JP2741889B2 - Gas separation device - Google Patents

Gas separation device

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JP2741889B2
JP2741889B2 JP1068453A JP6845389A JP2741889B2 JP 2741889 B2 JP2741889 B2 JP 2741889B2 JP 1068453 A JP1068453 A JP 1068453A JP 6845389 A JP6845389 A JP 6845389A JP 2741889 B2 JP2741889 B2 JP 2741889B2
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好彦 水島
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トキコ株式会社
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  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は気体分離装置に係り、特にPSA式(Pressure
Swing Adsorption)の気体分離装置に関し、例えば窒素
発生装置又は酸素発生装置として用いて好適な気体分離
装置に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas separation device, and more particularly to a PSA (Pressure type) device.
The present invention relates to a gas separation device suitable for use as, for example, a nitrogen generator or an oxygen generator.

従来の技術 一般に、PSA式気体分離装置は、分子ふるいカーボン
からなる吸着剤を用いて、空気を窒素と酸素に分離し、
いずれか一方を製品ガスとして取出し、使用するもので
ある。
2. Description of the Related Art Generally, a PSA-type gas separation device separates air into nitrogen and oxygen using an adsorbent made of molecular sieve carbon,
One of them is taken out as product gas and used.

このため、例えばPSA式窒素発生装置(全体構成につ
いては、例えば実願昭62−172041参照)にあっては、吸
着剤を充填した吸着塔に圧縮空気を導入して昇圧する吸
着工程と、該吸着塔内を大気開放し又は真空ポンプで減
圧する脱着工程とを繰返し、吸着工程では吸着塔内の吸
着剤に酸素分子を吸着させて、窒素を外部に取出し、一
方脱着工程では吸着された酸素を脱着し、次の吸着工程
に備えるようになっている。(この一連の工程を、以下
OKモードという)。
For this reason, for example, in a PSA type nitrogen generator (for example, see Japanese Utility Model Application No. Sho 62-172041), an adsorption step in which compressed air is introduced into an adsorption tower filled with an adsorbent to increase the pressure, and The desorption step of releasing the inside of the adsorption tower to the atmosphere or depressurizing with a vacuum pump is repeated.In the adsorption step, oxygen molecules are adsorbed by the adsorbent in the adsorption tower, and nitrogen is extracted to the outside. Is desorbed to prepare for the next adsorption step. (This series of steps is described below.
OK mode).

また、高純度の製品ガス(例えば窒素ガス)を起動開
始から短時間で効率良く発生させるため、また運転中に
おいては製品ガス濃度が低下した際速やかに濃度を回復
させるため、吸着工程(但し、製品ガスの製品タンクへ
の吐出は行なわない)後に製品タンク内の製品ガスを吸
着塔内に還流させるようになっている(以下、この工程
をNGモードという。尚、還流工程の詳細については前記
の実願昭62−172041参照)。
In addition, in order to efficiently generate high-purity product gas (for example, nitrogen gas) in a short time from the start of startup, and to recover the product gas concentration promptly during operation during the operation, an adsorption step (however, After the product gas is not discharged into the product tank, the product gas in the product tank is recirculated into the adsorption tower (hereinafter, this process is referred to as NG mode. See Japanese Utility Model Application No. 62-172041).

更に気体分離装置には、温度により製品ガスの濃度変
化が生じないようにコンプレッサからの圧縮空気を除湿
するための空気ドライヤが設けられている(実願昭63−
66388参照)。この空気ドライヤは構造上起動と同時に
除湿を行なうことはできず、5分間程度の準備運動を必
要とする(以下、この工程を準備モードという)。そし
て、この準備モードが終了した後、コンプレッサが起動
し空気ドライヤにより除湿された空気が吸着塔に導入さ
れる構成とされている。
Further, the gas separator is provided with an air dryer for dehumidifying the compressed air from the compressor so that the concentration of the product gas does not change depending on the temperature (Japanese Utility Model Application No. 63-63).
66388). This air dryer cannot perform dehumidification at the same time as startup due to its structure, and requires a preparation exercise for about 5 minutes (hereinafter, this step is referred to as a preparation mode). Then, after the preparation mode ends, the compressor is started and the air dehumidified by the air dryer is introduced into the adsorption tower.

一方、気体分離装置には、製品タンク近傍に製品タン
クに導入される製品ガスの濃度を測定するセンサー(一
般にO2センサを用いる)と、このセンサを含め気体分離
装置を構成する電磁弁、コンプレッサ、空気ドライヤ等
が接続され上記各モードの切換えコントロール等を行な
う制御手段(シーケンサ)が設けられている。
On the other hand, the gas separation device includes a sensor (generally using an O 2 sensor) that measures the concentration of product gas introduced into the product tank near the product tank, a solenoid valve that constitutes the gas separation device including this sensor, and a compressor. A control means (sequencer) for controlling switching between the above modes and the like is provided.

上記構成の従来の気体分離装置(以下、単に装置とい
う)では、始動スイッチがONされるとシーケンサは装置
を準備モードとし、空気ドライヤの準備運動を行ない、
その後センサからの濃度信号によりセーケンサはOKモー
ドとNGモードを適宜切換えて純度の高い製品ガスのみを
製品タンクに供給するように構成されていた。
In the conventional gas separation device having the above configuration (hereinafter simply referred to as a device), when a start switch is turned on, the sequencer puts the device in a preparation mode, performs a preparation movement of the air dryer,
Thereafter, the sequencer was configured to appropriately switch between the OK mode and the NG mode according to the concentration signal from the sensor and supply only the high-purity product gas to the product tank.

発明が解決しようとする課題 しかるに上記従来の装置では、準備モード、OKモー
ド、NGモードの3つのモードしか持っていなかったた
め、次に示すような課題を生じていた。
Problems to be Solved by the Invention However, the above-described conventional apparatus has only three modes: the preparation mode, the OK mode, and the NG mode, and thus has the following problems.

