JP2682684B2 - Optical scanning method - Google Patents

Optical scanning method

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JP2682684B2
JP2682684B2 JP32165788A JP32165788A JP2682684B2 JP 2682684 B2 JP2682684 B2 JP 2682684B2 JP 32165788 A JP32165788 A JP 32165788A JP 32165788 A JP32165788 A JP 32165788A JP 2682684 B2 JP2682684 B2 JP 2682684B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光走査方法に関する。The present invention relates to an optical scanning method.

[従来の技術] 光走査は、情報の書込みや読取を目的として行われ、
従来からレーザープリンターやレーザーファクシミリ、
デジタル式複写装置、レーザー製版装置等に関連して種
々の方式のものが知られている。
[Prior Art] Optical scanning is performed for the purpose of writing and reading information,
Conventionally, laser printers and laser facsimiles,
Various systems are known in connection with digital copying machines, laser plate making machines, and the like.

このような光走査方式の一つとして良く知られたもの
に、「光源装置からの光束を第1の結像光学系により主
走査対応方向に長い線像として結像せしめ、上記線像の
結像位置の近傍に偏向反射面を有する回転多面鏡により
上記光束を偏向させ、副走査方向に関して偏向反射面に
よる偏向の起点と被走査面とを幾何光学的に略共役な関
係にする第2の結像光学系により偏向光束を被走査面上
にスポット状に結像せしめて被走査面を光走査する光走
査方式」がある。
One well-known one of such optical scanning methods is that "a light beam from a light source device is formed into a long line image in the main scanning corresponding direction by the first image forming optical system, and the above line image is formed. The second polygon is deflected by a rotary polygonal mirror having a deflecting / reflecting surface near the image position, and the starting point of deflection by the deflecting / reflecting surface and the scanned surface in the sub-scanning direction are geometrically-optically substantially conjugate. There is an optical scanning system in which a deflected light beam is formed into a spot on the surface to be scanned by an imaging optical system and the surface to be scanned is optically scanned.

この光走査方式は、良く知られた回転多面鏡の面倒れ
を補正した光走査方式であり、回転多面鏡に面倒れが生
じても、主走査位置が副走査方向に殆ど変動しない。
This optical scanning system is a well-known optical scanning system in which the surface tilt of the rotary polygon mirror is corrected, and even if the surface tilt of the rotary polygon mirror occurs, the main scanning position hardly changes in the sub-scanning direction.

しかし、この光走査方式は第2の結像光学系として、
主走査方向に対し副走査方向のパワーを強くしたアナモ
フィツクなレンズ系を用いるため、とにかく副走査方向
に大きな像面湾曲が発生し易い。また、回転多面鏡の偏
向反射面の位置は回転多面鏡の回転に伴い光軸方向に変
動するため、このことも副走査方向の像面湾曲発生の原
因となる。副走査方向に強い像面湾曲が発生すると、被
走査面を走査する結像スポットの副走査方向のスポット
径が走査位置により変動する。このため、スポット径に
高度な安定性を要求される高密度の光走査の実現が困難
となる。
However, this optical scanning method is used as a second imaging optical system.
Since an anamorphic lens system in which the power in the sub-scanning direction is stronger than that in the main-scanning direction is used, a large field curvature is likely to occur in the sub-scanning direction. Further, the position of the deflecting / reflecting surface of the rotary polygon mirror fluctuates in the optical axis direction as the rotary polygon mirror rotates, which also causes the occurrence of field curvature in the sub-scanning direction. When strong field curvature occurs in the sub-scanning direction, the spot diameter in the sub-scanning direction of the imaging spot that scans the surface to be scanned varies depending on the scanning position. For this reason, it is difficult to realize high-density optical scanning that requires a high stability in the spot diameter.

従来、上記の如き副走査方向の像面湾曲の問題を解決
する方法としては、次の2方式が知られている。第1は
第2の結像光学系のレンズ設計により像面湾曲の補正を
行う方法である。
Conventionally, the following two methods are known as methods for solving the above-mentioned problem of field curvature in the sub-scanning direction. The first is a method of correcting curvature of field by designing the lens of the second imaging optical system.

