JP2732403B2 - Ammonia gas nitriding method for non-nitridable metal materials - Google Patents
Ammonia gas nitriding method for non-nitridable metal materialsInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は難窒化金属材料のアンモニアガス窒化処理方
法に関する。より詳細には、本発明は、難窒化金属材料
を水素ガスに暴露させ該難窒化金属材料の表面酸化膜を
還元する第1工程、還元処理を受けた該難窒化金属材料
を真空又は窒素ガスにに暴露することにより該難窒化金
属材料に吸収された水素を該難窒化金属材料から放出さ
せる第2工程、及び該難窒化金属材料を低温でアンモニ
アガスにより窒化させる第3工程とからなる難窒化金属
材料のアンモニアガス窒化方法に関する。Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method for nitriding an ammonia-nitridable metal material with ammonia gas. More specifically, the present invention provides a first step of exposing a metal nitride-resistant material to hydrogen gas to reduce a surface oxide film of the metal nitride-resistant material, and applying a vacuum or nitrogen gas A second step of releasing hydrogen absorbed by the non-nitridable metal material from the non-nitridable metal material by exposing it to water, and a third step of nitriding the non-nitridable metal material with ammonia gas at a low temperature. The present invention relates to an ammonia gas nitriding method for a metal nitride material.
従来、金属材料の表面硬化方法として、アンモニアガ
ス窒化法が知られている。しかしながら、ステンレス鋼
を含む高クロム合金は、その表面にアンモニアガス窒化
を阻止する酸化膜を有しているため容易にガス窒化でき
ないという欠点をもつ。このため、これらの難窒化金属
材料のアンモニアガス窒化を行うためには、従来、前処
理としてガス窒化を阻止する表面酸化膜を酸性溶液によ
る洗浄により除去した後、比較的高温で窒化処理を行っ
ていた。しかしながら、高温で窒化を行うと、十分な表
面硬さが得られない。また、酸性溶液で洗浄する方法と
しては、例えば、アンモニアガス窒化を阻止する表面酸
化膜を有する難窒化金属材料で、且つ、窒化以外に表面
硬化させる方法のないものの代表例であるオーステナイ
ト系ステンレス鋼の一つである日本工業規格:JIS(Japa
n Industrial Standard)SUS304鋼(以下、単にJIS SUS
304鋼と略記する)をアンモニアガス窒化する場合、前
処理として、弗酸と硝酸の混合溶液又は塩酸を用いて表
面酸化膜を除去していた。しかしながら、酸性溶液によ
り表面酸化膜を除去する方法には、用いる混合酸、酸洗
後の廃液及びその廃液中に含まれる酸化クロム及びその
他の酸化重金属等が極めて有害であるため、この廃液処
理には多大な費用をかけて無公害化を行なわなければな
らないという極めて大きな欠点がある。そのため、窒化
の前処理として酸性溶液を用いない方法が提案されてい
る。Conventionally, an ammonia gas nitriding method is known as a method of hardening a metal material. However, a high chromium alloy containing stainless steel has a defect that it cannot be easily gas-nitrided because it has an oxide film on its surface to prevent ammonia gas nitriding. Therefore, in order to perform ammonia gas nitriding of these hardly nitrided metal materials, conventionally, as a pretreatment, a surface oxide film for preventing gas nitriding is removed by washing with an acidic solution, and then nitriding is performed at a relatively high temperature. I was However, when nitriding is performed at a high temperature, sufficient surface hardness cannot be obtained. As a method of cleaning with an acidic solution, for example, an austenitic stainless steel which is a typical example of a non-nitridable metal material having a surface oxide film that prevents nitriding of ammonia gas and having no surface hardening method other than nitriding. Japanese Industrial Standards: JIS (Japa
n Industrial Standard) SUS304 steel (hereinafter simply JIS SUS
In the case of ammonia gas nitriding of 304 steel, the surface oxide film was removed using a mixed solution of hydrofluoric acid and nitric acid or hydrochloric acid as a pretreatment. However, in the method of removing the surface oxide film with an acidic solution, the mixed acid used, the waste liquid after pickling, and the chromium oxide and other heavy metal oxides contained in the waste liquid are extremely harmful. Has a very serious drawback in that pollution must be carried out at a high cost. For this reason, a method that does not use an acidic solution has been proposed as a pretreatment for nitriding.
窒化の前処理として酸性溶液を用いない難窒化金属材
料の窒化方法として、例えば、特開昭60−165370号に
は、前処理としてステンレス鋼を真空中で高温に加熱し
てステンレス表面を活性化し、その後高純度窒素ガス雰
囲気中で高温で窒化処理を行う方法が提案されている。
しかしながら、この方法の前処理による表面の活性化で
は、その後の窒化を950乃至1150℃の高温で行なわなけ
ればならない。このように高温で窒化を行うと、得られ
た窒化ステンレス鋼に形成された窒化層の硬さが表面か
ら内部に向うにつれ連続的に低下しており、最高硬さを
示す表面でさえ十分に硬化されていないという欠点があ
る。As a method of nitriding a non-nitridable metal material without using an acidic solution as a pretreatment for nitriding, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-165370 discloses a method in which a stainless steel is heated to a high temperature in a vacuum as a pretreatment to activate the stainless steel surface. Then, a method of performing a nitriding treatment at a high temperature in a high-purity nitrogen gas atmosphere has been proposed.
However, in the surface activation by the pretreatment of this method, the subsequent nitriding must be performed at a high temperature of 950 to 1150 ° C. When nitriding is performed at such a high temperature, the hardness of the nitrided layer formed on the obtained nitrided stainless steel continuously decreases from the surface toward the inside, and even the surface having the highest hardness is sufficiently reduced. It has the disadvantage of not being cured.
