JP2690184B2 - Laser processing equipment - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属材料の切断に使用されるレーザ加工装置
に関し、特に切断開始点での穴開け加工を高速かつ安全
に行うレーザ加工装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a laser processing apparatus used for cutting a metal material, and more particularly to a laser processing apparatus that performs drilling at a cutting start point at high speed and safely.
レーザによる切断加工は、ワークの切断個所にレーザ
ビームを照射し、同時にアシストガスを吹きつけて行っ
ている。その切断開始点では穴開け加工を行う必要があ
る。The laser cutting process is performed by irradiating a laser beam on the cutting point of the work and simultaneously blowing an assist gas. It is necessary to make a hole at the cutting start point.
金属材料に穴開け加工を行う際には、アシストガスに
酸素を用い、レーザによる熱エネルギ加工に酸化反応を
協働させるようにしている。このため、ワークのレーザ
ビーム照射面は局部的な熱加工の集合状態になり、熱暴
走を生じやすい。一度熱暴走が生じると、溶融金属が沸
騰して飛散し、集光レンズに傷が付き、加工不能となっ
ていた。When drilling a metal material, oxygen is used as an assist gas, and an oxidation reaction is made to cooperate with thermal energy processing by a laser. For this reason, the laser beam irradiation surface of the work is in a localized state of thermal machining, and thermal runaway is likely to occur. Once thermal runaway occurred, the molten metal boiled and scattered, scratching the condenser lens and making it impossible to process.
したがって、これを防止し、穴開け加工を安定にかつ
安全に行うために、非常に小さな周波数とデューティを
持つパルスを用いてパルス加工を行っている。さらに、
低い圧力のアシストガスを用いている。Therefore, in order to prevent this and perform stable and safe drilling, pulse processing is performed using a pulse having a very small frequency and duty. further,
A low pressure assist gas is used.
一方、高反射材料への穴開け加工は、レーザビームの
反射光が発振器側に戻るために大変危険である。このた
め、高反射材料への穴開け加工は積極的には行われてい
なかった。穴開け加工を行う際には、このような危険を
回避する必要があり、上述したパルス加工と低い圧力の
アシストガスという加工条件で行っている。On the other hand, drilling a highly reflective material is very dangerous because the reflected light of the laser beam returns to the oscillator side. For this reason, drilling of highly reflective materials has not been actively performed. When drilling, it is necessary to avoid such a danger, and it is performed under the processing conditions of the above-mentioned pulse processing and low-pressure assist gas.
しかし、このような加工条件は設定が非常に微妙で、
時間を要していた。さらに、パルス加工で行うため穴開
け加工に長時間を要していた。ワークの板厚が厚くなる
と、この傾向はさらに顕著になる。However, the setting of such processing conditions is very delicate,
It took time. Furthermore, since it is performed by pulse processing, it takes a long time to perform hole drilling. This tendency becomes more remarkable as the plate thickness of the work increases.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、
切断開始点における穴開け加工を高速にかつ安全に行う
ことができるレーザ加工装置を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of such a point,
An object of the present invention is to provide a laser processing apparatus capable of performing high-speed and safe drilling at a cutting start point.
本発明では上記課題を解決するために、レーザビーム
を照射してワークを切断加工するレーザ加工装置におい
て、前記レーザビームを前記ワークに集光させる集光ノ
ズルと、前記ワーク表面に対する前記集光ノズルのレー
ザビームを発射する傾き角度を、切断加工開始点での穴
開け加工時には所定傾き角に、前記穴開け加工完了後の
切断加工時には垂直に保つように制御する傾き角度制御
手段と、を有することを特徴とするレーザ加工装置が、
提供される。In the present invention, in order to solve the above problems, in a laser processing apparatus that irradiates a laser beam to cut a work, a focusing nozzle that focuses the laser beam on the work, and a focusing nozzle for the surface of the work And a tilt angle control means for controlling the tilt angle for emitting the laser beam so that the tilt angle is maintained at a predetermined tilt angle during drilling at the cutting processing start point and is kept vertical during cutting after completion of the drilling. A laser processing device characterized in that
Provided.
傾き角度制御手段は、ワーク表面に対する集光ノズル
のレーザビームを発射する傾き角度を、切断加工開始点
での穴開け加工時には所定傾き角に、穴開け加工完了後
の切断加工時には垂直に保つように制御する。The tilt angle control means keeps the tilt angle of emitting the laser beam of the condenser nozzle with respect to the surface of the work at a predetermined tilt angle during drilling at the cutting start point and vertically during cutting after completion of the drilling. To control.