第2は、回転多面鏡による偏向光束の偏向に同期し
て、光源や第1の結像光学系を光軸方向に変位させて像
面湾曲の補正を行う方法である。
The second is a method of correcting the field curvature by displacing the light source and the first imaging optical system in the optical axis direction in synchronization with the deflection of the deflected light flux by the rotating polygon mirror.

[発明が解決しようとする課題] しかし、上記第1の方法は実際には容易ではなく、特
にレンズの低コスト性やコンパクト性の要請の枠内で
は、像面湾曲の補正に自ずと限度がある。第2の方法
は、理論的には可なり有効であるが、光源や第1の結像
光学系は、光走査装置の構成上、相当に高い位置精度を
要求されるものであり、これらを変位させると、その変
位運動にともない光源等に要求される位置精度に狂いが
生ずる恐れがある。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned first method is not practically easy, and there is a limit to the correction of the curvature of field in the frame of the requirement of low cost and compactness of the lens. . The second method is theoretically quite effective, but the light source and the first imaging optical system are required to have considerably high positional accuracy because of the configuration of the optical scanning device. When it is displaced, the positional accuracy required for the light source or the like may be distorted due to the displacement movement.

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは、副走査方向の像面湾曲を
良好に補正して高密度の光走査を可能ならしむる新規な
光走査方法の提供にある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a novel optical scanning that can satisfactorily correct the field curvature in the sub-scanning direction and enable high-density optical scanning. It is in the provision of methods.

[課題を解決するための手段] 以下、本発明を説明する。本発明の光走査方法は、
「光源装置からの光束を第1の結像光学系により主走査
対応方向に長い線像として結像せしめ、上記線像の結像
位置の近傍に偏向反射面を有する回転多面鏡により上記
光束を偏向させ、副走査方向に関して上記偏向反射面に
よる偏向の起点と被走査面とを幾何光学的に略共役な関
係にする第2の結像光学系により偏向光束を上記被走査
面上にスポット状に結像せしめ、上記被走査面を光走査
する光走査方法」であって、その特徴とするところは以
下の点にある。
[Means for Solving the Problems] Hereinafter, the present invention will be described. The optical scanning method of the present invention,
"A light beam from the light source device is formed as a long line image in the main scanning corresponding direction by the first image forming optical system, and the light beam is formed by a rotary polygon mirror having a deflecting reflection surface near the image forming position of the line image. The deflected light beam is spotted on the surface to be scanned by the second imaging optical system that deflects the light and causes the starting point of the deflection by the deflecting reflection surface and the surface to be scanned to be in a substantially geometrically conjugate relationship with respect to the sub-scanning direction. An optical scanning method for forming an image on the surface to be optically scanned on the surface to be scanned ”, and its characteristic features are as follows.

即ち、上記第1の結像光学系と回転多面鏡との間に
は、光路長変更装置が配備される。
That is, an optical path length changing device is provided between the first imaging optical system and the rotary polygon mirror.

光路長変更装置は固定部と可動部と駆動部とからな
る。固定部と可動部とはルーフプリズム及び/またはル
ーフミラーの組合せである。
The optical path length changing device includes a fixed part, a movable part, and a drive part. The fixed part and the movable part are a combination of a roof prism and / or a roof mirror.

この光路長変更装置の可動部を駆動部により、偏向光
束の各偏向毎に、第2の結像光学系による副走査方向の
像面湾曲に応じて圧電素子もしくは磁歪素子により駆動
して変位させ、副走査方向の像面湾曲を補正しつつ光走
査を行う。
The movable portion of this optical path length changing device is driven by the driving portion to be displaced by the piezoelectric element or the magnetostrictive element according to the field curvature in the sub-scanning direction by the second imaging optical system for each deflection of the deflected light beam. The optical scanning is performed while correcting the field curvature in the sub-scanning direction.

