンズと前記対物レンズとの間の
光路上に非平行基板の一面に半反射膜を有する回折格子
が形成され他面にウェッジプリズム形状をなす全反射面
が形成された光束分離手段を配設し、この光束分離手段
により反射された光が前記コリメートレンズを透過した
前記半導体レーザ側の光路上に前記光情報記録媒体から
の反射光を検出する2個の受光素子を2組配設したの
で、そのように全反射面をウェッジプリズム形状とし2
個の受光素子を2組配設したことによって、ダブルナイ
フエッジ法を用いてフォーカスエラー信号の検出を行う
ことが可能となり、これにより、組付け精度を従来より
も一段とゆるくすることができ、常に安定した信号の検
出を行うことができるものである。
The invention according to claim 6 records information by collimating light emitted from a laser light source by a collimating lens, and thereafter condensing the light by an objective lens and irradiating the collimated lens with an optical information recording medium. In an optical information recording / reproducing apparatus that detects reflected light from a medium and reproduces information or detects a track error signal and a focus error signal, a non-parallel substrate is provided on an optical path between the collimator lens and the objective lens. A light beam separating means having a diffraction grating having a semi-reflective film on one surface and a total reflection surface in the form of a wedge prism formed on the other surface is provided, and the light reflected by the light beam separating means passes through the collimating lens. Since two sets of two light receiving elements for detecting the reflected light from the optical information recording medium are arranged on the optical path on the side of the semiconductor laser, the total reflection is performed as described above. It was a wedge prism shape 2
By arranging two sets of light receiving elements, it is possible to detect a focus error signal by using the double knife edge method, whereby the mounting accuracy can be further reduced than before, and the A stable signal can be detected.

請求項7記載の発明は、レーザ光源から出射された光
を対物レンズにより集光して光情報記録媒体に照射する
ことにより情報の記録を行うと共に、前記光情報記録媒
体からの反射光を検出して情報の再生や、トラックエラ
ー信号、フォーカスエラー信号の検出を行う光情報記録
再生装置において、前記レーザ光源より出射された光が
前記対物レンズに向かう間の光路上に基板の一面に回折
格子が形成されその一部表面に半透過層を有し他面に全
反射面が形成された光束分離手段を配設し、この光束分
離手段により回折されて進む1次光の光路上に第1受光
素子を配設し、前記光束分離手段により屈折されて進む
0次光の光路上に第2受光素子を配設したので、光束分
離手段の回折格子により分離された0次光と1次光とが
全反射面により反射され外部に出射する際には、回折格
子における半透過層以外の透過領域を通過することにな
るため、これにより従来に比べ一段と光利用効率を上げ
ることができるものである。
According to a seventh aspect of the present invention, information emitted from a laser light source is condensed by an objective lens and irradiated onto an optical information recording medium to record information, and reflected light from the optical information recording medium is detected. In the optical information recording / reproducing apparatus for reproducing information and detecting a track error signal and a focus error signal, a diffraction grating is provided on one surface of a substrate on an optical path while light emitted from the laser light source is directed to the objective lens. Is formed, a light beam separating means having a semi-transmissive layer on one surface and a total reflection surface formed on the other surface is disposed, and a first light beam is diffracted by the light beam separating device on the optical path of the primary light. Since the light receiving element is provided, and the second light receiving element is provided on the optical path of the zero order light which is refracted by the light beam separating means and travels, the zero order light and the primary light separated by the diffraction grating of the light beam separating means are provided. And are reflected by the total reflection surface Re when emitted to the outside, because that will pass through the transparent area other than the semi-transparent layer of the diffraction grating, in which it makes it possible to increase the more light use efficiency than conventional.

請求項8記載の発明は、上述したような請求項7記載
の発明の構成において、さらに、レーザ光源より出射さ
れた光が光束分離手段に向かう間の光路上にコリメート
レンズを配設したので、出射光のうち平行光のみが回折
格子に入射するため高性能な偏光分離を行うことが可能
となり、これにより光利用効率をさらに一段と上げるこ
とができるものである。
According to an eighth aspect of the present invention, in the configuration of the seventh aspect of the present invention, a collimating lens is further provided on an optical path while light emitted from the laser light source is directed to the light beam separating means. Since only the parallel light out of the outgoing light is incident on the diffraction grating, it is possible to perform high-performance polarization separation, thereby further improving the light use efficiency.

