JP2726789B2 - Cool storage refrigerator - Google Patents

Cool storage refrigerator

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JP2726789B2
JP2726789B2 JP4312441A JP31244192A JP2726789B2 JP 2726789 B2 JP2726789 B2 JP 2726789B2 JP 4312441 A JP4312441 A JP 4312441A JP 31244192 A JP31244192 A JP 31244192A JP 2726789 B2 JP2726789 B2 JP 2726789B2
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収二 安藤
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政志 長尾
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えば磁気共鳴画像
診断装置に適用される超電導マグネットに用いられる蓄
冷型冷凍機に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a regenerative refrigerator used for a superconducting magnet applied to, for example, a magnetic resonance diagnostic imaging apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】図23は従来の蓄冷型冷凍機の一例を示
す模式断面図であり、図において1は例えばステンレス
を円筒状に切削加工された口径の異なる第1段、第2段
および第3段シリンダ1a,1b,1cを連結して3段
に構成されたシリンダ、2はシリンダ1内に摺動可能に
配設されたディスプレーサであり、このディスプレーサ
2は、例えばフェノール積層管からなる第1段、第2段
および第3段ディスプレーサ2a,2b,2cを、図2
4に示すように、自在継手3および固定ピン4により互
いに回動可能に連結して構成されている。
2. Description of the Related Art FIG. 23 is a schematic cross-sectional view showing an example of a conventional regenerative refrigerator. In FIG. 23, reference numeral 1 denotes a first stage, a second stage and a second stage obtained by cutting stainless steel into a cylindrical shape and having different diameters. A three-stage cylinder 1a, 1b, 1c is connected to form a three-stage cylinder, and a displacer 2 is slidably disposed in the cylinder 1. The displacer 2 is formed of, for example, a phenol laminated tube. The first, second and third stage displacers 2a, 2b, 2c are
As shown in FIG. 4, the universal joint 3 and the fixed pin 4 are configured to be rotatably connected to each other.

【0003】5は第1段、第2段および第3段ディスプ
レーサ2a,2b,2c内にそれぞれ蓄冷材が充填され
た第1段、第2段および第3段蓄冷器5a,5b,5c
からなる蓄冷器であり、ここでは、第1段蓄冷器5aに
は銅金網を、第2段蓄冷器5bには鉛玉を、そして第3
段蓄冷器5cにはGdRhをそれぞれ蓄冷材として充填
している。
[0005] Reference numeral 5 denotes first, second and third stage regenerators 5a, 5b and 5c in which regenerator material is filled in first, second and third stage displacers 2a, 2b and 2c, respectively.
Here, the first-stage regenerator 5a is provided with a copper wire mesh, the second-stage regenerator 5b is provided with lead balls, and the third-stage regenerator 5b.
The stage regenerator 5c is filled with GdRh as a regenerative material.

【0004】6、7および8は第1段、第2段および第
3段シリンダ1a,1b,1cと第1段、第2段および
第3段ディスプレーサ2a,2b,2cとの間にそれぞ
れ配設された第1段、第2段および第3段シールであ
る。ここで、第1段シール6は、例えば図25に示すよ
うに、第1段ディスプレーサ2aの高温側の外周面に周
方向の環状の溝61を形成し、テフロンシール62とO
リング63とをその環状の溝61内に配設し、Oリング
63の弾性力により気密シールする、いわゆるキャップ
シール構造がとられている。また、図示していないが、
ディスプレーサ2を往復移動する駆動手段のスコッチヨ
ーク軸もまた、上記キャップシール構造がとられてい
る。さらに、第2段および第3段シール7、8は、図2
6の(a),(b)に示すように、第2段および第3段
ディスプレーサ2b,2cの高温側の外周面に周方向の
環状の溝71を形成し、合口74の係合により口径が変
わるピストンリング72とバックアップリング73とを
その環状の溝71内に配設し、バックアップリング73
の弾性力により気密シールする構造がとられている。
[0004] Reference numerals 6, 7 and 8 are disposed between first, second and third stage cylinders 1a, 1b and 1c and first, second and third stage displacers 2a, 2b and 2c, respectively. The first, second and third stage seals provided. Here, as shown in, for example, FIG. 25, the first-stage seal 6 forms a circumferential annular groove 61 on the outer peripheral surface on the high-temperature side of the first-stage displacer 2a.
A so-called cap seal structure is adopted in which the ring 63 and the ring 63 are disposed in the annular groove 61 and hermetically sealed by the elastic force of the O-ring 63. Although not shown,
The scotch yoke shaft of the driving means for reciprocating the displacer 2 also has the above cap seal structure. In addition, the second and third stage seals 7, 8 are shown in FIG.
6 (a) and 6 (b), a circumferential annular groove 71 is formed on the outer peripheral surface on the high temperature side of the second and third stage displacers 2b and 2c, A piston ring 72 and a backup ring 73 are provided in the annular groove 71, and the backup ring 73
Airtight sealing by the elastic force of

【0005】9、10および11は第1段、第2段およ
び第3段シリンダ1a,1b,1cの低温側の端部外周
面のそれぞれに配設された第1段、第2段および第3段
ヒートステージであり、これらのヒートステージには高
熱伝導性材料、例えば銅が用いられている。12は第1
段膨張室、13は第2段膨張室、14は第3段膨張室、
15はヘリウムガス、16はヘリウム圧縮機、17はヘ
リウム圧縮機16で圧縮されたヘリウムガス15を導入
する吸気バルブ、18はヘリウムガス15を排出する排
気バルブ、19は駆動モータ、20は駆動モータ19の
回転を直線運動に変換し、この動きに同期させて吸気バ
ルブ17および排気バルブ18を動作する駆動機構であ
る。
[0005] Reference numerals 9, 10 and 11 denote first, second and third stages respectively disposed on the outer peripheral surfaces of the lower end portions of the first, second and third stage cylinders 1a, 1b and 1c. This is a three-stage heat stage, and a high heat conductive material, for example, copper is used for these heat stages. 12 is the first
Stage expansion chamber, 13 is a second stage expansion chamber, 14 is a third stage expansion chamber,
15 is a helium gas, 16 is a helium compressor, 17 is an intake valve for introducing helium gas 15 compressed by the helium compressor 16, 18 is an exhaust valve for discharging helium gas 15, 19 is a drive motor, and 20 is a drive motor This is a driving mechanism that converts the rotation of 19 into a linear motion and operates the intake valve 17 and the exhaust valve 18 in synchronization with this motion.

【0006】このように構成された蓄冷型冷凍機はつぎ
のように動作する。まず、第1段、第2段および第3段
ディスプレーサ2a,2b,2cが最下端にあり、吸気
バルブ17が開き、かつ、排気バルブ18が閉じている
状態で、第1段、第2段および第3段膨張室12、1
3、14内には、ヘリウムガス圧縮手段であるヘリウム
圧縮機16で圧縮された高圧のヘリウムガス15が導入
され、高圧状態となっている。
[0006] The regenerative refrigerator configured as above operates as follows. First, in a state where the first, second and third-stage displacers 2a, 2b and 2c are at the lowermost end, the intake valve 17 is open and the exhaust valve 18 is closed, the first and second stages are displaced. And the third-stage expansion chambers 12, 1
A high-pressure helium gas 15 compressed by a helium compressor 16, which is a helium gas compression means, is introduced into the insides 3 and 14 to be in a high-pressure state.

【0007】つぎに、第1段、第2段および第3段ディ
スプレーサ2a,2b,2cが上方に動き、それに伴い
高圧のヘリウムガス15が第1段、第2段および第3段
蓄冷器5a,5b,5cを通じて、第1段、第2段およ
び第3段膨張室12、13、14に導入される。この
間、吸気および排気バルブ17、18は動かない。高圧
のヘリウムガス15は、第1段蓄冷器5a、第2段蓄冷
器5bおよび第3段蓄冷器5cを通過する際に、それぞ
れの蓄冷材により所定温度に冷却される。さらに、第1
段、第2段および第3段ディスプレーサ1a,1b,1
cが最上端になった時に、吸気バルブ17が閉じ、排気
バルブ18が開き、高圧のヘリウムガス15が低圧部に
膨張して冷凍が発生する。この時、ヘリウムガス15
は、低温低圧ガスとなる。
Next, the first-stage, second-stage and third-stage displacers 2a, 2b, and 2c move upward, and accordingly, high-pressure helium gas 15 is supplied to the first-stage, second-stage, and third-stage regenerators 5a. , 5b, 5c are introduced into the first, second and third stage expansion chambers 12, 13, 14. During this time, the intake and exhaust valves 17, 18 do not move. The high-pressure helium gas 15 is cooled to a predetermined temperature by each regenerator material when passing through the first regenerator 5a, the second regenerator 5b, and the third regenerator 5c. Furthermore, the first
Stage, second stage and third stage displacers 1a, 1b, 1
When c reaches the uppermost end, the intake valve 17 closes, the exhaust valve 18 opens, and the high-pressure helium gas 15 expands to the low-pressure portion, causing refrigeration. At this time, helium gas 15
Becomes a low-temperature low-pressure gas.

【0008】ついで、第1段、第2段および第3段ディ
スプレーサ2a,2b,2cが下方に移動することによ
り、低温低圧のヘリウムガス15が、第1段、第2段お
よび第3段蓄冷器5a,5b,5cを通過して排気バル
ブ18から排気される。この時、低温低圧のヘリウムガ
ス15は、第1段、第2段および第3段蓄冷器5a,5
b,5cの蓄冷材を冷却した後、ヘリウム圧縮機16に
戻る。
Next, the first, second and third stage displacers 2a, 2b and 2c move downward, so that the low-temperature and low-pressure helium gas 15 is cooled by the first, second and third stage regenerators. The gas is exhausted from the exhaust valve 18 through the vessels 5a, 5b, 5c. At this time, the low-temperature and low-pressure helium gas 15 is supplied to the first, second and third regenerators 5a and 5a.
After cooling the cold storage materials b and 5c, the process returns to the helium compressor 16.

【0009】その後、第1段、第2段および第3段膨張
室12、13、14の容積が最小となった状態で、排気
バルブ18が閉じ、吸気バルブ17が開き、ヘリウム圧
縮機16で圧縮された高圧のヘリウムガス15が導入さ
れ、第1段、第2段および第3段膨張室12、13、1
4の圧力が低圧から高圧になる。
Thereafter, with the volumes of the first, second and third stage expansion chambers 12, 13, and 14 minimized, the exhaust valve 18 is closed, the intake valve 17 is opened, and the helium compressor 16 The compressed high-pressure helium gas 15 is introduced, and the first, second and third stage expansion chambers 12, 13, 1
The pressure of 4 changes from low pressure to high pressure.

【0010】ここで、高圧、例えば20バールのヘリウ
ムガス15は、第1段蓄冷器5aで60K(ケルビン)
に冷却され、第2段蓄冷器5bで15Kに冷却され、さ
らに第3段蓄冷器5cで冷却されて第3膨張室14に導
かれる。例えば、第3段蓄冷器5cの蓄冷材を鉛とする
と、比熱がヘリウムガス15より小さいのでヘリウムガ
ス15は十分冷却されずに第3段膨張室5cに導かれ、
膨張室の温度が上昇して損失が生じてしまい、6.5K
程度の到達温度しか得られないが、第3段蓄冷器5cの
蓄冷材としてGdRhを用いているので、比熱が鉛より
大きく損失が小さくなり、5.5Kの到達温度が得られ
ている。
The helium gas 15 at a high pressure, for example, 20 bar, is supplied to the first stage regenerator 5a at 60K (Kelvin).
Is cooled to 15K by the second-stage regenerator 5b, further cooled by the third-stage regenerator 5c, and guided to the third expansion chamber 14. For example, if the regenerator material of the third-stage regenerator 5c is lead, the specific heat is smaller than the helium gas 15, so the helium gas 15 is not sufficiently cooled and is guided to the third-stage expansion chamber 5c,
The temperature of the expansion chamber rises to cause a loss, and 6.5K
Although only the ultimate temperature can be obtained, since GdRh is used as the cold storage material of the third stage regenerator 5c, the specific heat is larger than that of lead and the loss is smaller, and the ultimate temperature of 5.5K is obtained.

【0011】このように、第1段、第2段および第3段
膨張室12、13、14のヘリウムガス15の温度は、
第1段、第2段および第3段シリンダ1a,1b,1c
を介して第1段、第2段および第3段ヒートステージ
9、10、11に伝達され、例えば超電導マグネットの
冷却に適用される。
As described above, the temperature of the helium gas 15 in the first, second and third stage expansion chambers 12, 13 and 14 is:
First stage, second stage and third stage cylinders 1a, 1b, 1c
Through the first stage, the second stage, and the third stage heat stages 9, 10, and 11, for example, applied to cooling of a superconducting magnet.

【0012】つぎに、上記従来の蓄冷型冷凍機の適用例
について説明する。図27は従来の超電導マグネットの
一例を示す一部破断斜視図であり、図において21は円
筒形の超電導コイルであり、この超電導コイル21はヘ
リウム槽22内に満たされた液体ヘリウム23に浸漬さ
れ、極低温に保持されている。24はヘリウム槽22を
包囲するように配設された真空槽であり、この真空槽2
4とヘリウム槽22との間を真空排気して断熱してい
る。25は第2熱シールド、26は第1熱シールドであ
り、これらの第1および第2熱シールド26、25は、
ヘリウム槽22と真空槽24との間にヘリウム槽22を
包囲するように同軸円筒状に配設され、ヘリウム槽22
への熱侵入を減少させている。
Next, an application example of the above-mentioned conventional regenerative refrigerator will be described. FIG. 27 is a partially cutaway perspective view showing an example of a conventional superconducting magnet. In the drawing, reference numeral 21 denotes a cylindrical superconducting coil, which is immersed in liquid helium 23 filled in a helium tank 22. , Kept at cryogenic temperatures. Numeral 24 denotes a vacuum tank arranged so as to surround the helium tank 22.
4 and the helium tank 22 are evacuated and insulated. 25 is a second heat shield, 26 is a first heat shield, and these first and second heat shields 26 and 25 are
The helium tank 22 is disposed between the helium tank 22 and the vacuum tank 24 so as to surround the helium tank 22 in a coaxial cylindrical shape.
To reduce heat intrusion.