固定部と可動部は、上に述べたようにルーフプリズム
とルーフプリズム、ルーフミラーとルーフミラーもしく
はルーフプリズムとルーフミラーの組合せである。
The fixed part and the movable part are the roof prism and the roof prism, the roof mirror and the roof mirror, or the combination of the roof prism and the roof mirror, as described above.

可動部を変位させるには上述の如く圧電素子もしくは
磁歪素子により行うが、圧電素子による駆動方式として
は圧電アクチュエータを用いる方法を挙げることができ
る。
The displacement of the movable part is performed by the piezoelectric element or the magnetostrictive element as described above, and as a driving method by the piezoelectric element, a method using a piezoelectric actuator can be mentioned.

磁歪素子により変位させるには、光ピックアップのフ
ォーカシングに関連して知られたホイスコイルアクチュ
エータ方式を利用できる。
For the displacement by the magnetostrictive element, a whistle coil actuator method known in connection with focusing of an optical pickup can be used.

また、可動部の変位によって副走査方向の像面湾曲を
補正するには、像面湾曲と、これを補正するための可動
部の変位量との関係を、走査位置毎に定めて記憶させて
おき、走査位置に応じて変位量を制御しても良いし、あ
るいは副走査方向の像面湾曲量を検出し、それに基づい
て可動部の変位量をフィードバック制御するようにして
もよい。
Further, in order to correct the field curvature in the sub-scanning direction by the displacement of the movable portion, the relationship between the field curvature and the displacement amount of the movable portion for correcting this is determined for each scanning position and stored. Alternatively, the displacement amount may be controlled according to the scanning position, or the amount of field curvature in the sub-scanning direction may be detected and the displacement amount of the movable portion may be feedback-controlled based on the detected amount.

[作用] 上記のように、本発明では光路長変更装置により、第
1の結像光学系と回転多面鏡との間の光路長を変えるこ
とにより副走査方向の像面湾曲を補正する。
[Operation] As described above, in the present invention, the optical path length changing device corrects the field curvature in the sub-scanning direction by changing the optical path length between the first imaging optical system and the rotary polygon mirror.

従って、光源装置や第1の結像光学系は固定したまま
で良く、これらの位置精度を高度に保つことができる。
Therefore, the light source device and the first imaging optical system may remain fixed, and their positional accuracy can be maintained at a high level.

[実施例] 以下、具体的な実施例に即して説明する。[Example] Hereinafter, a description will be given according to a specific example.

第1図は、本発明の1実施例を要部のみ示している。 FIG. 1 shows only an essential part of one embodiment of the present invention.

符号1はレーザー等の光源もしくは光源と集光装置か
らなる光源装置を示している。光源装置1から放出され
る略平行な光束は、第1の結像光学系であるシリンダー
レンズ2に入射する。
Reference numeral 1 denotes a light source such as a laser or a light source device composed of a light source and a condenser. The substantially parallel light flux emitted from the light source device 1 enters the cylinder lens 2 which is the first imaging optical system.

シリンダーレンズ2を透過した光束は、同レンズ2の
集束作用により1方向性の集束光となって、固定部8aと
可動部8bとにより示す光路長変更装置を経て回転多面鏡
3に入射する。そして回転多面鏡3の偏向反射面4の近
傍に、線像LIとして結像する。この線像LIの長手方向は
主走査対応方向である。
The light flux transmitted through the cylinder lens 2 becomes a unidirectional focused light by the focusing action of the lens 2, and enters the rotary polygon mirror 3 through the optical path length changing device shown by the fixed portion 8a and the movable portion 8b. Then, an image is formed as a line image LI in the vicinity of the deflection reflection surface 4 of the rotary polygon mirror 3. The longitudinal direction of this line image LI corresponds to the main scanning direction.

光束は次いで偏向反射面4により反射され、第2の結
像光学系を経て被走査面7に入射する。
The light beam is then reflected by the deflecting / reflecting surface 4 and enters the surface 7 to be scanned through the second imaging optical system.