請求項9記載の発明は、レーザ光源から出射された出
射光をコリメートレンズを介して対物レンズにより集光
して光情報記録媒体に照射することにより情報の記録を
行うと共に、前記光情報記録媒体からの反射光を検出し
て情報の再生や、トラックエラー信号、フォーカスエラ
ー信号の検出を行う光情報記録再生装置において、前記
出射光が前記コリメートレンズを通過して前記対物レン
ズに向かう間の光路上に基板の一面に回折格子が形成さ
れその表面に半反射膜を有し他面に全反射面が形成され
たくさび状の光束分離手段を配設し、前記出射光が前記
半反射膜により反射されて得られた1本の主ビームと前
記半反射膜を透過して得られた2本の副ビームとが前記
光情報記録媒体に導かれるようにくさび状をした前記光
束分離手段のくさび角を設定したので、出射光が光束分
離手段の回折格子の表面に形成された半反射膜に入射し
た光のうち、その半反射膜による反射光を主ビームとし
又透過光を副ビームとしているため、3ビームトラッキ
ングを行うことが可能となり、これにより光情報記録媒
体に光磁気ディスクやCD等を用いた各種装置に本装置を
対応させることが可能となり、その応用範囲を従来に比
べ一段と広げることができるものである。
According to a ninth aspect of the present invention, information is recorded by irradiating an optical information recording medium by condensing an emitted light emitted from a laser light source through an objective lens via a collimating lens, and recording the information on the optical information recording medium. In the optical information recording / reproducing device which detects reflected light from the optical disc to reproduce information, and detects a track error signal and a focus error signal, the light emitted from the output light passes through the collimating lens and travels toward the objective lens. A diffraction grating is formed on one surface of the substrate on the road, and a wedge-shaped light beam separating means having a semi-reflective film on the surface and a total reflection surface formed on the other surface is provided, and the emitted light is reflected by the semi-reflective film. A wedge of the light beam separating means having a wedge shape such that one main beam obtained by reflection and two sub beams obtained by transmitting through the semi-reflective film are guided to the optical information recording medium. Since the outgoing light is incident on the semi-reflective film formed on the surface of the diffraction grating of the light beam separating means, the light reflected by the semi-reflective film is used as the main beam and the transmitted light is used as the sub beam. This makes it possible to perform three-beam tracking, which makes this device compatible with various devices that use magneto-optical disks, CDs, etc. as optical information recording media, and further expands the range of applications compared to conventional devices. Can be done.

請求項10記載の発明は、上述したような請求項9記載
の発明の構成において、さらに、光情報記録媒体により
反射された主ビーム及び副ビームのうち、主ビームを受
光する2つの3分割受光素子を設け、副ビームを受光す
る2つの無分割受光素子を設けたので、光情報記録媒体
により反射された主ビーム及び副ビームを各々の受光素
子により全て無駄なく受光させているため、従来に比べ
光利用効率を一段と向上させることができるものであ
る。
According to a tenth aspect of the present invention, in the configuration of the ninth aspect described above, two three-divided light receiving portions for receiving the main beam out of the main beam and the sub beam reflected by the optical information recording medium are further provided. An element and two non-divided light receiving elements for receiving the sub beam are provided, so that the main beam and the sub beam reflected by the optical information recording medium are all received by the respective light receiving elements without waste. The light use efficiency can be further improved.

請求項11記載の発明は、レーザ光源から出射された光
をコリメートレンズにより平行化した後、対物レンズに
より集光して光情報記録媒体の表面に照射し情報の記録
を行うと共に、その光情報記録媒体からの反射光を受光
素子により検出してフォーカスエラー信号、トラックエ
ラー信号の検出を行う光情報記録再生装置において、透
過型回折格子とこの透過型回折格子に一定角度をなして
配設された高反射面とを有する光束分離手段を設けたこ
とにより、この光束分離手段により分離される透過光と
反射光との光路を変えることができるため、従来のよう
にレーザ光源を挟んだ両側に受光素子を設ける必要がな
くなり、これにより、レーザ光源用の基板と受光素子用
の基板とを別個に作成して実装することができるため、
従来に比べ組付け調整が簡素化され作業効率を上げるこ
とができるものである。
In the invention according to claim 11, after the light emitted from the laser light source is collimated by a collimating lens, the light is condensed by an objective lens and irradiated on the surface of an optical information recording medium to record information, and the optical information is recorded. In an optical information recording / reproducing apparatus for detecting a focus error signal and a track error signal by detecting reflected light from a recording medium by a light receiving element, a transmission type diffraction grating and a transmission type diffraction grating are arranged at a fixed angle. By providing the light beam separating means having a highly reflective surface, the optical path between the transmitted light and the reflected light separated by the light beam separating means can be changed. There is no need to provide a light receiving element, which allows a laser light source substrate and a light receiving element substrate to be separately prepared and mounted.