準備モード終了後、吸着等へ空気を供給し、吸着を
行わせても、所定の純度以下の製品ガスが出てくる。こ
れは停止状態では吸着塔内に入っている吸着剤の吸着状
態が吸着・脱着を繰り返している状態(OKモードでの状
態)と違っているために所定の能力を発揮しないためで
ある。またこの所定の能力を出すまでの時間は停止時間
が長くかかる。このためNGモードとなることにより装置
は吸着工程及び還流工程を繰返しやがて所定純度の製品
ガスが発生する。するとセンサはこれを検知し、またセ
ンサからの信号を受けたシーケンサは装置をOKモードと
し製品ガスは直ちに製品タンク内に収納されてゆく。
After the preparation mode ends, even if air is supplied to the adsorption or the like to perform the adsorption, a product gas having a purity equal to or lower than a predetermined purity comes out. This is because in the stopped state, the adsorbing state of the adsorbent contained in the adsorption tower is different from the state in which the adsorbent is repeatedly adsorbed and desorbed (the state in the OK mode), so that the predetermined capacity is not exhibited. In addition, the time required for obtaining the predetermined capability requires a long stopping time. For this reason, by setting the NG mode, the apparatus repeats the adsorption step and the reflux step, and eventually a product gas having a predetermined purity is generated. Then, the sensor detects this, and the sequencer which has received the signal from the sensor puts the device in the OK mode, and the product gas is immediately stored in the product tank.

しかるに、上記のセンサが所定純度を検知した状態
は、製品ガスの濃度がやっと所定値以上となった状態で
あり、この状態で製品ガスを製品タンクに向けて吐出し
吸着塔内の圧力が低下すると製品ガスの濃度はまたすぐ
に所定濃度以下となり装置はNGモードとなる場合があ
る。このように、従来の装置では始動時においてOKモー
ドとNGモードの切換えが頻繁に行なわれ、かつNGモード
で動作する時間が長くかかるため安定した製品ガスの生
成ができないと共に、製品ガス濃度が低下し易いという
課題があった。
However, the state in which the above-mentioned sensor detects the predetermined purity is a state in which the concentration of the product gas has finally reached the predetermined value, and in this state, the product gas is discharged toward the product tank and the pressure in the adsorption tower decreases. Then, the concentration of the product gas immediately becomes lower than the predetermined concentration again, and the apparatus may be in the NG mode. As described above, in the conventional apparatus, switching between the OK mode and the NG mode is frequently performed at the time of startup, and it takes a long time to operate in the NG mode, so that stable product gas cannot be generated and the product gas concentration decreases. There was a problem that it was easy to do.

また、始動後しばらくした運転状態においても、上
記と似た状態が発生する。即ち、運転中製品ガスの濃度
が低下し装置がNGモードとなり、その後製品ガスの使用
量が増大しガス濃度が所定値以上となりOKモードになっ
たとする。この時、塔内の圧力は低下し、これに伴い製
品ガスの濃度が低下し再びNGモードに切換ってしまう。
よって、運転中においてもOKモードとNGモードが頻繁に
切換り(始動時よりは発生件数は少ない)、製品ガス濃
度の低下が生ずる虞れがあるという課題があった。
In addition, a state similar to the above occurs even in an operation state after a while after the start. That is, it is assumed that the concentration of the product gas decreases during operation and the apparatus enters the NG mode, and thereafter, the usage amount of the product gas increases, the gas concentration exceeds a predetermined value, and the apparatus enters the OK mode. At this time, the pressure in the tower decreases, and the concentration of the product gas decreases accordingly, and the mode is switched again to the NG mode.
Therefore, even during operation, the OK mode and the NG mode are frequently switched (the number of occurrences is smaller than at the time of starting), and there is a problem that the product gas concentration may be reduced.

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、純度
の高い製品ガスを安定して生成し得ると共に特に始動時
におけるいわゆる立ち上がり時間を短かくし得る気体分
離装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a gas separation device that can stably generate a high-purity product gas and that can shorten a so-called rise time particularly at the time of startup. .

課題を解決するための手段 上記課題を解決するために、本発明では、 内部に吸着剤が充填された吸着塔に、圧縮した原料気
体を供給し、該吸着剤により生成された製品ガスを取出
し製品タンク内に蓄圧する気体分離装置において、 生成される製品ガスの濃度検出を行なう濃度検出手段
を設けると共に、 吸着工程とこれに続く脱着工程を1サイクルとし、2
サイクルを一単位として作動して上記吸着工程において
上記製品ガスを製品タンクに供給する工程(OKモード)
と、 吸着工程及び還流工程を一単位として作動し、吸着塔
内の製品ガス濃度及び圧力を高める工程(NGモード)
と、 上記製品タンクに対し製品ガスを供給しない点を除き
上記OKモードと同一動作を行なう工程(初期モード)
と、 始めの1サイクル動作において上記製品タンクに対し
製品ガスを供給しなう点を除き上記OKモードと同一動作
を行なう工程(WAモード)とを、上記濃度検出手段から
の濃度検出信号に基づき切換え操作を行なう制御手段を
設けたことを特徴とする。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, in the present invention, a compressed raw material gas is supplied to an adsorption tower filled with an adsorbent, and a product gas generated by the adsorbent is taken out. In a gas separation device that accumulates pressure in a product tank, a concentration detection means for detecting the concentration of product gas to be generated is provided, and the adsorption step and the desorption step following this are defined as one cycle.
Step of supplying the above product gas to the product tank in the above adsorption process by operating the cycle as one unit (OK mode)
And the process of operating the adsorption process and the reflux process as one unit to increase the product gas concentration and pressure in the adsorption tower (NG mode)
And the same operation as in the OK mode except that the product gas is not supplied to the product tank (initial mode)
And a step (WA mode) of performing the same operation as the OK mode except that the product gas is not supplied to the product tank in the first one cycle operation based on the concentration detection signal from the concentration detecting means. Control means for performing the following.

