JP2730161B2 - Optical pulse measuring device - Google Patents

Optical pulse measuring device

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JP2730161B2
JP2730161B2 JP8006789A JP8006789A JP2730161B2 JP 2730161 B2 JP2730161 B2 JP 2730161B2 JP 8006789 A JP8006789 A JP 8006789A JP 8006789 A JP8006789 A JP 8006789A JP 2730161 B2 JP2730161 B2 JP 2730161B2
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> この発明は、時間幅の短い光パルスのパルス幅等を測
定する装置に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for measuring a pulse width of an optical pulse having a short time width.

<従来技術> 第10図に、自己相関法を用いて光パルスを測定するSH
G相関計の原理構成を示す。第10図において、被測定光
である繰り返し光パルスはハーフミラー1に入射され2
つの分岐される。すなわち、その透過光はミラー2で反
射され、さらにハーフミラー1で反射される。一方、反
射光はコーナーキューブ3でその向きが変えられて経路
を逆進し、ハーフミラー1を透過して、ミラー2で反射
された光と重ね合わされる。この合波光は対物レンズ4
で集束されてSHG結晶5に入射される。SHG結晶5は入射
光の2次高調波を発生して出力するものである。この2
次高調波はフィルタ6で選択されて受光素子7でその光
強度が測定される。コーナーキューブ3の位置を移動さ
せてハーフミラー1との距離を変えるとこの2つの経路
の光路長の差を変えることが出来るので、光路長を変え
て光強度を測定することにより、被測定光のパルス幅を
測定する事が出来る。
<Prior art> Fig. 10 shows an SH that measures optical pulses using the autocorrelation method.
2 shows the principle configuration of a G correlator. In FIG. 10, a repetitive light pulse, which is the light to be measured, is incident on the half mirror 1 and
Is forked. That is, the transmitted light is reflected by the mirror 2 and further reflected by the half mirror 1. On the other hand, the direction of the reflected light is changed by the corner cube 3, the reflected light travels backward, passes through the half mirror 1, and is superimposed on the light reflected by the mirror 2. This combined light is transmitted through the objective lens 4
And is incident on the SHG crystal 5. The SHG crystal 5 generates and outputs the second harmonic of the incident light. This 2
The next harmonic is selected by the filter 6 and its light intensity is measured by the light receiving element 7. If the distance between the corner cube 3 and the half mirror 1 is changed by moving the position of the corner cube 3, the difference between the optical path lengths of the two paths can be changed. Can be measured.

<発明が解決すべき課題> しかしながら、この様なSHG相関計には次のような課
題があった。
<Problems to be solved by the invention> However, such an SHG correlator has the following problems.

(1)繰り返しパルスしか測定することが出来ず、単一
パルスの測定が本質的に不可能である (2)自己相関法であるために、パルスの形状を測定す
ることが出来ない。従って、同じパルス幅であっても、
パルスの形状が異なるとパルス幅が異なって測定され
る。
(1) Only repetitive pulses can be measured, and measurement of a single pulse is essentially impossible. (2) Because of the autocorrelation method, the shape of the pulse cannot be measured. Therefore, even with the same pulse width,
If the pulse shape is different, the pulse width is measured differently.

(3)SHG結晶で2次高調波を発生さる構成であるため
効率が低く、被測定光の強度が低いと測定することが出
来ない。
(3) Since the second harmonic is generated by the SHG crystal, the efficiency is low, and the measurement cannot be performed if the intensity of the measured light is low.

この様な課題の為に、その使用が制限されていた。 Due to such problems, its use has been limited.

<発明の目的> この発明の目的は、単一パルスの測定が可能である光
パルス測定装置を提供する事にある。
<Object of the Invention> It is an object of the present invention to provide an optical pulse measuring apparatus capable of measuring a single pulse.