As a result, the assembly adjustment can be simplified and the work efficiency can be increased.

請求項12記載の発明は、片面に第一回折格子の形成さ
れた半反射性の第一基板とこの第一基板の前記第一回折
格子の形成された側の面とスペーサを介して対向配置さ
れた側の面に第二回折格子の形成された透過性の第二基
板とよりなる二重回折格子素子を設けたので、第一回折
格子及び第二回折格子の格子面が互いに向かい合い密閉
した状態となり、しかも、格子形状が安定してそれら2
つの回折格子が近接しているため、波長変動による1次
光のシフト変動を受けにくいものとすることができ、ま
た、回折格子の形成された外側の一面を半透過面とした
ことにより、高精度のビームスプリッタ機能をもち、光
情報記録再生装置に応用することができ、これにより、
部品点数を一段と削減して小型化、軽量化した装置を得
ることができるものである。
According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a semi-reflective first substrate having a first diffraction grating formed on one side, and a surface of the first substrate on which the first diffraction grating is formed, which is opposed to the first substrate via a spacer. A double diffraction grating element comprising a transparent second substrate on which a second diffraction grating is formed is provided on the surface on the side where the first diffraction grating and the second diffraction grating face each other and are sealed. And the lattice shape is stable.
Since the two diffraction gratings are close to each other, it is possible to make the shift of primary light less susceptible to wavelength fluctuation, and the outer surface on which the diffraction grating is formed is made to be a semi-transmissive surface. It has an accurate beam splitter function and can be applied to optical information recording / reproducing devices.
The number of parts can be further reduced to obtain a compact and lightweight device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は請求項1,2記載の発明の一実施例を示す構成
図、第2図はデュアル型回折格子の様子を示す構成図、
第3図はレーザ光源の後方からデュアル型回折格子の方
向をみた説明図、第4図は受光素子によりフォーカスエ
ラー信号を検出する原理を示す説明図、第5図は高密度
回折格子の回折効率の偏光依存性を示す波形図、第6図
は請求項1,3記載の発明の一実施例を示す構成図、第7
図は請求項1,4,12記載の発明の第一の実施例を示す構成
図、第8図はそのデュアル型回折格子に入射して分離さ
れる光の光路状態を示す側面図、第9図は請求項1,4,12
記載の発明の第二の実施例を示す構成図、第10図は請求
項1,4,12記載の発明の第三の実施例を示す構成図、第11
図は信号検出光学系内のシリンドルカルレンズの配設状
態を示す説明図、第12図は請求項1,5,6記載の発明の第
一の実施例を示す構成図、第13図はその変調化された回
折格子の様子を示す正面図、第14図は回折格子の偏光依
存性を示す特性図、第15図は請求項1,5,6記載の発明の
第二の実施例を示す構成図、第16図はその受光素子の配
設状態の様子を示す正面図、第17図は等ピッチの回折格
子の様子を示す正面図、第18図は請求項1,5,6記載の発
明の第三の実施例である光束分離手段の様子を示す斜視
図、第19図はその受光素子の配設状態の様子を示す正面
図、第20図は請求項1,7,8記載の発明の一実施例を示す
構成図、第21図はその回折格子の様子を示す説明図、第
22図は受光素子の表面形状の様子を示す説明図、第23図
及び第24図はその受光素子の変形例を示す正面図、第25
図は請求項1,9,10記載の発明の一実施例を示す構成図、
第26図は出射光光束分離手段内における進行経路を示す
光路図、第27図は光情報記録媒体からの戻り光の光束分
離手段内における進行経路を示す光路図、第28図は無分
割及び3分割受光素子に接続された配線回路の様子を示
す回路図、第29図は無分割及び3分割受光素子の光路上
における配設位置の関係を示す光路図、第30図は請求項
1,11記載の発明の一実施例を示す構成図、第31図はその
光束分離手段を示す側面図、第32図は各種回折角の様子
を示す説明図、第33図は受光素子の正面図、第34図はそ
の受光素子の変形例を示す側面図、第35図は光束分離手
段の変形例を示す正面図、第36図は第一の従来例を示す
構成図、第37図は第二の従来例を示す構成図、第38図は
第四の従来例を示す構成図である。 30……レーザ高源、32……半反射膜、33……表面回折格
子、34……裏面回折格子、35……コリメートレンズ、36
……対物レンズ、37……光情報記録媒体、38……受光素
子、40……回折格子、41……全反射面、42……半反射
膜、43……レーザ光源、45……第一基板、45a……第一
回折格子、47……第二基板、47a……第二回折格子、48
……コリメートレンズ、49……対物レンズ、50……光情
報記録媒体、51……信号検出光学系、52a,52b……受光
素子、55……レーザ光源、56……コリメートレンズ、57
……非平行基板、58……光束分離手段、59……回折格
子、59a……半反射膜、60……全反射面、61……対物レ
ンズ、62……光情報記録媒体、64,65……受光素子、70
……レーザ光源、71……基板、72……回折格子、73……
全反射面、74……光束分離手段、75……半透過層、76…
…対物レンズ、77……光情報記録媒体、78……第1受光
素子、79……第2受光素子、80……レーザ光源、81……
コリメートレンズ、82……対物レンズ、83……基板、84