作用 上記構成とされた気体分離装置では、製品ガスの濃度
に基づき装置の状態をOKモード、NGモード、初期モー
ド、WAモードの4つのモードから選定して設定すること
ができる。
Operation In the gas separation device configured as described above, the state of the device can be selected and set from four modes of an OK mode, an NG mode, an initial mode, and a WA mode based on the concentration of the product gas.

OKモードは最初から製品ガスを製品タンクへ供給する
構成となっているため、吸着塔内の圧力及び製品ガス濃
度が十分に上昇している時に選定すべきモードである。
The OK mode is a mode that should be selected when the pressure in the adsorption tower and the product gas concentration are sufficiently increased because the product gas is supplied to the product tank from the beginning.

NGモードは吸着動作と還流動作とを繰返し行なうモー
ドであるため、運転中において吸着塔内の圧力及び製品
ガス濃度の低下が著しい時に選定すべきモードである。
The NG mode is a mode in which the adsorption operation and the reflux operation are repeatedly performed, and thus should be selected when the pressure in the adsorption tower and the product gas concentration significantly decrease during operation.

初期モードはOKモードと同一動作を行なうが生成され
る製品ガスは製品タンクに供給されないため吸着塔内に
残留する。よって吸着塔内の圧力及び製品ガス濃度は急
激に上昇するため、特に始動時に選定すべきモードであ
る。
The initial mode performs the same operation as the OK mode, but the generated product gas remains in the adsorption tower because it is not supplied to the product tank. Therefore, the pressure and product gas concentration in the adsorption tower rapidly increase, and this is a mode that should be selected particularly at the time of starting.

また、WAモードはOKモードにおいて1サイクル終了す
るまで製品ガスの製品タンクへの供給を待つ構成とされ
ており、この1サイクル分だけ吸着塔内の圧力及び製品
ガス濃度は上昇する。よって、WAモードは初期モードか
らOKモードへの切換え時、及びNGモードからOKモードへ
の切換え時に選定すべきモードである。
Further, in the WA mode, the supply of the product gas to the product tank is waited until one cycle is completed in the OK mode, and the pressure and the product gas concentration in the adsorption tower increase by one cycle. Therefore, the WA mode is a mode to be selected when switching from the initial mode to the OK mode and when switching from the NG mode to the OK mode.

実施例 次に本発明の実施例について図面と共に説明する。Embodiment Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本考案になる気体分離装置の一実施例として
の窒素発生装置(以下、単に装置という)の概略構成図
である。尚、本実施例では吸着塔を2本有する装置につ
いて説明する。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a nitrogen generator (hereinafter simply referred to as an apparatus) as one embodiment of a gas separation apparatus according to the present invention. In this embodiment, an apparatus having two adsorption towers will be described.

同図中、1,2は第1、第2の吸着塔で、各吸着塔1,2内
にはそれぞれ分子ふるいカーボン1A,2Aが充填されてい
る。
In the figure, reference numerals 1 and 2 denote first and second adsorption towers, and each of the adsorption towers 1 and 2 is filled with molecular sieve carbon 1A and 2A, respectively.

3は圧縮空気供給源となるコンプレッサで、コンプレ
ッサ3からの圧縮空気は、ドライヤ3a、配管6,7を介し
吸着塔1,2にそれぞれ交互に供給されるようになってお
り、このため該配管6,7の途中にはそれぞれ電磁弁から
なる空気供給用弁8,9が設けられている。
Reference numeral 3 denotes a compressor serving as a compressed air supply source. Compressed air from the compressor 3 is alternately supplied to the adsorption towers 1 and 2 via a dryer 3a and pipes 6 and 7, respectively. Air supply valves 8 and 9 each composed of an electromagnetic valve are provided in the middle of 6 and 7, respectively.

又、コンプレッサ3の上流側に配設された配管4は、
大気中の空気を原料気体として供給するための吸気用配
管であって、コンプレッサ3の吸気側に接続されてい
る。配管4には電磁弁よりなる吸気用弁5が配設されて
おり、この吸気用弁5は装置の作動中開弁している。
Further, the pipe 4 arranged on the upstream side of the compressor 3
An intake pipe for supplying atmospheric air as a raw material gas, and is connected to the intake side of the compressor 3. An intake valve 5 composed of an electromagnetic valve is disposed in the pipe 4, and the intake valve 5 is opened during operation of the apparatus.

10,11は脱着時に吸着塔1,2からの気体を排出する配管
で、共通排出配管12に接続されており、排出配管12は脱
着排ガスを排出するようになっている。そして、前記配
管10,11の途中にはそれぞれ吸着塔1,2内の脱着排ガスを
半サイクル毎に交互に排出する電磁弁からなる気体排出
用弁13,14が設けられている。
Reference numerals 10 and 11 denote pipes for discharging gas from the adsorption towers 1 and 2 at the time of desorption, which are connected to a common discharge pipe 12, and the discharge pipe 12 discharges desorbed exhaust gas. In the middle of the pipes 10, 11, there are provided gas discharge valves 13, 14, which are electromagnetic valves for alternately discharging the desorbed exhaust gas in the adsorption towers 1, 2 every half cycle.

15,16は吸着塔1,2からの窒素をそれぞれ取出す取出弁
配管、17は各配管15,16と連結した取出配管で、配管15,
16の途中には半サイクルの間だけ後述の制御の下に交互
に開弁する電磁弁からなる取出用弁18,19がそれぞれ設
けられている。また前記取出配管17は還流用タンク20と
接続されている。
15 and 16 are extraction valve pipes for extracting nitrogen from the adsorption towers 1 and 2, respectively, and 17 is an extraction pipe connected to each of the pipes 15 and 16;
In the middle of 16, take-out valves 18 and 19, each of which is a solenoid valve that opens alternately under control described later for only a half cycle, are provided. The outlet pipe 17 is connected to a reflux tank 20.