第2の結像光学系は光走査レンズ5,6により構成さ
れ、光束を被走査面7上にスポット状に結像させる。そ
して回転多面鏡3の回転にともない結像スポットが被走
査面7を走査する。
The second image forming optical system is composed of optical scanning lenses 5 and 6, and forms a light beam on the surface to be scanned 7 in a spot shape. As the rotary polygon mirror 3 rotates, the imaging spot scans the surface 7 to be scanned.

第2図は、光源装置1から被走査面7に到る光路を展
開し、これを主走査対応方向から見た状態として示して
いる。この第2図で上下方向が副走査対応方向である。
第2図の上の図(a)は、第2の結像光学系の結像位置
が像面湾曲量に相当するΔX′だけ被走査面7からずれ
ている状態を示している。このずれ量ΔX′は、第2図
の下の図(b)に示すように、線像の結像位置を正規の
位置からΔXだけずらすことにより補正することができ
る。
FIG. 2 shows a state in which the optical path from the light source device 1 to the surface to be scanned 7 is developed and viewed from the main scanning corresponding direction. In FIG. 2, the vertical direction corresponds to the sub-scanning corresponding direction.
The upper part (a) of FIG. 2 shows a state in which the image forming position of the second image forming optical system is displaced from the surface 7 to be scanned by ΔX ′ corresponding to the amount of curvature of field. This shift amount ΔX ′ can be corrected by shifting the image forming position of the line image from the normal position by ΔX, as shown in the lower part of FIG.

この補正におけるΔXとΔX′との関係は、第2の結
像光学系の横倍率βを用いて周知の如く、ΔX′=β
・ΔX で与えられる。
The relationship between ΔX and ΔX ′ in this correction is ΔX ′ = β 2 as is well known by using the lateral magnification β of the second imaging optical system.
-Given by ΔX.

本発明では、第1の結像光学系と偏向反射面との間の
距離を変化させることにより上記ΔXを実現するのであ
る。
In the present invention, the above ΔX is realized by changing the distance between the first imaging optical system and the deflective reflection surface.

ここで、第2の結像光学系の諸元を具体的に与える。 Here, the specifications of the second imaging optical system will be concretely given.

レンズ5,6のレンズ面を回転多面鏡の側から被走査面
の側に向かって、第1乃至第4面とし、第i面の曲率半
径を主走査方向の曲率半径(回転多面鏡3による理想的
な偏向光束の光軸光線が偏向することにより形成される
偏向面による断面上の曲率半径)をri、副走査方向の曲
率半径(光軸を通り、上記偏向面に直交する偏向直交面
による断面上の曲率半径)をri′、第i面と第(i+
1)面との間の面間隔をdi、回転多面鏡3の側からj番
目のレンズの屈折率をnjとする。
The lens surfaces of the lenses 5 and 6 are first to fourth surfaces from the rotary polygon mirror side toward the scanned surface side, and the curvature radius of the i-th surface is the curvature radius in the main scanning direction (by the rotary polygon mirror 3). The radius of curvature on the cross section of the deflecting surface formed by deflecting the optical axis ray of the ideal deflected light flux is ri, and the radius of curvature in the sub-scanning direction (passing the optical axis and orthogonal to the deflecting surface Radius of curvature on the cross section by ri ′, the i-th surface and the (i +
1) The surface spacing between the surface and the surface is di, and the refractive index of the j-th lens from the side of the rotary polygon mirror 3 is nj.

i ri ri′ di j nj 1 −107.774 ∞ 5.672 1 1.71221 2 ∞ ∞ 10.966 3 ∞ −52.565 6.807 2 1.675 4 − 45.569 −12.052 なお、上記値は、主走査方向に関する合成焦点距離fm
を100に規格したときの値である。
i ri ri ′ di j nj 1 −107.774 ∞ 5.672 1 1.71221 2 ∞ ∞ 10.966 3 ∞ −52.565 6.807 2 1.675 4 − 45.569 −12.052 The above value is the composite focal length fm in the main scanning direction.
Is the value when is standardized to 100.