<課題を解決する為の手段> 前記課題を解決するために本発明では、被測定光とこ
の被測定光よりも時間幅の短いパルスを合波し、この合
波光の高調波光を発生させて、この高調波光の空間的な
光強度分布を測定する構成であって、前記被測定光、時
間幅の短い光パルスまたは合波光のいずれかを、その光
の進行方向に垂直な面でその位置に応じて異なる遅延時
間を与えるようにしたものである。
<Means for Solving the Problems> In order to solve the above problems, in the present invention, a light to be measured and a pulse having a shorter time width than the light to be measured are multiplexed, and a harmonic light of the multiplexed light is generated. A configuration for measuring the spatial light intensity distribution of the harmonic light, wherein any one of the light to be measured, the light pulse having a short time width or the multiplexed light is positioned at a position perpendicular to the traveling direction of the light. Different delay times are given in accordance with the conditions.

<作用> 時間変化を空間変化に置き換えることにより、単一パ
ルスの測定を可能にする。
<Operation> A single pulse can be measured by replacing a time change with a spatial change.

<実施例> 第1図に本発明に係る光パルス測定装置の一実施例を
示す。第1図において、10はパルスレーザーであり、紙
面に対して垂直に偏光した光パルスを発生する(○で表
わす)。11はパルス圧縮器であり、パルスレーザー10の
出力光が入射され、この光パルスを時間的に圧縮する。
この圧縮された光パルスはミラー12で反射され、ビーム
エクステンダ13に入射される。ビームエクステンダ13は
入射された光を空間的に広げて出力する。14は偏光子で
あり、ビームエクステンダ13の出力光が入射される。15
はパルス幅を測定する被測定光を出力する光源であり、
その出力の被測定光は紙面内で偏光している(|で表わ
す)ものとする。この被測定光は対物レンズ16で集束さ
れ、ミラー17で反射されてビームエクステンダ18に入射
される。ビームエクステンダ18は入射光を空間的に広げ
て偏光子14に入射する。偏光子14はビームエクステンダ
13、18の出力光を合波して出力する。19はバビネ(Babi
net)の補償板であり、偏光子14で合波された光が入射
される。バビネの補償板19は特定の偏波面の光のみ、そ
の進行方向に垂直な面における位置によって異なる遅延
時間を与えるものである。20は高調波光発生手段であ
り、バビネの補償板19の出力光が入射され、その2次高
調波を発生させる。21はフィルタであり、高調波光発生
手段21の出力光が入射され、2次高調波のみを選択して
透過させる。22はラインセンサであり、フィルタ21の出
力光が入射され、その空間的な強度分布を電気信号に変
換する。23は表示・演算部であり、ラインセンサ22の出
力が入力され、被測定光のパルス幅を演算して表示す
る。24は駆動部であり、パルスレーザー10及び光源15を
同期して動作させる。
<Embodiment> Fig. 1 shows an embodiment of an optical pulse measuring apparatus according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a pulse laser, which generates a light pulse polarized perpendicularly to the plane of the drawing (represented by a circle). A pulse compressor 11 receives the output light of the pulse laser 10 and temporally compresses the light pulse.
The compressed light pulse is reflected by the mirror 12 and is incident on the beam extender 13. The beam extender 13 spatially expands the incident light and outputs the light. Reference numeral 14 denotes a polarizer to which the output light of the beam extender 13 is incident. Fifteen
Is a light source that outputs the light to be measured for measuring the pulse width,
The output light to be measured is polarized (indicated by |) in the paper. The light to be measured is focused by the objective lens 16, reflected by the mirror 17, and made incident on the beam extender 18. The beam extender 18 spatially spreads the incident light and enters the polarizer 14. Polarizer 14 is a beam extender
The output lights of 13 and 18 are combined and output. 19 is Babinet
net), and the light multiplexed by the polarizer 14 enters. The Babinet compensator 19 gives a different delay time depending on the position on a plane perpendicular to the traveling direction of only the light of a specific polarization plane. Numeral 20 is a harmonic light generating means, which receives the output light of the Babinet compensator 19 and generates its second harmonic. Reference numeral 21 denotes a filter to which the output light of the harmonic light generating means 21 is incident, and selects and transmits only the second harmonic. Reference numeral 22 denotes a line sensor, which receives the output light of the filter 21 and converts the spatial intensity distribution into an electric signal. Reference numeral 23 denotes a display / calculation unit which receives the output of the line sensor 22 and calculates and displays the pulse width of the light to be measured. Reference numeral 24 denotes a drive unit that operates the pulse laser 10 and the light source 15 in synchronization.