21は吸着塔1,2間を連通する配管、22は配管21の途中
に設けられた電磁弁からなる均圧用弁で、均圧用弁22は
吸着塔1,2による半サイクルの終了時に所定の短時間だ
け開弁し、吸着塔1,2間を均圧にする。
Reference numeral 21 denotes a pipe communicating between the adsorption towers 1 and 2, 22 denotes a pressure equalizing valve including an electromagnetic valve provided in the middle of the pipe 21, and a pressure equalizing valve 22 is a predetermined pressure when a half cycle by the adsorption towers 1 and 2 is completed. Open the valve for a short time to equalize the pressure between the adsorption towers 1 and 2.

23は還流用タンク20に接続された取出配管で、その途
中には電磁弁24及び逆止弁25が設けられている。26は濃
度計(濃度検出手段)で還流用タンク20に接続されてい
る。又濃度計26には酸素センサが使用されており、濃度
計26は還流用タンク20の酸素濃度を測定する。
Reference numeral 23 denotes an extraction pipe connected to the reflux tank 20, and an electromagnetic valve 24 and a check valve 25 are provided in the middle thereof. Reference numeral 26 denotes a concentration meter (concentration detection means) connected to the reflux tank 20. An oxygen sensor is used for the concentration meter 26, and the concentration meter 26 measures the oxygen concentration in the reflux tank 20.

この濃度計26は還元用タンク20内の窒素ガス中に含ま
れている酸素濃度を監視しており、酸素濃度に比例した
電流値の信号を出力する。即ち、各吸着塔1,2内のガス
の窒素濃度が下ると、必然的に還元用タンク20の酸素濃
度が高まるため、濃度計26は還元用タンク20内の窒素濃
度が低濃度となったことを検出できる。又、濃度計26か
らの酸素濃度測定信号は後述する制御回路27に入力され
る。
The concentration meter 26 monitors the concentration of oxygen contained in the nitrogen gas in the reducing tank 20, and outputs a signal of a current value proportional to the concentration of oxygen. That is, when the nitrogen concentration of the gas in each of the adsorption towers 1 and 2 decreases, the oxygen concentration in the reduction tank 20 inevitably increases, so that the concentration meter 26 reduces the nitrogen concentration in the reduction tank 20 to a low concentration. Can be detected. The oxygen concentration measurement signal from the concentration meter 26 is input to a control circuit 27 described later.

なお、濃度計26に使用される酸素センサとしては酸素
分子の常磁性を利用した磁気式酸素センサ、酸素が透過
膜を介して電解液に入ると電極で酸化還元反応が起き電
流が流れるのを利用した電磁式酸素センサ、ジルコニア
磁気の内外面に電極を設け、酸素濃度によって起電力が
発生するのを利用したジルコニア式酸素センサ等が用い
られる。
The oxygen sensor used in the densitometer 26 is a magnetic oxygen sensor utilizing the paramagnetism of oxygen molecules. When oxygen enters the electrolyte through the permeable membrane, an oxidation-reduction reaction occurs at the electrodes and a current flows. Electromagnetic oxygen sensors that are used, zirconia oxygen sensors that provide electrodes on the inner and outer surfaces of the zirconia magnetism, and use that an electromotive force is generated by the oxygen concentration, and the like are used.

また、制御回路27は例えばマイクロコンピュータ等に
よって構成される制御手段で、濃度計26から出力された
信号に基づいて後述する各モードを選定し、選定された
モードに従って各弁やコンプレッサ、ドライヤ等の制御
を行なうものである。
Further, the control circuit 27 is a control means constituted by, for example, a microcomputer or the like, selects each mode described below based on a signal output from the densitometer 26, and controls each valve, compressor, dryer, etc. according to the selected mode. The control is performed.

還流用タンク20は配管23及び逆止弁25等を介して製品
ガスとしての窒素ガスを貯溜する製品タンク28に直列に
接続されている。製品タンク28には製品ガスである窒素
ガスを下流側に供給する取出配管29が接続されており、
取出配管29の途中には取出用弁30等が配設されている。
The reflux tank 20 is connected in series to a product tank 28 that stores nitrogen gas as product gas via a pipe 23 and a check valve 25 and the like. An extraction pipe 29 for supplying nitrogen gas, which is a product gas, to the downstream side is connected to the product tank 28,
An extraction valve 30 and the like are provided in the middle of the extraction pipe 29.

上記構成を有する装置31は、準備モード、OKモード、
初期モード、NGモード、WAモードの5つのモードを有し
ている。以下各モードにおける装置31の動作について説
明する。
Apparatus 31 having the above configuration, preparation mode, OK mode,
There are five modes: initial mode, NG mode, and WA mode. Hereinafter, the operation of the device 31 in each mode will be described.

準備モード 準備モードは、従来の気体分離装置においても有して
いたモードであり、始動後ドライヤ3aが立ち上がるまで
準備運転を行なうモードである。この準備モードは約5
分程度行なわれるが、制御回路25内にはタイマを有して
おり、このタイマにより準備モードは時間管理される。
即ち、制御回路25は、始動スイッチがONにされると装置
31を準備モードとし、約5分経過後準備モードを終了さ
せる(詳細については、前記の実願昭63−66388参
照)。
Preparation Mode The preparation mode is a mode that is also provided in the conventional gas separation device, and is a mode in which the preparation operation is performed until the dryer 3a starts up after the start. This preparation mode is about 5
Although the control is performed for about a minute, the control circuit 25 has a timer, and the timer controls the preparation mode.
That is, when the start switch is turned ON, the control circuit 25
31 is set to the preparation mode, and the preparation mode is terminated after about 5 minutes have elapsed (for details, refer to the aforementioned Japanese Utility Model Application No. 63-66388).

