JP2743957B2 - Method for manufacturing anisotropic conductive sheet - Google Patents

Method for manufacturing anisotropic conductive sheet

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JP2743957B2 JP6019193A JP6019193A JP2743957B2 JP 2743957 B2 JP2743957 B2 JP 2743957B2 JP 6019193 A JP6019193 A JP 6019193A JP 6019193 A JP6019193 A JP 6019193A JP 2743957 B2 JP2743957 B2 JP 2743957B2
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anisotropic conductive
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、各種回路基板間や電子
部品と回路基板の電気的接続に用いられる異方導電シー
トの製造方法、特には表面実装型IC(以下ICとい
う)のもつピッチと面積の小さなアウターリード電極
(以下リード電極という)を、検査装置がもつ回路基板
上のパターン電極に対面させて接続するのに好適な異方
導電シートの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an anisotropic conductive sheet used for electrical connection between various circuit boards or between an electronic component and a circuit board, and more particularly to a pitch of a surface mount IC (hereinafter referred to as IC). The present invention relates to a method for manufacturing an anisotropic conductive sheet suitable for connecting an outer lead electrode (hereinafter referred to as a lead electrode) having a small area to a pattern electrode on a circuit board of an inspection device.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体および半導体関連技術の進歩によ
り、高性能のICチップが開発され、これを回路基板上
に高密度に搭載できるようになった実装技術の進歩が、
各種電子機器、例えばワープロ、パソコン、メモリーカ
ード等の高集積化、軽量化、コンパクト化に大きく貢献
している。これらのICは適切な設計が施され、管理さ
れた工程で製造されているが、ときに不具合を生じるこ
とがあるので、高い信頼性を求められる高集積化された
ICは全数検査されるのが一般的である。かかるICの
樹脂パッケージは多種多様化しているので、これらの検
査、実装には従来よりICソケット、異方導電シート等
が使用されている。
2. Description of the Related Art Advances in semiconductors and semiconductor-related technologies have led to the development of high-performance IC chips, which have become possible to mount IC chips at high density on circuit boards.
It greatly contributes to high integration, light weight, and compactness of various electronic devices such as word processors, personal computers, and memory cards. Although these ICs are properly designed and manufactured in a controlled process, they sometimes fail, so highly integrated ICs that require high reliability are 100% tested. Is common. Since resin packages for such ICs are diversified, IC sockets, anisotropic conductive sheets, and the like have been conventionally used for inspection and mounting.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】通常ICソケットは、
ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリスルホン
(PSF)、ポリエーテルスルホン(PES)等にガラ
スファイバーを添加したエンジニアリングプラスチック
を射出成形して作られたソケット本体に、Auめっきし
たりん青銅、ベリリウム銅などの銅合金系ばね材料より
なる接触子を多数圧入固定しており、これらの接触子を
介してICソケットに装着されたICのリード電極と回
路基板のパターン電極とが電気的に接続される。しかし
て接触子には、ICのリード電極と接続する際に所定の
接触圧力を保持させるため、弾性を生じる屈曲部が設け
られている。
Generally, an IC socket is
Au-plated phosphor bronze, beryllium copper, and other copper on a socket body made by injection molding an engineering plastic made of glass fiber added to polybutylene terephthalate (PBT), polysulfone (PSF), polyethersulfone (PES), etc. A large number of contacts made of an alloy spring material are press-fitted and fixed, and the lead electrodes of the IC mounted on the IC socket and the pattern electrodes of the circuit board are electrically connected via these contacts. Thus, the contact is provided with a bent portion that generates elasticity in order to maintain a predetermined contact pressure when connected to the lead electrode of the IC.

【0004】このようなICソケットは、接続の安定
性、ICのバーンインテストといった耐熱試験における
高い信頼性を有するため広く使用されているが、以下に
述べるような問題がある。すなわち、ICの高集積化に
伴い、リード電極が多ピン、低ピッチ化し、現在では
0.3mmピッチの程度まで進んできたので、従来より
細くかつ薄くなり、強度が低下してきた。このようなリ
ード電極をもつICの検査にICソケットを使用する
と、加わる接触圧力に対する強度の不足から、リード電
極は変形したり破損し易い。
[0004] Such IC sockets are widely used because they have high connection stability and high reliability in heat resistance tests such as IC burn-in tests, but have the following problems. That is, with the increase in the integration of ICs, the number of lead electrodes has been reduced and the pitch has been reduced. At present, the lead electrodes have been advanced to a pitch of about 0.3 mm. When an IC socket is used to inspect an IC having such a lead electrode, the lead electrode is likely to be deformed or damaged due to insufficient strength against applied contact pressure.