また、特開昭60−125365号には、前処理として湿式ブ
ラスト処理によりステンレス表面を活性化し、その後ア
ンモニアガスと窒素ガスの混合気体又はアンモニアガス
で窒化処理を行う方法が提案されている。しかしなが
ら、この方法では、前処理によってステンレスの表面を
物理的に削りとって梨地状にするため、得られる窒化ス
テンレス鋼の表面粗さが大きくなり好ましくない。ま
た、この方法により得られた窒化ステンレス鋼は、その
窒化層の硬さが表面から内部に向って連続的に低下し、
最高硬さを示す表面の硬化も十分ではないという欠点が
ある。その上、この方法では、前処理として湿式ブラス
ト処理を行うため、前処理から窒化処理に移行する間に
ステンレス表面が酸化されるのを防ぐため、硬質粒子で
ステンレスを被包する等の処理が必要であり、操作が煩
雑であり好ましくない。Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-125365 proposes a method in which a stainless steel surface is activated by wet blasting as a pretreatment, and then nitriding is performed with a mixed gas of ammonia gas and nitrogen gas or ammonia gas. However, this method is not preferable because the surface of the stainless steel is physically shaved by the pretreatment so as to have a satin finish, so that the surface roughness of the obtained nitrided stainless steel becomes large. In addition, in the nitrided stainless steel obtained by this method, the hardness of the nitrided layer continuously decreases from the surface toward the inside,
There is a disadvantage that the hardening of the surface showing the highest hardness is not sufficient. In addition, in this method, since wet blasting is performed as a pretreatment, treatment such as encapsulating the stainless steel with hard particles is performed to prevent the stainless steel surface from being oxidized during the transition from the pretreatment to the nitriding treatment. It is necessary, and the operation is complicated, which is not preferable.
更に、特開昭58−54186号には、前処理としてステン
レス鋼を高温で空気焼鈍又は、ガラスビードピーニング
に付し、その後800℃以上の高温で窒素−水素雰囲気下
でステンレス鋼の窒化処理を行なう方法が提案されてい
る。しかしながら、空気焼鈍は、逆に表面に酸化物が生
成するので好ましくなく、また、ガラスビードピーニン
グによる方法は、前述の湿式ブラスト法による前処理と
同様に表面粗さが大きくなり好ましくない。更に、この
方法により得られる窒化ステンレス鋼は、800℃以上の
高温で窒化されているため、表面硬さが余り高くなく、
耐摩耗性が不十分である等の欠点がある。Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-54186 discloses that stainless steel is subjected to air annealing or glass bead peening at a high temperature as a pretreatment, and then nitriding of the stainless steel at a high temperature of 800 ° C. or more in a nitrogen-hydrogen atmosphere. A method of doing so has been proposed. However, air annealing is not preferable because an oxide is generated on the surface, and the method using glass bead peening is not preferable because the surface roughness becomes large similarly to the pretreatment by the wet blast method described above. Furthermore, since the nitrided stainless steel obtained by this method is nitrided at a high temperature of 800 ° C. or higher, the surface hardness is not so high,
There are drawbacks such as insufficient wear resistance.
以上の点に鑑み、本発明者等は、難窒化金属材料の窒
化の前処理として、公害の恐れのないことはもとより、
難窒化金属材料の表面を不必要に粗面化することなく、
表面酸化膜を除去して表面を活性化した後、低温で窒化
を行い、その結果十分な表面硬さを有する金属材料を得
ることのできる難窒化金属材料の窒化方法を得るため鋭
意研究を行った結果、窒化の前処理として難窒化金属材
料を水素ガスに暴露させ難窒化金属材料の表面酸化膜を
還元することにより、300乃至570℃という低温で難窒化
金属材料をアンモニアガスにより窒化することができ、
この方法により優れた表面硬さを有する難窒化金属材料
が得られることを知見した。本発明は上記の知見に基づ
き完成されるに到ったものである。In view of the above, the present inventors, as a pretreatment of the nitridation of the non-nitridable metal material, not to mention that there is no danger of pollution,
Without unnecessarily roughening the surface of the non-nitridable metal material,
After activating the surface by removing the surface oxide film, nitriding is performed at a low temperature, and as a result, diligent research is conducted to obtain a method of nitriding a non-nitridable metal material that can obtain a metal material having sufficient surface hardness. As a result, as a pretreatment for nitriding, the metal nitride-resistant material is exposed to hydrogen gas to reduce the surface oxide film of the metal nitride-resistant material, thereby nitriding the metal nitride-resistant material with ammonia gas at a low temperature of 300 to 570 ° C. Can be
It has been found that a non-nitridable metal material having excellent surface hardness can be obtained by this method. The present invention has been completed based on the above findings.
すなわち、本発明の目的は、公害の恐れのない前処理
を行い、低温で難窒化金属材料を窒化をすることのでき
る方法を提供することにある。That is, an object of the present invention is to provide a method capable of performing a pretreatment without fear of pollution and nitriding a non-nitridable metal material at a low temperature.
本発明によれば、難窒化金属材料を、0.01乃至1520To
rrの圧力下、600乃至1350℃の温度で水素ガスに暴露さ
せ該難窒化金属材料の表面酸化膜を還元する第1工程、
還元処理を受けた該難窒化金属材料を90乃至570℃の温
度で真空又は窒素ガスにに暴露することにより該難窒化
金属材料に吸収された水素を該難窒化金属材料から放出
させる第2工程、及び該難窒化金属材料を300乃至570℃
の温度でアンモニアガス又はアンモニアガスを含む混合
気体の雰囲気中に暴露する第3工程とからなることを特
徴とする難窒化金属材料のアンモニアガス窒化方法が提
供される。According to the present invention, the non-nitridable metal material is used in an amount of 0.01
a first step of exposing to a hydrogen gas at a temperature of 600 to 1350 ° C. under a pressure of rr to reduce a surface oxide film of the non-nitridable metal material;
A second step of releasing the hydrogen absorbed by the non-nitridable metal material from the non-nitridable metal material by exposing the reduced-nitride metal material subjected to the reduction treatment to vacuum or nitrogen gas at a temperature of 90 to 570 ° C. , And 300 to 570 ° C.