OKモード OKモードは各吸着塔1,2において製品ガスを生成し製
品タンク28に蓄圧するモードである。OKモードにおける
具体的な動作について第2図を用いて説明する(尚、図
中開弁された弁は白抜きで、閉弁された弁は黒塗りで示
す)。第2図(A)は第1の吸着塔1が脱着工程にあ
り、第2の吸着塔2が昇圧工程にある状態を示してい
る。第2の吸着塔2が所定圧力まで昇圧されると取出用
弁19が開弁され、第2図(B)に示すように生成された
製品ガスは還流用タンク20に流入する。OKモードにおい
ては、電磁弁24は開弁されており、従って製品ガスは還
流用タンク20から電磁弁24、逆止弁25を介して製品タン
ク28に供給され、ここに貯えられる。第2の吸着塔2に
おける吸着工程が終了すると第2図(C)に示されるよ
うに排出用弁13及び取出用弁19が閉弁されると共に均圧
用弁22が開弁され装置31は均圧工程に移る。
OK Mode The OK mode is a mode in which product gas is generated in each of the adsorption towers 1 and 2 and accumulated in the product tank. The specific operation in the OK mode will be described with reference to FIG. 2 (note that a valve that is opened is shown in white and a valve that is closed is shown in black). FIG. 2 (A) shows a state in which the first adsorption tower 1 is in the desorption step and the second adsorption tower 2 is in the pressure increasing step. When the pressure of the second adsorption tower 2 is raised to a predetermined pressure, the extraction valve 19 is opened, and the product gas generated as shown in FIG. 2 (B) flows into the reflux tank 20. In the OK mode, the solenoid valve 24 is open, so that the product gas is supplied from the recirculation tank 20 to the product tank 28 via the solenoid valve 24 and the check valve 25, and stored therein. When the adsorption step in the second adsorption tower 2 is completed, the discharge valve 13 and the discharge valve 19 are closed and the pressure equalizing valve 22 is opened as shown in FIG. Move to pressure step.

続いて第2図(D),(E)に示すように、今後は第
1の吸着塔1が吸着工程となり製品ガスを生成し、第2
の吸着塔2が脱着工程となり、第2図(F)に示す均圧
工程で1サイクルが終了する。OKモードは上記第2図
(A)〜(F)で示すサイクルを1サイクルとし、2サ
イクルを一単位として作動する。
Subsequently, as shown in FIGS. 2 (D) and 2 (E), the first adsorption tower 1 will become an adsorption step in the future to generate product gas,
Is a desorption step, and one cycle is completed in the pressure equalization step shown in FIG. 2 (F). The OK mode operates with the cycle shown in FIGS. 2A to 2F as one cycle and two cycles as one unit.

上記OKモードは、生成された製品ガスが逐次製品タン
ク28に供給されてゆくため、吸着工程にある吸着塔の内
圧及び製品ガス濃度の低下が他のモードに比べ最も速い
という特性を有している。
In the OK mode, the generated product gas is sequentially supplied to the product tank 28, and thus has a characteristic that the internal pressure of the adsorption tower and the product gas concentration in the adsorption step are reduced at the fastest rate as compared with other modes. I have.

初期モード 初期モードの動作は、上記したOKモードと略同一であ
るが、モードの動作中電磁弁24が閉弁している点で異な
る。初期モードの動作を第3図(A)〜(F)に示す。
この初期モードは第3図(A)〜(F)に示す1サイク
ルを単位として作動するものであり、前記のようにこの
モードでは電磁弁24が閉弁しているため製品ガスは還流
用タンク20に貯えられる。このようにして、初期モード
では還流用タンク20の内圧を上昇させることができると
いう特性を有している。
Initial Mode The operation of the initial mode is substantially the same as the above-described OK mode, except that the solenoid valve 24 is closed during the operation of the mode. The operation in the initial mode is shown in FIGS.
This initial mode operates in units of one cycle shown in FIGS. 3A to 3F. As described above, in this mode, since the solenoid valve 24 is closed, the product gas flows into the recirculation tank. Stored in 20. Thus, in the initial mode, the internal pressure of the reflux tank 20 can be increased.

NGモード NGモードは工程中に還流用タンク20に蓄圧されたガス
を各吸着塔1,2に還流させる工程を有しており、吸着工
程における吸着塔1,2で生成される製品ガスの純度向上
及び昇圧時間の短縮を図る目的で行なわれるものであ
る。具体的な工程を第4図(A)〜(D)に示す。尚、
このNGモードにおいても電磁弁24は閉弁されており、各
吸着塔1,2で生成された製品ガスは製品タンク28には供
給されぜ還流用タンク20に貯えられる構成となってい
る。
NG mode The NG mode includes a step of refluxing the gas stored in the reflux tank 20 during the process to each of the adsorption towers 1 and 2, and the purity of the product gas generated in the adsorption towers 1 and 2 in the adsorption step. This is performed for the purpose of improving and shortening the boosting time. The specific steps are shown in FIGS. 4 (A) to (D). still,
Also in this NG mode, the electromagnetic valve 24 is closed, and the product gas generated in each of the adsorption towers 1 and 2 is supplied to the product tank 28 and stored in the recirculation tank 20.

第4図(A)は第1の吸着塔1が脱着工程となってお
り、第2の吸着塔2が昇圧工程となっている状態を示し
ている。この時、第2の吸着塔2には、コンプレッサ3
から圧縮空気が導入されると共に、取出用弁19が開弁さ
れることにより還流用タンク20内に蓄圧された製品ガス
が流入する。よって、短時間で吸着塔2内の圧力は所定
圧力に昇圧すると共に、吸着塔2内における窒素濃度は
単に空気を導入する場合に比べて高い値となる。やがて
圧縮空気の圧力は還流する製品ガスの圧力より大とな
り、吸着塔2は吸着工程となる。第4図(B)は吸着塔
2が吸着工程にある状態を示している。この時、還流用
タンク20に蓄圧される製品ガスの純度は、上記の理由よ
り単に空気を吸着したものに比べて高精度のガスとな
る。
FIG. 4 (A) shows a state where the first adsorption tower 1 is in a desorption step and the second adsorption tower 2 is in a pressure increasing step. At this time, the compressor 3
Compressed air is introduced from above, and the product gas stored in the recirculation tank 20 flows by opening the take-out valve 19. Therefore, the pressure in the adsorption tower 2 is increased to a predetermined pressure in a short time, and the nitrogen concentration in the adsorption tower 2 has a higher value than when air is simply introduced. Eventually, the pressure of the compressed air becomes greater than the pressure of the recirculated product gas, and the adsorption tower 2 performs an adsorption step. FIG. 4 (B) shows a state where the adsorption tower 2 is in the adsorption step. At this time, the purity of the product gas stored in the recirculation tank 20 is a gas with higher precision than that obtained by simply adsorbing air for the above-described reason.