【0005】特にICソケットにICをセットする際に
は、四隅のテーパー付きガイドを使って落とし込むた
め、多少のずれにより、浮き方向(上下方向)に曲がり
を生じ、接続が不安定になり信頼性が低下する。さらに
ソケット本体は、前記したようにエンジニアリングプラ
スチックを射出成形して製造されるが、前記したような
低ピッチのリード電極をもつIC用になると、ソケット
本体の仕切り板(セパレータ)が非常に薄くなるため、
成形用の金型がより精密で複雑になり、その結果非常に
高価なものとなりコストが増大してしまう。以上のよう
な問題により従来のICソケットは、低ピッチのリード
電極をもつICに対応できないのが現状である。
In particular, when setting an IC in an IC socket, since the IC is dropped by using tapered guides at the four corners, a slight displacement causes bending in the floating direction (vertical direction), resulting in unstable connection and reliability. Decrease. Further, the socket body is manufactured by injection molding of engineering plastic as described above. However, in the case of an IC having a low pitch lead electrode as described above, the partition plate (separator) of the socket body becomes very thin. For,
The molding dies become more precise and complex, resulting in very expensive and increased costs. Due to the problems described above, the conventional IC socket cannot currently handle an IC having a low-pitch lead electrode.

【0006】また最近携帯電話、通信機器、コンピュー
ター等に高周波信号を処理するICが頻繁に使用される
ようになったが、これらのICの検査を従来のICソケ
ットで行う場合、接触子が屈曲部を有しているため導通
経路が長く、インダクタンスが大きくなり動作不良を起
こす場合が少なくない。
Recently, ICs for processing high-frequency signals have been frequently used in mobile phones, communication devices, computers, and the like. However, when such ICs are inspected using a conventional IC socket, the contacts are bent. Because of the presence of the portion, the conduction path is long, the inductance is increased, and an operation failure often occurs.

【0007】つぎに異方導電シートは、通常シート状の
電気絶縁性エラストマー層中に、その厚み方向に平行に
金属細線を多数埋設した構造からなり、このシートを対
面するICのリード電極と回路基板等のパターン電極間
に挟持して両者を電気的に接続し、ICの検査等を行う
もので、前記ICソケットの問題点を改善できるものと
して利用されてきた。
Next, the anisotropic conductive sheet has a structure in which a large number of fine metal wires are buried in a sheet-like electrically insulating elastomer layer in a direction parallel to the thickness direction of the sheet. It is sandwiched between pattern electrodes such as a substrate and electrically connected to each other to perform IC inspection and the like, and has been used as a device capable of improving the problem of the IC socket.

【0008】前記したような構造の異方導電シートを得
るには、一つの方法として、(a)シート状の電気絶縁
性エラストマー層の一面に、金属細線を一定ピッチで配
列固定した後、この複合シートを、金属細線が平行でか
つ電気絶縁性エラストマー層と金属細線が交互に重なる
よう多数積層一体化し、この積層体を金属細線に直角に
シート状に切断する。他の方法として、(b)一方が金
属細線で他方がポリエチレンテレフタレート(PET)
のモノフィラメント等よりなる電気絶縁性細線(以下絶
縁性細線という)をメッシュ状に織り込んで作製した交
織布を、シート状の電気絶縁性エラストマー層に貼り合
せ複合化したのち、この複合シートを、金属細線が平行
でかつ電気絶縁性エラストマー層と金属細線が交互に重
なるよう多数積層一体化し、この積層体を金属細線の方
向に直角にシート状に切断する方法が採用されている。
In order to obtain an anisotropic conductive sheet having the above-mentioned structure, one method is as follows. (A) After arranging and fixing fine metal wires at a constant pitch on one surface of a sheet-like electrically insulating elastomer layer, A large number of composite sheets are laminated and integrated such that the thin metal wires are parallel and the electrically insulating elastomer layer and the thin metal wires alternately overlap, and the laminate is cut into a sheet at right angles to the thin metal wires. As another method, (b) one is a thin metal wire and the other is polyethylene terephthalate (PET)
A cross-woven fabric prepared by weaving an electrically insulative thin wire (hereinafter referred to as an insulative thin wire) made of a monofilament or the like into a mesh shape is laminated to a sheet-like electrically insulative elastomer layer to form a composite. A method is adopted in which a large number of thin wires are stacked and integrated so that the electrically insulating elastomer layer and the thin metal wires alternately overlap, and the laminate is cut into a sheet at right angles to the direction of the thin metal wires.