【0013】27は超電導マグネット21の軸方向と略
平行に真空槽24の端面に取り付けられた、上記図23
に示した従来の蓄冷型冷凍機、28は鉄製の磁気シール
ドフランジ29とともに真空槽24を包囲して配設され
た鉄製の磁気シールド、30はボア、31はポート部3
2に設けられた放圧弁、33は超電導マグネットの据付
足、34はヘリウム槽22内の圧力を制御する圧力コン
トローラである。
FIG. 23 is attached to the end face of the vacuum chamber 24 substantially in parallel with the axial direction of the superconducting magnet 21.
, 28 is an iron magnetic shield disposed around the vacuum chamber 24 together with an iron magnetic shield flange 29, 30 is a bore, 31 is a port 3
2, a pressure release valve, a mounting foot 33 for the superconducting magnet, and a pressure controller 34 for controlling the pressure in the helium tank 22.

【0014】つぎに、上記蓄冷型冷凍機27の取り付け
構造について図28に基づいて説明する。一端がヘリウ
ム槽22内で蒸発するヘリウムガスの雰囲気に臨むよう
にヘリウム槽22の上部にステンレス製のL字管35が
設けられている。また、真空槽24の端面には、ステン
レス製の冷凍機取付シリンダ36が超電導コイル21の
軸方向と略平行に取り付けられている。L字管35と冷
凍機取付シリンダ36とはベロー37で接続されてい
る。この冷凍機取付シリンダ36には、銅製の第1段お
よび第2段ヒートステージ38、39が設けられ、それ
ぞれが第1および第2熱シールド26、25に熱接続さ
れている。また、第1段および第2段ヒートステージ3
8、39と第1および第2熱シールド26、25との熱
接続部を覆うように銅製の第1および第2輻射カバー4
0、41が配設され、さらにステンレス製の封口板42
が真空槽24に取り付けられ、外部からの熱侵入を低減
している。
Next, a mounting structure of the regenerative refrigerator 27 will be described with reference to FIG. An L-shaped pipe 35 made of stainless steel is provided above the helium tank 22 so that one end faces the atmosphere of the helium gas evaporated in the helium tank 22. A stainless-steel refrigerator mounting cylinder 36 is mounted on the end surface of the vacuum chamber 24 substantially in parallel with the axial direction of the superconducting coil 21. The L-shaped tube 35 and the refrigerator mounting cylinder 36 are connected by a bellows 37. The refrigerator mounting cylinder 36 is provided with first and second copper heat stages 38 and 39, which are thermally connected to the first and second heat shields 26 and 25, respectively. In addition, the first and second heat stages 3
First and second radiant covers 4 made of copper so as to cover thermal connection portions between the first and second heat shields 26 and 25 and the first and second heat shields 26 and 25.
0 and 41, and a stainless steel sealing plate 42
Is attached to the vacuum chamber 24 to reduce heat intrusion from the outside.

【0015】蓄冷型冷凍機27は、第3段ヒートステー
ジ11がL字管35内に引き出されるヘリウムガス雰囲
気中に露出するように冷凍機取付シリンダ36内に挿入
され取り付けられている。この時、第1段および第2段
ヒートステージ9、10に取り付けられた冷凍機側熱伝
導体43と、冷凍機取付シリンダ36の第1段および第
2段ヒートステージ38、39の取付位置の内壁面に配
設された冷凍機取付シリンダ側熱伝導体44とがそれぞ
れ熱接続されている。
The regenerative refrigerator 27 is inserted and mounted in a refrigerator mounting cylinder 36 such that the third heat stage 11 is exposed to a helium gas atmosphere drawn into the L-shaped tube 35. At this time, the refrigerator-side heat conductor 43 attached to the first and second heat stages 9 and 10 and the mounting position of the first and second heat stages 38 and 39 of the refrigerator mounting cylinder 36 are set. The refrigerator-mounted cylinder-side heat conductor 44 disposed on the inner wall surface is thermally connected to each other.

【0016】このように構成された超電導マグネットで
は、蓄冷型冷凍機27が超電導コイル21の軸方向と略
平行に取り付けられているので、第1熱シールド26と
第2熱シールド25との間隙および第1熱シールド26
と真空槽24との間隙を大きくとることなく、蓄冷型冷
凍機27の冷却性能を達成するために必要なディスプレ
ーサ2の往復移動の長さを超電導コイル21の軸方向で
確保でき、装置の高さが低くできるとともに小型化が図
られる。
In the superconducting magnet constructed as described above, since the regenerative refrigerator 27 is mounted substantially parallel to the axial direction of the superconducting coil 21, the gap between the first heat shield 26 and the second heat shield 25 and First heat shield 26
The length of the reciprocating movement of the displacer 2 necessary for achieving the cooling performance of the regenerative refrigerator 27 can be secured in the axial direction of the superconducting coil 21 without increasing the gap between the disposer 2 and the vacuum tank 24 without increasing the gap between the superconducting coil 21 and the apparatus. The size can be reduced and the size can be reduced.

【0017】また、蓄冷型冷凍機27の運転により所定
温度に冷却された第1段、第2段ヒートステージ9、1
0を介して冷凍機側熱伝導体43、冷凍機取付シリンダ
側熱伝導体44、第1段および第2段ヒートステージ3
8、39を経て第1および第2熱シールド26、25が
冷却され、外部からの熱侵入が低減され、さらに第3段
ヒートステージ11によりヘリウム槽22からL字管3
5内に引き出されたヘリウムガスが再液化されてヘリウ
ム槽22内に戻され、安定に動作するとともに高価なヘ
リウムの消費量を低減することができる。
The first and second heat stages 9, 1 cooled to a predetermined temperature by the operation of the regenerative refrigerator 27 are provided.
0, the refrigerator-side heat conductor 43, the refrigerator-mounting cylinder-side heat conductor 44, the first stage and the second stage heat stage 3,
8 and 39, the first and second heat shields 26 and 25 are cooled, heat intrusion from the outside is reduced, and the third heat stage 11 separates the L-shaped tube 3 from the helium tank 22.
The helium gas drawn out into the helium gas 5 is reliquefied and returned to the helium tank 22, so that it can operate stably and reduce the consumption of expensive helium.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】従来の蓄冷型冷凍機は
以上のように、第1段、第2段および第3段シール6、
7、8がテフロンシール62とOリング63とからなる
キャップシール構造およびピストンリング72とバック
アップリング73とからなるシール構造で構成されてい
るので、特に蓄冷型冷凍機27を水平に取り付けた場合
には、ディスプレーサ2の往復移動の際に自重によりデ
ィスプレーサ2の外周面とシリンダ1の内周面とがこす
れて発熱し、冷却性能を低下するという課題があった。
As described above, the conventional regenerative refrigerator has a first-stage, a second-stage and a third-stage seal 6 as described above.
7 and 8 are configured with a cap seal structure composed of the Teflon seal 62 and the O-ring 63 and a seal structure composed of the piston ring 72 and the backup ring 73, and particularly when the regenerative refrigerator 27 is mounted horizontally. However, when the displacer 2 is reciprocated, the outer peripheral surface of the displacer 2 and the inner peripheral surface of the cylinder 1 rub against each other due to their own weight, generating heat, thereby deteriorating the cooling performance.

【0019】また、テフロンシール62およびピストン
リング72がOリング63およびバックアップリング7
3の弾性力によりシリンダ1の内周面に押し付けられて
気密性を確保しているので、ディスプレーサ2の往復移
動の際にテフロンシール62およびピストンリング72
がシリンダ1とこすれて摩耗し、気密性を損なうという
課題もあった。
The Teflon seal 62 and the piston ring 72 are connected to the O-ring 63 and the backup ring 7.
3 is pressed against the inner peripheral surface of the cylinder 1 to ensure airtightness, so that when the displacer 2 reciprocates, the Teflon seal 62 and the piston ring 72
However, there is also a problem that the rubber rubs against the cylinder 1 and wears, thereby impairing airtightness.

【0020】また、第1段、第2段および第3段ディス
プレーサ2a,2b,2cが互いに自在継手3および固
定ピン4を介して回動可能に連結されているので、軸方
向のあそびがなく、冷却の初期段階では、シリンダ1が
デイスプレーサ2に比べて早く冷却されて、より多く熱
収縮してしまい、軸方向におけるシリンダ1とディスプ
レーサ2との衝突が起こり、最悪の場合には破損してし
まうという課題もあった。
Since the first, second and third stage displacers 2a, 2b and 2c are rotatably connected to each other via the universal joint 3 and the fixing pin 4, there is no play in the axial direction. In the initial stage of cooling, the cylinder 1 is cooled faster than the displacer 2 and thermally contracts more, so that the cylinder 1 and the displacer 2 collide in the axial direction, and in the worst case, breakage. There was also a problem of doing it.

【0021】また、第3段蓄冷器5cが希土類金属の合
金であるGdRhからなる蓄冷材を均一に充填して構成
されているので、蓄冷材の熱伝導率が悪く、蓄冷効率が
向上できないという課題もあった。
Further, since the third-stage regenerator 5c is formed by uniformly filling the regenerator material made of GdRh, which is a rare earth metal alloy, the thermal conductivity of the regenerator material is poor and the regenerative efficiency cannot be improved. There were also issues.

【0022】また、ヘリウムガス15が直接ディスプレ
ーサ2のガス流入端から蓄冷器5に流入しているので、
ヘリウム圧縮機16を介して送り込まれるヘリウムガス
15に含まれる水蒸気や油蒸気が蓄冷器5内に蓄積さ
れ、蓄冷効率を低下させるという課題もあった。
Further, since the helium gas 15 directly flows into the regenerator 5 from the gas inflow end of the displacer 2,
There is also a problem that the water vapor and oil vapor contained in the helium gas 15 sent through the helium compressor 16 are accumulated in the regenerator 5 to lower the regenerative efficiency.

【0023】また、蓄冷材が蓄冷器5内に均一に充填さ
れているので、ヘリウムガス15の流速が遅くなり、熱
伝達効率が低下し、蓄冷効率を低下させるという課題も
あった。
In addition, since the regenerator material is uniformly filled in the regenerator 5, the flow rate of the helium gas 15 is reduced, the heat transfer efficiency is reduced, and the regenerative efficiency is reduced.

【0024】また、蓄冷器5内に1種類の蓄冷材が充填
されているので、蓄冷器5の高温側から低温側までの温
度範囲に対して特定の温度おける比熱ピークしか存在せ
ず、蓄冷効率が向上できないという課題もあった。
Since the regenerator 5 is filled with one kind of regenerative material, only a specific heat peak at a specific temperature exists in the temperature range from the high temperature side to the low temperature side of the regenerator 5, and the regenerator There was also a problem that efficiency could not be improved.

【0025】また、第3段蓄冷器5cは希土類金属の合
金であるGdRhからなる蓄冷材を充填して構成され、
かつ、第3段シリンダ1cは、ステンレスで構成されて
いるので、蓄冷材が磁性体であり、例えば超電導マグネ
ット等に適用した場合には、蓄冷材の往復移動にともな
い外部磁界が乱れて、外部磁界の均一性が損なわれ、さ
らには外部磁界により蓄冷材に電磁力が発生し、ディス
プレーサ2がシリンダ1にこすられて発熱し、冷却性能
が低下するという課題もあった。
The third-stage regenerator 5c is formed by filling a regenerator material made of a rare earth metal alloy, GdRh,
Further, since the third-stage cylinder 1c is made of stainless steel, the regenerator material is a magnetic material. For example, when the regenerator material is applied to a superconducting magnet or the like, the external magnetic field is disturbed by the reciprocating movement of the regenerator material. There is also a problem that the uniformity of the magnetic field is impaired, and further, an electromagnetic force is generated in the cold storage material by the external magnetic field, and the displacer 2 is rubbed by the cylinder 1 to generate heat, thereby deteriorating the cooling performance.

【0026】また、ステンレスの切削加工により作製し
た第1段、第2段および第3段シリンダ1a,1b,1
cを用いているので、加工コストが高く、冷凍機が高価
となるという課題もあった。
The first, second and third cylinders 1a, 1b, 1 made by cutting stainless steel.
Since c is used, there is also a problem that the processing cost is high and the refrigerator becomes expensive.

【0027】また、シリンダ1の外周面にヒートステー
ジを取り付けているので、超電導マグネットに超電導コ
イル21の軸方向と略水平に取り付けた場合に、冷凍機
取付シリンダ36の内周面とシリンダ1の外周面との間
隙が大きくなり、L字管35を介して該間隙に充満する
ヘリウムガスがシリンダ1の軸方向の温度差に起因して
熱対流を発生し、冷却効率を低下するという課題もあっ
た。
Further, since the heat stage is mounted on the outer peripheral surface of the cylinder 1, when the heat stage is mounted on the superconducting magnet substantially in the axial direction of the superconducting coil 21, the inner peripheral surface of the refrigerator mounting cylinder 36 and the cylinder 1 There is also a problem that the gap with the outer peripheral surface becomes large, and helium gas filling the gap through the L-shaped tube 35 generates heat convection due to a temperature difference in the axial direction of the cylinder 1 and lowers cooling efficiency. there were.

【0028】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、蓄冷効率の向上を図り、冷却性
能の向上を図ることができるとともに安価な蓄冷型冷凍
機を得ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to improve the cold storage efficiency, improve the cooling performance, and obtain an inexpensive cold storage refrigerator. And

【0029】[0029]

【課題を解決するための手段】この第1の発明に係る蓄
冷型冷凍機は、シリンダの内周面およびディスプレーサ
の外周面の少なくとも一方に低摩擦材をコーティング
、かつ、低摩擦材に周方向に環状の溝を設けたもので
ある。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a regenerative refrigerator in which at least one of an inner peripheral surface of a cylinder and an outer peripheral surface of a displacer is coated with a low-friction material. An annular groove is provided in the direction .

【0030】また、この第2の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、駆動手段のスコッチヨーク軸の外周面とスコッチヨ
ーク軸の受部の内周面との一側に周方向の環状の溝を形
成するとともに、スコッチヨーク軸の外周面と受部の内
周面との他側と微小間隙を有するリング状のシール体を
環状の溝内に遊嵌して、スコッチヨーク軸のシール部を
構成したものである。
Further, in the regenerative refrigerator according to the second aspect of the invention , the annular groove in the circumferential direction is formed on one side of the outer peripheral surface of the scotch yoke shaft of the driving means and the inner peripheral surface of the receiving portion of the scotch yoke shaft. The seal portion of the Scotch yoke shaft is formed by loosely fitting a ring-shaped seal body having a small gap with the other side of the outer peripheral surface of the Scotch yoke shaft and the inner peripheral surface of the receiving portion into the annular groove. It was done.

【0031】また、この第3の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、複数のディスプレーサを永久磁石からなる継手部に
よりディスプレーサの軸方向に連結したものである。
Further, in the regenerative refrigerator according to the third aspect of the present invention , a plurality of displacers are connected in the axial direction of the displacer by a joint made of a permanent magnet.