……回折格子、85……全反射面、86……光束分離手段、
87……半反射膜、92,93……3分割受光素子、94,95……
無分割受光素子、96……光束分離手段、97……透過型回
折格子、98……高反射面、99……レーザ光源、100……
コリメートレンズ、101……光情報記録媒体、102……対
物レンズ、103,104……受光素子
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the invention according to claims 1 and 2, FIG. 2 is a block diagram showing a state of a dual type diffraction grating,
FIG. 3 is an explanatory view showing the direction of a dual type diffraction grating from behind a laser light source, FIG. 4 is an explanatory view showing a principle of detecting a focus error signal by a light receiving element, and FIG. 5 is a diffraction efficiency of a high-density diffraction grating. FIG. 6 is a configuration diagram showing one embodiment of the invention according to claims 1 and 3, and FIG.
FIG. 8 is a block diagram showing a first embodiment of the invention according to claims 1, 4 and 12, FIG. 8 is a side view showing an optical path state of light incident on and split by the dual type diffraction grating, and FIG. The figure shows claims 1, 4, 12
FIG. 10 is a block diagram showing a second embodiment of the invention described, FIG. 10 is a block diagram showing a third embodiment of the invention described in claims 1, 4, and 12, and FIG.
FIG. 12 is an explanatory diagram showing the arrangement of cylindrical lenses in the signal detection optical system, FIG. 12 is a configuration diagram showing a first embodiment of the invention according to claims 1, 5, and 6, and FIG. FIG. 14 is a front view showing the state of the modulated diffraction grating, FIG. 14 is a characteristic diagram showing the polarization dependence of the diffraction grating, and FIG. 15 is a second embodiment of the invention according to claims 1, 5, and 6. FIG. 16 is a front view showing the state of the arrangement of the light receiving element, FIG. 17 is a front view showing the state of a diffraction grating of equal pitch, and FIG. 18 is the claim 1, 5 or 6. FIG. 19 is a perspective view showing a state of a light beam separating means according to a third embodiment of the invention, FIG. 19 is a front view showing an arrangement state of the light receiving element, and FIG. 20 is claims 1, 7, and 8. FIG. 21 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention, FIG.
FIG. 22 is an explanatory view showing the appearance of the surface shape of the light receiving element, FIGS. 23 and 24 are front views showing modified examples of the light receiving element, and FIGS.
The figure is a configuration diagram showing one embodiment of the invention according to claims 1, 9, and 10,
FIG. 26 is an optical path diagram showing a traveling path in the emitted light beam separating means, FIG. 27 is an optical path diagram showing a traveling path in the light beam separating means of return light from the optical information recording medium, and FIG. FIG. 29 is a circuit diagram showing a state of a wiring circuit connected to the three-divided light receiving element, FIG. 29 is an optical path diagram showing a relationship between arrangement positions of the non-divided and three-divided light receiving elements on an optical path, and FIG.