A third step of exposing the mixture to an atmosphere of ammonia gas or a mixed gas containing ammonia gas at a temperature of 3 g.
本発明の方法を実施する場合、雰囲気制御可能な槽、
温度制御装置及びガス排気装置を備えた炉を用いるが、
更に防爆装置を備えた炉を用いることが安全性の面から
望ましい。When performing the method of the present invention, an atmosphere-controllable tank,
Although a furnace equipped with a temperature control device and a gas exhaust device is used,
Further, it is desirable from the viewpoint of safety to use a furnace equipped with an explosion-proof device.
窒化の前処理としての難窒化金属材料の表面酸化膜の
還元は炉内に難窒化金属材料を入れ、水素ガスを炉内に
導入して行なう。本発明に於いて難窒化金属材料とは、
その表面に窒化を阻止する酸化膜を有しているため、容
易にガス窒化をすることのできない金属材料をいう。こ
のような難窒化金属材料の例としては、高クロム合金、
クロム等があるが、高クロム合金についてはステンレス
鋼(例えばJIS G4303に記載されているようなJIS SUS
鋼)及び耐熱鋼(例えばJIS G4311に記載されているよ
うなJIS SUH鋼)がその代表例であり、なかでもオース
テナイト系ステンレス鋼のJIS SUS304鋼、フェライト系
ステンレス鋼のJIS SUS430鋼、マルテンサイト系ステン
レス鋼のJIS SUS410鋼及びJIS SUS440鋼並びに析出硬化
型ステンレス鋼のJIS SUS630鋼は特に代表的なものであ
る。また、鉄及びクロムのみからなる合金の場合、クロ
ム含有量が4重量%以上、特に8重量%以上のものに対
し本発明の方法は極めて有効である。水素ガスの圧力は
一般に0.01乃至1520Torrである。圧力が0.01Torr未満の
場合には、還元が十分でなく、難窒化金属材料の表面活
性化の効果が不十分である。一方、圧力が1520Torrを越
える場合には、還元による表面活性化は十分であるが、
例えば、防爆設備及び高温での耐圧設備が高価になり好
ましくない。還元の温度は窒化する金属材料等により適
宜選択するが、600乃至1350℃の範囲であり、一般的に
は、800乃至1250℃の範囲である。還元の時間は、温度
にもよるが、少くとも15分、一般的には1乃至4時間で
あるが、更に長時間還元することに格段の支障はない。
温度が600℃未満の場合には、還元反応が起こりにく
く、難窒化金属材料の表面活性化が不十分である。一
方、1350℃を越える場合には、金属結晶粒が粗大化しす
ぎる結果、金属材料の母相そのものの室温程度の低温に
於ける十分な強度を得ることができない。更には、1350
℃を越えると用いる難窒化金属材料によっては部分的に
溶融して液相を生じるため、難窒化金属材料の変形が起
こり好ましくない。The reduction of the surface oxide film of the non-nitridable metal material as a pretreatment for nitriding is performed by placing the non-nitridable metal material in a furnace and introducing hydrogen gas into the furnace. In the present invention, the non-nitridable metal material is
A metal material that cannot be easily gas-nitrided because it has an oxide film on its surface that prevents nitridation. Examples of such non-nitridable metal materials include high chromium alloys,
Chromium, etc., but for high chromium alloys, use stainless steel (for example, JIS SUS as described in JIS G4303).
Steel) and heat-resistant steel (for example, JIS SUH steel as described in JIS G4311) are typical examples, among which JIS SUS304 steel of austenitic stainless steel, JIS SUS430 steel of ferritic stainless steel, martensitic steel JIS SUS410 steel and JIS SUS440 steel of stainless steel and JIS SUS630 steel of precipitation hardening stainless steel are particularly typical. In the case of an alloy consisting of iron and chromium alone, the method of the present invention is extremely effective for those having a chromium content of 4% by weight or more, particularly 8% by weight or more. The pressure of the hydrogen gas is generally 0.01 to 1520 Torr. If the pressure is less than 0.01 Torr, the reduction is not sufficient, and the effect of activating the surface of the non-nitridable metal material is insufficient. On the other hand, when the pressure exceeds 1520 Torr, surface activation by reduction is sufficient,
For example, explosion-proof equipment and pressure-resistant equipment at high temperatures become expensive, which is not preferable. The temperature for the reduction is appropriately selected depending on the metal material to be nitrided and the like, but is in the range of 600 to 1350 ° C, and generally in the range of 800 to 1250 ° C. The time for reduction depends on the temperature, but is at least 15 minutes, generally 1 to 4 hours, but there is no particular problem in reducing for a longer time.
When the temperature is lower than 600 ° C., the reduction reaction does not easily occur, and the surface activation of the hardly nitrided metal material is insufficient. On the other hand, when the temperature exceeds 1350 ° C., the metal crystal grains become too coarse, so that the strength of the parent phase of the metal material itself at a low temperature of about room temperature cannot be obtained. Furthermore, 1350
If the temperature exceeds ℃, depending on the material used, the liquid metal phase is partially melted and a liquid phase is generated.