次に、この実施例の動作を説明する。パルスレーザー
10及び被測定光はそれぞれビームエクステンダ13、18で
空間的に広げられ、偏光子14で合波される。パルスレー
ザー10の出力光はパルス圧縮器11で時間的に圧縮される
ので、そのパルス幅は光源15の出力光である被測定光の
パルス幅より狭くなっている。第2図は偏光子14の出力
側におけるパルス圧縮器11の出力光と被測定光の時間関
係を示したものであり、30はパルス圧縮器11の出力光、
31は被測定光である。駆動部24はパルスレーザー10と光
源15の駆動時間を調整して、パルス圧縮器11の出力光30
が被測定光31の中央に来るようにする。
Next, the operation of this embodiment will be described. Pulse laser
The light 10 and the light to be measured are spatially expanded by the beam extenders 13 and 18, respectively, and multiplexed by the polarizer 14. Since the output light of the pulse laser 10 is temporally compressed by the pulse compressor 11, the pulse width is smaller than the pulse width of the light to be measured, which is the output light of the light source 15. FIG. 2 shows the time relationship between the output light of the pulse compressor 11 and the light to be measured on the output side of the polarizer 14, where 30 is the output light of the pulse compressor 11,
Reference numeral 31 denotes the light to be measured. The driving unit 24 adjusts the driving time of the pulse laser 10 and the light source 15 and outputs the output light 30 of the pulse compressor 11.
At the center of the measured light 31.

第3図にバビネの補償板19の構成を示す。バビネの補
償板は同形の楔形の細長い水晶32、33を、水晶32の光学
軸を紙面に平行に、水晶33の光学軸を紙面に垂直にして
組み合わせたものである。水晶は複屈折性があるので、
光学軸の方向によって屈折率が異なる。これらの屈折率
をn0、neとすると、左端面からの距離がxの位置におけ
る水晶32、33の厚さをそれぞれd1、d2とすると、紙面内
で偏光している光に対して、バビネの補償板の厚さ方向
の光路長Lは、 L=(d1−d2)(n0−ne) になる。すなわち、位置xによってバビネの補償板19を
通過する時間が異なるという効果が生じる。紙面に垂直
に偏光している光に対しては一定の遅延を与える。
FIG. 3 shows the structure of the Babinet compensator 19. Babinet's compensator is a combination of elongated wedge-shaped crystals 32 and 33 of the same shape, with the optical axis of the crystal 32 parallel to the paper surface and the optical axis of the crystal 33 perpendicular to the paper surface. Since crystal has birefringence,
The refractive index differs depending on the direction of the optical axis. When these refractive index and n 0, n e, the distance from the left end to the thickness of each d 1, d 2 of the crystal 32, 33 at the position of x, with respect to light that is polarized in the plane Te, the optical path length in the thickness direction L of the compensator Babinet is, L = become (d 1 -d 2) (n 0 -n e). That is, there is an effect that the time required to pass through the Babinet compensator 19 varies depending on the position x. A certain delay is given to light polarized perpendicular to the plane of the paper.

