JP2798465B2 - Method and apparatus for manufacturing quartz glass cylinder - Google Patents
Method and apparatus for manufacturing quartz glass cylinderInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、石英ガラス製シリンダーの製造法及び装置
に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a quartz glass cylinder.
（従来の技術） 従来より、例えば半導体工業の分野における炉心管等
の部材や光ファイバー用素材等として石英ガラス製チュ
ーブ（管）が使用されている。(Prior Art) Conventionally, for example, a tube (tube) made of quartz glass has been used as a member such as a furnace tube or a material for an optical fiber in the field of semiconductor industry.
この石英ガラス製チューブ（管）を製造するため、従
来においては、一般に中実の石英ガラスロッドを製造し
てこれより石英ガラス製の中空筒状の部材（一般に「シ
リンダー」と称している）をコアドリルでドリリングす
ることで削り出し、この中間材であるシリンダーを例え
ば軟化温度まで加熱して肉厚の薄いチューブを形成する
ことによっている。シリンダーをチューブにする方法と
しては例えば実公昭55−35297号に記載の方法が例示さ
れる。In order to produce this quartz glass tube (tube), conventionally, a solid quartz glass rod is generally produced, and a hollow cylindrical member (generally referred to as a "cylinder") made of quartz glass is conventionally produced. This is done by drilling with a core drill and cutting the cylinder, which is an intermediate material, to a softening temperature to form a thin-walled tube. As a method of forming a cylinder into a tube, for example, a method described in Japanese Utility Model Publication No. 55-35297 is exemplified.
（発明が解決しようとする課題） しかし上記した中実の石英ガラスロッドをドリリング
してシリンダーを削り出す従来法によると、石英ガラス
ロッドの中芯部分はシリンダーとして利用されないた
め、製品化のための原材料の歩留まりがその分低下する
ことが避けられないという問題がある他、ドリリングの
結果、得られたシリンダーの内表面には無数のマイクロ
クラックが発生し、このマイクロクラックに研削オイ
ル，研削屑が付着するため、これを除去するための酸処
理等が必要になって作業工程数が増加する問題がある。
またこのマイクロクラックが、最終的な製品の表面状態
の悪化を招くという問題もある。(Problems to be Solved by the Invention) However, according to the above-mentioned conventional method of drilling a solid quartz glass rod and shaving a cylinder, the core of the quartz glass rod is not used as a cylinder, so that it is necessary to commercialize it. In addition to the problem that the yield of raw materials is inevitably reduced, drilling results in countless microcracks on the inner surface of the obtained cylinder, and this microcrack contains grinding oil and grinding debris. Since it adheres, acid treatment or the like for removing it is required, and there is a problem that the number of work steps increases.
There is also a problem that the microcracks cause deterioration of the surface condition of the final product.
本発明者等は、このよう石英シリンダーを作製する場
合も従来法の問題点を解消するために鋭意検討を重ね、
石英ガラスロッドをドリリングによらずにシリンダーと
する本発明を開発するに至った。The present inventors have conducted intensive studies in order to solve the problems of the conventional method even when manufacturing such a quartz cylinder,
The present invention has been developed in which a quartz glass rod is used as a cylinder without drilling.
このような研究、開発の結果に基づいてなされた本発
明の目的は、材料の歩留まりがよく、資源の有効な利用
が実現される石英ガラス製シリンダーの製造法及び装置
を提供するところにある。An object of the present invention, which has been made based on the results of such research and development, is to provide a method and an apparatus for manufacturing a quartz glass cylinder which achieves a good material yield and realizes effective use of resources.
また本発明の別の目的は、シリンダー内表面のマイク
ロクラックの発生を招くことがなく、従ってこのマイク
ロクラックに付着した研削オイル，研削屑の除去工程を
不要とでき、またマイクロクラックの発生を防止するこ
とで最終製品の表面状態の悪化を招くことのない石英ガ
ラス製シリンダーの製造法及び装置を提供するところに
ある。Another object of the present invention is to prevent the occurrence of microcracks on the inner surface of the cylinder, so that the step of removing grinding oil and grinding debris attached to the microcracks can be eliminated, and the occurrence of microcracks can be prevented. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a quartz glass cylinder, which do not deteriorate the surface condition of the final product.