【0032】また、この第4の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、ディスプレーサのガス流入端と蓄冷器との間に吸着
材を配設したものである。
Further, in the regenerative refrigerator according to the fourth aspect of the present invention , an adsorbent is disposed between the gas inlet end of the displacer and the regenerator.

【0033】また、この第5の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、少なくとも複数のディスプレーサの1つに内蔵され
る蓄冷器を、蓄冷器の軸心に対して角度をもって仕切板
を配設し、その仕切板により形成された仕切り空間ごと
に種類の異なる蓄冷材を充填して構成したものである。
Further, in the regenerative refrigerator according to the fifth invention , at least a regenerator built in one of the plurality of displacers is provided with a partition plate at an angle with respect to the axis of the regenerator. A different type of cold storage material is filled in each partition space formed by the partition plate.

【0034】また、この第6の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、シリンダに引き抜き管を用いたものである。
The regenerative refrigerator according to the sixth aspect of the present invention uses a drawing tube for the cylinder.

【0035】また、この第7の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、複数段のシリンダのそれぞれに引き抜き管を用いる
とともに、ヒートステージを円筒部と切頭中空円錐部と
から形成し、一方のシリンダ内に円筒部を挿入接合し、
切頭円錐部内に他方のシリンダを挿入接合してヒートス
テージにより複数段のシリンダ間を気密的に連結したも
のである。
In the regenerative refrigerator according to the seventh aspect of the present invention , a drawing tube is used for each of a plurality of cylinders, and a heat stage is formed from a cylindrical portion and a truncated hollow conical portion. Insert and join the cylindrical part inside
The other cylinder is inserted and joined in the truncated cone, and a plurality of cylinders are hermetically connected by a heat stage.

【0036】また、この第8の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、上記第7の発明において、膨張室内に露呈するヒー
トステージの円筒部の端面にフィンを配設したものであ
る。
The regenerative refrigerator according to an eighth aspect of the present invention is the regenerative refrigerator according to the seventh aspect of the present invention, wherein fins are arranged on the end surface of the cylindrical portion of the heat stage exposed in the expansion chamber.

【0037】[0037]

【作用】この第1の発明に係る蓄冷型冷凍機において
は、シリンダの内周面およびディスプレーサの外周面の
少なくとも一方に低摩擦材をコーティングしているの
で、蓄冷型冷凍機を装置に水平に取り付けて使用した場
合、ディスプレーサの外周面がシリンダの内周面に低摩
擦材を介して当接しながら往復移動することになり、こ
の往復移動にともなう発熱量が低減される。さらに、低
摩擦材に周方向に環状の溝を設けているので、シール部
の漏れに起因して高温側膨張室からディスプレーサの外
周を通って低温側膨張室に向かって流れるヘリウムガス
の流速が、環状の溝部で遅くなり、環状の溝部外で速く
なり、その結果圧力損失が大きく、いわるゆラビリンス
効果により漏れガス量が低減される。また、ディスプレ
ーサの外周部のヘリウムガスに含まれる不純ガスは、環
状の溝内に溜まり凍結することになり、この凍結不純ガ
スによるディスプレーサの往復移動の阻害が防止され
る。
In the regenerative refrigerator according to the first aspect of the invention, at least one of the inner peripheral surface of the cylinder and the outer peripheral surface of the displacer is coated with a low-friction material. When the displacer is mounted and used, the outer surface of the displacer reciprocates while abutting on the inner surface of the cylinder via a low-friction material, and the amount of heat generated by the reciprocation is reduced. Furthermore, low
Since the friction material has an annular groove in the circumferential direction, the seal part
Of the displacer from the hot side expansion chamber due to
Helium gas flowing through the circumference to the cold side expansion chamber
Flow velocity is slower in the annular groove and faster outside the annular groove
And as a result, the pressure loss is large and the so-called labyrinth
The effect reduces the amount of leaked gas. Also, the display
Impurity gas contained in the helium gas on the outer periphery of the
This will accumulate in the shape of the groove and freeze.
To prevent the displacer from reciprocating
You.

【0038】また、この第2の発明に係る蓄冷型冷凍機
においては、駆動手段のスコッチヨーク軸の外周面とス
コッチヨーク軸の受部の内周面との一側に周方向の環状
の溝を形成するとともに、スコッチヨーク軸の外周面と
受部の内周面との他側と微小間隙を有するリング状のシ
ール体を環状の溝内に遊嵌して、スコッチヨーク軸のシ
ール部を構成しているので、リング状のシール体は一端
側が遊んでおり機械的な応力が作用せず、スコッチヨー
ク軸の往復移動にともなうスコッチヨーク軸の外周面と
受部の内周面との他側との摩擦が抑えられる。また、ス
コッチヨーク軸の往復移動にともないシール体が往復移
動してシール体の側面と環状の溝の内壁面とが当接し、
このシール体の側面と環状の溝の内壁面との当接部およ
び受部の内周面とスコッチヨーク軸の外周面との他側と
シール体との微小間隙部により気密性が確保される
Further, in the regenerative refrigerator according to the second aspect of the invention , the annular groove in the circumferential direction is formed on one side of the outer peripheral surface of the scotch yoke shaft of the driving means and the inner peripheral surface of the receiving portion of the scotch yoke shaft. And a ring-shaped seal body having a minute gap with the other side of the outer peripheral surface of the Scotch yoke shaft and the inner peripheral surface of the receiving portion is loosely fitted in the annular groove to form the seal portion of the Scotch yoke shaft. The ring-shaped seal body has one end
The side is idle and no mechanical stress is applied,
The outer surface of the Scotch yoke shaft
Friction between the inner peripheral surface of the receiving portion and the other side is suppressed. Also,
The seal moves back and forth with the reciprocation of the Koch yoke shaft.
Moving, the side surface of the seal body and the inner wall surface of the annular groove come into contact,
The contact area between the side surface of this seal and the inner wall surface of the annular groove and
And the other side of the inner peripheral surface of the receiving part and the outer peripheral surface of the Scotch yoke shaft.
Airtightness is ensured by the minute gap with the seal body .

【0039】また、この第3の発明に係る蓄冷型冷凍機
においては、複数のディスプレーサを永久磁石からなる
継手部によりディスプレーサの軸方向に連結しているの
で、シリンダとディスプレーサとの軸合わせが容易とな
り、複雑な継手構造をとる必要がなく、シリンダアッセ
ンブリの製作精度を粗くできる。
Further, in the regenerative refrigerator according to the third aspect of the present invention , since the plurality of displacers are connected in the axial direction of the displacer by the joints made of permanent magnets, the axis of the cylinder and the displacer can be easily aligned. Therefore, there is no need to take a complicated joint structure, and the manufacturing accuracy of the cylinder assembly can be reduced.

【0040】また、この第4の発明に係る蓄冷型冷凍機
においては、ディスプレーサのガス流入端と蓄冷器との
間に吸着材を配設しているので、ディスプレーサのガス
流入端から送り込まれるガス中に含まれる水蒸気や油蒸
気が吸着材内に取り込まれ、蓄冷器内の水蒸気や油蒸気
の堆積が抑えられる。
Further, in the regenerative refrigerator according to the fourth aspect of the present invention , since the adsorbent is disposed between the gas inlet end of the displacer and the regenerator, the gas fed from the gas inlet end of the displacer is provided. The water vapor and oil vapor contained therein are taken into the adsorbent, and the accumulation of water vapor and oil vapor in the regenerator is suppressed.

【0041】また、この第5の発明に係る蓄冷型冷凍機
においては、少なくとも複数のディスプレーサの1つに
内蔵される蓄冷器を、蓄冷器の軸心に対して角度をもっ
て仕切板を配設し、その仕切板により形成された仕切り
空間ごとに種類の異なる蓄冷材を充填して構成している
ので、蓄冷器の軸方向に対して直交する平面内に複数の
異なる蓄冷材が存在し、各蓄冷材が所定温度領域のそれ
ぞれ異なる温度で比熱のピークを有することになり、所
定温度領域における比熱の平均化が図られる。
In the regenerative refrigerator according to the fifth aspect of the present invention , at least one of the regenerators built in one of the plurality of displacers has a partition plate arranged at an angle to the axis of the regenerator. Since each partition space formed by the partition plate is filled with a different type of cold storage material, a plurality of different cold storage materials are present in a plane orthogonal to the axial direction of the regenerator. The regenerator material has specific heat peaks at different temperatures in the predetermined temperature region, and the specific heat in the predetermined temperature region is averaged.

【0042】また、この第6の発明に係る蓄冷型冷凍機
においては、シリンダに引き抜き管を用いているので、
切削加工を必要とせず、肉薄の精密円筒を容易に作製で
き、加工コストが低減される。
Also, in the regenerative refrigerator according to the sixth aspect of the present invention , since a drawing tube is used for the cylinder,
A thin precision cylinder can be easily manufactured without the need for cutting, and the processing cost is reduced.

【0043】また、この第7の発明に係る蓄冷型冷凍機
においては、複数段のシリンダのそれぞれに引き抜き管
を用いるとともに、ヒートステージを円筒部と切頭中空
円錐部とから形成し、一方のシリンダ内に円筒部を挿入
接合し、切頭円錐部内に他方のシリンダを挿入接合して
ヒートステージにより複数段のシリンダ間を気密的に連
結しているので、シリンダの外周面からのヒートステー
ジの突出がなく、例えば冷凍機取付シリンダ内に挿入し
取り付ける場合には、冷凍機取付シリンダと蓄冷型冷凍
機のシリンダとの間隙を少なくでき、その間隙に充満す
るヘリウムガスの熱対流の発生が抑えられる。
In the regenerative refrigerator according to the seventh aspect of the present invention , a drawing tube is used for each of the plurality of cylinders, and the heat stage is formed of a cylindrical portion and a truncated hollow conical portion. The cylinder is inserted and joined in the cylinder, the other cylinder is inserted and joined in the truncated cone, and the multiple stages of cylinders are air-tightly connected by the heat stage. When there is no protrusion, for example, when inserted and mounted in a refrigerator mounting cylinder, the gap between the refrigerator mounting cylinder and the cylinder of the regenerative refrigerator can be reduced, and the generation of heat convection of helium gas filling the gap is suppressed. Can be

【0044】また、この第8の発明に係る蓄冷型冷凍機
においては、膨張室内に露呈するヒートステージの円筒
部の端面にフィンを配設しているので、ヒートステージ
の伝熱面積が増加し、膨張室内の冷却されたヘリウムガ
スからヒートステージに効率よく伝熱される。
In the regenerative refrigerator according to the eighth aspect of the present invention , since the fins are provided on the end surface of the cylindrical portion of the heat stage exposed in the expansion chamber, the heat transfer area of the heat stage increases. The heat is efficiently transferred from the cooled helium gas in the expansion chamber to the heat stage.

【0045】[0045]

【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。参考例 1. 1はこの発明の参考例1を示す蓄冷型冷凍機の要部断
面図であり、図において図23および図24に示した従
来の蓄冷型冷凍機と同一または相当部分には同一符号を
付し、その説明を省略する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. Reference Example 1. Figure 1 is a fragmentary cross-sectional view of regenerative refrigerator showing a reference example 1 of the present invention, with the same reference numerals, the same or corresponding portions of the conventional regenerative refrigerator shown in FIGS. 23 and 24 in FIG. And the description is omitted.

【0046】この参考例1では、第2段ディスプレーサ
2b(ディスプレーサ2)を低熱伝導材であるステンレ
スで作製し、その第2段ディスプレーサ2bの外周面に
は低摩擦材であるポリイミド樹脂をコーティングして低
摩擦材コーティング層50を形成している。また、第2
段蓄冷器5bは、第2段ディスプレーサ2b内に金網5
1を挿入し、ついでフィルタ52を挿入し、その後蓄冷
材としての鉛玉を充填し、さらにフィルタ52および金
網51を挿入し、最後に蓋53をし固定ピン4で蓋53
を固定して構成している。ここで、金網51およびフィ
ルタ52は、ヘリウムガス15を通過させ、鉛玉および
鉛玉の粉の通過を阻止している。さらに、ヒートステー
ジ(図中、第1段および第2段ヒートステージ9、1
0)は、その内壁面にロー溜まり用の溝54を設けて、
ディスプレーサ2の外周面にロー付けしている。
In Reference Example 1, the second stage displacer 2b (displacer 2) is made of stainless steel, which is a low thermal conductive material, and the outer peripheral surface of the second stage displacer 2b is coated with a polyimide resin, which is a low friction material. Thus, a low friction material coating layer 50 is formed. Also, the second
The regenerator 5b includes a wire mesh 5 in the second displacer 2b.
1 is inserted, then a filter 52 is inserted, and then a lead ball as a cold storage material is filled. Further, a filter 52 and a wire net 51 are inserted.
Is fixed. Here, the wire netting 51 and the filter 52 allow the helium gas 15 to pass therethrough and prevent the passage of lead balls and lead ball powder. Further, heat stages (first and second heat stages 9 and 1 in the figure)
0) is to provide a groove 54 for the pool in the inner wall surface,
The outer surface of the displacer 2 is brazed.

【0047】このように構成された参考例1による蓄冷
型冷凍機では、超電導マグネット等に水平に取り付けた
場合、ディスプレーサ2の外周面が低摩擦材コーティン
グ層50を介してシリンダ1(図中、第2段シリンダ1
b)の内周面に接しながら往復移動することになり、摩
擦による発熱量が低減される。
In the regenerative refrigerator according to the first embodiment having the above-described structure, when the refrigerator is horizontally mounted on a superconducting magnet or the like, the outer peripheral surface of the displacer 2 has a cylinder 1 (in FIG. Second stage cylinder 1
It reciprocates while contacting the inner peripheral surface of b), and the amount of heat generated by friction is reduced.

【0048】この参考例1によれば、ディスプレーサ2
の外周面に低摩擦材コーティング層50を形成している
ので、ディスプレーサ2とシリンダ1との摩擦による発
熱量が低減でき、発熱による焼付を防止し、メンテナン
ス期間を長くすることができるとともに、安定した冷却
性能を得ることができる。
According to the first embodiment , the displacer 2
The low-friction material coating layer 50 is formed on the outer peripheral surface of the cylinder, so that the amount of heat generated by friction between the displacer 2 and the cylinder 1 can be reduced, seizure due to heat generation can be prevented, the maintenance period can be lengthened, and stable. Cooling performance can be obtained.

【0049】また、ディスプレーサ2をステンレスで作
製しているので、ディスプレーサ2の熱伝導率が低く、
ディスプレーサ2とシリンダ1との摩擦による発熱が蓄
冷器5に伝達されにくく、より安定した冷却性能を得る
ことができる。
Since the displacer 2 is made of stainless steel, the heat conductivity of the displacer 2 is low.
Heat generated by friction between the displacer 2 and the cylinder 1 is hardly transmitted to the regenerator 5, and more stable cooling performance can be obtained.