これによって、穴開け加工時に溶融金属が熱暴走によ
って飛散して集光レンズに傷が付くのを防止する。ま
た、高反射材料の穴開け加工において、反射光が発振器
側に戻らないようにする。This prevents the molten metal from scattering due to thermal runaway and damaging the condenser lens during drilling. Also, in the drilling process of the highly reflective material, the reflected light is prevented from returning to the oscillator side.
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本発明のレーザ加工装置が穴開け加工位置に
位置決めされた状態を示す図である。図において、レー
ザ加工装置の加工ヘッド1はZ軸2及び集光ノズル3か
ら成る。FIG. 1 is a view showing a state in which the laser processing apparatus of the present invention is positioned at a drilling position. In the figure, the processing head 1 of the laser processing apparatus comprises a Z-axis 2 and a condenser nozzle 3.
集光ノズル3の上方にサーボモータ4が設けられ、集
光ノズル3とサーボモータ4との間にギヤ5及び6が設
けられている。集光ノズル3はNC制御され、サーボモー
タ4の回転に応じて傾斜する。A servo motor 4 is provided above the light collecting nozzle 3, and gears 5 and 6 are provided between the light collecting nozzle 3 and the servo motor 4. The condensing nozzle 3 is NC controlled and tilts according to the rotation of the servomotor 4.
集光ノズル3にはプロテクタ7が取り付けられてい
る。A protector 7 is attached to the light collecting nozzle 3.
レーザビーム15は、Z軸2に固定された反射鏡8、集
光ノズル3内の反射鏡9及び集光レンズ10を経て、ワー
ク11の穴開け加工位置12に導かれる。このときのレーザ
ビーム15とワーク11は垂直である。The laser beam 15 is guided to a drilling position 12 of the work 11 via the reflecting mirror 8 fixed to the Z axis 2, the reflecting mirror 9 in the collecting nozzle 3 and the collecting lens 10. At this time, the laser beam 15 and the work 11 are vertical.
第2図はレーザ加工装置で穴開け加工を行う状態を示
す図である。FIG. 2 is a diagram showing a state in which the laser processing device is used for drilling.
レーザ加工装置は、穴開け加工を開始する際に、集光
ノズル3を第1図の状態から第2図の状態に傾斜させ
る。この集光ノズル3の傾きに応じて、レーザビーム15
がワーク11に対して傾斜する。その傾き角度は例えば15
度〜25度に設定される。このとき、ワーク11の位置もNC
制御され、集光ノズル3が傾斜しても、ワーク11の穴開
け加工位置12とレーザビーム15によって照射される位置
とが常時一致するようになっている。The laser processing apparatus tilts the condenser nozzle 3 from the state shown in FIG. 1 to the state shown in FIG. 2 when starting the boring process. Depending on the inclination of the condenser nozzle 3, the laser beam 15
Tilts with respect to the workpiece 11. The tilt angle is, for example, 15
The degree is set to 25 degrees. At this time, the position of workpiece 11 is also NC
Even if the condensing nozzle 3 is controlled and tilted, the drilling position 12 of the workpiece 11 and the position irradiated by the laser beam 15 always match.
レーザ加工装置は、穴開け加工をレーザビーム15が傾
斜した状態で行う。穴開け加工が完了すると、上述した
集光ノズル3を傾斜させるときの動作を逆に行って集光
ノズル3を垂直に戻す。この動作はレーザビーム15を照
射したままで行われる。集光ノズル3が垂直に保たれる
と、切断加工を開始する。The laser processing apparatus carries out the drilling process while the laser beam 15 is inclined. When the boring process is completed, the operation of tilting the light collecting nozzle 3 described above is performed in reverse, and the light collecting nozzle 3 is returned to the vertical position. This operation is performed while the laser beam 15 is being irradiated. When the condenser nozzle 3 is kept vertical, the cutting process is started.
このように、切断加工開始時の穴開け加工は、レーザ
ビーム15がワーク11に対して傾斜した状態で行われる。
このため、レーザビーム15がワーク11に照射されて穴開
け加工位置12に熱暴走が発生し溶融金属が飛散したとし
ても、溶融金属はプロテクタ7に当たるだけである。し
たがって、集光レンズ10は溶融金属によって何ら影響を
受けず、傷を付けられることもない。また、集光レンズ
10の寿命も長くなる。この場合、プロテクタ7はオペレ
ータの安全にも役立っている。As described above, the boring process at the start of the cutting process is performed with the laser beam 15 tilted with respect to the work 11.
Therefore, even if the laser beam 15 irradiates the work 11 and thermal runaway occurs at the drilling position 12 and the molten metal scatters, the molten metal only hits the protector 7. Therefore, the condenser lens 10 is not affected by the molten metal and is not scratched. Also a condenser lens
The life of 10 will also be extended. In this case, the protector 7 also contributes to the safety of the operator.