さらにまた本発明の別の目的は、シリンダーの周方向
に関する肉厚を平均化することによって、石英ガラス製
チューブの製造に際して、肉厚のバラツキの少ない最終
製品を作り出すことに適した石英ガラス製シリンダーの
製造法及び装置を提供するところにある。Still another object of the present invention is to provide a quartz glass cylinder suitable for producing a final product having a small thickness variation in the manufacture of a quartz glass tube by averaging the wall thickness in the circumferential direction of the cylinder. And an apparatus for producing the same.
（課題を解決するための手段） 上記した種々の目的を実現するための本発明よりなる
石英ガラス製シリンダーの製造法の特徴は、円柱状の石
英ガラスロッドをその長尺軸を中心として回転させなが
ら、その石英ガラスロッドの先端を加熱軟化させ、ロッ
ド先端面の中心部に穿孔用部材の先鋭端を係合させて該
先端の周縁を該穿孔用部材に対して回転引き抜きすると
ころにある。(Means for Solving the Problems) A feature of the method for manufacturing a quartz glass cylinder according to the present invention for realizing the above various objects is that a cylindrical quartz glass rod is rotated about its long axis. Meanwhile, the tip of the quartz glass rod is heated and softened, and the sharp end of the drilling member is engaged with the center of the rod tip surface, and the peripheral edge of the tip is rotationally pulled out with respect to the drilling member.
またかかる方法を好適に実現するためには提供する本
発明の石英ガラス製シリンダーの製造装置の特徴は、円
柱状の石英ガラスロッドをその長尺軸を中心として回転
させながら支持する回転支持手段と、該石英ガラスの先
端を加熱軟化させる加熱手段と、加熱軟化した石英ガラ
スロッドの先端面の周縁に同心的に融着される筒状のダ
ミーシリンダー部材と、このダミーシリンダー部材を軸
心回りに回転させるダミーシリンダー回転手段と、該ダ
ミーシリンダーの筒内を通し上記石英ガラスロッド先端
の加熱軟化位置で該ロッド先端面の中心部に係合する先
鋭端をもった棒状の固定穿孔手段と、上記石英ガラスロ
ッド及びダミーシリンダー部材を、固定穿孔手段に対し
それぞれ予め定めた速度で穿孔方向に移動させる移動手
段とを備えたという構成をなすところにある。Further, in order to suitably realize such a method, the feature of the quartz glass cylinder manufacturing apparatus of the present invention to be provided is a rotation supporting means for supporting a cylindrical quartz glass rod while rotating it around its long axis. Heating means for heating and softening the tip of the quartz glass, a cylindrical dummy cylinder member concentrically fused to the periphery of the tip surface of the heated and softened quartz glass rod, and the dummy cylinder member around the axis. A dummy cylinder rotating means for rotating, a rod-shaped fixed perforating means having a sharp end which engages with the center of the tip end surface of the quartz glass rod at a heating softening position through the inside of the cylinder of the dummy cylinder; Moving means for moving the quartz glass rod and the dummy cylinder member in the drilling direction at a predetermined speed with respect to the fixed drilling means. In the place that makes the formation.
上記固定穿孔手段は、例えば固定の棒状部材の先端に
円錐形の先鋭先端を有する駒を組み付けることによって
構成させることができる。The fixed perforation means can be constituted by, for example, assembling a piece having a conical sharp tip to the tip of a fixed rod-shaped member.
また本発明の装置は、筒状のダミーシリンダー部材の
内部に棒状の固定穿孔手段を調心させる調心手段を設け
ることによって、工業的な装置として特に好適に実施で
きる。このような調心手段により穿孔工程の初期におい
て加工すべき石英ガラスロッドの中心に調心されてシリ
ンダーの肉厚平均化に有益となるからである。なお穿孔
工程の開始後においては穿孔部材とガラスロッド先端と
の係合の関係で自律的な調心作用が働くため、整形する
シリンダーの肉厚を平均化する目的の下では、初期的な
調心を実現すれば足りる。The apparatus of the present invention can be particularly suitably implemented as an industrial apparatus by providing a centering means for centering a rod-shaped fixed perforating means inside a cylindrical dummy cylinder member. This is because the centering means is centered at the center of the quartz glass rod to be processed in the early stage of the drilling process, which is useful for averaging the thickness of the cylinder. After the start of the drilling process, an autonomous centering action is performed due to the engagement between the punching member and the tip of the glass rod. Therefore, in order to average the thickness of the cylinder to be shaped, the initial adjustment is performed. Realizing the heart is enough.