FIG. 31 is a side view showing a light beam separating means of the invention, FIG. 32 is an explanatory view showing various diffraction angles, and FIG. 33 is a front view of a light receiving element. FIG. 34 is a side view showing a modified example of the light receiving element, FIG. 35 is a front view showing a modified example of the light beam separating means, FIG. 36 is a configuration diagram showing a first conventional example, and FIG. FIG. 38 is a configuration diagram showing a second conventional example, and FIG. 38 is a configuration diagram showing a fourth conventional example. 30: High laser source, 32: Semi-reflective film, 33: Front diffraction grating, 34: Back diffraction grating, 35: Collimating lens, 36
... objective lens, 37 ... optical information recording medium, 38 ... light receiving element, 40 ... diffraction grating, 41 ... total reflection surface, 42 ... semi-reflection film, 43 ... laser light source, 45 ... first Substrate, 45a ... First diffraction grating, 47 ... Second substrate, 47a ... Second diffraction grating, 48
…… Collimator lens, 49 …… Objective lens, 50 …… Optical information recording medium, 51 …… Signal detection optical system, 52a, 52b …… Light receiving element, 55 …… Laser light source, 56 …… Collimate lens, 57
... non-parallel substrate, 58 ... light beam separating means, 59 ... diffraction grating, 59a ... semi-reflective film, 60 ... total reflection surface, 61 ... objective lens, 62 ... optical information recording medium, 64, 65 ...... Light-receiving element, 70
…… Laser light source, 71 …… Substrate, 72 …… Diffraction grating, 73 ……
Total reflection surface, 74: Light beam separating means, 75: Translucent layer, 76 ...
... objective lens, 77 ... optical information recording medium, 78 ... first light receiving element, 79 ... second light receiving element, 80 ... laser light source, 81 ...
Collimating lens, 82 Objective lens, 83 Substrate, 84
…… Diffraction grating, 85 …… Total reflection surface, 86 …… Light beam separation means,
87 ... Semi-reflective film, 92,93 ... Three-segment light receiving element, 94,95 ...
Non-divided light receiving element, 96: light beam separating means, 97: transmissive diffraction grating, 98: high reflection surface, 99: laser light source, 100 ...
Collimating lens, 101: Optical information recording medium, 102: Objective lens, 103, 104: Light receiving element

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平1−304414 (32)優先日 平1(1989)11月22日 (33)優先権主張国 日本(JP) (31)優先権主張番号 特願平1−337773 (32)優先日 平1(1989)12月26日 (33)優先権主張国 日本(JP) (31)優先権主張番号 特願平2−18623 (32)優先日 平2(1990)1月29日 (33)優先権主張国 日本(JP) (56)参考文献 特開 昭63−228431(JP,A) 特開 昭63−167431(JP,A) 特開 昭62−103857(JP,A) 特開 昭64−4926(JP,A) 特開 昭64−86337(JP,A) 特開 平1−253843(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 7/135──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (31) Priority claim number Japanese Patent Application No. 1-304414 (32) Priority date Hei 1 (1989) November 22, (33) Priority claim country Japan (JP) (31) Priority Claim number Japanese Patent Application No. 1-337773 (32) Priority Date Hei 1 (1989) December 26 (33) Priority claiming country Japan (JP) (31) Priority claim number Japanese Patent Application No. 2-18623 (32) Priority (2) Japan (JP) (56) References JP-A-63-228431 (JP, A) JP-A-63-167431 (JP, A) JP JP-A-62-103857 (JP, A) JP-A-64-4926 (JP, A) JP-A-64-86337 (JP, A) JP-A-1-2533843 (JP, A) (58) Fields investigated (Int) .Cl. 6 , DB name) G11B 7/135

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】レーザ光源から出射された光を対物レンズ
により集光して光情報記録媒体に照射し情報の記録を行
うと共に、その光情報記録媒体からの反射光を検出する
ことにより情報用の再生信号やトラックエラー信号、フ
ォーカスエラー信号の検出を行う光情報記録再生装置に
おいて、前記レーザ光源より出射された出射光が前記対
物レンズに向かう間の光路上に半反射膜を有する第一回
折部材を設け、前記光情報記録媒体からの反射光が前記
第一回折部材を通過した光路上に第二回折部材を配設
し、前記第一回折部材と前記第二回折部材とを通過する
ことにより分離して得られた透過光と回折光とをそれぞ
れ検出する受光素子を設けたことを特徴とする光情報記
録再生装置。
1. An information recording device comprising: an optical information recording medium that records light by condensing light emitted from a laser light source by an objective lens and irradiating the optical information recording medium; and detects reflected light from the optical information recording medium. An optical information recording / reproducing apparatus for detecting a reproduced signal, a track error signal, and a focus error signal, wherein a first diffraction pattern having a semi-reflective film on an optical path while light emitted from the laser light source is directed to the objective lens is provided. Providing a member, arranging a second diffraction member on the optical path where the reflected light from the optical information recording medium has passed through the first diffraction member, and passing the first diffraction member and the second diffraction member An optical information recording / reproducing apparatus, comprising: a light receiving element for detecting a transmitted light and a diffracted light obtained by being separated by the method.