このとき主走査方向に明るさはF/No=54.7、有効偏向
角2θ=67.8゜、回転多面鏡3への入射光束の光軸光線
と第2の結像光学系の光軸とのなす角α=60゜、回転多
面鏡3の内接円半径Rと上記fmの比R/fm=0.132、副走
査方向の合成焦点距離fs=22.698、横倍率β=−4.12で
ある。
At this time, the brightness in the main scanning direction is F / No = 54.7, the effective deflection angle is 2θ = 67.8 °, and the angle formed by the optical axis ray of the light beam incident on the rotary polygon mirror 3 and the optical axis of the second imaging optical system. α = 60 °, the ratio R / fm of the inscribed circle radius R of the rotary polygonal mirror 3 to fm is 0.132, the combined focal length fs in the sub-scanning direction fs = 22.698, and the lateral magnification β = −4.12.

この第2の結像光学系に対し偏向光束を入射させたと
きの像面湾曲は第3図に示す如くである。破線が主走査
方向に関するもの、実線が副走査方向のものである。
The curvature of field when the deflected light beam is incident on the second imaging optical system is as shown in FIG. The broken line indicates the main scanning direction, and the solid line indicates the sub scanning direction.

さて、光路長変更装置の固定部8aは、第1図に示すよ
うに凸のルーフミラーであり、可動部8bは同図に示すよ
うに凹のルーフミラーである。
The fixed portion 8a of the optical path length changing device is a convex roof mirror as shown in FIG. 1, and the movable portion 8b is a concave roof mirror as shown in FIG.

各ルーフミラーの鏡面のなす角は90゜に設定されてい
るので、シリンダーレンズ2から回転多面鏡の偏向反射
面4へ向かう光束は、第4図に示すように、固定部8aと
可動部8bにより、長方形の3辺をなすように光路を曲げ
られる。
Since the angle formed by the mirror surface of each roof mirror is set to 90 °, the light flux traveling from the cylinder lens 2 to the deflecting / reflecting surface 4 of the rotary polygon mirror is fixed portion 8a and movable portion 8b as shown in FIG. By this, the optical path can be bent so as to form three sides of the rectangle.

固定部8aに対して可動部8bを第4図に示すようにΔa
だけ変位させると、シリンダーレンズ2と偏向反射面4
との間の光路長は2Δaだけ変化する。
As shown in FIG. 4, the movable portion 8b is fixed to the fixed portion 8a by Δa.
Cylinder lens 2 and deflection reflection surface 4
The optical path length between and changes by 2Δa.

今、ある走査位置に於いて、副走査方向の像面湾曲を
補正するために、シリンダーレンズ2による線像の結像
位置を変位させるべき距離をΔXとすれば、この距離は
第2図に即して説明したΔX′に対してΔX′/β
あり、これを可動部8bの変位で行うとすれば変位Δa
は、ΔX′/2βとすれば良い。
Now, at a certain scanning position, if the distance by which the image forming position of the line image by the cylinder lens 2 should be displaced in order to correct the field curvature in the sub-scanning direction is ΔX, this distance is shown in FIG. It is ΔX ′ / β 2 with respect to ΔX ′ explained immediately, and if this is performed by the displacement of the movable portion 8b, the displacement Δa
May be ΔX ′ / 2β 2 .

第5図は、第3図に示した副走査方向の像面湾曲(実
線の曲線)を補正するために、走査位置とともに可動部
をどのように変位させるべきかを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing how the movable portion should be displaced together with the scanning position in order to correct the field curvature (solid curve) in the sub-scanning direction shown in FIG.

即ち、図の右側は線像の位置が像側へ変位するように
可動部8bを移動させることを意味し、左側は線像の位置
が光源側へ変位するように可動部8bを移動させることを
意味する。即ち、前者の場合には固定部8a、可動部8bの
距離を小さくするように、後者の場合は距離を大きくす
るように可動部8bの変位を制御すれば良い。
That is, the right side of the figure means to move the movable portion 8b so that the position of the line image is displaced to the image side, and the left side is to move the movable portion 8b so that the position of the line image is displaced to the light source side. Means That is, the displacement of the movable portion 8b may be controlled so as to reduce the distance between the fixed portion 8a and the movable portion 8b in the former case and increase the distance in the latter case.

