JP2800484B2 - Magnetoresistive head - Google Patents

Magnetoresistive head

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JP2800484B2
JP2800484B2 JP18670291A JP18670291A JP2800484B2 JP 2800484 B2 JP2800484 B2 JP 2800484B2 JP 18670291 A JP18670291 A JP 18670291A JP 18670291 A JP18670291 A JP 18670291A JP 2800484 B2 JP2800484 B2 JP 2800484B2
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哲広 鈴木
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置,磁
気テープ装置等の磁気記録装置に使用されるシールド型
磁気抵抗効果ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a shield type magnetoresistive head used for a magnetic recording device such as a magnetic disk device and a magnetic tape device.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気抵抗効果ヘッド(以下、MRヘッド
と記す)は、高い再生感度を有し、かつ、再生出力が磁
気記録媒体−磁気ヘッド間の相対速度に依存しないの
で、磁気記録装置の高密度化、小型化に対して有利なデ
バイスである。MRヘッドにおいて、磁気抵抗効果素子
(以下、MR素子と記す)は、一般に、磁気記録媒体に
対して垂直に配置され、磁気記録媒体から発生する磁束
のうち、磁気記録媒体に垂直な成分を検出する。分解能
を高めたMRヘッドの例として、MR素子の両側に軟磁
性体からなる磁気シールドを配置したシールド型MRヘ
ッドが知られており、1975年刊のアイ・イー・イー
・イー・トランザクションズ・オン・マグネティクス誌
第MAG−11巻1206ページ、特開60−151
816号公報、特開63−184906号公報、特公
昭63−50769号公報などに示されている。
2. Description of the Related Art A magnetoresistive head (hereinafter referred to as an MR head) has a high reproducing sensitivity and a reproducing output does not depend on a relative speed between a magnetic recording medium and a magnetic head. This device is advantageous for high density and miniaturization. In an MR head, a magnetoresistive element (hereinafter, referred to as an MR element) is generally arranged perpendicular to a magnetic recording medium, and detects a component perpendicular to the magnetic recording medium among magnetic fluxes generated from the magnetic recording medium. I do. As an example of an MR head having increased resolution, a shield type MR head in which a magnetic shield made of a soft magnetic material is arranged on both sides of an MR element is known, and is published in 1975 by IEE Transactions On. · magnetics magazine the MAG-11 Volume 1206 pages, JP Akira 60-151
816, JP Sho 63-184906 Patent Publication is shown like in JP-B-63-50769.

【0003】シールド型MRヘッドにおいては、磁気シ
ールドが磁気記録媒体から発する磁束のうちの余分な磁
束を吸収し、低線密度記録領域から高線密度記録領域に
至るまで、MR素子が検出する磁束量はほぼ一定にな
る。よって、MR素子により再生される出力電圧は、低
線密度記録領域から高線密度記録領域に至るまで振幅が
一定となり、波形干渉が小さく読み取り誤りのない信号
を得ることができる。
In a shield type MR head, a magnetic shield absorbs extra magnetic flux among magnetic fluxes emitted from a magnetic recording medium, and detects a magnetic flux detected by an MR element from a low linear density recording area to a high linear density recording area. The amount will be almost constant. Therefore, the output voltage reproduced by the MR element has a constant amplitude from the low linear density recording area to the high linear density recording area, and a signal with small waveform interference and no reading error can be obtained.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】磁気シールドを配置し
てMRヘッドの分解能を高めるためには、シールド幅を
MR検出幅より大きくする必要がある。しかし、シール
ド幅が大きくなると隣接トラックからのクロストークの
危険が高くなる。
In order to increase the resolution of an MR head by disposing a magnetic shield, it is necessary to make the shield width larger than the MR detection width. However, as the shield width increases, the risk of crosstalk from adjacent tracks increases.

【0005】図3は幅8μmのMR検出部、幅100μ
m、厚さ1μmのシールドをもつシールド型MRヘッド
のオフトラック特性の一例である。
FIG. 3 shows an MR detector having a width of 8 μm and a width of 100 μm.
5 is an example of off-track characteristics of a shield type MR head having a shield of m and a thickness of 1 μm.