本発明の方法における難窒化金属材料の窒化処理は、
以下の様にして行なう。まず、前処理である還元による
難窒化金属材料の表面活性化の後、炉内の雰囲気をその
まま保持しながらあるいは、真空にした後又は窒素、ア
ルゴン等の水素以外の他の無酸素のガス雰囲気に置換し
た後570℃以下の温度に炉内の温度を下げる。下げる温
度の下限は限定的ではないが、通常は室温以下に下げる
ことは必ずしも必要ではない。次いで、下げたままの温
度条件で、もしくは所定の窒化温度条件にした後、アン
モニアガスを炉内に導入し、アンモニアガス雰囲気中に
難窒化金属材料を暴露することにより行う。窒化温度は
300乃至570℃であるが、特に優れた表面硬さを得ようと
する場合、450乃至570℃が好ましく、更に好ましくは50
0乃至570℃が更に好ましい。ただし、特殊な用途、例え
ば精密測定機器の歯車等小さな応力下での耐摩耗性、耐
食性が求められるような場合、あるいは窒化処理による
変形量が数μm以内であることが必要な場合には、窒化
処理は350乃至500℃の温度にて行うことが好ましい。本
発明の方法によれば、300乃至570℃の低温で窒化を行う
ことができるため、第1図に示すような耐食性にも優れ
る化合物層2(外部窒化層)が形成されるため、耐食性
の面でも優れた金属材料が得られる。窒化温度が300℃
未満の場合には、窒化が起こりにくく、得られる金属材
料の表面硬さが不十分である。一方、570℃を越える
と、得られる金属材料の硬度が不十分である。更に740
℃を越える高温の場合には、上記の様な化合物層(外部
窒化層)が形成されず、得られる金属材料の耐食性が十
分に改善されない。窒化処理には、アンモニアガスの代
りに、アンモニアガスを含有する混合気体、例えばアン
モニアガスと水素ガスとの混合気体またはアンモニアガ
スと窒素ガスとの混合気体を用いても良い。アンモニア
ガスと水素ガスの場合には、第1図に示すような耐食性
にも優れる化合物層2(外部窒化層)が形成されるた
め、耐食性の面でも優れた金属材料が得られる。窒化温
度が300℃未満の場合には、窒化が起こりにくく、得ら
れる金属材料の窒化層の厚さが不十分である。一方、57
0℃を越えると、得られる窒化層の硬さが不十分であ
る。更に740℃を越える高温の場合には、上記の様な化
合物層(外部窒化層)が形成されず、得られる金属材料
の耐食性が十分に改善されない。窒化処理には、アンモ
ニアガスの代りに、アンモニアガスを含有する混合気
体、例えばアンモニアガスと水素ガスとの混合気体また
はアンモニアガスと窒素ガスとの混合気体を用いても良
い。アンモニアガスと水素ガスの混合気体の場合には、
少くとも5容量%のアンモニアガスを含んでいることが
必要である。又、アンモニアガスと窒素ガスの混合気体
の場合には少なくとも20容量%のアンモニアガスを含ん
でいることが必要である。アンモニアガス又はアンモニ
アガスを含有する混合気体の圧力としては500乃至1520T
orrが選択される。窒化に要する時間は、目的により適
宜選択されるが少くとも約15分であり、工業的には一般
に数時間乃至100時間程度である。The nitriding treatment of the non-nitridable metal material in the method of the present invention includes:
This is performed as follows. First, after the surface activation of the non-nitridable metal material by reduction, which is a pretreatment, while maintaining the atmosphere in the furnace as it is, or after evacuating, or an oxygen-free gas atmosphere other than hydrogen such as nitrogen or argon After lowering the temperature in the furnace to 570 ° C or lower. Although the lower limit of the temperature to be lowered is not limited, it is usually not always necessary to lower the temperature to room temperature or lower. Next, the temperature is kept as it is, or after a predetermined nitriding temperature condition, an ammonia gas is introduced into the furnace, and the non-nitridable metal material is exposed in an ammonia gas atmosphere. The nitriding temperature is
The temperature is 300 to 570 ° C., but if particularly excellent surface hardness is to be obtained, the temperature is preferably 450 to 570 ° C., more preferably 50 to 570 ° C.
0 to 570 ° C. is more preferred. However, for special applications, such as wear resistance under small stresses such as gears of precision measurement equipment, such as when corrosion resistance is required, or when it is necessary that the amount of deformation due to nitriding is within several μm, The nitriding treatment is preferably performed at a temperature of 350 to 500 ° C. According to the method of the present invention, nitriding can be performed at a low temperature of 300 to 570 ° C., so that the compound layer 2 (external nitride layer) having excellent corrosion resistance as shown in FIG. 1 is formed. An excellent metal material can be obtained in terms of surface. Nitriding temperature is 300 ℃
If it is less than 3, nitriding hardly occurs, and the surface hardness of the obtained metal material is insufficient. On the other hand, when the temperature exceeds 570 ° C., the hardness of the obtained metal material is insufficient. Further 740
At a high temperature exceeding ℃, the compound layer (external nitride layer) as described above is not formed, and the corrosion resistance of the obtained metal material is not sufficiently improved. In the nitriding treatment, a mixed gas containing ammonia gas, for example, a mixed gas of ammonia gas and hydrogen gas or a mixed gas of ammonia gas and nitrogen gas may be used instead of ammonia gas. In the case of ammonia gas and hydrogen gas, the compound layer 2 (external nitride layer) having excellent corrosion resistance as shown in FIG. 1 is formed, so that a metal material excellent in corrosion resistance can be obtained. If the nitriding temperature is lower than 300 ° C., nitriding is unlikely to occur, and the thickness of the obtained metal material is insufficient. Meanwhile, 57
If the temperature exceeds 0 ° C., the hardness of the obtained nitrided layer is insufficient. At a high temperature exceeding 740 ° C., the compound layer (external nitride layer) as described above is not formed, and the corrosion resistance of the obtained metal material is not sufficiently improved. In the nitriding treatment, a mixed gas containing ammonia gas, for example, a mixed gas of ammonia gas and hydrogen gas or a mixed gas of ammonia gas and nitrogen gas may be used instead of ammonia gas. In the case of a mixed gas of ammonia gas and hydrogen gas,
It is necessary to contain at least 5% by volume of ammonia gas. In the case of a mixed gas of ammonia gas and nitrogen gas, it is necessary to contain at least 20% by volume of ammonia gas. The pressure of ammonia gas or a mixed gas containing ammonia gas is 500 to 1520T
orr is selected. The time required for nitriding is appropriately selected depending on the purpose, but is at least about 15 minutes, and is generally about several hours to 100 hours industrially.