このように可動部8bの変位を、各偏向ごとに第5図の
ように制御すると、副走査方向の像面湾曲は、第6図に
示すように、殆ど完全に補正される。その上主走査方向
の像面湾曲は、上記補正行為により殆ど影響されない。
When the displacement of the movable portion 8b is thus controlled for each deflection as shown in FIG. 5, the field curvature in the sub-scanning direction is almost completely corrected as shown in FIG. In addition, the field curvature in the main scanning direction is hardly affected by the correction action.

従って、被走査面上での副走査方向の結像スポットの
径は走査位置に拘らず極めて一定したものとなる。また
主走査方向の像面湾曲にともなう主走査方向の結像スポ
ット径の変動は光源装置1における光量調整で補正でき
る。従って高密度の光走査が可能となる。
Therefore, the diameter of the image forming spot on the surface to be scanned in the sub-scanning direction is extremely constant regardless of the scanning position. Further, the fluctuation of the image forming spot diameter in the main scanning direction due to the curvature of field in the main scanning direction can be corrected by adjusting the light amount in the light source device 1. Therefore, high-density optical scanning becomes possible.

可動部の変位制御は、本実施例では以下のように行わ
れる。
The displacement control of the movable portion is performed as follows in this embodiment.

即ち、可動部8bは、光ピツクアップのフォーカシング
に関連して知られたボイスコイル方式の変位機構で変位
させるようになっている。
That is, the movable portion 8b is configured to be displaced by a voice coil type displacement mechanism known in relation to focusing of optical pick-up.

また、走査位置と変位量Δaとの関係は、第5図に示
す如きものであり、この関係が駆動部の記憶装置に記憶
されている。そして、偏向光束による走査位置はクロッ
クとの関連で検出され、検出された走査位置に応じて、
副走査方向の像面湾曲を補正するように可動部8aを変位
させるのである。
Further, the relationship between the scanning position and the displacement amount Δa is as shown in FIG. 5, and this relationship is stored in the storage device of the drive unit. Then, the scanning position by the deflected light beam is detected in relation to the clock, and according to the detected scanning position,
The movable portion 8a is displaced so as to correct the field curvature in the sub-scanning direction.

像面湾曲の補正はまたフィードバック式に行ってもよ
い。
The field curvature correction may also be performed in a feedback manner.

これを行うには、例えば以下のようにする。 To do this, for example:

即ち、第2の結像光学系と被走査面との間に半透鏡を
配して、偏向光束の一部を分離光束として分離して被走
査面と等価な面に導き、この面を走査させる。この面の
上に走査方向に渡ってCCDの如きイメージセンサーを複
数個設ける。各センサーに於ける受光素子配列方向は、
上記等価な面の走査される方向と直交させる。そして上
記分離光束が各センサーの位置を通過するときに、分離
光束のスポットの径をセンサーの出力により検知する
と、この結果から副走査方向の像面湾曲か検出できるの
で、このとき副走査方向の結像スポット径が所定の値と
なるように光路長変更装置の可動部の変位をフィードバ
ック制御すれば良いのである。半透鏡を用いるかわりに
通常のミラーを用い、光源として2つの発光源を持つLD
アレイを用い、その一方の発光源からの光束を上記被走
査面と等価な面に導くようにしても良い。
That is, a semi-transparent mirror is arranged between the second imaging optical system and the surface to be scanned, a part of the deflected light beam is separated as a separated light beam and is guided to a surface equivalent to the surface to be scanned, and this surface is scanned. Let A plurality of image sensors such as CCDs are provided on this surface in the scanning direction. The light receiving element array direction in each sensor is
It is made to be orthogonal to the scanning direction of the equivalent surface. When the separated light flux passes through the position of each sensor, if the diameter of the spot of the separated light flux is detected by the output of the sensor, it is possible to detect the field curvature in the sub-scanning direction from this result. The displacement of the movable part of the optical path length changing device may be feedback-controlled so that the image spot diameter becomes a predetermined value. An LD with two light sources as the light source, using an ordinary mirror instead of using a semi-transparent mirror
An array may be used, and the light flux from one of the light emitting sources may be guided to a surface equivalent to the surface to be scanned.