【0050】さらに、ヒートステージの内壁面にロー溜
まり用の溝54を設けているので、シリンダ1の外周面
にロー付けする際にローのまわりが良くなり、接合強度
を高めることができる。
Further, since the row 54 is provided on the inner wall surface of the heat stage, when the brazing is performed on the outer peripheral surface of the cylinder 1, the periphery of the row is improved, and the bonding strength can be increased.

【0051】参考例2.上記参考例1 では、ディスプレーサ2の外周面に低摩擦
材コーティング層50を形成するものとしているが、こ
参考例2では、図2に示すように、シリンダ1の内周
面に低摩擦材コーティング層50を形成するものとし、
同様の効果を奏する。
Reference Example 2 In the first embodiment , the low-friction material coating layer 50 is formed on the outer peripheral surface of the displacer 2. In the second embodiment , as shown in FIG. Forming a layer 50;
A similar effect is achieved.

【0052】なお、上記参考例1、2では、低摩擦材コ
ーティング層50をポリイミド樹脂で形成するものとし
ているが、低摩擦材コーティング層50は、低摩擦材で
あればよく、例えばテフロンを用いることができる。
In the first and second embodiments , the low-friction material coating layer 50 is formed of a polyimide resin. However, the low-friction material coating layer 50 may be a low-friction material, for example, using Teflon. be able to.

【0053】実施例1. この実施例1は、この第1の発明に係る一実施例であ
る。図3はこの発明の実施例1を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。この実施例1では、第2段ディスプレ
ーサ5b(ディスプレサ2)の外周面に低摩擦材コーテ
ィング層50を形成し、さらに低摩擦材コーティング層
50にディスプレーサ2の周方向に環状の溝55をディ
スプレーサ2の軸方向に沿って複数形成している。
Embodiment 1 Embodiment 1 is an embodiment according to the first invention . FIG. 3 is a sectional view of a main part of the regenerative refrigerator according to the first embodiment of the present invention. In the first embodiment , the low friction material coating layer 50 is formed on the outer peripheral surface of the second stage displacer 5 b (the displacer 2), and the annular groove 55 is formed on the low friction material coating layer 50 in the circumferential direction of the displacer 2. A plurality is formed along two axial directions.

【0054】つぎに、この実施例1の動作について説明
する。第2段シール7の気密性が低下すると、第2段シ
ール7の両側の圧力差に応じ、例えば第1段膨張室12
から第2段シール7を介してディスプレーサ2とシリン
ダ1との間隙を通って第2段膨張室13にヘリウムガス
15が流れ込む。このヘリウムガス15は、軸方向に沿
ってディスプレーサ2の外周面を流れる際に溝55で拡
大されて流速が小さくなり、溝55間で縮小されて流速
が速くなり、拡大・縮小が繰り返されて、圧力損失が大
きくなり、ラビリンス効果により、流れなくなる。
Next, the operation of the first embodiment will be described. When the airtightness of the second-stage seal 7 decreases, for example, the first-stage expansion chamber 12
Helium gas 15 flows into the second-stage expansion chamber 13 through the gap between the displacer 2 and the cylinder 1 via the second-stage seal 7. When the helium gas 15 flows along the outer peripheral surface of the displacer 2 along the axial direction, the helium gas 15 is expanded in the groove 55 to reduce the flow velocity, and is reduced between the grooves 55 to increase the flow velocity, and the expansion and contraction is repeated. As a result, the pressure loss increases and the labyrinth effect stops the flow.

【0055】ここで、例えば銅金網および鉛玉をそれぞ
れ蓄冷材として第1段および第2段蓄冷器5a、5bを
構成し、第1段および第2段ヒートステージ9、10の
到達温度を60Kおよび15Kとした場合、第2段ディ
スプレーサ2bは軸方向に沿って約60Kから約15K
の温度勾配を生じている。一方、ヘリウムガス15に
は、H2O、CH4、N2、O2、H2等のガスが含まれて
おり、これらのH2O、CH4、N2、O2、H2等のガス
は、それぞれ異なる凍結温度を有している。また、第2
段ディスプレーサ2bと第2段シリンダ1bとの間隙に
はヘリウムガス15が充満している。そこで、上記ガス
の凍結温度と壁面温度とが一致する第2段ディスプレー
サ5bの外周面上に周方向に上記ガスの凍結が生じ、凍
結ガスはディスプレーサ2の摺動を阻害することにな
る。しかしながら、上記ガスは、第2段ディスプレーサ
5bの外周面に軸方向に沿って複数形成された環状の溝
55内に溜まり凍結するので、ディスプレーサ2の摺動
の阻害が防止される。
Here, the first and second regenerators 5a and 5b are constituted by using, for example, a copper wire mesh and a lead ball as regenerative materials, respectively, and the ultimate temperature of the first and second heat stages 9 and 10 is set to 60K. And 15K, the second-stage displacer 2b moves from about 60K to about 15K along the axial direction.
Temperature gradient. On the other hand, the helium gas 15, H 2 O, CH 4, N 2, O 2, H includes a gas such as 2, these H 2 O, CH 4, N 2, O 2, H 2 , etc. Have different freezing temperatures. Also, the second
Helium gas 15 is filled in the gap between the stage displacer 2b and the second stage cylinder 1b. Therefore, the gas is frozen in the circumferential direction on the outer peripheral surface of the second-stage displacer 5b where the freezing temperature of the gas matches the wall surface temperature, and the frozen gas hinders the sliding of the displacer 2. However, the gas accumulates and freezes in a plurality of annular grooves 55 formed along the axial direction on the outer peripheral surface of the second-stage displacer 5b, so that hindrance to sliding of the displacer 2 is prevented.

【0056】このように、実施例1によれば、ディスプ
レーサ2の外周面に環状の溝55を軸方向に沿って複数
設けているので、第2段シール7の気密性が低下して
も、ラビリンスシール効果により、第1段膨張室12か
ら第2段膨張室13へのヘリウムガス15の流れを阻止
することができる。
As described above, according to the first embodiment , since a plurality of annular grooves 55 are provided on the outer peripheral surface of the displacer 2 along the axial direction, even if the airtightness of the second-stage seal 7 is reduced, The flow of the helium gas 15 from the first-stage expansion chamber 12 to the second-stage expansion chamber 13 can be prevented by the labyrinth sealing effect.

【0057】また、ヘリウムガス15に含まれる他のガ
スは環状の溝55内に溜まり凍結するので、それらのガ
スの凍結によるディスプレーサ2の摺動の阻害が防止で
き、損傷等を防止することができ、メンテナンス期間を
長くすることができる。
Further, other gases contained in the helium gas 15 accumulate in the annular groove 55 and freeze, so that it is possible to prevent the dislocation of the displacer 2 from being hindered by the freezing of those gases, and to prevent damage and the like. The maintenance period can be extended.

【0058】実施例2. この実施例2は、この第1の発明に係る他の実施例であ
る。上記実施例1では、ディスプレーサ2の外周面に低
摩擦材コーティング層50を形成し、低摩擦材コーティ
ング層50に環状の溝55を軸方向に沿って複数形成す
るものとしているが、この実施例2では、シリンダ1の
内周面に低摩擦材コーティング層50を形成し、低摩擦
材コーティング層50に環状の溝55を軸方向に沿って
複数形成するものとし、同様の効果を奏する。
Embodiment 2 FIG. The second embodiment is another embodiment according to the first invention . In Embodiment 1, to form a low friction material coating layer 50 on the outer peripheral surface of the displacer 2, although it is assumed that a plurality in the low friction material coating layer 50 along the annular groove 55 in the axial direction formed, this embodiment In No. 2 , the low friction material coating layer 50 is formed on the inner peripheral surface of the cylinder 1, and a plurality of annular grooves 55 are formed in the low friction material coating layer 50 along the axial direction.

【0059】実施例3. この実施例3は、この第1の発明に係る他の実施例であ
る。上記実施例1では、ディスプレーサ2の外周面に低
摩擦材コーティング層50を形成し、低摩擦材コーティ
ング層50に環状の溝55を軸方向に沿って複数形成す
るものとしているが、この実施例3では、シリンダ1の
内周面に低摩擦材コーティング層50を形成し、低摩擦
材コーティング層50に溝を螺旋状に軸方向に沿って形
成するものとし、同様の効果を奏する。
Embodiment 3 FIG. The third embodiment is another embodiment according to the first invention . In Embodiment 1, to form a low friction material coating layer 50 on the outer peripheral surface of the displacer 2, although it is assumed that a plurality in the low friction material coating layer 50 along the annular groove 55 in the axial direction formed, this embodiment In No. 3 , the low friction material coating layer 50 is formed on the inner peripheral surface of the cylinder 1, and grooves are formed in the low friction material coating layer 50 in a spiral shape along the axial direction, and the same effect is obtained.

【0060】参考例3 4はこの発明の参考例3を示す蓄冷型冷凍機の要部断
面図である。この参考例3では、第2段ディスプレーサ
2b(ディスプレーサ2)の外周面の2ケ所に、低摩擦
材、例えばポリイミド樹脂、テフロン樹脂からなるリン
グ状のガイドベアリング56を固定している。
Reference Example 3 FIG. 4 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a third embodiment of the present invention. In the third embodiment , a ring-shaped guide bearing 56 made of a low-friction material, for example, a polyimide resin or a Teflon resin is fixed to two locations on the outer peripheral surface of the second-stage displacer 2b (displacer 2).

【0061】この参考例3によれば、ディスプレーサ2
の摺動の際に、ガイドベアリング56の外周面がシリン
ダ1の内周面とこすれながら摺動する。その結果、ディ
スプレーサ2の外周面とシリンダ1の内周面とのこすれ
がなく、ガイドベアリング56とシリンダ1との摩擦に
よる発熱が抑えられるとともに、ディスプレーサ2の摺
動をスムーズにすることができ、安定した冷却性能を得
ることができる。
According to the reference example 3 , the displacer 2
When sliding, the outer peripheral surface of the guide bearing 56 slides while rubbing against the inner peripheral surface of the cylinder 1. As a result, there is no rubbing between the outer peripheral surface of the displacer 2 and the inner peripheral surface of the cylinder 1, heat generation due to friction between the guide bearing 56 and the cylinder 1 can be suppressed, and the sliding of the displacer 2 can be made smooth. Cooling performance can be obtained.

【0062】参考例4上記参考例3 では、ガイドベアリング56をディスプレ
ーサ2の外周面に設けるものとしているが、この参考例
では、ガイドベアリング56をシリンダ1の内周面に
設けるものとし、同様の効果を奏する。
Reference Example 4 In Reference Example 3, but it is assumed to provide a guide bearing 56 on the outer peripheral surface of the displacer 2, the reference example
In No. 4 , the guide bearing 56 is provided on the inner peripheral surface of the cylinder 1, and the same effect is obtained.

【0063】参考例5 5はこの発明の参考例5を示す蓄冷型冷凍機の要部断
面図であり、図において57は第2段ディスプレーサ2
b(ディスプレーサ2)の高温側に周方向に形成された
環状の溝、58はステンレス製のリング体、59はリン
グ体58の外周面に例えばポリイミド樹脂をコーティン
グしてなる低摩擦材コーティング層、60はリング体5
8と低摩擦材コーティング層59とから構成されたリン
グ状のシール体であり、このシール体60は、第2段シ
リンダ1b(シリンダ1)の内周面に対して約1μmの
クリアランスを確保できるようにその外径が作製され、
環状の溝57内に遊嵌されている。
Reference Example 5 FIG. 5 is a sectional view showing a main part of a regenerative refrigerator according to a fifth embodiment of the present invention . In FIG.
an annular groove formed in the circumferential direction on the high temperature side of b (displacer 2); 58, a stainless steel ring; 59, a low friction material coating layer formed by coating the outer peripheral surface of the ring 58 with, for example, a polyimide resin; 60 is a ring body 5
8 and a low friction material coating layer 59. The seal body 60 can secure a clearance of about 1 μm with respect to the inner peripheral surface of the second cylinder 1b (cylinder 1). So that its outer diameter is made
It is loosely fitted in the annular groove 57.

【0064】つぎに、この参考例5の動作について説明
する。環状の溝57内に遊嵌されているシール体60
は、第2段シリンダ1bの内周面と約1μmのクリアラ
ンスをもって往復移動して、第2段シリンダ1bの内周
面と間のヘリウムガス15の漏れを阻止している。ま
た、シール体60は、両側の差圧により環状の溝57内
を軸方向に移動し、環状の溝57の内壁側面に当接し、
環状の溝57を介してのヘリウムガス15の漏れを阻止
している。さらに、蓄冷型冷凍機を水平に取り付けた場
合等、第2段ディスプレーサ2bの軸ずれが生じても、
シール体60は、シール体60と環状の溝57との遊嵌
構造により環状の溝57の底部壁面と第2段シリンダ1
bの内周壁面との間に圧縮されることがない。
Next, the operation of the fifth embodiment will be described. Seal body 60 loosely fitted in annular groove 57
Reciprocates with an inner peripheral surface of the second stage cylinder 1b with a clearance of about 1 μm to prevent leakage of the helium gas 15 between the inner peripheral surface of the second stage cylinder 1b. Further, the seal body 60 moves in the axial direction in the annular groove 57 due to the differential pressure on both sides, abuts against the inner wall side surface of the annular groove 57,
The leakage of the helium gas 15 through the annular groove 57 is prevented. Furthermore, even when the regenerative refrigerator is mounted horizontally, for example, even if the second stage displacer 2b is misaligned,
The seal body 60 has a bottom wall surface of the annular groove 57 and the second stage cylinder 1 formed by a loose fitting structure of the seal body 60 and the annular groove 57.
There is no compression between the inner peripheral wall of b.

【0065】このように、この参考例5によれば、第2
段シリンダ1bの内周面との間に約1μmのクリアラン
スをもつリング状のシール体60を第2段ディスプレー
サ2bの外周面に周方向に形成された環状の溝57内に
遊嵌しているので、ヘリウムガス15の漏れを阻止する
シール部を構成できるとともに、シール体60への機械
的な応力が作用せず、第2段ディスプレーサ2bの往復
移動にともなう摩耗が抑えられ、高性能で長寿命のシー
ルが得られる。
As described above, according to the reference example 5 , the second
A ring-shaped seal body 60 having a clearance of about 1 μm between the inner peripheral surface of the stage cylinder 1b and the ring-shaped seal body 60 is loosely fitted into an annular groove 57 formed in the circumferential direction on the outer peripheral surface of the second stage displacer 2b. Therefore, a seal portion for preventing leakage of the helium gas 15 can be formed, and no mechanical stress acts on the seal body 60, so that abrasion due to reciprocal movement of the second-stage displacer 2b is suppressed, and a high-performance, long A long-lasting seal is obtained.