【0009】ところが、(a)の方法では、金属細線を
シート状の電気絶縁性エラストマー層上に規則正しく配
列するのに手間がかかり、かつ低ピッチに配列するのが
きわめて困難であるという問題がある。(b)の方法は
(a)の方法に比べ、金属細線の配列が容易で、その低
ピッチ配列が可能という長所があるものの、 でき上
がった異方導電シート内に絶縁性細線を含むため、シー
トの弾性が低下し、ICのリード電極と回路基板のパタ
ーン電極とを接続する際の接触圧力が大きくなり、低ピ
ッチのリード電極をもつICに使用できない、 異方
導電シートの切断面上に前記した絶縁性細線の切断部分
が残るため、ICのリード電極や回路基板のパターン電
極との接触が不安定となり、接続の信頼性が低下するな
どの問題点がある。
However, in the method (a), it is troublesome to regularly arrange the thin metal wires on the sheet-like electrically insulating elastomer layer, and it is extremely difficult to arrange them at a low pitch. . The method (b) has the advantage that the arrangement of the fine metal wires is easier and the lower pitch arrangement is possible as compared with the method (a). However, since the resulting anisotropic conductive sheet contains the insulating thin wires, the sheet is used. The contact pressure when connecting the lead electrode of the IC and the pattern electrode of the circuit board is increased, and cannot be used for an IC having a low pitch lead electrode. Since the cut portion of the insulating thin wire remains, there is a problem that contact with the lead electrode of the IC or the pattern electrode of the circuit board becomes unstable and the reliability of the connection is reduced.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記したよう
な従来の欠点を解決し、表面実装型ICのピッチ、面積
が小さなリード電極を、回路基板のパターン電極に簡単
かつ安定に接続してICを検査できるうえ、接続の際に
ICのリード電極を変形することのない低圧縮荷重の異
方導電シートの製造方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the prior art, and simply and stably connects a lead electrode having a small pitch and area of a surface mount IC to a pattern electrode of a circuit board. It is an object of the present invention to provide a method for producing an anisotropic conductive sheet having a low compressive load and capable of inspecting an IC by using the same and not deforming a lead electrode of the IC at the time of connection.

【0011】本発明は、この目的を達成するもので、こ
れは、下記の第1〜5工程からなることを特徴とする、
特には表面実装型ICのアウターリード電極と回路基板
のパターン電極とを相対面させて接続するための異方導
電シートの製造方法を要旨とする。 第1工程 導電性細線(好ましくは縦糸とする)と、水溶性の電気
絶縁性細線(好ましくは横糸とする)とからメッシュ状
の交織布を形成する。 第2工程 基材上に形成した電気絶縁性エラストマー層に前記交織
布を貼り合せ固定し第1の複合シートを形成する。 第3工程 第1の複合シート内の水溶性の電気絶縁性細線を、水ま
たは温水で溶解除去し第2の複合シートを形成する。 第4工程 多数の第2の複合シートから基材をとり除いて、それら
の導電性細線の導電方向を揃えて好ましくは平行で、電
気絶縁性エラストマー層と導電性細線が交互に重なるよ
うに積層一体化し、積層体を形成する。 第5工程 積層体を、導電性細線の導電方向の所定面内、好ましく
は直角にシート状に切断してシートを形成する。なお第
1〜5工程のあとに、 第6工程 シートの両切断面に突出した導電性細線の部に金属めっ
きを施すを追加することは任意である。
The present invention achieves this object, and comprises the following first to fifth steps.
In particular, a gist of the present invention is a method of manufacturing an anisotropic conductive sheet for connecting an outer lead electrode of a surface-mounted IC and a pattern electrode of a circuit board with facing each other. First Step: A mesh-shaped cross-woven fabric is formed from a conductive thin wire (preferably warp) and a water-soluble electrically insulating fine wire (preferably weft). 2nd process The said interwoven fabric is bonded and fixed to the electrically insulating elastomer layer formed on the base material to form a first composite sheet. Third step The water-soluble electrically insulating fine wires in the first composite sheet are dissolved and removed with water or hot water to form a second composite sheet. Fourth step: The base material is removed from a large number of the second composite sheets, and the conductive directions of the conductive thin wires are aligned and preferably parallel to each other. Integrate to form a laminate. Fifth Step The laminate is cut into a sheet in a predetermined plane, preferably at a right angle, in the conductive direction of the conductive thin wire to form a sheet. After the first to fifth steps, it is optional to add a step of performing metal plating on the portions of the conductive thin wires protruding from both cut surfaces of the sheet after the sixth step.