[発明の効果] 以上、本発明によれば新規な光走査方法を提供でき
る。この方法は上記の如き構成となっているので、光源
や第1の結像光学系を移動させることなく、且つ、副走
査方向に相当の像面湾曲を有する第2の結像光学系を用
いても、良好な高密度光走査が可能とすることができ
る。なお、光路長変更装置のルーフミラーやルーフプリ
ズムのルーフ角は、実施例で説明した90゜に限らず、他
の角度に設定することもできる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a novel optical scanning method can be provided. Since this method has the above-described configuration, the second imaging optical system having a considerable field curvature in the sub-scanning direction is used without moving the light source or the first imaging optical system. However, good high-density optical scanning can be achieved. The roof angles of the roof mirror and the roof prism of the optical path length changing device are not limited to 90 ° described in the embodiment, but can be set to other angles.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明の1実施例装置を説明するための図、
第2図ないし第6図、は上記実施例との関連で、本発明
を説明するための図である。 1……光源装置、2……第1の結像光学系としてのシリ
ンダーレンズ、3……回転多面鏡、4……偏向反射面、
5,6……第2の結像光学系を構成するレンズ、7……被
走査面、8a……光路長変更装置の固定部、8b……光路長
変更装置の可動部
FIG. 1 is a diagram for explaining an apparatus according to an embodiment of the present invention,
2 to 6 are views for explaining the present invention in relation to the above-mentioned embodiment. 1 ... Light source device, 2 ... Cylinder lens as first imaging optical system, 3 ... Rotating polygon mirror, 4 ... Deflection / reflection surface,
5, 6 ... Lens forming second imaging optical system, 7 ... Scanned surface, 8a ... Fixed part of optical path length changing device, 8b ... Movable part of optical path length changing device

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】光源装置からの光束を第1の結像光学系に
より主走査対応方向に長い線像として結像せしめ、上記
線像の結像位置の近傍に偏向反射面を有する回転多面鏡
により上記光束を偏向させ、副走査方向に関して上記偏
向反射面による偏向の起点と被走査面とを幾何光学的に
略共役な関係にする第2の結像光学系により偏向光束を
上記被走査面上にスポット状に結像せしめ、上記被走査
面を光走査する光走査方式において、 上記第1の結像光学系と回転多面鏡との間に、固定部と
可動部と駆動部とからなり、ルーフプリズム及び/また
はルーフミラーの組合せで上記固定部及び可動部が構成
される光路長変更装置を配備し、 この光路長変更装置の可動部を上記駆動部により、偏向
光束の各偏向毎に、上記第2の結像光学系による副走査
方向の像面湾曲に応じて圧電素子もしくは磁歪素子によ
り駆動して変位させ、上記副走査方向の像面湾曲を補正
しつつ光走査を行うことを特徴とする、光走査方法。
1. A rotary polygonal mirror having a light beam from a light source device formed as a long line image in a direction corresponding to main scanning by a first image forming optical system, and having a deflective reflection surface near the image forming position of the line image. The deflected light beam is deflected by the second imaging optical system in which the origin of the deflection by the deflection reflection surface and the surface to be scanned are geometrically and optically substantially conjugate with respect to the sub-scanning direction. In the optical scanning method in which an image is formed in a spot shape on the upper surface and the surface to be scanned is optically scanned, a fixed part, a movable part, and a drive part are provided between the first imaging optical system and the rotary polygon mirror. , A roof prism and / or a roof mirror are combined to provide an optical path length changing device having the fixed part and the movable part, and the movable part of the optical path length changing device is provided by the driving part for each deflection of the deflected light beam. , Sub-scanning by the second imaging optical system Depending on the curvature of the direction is displaced by driving the piezoelectric element or magnetostrictive element, and performing optical scanning with correct field curvature of the sub-scanning direction, the optical scanning method.
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