JP2682568B2 - Sheet thickness online measuring device - Google Patents
Sheet thickness online measuring deviceInfo
- Publication number
- JP2682568B2 JP2682568B2 JP2410746A JP41074690A JP2682568B2 JP 2682568 B2 JP2682568 B2 JP 2682568B2 JP 2410746 A JP2410746 A JP 2410746A JP 41074690 A JP41074690 A JP 41074690A JP 2682568 B2 JP2682568 B2 JP 2682568B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet thickness
- sheet
- measuring device
- traverse
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はシート厚みのオンライン
計測装置に関するものであり、詳しくは、延伸終了の直
後に合成樹脂シートの厚みをリアルタイム方式で測定す
る厚み計測装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sheet thickness on-line measuring device, and more particularly to a thickness measuring device for measuring the thickness of a synthetic resin sheet in real time immediately after completion of stretching.
【0002】[0002]
【従来の技術】合成樹脂シート(1)の延伸装置は、図
3に示すように、樹脂ペレットの投入用ホッパ(2)
と、ヒータ(3A)付きのスクリューフィーダ(3)と、
溶融樹脂送出用のスリット(4A)と、このスリットの開
口寸法を調節するためのボルト(4B)を具えたTダイ
(4)と、エアナイフ(5)と、下流側に向って周速が
漸増するように調速された複数本の延伸ローラ(6)
(7)(8)と、リニアゲージ等の厚み検出センサ(9
A)と、計測シャフト(18)を具えたシート厚みの計測
装置(9)、および巻取りローラ(10)を上流側から下
流側に向って順次配設することによって構成されてい
る。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 3, a stretching device for a synthetic resin sheet (1) comprises a hopper (2) for loading resin pellets.
And a screw feeder (3) with a heater (3A),
A slit (4A) for delivering molten resin, a T-die (4) equipped with a bolt (4B) for adjusting the opening size of this slit, an air knife (5), and a peripheral speed gradually increasing toward the downstream side. Stretching rollers (6) whose speed is controlled to
(7) and (8) and a thickness detection sensor (9
A), a sheet thickness measuring device (9) including a measuring shaft (18), and a winding roller (10) are sequentially arranged from the upstream side to the downstream side.
【0003】上記シート厚みの計測装置(9)は、図4
に示すように、門形のフレーム(11)の上方に、ACサ
ーボモータ(12)と、ボールねじ(13)と、下面を平滑
なガイド面(14A)に形成した横向きのビーム部材(1
4)を配設すると共に、その下方に、上記ボールねじ(1
3)と螺合するボールナット(16)と、上記ACサーボ
モータ(12)の起動時に横向きビーム部材(14)のガイ
ド面(14A)に沿ってスライドする可動ブロック(17)
と、この可動ブロック(17)の下面に固着されたシート
厚みの計測センサ、例えばリニアゲージセンサ(9A)
と、このシート厚みの計測センサ(9A)のトラバース経
路と平行する平滑なシート支持面(18A)を具えた計測
シャフト(18)とからなる計測装置の本体(15)を配設
することによってリアルタイム方式のオンライン計測手
段を形成している。The sheet thickness measuring device (9) is shown in FIG.
As shown in FIG. 1, an AC servomotor (12), a ball screw (13), and a horizontal beam member (1) whose lower surface is a smooth guide surface (14A) are formed above a gate-shaped frame (11).
4) and place the ball screw (1
3) A ball nut (16) screwed with the movable block (17) that slides along the guide surface (14A) of the lateral beam member (14) when the AC servomotor (12) is started.
And a sheet thickness measuring sensor fixed to the lower surface of the movable block (17), for example, a linear gauge sensor (9A)
By disposing the main body (15) of the measuring device consisting of the sheet thickness measuring sensor (9A) and a measuring shaft (18) having a smooth sheet supporting surface (18A) parallel to the traverse path of the sheet thickness measuring sensor (9A), Form a method of online measurement.
【0004】ホッパ(2)内に投入された合成樹脂ペレ
ット(19)は、スクリューフィーダ(3)内を圧送され
る際にヒータ(3A)で加熱されることによって溶融し、
Tダイ(4)のスリット(4A)からエアナイフ(5)上
に未硬化の厚い合成樹脂シート(1)として送り出され
た後、上流側から下流側に向って周速が漸増する複数本
の延伸ローラ(6)(7)(8)間で延伸されることに
よって徐々に硬化しつつ予め設定された最終寸法迄厚み
Tを減少させ、この状態で所定の長さ単位で巻取りロー
ラ(10)上に巻取られる。The synthetic resin pellets (19) charged into the hopper (2) are melted by being heated by the heater (3A) when being pressure-fed in the screw feeder (3),
After being sent out from the slit (4A) of the T-die (4) onto the air knife (5) as an uncured thick synthetic resin sheet (1), a plurality of stretches in which the peripheral speed gradually increases from upstream to downstream By being stretched between the rollers (6), (7) and (8), the thickness T is reduced to a preset final dimension while gradually hardening, and in this state, the take-up roller (10) is a unit of a predetermined length. Rolled up.