さらに、ワーク11が高反射材料、例えば銅、アルミニ
ウム、真鍮またはこれらの合金である場合、レーザビー
ム15の反射光は、溶融金属と同様にプロテクタ7に当た
るだけである。したがって、反射光が集光レンズ10を経
由してレーザ発振器側に戻る危険性はなく、安全に穴開
け加工を行うことができる。Furthermore, if the workpiece 11 is a highly reflective material, such as copper, aluminum, brass or alloys thereof, the reflected light of the laser beam 15 will only hit the protector 7 as well as the molten metal. Therefore, there is no risk that the reflected light will return to the laser oscillator side via the condenser lens 10, and it is possible to perform the drilling safely.
この結果、従来、穴開け加工を安定にかつ安全に行う
ためになされていたパルス加工を行う必要がなく、レー
ザ発振器の最大出力を利用して連続出力で加工を行うこ
とができる。このため、穴開け加工を高速にかつ安全に
行うことができる。As a result, it is not necessary to perform pulse machining, which has been conventionally performed for stable and safe drilling, and it is possible to perform continuous machining using the maximum output of the laser oscillator. Therefore, the drilling process can be performed at high speed and safely.
例えば、出力2KWの炭酸ガスレーザを用いて、板厚14m
mの軟鋼に穴開け加工を行う場合、従来のパルス加工
(周波数45ヘルツ、デューティ20%)では、約30秒要し
ていたが、本発明のレーザ加工装置では、連続出力によ
る加工によって、約1秒で処理することができた。For example, using a carbon dioxide laser with an output of 2 KW, the plate thickness is 14 m
When performing drilling on m mild steel, it took about 30 seconds with conventional pulse processing (frequency 45 Hz, duty 20%), but with the laser processing device of the present invention, it is possible to perform It could be processed in 1 second.
また、板厚19mmの軟鋼に穴開け加工を行う場合、従来
のパルス加工では、約2分要していたが、本発明のレー
ザ加工装置では、連続出力による加工によって、アシス
トガスの圧力を少し高く設定するだけで約1秒で処理す
ることができた。Further, when performing drilling on mild steel with a plate thickness of 19 mm, it takes about 2 minutes with conventional pulse processing, but with the laser processing apparatus of the present invention, the pressure of the assist gas is slightly reduced by processing with continuous output. It was possible to process in about 1 second only by setting it high.
さらに、高反射材料の中で最も加工しにくい銅につい
て、従来は加工不可能であった板厚4mmの穴開け加工
も、2KWの連続出力による加工によって、約2秒で処理
することができ、他に何らの損傷も与えなかった。Furthermore, copper, which is the most difficult to machine in high-reflectivity materials, can be drilled with a plate thickness of 4 mm, which was previously impossible to machine, in about 2 seconds by the continuous output of 2 KW. No other damage was done.
第3図は本発明のレーザ加工装置の全体構成を概略的
に示す図である。図において、プロセッサ31は図示され
ていないROMに格納された制御プログラムに基づいて、
メモリ40に格納された加工プログラムを読みだし、レー
ザ加工装置全体の動作を制御する。出力制御回路32は内
部にD/Aコンバータを内蔵しており、プロセッサ31から
出力された出力指令値を電流指令値に変換して出力す
る。励起用電源33は商用電源を整流した後、スイッチン
グ動作を行って高周波の電圧を発生し、電流指令値に応
じた高周波電流をレーザ発振器の放電管34に供給する。FIG. 3 is a diagram schematically showing the overall configuration of the laser processing apparatus of the present invention. In the figure, the processor 31 is based on a control program stored in a ROM (not shown),
The processing program stored in the memory 40 is read out and the operation of the entire laser processing apparatus is controlled. The output control circuit 32 has a D / A converter built therein, and converts the output command value output from the processor 31 into a current command value and outputs the current command value. The excitation power source 33 rectifies the commercial power source and then performs a switching operation to generate a high frequency voltage, and supplies a high frequency current according to the current command value to the discharge tube 34 of the laser oscillator.