本発明の難窒化金属材料のアンモニアガス窒化処理方
法は、具体的には窒化の前処理としての水素ガスを用い
る難窒化金属材料の表面酸化膜の還元処理の間に、用い
る難窒化金属材料及び還元処理温度により難窒化金属材
料に水素が吸収されることがあり、その場合窒化により
最終的に得られる金属材料がもろくなることがある。従
って、そのような場合には、還元処理から窒化処理に移
行する際に、無水素雰囲気、即ち前述のように炉内を真
空にするかまたは炉内の雰囲気を水素以外の無酸素の雰
囲気に置換することにより吸収された水素を難窒化金属
材料から放出することができるので好ましい。The ammonia gas nitriding method of the metal nitride-resistant material of the present invention, specifically, the metal nitride material used during the reduction treatment of the surface oxide film of the metal nitride-resistant material using hydrogen gas as a pretreatment for nitriding, Hydrogen may be absorbed by the non-nitridable metal material depending on the reduction processing temperature, and in such a case, the metal material finally obtained by the nitriding may become brittle. Therefore, in such a case, when shifting from the reduction treatment to the nitridation treatment, a hydrogen-free atmosphere, that is, a vacuum in the furnace as described above, or an atmosphere in the furnace to an oxygen-free atmosphere other than hydrogen as described above. The substitution is preferable because the absorbed hydrogen can be released from the hardly nitrided metal material.
上記の水素以外の無酸素の雰囲気としては窒素ガス雰
囲気が好ましい。As the oxygen-free atmosphere other than hydrogen, a nitrogen gas atmosphere is preferable.
難窒化金属材料に吸収された水素の放出処理は、具体
的には前処理である還元による難窒化金属材料の表面活
性化の後、炉内を真空にするか又は炉内の雰囲気を水素
以外の他の無酸素の雰囲気に置換した後570℃以下の温
度に冷却することにより行う。真空下で水素の放出を行
う場合の温度は限定的ではなく室温まで下げることも可
能であるが、約90℃未満の温度では水素の放出の速度が
遅くなるため、通常は約90℃以上の温度で行うことが好
ましい。水素の放出の温度は必ずしも一定に保持する必
要はなく、連続的に温度を下げながら水素を放出させて
も良い。The release treatment of the hydrogen absorbed by the non-nitridable metal material is, specifically, after the surface activation of the non-nitridable metal material by reduction, which is a pretreatment, the inside of the furnace is evacuated or the atmosphere in the furnace is replaced with hydrogen. It is performed by replacing the atmosphere with another oxygen-free atmosphere and then cooling to a temperature of 570 ° C. or less. The temperature at which hydrogen is released under vacuum is not limited and can be lowered to room temperature.However, at a temperature lower than about 90 ° C., the rate of hydrogen release becomes slow, so that the temperature is usually about 90 ° C. or higher. It is preferably performed at a temperature. The temperature for releasing hydrogen does not necessarily need to be kept constant, and hydrogen may be released while continuously lowering the temperature.
難窒化金属材料に吸収された水素の放出処理を行った
場合、その後の難窒化金属材料の窒化処理は、炉内を真
空のまま又は不活性ガスを炉内に導入した後、所定の窒
化処理温度にしてから、アンモニアガスを導入してアン
モニアガス雰囲気中に難窒化金属材料を暴露させるか又
は、まず炉内にアンモニアガスを導入してから所定の窒
化温度にしてアンモニアガス雰囲気に難窒化金属材料を
暴露させて行う。上記の不活性ガスとして使用すること
ができるものとして、N2、He、Ne、Ar、Kr及びXeが挙げ
られるが、費用の面からN2及びArが好ましい。窒化処理
の温度及び時間は水素の放出処理を行なわない場合と同
様、それぞれ300乃至570℃、好ましくは450乃至570℃、
更に好ましくは500乃至570℃であり、少くとも約15分、
工業的には一般に数時間乃至100時間程度である。更
に、水素の放出処理を行なわない場合と同様、窒化処理
には、アンモニアガスの代りにアンモニアガスを含有す
る前述の混合気体を用いても良い。アンモニアガス又は
アンモニアガスを含有する混合気体の圧力は500乃至152
0Torrである。When the process of releasing hydrogen absorbed by the non-nitridable metal material is performed, the nitriding process of the non-nitridable metal material is performed in a predetermined manner after the furnace is kept in a vacuum or after an inert gas is introduced into the furnace. After the temperature is increased, ammonia gas is introduced to expose the non-nitridable metal material in an ammonia gas atmosphere, or first, ammonia gas is introduced into a furnace and then set to a predetermined nitriding temperature to set the non-nitridable metal material in an ammonia gas atmosphere. Perform by exposing the material. N 2 , He, Ne, Ar, Kr and Xe can be used as the inert gas, but N 2 and Ar are preferred in terms of cost. The temperature and time of the nitriding treatment are each 300 to 570 ° C., preferably 450 to 570 ° C., as in the case where the hydrogen releasing treatment is not performed.
More preferably at 500 to 570 ° C, for at least about 15 minutes,
Industrially, it is generally several hours to about 100 hours. Further, similarly to the case where the hydrogen release treatment is not performed, the above-mentioned mixed gas containing ammonia gas may be used in the nitriding treatment instead of the ammonia gas. The pressure of ammonia gas or a mixed gas containing ammonia gas is 500 to 152.
0 Torr.
本発明のアンモニアガス窒化処理方法により得られる
窒化金属材料は、化合物層(外部窒化層)及び拡散層
(内部窒化層)からなる優れた硬さを有する窒化層を有
し、その窒化層は母材と明白に区別できる。該窒化層は
表面からの深さに関係なく全体にわたってほぼ一定の硬
さを維持している。また、化合物層は耐食性にも優れて
いることから、本発明方法により表面硬度のみならず耐
食性にも優れた金属材料を得ることができる。この窒化
層の存在は、顕微鏡写真、X線回析等により確認するこ
とができ、窒化金属材料の窒化層の硬さは例えば日本工
業規格によるJIS Z2251(1980)ビッカース硬さ試験法
により測定できる。The metal nitride material obtained by the ammonia gas nitriding method of the present invention has a nitride layer having an excellent hardness consisting of a compound layer (external nitride layer) and a diffusion layer (internal nitride layer). It can be clearly distinguished from wood. The nitrided layer maintains a substantially constant hardness throughout regardless of the depth from the surface. Further, since the compound layer has excellent corrosion resistance, a metal material excellent not only in surface hardness but also in corrosion resistance can be obtained by the method of the present invention. The presence of this nitrided layer can be confirmed by micrographs, X-ray diffraction, etc., and the hardness of the nitrided layer of the metal nitride material can be measured by, for example, JIS Z2251 (1980) Vickers hardness test according to Japanese Industrial Standards. .