【0005】合成樹脂シート(1)は、延伸終了後巻取
りローラ(10)上に巻取られる直前に、図4に示すよう
に計測シャフト(18)上でリニアゲージセンサ(9A)で
その厚みTを計測される。この合成樹脂シート(1)の
厚みの実測値Tは、上記シート厚みの計測装置(9)に
接続されているコンピュータのコントロール部(20)に
電気的な入力信号として送出され、ここで設定厚みTo
と比較演算される。この演算結果は、シート厚み調整用
の操作盤(21A)と一体構造になった陰極線管ディスプ
レイ装置、例えばCRTカラーディスプレイ(21)に表
示された厚みTの計測値を見ながらTダイ(4)のボル
ト(4B)を手動操作し、合成樹脂シート(1)の厚みの
実測値Tが設定厚みToと等しくなる迄スリット(4A)
の開口寸法を調整している。The thickness of the synthetic resin sheet (1) is measured by a linear gauge sensor (9A) on a measuring shaft (18) immediately after being wound on a winding roller (10) after completion of stretching, as shown in FIG. T is measured. The measured value T of the thickness of the synthetic resin sheet (1) is sent as an electric input signal to the control unit (20) of the computer connected to the sheet thickness measuring device (9), and the set thickness is set here. To
Is calculated and compared with. This calculation result is obtained by observing the measured value of the thickness T displayed on a cathode ray tube display device, for example, a CRT color display (21), which is integrated with the operation panel (21A) for adjusting the sheet thickness, and the T-die (4). Manually operate the bolt (4B) of the slit, and until the measured value T of the thickness of the synthetic resin sheet (1) becomes equal to the set thickness To, slit (4A)
The opening size of is adjusted.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】図3および図4に示す
シート厚みの計測装置(9)は、計測シャフト(18)に
よって下方から支持された状態で移動する合成樹脂シー
ト(1)の厚みTを、この合成樹脂シート(1)の移動
方向と直交する水平面内で計測シャフト(18)の軸線方
向に沿ってトラバースするリニアゲージセンサ(9A)を
利用して計測している。この場合、横向きビーム部材
(14)のガイド面(14A)を基準としてリニアゲージセ
ンサ(9A)がトラバースしているため、これらの面(14
A)の平坦度や平行度が厚みTの測定値に大きな影響を
与える。例えば、ガイド面(14A)の仕上げ精度が充分
でなく、その表面にミクロンオーダーの微細な凹凸が残
っていると、これらの凹凸の深さや高さが比較演算時に
加算あるいは減算されるため、CRTカラーディスプレ
イ(21)上に表示されるシート厚みTに誤差が介在する
ようになる。また、計測シャフト(18)の平行度の狂い
やうねりがあると、同様な誤差を生ずる。従って、ボル
ト(4B)の手動操作を繰返しても合成樹脂シート(1)
の延伸後の厚みTを設定厚みToの管理限界内に維持す
ることが困難となる。厚みTの不同は製品の品質不良に
直結するから、このような不都合を防止するためには、
厚み計測装置の製造に際し、上記ガイド面(14A)、シ
ート支持面(18A)が充分な平坦度と平行度を持つよう
に研磨等の仕上げ加工条件を選定すると共に、組付精度
も向上させる必要があり、コストアップが避けられなか
った。The sheet thickness measuring device (9) shown in FIGS. 3 and 4 has a thickness T of a synthetic resin sheet (1) which moves while being supported from below by a measuring shaft (18). Is measured using a linear gauge sensor (9A) traversing along the axial direction of the measuring shaft (18) in a horizontal plane orthogonal to the moving direction of the synthetic resin sheet (1). In this case, since the linear gauge sensor (9A) is traversing with reference to the guide surface (14A) of the lateral beam member (14), these surfaces (14A)
The flatness and parallelism of A) have a great influence on the measured value of the thickness T. For example, if the finishing accuracy of the guide surface (14A) is not sufficient and fine irregularities of micron order remain on the surface, the depth and height of these irregularities are added or subtracted during the comparison calculation. The sheet thickness T displayed on the color display (21) has an error. In addition, if the measurement shaft (18) has a deviation in parallelism or waviness, a similar error occurs. Therefore, even if the manual operation of the bolt (4B) is repeated, the synthetic resin sheet (1)
It becomes difficult to maintain the thickness T after stretching within the control limit of the set thickness To. Since the difference in the thickness T directly leads to the quality defect of the product, in order to prevent such inconvenience,
When manufacturing a thickness measuring device, it is necessary to select finishing processing conditions such as polishing so that the above-mentioned guide surface (14A) and sheet supporting surface (18A) have sufficient flatness and parallelism, and also to improve assembly accuracy. However, the cost increase was inevitable.