次に、第4図に基づいてバビネの補償板19以降の動作
を説明する。なお、第1図と同じ要素には同一符号を付
し、説明を省略する。偏光子14で合波された光はバビネ
の補償板19に入射される。この入射光は第2図で説明し
たようになっている。バビネの補償板19は第3図で説明
したように紙面内で偏光した光のみ、その入射位置によ
って異なった遅延量を与える。従って、A、B点におけ
る出力光30と31の相対関係は第5図(A)、(B)のよ
うになる。すなわち、A点では出力光31が先行し、B点
では出力光30が先行する。A点とB点の間では位相差が
連続的に分布した光が得られる。バビネの補償板19の出
力光は高調波光発生手段20に入射される。高調波光発生
手段20はKDP結晶で構成され、その光学軸は光の入射方
向に対して約59゜にされる。高調波光発生手段20は入射
光の2次高調波を発生し、その強度Pは次式(1)に従
う。
Next, the operation after the Babinet compensator 19 will be described with reference to FIG. The same elements as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. The light multiplexed by the polarizer 14 is incident on a Babinet compensator 19. This incident light is as described in FIG. As described with reference to FIG. 3, the Babinet compensating plate 19 gives a different amount of delay depending on the incident position of only the light polarized in the plane of the drawing. Accordingly, the relative relationship between the output lights 30 and 31 at points A and B is as shown in FIGS. 5 (A) and 5 (B). That is, at the point A, the output light 31 precedes, and at the point B, the output light 30 precedes. Light having a phase difference continuously distributed between points A and B is obtained. The output light from the Babinet compensator 19 is incident on the harmonic light generator 20. The harmonic light generating means 20 is made of a KDP crystal, and its optic axis is set at about 59 ° with respect to the light incident direction. The harmonic light generating means 20 generates a second harmonic of the incident light, and its intensity P is in accordance with the following equation (1).

P=r123・E1・E2/2 ……(1) 但し、E1、E2はそれぞれ出力光30、31の強度、r123
非線形効果の生じ易さを表わす定数である。従って、第
5図(C)、(D)に示すように、2次高調波は出力光
30と31が時間的にオーバーラップした部分についてのみ
発生する。高調波光発生手段20の出力はフィルタ21で2
次高調波の部分のみが取り出され、ラインセンサ22に入
射される。ラインセンサ22は入射光の進行方向に対して
垂直な線上に複数の光センサを配列したものであり、各
々の点におけるフィルタ21の出力光強度を電気信号に変
換する。被測定光とパルス圧縮器11の出力光の位相差は
バビネの補償板19で連続的に変化させられるので、ライ
ンセンサ22で測定した2次高調波の空間的な光強度分布
は、ビームエクステンダ13の出力光強度の分布を一定と
すると、被測定光の強度の時間的な分布になる。その
為、被測定光のパルス幅をラインセンサ22で測定する空
間的な幅に置き換えることができ、単一のパルスで被測
定光のパルス幅を測定することができる。また、前記
(1)式からわかるように、パルス圧縮器11の光強度を
増加することにより、被測定光強度が弱くても2次高調
波の強度を高くすることが出来るので、信号のS/N比を
改善することが可能になる。
P = r 123 · E 1 · E 2/2 ...... (1) where the intensity of E 1, E 2 respectively output light 30, 31, r 123 is a constant representing the resulting ease of nonlinear effects. Therefore, as shown in FIGS. 5 (C) and (D), the second harmonic is the output light.
It occurs only in the part where 30 and 31 overlap in time. The output of the harmonic light generating means 20 is 2
Only the part of the second harmonic is taken out and made incident on the line sensor 22. The line sensor 22 has a plurality of optical sensors arranged on a line perpendicular to the traveling direction of incident light, and converts the output light intensity of the filter 21 at each point into an electric signal. Since the phase difference between the light to be measured and the output light from the pulse compressor 11 is continuously changed by the Babinet compensator 19, the spatial light intensity distribution of the second harmonic measured by the line sensor 22 is equal to the beam extender. Assuming that the distribution of the output light intensity of 13 is constant, the distribution of the intensity of the light to be measured becomes temporal. Therefore, the pulse width of the measured light can be replaced with the spatial width measured by the line sensor 22, and the pulse width of the measured light can be measured with a single pulse. Further, as can be seen from the above equation (1), by increasing the light intensity of the pulse compressor 11, the intensity of the second harmonic can be increased even if the measured light intensity is weak. It is possible to improve the / N ratio.