以下実施例により本発明を詳細に説明するが、本発明
はこれに限定されるものではない。Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
実施例1 雰囲気制御可能な槽、温度制御装置、ガス排気装置及
び排気ガスの防爆装置を備えた炉中にオーステナイト系
ステンレス鋼(JIS SUS304L鋼)製ブロック(20mm×15m
m×30mm)を置き、炉内に0.8Torrの水素ガスを導入して
1200℃で1時間ブロックを水素ガスに暴露させ、ブロッ
クの表面酸化膜の還元を行った。炉内の雰囲気をそのま
ま保持しながら、温度を200℃にまで下げ、炉内を1×1
0-3Torr以下の真空とした後、炉内を室温まで冷却して
ブロックに吸収されている水素を放出せしめた。窒素ガ
スを炉内に導入して炉内の圧力を760Torrとし、再び昇
温して炉内の温度を550℃とした。しかる後、炉内にア
ンモニアガスを導入して窒素ガスを完全にアンモニアガ
スに置換し、炉内の圧力を760Torrとしてアンモニアガ
ス気流中にブロックを19時間暴露させ窒化を行った。窒
化後ブロックを水で冷却した。Example 1 An austenitic stainless steel (JIS SUS304L steel) block (20 mm x 15 m) was placed in a furnace equipped with a tank capable of controlling the atmosphere, a temperature controller, a gas exhaust device, and an explosion-proof device for exhaust gas.
m × 30mm) and introduce 0.8Torr hydrogen gas into the furnace
The block was exposed to hydrogen gas at 1200 ° C. for 1 hour to reduce the surface oxide film of the block. While maintaining the atmosphere in the furnace, the temperature was lowered to 200 ° C.
After reducing the pressure to 0 -3 Torr or less, the furnace was cooled to room temperature to release hydrogen absorbed in the block. Nitrogen gas was introduced into the furnace to raise the pressure in the furnace to 760 Torr, and the temperature was raised again to 550 ° C. in the furnace. Thereafter, ammonia gas was introduced into the furnace to completely replace the nitrogen gas with ammonia gas, and the pressure in the furnace was set to 760 Torr, and the block was exposed to an ammonia gas stream for 19 hours to perform nitriding. After nitriding, the block was cooled with water.
得られた窒化ステンレス鋼ブロックをマイクロカッタ
ーにより、その表面に対して垂直に切断し、その切断面
を腐食液(5g FeCl2+2ml HCl+96ml C2H5OH)で処理し
た後、光学顕微鏡で400倍に拡大して写真撮影した。得
られた写真を観察した結果、第1図にみられるように、
化合物層2(外部窒化層)及び拡散層3(内部窒化層)
からなる厚さ約95μmの窒化層が形成されており、該窒
化層はステンレス鋼の母相4と視覚上はっきりと区別さ
れて観察される。この窒化層のうち、表面1から厚さ数
μm乃至約10μmの部分が腐食液により腐食を受けない
耐食性に優れる化合物層2であった。また、窒化層の硬
さは、腐食液による処理を施す前に、窒化ステンレス鋼
ブロックの上記と同じ断面において日本工業規格JIS Z2
251(1980)による方法に従い、島津製作所製HMV−2000
型ビッカース硬さ試験機を用い測定荷重100gで測定した
ところ、第2図の○印でプロットした線図に示すように
その表面からの距離に関係なくほぼ一定で、微小硬さ
〔HV(100gf)〕約1100と優れたものであった。更に、
窒化ブロックの表面を米国フィリップス社製X線回折装
置NORELCO(ターゲットCo、加速電圧35kV、電流10mA、C
o−Kα線λKα,=1.78890(Å)、λKα2=1.7927
8(Å)、鉄フィルター使用)を用いて分析した結果、
第3図に示すように、ブロックの母材であるJIS SUS304
L鋼中の鉄との窒化物Fe3N、γ′−Fe4N、ε−Fe2.5N及
びクロムとの窒化物CrNが検出され窒化層が形成されて
いることがわかった。The obtained nitrided stainless steel block was cut perpendicularly to its surface with a micro cutter, and the cut surface was treated with a corrosive liquid (5 g FeCl 2 +2 ml HCl + 96 ml C 2 H 5 OH) and then 400 times with an optical microscope. Photographed on a larger scale. As a result of observing the obtained photograph, as shown in FIG.
Compound layer 2 (external nitride layer) and diffusion layer 3 (internal nitride layer)
A nitride layer having a thickness of about 95 μm is formed, and the nitride layer is visually distinguished from the parent phase 4 of stainless steel and observed. In this nitrided layer, a portion having a thickness of several μm to about 10 μm from the surface 1 was a compound layer 2 having excellent corrosion resistance which was not corroded by a corrosive liquid. The hardness of the nitrided layer is measured in the same cross section as above for the nitrided stainless steel block before the treatment with the corrosive liquid.
According to the method of 251 (1980), Shimadzu HMV-2000
When measured with a Vickers hardness tester at a measurement load of 100 g, the microhardness [HV (100 gf )] About 1100. Furthermore,
The surface of the nitrided block was converted to a Philips X-ray diffractometer NORELCO (target Co, acceleration voltage 35 kV, current 10 mA, C
o-Kα ray λKα, = 1.78890 (Å), λKα 2 = 1.7927
8 (Å), using an iron filter)
As shown in Fig. 3, the base material of the block is JIS SUS304.