（作用） 本発明の石英ガラス製シリンダー製造法及び装置は、
前記の構成をなすことによって、ロッドから、切削法に
よらず筒状のチューブを作り出すことができる。(Function) The method and apparatus for manufacturing a quartz glass cylinder according to the present invention include:
With the above configuration, a cylindrical tube can be produced from the rod regardless of the cutting method.
（実施例） 以下本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。(Examples) Hereinafter, the present invention will be described based on examples shown in the drawings.
第１図は本発明を実施するための石英ガラス製シリン
ダー製造装置の一例の概要を示した図であり、この図に
おいて、１は入り口側ベッド、３は出口側ベッドを示
し、これらの間に誘導加熱方式の加熱炉２が配置されて
いる。FIG. 1 is a view showing an outline of an example of a quartz glass cylinder manufacturing apparatus for carrying out the present invention. In this figure, 1 indicates an entrance side bed, 3 indicates an exit side bed, and A heating furnace 2 of an induction heating system is provided.
４は上記入り口側ベッド１の上に図の左右方向の移動
が可能に設けられた第１の主軸送りテーブルであり、該
テーブルの一側に設けられたチャック６に、被加工物で
ある長尺の石英ガラス製ロッド10をキャッキングして、
図示しない回転駆動機構により図の23回りに石英ガラス
製ロッド10を回転させるようになっている。なお長尺の
石英ガラス製ロッドの姿勢安定のために、入り口側ベッ
ド１の上には、サポートローラ17が設けられている。な
お本例におけるこのサポートローラ17は図の符号21、22
の方向にその位置が調整できるようになっている。Reference numeral 4 denotes a first spindle feed table provided on the entrance side bed 1 so as to be movable in the left-right direction in the figure, and a chuck 6 provided on one side of the table is provided with a long workpiece serving as a workpiece. Caulking the quartz glass rod 10 of the length,
The quartz glass rod 10 is rotated around 23 in the figure by a rotation drive mechanism (not shown). A support roller 17 is provided on the entrance-side bed 1 for stabilizing the posture of the long quartz glass rod. The support rollers 17 in this example are denoted by reference numerals 21 and 22 in the drawing.
The position can be adjusted in the direction of.
またこの第１の主軸送りテーブル４は、図示しない移
動機構によって図の符号19方向に所定の速度で送り移動
されるようになっている。Further, the first spindle feed table 4 is fed by a moving mechanism (not shown) at a predetermined speed in a direction 19 in the figure.
上記のようにして第１の主軸送りテーブル４及びサポ
ートローラ17により支持された石英ガラス製ロッド10の
先端（図の右端）は、図示の如く加熱炉２の内部に置か
れ、コイル2aに所定の交流が通電されることで発熱体
（黒鉛）12aが発熱して石英ガラス製ロッドを軟化点ま
で加熱（約2000℃）するようになっている。The tip (right end in the figure) of the quartz glass rod 10 supported by the first spindle feed table 4 and the support roller 17 as described above is placed inside the heating furnace 2 as shown in FIG. When the alternating current is applied, the heating element (graphite) 12a generates heat and heats the quartz glass rod to the softening point (about 2000 ° C.).
他方、出口側ベッド３の上にはもう一つの第２の主軸
送りテーブル７が設けられていて、その両端チャック8,
9の一方である加熱炉側の回転駆動チャック８には、石
英ガラス製のダミーシリンダー11が組み付け支持され、
図の符号24方向に駆動回転されるようになっている。ま
たこの石英ガラス製のダミーシリンダー11の先端は、加
熱炉２の発熱体12aと一体に設けられている引き抜き用
のダイス12bに外周嵌合すると共に、その先端（図の左
端）は上記被加工物である石英ガラス製ロッド10の先端
面に同心的に融着するようになっている。なおこの第２
の主軸送りテーブル７は、図示しない移動機構によって
図の符号20方向に所定の速度で送り移動されるようにな
っている。On the other hand, another second spindle feed table 7 is provided on the outlet side bed 3, and its both ends chucks 8,
A dummy cylinder 11 made of quartz glass is mounted and supported on the rotary drive chuck 8 on the heating furnace side, which is one of the components 9.