第6図に本発明の他の実施例を示す。この実施例は、
被測定光の遅延時間を異ならせるようにしたものであ
る。なお、第1図と同じ要素には同一符号を付し、説明
を省略する。第6図において、34は遅延手段であり、ビ
ームエクステンダ18の出力光が入力される。この遅延手
段34はバビネの補償板19と同じ働きをする。すなわち、
入射光の進行方向に垂直な方向の位置に応じて異なった
遅延時間を与える。遅延手段34の出力光は偏光子14に入
射される。また、第1図実施例と異なりバビネの補償板
19がなく、偏光子14の出力光は直接高調波光発生手段20
に入射される。本発明では、光パルス発生手段であるパ
ルス圧縮器11の出力光と被測定光の相対的な遅延時間を
異ならせればよいので、このようにしても同様の効果を
達成出来る。
FIG. 6 shows another embodiment of the present invention. This example is
The delay time of the measured light is made different. The same elements as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. In FIG. 6, reference numeral 34 denotes a delay unit to which the output light of the beam extender 18 is input. The delay means 34 has the same function as the Babinet compensator 19. That is,
Different delay times are given according to the position in the direction perpendicular to the traveling direction of the incident light. The output light of the delay means 34 enters the polarizer 14. Also, unlike the embodiment shown in FIG.
19, the output light of the polarizer 14 is directly output to the harmonic light generating means 20.
Is incident on. In the present invention, since the relative delay time between the output light of the pulse compressor 11 as the optical pulse generating means and the light to be measured only needs to be different, the same effect can be achieved in this case.

第7図に遅延手段34の構成の一例を示す。第7図にお
いて、35はミラーであり、ビームエクステンダ18で空間
的に広げられた光を反射する。36は多段コーナーキュー
ブであり、ミラー35で反射された光が入射される。多段
コーナーキューブ36は複数のコーナーキューブを階段状
に積み重ねた構成をしており、各段によって光の光路長
が異なる。従って、光の進行方向に垂直の方向に遅延時
間が異なり、バビネの補償板19と同じ効果を達成でき
る。多段コーナーキューブ36の出力光はミラー37で反射
されて偏光子14に入射される。この構成においては、ラ
インセンサ22の受光素子の数は多段コーナーキューブ36
の段数だけあればよい。なお、遅延手段34としてバビネ
の補償板を用いることも出来る。
FIG. 7 shows an example of the configuration of the delay means 34. In FIG. 7, reference numeral 35 denotes a mirror which reflects the light spatially expanded by the beam extender 18. Reference numeral 36 denotes a multi-stage corner cube, on which light reflected by the mirror 35 is incident. The multi-stage corner cube 36 has a configuration in which a plurality of corner cubes are stacked in a stepwise manner, and the optical path length of light differs depending on each stage. Therefore, the delay time differs in the direction perpendicular to the light traveling direction, and the same effect as the Babinet compensator 19 can be achieved. The output light of the multi-stage corner cube 36 is reflected by the mirror 37 and enters the polarizer 14. In this configuration, the number of light receiving elements of the line sensor 22 is
The number of stages is sufficient. Note that a Babinet compensator can be used as the delay unit 34.

第8図にさらに他の実施例を示す。なお、第1図と同
じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。この実施
例は光パルス発生手段であるパルス圧縮器11の出力光を
遅延させるようにしたものである。第8図において、34
は遅延手段であり、バビネの補償板または第7図に示し
た構成のものを用いる。この遅延手段34にはビームエク
ステンダ13の出力光が入力され、その出力光は偏光子14
に入射される。また、偏光子14の出力光は直接高調波発
生手段20に入射される。このようにしても、同様の効果
を達成することが出来る。
FIG. 8 shows still another embodiment. The same elements as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. In this embodiment, the output light of the pulse compressor 11, which is an optical pulse generating means, is delayed. In FIG. 8, 34
Is a delay means, which uses a Babinet compensator or the structure shown in FIG. The output light of the beam extender 13 is input to the delay means 34, and the output light is
Is incident on. The output light of the polarizer 14 is directly incident on the harmonic generation means 20. Even in this case, the same effect can be achieved.