続いて第4図(c),(d)に示されるように第1の
吸着塔1に対しても同様の処理が行なわれ、第1の吸着
塔1からも高純度の製品ガスが還流用タンク20に蓄圧さ
れる。
Subsequently, as shown in FIGS. 4 (c) and 4 (d), the same treatment is performed on the first adsorption tower 1, and a high-purity product gas is also supplied from the first adsorption tower 1 for reflux. The pressure is stored in the tank 20.

上記のように、NGモードでは、短時間において還流用
タンク20内の製品ガス濃度を高めることができ、このモ
ードを繰返し行なうことによりその濃度(純度)は次第
に高い値となるという特性を有している。
As described above, in the NG mode, the product gas concentration in the reflux tank 20 can be increased in a short time, and by repeating this mode, the concentration (purity) gradually increases. ing.

WAモード WAモードは前記したOKモードと初期モードの中間的な
モードである。このWAモードもOKモードと同様に2サイ
クルを一単位として作動するが、始めの1サイクルは初
期モードと同様な動作(即ち、電磁弁24が閉弁されてい
る)を行ない、続く2サイクル目はOKモードと同様な動
作(即ち、電磁弁24が開弁される)を行なうよう構成さ
れている。
WA mode The WA mode is an intermediate mode between the OK mode and the initial mode. The WA mode also operates in two cycles as a unit, similar to the OK mode, but performs the same operation as the initial mode (ie, the solenoid valve 24 is closed) in the first one cycle, and then performs the second cycle Is configured to perform the same operation as the OK mode (that is, the electromagnetic valve 24 is opened).

上記WAモードでは、OKモードに比べて1サイクル分だ
け製品タンク28への製品ガスの供給が遅れ還流用タンク
20に蓄圧される中間的な動作を行なうため、各モードの
切換え時に選定することにより円滑な切換えを行ない得
るという特性を有する。
In the WA mode, the supply of product gas to the product tank 28 is delayed by one cycle compared to the OK mode.
In order to perform an intermediate operation stored in the storage unit 20, it has a characteristic that a smooth switching can be performed by selecting the mode when switching each mode.

尚、上述してきた各モードは夫々制御回路27内のROM
内にプログラムされており、濃度計26からの濃度信号に
基づき制御回路27内のCPUがモードの選定を行なうと、
装置31はROMに記憶されている各モードのプログラムに
従い各モード動作を行なう構成とされている(第1図参
照)。
Each mode described above corresponds to the ROM in the control circuit 27.
When the CPU in the control circuit 27 selects a mode based on the density signal from the densitometer 26,
The device 31 is configured to perform each mode operation in accordance with each mode program stored in the ROM (see FIG. 1).

次に、制御回路27の行なう制御処理(モード選択処
理)について説明する。第5図は制御回路27が行なう処
理を示したフローチャートである。
Next, control processing (mode selection processing) performed by the control circuit 27 will be described. FIG. 5 is a flowchart showing the processing performed by the control circuit 27.

起動スイッチがONにされると(ステップ1、以下ステ
ップをSで略称する)、制御回路27は装置31を準備モー
ドとする(S2)。準備モードは前記のように時間管理さ
れており、制御回路27内のタイマにより所定時間が経過
すると準備モードは終了する。
When the start switch is turned on (Step 1, hereinafter, the steps are abbreviated as S), the control circuit 27 puts the device 31 into the preparation mode (S2). The preparation mode is time-managed as described above, and when a predetermined time has elapsed by the timer in the control circuit 27, the preparation mode ends.

準備モードが終了すると制御回路27は濃度計26からの
濃度(Pn,尚,Pnは窒素濃度に変換されてる)を読み取
り、これが所定の製品ガス濃度(Po)より高いか否かを
判断する。ここで、還流用タンク20内の製品ガスの濃度
Pnが所定濃度Poより低い場合には、制御回路27は装置31
を初期モードとする(S4)。これにり装置31は前記した
初期モード動作を行ない、1サイクル分の製品ガスが還
流用タンク20に蓄圧される。
When the preparation mode is completed, the control circuit 27 reads the concentration (Pn, where Pn is converted to nitrogen concentration) from the concentration meter 26, and determines whether or not this is higher than a predetermined product gas concentration (Po). Here, the concentration of the product gas in the reflux tank 20
If Pn is lower than the predetermined concentration Po, the control circuit 27
Is set to the initial mode (S4). Thus, the apparatus 31 performs the above-described initial mode operation, and product gas for one cycle is accumulated in the recirculation tank 20.

初期モードが終了すると、制御回路27は再び濃度計26
から濃度信号を読み、還流用タンク20内の製品ガスの濃
度Pnが所定値Poに達しているか否かを判断する(S5)。
このように準備モード終了後、及び初期モード終了後に
製品ガスの濃度を判断(S3,S5)するのは、装置31が長
時間運転後一旦停止され、またすぐに起動された場合に
は上記各モード終了時において所定濃度Poの製品ガスを
直ちに生成し得る場合があるからである。尚、準備モー
ド終了後、直ちに製品ガス濃度が所定濃度Poとなる場合
は少ないため、S3を除き、準備モード終了後、直ちに初
期モードの動作を行なわせる構成としても良い。
When the initial mode is completed, the control circuit 27 returns to the concentration meter 26 again.
Then, it is determined whether or not the concentration Pn of the product gas in the reflux tank 20 has reached the predetermined value Po (S5).
The determination of the product gas concentration (S3, S5) after the end of the preparation mode and after the end of the initial mode is performed when the device 31 is temporarily stopped after a long operation and is immediately started up. This is because, at the end of the mode, the product gas having the predetermined concentration Po may be generated immediately. Since the product gas concentration immediately becomes the predetermined concentration Po immediately after the completion of the preparation mode, the operation of the initial mode may be performed immediately after the completion of the preparation mode except for S3.