【0006】オフトラック特性は、記録ヘッドにより磁
気ディスク上に作成されたトラック幅8μm,記録密度
15KFCIのトラックに対し、シールド型MRヘッド
をトラック幅方向にずらしたときの再生出力として測定
されている。再生出力はMR検出部がトラックの真上に
きたとき(図3におけるX=0の点)、極大値をとって
いる。
The off-track characteristic is measured as a reproduction output when a shield type MR head is shifted in the track width direction with respect to a track having a track width of 8 μm and a recording density of 15 KFCI created on a magnetic disk by a recording head. . The reproduction output has a maximum value when the MR detection unit comes right above the track (X = 0 in FIG. 3).

【0007】図3のオフトラック特性からMRの検出部
とトラックが十分離れていても、トラックがシールドの
下にある場合にはシールドを通してMR検出部に磁束が
流れ、出力が生じてしまうこと、及びその出力がMRの
検出部とトラックの距離に殆ど依存しないことがわか
る。
From the off-track characteristics shown in FIG. 3, even when the track is sufficiently away from the MR detecting section, if the track is under the shield, magnetic flux flows through the shield to the MR detecting section, causing output to occur. It can also be seen that the output hardly depends on the distance between the MR detector and the track.

【0008】通常、記録信号は、図4のように、媒体上
の複数のトラック上に記録され、各トラックはガードバ
ンドで区切られている。
Usually, a recording signal is recorded on a plurality of tracks on a medium as shown in FIG. 4, and each track is separated by a guard band.

【0009】従って、図3のようなオフトラック特性を
持つMRヘッドにおいては、オントラック以外のトラッ
クからの出力がノイズとなって含まれるため、クロスト
ークが大きくなってしまう。クロストーク量を
Accordingly, in the MR head having the off-track characteristic as shown in FIG. 3, since the output from the tracks other than the on-track is included as noise, the crosstalk increases. The amount of crosstalk

【0010】[0010]

【数1】 (Equation 1)

【0011】と定義すると、トラック幅8μm,ガード
バンド4μmの条件で、図3の特性を持つヘッドのクロ
ストーク量は−19dBであり、信頼性の観点から必要
とされる−25dBに達していない。逆に、クロストー
ク量を小さくするためにはトラック間隔(ガードバン
ド)を大きくしなくてはならず、高記録密度化に対して
甚だ不利である。
Under the conditions that the track width is 8 μm and the guard band is 4 μm, the crosstalk amount of the head having the characteristics shown in FIG. 3 is −19 dB, which does not reach −25 dB required from the viewpoint of reliability. . Conversely, in order to reduce the amount of crosstalk, it is necessary to increase the track interval (guard band), which is extremely disadvantageous for increasing the recording density.

【0012】本発明の目的は、上記クロストークが装置
から要求されるレベルより小さく高トラック密度に適
し、かつ、分解能の高いヘッドを得ることにある。
It is an object of the present invention to obtain a head having a high resolution with the above-mentioned crosstalk being smaller than the level required by the apparatus and suitable for a high track density.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は、非磁性基板上
に、軟磁性下シールド層,下シールド間ギャップ層,磁
気抵抗効果素子,上シールド間ギャップ層,軟磁性上シ
ールド層を積層した構造を有し、磁気記録媒体上のガー
ドバンドで区切られたトラック上に記録された信号を読
み出す磁気抵抗効果ヘッドにおいて、前記軟磁性下シー
ルド層及び軟磁性上シールド層の厚さが3μm以上であ
ることを特徴とする。
According to the present invention, a soft magnetic lower shield layer, a lower shield gap layer, a magnetoresistive element, an upper shield gap layer, and a soft magnetic upper shield layer are laminated on a non-magnetic substrate. A magnetoresistive head for reading signals recorded on tracks separated by guard bands on a magnetic recording medium, wherein the soft magnetic lower shield layer and the soft magnetic upper shield layer have a thickness of 3 μm or more. There is a feature.

【0014】[0014]

【作用】図3のようにMRの検出部とトラックが十分離
れたところで出力が生じるのは、トラックからの磁束が
シールドを介してMRの検出部に流れ込んでいるためで
ある。
The output is generated when the track is sufficiently away from the MR detector as shown in FIG. 3 because the magnetic flux from the track flows into the MR detector through the shield.