【0012】つぎに本発明の異方導電シートの製造方法
の各工程を図によって説明する。 第1工程 図1(a),(b)に示すように、整経機における縦糸
として使用する導電性細線1と整経機における横糸とし
て使用する絶縁性細線2とをメッシュ状に製織して交織
布3を得る。製織には汎用の織機が利用できるが、スク
リーン印刷用メッシュを製造する織機を使用すれば、導
電性細線1は300メッシュ程度まで微細にすることが
可能である。導電性細線1としては金属線、導電性合成
樹脂線、カーボンファイバー、導電性エラストマーより
なる線、またはこれらやガラスファイバーの金属メッキ
加工線などを使用できるが、細線化が可能で、高導電
性、高強度を有し、コスト的にも有利なりん青銅線、ベ
リリウム銅線などが望ましい。また線径に特に制限はな
いが、交織布3の紗厚を薄くするためおよびリード電極
等に対し安定な接触が得られ、かつ接続する際の圧縮荷
重をできるだけ小さくするため10〜50μmが望まし
い。このものは必要に応じてその表面を接着剤処理され
て用いられる。また、絶縁性細線2としては水溶性のポ
リビニルアルコール等の合成樹脂線を使用するが、製織
に適する強度を有する水溶性ビニロンのモノフィラメン
トやマルチフィラメントが好適である。
Next, each step of the method for producing an anisotropic conductive sheet of the present invention will be described with reference to the drawings. First Step As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), a conductive thin wire 1 used as a warp in a warper and an insulating thin wire 2 used as a weft in a warper are woven into a mesh. The mixed fabric 3 is obtained. A general-purpose weaving machine can be used for weaving, but if a weaving machine that manufactures a mesh for screen printing is used, the conductive fine wire 1 can be made fine to about 300 mesh. As the conductive thin wire 1, a metal wire, a conductive synthetic resin wire, a carbon fiber, a wire made of a conductive elastomer, or a metal-plated wire of these or a glass fiber can be used. A bronze wire, beryllium copper wire, or the like, which has high strength and is advantageous in cost, is desirable. The wire diameter is not particularly limited, but is preferably 10 to 50 μm in order to reduce the gauze thickness of the interwoven cloth 3 and to obtain a stable contact with the lead electrode and the like and to minimize the compressive load when connecting. . This material is used after its surface is treated with an adhesive, if necessary. A synthetic resin wire such as water-soluble polyvinyl alcohol is used as the thin insulating wire 2, and a monofilament or multifilament of water-soluble vinylon having a strength suitable for weaving is preferable.

【0013】第2工程 つぎに図1(c)に示すように、電気絶縁性エラストマ
ーをカレンダー成形機、Tダイ押出成形機、また材料が
液状の場合は各種コーティングマシーンを用いて基材4
上に薄膜状に加工して電気絶縁性エラストマー層5を形
成した後、前記交織布3とラミネートすることにより、
第1の複合シート6を得る。前記電気絶縁性エラストマ
ーとしては、天然ゴム、合成ゴム、熱可塑性エラストマ
ーなどを使用できるが、耐熱性が高くシート状に形成し
易いシリコーンゴムがもっとも好ましい。この中に導電
性細線1との接着性を向上させるために接着成分を添加
するのは任意である。前記電気絶縁性エラストマーとし
てシリコーンゴムを使用した場合、第1の複合シート6
は、カレンダー成形機によりPETシートなどの基材4
上にトッピングを行ってシリコーンゴム層をシート状に
形成し、これと交織布3をラミネートして簡単に得られ
る。
Second step Next, as shown in FIG. 1 (c), the electrically insulating elastomer is converted into a base material 4 by using a calendering machine, a T-die extruder or, when the material is in a liquid state, various coating machines.
After processing into a thin film to form an electrically insulating elastomer layer 5 thereon, by laminating with the interwoven fabric 3,
A first composite sheet 6 is obtained. As the electrically insulating elastomer, natural rubber, synthetic rubber, thermoplastic elastomer, and the like can be used, and silicone rubber, which has high heat resistance and is easily formed into a sheet, is most preferable. It is optional to add an adhesive component therein to improve the adhesion to the conductive thin wire 1. When silicone rubber is used as the electrically insulating elastomer, the first composite sheet 6
Is a substrate 4 such as a PET sheet by a calendering machine.
The silicone rubber layer is formed into a sheet by topping, and the obtained fabric is easily laminated by laminating the mixed fabric 3 with the silicone rubber layer.