The nitrides Fe 3 N, γ′-Fe 4 N and ε-Fe 2.5 N with iron in the L steel and the CrN nitride with chromium were detected, indicating that a nitrided layer was formed.
実施例2 実施例1で用いた炉内に実施例1で用いたと同じブロ
ックを置き、炉内に1.0Torrの水素ガスを導入して1000
℃で4時間ブロックを水素ガスに暴露させ、ブロックの
表面酸化膜の還元を行った。炉内の雰囲気をそのまま保
持しながら、温度を550℃にまで下げた。炉内の温度が5
50℃に達した時、窒素ガスを炉内に導入し、水素ガスを
完全に窒素ガスに置換して炉内の圧力を760Torrとし
た。しかる後、760Torrのアンモニアガスを炉内に導入
し、窒素ガスをアンモニアガスに置換してアンモニアガ
ス中にブロックを20時間暴露させ窒化を行った。窒化後
ブロックを水で冷却した。Example 2 The same block as that used in Example 1 was placed in the furnace used in Example 1, and 1.0 Torr of hydrogen gas was introduced into the furnace.
The block was exposed to hydrogen gas at 4 ° C. for 4 hours to reduce the surface oxide film of the block. The temperature was lowered to 550 ° C. while maintaining the atmosphere in the furnace. Furnace temperature 5
When the temperature reached 50 ° C., nitrogen gas was introduced into the furnace, and hydrogen gas was completely replaced with nitrogen gas, so that the pressure in the furnace was 760 Torr. Thereafter, 760 Torr of ammonia gas was introduced into the furnace, the nitrogen gas was replaced with ammonia gas, and the block was exposed to ammonia gas for 20 hours to perform nitriding. After nitriding, the block was cooled with water.
得られた窒化ステンレス鋼を実施例1と同様に切断
し、実施例と同様の方法で硬さの測定を行ったところ、
第2図の△印でプロットとした線図に示すように、厚さ
約125μmの窒化層が形成されていることが認められる
とともに、窒化層の硬さは、ブロックの表面からの距離
にほとんど関係なくほぼ一定で、微小硬さ〔HV(100g
f)〕約1050と優れたものであった。The obtained nitrided stainless steel was cut in the same manner as in Example 1, and the hardness was measured by the same method as in the example.
As shown in the diagram plotted by the mark △ in FIG. 2, a nitrided layer having a thickness of about 125 μm was observed to be formed, and the hardness of the nitrided layer was almost equal to the distance from the surface of the block. Irrespective of the micro hardness (HV (100g
f)] about 1050, which is excellent.
実施例3 実施例1で用いた炉内に実施例1で用いたと同じブロ
ックを置き、炉内に10Torrの水素ガスを導入して700℃
で1時間ブロックを水素ガスに暴露させ、ブロックの表
面酸化膜の還元を行った。炉内の雰囲気をそのまま保持
しながら、温度を300℃にまで下げた。温度が300℃に達
した時、1分以内に炉内の雰囲気をアンモニアガスに置
換して炉内の圧力を760Torrとして、ブロックを300℃で
49時間アンモニアガスに暴露させ窒化を行った。窒化後
ブロックを水で冷却した。Example 3 The same block as used in Example 1 was placed in the furnace used in Example 1, and 10 Torr of hydrogen gas was introduced into the furnace at 700 ° C.
The block was exposed to hydrogen gas for 1 hour to reduce the surface oxide film of the block. The temperature was lowered to 300 ° C. while maintaining the atmosphere in the furnace. When the temperature reached 300 ° C, the atmosphere in the furnace was replaced with ammonia gas within 1 minute, the pressure in the furnace was set to 760 Torr, and the block was heated to 300 ° C.
It was exposed to ammonia gas for 49 hours to perform nitriding. After nitriding, the block was cooled with water.
得られた窒化ステンレス鋼の表面を島津製作所製X線
回折装置XD−610(ターゲットCu、加速電圧30kV、電流1
0mA、Cu−Kα線λKα,=1.54050(Å)λKα2=1.
54433(Å)、ニッケルフィルター使用)を用いて分析
した結果、第4図に示すように、ブロックの母材である
JIS SUS304L鋼中の鉄との窒化物Fe3N、γ′−Fe4N及び
クロムとの窒化物Cr2Nが検出され窒化層が形成されてい
ることがかった。The surface of the obtained nitrided stainless steel was coated with an X-ray diffractometer XD-610 manufactured by Shimadzu Corporation (target Cu, acceleration voltage 30 kV, current 1
0 mA, Cu-Kα ray λKα, = 1.54050 (Å) λKα 2 = 1.
As a result of analysis using 54433 (Å), using a nickel filter), as shown in FIG.
In the JIS SUS304L steel, nitrides Fe 3 N and γ′-Fe 4 N with iron and nitrides Cr 2 N with chromium were detected, indicating that a nitrided layer was formed.
本発明の難窒化金属材料のアンモニアガス処理方法
は、難窒化金属材料を窒化する際に、前処理として水素
ガスにより難窒化金属材料の表面酸化膜を還元して表面
活性化を行うため、従来の酸性溶液を用いる方法におい
て問題となる廃液による公害の恐れが無いのみならず、
他の従来の酸性溶液を用いない方法と比較して低温で難
窒化金属材料の窒化を行うことができるため、硬さが十
分な窒化金属材料を得ることができる。更に、低温での
難窒化金属材料の窒化が可能であるため、難窒化金属材
料の表面に耐食性の化合物層が形成されるため、耐食性
がより改善された窒化金属材料を得ることができる。本
発明の方法は以上のような利点を有するため、公害防止
策の必要が無く費用が節減でき、硬さが十分であり、耐
食性にも優れた窒化金属材料を提供することができると
いう極めて望ましい効果を有するものである。The ammonia gas treatment method for a non-nitridable metal material according to the present invention uses a conventional method for reducing the surface oxide film of the non-nitridable metal material with hydrogen gas as a pre-treatment when nitriding the non-nitridable metal material to activate the surface. Not only there is no danger of pollution due to waste liquid which becomes a problem in the method using the acidic solution of
Since the nitridation of the hardly nitrided metal material can be performed at a lower temperature as compared with other conventional methods not using an acidic solution, a metal nitride material having sufficient hardness can be obtained. Further, since the nitrided metal material can be nitrided at a low temperature, a corrosion-resistant compound layer is formed on the surface of the nitrided metal material, so that a metal nitride material having further improved corrosion resistance can be obtained. Since the method of the present invention has the above-mentioned advantages, it is highly desirable to provide a metal nitride material which does not require pollution prevention measures, can save cost, has sufficient hardness, and has excellent corrosion resistance. It has an effect.