【0015】図5は、幅100μm,厚さ1μmのシー
ルドを持つMRヘッドのMRの検出部にかかる磁界のオ
フトラック依存性を示す計算結果である。図3の実験結
果と同じオフトラック依存性を示していることから、こ
の磁界がクロストーク出力の原因であることがわかる。
FIG. 5 is a calculation result showing the off-track dependence of the magnetic field applied to the MR detecting portion of the MR head having a shield having a width of 100 μm and a thickness of 1 μm. Since the same off-track dependency as the experimental result in FIG. 3 is shown, it is clear that this magnetic field is the cause of the crosstalk output.

【0016】図6は、オフトラック量が25μmである
時の、この磁界のシールド厚さ依存性を示している。シ
ールドが厚くなるほどシールドに吸収される磁束が大き
くなるため、MRの検出部にかかる磁界は小さくなる。
クロストーク量を小さくするためには、この磁界を小さ
くすることが有効である。先に述べたようにシールドの
厚さが1μmのとき、クロストーク量は装置化に要求さ
れる値より6dB大きな値であった。よってクロストー
ク量を6dB低減させるためには、MR素子にかかる磁
界を2分の1以下にする必要がある。図6より、これは
シールドの厚さを3μm以上にすることにより達成さ
れ、クロストークが小さく高トラック密度化に適したシ
ールド型MRヘッドを得ることができる。
FIG. 6 shows the dependence of the magnetic field on the shield thickness when the off-track amount is 25 μm. Since the magnetic flux absorbed by the shield increases as the thickness of the shield increases, the magnetic field applied to the MR detection unit decreases.
In order to reduce the amount of crosstalk, it is effective to reduce this magnetic field. As described above, when the thickness of the shield is 1 μm, the crosstalk amount is 6 dB larger than the value required for realizing the device. Therefore, in order to reduce the amount of crosstalk by 6 dB, it is necessary to reduce the magnetic field applied to the MR element to half or less. According to FIG. 6, this is achieved by setting the thickness of the shield to 3 μm or more, and it is possible to obtain a shield type MR head having small crosstalk and suitable for high track density.

【0017】[0017]

【実施例】図1は本発明の実施例1を示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention.

【0018】まず、セラミックの非磁性基板上に厚さ3
μmのパーマロイを用いた下シールド5が、メッキ法に
より成膜され、イオンミリングにより幅100μmにパ
ターン化される。その上に、厚さ0.4μmのSiO2
を用いた下シールド間ギャップ7がスパッタリング法に
より成膜される。さらに、厚さ0.04μmのパーマロ
イ膜よりなるMR膜1と、厚さ0.02μmのTi膜よ
りなるシャント膜2、及び厚さ0.05μmのCoZr
Mo膜よりなるバイアス膜3が積層されたMR素子がス
パッタリング法により成膜される。CoZrMo膜3
は、パーマロイ膜1と磁気的に結合してバイアスを与
え、パーマロイ膜1の磁気抵抗効果が検出される。Ti
膜2は、パーマロイ膜1とCoZrMo膜3を磁気的に
分離する。その上に、厚さ0.2μmのAuを用いた電
極4が蒸着法により成膜され、フォトリソグラフィー技
術とイオンエッチング技術を用いてMR素子と電極4が
同時にパターン化される。次に、MR素子の検出部分8
μmのみ、電極4が化学エッチングにより除去される。
さらに、厚さ0.3μmのSiO2 膜を用いた上シール
ド間ギャップ8がスパッタリング法により成膜され、そ
の上に、厚さ3μmのパーマロイを用いた上シールド6
がメッキ法により成膜され、フォトリソグラフィー技術
とイオンエッチング技術を用いて幅100μmのパター
ンに形成される。
First, on a ceramic non-magnetic substrate, a thickness of 3
A lower shield 5 using a permalloy of μm is formed by a plating method, and is patterned to a width of 100 μm by ion milling. On top of this, 0.4 μm thick SiO 2
Is formed by a sputtering method. Further, an MR film 1 made of a permalloy film having a thickness of 0.04 μm, a shunt film 2 made of a Ti film having a thickness of 0.02 μm, and CoZr having a thickness of 0.05 μm
An MR element on which a bias film 3 made of a Mo film is laminated is formed by a sputtering method. CoZrMo film 3
Is magnetically coupled to the permalloy film 1 to give a bias, and the magnetoresistance effect of the permalloy film 1 is detected. Ti
The film 2 magnetically separates the permalloy film 1 and the CoZrMo film 3. An electrode 4 using Au having a thickness of 0.2 μm is formed thereon by a vapor deposition method, and the MR element and the electrode 4 are simultaneously patterned using photolithography technology and ion etching technology. Next, the detection portion 8 of the MR element
Only for μm, the electrode 4 is removed by chemical etching.
Further, a gap 8 between upper shields using an SiO 2 film having a thickness of 0.3 μm is formed by a sputtering method, and an upper shield 6 using a permalloy having a thickness of 3 μm is formed thereon.
Is formed by a plating method, and is formed into a pattern having a width of 100 μm using a photolithography technique and an ion etching technique.