【0066】また、シール体60のリング体58を第2
段シリンダ1bと同じステンレスで作製しているので、
極低温においてもシール体60と第2段シリンダ1bと
のクリアランスを確保でき、優れたシール効果が得られ
る。
The ring member 58 of the seal member 60 is
Since it is made of the same stainless steel as the stage cylinder 1b,
Even at extremely low temperatures, the clearance between the seal body 60 and the second cylinder 1b can be secured, and an excellent sealing effect can be obtained.

【0067】なお、上記参考例5では、シール体60と
第2段シリンダ1bとのクリアランスを1μmとするも
のとしているが、このクリアランスは3μm以下であれ
ばシール効果が得られている。
In the fifth embodiment , the clearance between the seal body 60 and the second cylinder 1b is set to 1 μm. If the clearance is 3 μm or less, a sealing effect is obtained.

【0068】参考例6上記参考例5 では、ステンレス製のリング体58に低摩
擦材コーティング層59を形成してシール体60を構成
するものとしているが、この参考例6では、図6に示す
ように、シール体60を低摩擦材であるテフロンのリン
グ体で形成するものとし、同様の効果を奏する。
Reference Example 6 In the above-described reference example 5 , the low friction material coating layer 59 is formed on the stainless steel ring body 58 to form the seal body 60. In the reference example 6 , as illustrated in FIG. Is formed of a Teflon ring body which is a low friction material, and the same effect is obtained.

【0069】参考例7上記参考例5 では、第2段ディスプレーサ2bの外周面
に環状の溝57を形成し、第2段シリンダ1bの内周面
と約1μmのクリアランスをもってシール体60を環状
の溝57内に遊嵌するものとしているが、この参考例7
では、図7に示すように、第2段シリンダ1bの内周面
に環状の溝57を形成し、第2段ディスプレーサ2bの
外周面と約1μmのクリアランスをもってシール体60
を環状の溝57内に遊嵌するものとし、同様の効果を奏
する。
Reference Example 7 In the reference example 5 , the annular groove 57 is formed on the outer peripheral surface of the second-stage displacer 2b, and the seal body 60 is loosely fitted into the annular groove 57 with a clearance of about 1 μm with the inner peripheral surface of the second-stage cylinder 1b. This Reference Example 7
7, an annular groove 57 is formed in the inner peripheral surface of the second-stage cylinder 1b, and the seal body 60 has a clearance of about 1 μm with the outer peripheral surface of the second-stage displacer 2b.
Are loosely fitted in the annular groove 57, and the same effect is obtained.

【0070】実施例4. この実施例4は、この第2の発明に係る一実施例であ
る。図8はこの発明の実施例4を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図であり、図において61は駆動機構20を構成
し、ディスプレーサ2を往復移動させるスコッチヨーク
軸、62はスコッチヨーク軸61の受部である。
Embodiment 4 FIG. Embodiment 4 is an embodiment according to the second invention . FIG. 8 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a fourth embodiment of the present invention. In the drawing, reference numeral 61 denotes a drive mechanism 20, and a scotch yoke shaft 61 for reciprocating the displacer 2; It is a receiving part of.

【0071】この実施例4では、受部62の内周面に周
方向に環状の溝57を形成し、スコッチヨーク軸61の
外周面との間に1μmのクリアランスをもってリング状
のシール体60を環状の溝57内に遊嵌するものとし、
上記実施例9と同様の効果を奏する。
In the fourth embodiment, an annular groove 57 is formed in the inner circumferential surface of the receiving portion 62 in the circumferential direction, and the ring-shaped seal body 60 is formed with a clearance of 1 μm between the inner circumferential surface of the receiving portion 62 and the outer circumferential surface of the scotch yoke shaft 61. Shall be loosely fitted in the annular groove 57,
The same effects as those of the ninth embodiment can be obtained.

【0072】実施例5. この実施例5は、この第2の発明に係る他の実施例であ
る。上記実施例4では、受部62の内周面に周方向に環
状の溝57を形成し、スコッチヨーク軸61の外周面と
の間に1μmのクリアランスをもってリング状のシール
体60を環状の溝57内に遊嵌するものとしているが、
この実施例5では、図9に示すように、スコッチヨーク
軸61の外周面に周方向に環状の溝57を形成し、受部
62の内周面との間に1μmのクリアランスをもってリ
ング状のシール体60を環状の溝57内に遊嵌するもの
とし、同様の効果を奏する。
Embodiment 5 FIG. Embodiment 5 is another embodiment according to the second invention . In the fourth embodiment , the annular groove 57 is formed in the inner peripheral surface of the receiving portion 62 in the circumferential direction, and the ring-shaped seal body 60 is formed with a clearance of 1 μm between the annular groove 57 and the outer peripheral surface of the Scotch yoke shaft 61. Although it is assumed that it fits loosely in 57,
In the fifth embodiment , as shown in FIG. 9, an annular groove 57 is formed in the outer peripheral surface of the scotch yoke shaft 61 in the circumferential direction, and a ring-shaped groove having a clearance of 1 μm is formed between the groove 57 and the inner peripheral surface of the receiving portion 62. The seal body 60 is loosely fitted in the annular groove 57, and the same effect is obtained.

【0073】参考例8 10はこの発明の参考例8を示す蓄冷型冷凍機の要部
断面図であり、図において63は断面T字状の継手金具
であり、この継手金具63は第2段ディスプレーサ2b
の端部に螺着されている。64は第1段ディスプレーサ
2aの端部に固定ボルト65により固定されたリング状
の固定板、66は第1段ディスプレーサ2aの端部に形
成された凹部であり、継手金具63、固定板64および
凹部66により継手部を構成している。
Reference Example 8 FIG. 10 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to Embodiment 8 of the present invention . In the drawing , reference numeral 63 denotes a fitting having a T-shaped cross section, and the fitting 63 is a second-stage displacer 2b.
Is screwed to the end. Reference numeral 64 denotes a ring-shaped fixing plate fixed to the end of the first-stage displacer 2a by a fixing bolt 65, and 66 denotes a concave portion formed at the end of the first-stage displacer 2a. The joint portion is constituted by the concave portion 66.

【0074】この参考例8では、第2段ディスプレーサ
2bの端部に螺着された継手金具63の一端を凹部66
内に挿入し、ついで固定板64を固定ボルト65により
第1段ディスプレーサ2aの端部に固定して、第1段お
よび第2段ディスプレーサ2a、2bを連結している。
ここで、凹部66の深さが継手金具63の厚みより大き
く形成して、軸方向のあそびを有するように第1段およ
び第2段ディスプレーサ2a、2bを連結している。
In the reference example 8 , one end of the joint fitting 63 screwed to the end of the second stage displacer 2b is connected to the recess 66.
Then, the fixing plate 64 is fixed to the end of the first-stage displacer 2a by fixing bolts 65 to connect the first-stage and second-stage displacers 2a and 2b.
Here, the depth of the concave portion 66 is formed larger than the thickness of the joint fitting 63, and the first and second stage displacers 2a, 2b are connected so as to have an axial play.

【0075】このように、この参考例8によれば、第1
段および第2段ディスプレーサ2a、2bが軸方向のあ
そびをもって軸方向に連結されているので、初期冷却過
程においてシリンダ1がディスプレーサ2に比べて早く
冷却され、より大きく熱収縮しても、このシリンダ1の
熱収縮は継手部の軸方向のあそびで吸収されて、シリン
ダ1とディスプレーサ2との衝突が防止され、機器の破
損を生じることがない。
As described above, according to the reference example 8 , the first
Since the stage and the second stage displacers 2a and 2b are connected in the axial direction with an axial play, the cylinder 1 is cooled faster than the displacer 2 in the initial cooling process. The heat shrinkage of 1 is absorbed by the play in the axial direction of the joint portion, so that the collision between the cylinder 1 and the displacer 2 is prevented, and the equipment is not damaged.

【0076】参考例9 11はこの発明の参考例9を示す蓄冷型冷凍機の要部
断面図であり、図において67は弾性部材としてのバネ
である。
Reference Example 9 FIG. 11 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a ninth embodiment of the present invention . In the drawing , reference numeral 67 denotes a spring as an elastic member.

【0077】この参考例9では、第2段ディスプレーサ
2bの端部に螺着された継手金具63の一端をバネ67
を押しながら凹部66内に挿入し、ついで固定板64を
固定ボルト65により第1段ディスプレーサ2aの端部
に固定して、第1段および第2段ディスプレーサ2a、
2bを連結している。ここで、凹部66の底面と継手金
具63との間にバネ67が縮設された状態で第1段およ
び第2段ディスプレーサ2a、2bを連結している。
In the ninth embodiment , one end of the joint fitting 63 screwed to the end of the second stage displacer 2 b is connected to a spring 67.
, And the fixing plate 64 is fixed to the end of the first-stage displacer 2a with fixing bolts 65, so that the first-stage and second-stage displacers 2a,
2b are connected. Here, the first-stage and second-stage displacers 2a and 2b are connected with the spring 67 contracted between the bottom surface of the concave portion 66 and the joint fitting 63.

【0078】このように、この参考例9によれば、第1
段および第2段ディスプレーサ2a、2bがバネ67を
縮設した状態で軸方向に連結されているので、初期冷却
過程においてシリンダ1がディスプレーサ2に比べて早
く冷却され、より大きく熱収縮しても、このシリンダ1
の熱収縮は継手部のバネ67の弾性により吸収されて、
シリンダ1とディスプレーサ2との衝突が防止され、機
器の破損を生じることがない。また、第1段および第2
段ディスプレーサ2a、2bが軸方向のあそびがない状
態で連結されているので、ディスプレーサ2の往復移動
がスムーズとなる。
As described above, according to the ninth embodiment , the first
Since the stage and the second stage displacers 2a and 2b are connected in the axial direction with the spring 67 contracted, the cylinder 1 is cooled faster than the displacer 2 in the initial cooling process, and even if the cylinder 1 is thermally contracted more greatly. , This cylinder 1
Is absorbed by the elasticity of the spring 67 of the joint,
Collision between the cylinder 1 and the displacer 2 is prevented, so that damage to the equipment does not occur. Also, the first stage and the second stage
Since the step displacers 2a and 2b are connected without any play in the axial direction, the reciprocating movement of the displacer 2 becomes smooth.

【0079】実施例6. この実施例6は、この第3の発明に係る一実施例であ
る。図12はこの発明の実施例6を示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図であり、図において68は第2段ディスプレ
ーサ2bの端部に固着された先端形状が球状の第1の永
久磁石、69は第1段ディスプレーサ2aの端部に固着
された平板状の第2の永久磁石であり、第1および第2
の永久磁石68、69により継手部を構成している。
Embodiment 6 FIG. The sixth embodiment is an embodiment according to the third invention . FIG. 12 is a cross-sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a sixth embodiment of the present invention. In FIG. 12, reference numeral 68 denotes a first permanent magnet having a spherical tip and fixed to an end of a second stage displacer 2b; Reference numeral 69 denotes a plate-shaped second permanent magnet fixed to the end of the first stage displacer 2a.
The permanent magnets 68 and 69 form a joint.

【0080】この実施例6では、第1および第2の永久
磁石68、69の引力により第1段および第2段ディス
プレーサ2a、2bが連結され、さらに第1の永久磁石
68の先端形状が球状をなしているので、第1および第
2の永久磁石68、69はほぼ点接触となり、第2段デ
ィスプレーサ2bが該接触点を中心に第1段ディスプレ
ーサ2aに対して揺動可能に連結されている。
In the sixth embodiment , the first and second stage displacers 2a and 2b are connected by the attraction of the first and second permanent magnets 68 and 69, and the tip of the first permanent magnet 68 is spherical. Therefore, the first and second permanent magnets 68 and 69 are substantially in point contact, and the second stage displacer 2b is swingably connected to the first stage displacer 2a about the contact point. I have.

【0081】このように、実施例6によれば、シリンダ
1とディスプレーサ2との軸合わせが容易となり、シリ
ンダアッセンブリの精度を高精度にする必要がなく、低
コスト化を図ることができる。
As described above, according to the sixth embodiment , the axes of the cylinder 1 and the displacer 2 can be easily aligned, and it is not necessary to increase the accuracy of the cylinder assembly, and the cost can be reduced.

【0082】参考例10 13はこの発明の参考例10を示す蓄冷型冷凍機に用
いられる蓄冷材の断面図である。
Reference Example 10 FIG. 13 is a cross-sectional view of a cold storage material used for a cold storage refrigerator showing a tenth embodiment of the present invention.

【0083】この参考例10では、希土類金属の合金で
あるEr3Niからなる粒体70表面に超電導材料であ
るInのコーティング層71を被覆して蓄冷材72を構
成し、この蓄冷材72を第3段ディスプレーサ2c内に
充填して、第3段蓄冷器5cを構成している。
In Reference Example 10 , a cold storage material 72 is formed by coating the surface of a particle 70 made of Er 3 Ni which is an alloy of a rare earth metal with a coating layer 71 of In which is a superconducting material. The third stage regenerator 5c is formed by filling the inside of the third stage displacer 2c.

【0084】ここで、温度に対する蓄冷材72の比熱を
測定したところ、図14に示すように、温度T1(約
7.6K)におけるEr3Niの比熱ピークに加えて、
温度T2(約5K:Inの超電導転移点に相当)におけ
るInの比熱ピークが得られた。
Here, when the specific heat of the cold storage material 72 with respect to the temperature was measured, as shown in FIG. 14, in addition to the specific heat peak of Er 3 Ni at the temperature T 1 (about 7.6 K),
The specific heat peak of In at the temperature T 2 (about 5 K: corresponding to the superconducting transition point of In) was obtained.

【0085】このように、参考例10によれば、Er3
Niからなる粒体70の表面に超電導材料であるInの
コーティング層71を被覆して蓄冷材71を構成してい
るので、蓄冷材をEr3Ni単独で構成した場合に比べ
て低温側で大きな比熱が得られ、低温側での蓄冷効率を
向上することができる。
As described above, according to Reference Example 10 , Er 3
Since the cold storage material 71 is formed by coating the surface of the Ni particles 70 with the coating layer 71 of In, which is a superconducting material, the cold storage material is larger on the low temperature side than when the cold storage material is composed of Er 3 Ni alone. Specific heat can be obtained, and the cold storage efficiency on the low temperature side can be improved.