なお、これらの実施例では光源15とパルスレーザー10
の動作時間を調整して、これらの出力光が第2図に示す
関係にあるようにしたが、被測定光またはパルス圧縮器
11の出力光の光路に可変遅延手段を挿入するようにして
もよい。可変遅延手段としては、例えば第9図に示すも
のを用いることが出来る。第9図において、38はミラ
ー、39はコーナーキューブである。光は上からミラー38
に入射して反射され、コーナーキューブ39で向きを反転
されてミラー38で反射されて出力される。ミラー38とコ
ーナーキューブ39の距離を変えることにより、遅延時間
を可変することが出来る。
In these examples, the light source 15 and the pulse laser 10 were used.
The output time is adjusted so that the output light has the relationship shown in FIG.
Variable delay means may be inserted in the optical path of the output light of No. 11. As the variable delay means, for example, the means shown in FIG. 9 can be used. In FIG. 9, 38 is a mirror, and 39 is a corner cube. Light is mirror 38 from above
At the corner cube 39, the direction of which is inverted, reflected by the mirror 38, and output. By changing the distance between the mirror 38 and the corner cube 39, the delay time can be varied.

また、パルス発生手段の出力光と被測定光の波長が異
なる場合は、和または差の周波数の光を発生させ、この
光の強度を測定するようにしてもよい。この場合は、フ
ィルタ21の特性を変えて、これらの波長の光のみを透過
させるようにすればよい。
Further, when the wavelength of the output light from the pulse generator and the wavelength of the light to be measured are different, light having a sum or difference frequency may be generated and the intensity of the light may be measured. In this case, the characteristics of the filter 21 may be changed so that only light of these wavelengths is transmitted.

さらに、2次高調波でなく、3次以上の高調波を用い
るようにしてもよい。
Further, instead of the second harmonic, a third or higher harmonic may be used.

<発明の効果> 以上、実施例に基づいて具体的に説明したように、こ
の発明では被測定光または光パルス発生手段の出力光を
光の進行方向に垂直な面で距離に応じた遅延を与えるよ
うにして2つの光を合波し、その高調波を発生させてそ
の光強度の空間的な分布を求めて、この分布から被測定
光のパルス幅を求めるようにした。その為、単一の光パ
ルスのパルス幅を求めることが出来るという効果があ
る。
<Effects of the Invention> As described above in detail based on the embodiments, in the present invention, the measured light or the output light of the optical pulse generating means is delayed according to the distance in a plane perpendicular to the light traveling direction. The two lights are multiplexed in such a way as to give a higher harmonic, a spatial distribution of the light intensity is obtained, and a pulse width of the light to be measured is obtained from the distribution. Therefore, there is an effect that the pulse width of a single light pulse can be obtained.

また、光パルス発生手段の出力光の空間的な強度分布
が既知であると、被測定光のパルスの形状を求めること
も出来る。
Also, if the spatial intensity distribution of the output light from the optical pulse generation means is known, the pulse shape of the light to be measured can be obtained.