【0019】本実施例1においては、MR検出幅は8μ
m、シールド厚は3μmであり、同様にして、シールド
厚が1.6μmであるヘッドを作成し、それぞれ、比較
例1,実施例2とした。
In the first embodiment, the MR detection width is 8 μm.
m, and the shield thickness was 3 μm. Similarly, heads having a shield thickness of 1.6 μm were prepared, and they were used as Comparative Example 1 and Example 2, respectively.

【0020】これらのシールド型MRヘッドを用いて、
トラック幅8μm,ガードバンド幅4μmのディスクに
対して測定を行った。オントラックに15KFCI、他
のトラックに10KFCIの記録密度で信号を記録し、
スペクトルアナライザーにより、両者の出力の差をクロ
ストーク量として測定したところ、表1の結果が得られ
た。
Using these shield type MR heads,
The measurement was performed on a disk having a track width of 8 μm and a guard band width of 4 μm. A signal is recorded at a recording density of 15 KFCI on an on-track and 10 KFCI on another track,
When the difference between the two outputs was measured as the amount of crosstalk by a spectrum analyzer, the results in Table 1 were obtained.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】表1より、本発明の実施例のシールド型M
Rヘッドは、クロストーク量が−25dB以下であり、
低クロストークのヘッドであることがわかる。一方、本
発明で定まる値より、シールドが薄いヘッドにおいて
は、クロストーク量が−25dB以上になってしまい、
装置化が困難であることが分かる。
As shown in Table 1, the shield type M according to the embodiment of the present invention is shown.
The R head has a crosstalk amount of −25 dB or less,
It can be seen that the head has low crosstalk. On the other hand, in a head with a thinner shield than the value determined by the present invention, the crosstalk amount becomes -25 dB or more,
It turns out that it is difficult to implement the device.

【0023】次に、実施例3としてトラック幅とMR検
出幅が等しくない例を示す。
Next, as a third embodiment, an example in which the track width and the MR detection width are not equal will be described.

【0024】実施例1と同様にして作製されたMR検出
幅4μm,シールド幅30μm,シールド厚3μmのシ
ールド型MRヘッドを用いて、トラック幅5μm,ガー
ドバンド幅1μmのディスクに対して測定を行ったとこ
ろ、クロストーク量は−26.1dBであった。本実施
例より、トラック幅とMR検出幅が等しくない場合につ
いても本発明が適用されることがわかる。
Using a shield type MR head having an MR detection width of 4 μm, a shield width of 30 μm, and a shield thickness of 3 μm manufactured in the same manner as in Example 1, measurement was performed on a disk having a track width of 5 μm and a guard band width of 1 μm. As a result, the crosstalk amount was −26.1 dB. From this example, it can be seen that the present invention is also applied to the case where the track width and the MR detection width are not equal.