S5において所定濃度に達していないと判断されると、
制御回路27は装置31をNGモードとする(S6)。このNGモ
ードは還流用タンク20内の製品ガスが所定濃度Po以上と
なるまで続けられる(S7)。
If it is determined in S5 that the predetermined concentration has not been reached,
The control circuit 27 sets the device 31 to the NG mode (S6). This NG mode is continued until the product gas in the recirculation tank 20 becomes equal to or higher than the predetermined concentration Po (S7).

一方、S3,S5,S7において還流用タンク20内の製品ガス
濃度Pnが所定濃度Poより高いと判断されると、制御回路
27は装置31をWAモードとし(S8)、WAモード終了後OKモ
ードとする(S9)。このOKモードは還流用タンク20内の
製品ガスの濃度Pnが所定濃度Po以下となるまで続けられ
(S10)、各吸着塔1,2で生成される製品ガスは製品タン
ク28に供給される。このように、製品タンク28に供給さ
れる製品ガスは所定濃度Po以上であることを保証されて
おり、製品ガスの信頼性を高めることができる。
On the other hand, when it is determined in S3, S5, S7 that the product gas concentration Pn in the recirculation tank 20 is higher than the predetermined concentration Po, the control circuit
27 sets the device 31 in the WA mode (S8), and after the WA mode ends, sets the OK mode (S9). This OK mode is continued until the concentration Pn of the product gas in the reflux tank 20 becomes equal to or lower than the predetermined concentration Po (S10), and the product gas generated in each of the adsorption towers 1 and 2 is supplied to the product tank. As described above, the product gas supplied to the product tank 28 is guaranteed to be equal to or higher than the predetermined concentration Po, and the reliability of the product gas can be improved.

また、上記説明から明らかなように、装置31では、製
品ガスを製品タンク28に供給するOKモードへは、製品ガ
ス濃度Pnが所定濃度Po以上となれば、準備モード或は初
期モードからOKモードへモード切換えが行なわれる構成
となっている。このように製品ガスの濃度Pnに対応した
最も適当なモード選定が行なわれるため、製品ガス生成
の要する立ち上がり時間を短くでき、効率良く製品ガス
を生成することができる。特に始動時においては、準備
モード終了後及び初期モード終了時に夫々濃度の判断
(S3,S5)を行なっているため、始動時における立ち上
がり効率を向上させることができる。
Further, as is clear from the above description, in the device 31, the OK mode for supplying the product gas to the product tank 28 is changed from the preparation mode or the initial mode to the OK mode when the product gas concentration Pn is equal to or higher than the predetermined concentration Po. In this configuration, the mode switching is performed. As described above, since the most appropriate mode selection corresponding to the product gas concentration Pn is performed, the rise time required for product gas generation can be shortened, and product gas can be generated efficiently. In particular, at the time of startup, since the concentration determination (S3, S5) is performed after the preparation mode ends and the initial mode ends, the startup efficiency at the time of startup can be improved.

また、装置31は準備モード、初期モード、NGモード終
了後において製品ガス濃度Pnが所定濃度Po以上と判断
(S3,S5,S7)されても、直ちにWAモードとなるのではな
く、WAモードを経た後にOKモードへモード切換えが行な
われる構成となっている。従って、始動時に行なわれる
準備モード及び初期モード終了後、製品ガス濃度Pnが所
定濃度Po以上となってもWAモードにおいて1サイクル分
の製品ガスが更に還流用タンク20内に蓄圧される。よっ
て、WAモード後OKモードとなり電磁弁24が開弁され製品
ガスが製品タンク28に供給されることにより、各吸着塔
1,2内の圧力低下や製品ガス濃度の低下が生じてもWAモ
ードにより1サイクル分の製品ガスが所定濃度Poとなっ
た時に比べ過剰に還流用タンク20内に蓄圧されているた
め、各吸着塔1,2内の製品ガス濃度Pnが所定濃度以下と
なることはなくS10により直ちに装置31がNGモードに戻
るようなことはない。
Further, even if the product gas concentration Pn is determined to be equal to or higher than the predetermined concentration Po after the preparation mode, the initial mode, and the NG mode (S3, S5, S7), the device 31 does not immediately enter the WA mode but enters the WA mode. After this, the mode is switched to the OK mode. Therefore, after the preparation mode and the initial mode performed at the time of the startup, even if the product gas concentration Pn becomes equal to or higher than the predetermined concentration Po, one cycle of the product gas is further accumulated in the recirculation tank 20 in the WA mode. Therefore, after the WA mode, the operation mode becomes the OK mode, the solenoid valve 24 is opened, and the product gas is supplied to the product tank 28.
Even if the pressure in product 1, 2 or the product gas concentration decreases, the product gas for one cycle is stored in the recirculation tank 20 in excess in the WA mode as compared with when the concentration reaches the predetermined concentration Po. The product gas concentration Pn in the adsorption towers 1 and 2 does not become lower than the predetermined concentration, and the apparatus 31 does not immediately return to the NG mode by S10.

従って、製品ガスの安定した製品タンク28への供給を
行なうことができ、またモード切換時に発生しやすい製
品ガスの純度低下を防止することができる。加えて、NG
モード終了後においてもWAモードは実施されるため、上
記と同様の理由より運転中においても製品ガスの安定供
給及び製品ガスの純度低下を防止することができる。S1
1において停止スイッチがONされたと判断すると装置31
は停止する(S11)。
Therefore, the product gas can be stably supplied to the product tank 28, and the purity of the product gas, which tends to occur at the time of mode switching, can be prevented from lowering. In addition, NG
Since the WA mode is performed even after the mode ends, the stable supply of the product gas and the decrease in the purity of the product gas can be prevented during the operation for the same reason as described above. S1
If it is determined in 1 that the stop switch has been turned on, the device 31
Stops (S11).