さらに、被測定光の強度が弱くても、光パルス発生手
段の出力光強度を高くすることによりラインセンサの出
力を高くすることが出来るので、S/N比のよい測定が可
能になるという効果もある。
Furthermore, even if the intensity of the light to be measured is low, the output of the line sensor can be increased by increasing the output light intensity of the optical pulse generating means, so that an effect that a good S / N ratio can be measured can be obtained. There is also.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明に係る光パルス測定装置の一実施例を示
す構成図、第2図〜第5図はその動作を説明するための
図、第6図及び第8図は他の実施例を示す構成図、第7
図は遅延手段の構成を示す図、第9図は可変遅延手段の
構成を示す図、第10は従来の光パルス測定装置の構成図
である。 10……パルスレーザー、11……パルス圧縮器、13,18…
…ビームエクステンダ、14……偏光子、15……光源、19
……バビネの補償板、20……高調波光発生手段、21……
フィルタ、22……ラインセンサ、23……演算・表示部、
24……駆動部、34……遅延手段。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an optical pulse measuring apparatus according to the present invention, FIGS. 2 to 5 are diagrams for explaining the operation thereof, and FIGS. 6 and 8 are other embodiments. FIG.
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a delay unit, FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a variable delay unit, and FIG. 10 is a configuration diagram of a conventional optical pulse measuring device. 10 …… Pulse laser, 11 …… Pulse compressor, 13,18…
… Beam extender, 14… Polarizer, 15 …… Light source, 19
…… Babinet compensator, 20 …… Harmonic light generator, 21 ……
Filter, 22 ... Line sensor, 23 ... Calculation / display unit,
24 ... Drive section, 34 ... Delay means.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】被測定光と、この被測定光よりも時間幅の
短いパルス光を発生する光パルス発生手段と、この光パ
ルス発生手段の出力光及び前記被測定光を合波する合波
手段と、この合波手段の出力光が入射され特定の偏波面
の光をその光の進行方向に垂直な面でその距離に応じて
異なった遅延量を与える遅延手段と、この遅延手段の出
力光が入射され非線形光学効果により高調波光を発生す
る高調波光発生手段と、この高調波光発生手段の出力光
が入射され特定の波長の光のみ透過させるフィルタと、
このフィルタの出力光が入射されその光強度の空間分布
を測定するラインセンサとからなる光パルス測定装置。
An optical pulse generating means for generating light to be measured, a pulse light having a shorter time width than the light to be measured, and a multiplexing means for multiplexing the output light of the optical pulse generating means and the light to be measured. A delay means for receiving the output light of the multiplexing means and providing a different amount of delay according to the distance on a plane perpendicular to the direction of travel of the light on a specific polarization plane, and an output of the delay means. A harmonic light generating means for generating harmonic light by a non-linear optical effect when light is incident thereon, and a filter to which the output light of the harmonic light generating means is incident and transmits only light of a specific wavelength,
A light pulse measuring device comprising: a line sensor that receives the output light of the filter and measures a spatial distribution of the light intensity.
【請求項2】被測定光と、この被測定光が入射されその
光の進行方向に垂直な面でその距離に応じて異なった遅
延量を与える遅延手段と、前記被測定光よりも時間幅の
短いパルス光を発生する光パルス発生手段と、この光パ
ルス発生手段の出力光及び前記遅延手段の出力光を合波
する合波手段と、この合波手段の出力光が入射され非線
形光学効果により高調波光を発生する高調波光発生手段
と、この高調波光発生手段の出力光が入射され特定の波
長の光のみ透過させるフィルタと、このフィルタの出力
光が入射されその光強度の空間分布を測定するラインセ
ンサとからなる光パルス測定装置。
2. The light to be measured, a delay means for providing a different amount of delay according to the distance on a plane perpendicular to the traveling direction of the light to which the light to be measured is incident, and a time width longer than the light to be measured. An optical pulse generating means for generating a short pulse light, a multiplexing means for multiplexing the output light of the optical pulse generating means and the output light of the delay means, and a non-linear optical effect in which the output light of the multiplexing means is incident. Means for generating harmonic light by means of a filter, a filter to which the output light of this harmonic light generation means is incident and which transmits only light of a specific wavelength, and a spatial distribution of the light intensity to which the output light of this filter is incident and measured Light pulse measuring device comprising a line sensor.
【請求項3】被測定光と、この被測定光よりも時間幅の
短いパルス光を発生する光パルス発生手段と、この光パ
ルス発生手段の出力光が入射されその光の進行方向に垂
直な面でその距離に応じて異なった遅延量を与える遅延
手段と、この遅延手段の出力光及び前記被測定光を合波
する合波手段と、この合波手段の出力光が入射され非線
形光学効果により高調波光を発生する高調波光発生手段
と、この高調波光発生手段の出力光が入射され特定の波
長の光のみ透過させるフィルタと、このフィルタの出力
光が入射されその光強度の空間分布を測定するラインセ
ンサとからなる光パルス測定装置。
3. A light to be measured, an optical pulse generating means for generating a pulse light having a shorter time width than the light to be measured, and an output light from the optical pulse generating means which is incident and is perpendicular to a traveling direction of the light. A delay means for providing a different amount of delay according to the distance in the plane, a multiplexing means for multiplexing the output light of the delay means and the light to be measured, and a non-linear optical effect receiving the output light of the multiplexing means. Means for generating harmonic light by means of a filter, a filter to which the output light of this harmonic light generation means is incident and which transmits only light of a specific wavelength, and a spatial distribution of the light intensity to which the output light of this filter is incident and measured Light pulse measuring device comprising a line sensor.
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