放電管34の内部にはレーザガス19が循環しており、励
起用電源33から高周波電圧が印加されると放電を生じて
レーザガス19が励起される。リア鏡35は反射率99.5%の
ゲルマニウム(Ge)製の鏡、出力鏡36は反射率65%のジ
ンクセレン(ZnSe)製の鏡であり、これらはファブリペ
ロー型共振器を構成し、励起されたレーザガス分子から
放出される10.6μmの光を増幅して一部を出力鏡36から
レーザビーム(レーザ光)15として外部に出力する。The laser gas 19 circulates inside the discharge tube 34, and when a high frequency voltage is applied from the excitation power supply 33, a discharge is generated and the laser gas 19 is excited. The rear mirror 35 is a germanium (Ge) mirror having a reflectance of 99.5%, and the output mirror 36 is a zinc selene (ZnSe) mirror having a reflectance of 65%. These mirrors form a Fabry-Perot resonator and are excited. The 10.6 μm light emitted from the laser gas molecules is amplified and a part of the light is output from the output mirror 36 to the outside as a laser beam (laser light) 15.
出力されたレーザビーム15は、後述するシャッタ23a
が開いている時には、ベンダミラー28で方向を変え、Z
軸2、集光ノズル3を経由し、集光レンズ10によって0.
2mm以下のスポットに集光されてワーク11の表面に照射
される。The output laser beam 15 has a shutter 23a described later.
When is open, change direction with the vendor mirror 28 and press Z
0 through the condenser lens 10 via the axis 2 and the condenser nozzle 3.
It is focused on a spot of 2 mm or less and irradiated on the surface of the work 11.
メモリ40は加工プログラム、各種のパラメータ等を格
納する不揮発性メモリであり、バッテリバックアップさ
れたCMOSが使用される。なお、この他にシステムプログ
ラムを格納するROM、一時的にデータを格納するRAMがあ
るが、本図ではこれらを省略してある。The memory 40 is a non-volatile memory that stores a machining program, various parameters, and the like, and a battery-backed CMOS is used. In addition, there are a ROM for storing a system program and a RAM for temporarily storing data, but these are omitted in FIG.
位置制御回路41はプロセッサ31の指令によってサーボ
アンプ42を介してサーボモータ43を回転制御し、ボール
スクリュー44及びナット45によってテーブル46の移動を
制御し、ワーク11の位置を制御する。図では1軸のみを
表示してあるが、実際には複数の制御軸がある。The position control circuit 41 controls the rotation of the servo motor 43 via the servo amplifier 42 according to a command from the processor 31, controls the movement of the table 46 by the ball screw 44 and the nut 45, and controls the position of the work 11. Although only one axis is shown in the figure, there are actually a plurality of control axes.
位置制御回路51はプロセッサ31の指令によってサーボ
アンプ52を介してサーボモータ4を回転制御し、集光ノ
ズル3の傾き角度制御を行う。The position control circuit 51 controls the rotation of the servomotor 4 via the servo amplifier 52 in accordance with a command from the processor 31 to control the tilt angle of the condenser nozzle 3.
表示装置48にはCRTあるいは液晶表示装置等が使用さ
れる。A CRT, a liquid crystal display device, or the like is used as the display device 48.
送風機20にはルーツブロワが使用され、レーザガス19
を冷却器21a及び21bを通して循環する。冷却器21aはレ
ーザ発振を行って高温となったレーザガス19を冷却する
ための冷却器であり、冷却器21bは送風器20による圧縮
熱を除去するための冷却器である。Roots blower is used for blower 20 and laser gas 19
Is circulated through coolers 21a and 21b. The cooler 21a is a cooler for cooling the laser gas 19 which has been heated to a high temperature by performing laser oscillation, and the cooler 21b is a cooler for removing compression heat generated by the blower 20.
シャッタ制御回路22はプロセッサ31の指令に基づいて
シャッタ23aを開閉する。シャッタ23aは表面に金メッキ
が施された銅板またはアルミ板で構成されており、閉時
には出力鏡36から出力されたレーザビーム15を反射して
ビームアブソーバ23bに吸収させる。シャッタ23aを開く
とレーザビーム15がワーク11に照射される。The shutter control circuit 22 opens and closes the shutter 23a based on a command from the processor 31. The shutter 23a is made of a copper plate or an aluminum plate whose surface is gold-plated. When the shutter 23a is closed, the laser beam 15 output from the output mirror 36 is reflected and absorbed by the beam absorber 23b. When the shutter 23a is opened, the laser beam 15 is applied to the work 11.
パワーセンサ24は熱電あるいは光電変換素子等で構成
され、リア鏡35から一部透過して出力されたレーザ光を
入力してレーザビーム15の出力パワーを測定する。A/D
変換器25はパワーセンサ24の出力をディジタル値に変換
してプロセッサ31に入力する。The power sensor 24 is composed of a thermoelectric or photoelectric conversion element or the like, and inputs the laser light partially transmitted from the rear mirror 35 and output, and measures the output power of the laser beam 15. A / D
The converter 25 converts the output of the power sensor 24 into a digital value and inputs it to the processor 31.