【0007】また、従来、特開昭56−44803号公
報及び特開昭61−296201号公報に記載のような
シート厚みの計測装置が提案されていたが、前者のもの
は、シート表面の検出手段に投光器と光検出器とを使用
する方式であるため、投光器からの光がシート表面の凹
凸によって乱反射し、正確な測定ができない欠点があっ
た。また、後者の装置は、渦電流型変位検出センサの検
出対象物迄の設定間隔に対する直線比例領域が狭いにも
拘らず、この直線比例領域を逸脱して大きく移動させる
ことになるため、正確なシート厚みの計測が出来ない欠
点があった。本発明は、従来装置の上記欠点を解消し得
るトラバース型のシート厚み計測装置を提供することを
目的としている。Further, conventionally, a sheet thickness measuring device as described in JP-A-56-44803 and JP-A-61-296201 has been proposed, but in the former, the sheet surface is detected. Since the method uses a light projector and a photodetector, the light from the light projector is irregularly reflected by the unevenness of the sheet surface, which makes it impossible to perform accurate measurement. In addition, in the latter device, although the linear proportional region with respect to the set distance up to the detection target of the eddy current displacement detection sensor is narrow, the linear proportional region deviates from this linear proportional region and a large amount of movement is made. There was a drawback that the sheet thickness could not be measured. An object of the present invention is to provide a traverse type sheet thickness measuring device which can solve the above-mentioned drawbacks of the conventional device.
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、門形フレームの上方にACサーボモータ
と、ボールねじと、平滑なガイド面を備えた横向きのビ
ーム部材とからなるトラバース装置を配置し、このトラ
バース装置の下方に、上記ボールねじと螺合するボール
ナットと、上記ACサーボモータの起動時に上記横向き
ビーム部材の平滑なガイド面に沿ってスライドする可動
ブロックと、この可動ブロックの下面に取付けられたシ
ート厚み計測センサと、このシート厚み計測センサのト
ラバース経路と平行する平滑なシート支持面を備えた計
測シャフトとからなる計測装置の本体を配設して構成さ
れたトラバース型のシート厚み計測装置において、上記
シート厚み計測センサのトラバース方向の両側等距離の
位置に、計測シャフトの表面までの距離の変化を非接触
で検出する渦電流型もしくは静電容量型の変位検出セン
サを可動ブロックに固定配置し、この2個のセンサの検
出値の算術平均値で前記シート厚み計測センサの検出し
たシート厚みを補正させたことを特徴とするシート厚み
のオンライン計測装置を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION To achieve the above object, the present invention is directed to a traverse composed of an AC servomotor, a ball screw, and a sideways beam member having a smooth guide surface above a portal frame. A device is disposed below the traverse device, a ball nut screwed with the ball screw, a movable block that slides along the smooth guide surface of the lateral beam member when the AC servomotor is started, and a movable block that moves the device. A traverse configured by disposing a main body of a measuring device including a sheet thickness measuring sensor mounted on the lower surface of a block and a measuring shaft having a smooth sheet supporting surface parallel to the traverse path of the sheet thickness measuring sensor. In the sheet thickness measuring device of the mold, the measurement shuffling is performed at positions equidistant on both sides in the traverse direction of the sheet thickness measuring sensor. An eddy current type or capacitance type displacement detection sensor for detecting a change in the distance to the surface of the sheet is fixedly arranged on a movable block, and the sheet thickness is measured by an arithmetic average value of the detection values of these two sensors. The present invention provides an on-line sheet thickness measuring device characterized by correcting the sheet thickness detected by a sensor.