It is designed to be driven and rotated in the direction indicated by reference numeral 24 in the figure. The tip of the dummy cylinder 11 made of quartz glass is fitted around the drawing die 12b provided integrally with the heating element 12a of the heating furnace 2, and the tip (the left end in the figure) is processed as It is configured to be fused concentrically to the tip end surface of a quartz glass rod 10 as an object. This second
The spindle feed table 7 is fed by a moving mechanism (not shown) at a predetermined speed in the direction indicated by reference numeral 20 in the figure.
16は出口側ベッド３の上に固定された固定台であり、
これに一端が支持された固定軸14は、上記第２の主軸送
りテーブル７に回転自在に支持されている他端側チャッ
ク９に二つ割りカラー15を介して固定され、上記シリン
ダー11の筒内を通して、先端の穿孔用駒（プラグ）13
が、被加工物である石英ガラス製ロッドの先端面に係合
するように設けられている。上記穿孔用駒13の部分は石
英ガラス製ロッドが軟化温度まで加熱されることから、
上記固定軸14は二重管構に設けることで適当な水冷構造
とすることが好ましい。16 is a fixed base fixed on the exit side bed 3,
A fixed shaft 14 having one end supported thereon is fixed to the other end side chuck 9 rotatably supported by the second spindle feed table 7 via a split collar 15, and passes through the cylinder of the cylinder 11. , Tip drilling piece (plug) 13
Is provided so as to engage with the tip end surface of a quartz glass rod which is a workpiece. Since the portion of the drilling piece 13 is heated to the softening temperature of the quartz glass rod,
It is preferable that the fixed shaft 14 is provided in a double pipe structure to have an appropriate water cooling structure.
なお本例においては上記穿孔用駒13を石英ガラス製ロ
ッド10の先端面軸心に調心的に係合させるように、第２
図で説明するようにダミーシリンダー11内に嵌装した振
れ止め具（調心手段）18を設けている。この振れ止め具
18の嵌装組み付けは、例えば固定軸14の先端側から二つ
割りのカラーを嵌装係合させた後、固定軸14の先端に穿
孔用駒13を組みつけることで所定位置に配置させること
ができる。ここで上記固定軸14を片持ちした場合の先端
のたわみは理論的にはλ＝Wl3/3EIで与えられ、このた
わみがあるとロッドを穿孔する初期的な階段で駒13が該
ロッドの中心に定まらずにシリンダーの端部で肉厚の一
定しない部分を生ずることがあるが、上記のように振り
止め具18を組み付けることで、良好な形寸法精度、肉厚
の平均化が得られる利点がある。In the present example, the second drilling piece 13 is engaged with the second axis so that the drilling piece 13 is axially engaged with the axis of the distal end surface of the quartz glass rod 10.
As shown in the drawing, a steady rest (aligning means) 18 fitted in the dummy cylinder 11 is provided. This steady rest
The fitting assembly 18 can be arranged at a predetermined position by, for example, fitting and engaging a split collar from the distal end side of the fixed shaft 14 and then assembling the drilling piece 13 at the distal end of the fixed shaft 14. . Here, the deflection of the tip when the fixed shaft 14 is cantilevered is theoretically given by λ = Wl 3 / 3EI, and when there is this deflection, the piece 13 is moved by the initial steps for drilling the rod. There is a case where the thickness is not constant at the end of the cylinder without being set at the center, but by assembling the anti-vibration member 18 as described above, it is possible to obtain good shape / dimension accuracy and average thickness. There are advantages.
以上のような構成の石英ガラス製シリンダーの製造装
置を用いて、ロッドからシリンダーを製造する場合につ
いて説明する。A case where a cylinder is manufactured from a rod using the manufacturing apparatus of a quartz glass cylinder configured as described above will be described.
まず、入り口側ベッド１上の第１の主軸送りテーブル
４及び出口側ベッド３上の第２の主軸送りテーブル７を
図の左右方向についての移動を拘束したまま、石英ガラ
ス製ロッド10とダミーシリンダー11の端部を同心的な状
態で突き合わせ、回転させながら加熱炉２で両者を軟化
点まで加熱して融着させる。First, while the first spindle feed table 4 on the entrance side bed 1 and the second spindle feed table 7 on the exit side bed 3 are restrained from moving in the horizontal direction in the figure, the quartz glass rod 10 and the dummy cylinder The ends 11 are abutted concentrically, and both are heated to the softening point in the heating furnace 2 while rotating to fuse them.