【請求項2】レーザ光源から出射された光をコリメート
レンズにより平行化し、この平行化された光を対物レン
ズにより集光して光情報記録媒体に照射し情報の記録を
行うと共に、その光情報記録媒体からの反射光を受光素
子に導くことにより情報の再生やトラックエラー信号、
フォーカスエラー信号の検出を行う光情報記録再生装置
において、前記レーザ光源から出射された光の光路側に
位置する面に入射した光の一部を反射させる半反射膜を
有する表面回折格子が形成されこの面と相対する側の面
に裏面回折格子の形成された光束分離手段を設け、前記
裏面回折格子の形成された側の光路上に前記受光素子を
配設したことを特徴とする光情報記録再生装置。
2. The light emitted from a laser light source is collimated by a collimating lens, and the collimated light is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information. By guiding the reflected light from the recording medium to the light receiving element, information reproduction and track error signals,
In an optical information recording / reproducing apparatus for detecting a focus error signal, a surface diffraction grating having a semi-reflective film that reflects a part of light incident on a surface located on an optical path side of light emitted from the laser light source is formed. An optical information recording device comprising: a light beam separating means provided with a back surface diffraction grating on a surface opposite to the surface; and the light receiving element provided on an optical path on the side provided with the back surface diffraction grating. Playback device.
【請求項3】レーザ光源から出射された光をコリメート
レンズにより平行化し、この平行化された光を対物レン
ズにより集光して光情報記録媒体に照射して情報の記録
を行うと共に、その光情報記録媒体からの反射光を受光
素子に導くことにより情報の再生やトラックエラー信
号、フォーカスエラー信号の検出を行う光情報記録再生
装置において、前記レーザ光源から出射された光の光路
側に位置する面に入射した光の一部を反射させる半反射
膜を有する回折格子が形成されこの面と相対する側の面
に全反射面の形成された光束分離手段を設け、前記レー
ザ光源の設けられた側の光路上に前記受光素子を配設し
たことを特徴とする光情報記録再生装置。
3. The light emitted from a laser light source is collimated by a collimating lens, and the collimated light is condensed by an objective lens and irradiated on an optical information recording medium to record information. In an optical information recording / reproducing apparatus for reproducing information, detecting a track error signal, and detecting a focus error signal by guiding reflected light from an information recording medium to a light receiving element, the optical information recording / reproducing apparatus is located on the optical path side of light emitted from the laser light source. A diffraction grating having a semi-reflective film for reflecting a part of the light incident on the surface is formed, and a light beam separating means having a total reflection surface formed on a surface opposite to this surface is provided, and the laser light source is provided. An optical information recording / reproducing apparatus, wherein the light receiving element is disposed on an optical path on a side of the optical information recording and reproducing apparatus.
【請求項4】レーザ光源から出射された光をコリメート
レンズにより平行化し、その平行光を対物レンズにより
集光して光情報記録媒体に照射することにより情報の記
録を行うと共に、その光情報記録媒体からの反射光を信
号検出光学系内の受光素子に導くことにより情報の再生
や、フォーカスエラー信号、トラックエラー信号の検出
を行う光情報記録再生装置において、前記レーザ光源か
ら出射された光の光路上に、片面に第一回折部材の形成
された半反射性の第一基板とこの第一基板の前記第一回
折部材の形成された側の面とスペーサを介して対向配置
された側の面に第二回折部材の形成された透過性の第二
基板とよりなる二重回折格子素子を配設したことを特徴
とする光情報記録再生装置。
4. A method of recording information by collimating light emitted from a laser light source by a collimating lens, condensing the parallel light by an objective lens, and irradiating the collimated light on an optical information recording medium. In an optical information recording / reproducing apparatus that reproduces information by guiding reflected light from a medium to a light receiving element in a signal detection optical system and detects a focus error signal and a track error signal, the light emitted from the laser light source is On the optical path, the semi-reflective first substrate on which the first diffractive member is formed on one side, and the surface of the first substrate on which the first diffractive member is formed and the side on which the first diffractive member is formed are opposed to each other via a spacer. An optical information recording / reproducing apparatus, comprising: a double diffraction grating element comprising a transparent second substrate having a second diffraction member formed on a surface thereof.