【0014】第3工程 つぎに前記第1の複合シート6内の水溶性の絶縁性細線
2を、水または温水または蒸気(必要に応じて添加され
る少量のメタノール、エタノール等極性の強い溶剤の混
在は許容できる。電気的特性を劣化させない程度の界面
活性剤を併用してもよい)により溶解除去して、図1
(d)に示す第2の複合シート7が簡単に得られる。
Third Step Next, the water-soluble insulating fine wire 2 in the first composite sheet 6 is treated with water or hot water or steam (a small amount of a highly polar solvent such as methanol or ethanol added as necessary). (It is acceptable to use a surfactant in an amount that does not degrade the electrical characteristics.)
The second composite sheet 7 shown in (d) is easily obtained.

【0015】第4工程 ついで、前記第2の複合シート7を所定の寸法に裁断
し、基材4を剥離除去した後、図1(e)に示すよう
に、導電性細線1の導電方向を揃えて、好ましくは平行
に、かつ電気絶縁性エラストマー層5と導電性細線1が
交互になるように多数積層し、成形一体化して積層体8
を得る。導電性細線1は縦糸のため波状に絶えず方向を
変えているが、この導電方向は図に示す平均した一点鎖
線の方向である。
Fourth Step Next, the second composite sheet 7 is cut into a predetermined size, and after the base material 4 is peeled off, as shown in FIG. 1 (e), the conductive direction of the conductive thin wire 1 is changed. A large number of the laminates 8 are laminated, preferably in parallel, and laminated in such a manner that the electrically insulating elastomer layer 5 and the conductive thin wire 1 are alternately formed.
Get. The direction of the conductive thin wire 1 is constantly changed in a wavy manner due to the warp, and the conductive direction is the direction of the average dashed line shown in the figure.

【0016】第5工程 つづいてこの積層体8を、導電性細線1の導電方向に所
定の面内、好ましくは垂直面にシート状に切断し、電気
絶縁性エラストマー層5中に導電性細線1のみが埋設さ
れた本発明の異方導電シート9(図1(f)参照)が得
られる。
Fifth Step Subsequently, the laminate 8 is cut into a sheet in a predetermined plane, preferably a vertical plane, in the conductive direction of the conductive fine wire 1, and the conductive fine wire 1 is cut into the electrically insulating elastomer layer 5. An anisotropic conductive sheet 9 of the present invention (see FIG. 1 (f)) in which only the buried conductive sheet is buried is obtained.

【0017】第6工程 さらに必要に応じて接続の信頼性の向上と接続抵抗値の
安定化のために、得られたシートの両切断面上に突出し
ている導電性細線1の部分に金などの金属めっき処理を
施すことにより、より一層接続抵抗値の安定した異方導
電シートが得られる。
Sixth step Further, if necessary, in order to improve the connection reliability and stabilize the connection resistance value, a portion of the conductive thin wire 1 protruding on both cut surfaces of the obtained sheet is made of gold or the like. By performing the metal plating treatment described above, an anisotropic conductive sheet having a more stable connection resistance value can be obtained.

【0018】こうして得た異方導電シート9は、図1
(f)に示すように、IC10のリード電極11と回路
基板12上のパターン電極13の間に挟持して両電極を
接続する。
The anisotropic conductive sheet 9 thus obtained is shown in FIG.
As shown in (f), both electrodes are connected to be sandwiched between the lead electrode 11 of the IC 10 and the pattern electrode 13 on the circuit board 12.

【0019】[0019]

【作用】このような本発明の製造方法によれば、導電性
細線と絶縁性細線で織った交織布をシート状の電気絶縁
性エラストマー層上に貼り合わせるので、導電性細線を
配列する工程が簡略化されるとともに、高密度の配列が
容易で、ピッチと面積の小さなリード電極をもつICの
接続が可能な異方導電シートが得られる。
According to the manufacturing method of the present invention, the cross-woven fabric woven by the conductive thin wires and the insulating thin wires is bonded onto the sheet-like electrically insulating elastomer layer, so that the step of arranging the conductive thin wires is performed. An anisotropic conductive sheet that is simplified, can be easily arranged at high density, and can be connected to an IC having lead electrodes with a small pitch and area is obtained.