【0086】なお、上記参考例10では、Er3Niか
らなる粒体70表面にInのコーティング層71を被覆
して蓄冷材72を構成するものとしているが、図15の
(a)に示すようにEr3NiとInとを一体化して蓄
冷材72を構成しても、あるいは図15の(b)に示す
ようにEr3NiとInとを溶融一体化して蓄冷材72
を構成して、同様の効果を奏する。
In the above-described reference example 10 , the regenerator material 72 is formed by coating the surface of the granular material 70 made of Er 3 Ni with the coating layer 71 of In. However, as shown in FIG. Even if the cold storage material 72 is formed by integrating Er 3 Ni and In, the cold storage material 72 is formed by melting and integrating Er 3 Ni and In as shown in FIG.
To achieve the same effect.

【0087】また、上記参考例10では、Er3Niと
Inとを一体化して蓄冷材72を構成するものとしてい
るが、希土類金属の合金(化合物)と超電導材料との組
み合わせはこれに限定されるものでなく、例えばHo
1.5Er1.5RuとPb、Ho1.5Er1.5RuとNbが用
いられる。さらに、In,Nb,Pb,Ta等の超電導
材料の超電導転移により比熱が大きくなる用意機を使用
して、超電導材料を単独で蓄冷材として用いることもで
きる。
Further, in Reference Example 10 , Er 3 Ni and In are integrated to form the regenerator material 72, but the combination of the rare earth metal alloy (compound) and the superconducting material is not limited to this. Is not something, for example, Ho
1.5 Er 1.5 Ru and Pb, and Ho 1.5 Er 1.5 Ru and Nb are used. Furthermore, a superconducting material such as In, Nb, Pb, Ta or the like can be used alone as a cold storage material by using a preparing machine whose specific heat is increased by superconducting transition.

【0088】実施例7. この実施例7は、この第4の発明に係る一実施例であ
る。図16はこの発明の実施例7に示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図であり、図において73は第2段ディスプレ
ーサ2bのガス流入端と第2段蓄冷器5bとの間に配設
された吸着材であり、この吸着材料73は例えばモレキ
ュラーシーブス、シリカゲル、活性炭で構成されてい
る。
Embodiment 7 FIG. Embodiment 7 is an embodiment according to the fourth invention . FIG. 16 is a cross-sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a seventh embodiment of the present invention. In the drawing, reference numeral 73 is provided between the gas inflow end of the second-stage displacer 2b and the second-stage regenerator 5b. The adsorbent 73 is made of, for example, molecular sieves, silica gel, or activated carbon.

【0089】ヘリウムガス15には、水蒸気や油蒸気が
含まれており、これらの水蒸気や油蒸気は蓄冷器5内に
堆積して、蓄冷効率を低下させるとともに、微細な固体
となってシール部を劣化させる原因となる。
The helium gas 15 contains water vapor and oil vapor. These water vapor and oil vapor accumulate in the regenerator 5 to lower the regenerative efficiency and become fine solids to form a seal portion. Causes deterioration.

【0090】このように、実施例7によれば、第2段デ
ィスプレーサ2bのガス流入端と第2段蓄冷器5bとの
間に吸着材73が配設されているので、ヘリウムガス1
5に含まれる水蒸気や油蒸気を吸着材73で吸着して蓄
冷器5内への侵入を阻止し、蓄冷効率の低下およびシー
ル部の劣化を抑えることができる。
As described above, according to the seventh embodiment , since the adsorbent 73 is provided between the gas inflow end of the second-stage displacer 2b and the second-stage regenerator 5b, the helium gas 1
The water vapor and oil vapor contained in the fuel gas 5 are adsorbed by the adsorbent 73 to prevent the gas from entering the regenerator 5, whereby a decrease in the efficiency of the cold storage and a deterioration of the seal portion can be suppressed.

【0091】実施例8. この実施例8は、この第5の発明に係る一実施例であ
る。図17はこの発明の実施例8を示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図であり、図において75は例えばフェルトか
らなる平板状の仕切板である。第2段蓄冷器5bは、そ
の軸心に対して角度をもって複数の仕切板75を配設
し、これらの仕切板75によって形成された各仕切り空
間にそれぞれ異なる蓄冷材76a〜76dを充填して、
軸心に対して垂直な断面で異なる蓄冷材が混在している
ように構成されている。
Embodiment 8 FIG. Embodiment 8 is an embodiment according to the fifth invention . FIG. 17 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to an eighth embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 75 denotes a flat partition plate made of, for example, felt. The second-stage regenerator 5b has a plurality of partitioning plates 75 disposed at an angle with respect to the axis thereof, and each partitioning space formed by these partitioning plates 75 is filled with different cold storage materials 76a to 76d. ,
It is configured such that different cold storage materials are mixed in a cross section perpendicular to the axis.

【0092】つぎに、この実施例8の動作について説明
する。第2段ディスプレーサ2bの1サイクルの往復移
動において、第2段蓄冷器5bは、高圧高温のヘリウム
ガス15が高温側から流れ込む場合と、低圧低温のヘリ
ウムガス15が低温側から流れ込む場合とがある。高圧
高温のヘリウムガス15が高温側から流れ込んだ時の図
中A断面部の温度がTa、低圧低温のヘリウムガス15
が低温側から流れ込んだ時の図中A断面部の温度がTb
とすると、A断面部は1サイクルでTaとTbとの範囲
で温度振幅することになる。
Next, the operation of the eighth embodiment will be described. In the reciprocating movement of the second stage displacer 2b in one cycle, the second stage regenerator 5b has a case where the high-pressure and high-temperature helium gas 15 flows from the high-temperature side and a case where the low-pressure and low-temperature helium gas 15 flows from the low-temperature side. . When the high-pressure and high-temperature helium gas 15 flows from the high-temperature side, the temperature of the section A in the drawing is Ta, and the low-pressure and low-temperature helium gas 15
When the temperature of the cross section A in the figure when
In this case, the temperature of the cross section A changes in the range between Ta and Tb in one cycle.

【0093】ここで、A断面部を蓄冷材76aのみで構
成すると、高圧高温のヘリウムガス15が流れ込んだ時
は蓄冷効率が最適となるが、低圧低温のヘリウムガス1
5が流れ込んだ時には蓄冷効率が著しく低下することに
なる。一方、A断面部を蓄冷材76bのみで構成する
と、低圧低温のヘリウムガス15が流れ込んだ時は蓄冷
効率が最適となるが、高圧高温のヘリウムガス15が流
れ込んだ時には蓄冷効率が著しく低下することになる。
Here, if the cross section A is constituted only by the cold storage material 76a, the cold storage efficiency becomes optimum when the high-pressure and high-temperature helium gas 15 flows, but the low-pressure and low-temperature helium gas 1
When 5 flows in, the cold storage efficiency will be significantly reduced. On the other hand, if the cross section A is composed only of the cold storage material 76b, the cold storage efficiency becomes optimal when the low-pressure and low-temperature helium gas 15 flows in, but the cold storage efficiency drops significantly when the high-pressure and high-temperature helium gas 15 flows. become.

【0094】この実施例8では、A断面部は蓄冷材76
aと蓄冷材76bとが混在している構成となっている。
そこで、蓄冷材76aとして温度Taで比熱のピークが
得られる材料を選択し、蓄冷材76bとして温度Tbで
比熱のピークが得られる材料を選択することにより、A
断面部の比熱は、見掛け上平均化され、TaからTbま
で温度振幅しても極端に悪くなるところがなくなる。し
たがって、1サイクルで温度振幅しても、蓄冷効率を向
上できる。この実施例8では、蓄冷材76a〜76dと
して、GdRh(Ta:19.2K),Gd0.8Er0.2
Rh(Tb:12.6K),Gd0.5Er0.5Rh(T
c:4.7K),ErRh(Td:3.2K)を選択
し、図18に点線で示すように、見掛け上平均化された
比熱が得られ、温度振幅しても、蓄冷効率が向上でき
た。
In the eighth embodiment , the cross section A is the cold storage material 76.
a and the cold storage material 76b are mixed.
Therefore, by selecting a material that can obtain a specific heat peak at the temperature Ta as the cold storage material 76a and selecting a material that can obtain a specific heat peak at the temperature Tb as the cold storage material 76b, A
The specific heat of the cross section is apparently averaged, and there is no place where the temperature becomes extremely bad even if the temperature swings from Ta to Tb. Therefore, even if the temperature swings in one cycle, the cold storage efficiency can be improved. In Example 8 , GdRh (Ta: 19.2K), Gd 0.8 Er 0.2 was used as the cold storage materials 76a to 76d.
Rh (Tb: 12.6K), Gd 0.5 Er 0.5 Rh (T
c: 4.7 K) and ErRh (Td: 3.2 K) were selected, and apparently averaged specific heat was obtained as shown by the dotted line in FIG. Was.

【0095】このように、実施例8によれば、第2段蓄
冷器5bの軸心に対して角度をもって複数の仕切板75
を配設し、これらの仕切板75によって形成された各仕
切り空間にそれぞれ異なる蓄冷材76a〜76dを充填
しているので、軸心に対して垂直な断面で異なる蓄冷材
が混在し、第2段蓄冷器5bの高温側から低温側にわた
って蓄冷材の比熱が見掛け上平均化され、1サイクルに
おける温度振幅に対して蓄冷効率を向上でき、冷却性能
を向上することができる。
As described above, according to the eighth embodiment , the plurality of partition plates 75 are formed at an angle with respect to the axis of the second stage regenerator 5b.
Are arranged and filled with different cold storage materials 76a to 76d in the respective partition spaces formed by the partition plates 75, so that different cold storage materials are mixed in a cross section perpendicular to the axis, and The specific heat of the cold storage material is apparently averaged from the high-temperature side to the low-temperature side of the regenerator 5b, so that the cooling efficiency can be improved with respect to the temperature amplitude in one cycle, and the cooling performance can be improved.

【0096】実施例9. この実施例9は、この第5の発明に係る他の実施例であ
る。上記実施例8では、平板状の仕切板75を第2段蓄
冷器5bの軸心に対して角度をもって複数配設し、仕切
板75によって形成された仕切り空間ごとに異なる蓄冷
材76a〜76dを充填するものとしているが、この
施例9では、図19に示すように、円錐状に形成された
仕切板75を第2段蓄冷器5bの軸心に対して対称とな
るように配設し、仕切板75によって形成された仕切り
空間ごとに異なる蓄冷材76e、76fを充填するもの
とし、同様の効果を奏する。
Embodiment 9 FIG. The ninth embodiment is another embodiment according to the fifth invention . In the eighth embodiment , a plurality of flat partition plates 75 are disposed at an angle with respect to the axis of the second stage regenerator 5b, and different cold storage materials 76a to 76d are provided for each partition space formed by the partition plates 75. it is assumed to be filled, but the real
In the ninth embodiment, as shown in FIG. 19, a partition plate 75 formed in a conical shape is disposed symmetrically with respect to the axis of the second-stage regenerator 5b, and is formed by the partition plate 75. Different cooling storage materials 76e and 76f are filled for each partition space, and the same effect is exerted.

【0097】実施例10. この実施例10は、この第6〜第8の発明に係る一実施
例である。図20はこの発明の実施例10を示す蓄冷型
冷凍機に用いられるシリンダの断面図であり、図におい
て77a,77b,77cはそれぞれ薄肉の精密ステン
レス引き抜き管で構成された第1段、第2段および第3
段シリンダ、78、79は図21に示されるように円筒
部78a(79a)と切頭中空円錐部78b(79b)
と環状突起のフィン80とからなる銅製の第1段および
第2段ヒートステージ、81は銅製の円柱状の第3段ヒ
ートステージであり、第1段、第2段および第3段シリ
ンダと第1段、第2段および第3段ヒートステージ7
8、79、81とでシリンダ77を構成している。
Embodiment 10 FIG. The tenth embodiment is an embodiment according to the sixth to eighth inventions . FIG. 20 is a sectional view of a cylinder used in a regenerative refrigerator according to a tenth embodiment of the present invention. In the drawing, reference numerals 77a, 77b, and 77c denote first and second stages, each of which is a thin stainless steel drawn tube. Tier and third
As shown in FIG. 21, the stepped cylinders 78 and 79 have a cylindrical portion 78a (79a) and a truncated hollow conical portion 78b (79b).
A first and second stage copper heat stage consisting of a first stage, a second stage and a third stage cylinder, and a first stage, a second stage and a third stage made of copper. 1st, 2nd and 3rd heat stages 7
8, 79 and 81 constitute a cylinder 77.

【0098】このように構成されたシリンダ77を組み
立てるには、まず、第1段シリンダ77a内に第1段ヒ
ートステージ78の円筒部78aを挿入しロー付けし
て、第1段シリンダ77aと第1段ヒートステージ78
とを接合する。ついで、第1段ヒートステージ78の切
頭中空円錐部78b内に第2段シリンダ77bを挿入し
ロー付けして、第1段ヒートステージ78と第2段シリ
ンダ77bとを接合する。同様に、第2段シリンダ77
bと第2段ヒートステージ79とを接合し、さらに第2
段ヒートステージ79と第3段シリンダ77cとを接合
する。最後に、第3段シリンダ77c内に第3段ヒート
ステージ81を挿入しロー付けして、第3段シリンダ7
7cと第3段ヒートステージ81とを接合して、3段式
のシリンダ77を組み立てている。
In order to assemble the cylinder 77 constructed as described above, first, the cylindrical portion 78a of the first-stage heat stage 78 is inserted into the first-stage cylinder 77a and brazed, and the first-stage cylinder 77a and the One-stage heat stage 78
And join. Next, the second-stage cylinder 77b is inserted into the truncated hollow conical portion 78b of the first-stage heat stage 78 and brazed to join the first-stage heat stage 78 and the second-stage cylinder 77b. Similarly, the second-stage cylinder 77
b and the second stage heat stage 79, and
The stage heat stage 79 and the third stage cylinder 77c are joined. Finally, the third-stage heat stage 81 is inserted and brazed into the third-stage cylinder 77c,
The three-stage cylinder 77 is assembled by joining the third stage 7c and the third stage heat stage 81.

【0099】このようにして組み立てられたシリンダ7
7は、図20に示すように、第1段、第2段および第3
段シリンダ77a,77b,77cの外周面から第1
段、第2段および第3段ヒートステージ78、79、8
1が突出しないように構成されている。また、第1段、
第2段および第3段ヒートステージ78、79、81の
シリンダ内に露出する端面にフィン80が形成されてお
り、伝熱面積を拡大している。
The cylinder 7 thus assembled
7 are the first stage, the second stage and the third stage as shown in FIG.
First from the outer peripheral surface of the step cylinder 77a, 77b, 77c.
Stage, second stage and third stage heat stages 78, 79, 8
1 is configured not to protrude. Also, the first stage,
Fins 80 are formed on the end surfaces of the second and third heat stages 78, 79, 81 that are exposed inside the cylinder, thereby increasing the heat transfer area.