またこの際、穿孔用駒13を有する固定軸はダミーシリ
ンダー11の内部に予め嵌装しておき、該穿孔用駒13の先
鋭端をロッドの先端中心に係合させる。At this time, the fixed shaft having the drilling piece 13 is fitted in the dummy cylinder 11 in advance, and the sharp end of the drilling piece 13 is engaged with the center of the tip of the rod.
次に、ロッドが引き抜き成形が可能な加熱状態になっ
ていることを確認して、第１の主軸送りテーブル４及び
第２の主軸送りテーブル７を予め定めた送り速度で、ロ
ッド及びダミーシリンダーの回転を継続させながら移動
を開始させる。このような工程により、第３図に示すご
とくロッド10及びダミーシリンダー11の送りの相対的速
度差、及び回転の速度差に従って、いわゆる引き抜き成
形と同様の状態で、ロッド10からシリンダー11が成形さ
れる。Next, it is confirmed that the rod is in a heating state in which pultruding can be performed, and the first spindle feed table 4 and the second spindle feed table 7 are moved at a predetermined feed rate to the rod and the dummy cylinder. Start moving while continuing rotation. By such a process, as shown in FIG. 3, the cylinder 11 is formed from the rod 10 in a state similar to the so-called pultrusion according to the relative speed difference between the feed of the rod 10 and the dummy cylinder 11 and the speed difference of the rotation. You.
なお第３図においては12bは形成されるシリンダーの
外径を決めることになるダイスを示しているが、この成
形加工においては該ダイス12bの消耗が最も激しいこと
に鑑み、このダイスを、ダイス基部12cと、ダイス基部1
2cに対し第４図に示した穿孔（引抜き）方向の反対方向
からの嵌装、抜き出しが可能なダイス本体12bとに分割
して設けることも好ましい。成形時にダイス本体12bに
作用する軸方向の力は穿孔（引抜き）方向の力だけであ
るから、ダイス本体12bの組み付け構造は一方向の抜け
止めを達成することで十分である。したがってその交換
は容易である。In FIG. 3, reference numeral 12b denotes a die which determines the outer diameter of the cylinder to be formed. In view of the fact that the die 12b is consumed most in this molding process, this die is replaced with a die base. 12c and die base 1
It is also preferable to provide the die 2c separately from the die main body 12b which can be fitted and withdrawn from the direction opposite to the drilling (drawing) direction shown in FIG. Since the axial force acting on the die body 12b at the time of molding is only a force in the punching (pulling) direction, it is sufficient for the mounting structure of the die body 12b to achieve one-way retaining. Therefore, the replacement is easy.
以上のような手順によって成形される石英ガラス製シ
リンダーは、従来法のようにドリリングにより中実のロ
ッドを研削するものでないために、石英ガラス製ロッド
の材料の実質的に全てをシリンダー形成に利用でき、製
品の歩留まりに優れる。また研削法によらないためにシ
リンダーの内部にマイクロクラックが発生せず、その後
処理が不要となるなどの優れた効果がある。Since the quartz glass cylinder formed by the above procedure does not grind a solid rod by drilling unlike the conventional method, substantially all of the material of the quartz glass rod is used for cylinder formation. It is possible to have excellent product yield. In addition, since there is no grinding method, there is an excellent effect that microcracks do not occur inside the cylinder and no subsequent processing is required.
なお本発明は上記実施例に限定されるものではなく種
々の変更した態様で実施できることは言うまでもない。
例えば第５図に示したように、ダイス本体12bを加熱炉
と一体の固定発熱体12aから機構的に分離し、炉体25の
フランジ26に組み付けたベアリング27を介して回転フラ
ンジ29を回転自在に設けると共に、この回転フランジ29
をチェーン31を介してモータ32でダミーシリンダー11と
同期回転させるようにすることもできる。このようにす
れば、被加工物とダイスの相対的な摺擦が大幅に低減さ
れるという利点がある。更にまた固定軸14を、周方向に
関してはダミーシリンダー11と同時回転させるようにす
ることもでき、これによって内周部分における固定部分
と回転部分の相対的な摺擦が大幅に低減される利点があ
る。It is needless to say that the present invention is not limited to the above embodiment, but can be implemented in various modified forms.