以上説明したように本発明では、切断加工開始時の穴
開け加工を、集光ノズルの方向をワーク表面に対して傾
斜させた状態で行うように構成したので、溶融金属が飛
散しても、穴開け加工時に集光ノズル内の集光レンズは
溶融金属によって何ら影響を受けず、傷を付けられるこ
ともない。As described above, in the present invention, the drilling process at the start of the cutting process is configured to be performed in a state where the direction of the light collecting nozzle is inclined with respect to the work surface, so that even if the molten metal is scattered, During the drilling process, the condenser lens in the condenser nozzle is not affected by the molten metal and is not scratched.
また、ワークが高反射材料の場合、レーザビームの反
射光は、集光レンズを経由してレーザ発振器側に戻る危
険性はなく、安全に穴開け加工を行うことができる。Further, when the work is made of a highly reflective material, there is no risk that the reflected light of the laser beam will return to the laser oscillator side via the condenser lens, and it is possible to perform the drilling safely.
このため、従来、穴開け加工を安定にかつ安全に行う
ためになされていたパルス加工を行う必要がなく、レー
ザ発振器の最大出力を利用して連続出力で加工を行うこ
とができる。したがって、切断加工開始時の穴開け加工
を高速にかつ安全に行うことができる。Therefore, it is not necessary to perform pulse machining which has been conventionally performed for stable and safe drilling, and it is possible to perform machining with continuous output using the maximum output of the laser oscillator. Therefore, drilling at the start of cutting can be performed at high speed and safely.
第1図は本発明のレーザ加工装置が穴開け加工位置に位
置決めされた状態を示す図、 第2図はレーザ加工装置で穴開け加工を行う状態を示す
図、 第3図は本発明のレーザ加工装置の全体構成を概略的に
示す図である。 3……集光ノズル 4、43……サーボモータ 5、6……ギヤ 7……プロテクタ 10……集光レンズ 11……ワーク 12……穴開け加工位置 15……レーザビーム 31……CPU 41、51……位置制御回路 42、52……サーボアンプFIG. 1 is a diagram showing a state in which the laser processing apparatus of the present invention is positioned at a drilling position, FIG. 2 is a diagram showing a state of drilling by the laser processing apparatus, and FIG. 3 is a laser of the present invention. It is a figure which shows roughly the whole structure of a processing apparatus. 3 ... Focusing nozzle 4, 43 ... Servo motor 5, 6 ... Gear 7 ... Protector 10 ... Focusing lens 11 ... Work 12 ... Drilling position 15 ... Laser beam 31 ... CPU 41 , 51 …… Position control circuit 42, 52 …… Servo amplifier
Claims (6)
するレーザ加工装置において、 前記レーザビームを前記ワークに集光させる集光ノズル
と、 前記ワーク表面に対する前記集光ノズルのレーザビーム
を発射する傾き角度を、切断加工開始点での穴開け加工
時には所定傾き角に、前記穴開け加工完了後の切断加工
時には垂直に保つように制御する傾き角度制御手段と、 を有することを特徴とするレーザ加工装置。1. A laser processing apparatus for irradiating a laser beam to cut and process a workpiece, wherein a focusing nozzle for focusing the laser beam on the workpiece and a laser beam of the focusing nozzle for the surface of the workpiece are emitted. A laser having a tilt angle control means for controlling the tilt angle to be a predetermined tilt angle at the time of drilling at the starting point of cutting and to keep it vertical at the time of cutting after completion of the drilling. Processing equipment.
後、前記傾き角度を垂直に保ち、前記切断加工を開始す
る際に、前記レーザビームは照射し続けることを特徴と
する請求項1記載のレーザ加工装置。2. The laser beam is continuously irradiated when the cutting is started after the completion of the drilling at the cutting start point and the tilt angle is kept vertical. The laser processing device described.
制御して変更する際に、前記ワークの穴開け加工位置と
前記レーザビームによって照射される位置とが常時一致
するように、前記光軸の傾き角度及び前記ワークの位置
を制御することを特徴とする請求項1記載のレーザ加工
装置。3. The tilt angle control means, when the tilt angle is controlled and changed, so that the drilling position of the work and the position irradiated by the laser beam always coincide with each other. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the tilt angle of the shaft and the position of the work are controlled.
ることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。4. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the tilt angle control means is a numerical control device.
るためのプロテクタを設けたことを特徴とする請求項1
記載のレーザ加工装置。5. The protector for preventing molten metal from scattering is provided on the light collecting nozzle.
The laser processing apparatus according to the above.
を特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。6. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the boring process is performed with continuous output.
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