第1図は、本発明の方法により得られた窒化ステンレス
鋼の断面の金属組織の顕微鏡写真である。第2図は、本
発明の方法により得られた窒化ステンレス鋼の表面から
の深さ(μm)とビッカース硬さ〔HV(100gf)〕との
関係を示すグラフである。第3図及び第4図は、本発明
の方法により得られた窒化ステンレス鋼の表面層のX線
回折分析の結果を示すグラフである。 1……表面、2……化合物層(外部窒化層)、 3……拡散層(内部窒化層)、4……ステンレス鋼母相FIG. 1 is a photomicrograph of a metal structure of a cross section of a nitrided stainless steel obtained by the method of the present invention. FIG. 2 is a graph showing the relationship between the depth (μm) from the surface of the nitrided stainless steel obtained by the method of the present invention and Vickers hardness [HV (100 gf)]. FIG. 3 and FIG. 4 are graphs showing the results of X-ray diffraction analysis of the surface layer of the nitrided stainless steel obtained by the method of the present invention. 1 ... surface, 2 ... compound layer (external nitride layer), 3 ... diffusion layer (internal nitride layer), 4 ... stainless steel matrix
フロントページの続き (72)発明者 菊池 潮美 京都府相楽郡精華町祝園一丁田5―48 (56)参考文献 特開 昭55−14851(JP,A) 「金属材料表面工学」麻田宏著 コロ ナ社(昭43−12−10)発行 30P15−17 行Continuation of the front page (72) Inventor Shiomi Kikuchi 5-48 Ichichoda, Seika-cho, Soraku-gun, Kyoto Prefecture (56) References JP-A-55-14851 (JP, A) "Metal material surface engineering" by Hiroshi Asada Coro Published by Nasha Co., Ltd. (Showa 43-12-10) 30P15-17 line
Claims (1)
力下、600乃至1350℃の温度で、水素ガスに暴露させ該
難窒化金属材料の表面酸化膜を還元する第1工程、還元
処理を受けた該難窒化金属材料を90乃至570℃の温度で
真空又は窒素ガスにに暴露することにより該難窒化金属
材料に吸収された水素を該難窒化金属材料から放出させ
る第2工程、及び該難窒化金属材料を300乃至570℃の温
度でアンモニアガス又はアンモニアガスを含む混合気体
の雰囲気中に暴露する第3工程とからなることを特徴と
する難窒化金属材料のアンモニアガス窒化方法。A first step of exposing a metal nitride-resistant material to hydrogen gas under a pressure of 0.01 to 1520 Torr at a temperature of 600 to 1350 ° C. to reduce a surface oxide film of the metal nitride-resistant material, A second step of releasing the hydrogen absorbed by the non-nitridable metal material from the non-nitridable metal material by exposing the received non-nitridable metal material to vacuum or nitrogen gas at a temperature of 90 to 570 ° C .; A third step of exposing the non-nitridable metal material to an atmosphere of ammonia gas or a mixed gas containing ammonia gas at a temperature of 300 to 570 ° C.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63269490A JP2732403B2 (en) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | Ammonia gas nitriding method for non-nitridable metal materials |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63269490A JP2732403B2 (en) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | Ammonia gas nitriding method for non-nitridable metal materials |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02118059A JPH02118059A (en) | 1990-05-02 |
JP2732403B2 true JP2732403B2 (en) | 1998-03-30 |
Family
ID=17473166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63269490A Expired - Lifetime JP2732403B2 (en) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | Ammonia gas nitriding method for non-nitridable metal materials |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2732403B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4208848C2 (en) * | 1991-12-04 | 2001-08-30 | Ald Vacuum Techn Ag | Process for the thermochemical after-treatment of steels and metals |
DE4139975C2 (en) * | 1991-12-04 | 2001-02-22 | Ald Vacuum Techn Ag | Process for the treatment of alloyed steels and refractory metals and application of the process |
JP3396336B2 (en) * | 1995-05-23 | 2003-04-14 | エア・ウォーター株式会社 | Method of nitriding steel |
JP4921149B2 (en) * | 2005-12-28 | 2012-04-25 | エア・ウォーターNv株式会社 | Metal nitriding method |
JP5558296B2 (en) * | 2010-09-28 | 2014-07-23 | 富士重工業株式会社 | Gas soft nitriding method |
CN113652626B (en) * | 2021-08-18 | 2022-12-06 | 合肥工业大学 | Method for realizing low-temperature nitriding of steel parts with complex shapes |
CN116197739B (en) * | 2023-05-05 | 2023-07-14 | 松诺盟科技有限公司 | Surface treatment process of hydrogen pressure sensor core elastomer, elastomer and application |
Family Cites Families (1)
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---|---|---|---|---|
JPS5514851A (en) * | 1978-07-17 | 1980-02-01 | Fuji Electric Co Ltd | Method and apparatus for gas nitriding of stainles steel |
-
1988
- 1988-10-27 JP JP63269490A patent/JP2732403B2/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
「金属材料表面工学」麻田宏著 コロナ社(昭43−12−10)発行 30P15−17行 |
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---|---|
JPH02118059A (en) | 1990-05-02 |
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