【0020】またこの異方導電シートの内部には絶縁性
細線が含まれないので、ICのリード電極を接続する際
リード電極に加わる圧縮荷重が小さくなり、小さなピッ
チと面積のリード電極の曲がりや損傷を生じることなく
接続してICを検査することが可能となる。さらに、異
方導電シートの導通経路がICソケットの場合に比べ短
いので、高周波信号を処理するICの検査にも使用が可
能である。
Since the insulating thin wires are not contained in the anisotropic conductive sheet, the compressive load applied to the lead electrodes when connecting the lead electrodes of the IC is reduced, and the bending and bending of the lead electrodes having a small pitch and area are reduced. It is possible to connect and inspect the IC without causing damage. Further, since the conduction path of the anisotropic conductive sheet is shorter than that of an IC socket, it can be used for inspection of an IC for processing a high-frequency signal.

【0021】[0021]

【実施例】【Example】

第1工程 縦糸に直径が40μmのりん青銅線、横糸
に30デニールの水溶性ビニロン繊維モノフィラメント
・MLタイプ((株)ニチビ製、商品名)を用いてスク
リーンメッシュ用の製織機により平織りし、燐青銅が2
50メッシュ、水溶性ビニロン繊維が100メッシュの
交織布を得た。
First step: Plain weave with a screen mesh weaving machine using a phosphor bronze wire having a diameter of 40 μm for the warp and a 30 denier water-soluble vinylon fiber monofilament / ML type (trade name, manufactured by Nichibi Co., Ltd.) for the weft. Bronze is 2
A 50-mesh, 100-mesh water-soluble vinylon fiber mixed fabric was obtained.

【0022】第2工程 つぎに、厚さが50μmのP
ETシートの光沢面上に、硬度が68°Hであるシリコ
ーンゴムコンパウンド・KE−702BU(信越化学工
業(株)製、商品名)100重量部に、パーオキサイド
系加硫剤・C−3(信越化学工業(株)製、商品名)3
重量部を添加し、混練して得たシリコーンゴム組成物
を、カレンダー成形機により100μmの厚さに分出し
した。ついで、このシリコーンゴム組成物上に前記交織
布を重ね合わせラミネートし、第1の複合シートを作製
した。
Second step Next, a P having a thickness of 50 μm
On a glossy surface of the ET sheet, 100 parts by weight of a silicone rubber compound having a hardness of 68 ° H, KE-702BU (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and a peroxide-based vulcanizing agent, C-3 ( Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., product name) 3
A silicone rubber composition obtained by adding parts by weight and kneading was kneaded to a thickness of 100 μm using a calendering machine. Subsequently, the above-mentioned woven fabric was overlapped and laminated on this silicone rubber composition to produce a first composite sheet.

【0023】第3工程 この第1の複合シートの交織
布面上の水溶性ビニロン繊維を、80℃の温水を用いて
溶解除去した後、乾燥して水分を取り除き、第2の複合
シートを得た。
Third step The water-soluble vinylon fibers on the interwoven fabric surface of the first composite sheet are dissolved and removed using hot water at 80 ° C., and then dried to remove the water, thereby obtaining a second composite sheet. Was.

【0024】第4工程 つぎにこの第2の複合シート
を、縦横100mmに裁断したのち、PET基板を剥離
し、積層機を用いてりん青銅線の導電方向に平行かつシ
リコーンゴム組成物層とりん青銅線が交互に重なるよう
に500枚積層した。ついで、この積層ブロックを16
0℃、1.0kgf/cm2 で5時間加熱加圧成形し、
高さ約50mmの積層体を作製した。
Fourth Step Next, the second composite sheet is cut to 100 mm in length and width, and then the PET substrate is peeled off, and the silicone rubber composition layer, which is parallel to the conductive direction of the phosphor bronze wire, and which is 500 sheets were laminated so that bronze wires were alternately overlapped. Next, this laminated block is
Heat and pressure molding at 0 ° C, 1.0 kgf / cm 2 for 5 hours,
A laminate having a height of about 50 mm was produced.

【0025】第5工程 このようにして作製した積層
体を、回転刃を用いたスライサーにより、りん青銅線の
導電方向に垂直にシート状に切断して、りん青銅線のピ
ッチが縦横100μm、厚さ0.5mmのシートを得
た。
Fifth Step The laminate thus manufactured is cut into a sheet perpendicular to the direction of conduction of the phosphor bronze wire by a slicer using a rotary blade, and the pitch of the phosphor bronze wire is 100 μm vertically and horizontally, and the thickness is 100 μm. A sheet having a thickness of 0.5 mm was obtained.