尚、本実施例では吸着塔を2本用いる装置を例に挙げ
て説明したが、1本或は複数本の吸着塔を用いる装置に
ついても適用できることは勿論である。
In this embodiment, an apparatus using two adsorption towers has been described as an example. However, it is needless to say that an apparatus using one or a plurality of adsorption towers can be applied.

また、本実施例では製品タンク28と別個に還流用タン
ク20を設けた構成の気体分離装置31について説明した
が、還流用タンク20は必ずしも必要なものではなく、第
6図に示すように製品タンク32に濃度計26を配設し製品
タンク32に還流用タンクとしての機能を持たせても良
い。第6図に示す気体分離装置33によれば、第1図に示
す気体分離装置31に比べ構造の簡単化、部品点数の削
減、及び装置の小型化を図ることができる。尚、気体分
離装置33では還流用タンクが存在しないことにより製品
タンク32内の製品ガス濃度の変動が気体分離装置1に比
べて大となるが、電磁弁30の開弁のタイミングを適宜行
なうことにより所定濃度の製品ガスを配管29に供給する
ことができ、問題の生ずることはない。
Further, in the present embodiment, the gas separation device 31 having the configuration in which the recirculation tank 20 is provided separately from the product tank 28 has been described. However, the recirculation tank 20 is not always necessary, and as shown in FIG. The concentration meter 26 may be provided in the tank 32 so that the product tank 32 has a function as a reflux tank. According to the gas separation device 33 shown in FIG. 6, the structure can be simplified, the number of parts can be reduced, and the size of the device can be reduced as compared with the gas separation device 31 shown in FIG. In the gas separator 33, since there is no recirculation tank, the fluctuation of the product gas concentration in the product tank 32 becomes larger than that in the gas separator 1. However, the timing of opening the solenoid valve 30 must be appropriately performed. As a result, a product gas having a predetermined concentration can be supplied to the pipe 29, and there is no problem.

発明の効果 上述の如く、本発明によれば、濃度検出手段からの信
号に基づき制御手段は初期モード、OKモード、NGモー
ド、WAモードを選定できるため、吸着塔内の状態に最も
適したモードを選定することにより始動時における立ち
上がり時間を短くすることができ、また始動時及び運転
時における安定した製品ガスの生成及び製品ガスの純度
維持を図ることができる等の特長を有する。
Effect of the Invention As described above, according to the present invention, the control unit can select the initial mode, the OK mode, the NG mode, and the WA mode based on the signal from the concentration detection unit, and thus the mode most suitable for the state in the adsorption tower. By selecting, the start-up time at the time of starting can be shortened, and the product gas can be stably generated at the time of starting and during operation, and the purity of the product gas can be maintained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例である気体分離装置の全体構
成を示す図、第2図はOKモードにおける装置の動作を説
明するための図、第3図は初期モードにおける装置の動
作を説明するための図、第4図はNGモードにおける装置
の動作を説明するための図、第5図は制御回路の行なう
処理を説明するための図、第6図は本発明の変形例であ
る気体分離装置の全体構成図である。 1……第1の吸着塔、2……第2の吸着塔、1A,2A……
分子ふるいカーボン、3……コンプレッサ、3a……ドラ
イヤ,20……還流用タンク、24……電磁弁、26……濃度
計、27……制御回路、28……製品タンク、31……装置
(気体分離装置)。
FIG. 1 is a diagram showing the overall configuration of a gas separation device according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the device in an OK mode, and FIG. 3 is a diagram showing the operation of the device in an initial mode. FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the apparatus in the NG mode, FIG. 5 is a diagram for explaining a process performed by the control circuit, and FIG. 6 is a modification of the present invention. It is a whole block diagram of a gas separation device. 1 1st adsorption tower, 2 2nd adsorption tower, 1A, 2A ...
Molecular sieve carbon, 3 ... Compressor, 3a ... Dryer, 20 ... Reflux tank, 24 ... Solenoid valve, 26 ... Densitometer, 27 ... Control circuit, 28 ... Product tank, 31 ... Equipment ( Gas separation device).

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】内部に吸着剤が充填された吸着塔に、圧縮
した原料気体を供給し、該吸着剤により生成された製品
ガスを取出し製品タンク内に蓄圧する気体分離装置にお
いて、 生成される製品ガスの濃度検出を行なう濃度検出手段を
設けると共に、 吸着工程とこれに続く脱着工程を1サイクルとし、2サ
イクルを一単位として作動し上記吸着工程において上記
製品ガスを製品タンクに供給する工程(OKモード)と、 吸着工程及び還流工程を一単位として作動し、吸着塔内
の製品ガス濃度及び圧力を高める工程(NGモード)と、 上記製品タンクに対し製品ガスを供給しない点を除き上
記OKモードと同一動作を行なう工程(初期モード)と、 始めの1サイクル動作において上記製品タンクに対し製
品ガスを供給しない点を除き上記OKモードと同一動作を
行なう工程(WAモード)とを、上記濃度検出手段からの
濃度検出信号に基づき切換え操作を行なう制御手段を設
けたことを特徴とする気体分離装置。
1. A gas separation apparatus for supplying a compressed raw material gas to an adsorption tower filled with an adsorbent, taking out a product gas generated by the adsorbent, and accumulating the product gas in a product tank. A step of providing a concentration detecting means for detecting the concentration of product gas, and a step of supplying the product gas to the product tank in the above-mentioned adsorption step by operating the adsorption step and the desorption step as one cycle, and two cycles as one unit ( OK mode), the process of operating the adsorption process and the reflux process as one unit to increase the product gas concentration and pressure in the adsorption tower (NG mode), and the above-mentioned OK except that the product gas is not supplied to the product tank Step that performs the same operation as the mode (initial mode) and the same operation as the OK mode except that the product gas is not supplied to the product tank in the first one cycle operation A gas separating apparatus comprising a control means for performing a switching operation based on a concentration detection signal from the concentration detection means.
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