【0008】[0008]
【作用】シート厚み計測センサのトラバース方向の両側
等距離の位置に、計測シャフトの表面までの距離の変化
を非接触で検出する渦電流型もしくは静電容量型の変位
検出センサを可動ブロックに固定配置し、この2個のセ
ンサの検出値の算術平均値で前記シート厚み計測センサ
の検出したシート厚みを補正させたから、計測シャフト
の表面の傾斜やうねり等の表面平行度及び平坦度の狂い
があっても、これを補正して正確なシート厚みを計測さ
せることができる。上記可動ブロックの平行移動を司る
横向きビーム部材のガイド面の仕上げ精度や組付精度に
起因する平行度並びに平坦度の狂いがあれば、それも、
上記2個の非接触センサにより計測シャフトの表面に対
する相対的な変位として検出され、同時に補正される。
特に、2個の変位検出センサを可動ブロックに固定配置
しているため、上記センサの直線比例領域内で正確な計
測を行なわせることができ、これと、シート厚み計測セ
ンサとの前記組合せ構成によって、従来装置では得られ
なかった正確なシート厚み計測装置を提供することが可
能となったものである。[Function] An eddy current type or capacitance type displacement detection sensor that detects the change in the distance to the surface of the measurement shaft in a non-contact manner is fixed to the movable block at positions equidistant on both sides of the sheet thickness measurement sensor in the traverse direction. Since the sheet thickness detected by the sheet thickness measurement sensor is corrected by the arithmetic mean value of the detection values of the two sensors, the deviation of the surface parallelism and flatness such as the inclination or waviness of the surface of the measuring shaft is corrected. Even if there is, this can be corrected and the sheet thickness can be accurately measured. If there is a deviation in parallelism and flatness due to the finishing accuracy or assembly accuracy of the guide surface of the lateral beam member that controls the parallel movement of the movable block,
The two non-contact sensors detect the relative displacement of the measuring shaft with respect to the surface, and simultaneously correct the displacement.
In particular, since the two displacement detection sensors are fixedly arranged on the movable block, it is possible to perform accurate measurement within the linear proportional region of the above-mentioned sensors, and by the combination configuration of this and the sheet thickness measurement sensor. It is now possible to provide an accurate sheet thickness measuring device which cannot be obtained by the conventional device.
【0009】[0009]
【実施例】図1および図2に基づいて本発明の一具体例
を説明する。尚、以下の記述において、図3および図4
に示す従来装置と同一の構成部材は同一の参照番号で表
示し、重複する事項に関しては説明を省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A specific example of the present invention will be described with reference to FIGS. In the following description, FIG. 3 and FIG.
The same components as those of the conventional device shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and the description of the overlapping matters will be omitted.
【0010】合成樹脂シート(1)の厚み計測装置(2
5)は、シート厚みの計測センサ(9A)と並列状態で
そのトラバース方向の両側等距離(L1=L2)の位置
に2個一組で渦電流型もしくは静電容量型の変位検出セ
ンサ(26)(27)を対向配置することによって、横
向きビーム部材(14)、および計測シャフト(18)
の表面(14A)(18A)に残存しているミクロンオ
ーダの凹凸やうねり(図2に参照番号(28)で拡大図
示)の直線補間手段を構成している。尚、図2では、シ
ート厚みの計測センサ(9A)としてリニアゲージを使
用し、これに対応してその左右等配位置に、渦電流型の
変位検出センサ(26)(27)を上記シート厚みの計
測センサ(9A)と同調移動可能に支持することによっ
て凹凸やうねり等の直線補間手段を構成しているが、シ
ート厚みの計測センサ(9A)としては、上記リニアゲ
ージの外、レーザ変位計や光学式変位計(例えば反射光
電センサ)を使用することができる。シート厚みの計測
センサ(9A)としてレーザ変位計を使用した場合に
は、凹凸の直線補間精度を向上させるため、渦電流型の
変位検出センサ(26)(27)の代わりに静電容量型
の変位検出センサを使用し、両変位検出センサ間の対向
間隔(L1+L2)を可及的に狭くすることが好まし
い。Thickness measuring device (2) for the synthetic resin sheet (1)
5) is an eddy current type or capacitance type displacement detection sensor (26) in a pair in parallel with the sheet thickness measurement sensor (9A) at positions equidistant on both sides in the traverse direction (L1 = L2). ) (27) facing each other so that the transverse beam member (14) and the measuring shaft (18)
A linear interpolating means for micron-order unevenness and undulations remaining on the surfaces (14A) and (18A) (enlarged illustration with reference numeral (28) in FIG. 2) is configured. In FIG. 2, a linear gauge is used as the sheet thickness measuring sensor (9A), and eddy current type displacement detection sensors (26) and (27) are provided at the left and right evenly arranged positions corresponding to the linear gauge. A linear interpolation means for unevenness and waviness is formed by supporting the measurement sensor (9A) of FIG. 2 so as to be able to move in synchronization with the measurement sensor (9A). Alternatively, an optical displacement meter (for example, a reflection photoelectric sensor) can be used. When a laser displacement meter is used as the sheet thickness measuring sensor (9A), in order to improve the linear interpolation accuracy of unevenness, an electrostatic capacitance type sensor is used instead of the eddy current type displacement detection sensor (26) (27). It is preferable to use a displacement detection sensor and to make the facing interval (L1 + L2) between both displacement detection sensors as narrow as possible.