【0026】第6工程 ついで、このシートに180
℃で2時間の熱処理を施した後、両切断面上に突出した
りん青銅線の部に、金属塩、還元剤、錯化剤、緩衝剤、
安定剤からなるメッキ液を用いた無電解めっき法によ
り、ニッケルを1μm、金を0.3μmの厚みに順次め
っき加工し、最終的な異方導電シートを得た。
Sixth step Then, this sheet is
After a heat treatment at 2 ° C. for 2 hours, the portions of the phosphor bronze wire protruding on both cut surfaces were subjected to metal salt, reducing agent, complexing agent, buffering agent,
Nickel was plated to a thickness of 1 μm and gold to a thickness of 0.3 μm sequentially by an electroless plating method using a plating solution containing a stabilizer to obtain a final anisotropic conductive sheet.

【0027】[0027]

【比較例】横糸に直径30μmのPETのモノフィラメ
ントを使用し、横糸の溶解除去の工程を省略して実施例
と同様の加工を行い、電気絶縁性エラストマー層中に横
糸を残した従来の異方導電シートを作製した。
[Comparative Example] A conventional anisotropic material in which a 30 μm diameter PET monofilament was used for the weft yarn and the same process as in the example was performed except for the step of dissolving and removing the weft yarn, and the weft yarn was left in the electrically insulating elastomer layer. A conductive sheet was produced.

【0028】このようにして得られた2種類の異方導電
シートで、金メッキPC板と、先端部の面積が0.2m
2 のピン形状の金めっきしたリード電極間を圧縮した
ときの圧縮量と圧縮荷重の関係を図2に示す。図3は圧
縮荷重と四端子法による接続抵抗値の関係を示したもの
で、比較例に比べ、実施例の異方導電シートは、低圧縮
荷重による接続が可能であることが確認された。また、
図4は接続抵抗値の分布を示したもので、比較例に比べ
実施例の異方導電シートでは、接続抵抗値が低下し、か
つばらつきが小さいことが確認された。
The two kinds of anisotropic conductive sheets obtained in this manner are each composed of a gold-plated PC plate and a tip area of 0.2 m.
the amount of compression and relation of compressive loads when compressed between the lead electrodes gilded pins shape m 2 shown in FIG. FIG. 3 shows the relationship between the compressive load and the connection resistance value according to the four-terminal method. It was confirmed that the anisotropic conductive sheet of the example can be connected with a low compressive load as compared with the comparative example. Also,
FIG. 4 shows the distribution of the connection resistance values. It was confirmed that the connection resistance values of the anisotropic conductive sheet of the example were lower than those of the comparative example, and the dispersion was small.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、導
電性細線を電気絶縁性エラストマー層上に配列する工程
が簡略化されるとともに、導電性細線の高密度の配列が
可能なため、ピッチ、面積の小さなリード電極をもつI
Cと回路基板の接続が可能な異方導電シートが得られ
る。
As described above, according to the present invention, the step of arranging the conductive thin wires on the electrically insulating elastomer layer is simplified, and the conductive thin wires can be arranged at a high density. I with small pitch and area lead electrodes
An anisotropic conductive sheet capable of connecting C to the circuit board is obtained.

【0030】また、最終的に得られる異方導電シートの
内部には、絶縁性細線が含まれないので異方導電シート
自体が軟らかくなり、ICのリード電極をパターン電極
に接続する際リード電極に加わる圧縮荷重が小さくな
り、リード電極のピッチ、面積の小さなICにおいて
も、リード電極の曲がりや損傷を生じることなく接続し
てICの検査が可能となる。さらに、比較例のように異
方導電シートの両切断面上に絶縁性細線の切断部分が突
出していないので、ICのリード電極と回路基板のパタ
ーン電極との接触性が安定となり、接続の信頼性が向上
する。
Further, since the anisotropic conductive sheet obtained finally does not contain the insulating thin wires, the anisotropic conductive sheet itself becomes soft, and when the lead electrode of the IC is connected to the pattern electrode, the lead electrode is connected to the lead electrode. The applied compressive load is reduced, and even in the case of an IC having a small lead electrode pitch and area, the IC can be inspected by connecting the lead electrodes without bending or damage. Furthermore, since the cut portions of the insulating thin wires do not protrude on both cut surfaces of the anisotropic conductive sheet as in the comparative example, the contact between the lead electrodes of the IC and the pattern electrodes of the circuit board becomes stable, and the reliability of the connection is improved. The performance is improved.