For example, as shown in FIG. 5, the die body 12b is mechanically separated from the fixed heating element 12a integral with the heating furnace, and the rotating flange 29 is rotatable via a bearing 27 attached to the flange 26 of the furnace body 25. And the rotating flange 29
Can be synchronously rotated with the dummy cylinder 11 by the motor 32 via the chain 31. This has the advantage that the relative rubbing between the workpiece and the die is significantly reduced. Furthermore, the fixed shaft 14 can also be rotated simultaneously with the dummy cylinder 11 in the circumferential direction, which has the advantage that the relative sliding friction between the fixed portion and the rotating portion in the inner peripheral portion is greatly reduced. is there.
（発明の効果） 以上述べたように、本発明の石英ガラス製シリンダー
の製造方法及び装置によれば、材料の歩留まりがよく、
資源の有効利用が実現でき石英ガラス製シリンダーを提
供することができるという効果がある。(Effects of the Invention) As described above, according to the method and apparatus for manufacturing a quartz glass cylinder of the present invention, the yield of materials is good,
There is an effect that resources can be effectively used and a quartz glass cylinder can be provided.
また、本発明の製造法及び装置によれば、シリンダー
内表面のマイクロクラックの発生を招くことがなく、従
ってこのマイクロクラックに付着した研削オイル，研削
屑の除去工程を不要にできるという効果があり、更にま
た、マイクロクラックの発生を防止することで最終製品
の表面状態の悪化を招くことのない石英ガラス製シリン
ダーを提供できるという効果もある。Further, according to the manufacturing method and the apparatus of the present invention, there is an effect that the generation of microcracks on the inner surface of the cylinder does not occur, and thus the step of removing the grinding oil and the grinding debris attached to the microcracks can be eliminated. Furthermore, by preventing the occurrence of microcracks, there is an effect that it is possible to provide a quartz glass cylinder which does not cause deterioration of the surface condition of the final product.
また本発明の製造法及び装置によれば、シリンダーの
周方向に関する肉厚を平均化することで石英ガラス製チ
ューブの製造に際して肉厚のバラツキの少ない最終製品
を作り出すことに適した石英ガラス製シリンダーを提供
できるという効果もある。Further, according to the production method and the apparatus of the present invention, a quartz glass cylinder suitable for producing a final product having a small thickness variation in the production of a quartz glass tube by averaging the thickness in the circumferential direction of the cylinder. There is also an effect that can be provided.
また本発明装置は、被加工材料をシリンダー部材とす
れば、該シリンダー部材の内部に気体圧力を加えてその
まま（但し穿孔用駒、固定軸等は不要）チューブの製造
装としても併用できるという利点がある。したがって逆
に言えば特にシリンダー製造装置を特別に設備すること
なく、本発明装置によって、石英ガラス製チューブ製造
装置と石英ガラス製シリンダー製造装置とを同時に設備
できることになり、使用時において部分的な変更使用を
行なうのみで足りるという利点がある。このような設備
的な共通性は工業的な規模において極めて高い有用性を
もたらすことは言うまでもない。In addition, the apparatus of the present invention can be used as a tube manufacturing device by applying gas pressure to the inside of the cylinder member (however, a drilling piece, a fixed shaft, etc. are unnecessary) if the material to be processed is a cylinder member. There is. In other words, conversely, the apparatus of the present invention enables simultaneous installation of a quartz glass tube manufacturing apparatus and a quartz glass cylinder manufacturing apparatus without special installation of a cylinder manufacturing apparatus, and a partial change in use. There is an advantage that it suffices to just use it. Needless to say, such facility commonality brings extremely high utility on an industrial scale.