【請求項5】レーザ光源から出射された光をコリメート
レンズにより平行化し、その後対物レンズにより集光し
て光情報記録媒体に照射することにより情報の記録を行
うと共に、前記光情報記録媒体からの反射光を検出して
情報の再生や、トラックエラー信号、フォーカスエラー
信号の検出を行う光情報記録再生装置において、前記コ
リメートレンズと前記対物レンズとの間の光路上にくさ
び状をなす非平行基板の一面に半反射膜を有する回折格
子が形成され他面に全反射面が形成された光束分離手段
を配設し、この光束分離手段により反射された光が前記
コリメートレンズを透過した前記レーザ光源側の光路上
に前記光情報記録媒体からの反射光を検出する2個の受
光素子を配設したことを特徴とする光情報記録再生装
置。
5. A method of recording information by collimating light emitted from a laser light source by a collimating lens, irradiating the collimated light with an objective lens, and irradiating the collimated lens with an optical information recording medium. In an optical information recording / reproducing apparatus that detects reflected light to reproduce information, and detects a track error signal and a focus error signal, a non-parallel substrate that forms a wedge on an optical path between the collimator lens and the objective lens A light beam separating means in which a diffraction grating having a semi-reflective film is formed on one surface and a total reflection surface is formed on the other surface, and the light reflected by the light beam separating means is transmitted through the collimating lens. An optical information recording / reproducing apparatus, wherein two light receiving elements for detecting reflected light from the optical information recording medium are arranged on the optical path on the side.
【請求項6】レーザ光源から出射された光をコリメート
レンズにより平行化し、その後対物レンズにより集光し
て光情報記録媒体に照射することにより情報の記録を行
うと共に、前記光情報記録媒体からの反射光を検出して
情報の再生や、トラックエラー信号、フォーカスエラー
信号の検出を行う光情報記録再生装置において、前記コ
リメートレンズと前記対物レンズとの間の光路上に非平
行基板の一面に半反射膜を有する回折格子が形成され他
面にウェッジプリズム形状をなす全反射面が形成された
光束分離手段を配設し、この光束分離手段により反射さ
れた光が前記コリメートレンズを透過した前記レーザ光
源側の光路上に前記光情報記録媒体からの反射光を検出
する2個の受光素子を2組配設したことを特徴とする光
情報記録再生装置。
6. A method of recording information by collimating light emitted from a laser light source by a collimating lens, and then condensing the light by an objective lens and irradiating the light on an optical information recording medium. In an optical information recording / reproducing apparatus that detects reflected light to reproduce information, and detects a track error signal and a focus error signal, a half of a non-parallel substrate is provided on an optical path between the collimating lens and the objective lens. A light beam separating means provided with a diffraction grating having a reflection film and a total reflection surface in the form of a wedge prism formed on the other surface, wherein the light reflected by the light beam separating means passes through the collimating lens. An optical information recording / reproducing apparatus, comprising two sets of two light receiving elements for detecting reflected light from the optical information recording medium on an optical path on a light source side.
【請求項7】レーザ光源から出射された光を対物レンズ
により集光して光情報記録媒体に照射することにより情
報の記録を行うと共に、前記光情報記録媒体からの反射
光を検出して情報の再生や、トラックエラー信号、フォ
ーカスエラー信号の検出を行う光情報記録再生装置にお
いて、前記レーザ光源より出射された光が前記対物レン
ズに向かう間の光路上に基板の一面に回折格子が形成さ
れその一部表面に半反射膜を有し他面に全反射面が形成
された光束分離手段を配設し、この光束分離手段により
回折されて進む1次光の光路上に第1受光素子を配設
し、前記光束分離手段により屈折されて進む0次光の光
路上に第2受光素子を配設したことを特徴とする光情報
記録再生装置。
7. Recording of information by condensing light emitted from a laser light source by an objective lens and irradiating the light on an optical information recording medium, and detecting reflected light from the optical information recording medium to obtain information. In the optical information recording / reproducing apparatus which performs reproduction of a track error signal and a focus error signal, a diffraction grating is formed on one surface of a substrate on an optical path while light emitted from the laser light source goes to the objective lens. A light beam separating means having a semi-reflective film on a part of the surface and a total reflection surface formed on the other surface is provided, and a first light receiving element is provided on an optical path of primary light diffracted by the light beam separating means and traveling. An optical information recording / reproducing apparatus, wherein a second light receiving element is disposed on an optical path of 0-order light which is refracted by the light beam separating means and travels.