【0100】この実施例10によれば、第1段、第2段
および第3段シリンダ77a,77b,77cに肉薄の
精密ステンレス引き抜き管を用いているので、シリンダ
の加工コストが安くなり、蓄冷型冷凍機の低価格化を図
ることができる。
According to the tenth embodiment , a thin stainless steel drawing tube is used for the first, second and third-stage cylinders 77a, 77b and 77c, so that the processing cost of the cylinders is reduced and the cold storage The price of the type refrigerator can be reduced.

【0101】また、円筒部78aと切頭中空円錐部78
bとを有するヒートステージにより、各シリンダ間を接
続しているので、ヒートステージがシリンダの外周面か
ら突出しない構成となり、例えば図28に示すように、
冷凍機取付シリンダ36内に蓄冷型冷凍機を取り付けた
際に、冷凍機取付シリンダ36の内壁面とシリンダ77
の外壁面との間隙を少なくすることができ、該空間にお
けるヘリウムガスの熱対流が抑えられ、冷却効率を向上
することができる。
The cylindrical portion 78a and the truncated hollow conical portion 78
b, the connection between the cylinders is established, so that the heat stage does not protrude from the outer peripheral surface of the cylinder. For example, as shown in FIG.
When the regenerative refrigerator is mounted in the refrigerator mounting cylinder 36, the inner wall surface of the refrigerator mounting cylinder 36 and the cylinder 77
Of the helium gas in the space can be suppressed, and the cooling efficiency can be improved.

【0102】また、ヒートステージのシリンダ内に露出
する端面にフィン80が形成されているので、膨張室を
通過するヘリウムガス15とヒートステージとの接触面
積が増加し、伝熱面積が拡大され、ヘリウムガス15の
熱がヒートステージに効率よく伝達される。
Further, since the fins 80 are formed on the end faces exposed in the cylinder of the heat stage, the contact area between the helium gas 15 passing through the expansion chamber and the heat stage increases, and the heat transfer area increases. The heat of the helium gas 15 is efficiently transmitted to the heat stage.

【0103】実施例11. この実施例11は、この第8の発明に係る他の実施例で
ある。上記実施例10では、ヒートステージの端面に環
状突起からなるフィン80を設けるものとしているが、
この実施例11では、図22に示すように、ヒートステ
ージの端面に円柱状の突起からなるフィン80を複数設
けるものとし、同様の効果を奏する。
Embodiment 11 FIG. The eleventh embodiment is another embodiment according to the eighth invention . In the tenth embodiment , the fin 80 including the annular protrusion is provided on the end surface of the heat stage.
In the eleventh embodiment , as shown in FIG. 22, a plurality of fins 80 composed of columnar projections are provided on the end surface of the heat stage, and the same effect is obtained.

【0104】[0104]

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので、以下に記載されるような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0105】この第1の発明に係る蓄冷型冷凍機は、シ
リンダの内周面およびディスプレーサの外周面の少なく
とも一方に低摩擦材をコーティングし、かつ、低摩擦材
に周方向に環状の溝を設けているので、シリンダとディ
スプレーサとのこすれによる発熱量が低減され、蓄冷効
率を向上し、冷却性能を高めることができるとともに、
シール部の漏れに起因してディスプレーサ外周を通るガ
スの流れをラビリンス効果により阻止し、蓄冷効率を向
上できる。また、ガス中に含まれる不純ガスを溝内にト
ラップして、凍結不純ガスによるディスプレーサの摺動
の阻害を抑制できる
In the regenerative refrigerator according to the first aspect of the present invention, at least one of the inner peripheral surface of the cylinder and the outer peripheral surface of the displacer is coated with a low-friction material.
Since the annular groove is provided in the circumferential direction, the calorific value due to the rubbing of the cylinder and the displacer is reduced, the cold storage efficiency can be improved, and the cooling performance can be improved .
Gas passing through the outer periphery of the displacer due to leakage of the seal
The labyrinth effect to prevent the flow of
I can do it. In addition, impure gas contained in the gas is transferred into the groove.
Wrap and slide the displacer due to frozen impurity gas
Can be inhibited .

【0106】また、この第2の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、駆動手段のスコッチヨーク軸の外周面とスコッチヨ
ーク軸の受部の内周面との一側に周方向の環状の溝を形
成するとともに、スコッチヨーク軸の外周面と受部の内
周面との他側と微小間隙を有するリング状のシール体を
環状の溝内に遊嵌して、スコッチヨーク軸のシール部を
構成しているので、機械的な応力による摩耗がなく、長
期的に安定した機密性を確保できる
Further, in the regenerative refrigerator according to the second aspect of the present invention , an annular groove in the circumferential direction is formed on one side of the outer peripheral surface of the scotch yoke shaft of the driving means and the inner peripheral surface of the receiving portion of the scotch yoke shaft. The seal portion of the Scotch yoke shaft is formed by loosely fitting a ring-shaped seal body having a small gap with the other side of the outer peripheral surface of the Scotch yoke shaft and the inner peripheral surface of the receiving portion into the annular groove. And no wear due to mechanical stress.
Periodically stable confidentiality can be secured .

【0107】また、この第3の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、複数のディスプレーサを永久磁石からなる継手部に
よりディスプレーサの軸方向に連結しているので、シリ
ンダとディスプレーサとの軸合わせが容易となり、シリ
ンダアッセンブリの作製精度を緩くすることができる。
Further, in the regenerative refrigerator according to the third aspect of the present invention , since the plurality of displacers are connected in the axial direction of the displacer by the joints made of permanent magnets, the axis of the cylinder and the displacer can be easily aligned. In addition, the manufacturing accuracy of the cylinder assembly can be reduced.

【0108】また、この第4の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、ディスプレーサのガス流入端と蓄冷器との間に吸着
材を配設しているので、ガス中に含まれる水蒸気や油蒸
気、あるいはそれらの固化物を取り除き、蓄冷効率の低
下が抑えられるとともに、シール部の劣化が抑えられ
る。
Further, in the regenerative refrigerator according to the fourth aspect of the present invention , since the adsorbent is disposed between the gas inlet end of the displacer and the regenerator, steam or oil vapor contained in the gas, Alternatively, those solidified substances are removed, and a decrease in the cool storage efficiency is suppressed, and the deterioration of the seal portion is also suppressed.

【0109】また、この第5の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、少なくとも複数のディスプレーサの1つに内蔵され
る蓄冷器を、蓄冷器の軸心に対して角度をもって仕切板
を配設し、その仕切板により形成された仕切り空間ごと
に種類の異なる蓄冷材を充填して構成しているので、蓄
冷器の軸方向に対して直交する平面内に複数の異なる蓄
冷材が混在し、比熱の平均化が図られ、温度振幅しても
蓄冷型冷凍機効率を向上することができる。
Further, in the regenerative refrigerator according to the fifth aspect of the invention , at least a regenerator built in one of the plurality of displacers is provided with a partition plate at an angle with respect to the axis of the regenerator. Since different types of cold storage materials are filled in each partition space formed by the partition plate, a plurality of different cold storage materials are mixed in a plane orthogonal to the axial direction of the regenerator, and the specific heat Averaging is achieved, and the efficiency of the regenerative refrigerator can be improved even when the temperature swings.

【0110】また、この第6の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、シリンダに引き抜き管を用いているので、シリンダ
の加工コストが安価となり、機器の低価格化が図られ
る。
Further, in the regenerative refrigerator according to the sixth aspect of the present invention , since the drawing tube is used for the cylinder, the processing cost of the cylinder is reduced, and the price of the device is reduced.

【0111】また、この第7の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、複数段のシリンダのそれぞれに引き抜き管を用いる
とともに、ヒートステージを円筒部と切頭中空円錐部と
から形成し、一方のシリンダ内に円筒部を挿入接合し、
切頭円錐部内に他方のシリンダを挿入接合してヒートス
テージにより複数段のシリンダ間を気密的に連結してい
るので、シリンダの外周面からヒートステージが突出せ
ず、例えば水平取付された場合には、冷凍機取付シリン
ダとの間の間隙が少なくなり、該間隙に充満するヘリウ
ムガスの熱対流が抑えられ、冷却性能を向上できる。
In the regenerative refrigerator according to the seventh aspect of the present invention , a drawing tube is used for each of a plurality of cylinders, and a heat stage is formed from a cylindrical portion and a truncated hollow conical portion. Insert and join the cylindrical part inside
Since the other cylinder is inserted and joined in the truncated cone and the multiple stages of cylinders are air-tightly connected by the heat stage, the heat stage does not project from the outer peripheral surface of the cylinder. The gap between the helium gas and the refrigerator mounting cylinder is reduced, the convection of helium gas filling the gap is suppressed, and the cooling performance can be improved.

【0112】また、この第8の発明に係る蓄冷型冷凍機
は、膨張室内に露呈するヒートステージの円筒部の端面
にフィンを配設しているので、伝熱面積が拡大され、膨
張室内のガスの熱がヒートステージに効率よく伝達され
る。
Further, in the regenerative refrigerator according to the eighth aspect of the present invention , since the fins are provided on the end surface of the cylindrical portion of the heat stage exposed in the expansion chamber, the heat transfer area is enlarged and the inside of the expansion chamber is reduced. The heat of the gas is efficiently transmitted to the heat stage.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の参考例1を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 この発明の参考例2を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a second embodiment of the present invention.

【図3】 この発明の実施例1を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of a main part of the regenerative refrigerator according to the first embodiment of the present invention.

【図4】 この発明の参考例3を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。
FIG. 4 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a third embodiment of the present invention.

【図5】 この発明の参考例5を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。
FIG. 5 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a fifth embodiment of the present invention.

【図6】 この発明の参考例6を示す蓄冷型冷凍機に用
いられるシール体の斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view of a seal used in a regenerative refrigerator according to a sixth embodiment of the present invention.

【図7】 この発明の参考例7を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。
FIG. 7 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a seventh embodiment of the present invention.

【図8】 この発明の実施例4を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。
FIG. 8 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a fourth embodiment of the present invention.

【図9】 この発明の実施例5を示す蓄冷型冷凍機の要
部断面図である。
FIG. 9 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a fifth embodiment of the present invention.

【図10】 この発明の参考例8を示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図である。
FIG. 10 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a eighth embodiment of the present invention.

【図11】 この発明の参考例9を示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a ninth embodiment of the present invention.

【図12】 この発明の実施例6を示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図である。
FIG. 12 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a sixth embodiment of the present invention.

【図13】 この発明の参考例10を示す蓄冷型冷凍機
に用いられる蓄冷材の断面図である。
FIG. 13 is a cross-sectional view of a cold storage material used in a cold storage refrigerator showing a tenth embodiment of the present invention.

【図14】 この発明の参考例10を示す蓄冷型冷凍機
に用いられる蓄冷材の温度と比熱との関係を表すグラフ
である。
FIG. 14 is a graph showing the relationship between the temperature of the cold storage material used in the cold storage refrigerator according to Embodiment 10 of the present invention and the specific heat.

【図15】 (a),(b)はそれぞれこの発明の参考
例10を示す蓄冷型冷凍機に用いられる蓄冷材の実施対
応の断面図である。
FIGS. 15A and 15B are reference diagrams of the present invention, respectively.
It is sectional drawing corresponding to implementation of the cold storage material used for the cold storage refrigerator shown in Example 10 .

【図16】 この発明の実施例7を示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図である。
FIG. 16 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a seventh embodiment of the present invention.

【図17】 この発明の実施例8を示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図である。
FIG. 17 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to an eighth embodiment of the present invention.

【図18】 この発明の実施例8を示す蓄冷型冷凍機に
用いられる蓄冷材の温度と比熱との関係を表すグラフで
ある。
FIG. 18 is a graph showing the relationship between the temperature of the cold storage material used in the cold storage refrigerator according to the eighth embodiment of the present invention and the specific heat.

【図19】 この発明の実施例9を示す蓄冷型冷凍機の
要部断面図である。
FIG. 19 is a sectional view of a main part of a regenerative refrigerator according to a ninth embodiment of the present invention.

【図20】 この発明の実施例10を示す蓄冷型冷凍機
に用いられるシリンダの断面図である。
FIG. 20 is a sectional view of a cylinder used in a regenerative refrigerator according to a tenth embodiment of the present invention.

【図21】 この発明の実施例10を示す蓄冷型冷凍機
に用いられるヒートステージの斜視図である。
FIG. 21 is a perspective view of a heat stage used in a regenerative refrigerator according to a tenth embodiment of the present invention.

【図22】 この発明の実施例11を示す蓄冷型冷凍機
に用いられるヒートステージの斜視図である。
FIG. 22 is a perspective view of a heat stage used in a regenerative refrigerator according to an eleventh embodiment of the present invention.

【図23】 従来の蓄冷型冷凍機の一例を示す断面図で
ある。
FIG. 23 is a sectional view showing an example of a conventional regenerative refrigerator.

【図24】 従来の蓄冷型冷凍機の要部断面図である。FIG. 24 is a sectional view of a main part of a conventional regenerative refrigerator.

【図25】 従来の蓄冷型冷凍機におけるシール構造を
示す断面図である。
FIG. 25 is a cross-sectional view showing a seal structure in a conventional regenerative refrigerator.

【図26】 (a)、(b)はそれぞれ従来の蓄冷型冷
凍機におけるシール構造を示す断面図および斜視図であ
る。
FIGS. 26A and 26B are a cross-sectional view and a perspective view, respectively, showing a seal structure in a conventional regenerative refrigerator.

【図27】 従来の蓄冷型冷凍機を搭載した超電導マグ
ネットを示す破断斜視図である。
FIG. 27 is a cutaway perspective view showing a superconducting magnet equipped with a conventional regenerative refrigerator.