第１図は本発明よりなる石英ガラス製シリンダーの製造
装置の構成概要一例を示した図、第２図は出口側ベッド
及び第２の主軸送りテーブルの部分を拡大して示した
図、第３図は引き抜き穿孔部分の構造を更に拡大して示
した図、第４図は引き抜き穿孔部分の他の例の構造を示
した図、第５図は引き抜き穿孔部分の更に他の例の構造
を示した図である。 1:入り口側ベッド、2:加熱炉 3:出口側ベッド 4:第１の主軸送りテーブル 5,6:チャック 7:第２の主軸送りテーブル 8,9:チャック 10:石英ガラス製ロッド 11:ダミーシリンダー 13:穿孔用駒、14:固定軸 16:固定台、17:サポートローラ 18:振れ止め具FIG. 1 is a view showing an example of a configuration outline of a quartz glass cylinder manufacturing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged view showing a portion of an outlet side bed and a second spindle feed table, and FIG. The figure shows a further enlarged view of the structure of the withdrawn hole, FIG. 4 shows the structure of another example of the withdrawn hole, and FIG. 5 shows the structure of still another example of the withdrawn hole. FIG. 1: Inlet bed, 2: Heating furnace 3: Outlet bed 4: First spindle feed table 5, 6: Chuck 7: Second spindle feed table 8, 9: Chuck 10: Quartz glass rod 11: Dummy Cylinder 13: drilling piece, 14: fixed shaft 16: fixed base, 17: support roller 18: steady rest
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 平３−111537（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭55−35297（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 23/04 - 23/18 C03B 20/00──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References Japanese Utility Model 3-111537 (JP, U) Japanese Utility Model 55-35297 (JP, Y2) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) C03B 23/04-23/18 C03B 20/00
Claims (3)
中心として回転させながら、その石英ガラスロッドの先
端を加熱軟化させ、ロッド先端面の中心部に穿孔用部材
の先鋭端を係合させて該先端の周縁を該穿孔用部材に対
して回転引き抜きすることを特徴とする石英ガラス製シ
リンダーの製造法。An end of a quartz glass rod is heated and softened while rotating a cylindrical quartz glass rod about its long axis, and a sharp end of a drilling member is engaged with a center portion of the rod end surface. A method of manufacturing a quartz glass cylinder, wherein the peripheral edge of the tip is rotationally pulled out with respect to the drilling member.
中心として回転させながら支持する回転支持手段と、該
石英ガラスの先端を加熱軟化させる加熱手段と、加熱軟
化した石英ガラスロッドの先端面の周縁に同心的に融着
される筒状のダミーシリンダー部材と、このダミーシリ
ンダー部材を軸心回りに回転させるダミーシリンダー回
転手段と、該ダミーシリンダーの筒内を通し上記石英ガ
ラスロッド先端の加熱軟化位置で該ロッド先端面の中心
部に係合する先鋭端をもった棒状の固定穿孔手段と、上
記石英ガラスロッド及びダミーシリンダー部材を、固定
穿孔手段に対しそれぞれ予め定めた速度で穿孔方向に移
動させる移動手段とを備えたことを特徴とする石英ガラ
ス製シリンダーの製造装置。2. A rotating support means for supporting a cylindrical quartz glass rod while rotating about its long axis, a heating means for heating and softening the tip of the quartz glass, and a tip of the heated and softened quartz glass rod. A cylindrical dummy cylinder member fused concentrically to the periphery of the surface, dummy cylinder rotating means for rotating the dummy cylinder member about an axis, and a tip of the quartz glass rod passing through the inside of the cylinder of the dummy cylinder; At the heating softening position, the rod-shaped fixed perforating means having a sharp end engaged with the center of the rod tip surface, and the quartz glass rod and the dummy cylinder member are perforated at predetermined speeds relative to the fixed perforating means. And a moving unit for moving the quartz glass cylinder.
ー部材の内部に、棒状の固定穿孔手段を調心させる調心
手段を設けたことを特徴とする石英ガラス製シリンダー
の製造装置。3. An apparatus for manufacturing a quartz glass cylinder according to claim 2, wherein a centering means for centering the rod-shaped fixed perforating means is provided inside the cylindrical dummy cylinder member.
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| JP2046048A JP2798465B2 (en) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | Method and apparatus for manufacturing quartz glass cylinder |
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|---|---|
| JPH03247525A JPH03247525A (en) | 1991-11-05 |
| JP2798465B2 true JP2798465B2 (en) | 1998-09-17 |
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| JP (1) | JP2798465B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6474108B2 (en) * | 1998-02-03 | 2002-11-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Fiber preform method with a hot drill-in step for a Ge-doped tube and an F-doped rod |
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- 1990-02-27 JP JP2046048A patent/JP2798465B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US6474108B2 (en) * | 1998-02-03 | 2002-11-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Fiber preform method with a hot drill-in step for a Ge-doped tube and an F-doped rod |
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| JPH03247525A (en) | 1991-11-05 |
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