【請求項8】レーザ光源より出射された光が光束分離手
段に向かう間の光路上にコリメートレンズを配設したこ
とを特徴とする請求項7記載の光情報記録再生装置。
8. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 7, wherein a collimating lens is provided on an optical path while the light emitted from the laser light source travels toward the light beam separating means.
【請求項9】レーザ光源から出射された出射光をコリメ
ートレンズを介して対物レンズにより集光して光情報記
録媒体に照射することにより情報の記録を行うと共に、
前記光情報記録媒体からの反射光を検出して情報の再生
や、トラックエラー信号、フォーカスエラー信号の検出
を行う光情報記録再生装置において、前記出射光が前記
コリメートレンズを通過して前記対物レンズに向かう間
の光路上に基板の一面に回折格子が形成されその表面に
半反射膜を有し他面に全反射面が形成されたくさび状の
光束分離手段を配設し、前記出射光が前記半反射膜によ
り反射されて得られた1本の主ビームと前記半反射膜を
透過して得られた2本の副ビームとが前記光情報記録媒
体に導かれるようにくさび状をした前記光束分離手段の
くさび角を設定したことを特徴とする光情報記録再生装
置。
9. Recording information by converging an emitted light emitted from a laser light source through an objective lens via a collimator lens and irradiating the collected light with an optical information recording medium;
In an optical information recording / reproducing apparatus that detects reflected light from the optical information recording medium to reproduce information or detect a track error signal and a focus error signal, the emitted light passes through the collimating lens and the objective lens A wedge-shaped light beam separating means in which a diffraction grating is formed on one surface of the substrate on the optical path and has a semi-reflective film on the surface and a total reflection surface is formed on the other surface is provided, and the emitted light is The wedge-shaped one main beam obtained by being reflected by the semi-reflective film and the two sub-beams obtained by passing through the semi-reflective film are guided to the optical information recording medium. An optical information recording / reproducing apparatus, wherein a wedge angle of a light beam separating means is set.
【請求項10】光情報記録媒体により反射された主ビー
ム及び副ビームのうち、前記主ビームを受光する2つの
3分割受光素子を設け、前記副ビームを受光する2つの
無分割受光素子を設けたことを特徴とする請求項9記載
の光情報記録再生装置。
10. A three-divided light receiving element for receiving the main beam of the main beam and the sub beam reflected by the optical information recording medium, and two non-divided light receiving elements for receiving the sub beam are provided. 10. The optical information recording / reproducing apparatus according to claim 9, wherein:
【請求項11】レーザ光源から出射された光をコリメー
トレンズにより平行化した後、対物レンズにより集光し
て光情報記録媒体の表面に照射し情報の記録を行うと共
に、その光情報記録媒体からの反射光を受光素子により
検出してフォーカスエラー信号、トラックエラー信号の
検出を行う光情報記録再生装置において、前記レーザ光
源から出射された光が前記コリメートレンズに向かう間
の光路上に、透過型回折格子とこの透過型回折格子に一
定角度をなして配設された高反射面とを有する光束分離
手段を設けたことを特徴とする光情報記録再生装置。
11. A light emitted from a laser light source is collimated by a collimating lens, and then condensed by an objective lens to irradiate the surface of an optical information recording medium to record information. In the optical information recording / reproducing apparatus for detecting the focus error signal and the track error signal by detecting the reflected light of the laser light by the light receiving element, the transmission type light is transmitted on the optical path while the light emitted from the laser light source goes to the collimating lens. An optical information recording / reproducing apparatus, comprising: a light beam separating means having a diffraction grating and a high reflection surface disposed at an angle to the transmission type diffraction grating.
【請求項12】片面に第一回折部材の形成された半透過
性の第一基板と、この第一基板の前記第一回折部材の形
成された側の面とスペーサを介して対向配置された側の
面に第二回折部材の形成された透過性の第二基板とより
なることを特徴とする二重回折格子素子。
12. A semi-transmissive first substrate having a first diffractive member formed on one surface thereof, and a first substrate opposed to a surface of the first substrate on which the first diffractive member is formed is disposed via a spacer. A double diffraction grating element comprising: a transparent second substrate having a second diffraction member formed on a side surface.
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