【0031】そのうえ、得られる異方導電シートでIC
のリード電極と回路基板のパターン電極を接続して検査
を行う場合、異方導電シートの導通経路がICソケット
の場合に比べ短いので、高周波信号を処理するICの検
査にも使用が可能である。
In addition, the obtained anisotropic conductive sheet is used
When the inspection is performed by connecting the lead electrode of the circuit board and the pattern electrode of the circuit board, the conduction path of the anisotropic conductive sheet is shorter than that of the IC socket, so that it can be used for the inspection of the IC for processing the high frequency signal. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の異方導電シートの製造工程を示すもの
で、(a)は第1工程により得られた交織布の平面図、
(b)は(a)のX−X線に沿う断面図、(c)は第2
工程により得られた第1の複合シートの断面図、(d)
は第3工程により得られた第2の複合シートの断面図、
(e)は第4工程により得られた積層体の断面図、
(f)は本発明の方法により得た異方導電シートの使用
法の説明図である。
FIG. 1 shows a process for producing an anisotropic conductive sheet of the present invention, wherein (a) is a plan view of a cross-woven fabric obtained in a first step,
(B) is a sectional view taken along line XX of (a), (c) is a second view.
Sectional view of the first composite sheet obtained by the step, (d)
Is a cross-sectional view of the second composite sheet obtained in the third step,
(E) is a cross-sectional view of the laminate obtained in the fourth step,
(F) is an explanatory view of how to use the anisotropic conductive sheet obtained by the method of the present invention.

【図2】実施例および比較例により得られた異方導電シ
ートの圧縮量と圧縮荷重の関係を示したグラフである。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the amount of compression and the compressive load of an anisotropic conductive sheet obtained in Examples and Comparative Examples.

【図3】実施例および比較例により得られた異方導電シ
ートの圧縮荷重と接続抵抗値の関係を示したグラフであ
る。
FIG. 3 is a graph showing a relationship between a compressive load and a connection resistance value of an anisotropic conductive sheet obtained in Examples and Comparative Examples.

【図4】実施例および比較例により得られた異方導電シ
ートの接続抵抗値の分布状態を示したグラフである。
FIG. 4 is a graph showing a distribution state of connection resistance values of anisotropic conductive sheets obtained in Examples and Comparative Examples.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…導電性細線 2…絶縁性細線 3…交織布 4…基材 5…電気絶縁性エラストマー層 6…第1の複合シート 7…第2の複合シート 8…積層体 9…異方導電シート 10…IC 11…リード電極 12…回路基板 13…パターン電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Conductive thin wire 2 ... Insulating thin wire 3 ... Interwoven fabric 4 ... Base material 5 ... Electrical insulating elastomer layer 6 ... 1st composite sheet 7 ... 2nd composite sheet 8 ... Laminate 9 ... Anisotropic conductive sheet 10 ... IC 11 ... Lead electrode 12 ... Circuit board 13 ... Pattern electrode

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−17282(JP,A) 特開 平1−140577(JP,A) 特開 昭61−179014(JP,A) 特開 昭56−156608(JP,A)Continuation of front page (56) References JP-A-4-17282 (JP, A) JP-A-1-140577 (JP, A) JP-A-61-179014 (JP, A) JP-A-56-156608 (JP) , A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】下記の第1〜5工程からなることを特徴と
する異方導電シートの製造方法。 第1工程 導電性細線と水溶性の電気絶縁性細線からメッシュ状の
交織布を形成する。 第2工程 基材上に形成した電気絶縁性エラストマー層に前記交織
布を貼り合せ固定し第1の複合シートを形成する。 第3工程 第1の複合シート内の水溶性の電気絶縁性細線を、水ま
たは温水で溶解除去し第2の複合シートを形成する。 第4工程 多数の第2の複合シートから基材をとり除き、それらの
導電性細線の導電方向を揃え、電気絶縁性エラストマー
層と導電性細線が交互に重なるように積層一体化し積層
体を形成する。 第5工程 積層体を、導電性細線の導電方向の所定面内に切断して
シートを形成する。
1. A method for producing an anisotropic conductive sheet, comprising the following first to fifth steps. First step: A mesh-shaped interwoven fabric is formed from the conductive thin wires and the water-soluble electrically insulating thin wires. 2nd process The said interwoven fabric is bonded and fixed to the electrically insulating elastomer layer formed on the base material to form a first composite sheet. Third step The water-soluble electrically insulating fine wires in the first composite sheet are dissolved and removed with water or hot water to form a second composite sheet. Fourth step: The base material is removed from a large number of the second composite sheets, the conductive directions of the conductive thin wires are aligned, and the electrically insulating elastomer layer and the conductive thin wires are stacked and integrated so that they alternately overlap to form a laminate. I do. Fifth Step The laminate is cut into a predetermined plane in the conductive direction of the conductive thin wire to form a sheet.
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