【図28】 従来の超電導マグネットにおける蓄冷型冷
凍機の取付構造を示す断面図である。
FIG. 28 is a cross-sectional view showing a mounting structure of a regenerative refrigerator in a conventional superconducting magnet.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 シリンダ、1a 第1段シリンダ、1b 第2段シ
リンダ、1c 第3段シリンダ、2 ディスプレーサ、
2a 第1段ディスプレーサ、2b 第2段ディスプレ
ーサ、2c 第3段ディスプレーサ、5 蓄冷器、5a
第1段蓄冷器、5b 第2段蓄冷器、5c 第3段蓄
冷器、6 第1段シール、7 第2段シール、8 第3
段シール、9 第1段ヒートステージ、10 第2段ヒ
ートステージ、11 第3段ヒートステージ、12 第
1段膨張室、13 第2段膨張室、50 低摩擦材コー
ィング層、55 溝、56 ガイドベアリング、57
環状の溝、60 シール体、61 スコッチヨーク軸、
62 受部、63 継手金具(継手部)、64 固定板
(継手部)、65 凹部(継手部)、67 バネ(弾性
部材)、68 第1の永久磁石(継手部)、69 第2
の永久磁石(継手部)、72 蓄冷材、73 吸着材、
75 仕切板、76a〜76f 蓄冷材、77a 第1
段シリンダ、77b 第2段シリンダ、77c 第3段
シリンダ、78 第1段ヒートステージ、78a 円筒
部、78b 切頭中空円錐部、79第2段ヒートステー
ジ、79a 円筒部、79b 切頭中空円錐部、80
フィン、81 第3段ヒートステージ。
1 cylinder, 1a first stage cylinder, 1b second stage cylinder, 1c third stage cylinder, 2 displacer,
2a first stage displacer, 2b second stage displacer, 2c third stage displacer, 5 regenerator, 5a
First stage regenerator, 5b Second stage regenerator, 5c Third stage regenerator, 6 First stage seal, 7 Second stage seal, 8 Third
Stage seal, 9 1st stage heat stage, 10 2nd stage heat stage, 11 3rd stage heat stage, 12 1st stage expansion room, 13 2nd stage expansion room, 50 Low friction material coating layer, 55 groove, 56 guide Bearing, 57
Annular groove, 60 seal body, 61 Scotch yoke shaft,
62 receiving part, 63 joint fitting (joint part), 64 fixing plate (joint part), 65 concave part (joint part), 67 spring (elastic member), 68 first permanent magnet (joint part), 69 second
Permanent magnet (joint part), 72 cold storage material, 73 adsorbent,
75 Partition plate, 76a-76f Cold storage material, 77a 1st
Stage cylinder, 77b second stage cylinder, 77c third stage cylinder, 78 first stage heat stage, 78a cylindrical portion, 78b truncated hollow cone portion, 79 second stage heat stage, 79a cylindrical portion, 79b truncated hollow cone portion , 80
Fins, 81 Third heat stage.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 F25B 9/00 F25B 9/00 H (72)発明者 安藤 収二 赤穂市天和651番地 三菱電機株式会社 赤穂製作所内 (72)発明者 岸田 光弘 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電 機株式会社 中央研究所内 (72)発明者 吉村 秀人 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電 機株式会社 中央研究所内 (72)発明者 長尾 政志 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電 機株式会社 中央研究所内 (72)発明者 稲口 隆 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電 機株式会社 中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−59344(JP,A) 特開 平3−236549(JP,A) 特開 昭62−280553(JP,A) 特開 平4−59884(JP,A) 実開 昭62−147865(JP,U) 実開 昭63−150260(JP,U)──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Agency reference number FI Technical indication F25B 9/00 F25B 9/00 H (72) Inventor Joji Ando 651 Tenwa, Ako-shi Mitsubishi Electric Inside Ako Mfg. Co., Ltd. (72) Inventor Mitsuhiro Kishida 8-1-1, Tsukaguchi Honcho, Amagasaki City Mitsubishi Electric Corporation Central Research Laboratory (72) Inventor Hideto Yoshimura 8-1-1, Tsukaguchi Honmachi, Amagasaki City Mitsubishi Electric Corporation (72) Inventor Masashi Nagao 8-1-1, Tsukaguchi Honcho, Amagasaki City Mitsubishi Electric Corporation Central Research Laboratory (72) Inventor, Takashi Inaguchi 8-1-1 Honcho Tsukaguchi, Amagasaki City Mitsubishi Electric Corporation (56) References JP-A-62-59344 (JP, A) JP-A-3-236549 (JP, A) JP-A-62-280553 (JP, A) JP 4-59884 (JP, A) JitsuHiraku Akira 62-147865 (JP, U) JitsuHiraku Akira 63-150260 (JP, U)

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ヒートステージが取り付けられたシリン
ダと、蓄冷器を内蔵し、所定間隙をもって前記シリンダ
内に収納されかつ前記シリンダ内を往復移動するディス
プレーサと、前記シリンダと前記ディスプレーサとの間
に配設されたシール部と、前記ディスプレーサを前記シ
リンダ内で往復移動させる駆動手段とを備え、前記ディ
スプレーサにより区切られた膨張室内に送り込まれるガ
スを、前記ディスプレーサの往復移動により断熱膨張さ
せ、前記ヒートステージを所定温度に冷却する蓄冷型冷
凍機において、前記シリンダの内周面および前記ディス
プレーサの外周面の少なくとも一方に低摩擦材をコーテ
ィングし、かつ、前記低摩擦材に周方向に環状の溝を設
けたことを特徴とする蓄冷型冷凍機。
1. A cylinder having a heat stage mounted therein, a regenerator built-in, a displacer housed in the cylinder with a predetermined gap, and reciprocating in the cylinder, and a displacer disposed between the cylinder and the displacer. A seal portion provided, and a driving means for reciprocating the displacer in the cylinder, wherein the gas fed into the expansion chamber partitioned by the displacer is adiabatically expanded by the reciprocal movement of the displacer, and the heat stage A low-friction material is coated on at least one of an inner peripheral surface of the cylinder and an outer peripheral surface of the displacer , and an annular groove is provided in the low-friction material in a circumferential direction.
Regenerative refrigerator, characterized in that digit.
【請求項2】 ヒートステージが取り付けられたシリン
ダと、蓄冷器を内蔵しかつ前記シリンダ内を往復移動す
るディスプレーサと、前記シリンダと前記ディスプレー
サとの間に配設されたシール部と、前記ディスプレーサ
を前記シリンダ内で往復移動させる駆動手段とを備え、
前記ディスプレーサにより区切られた膨張室内に送り込
まれるガスを、前記ディスプレーサの往復移動により断
熱膨張させ、前記ヒートステージを所定温度に冷却する
蓄冷型冷凍機において、前記駆動手段のスコッチヨーク
軸の外周面と前記スコッチヨーク軸の受部の内周面との
一側に周方向の環状の溝を形成するとともに、前記スコ
ッチヨーク軸の外周面と前記受部の内周面との他側と微
小間隙を有するリング状のシール体を前記環状の溝内に
遊嵌して、前記スコッチヨーク軸のシール部を構成した
ことを特徴とする蓄冷型冷凍機。
2. A cylinder having a heat stage mounted thereon, a displacer having a built-in regenerator and reciprocating in the cylinder, a seal disposed between the cylinder and the displacer, and a displacer. Driving means for reciprocating in the cylinder,
In the regenerative refrigerator that adiabatically expands the gas sent into the expansion chamber partitioned by the displacer and reciprocates the displacer, and cools the heat stage to a predetermined temperature, the outer peripheral surface of the scotch yoke shaft of the driving unit A circumferential annular groove is formed on one side of the inner peripheral surface of the receiving portion of the Scotch yoke shaft, and a minute gap is formed between the outer peripheral surface of the Scotch yoke shaft and the inner peripheral surface of the receiving portion. A regenerative refrigerator comprising a ring-shaped seal having a loose fit in the annular groove to form a seal portion for the Scotch yoke shaft.
【請求項3】 それぞれヒートステージが取り付けられ
た複数段のシリンダと、それぞれ蓄冷器を内蔵しかつ前
記シリンダ内を往復移動する複数のディスプレーサと、
前記シリンダと前記ディスプレーサとの間に配設された
シール部と、前記ディスプレーサを前記シリンダ内で往
復移動させる駆動手段とを備え、前記ディスプレーサに
より区切られた膨張室内に送り込まれるガスを、前記デ
ィスプレーサの往復移動により断熱膨張させ、前記ヒー
トステージを所定温度に冷却する蓄冷型冷凍機におい
て、前記複数のディスプレーサは、永久磁石からなる継
手部により前記ディスプレーサの軸方向に連結されてい
ることを特徴とする蓄冷型冷凍機。
3. A plurality of cylinders each having a heat stage mounted thereon, and a plurality of displacers each having a built-in regenerator and reciprocating in said cylinder.
A seal portion disposed between the cylinder and the displacer; and a driving unit for reciprocating the displacer in the cylinder.The gas fed into the expansion chamber partitioned by the displacer is supplied to the displacer by a gas. In a regenerative refrigerator that adiabatically expands by reciprocating movement and cools the heat stage to a predetermined temperature, the plurality of displacers are connected in the axial direction of the displacer by joints made of permanent magnets. Cool storage refrigerator.
【請求項4】 ヒートステージが取り付けられたシリン
ダと、蓄冷器を内蔵しかつ前記シリンダ内を往復移動す
るディスプレーサと、前記シリンダと前記ディスプレー
サとの間に配設されたシール部と、前記ディスプレーサ
を前記シリンダ内で往復移動させる駆動手段とを備え、
前記ディスプレーサにより区切られた膨張室内に送り込
まれるガスを、前記ディスプレーサの往復移動により断
熱膨張させ、前記ヒートステージを所定温度に冷却する
蓄冷型冷凍機において、前記ディスプレーサのガス流入
端と前記蓄冷器との間に吸着材を配設したことを特徴と
する蓄冷型冷凍機。
4. A cylinder on which a heat stage is mounted, a displacer having a built-in regenerator and reciprocating in the cylinder, a seal disposed between the cylinder and the displacer, and a displacer. Driving means for reciprocating in the cylinder,
The gas fed into the expansion chamber partitioned by the displacer is adiabatically expanded by reciprocating movement of the displacer, and in a regenerative refrigerator that cools the heat stage to a predetermined temperature, a gas inflow end of the displacer, the regenerator, A regenerative refrigerator comprising an adsorbent disposed between the two.
【請求項5】 それぞれヒートステージが取り付けられ
た複数段のシリンダと、それぞれ蓄冷器を内蔵し、前記
シリンダの軸方向に連設されかつ前記シリンダ内を往復
移動する複数のディスプレーサと、前記シリンダと前記
ディスプレーサとの間に配設されたシール部と、前記デ
ィスプレーサを前記シリンダ内で往復移動させる駆動手
段とを備え、前記ディスプレーサにより区切られた膨張
室内に送り込まれるガスを、前記ディスプレーサの往復
移動により断熱膨張させ、前記ヒートステージを所定温
度に冷却する蓄冷型冷凍機において、少なくとも前記複
数のディスプレーサの1つに内蔵される前記蓄冷器は、
前記蓄冷器の軸心に対して角度をもって仕切板が配設さ
れ、前記仕切板により形成された仕切り空間ごとに種類
の異なる蓄冷材が充填されていることを特徴とする蓄冷
型冷凍機。
5. A plurality of cylinders each having a heat stage mounted thereon, a plurality of displacers each having a built-in regenerator and connected in the axial direction of the cylinder and reciprocating in the cylinder. A seal portion disposed between the displacer and a driving unit for reciprocating the displacer in the cylinder, wherein a gas fed into an expansion chamber partitioned by the displacer is moved by the reciprocal movement of the displacer. In a regenerative refrigerator that adiabatically expands and cools the heat stage to a predetermined temperature, the regenerator built into at least one of the plurality of displacers includes:
A regenerative refrigerator having a partition plate disposed at an angle with respect to the axis of the regenerator and a different type of regenerator material filled in each partition space formed by the partition plate.
【請求項6】 ヒートステージが取り付けられたシリン
ダと、蓄冷器を内蔵しかつ前記シリンダ内を往復移動す
るディスプレーサと、前記シリンダと前記ディスプレー
サとの間に配設されたシール部と、前記ディスプレーサ
を前記シリンダ内で往復移動させる駆動手段とを備え、
前記ディスプレーサにより区切られた膨張室内に送り込
まれるガスを、前記ディスプレーサの往復移動により断
熱膨張させ、前記ヒートステージを所定温度に冷却する
蓄冷型冷凍機において、前記シリンダに引き抜き管を用
いたことを特徴とする蓄冷型冷凍機。
6. A cylinder on which a heat stage is mounted, a displacer having a built-in regenerator and reciprocating in the cylinder, a seal disposed between the cylinder and the displacer, and a displacer. Driving means for reciprocating in the cylinder,
In a regenerative refrigerator that adiabatically expands gas sent into an expansion chamber partitioned by the displacer by reciprocating the displacer and cools the heat stage to a predetermined temperature, a drawing tube is used for the cylinder. Regenerative refrigerator.
【請求項7】 それぞれヒートステージが取り付けられ
た複数段のシリンダと、それぞれ蓄冷器を内蔵し、前記
シリンダの軸方向に連設されかつ前記シリンダ内を往復
移動する複数のディスプレーサと、前記シリンダと前記
ディスプレーサとの間に配設されたシール部と、前記デ
ィスプレーサを前記シリンダ内で往復移動させる駆動手
段とを備え、前記ディスプレーサにより区切られた膨張
室内に送り込まれるガスを、前記ディスプレーサの往復
移動により断熱膨張させ、前記ヒートステージを所定温
度に冷却する蓄冷型冷凍機において、前記複数段のシリ
ンダのそれぞれに引き抜き管を用いるとともに、前記ヒ
ートステージを円筒部と切頭中空円錐部とから形成し、
一方の前記シリンダ内に前記円筒部を挿入接合し、前記
切頭円錐部内に他方の前記シリンダを挿入接合して前記
ヒートステージにより前記複数段のシリンダ間を気密的
に連結したことを特徴とする蓄冷型冷凍機。
7. A plurality of cylinders each having a heat stage mounted thereon, a plurality of displacers each having a built-in regenerator and connected in the axial direction of the cylinder and reciprocating in the cylinder; A seal portion disposed between the displacer and a driving unit for reciprocating the displacer in the cylinder, wherein a gas fed into an expansion chamber partitioned by the displacer is moved by the reciprocal movement of the displacer. In the regenerative refrigerator that adiabatically expands and cools the heat stage to a predetermined temperature, a drawing tube is used for each of the plurality of cylinders, and the heat stage is formed from a cylindrical portion and a truncated hollow conical portion,
The cylinder portion is inserted and joined in one of the cylinders, and the other cylinder is inserted and joined in the truncated cone portion, and the plurality of cylinders are hermetically connected by the heat stage. Cool storage refrigerator.
【請求項8】 膨張室内に露呈するヒートステージの円
筒部の端面にフィンを配設したことを特徴とする請求項
記載の蓄冷型冷凍機。
8. A fin is provided on an end face of a cylindrical portion of a heat stage exposed in an expansion chamber.
8. The regenerative refrigerator according to 7 .
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