【0025】次に、実施例4としてシャントバイアス法
を用いた例を示す。図2は、シャントバイアス法を用い
る磁気抵抗効果ヘッドの斜視図である。本実施例ではM
R素子はパーマロイでできたMR膜1とTiでできたシ
ャント膜2だけからできており、Ti膜に流れる電流に
より生じる磁界がバイアス磁界となる。MR検出幅8μ
m,シールド幅50μmのシールド型MRヘッドを用い
て、トラック幅8μm,ガードバンド幅4μmのディス
クに対して測定を行ったところ、クロストーク量は−2
8.2dBであった。本実施例より、シャントバイアス
法によるシールド型MRヘッドにおいても、本発明が適
用されることがわかる。
Next, an example using a shunt bias method will be described as a fourth embodiment. FIG. 2 is a perspective view of a magnetoresistive head using a shunt bias method. In this embodiment, M
The R element is composed of only the MR film 1 made of permalloy and the shunt film 2 made of Ti, and a magnetic field generated by a current flowing through the Ti film becomes a bias magnetic field. MR detection width 8μ
When a measurement was performed on a disk having a track width of 8 μm and a guard band width of 4 μm using a shield type MR head having a shield width of 50 μm and a shield width of 50 μm, the crosstalk amount was −2.
It was 8.2 dB. This example shows that the present invention is also applied to a shield type MR head using the shunt bias method.

【0026】また、本発明で得られた結果が、実施例で
示したソフトフィルムバイアス法,シャントバイアス法
以外のバイアス法についても成り立つことは言うまでも
ない。
It is needless to say that the results obtained by the present invention are also valid for bias methods other than the soft film bias method and the shunt bias method shown in the examples.

【0027】なお、上記実施例では、シールドとしてパ
ーマロイを用いたが、他の軟磁性材料であっても同様の
効果が得られる。
In the above embodiment, permalloy is used as the shield, but the same effect can be obtained with other soft magnetic materials.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上のように、本発明による磁気抵抗効
果ヘッドにおいては、クロストークが小さく高トラック
密度化に適した磁気抵抗効果ヘッドを得ることができ
る。
As described above, in the magneto-resistance effect head according to the present invention, it is possible to obtain a magneto-resistance effect head having small crosstalk and suitable for high track density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例1の磁気抵抗効果ヘッドを示す
斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a magnetoresistive effect head according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例4の磁気抵抗効果ヘッドを示す
斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a magnetoresistive effect head according to a fourth embodiment of the present invention.

【図3】シールド型MRヘッドのオフトラック特性を表
す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating off-track characteristics of a shield type MR head.

【図4】媒体面に対し垂直な方向から見た媒体とヘッド
の図である。
FIG. 4 is a diagram of a medium and a head viewed from a direction perpendicular to a medium surface.

【図5】磁気抵抗効果ヘッドの検出部にかかる磁界のオ
フトラック量依存性を表す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating the off-track amount dependency of a magnetic field applied to a detection unit of a magneto-resistance effect head.

【図6】磁気抵抗効果ヘッドの検出部にかかる磁界のシ
ールド厚依存性を表す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a shield thickness dependence of a magnetic field applied to a detection unit of the magnetoresistive head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 MR膜 2 シャント膜 3 バイアス膜 4 電極 5 下シールド 6 上シールド 7 下シールド間ギャップ 8 上シールド間ギャップ 9 MR検出部 10 トラック 11 ガードバンド Reference Signs List 1 MR film 2 Shunt film 3 Bias film 4 Electrode 5 Lower shield 6 Upper shield 7 Lower shield gap 8 Upper shield gap 9 MR detector 10 Track 11 Guard band

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】非磁性基板上に、軟磁性下シールド層,下
シールド間ギャップ層,磁気抵抗効果素子,上シールド
間ギャップ層,軟磁性上シールド層を積層した構造を有
し、磁気記録媒体上のガードバンドで区切られたトラッ
ク上に記録された信号を読み出す磁気抵抗効果ヘッドに
おいて、前記軟磁性下シールド層及び軟磁性上シールド
層の厚さが3μm以上であることを特徴とする磁気抵抗
効果型ヘッド。
A magnetic recording medium having a structure in which a soft magnetic lower shield layer, a lower shield gap layer, a magnetoresistive element, an upper shield gap layer, and a soft magnetic upper shield layer are laminated on a non-magnetic substrate. A magnetoresistive head for reading signals recorded on tracks separated by an upper guard band, wherein the thickness of the lower soft magnetic shield layer and the upper soft magnetic shield layer is 3 μm or more. Effect type head.
JP18670291A 1991-07-26 1991-07-26 Magnetoresistive head Expired - Lifetime JP2800484B2 (en)

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