【0011】以下、本発明の使用方法を説明する。図1
および図2で紙面と直交方向に合成樹脂シート(1)を
恒速送りしながらACサーボモータ(12)のインチン
グボタン(12A)を押し、厚み計測装置(25)を計
測シャフト(18)上のスタート位置に位置決めする。
この後トラバース幅をデジタルスイッチ等で設置して、
ACサーボモータ(12)の起動ボタン(12B)を押
し、ボールねじ(13)を回転させ、可動ブロック(1
7)毎シート厚みの計測装置(25)を計測シャフト
(18)の軸線方向に沿ってトラバースさせる。この結
果、リニアゲージ(9A)が所定の押圧荷重の作用下に
計測シャフト(18)上に支持されている合成樹脂シー
ト(1)の表面に当接し、合成樹脂シート(1)の厚み
Tが計測される。このとき、リニアゲージ(9A)の左
右に対向間隔L1,L2を置いて対設された渦電流型の
変位検出センサ(26)(27)が計測シャフト(1
8)の軸線方向に沿ってリニアゲージ(9A)と同調移
動し、計測シャフト(18)のシート支持面(18A)
までの高さα1、α2をリアルタイム方式で読み取る。
リニアゲージ(9A)によって計測された合成樹脂シー
ト(1)の厚みは、コンピュータのコントロール部(2
0)でシート(1)自体の厚みTと、シート支持面(1
8A)上に残存しているうねりや凹凸の高さαとの加算
値または減算値として演算処理され、設定厚みT0との
比較値としてCRTカラーディスプレイ(21)に送出
される。従って、合成樹脂シート(1)の実際の厚みT
を計測するためには、リニアゲージ(9A)による計測
値から渦電流型の変位検出センサ(26)(27)で読
み取られた上記凹凸等の高さα1、α2の平均値α、即
ち(α1+α2)/2を加算あるいは減算する必要があ
る。このため、リニアゲージ(9A)の読取り値と上記
変位検出センサ(26)(27)の読取り値をコンピュ
ータのコントロール部(20)の入力信号として送出
し、予め設定された基準厚みT0とリニアゲージ(9
A)の読取り値T±αとを比較する前に上記(α1+α
2)/2を変数として直線補間方式で合成樹脂シート
(1)の厚みTを補正する。この結果、CRTカラーデ
ィスプレイ(21)には、上記凹凸やうねり等の平行度
及び平坦度の狂いが補正された合成樹脂シート(1)の
真の厚みTが基準厚みT0との比較値として表示され
る。The method of using the present invention will be described below. FIG.
2 and the inching button (12A) of the AC servomotor (12) is pressed while the synthetic resin sheet (1) is fed at a constant speed in the direction orthogonal to the paper surface, and the thickness measuring device (25) is placed on the measuring shaft (18). Position at the start position.
After this, set the traverse width with a digital switch etc.,
Press the start button (12B) of the AC servomotor (12) and rotate the ball screw (13) to move the movable block (1
7) The sheet thickness measuring device (25) is traversed along the axial direction of the measuring shaft (18). As a result, the linear gauge (9A) comes into contact with the surface of the synthetic resin sheet (1) supported on the measurement shaft (18) under the action of a predetermined pressing load, and the thickness T of the synthetic resin sheet (1) is reduced. To be measured. At this time, the eddy current type displacement detection sensors (26) and (27), which are opposed to each other on the left and right of the linear gauge (9A) with the facing distances L1 and L2, are arranged on the measurement shaft (1).
8) Along with the linear gauge (9A) along the axial direction, the seat supporting surface (18A) of the measuring shaft (18) is moved.
Heights α1 and α2 are read in real time.
The thickness of the synthetic resin sheet (1) measured by the linear gauge (9A) is measured by the computer control unit (2).
0), the thickness T of the sheet (1) itself and the sheet supporting surface (1
8A) is arithmetically processed as an addition value or a subtraction value with the height α of the undulations and unevenness remaining on the CRT color display (21) as a comparison value with the set thickness T 0 . Therefore, the actual thickness T of the synthetic resin sheet (1)
In order to measure, the average value α of the heights α1 and α2 of the unevenness or the like read by the eddy current displacement detection sensors (26) and (27) from the measurement value of the linear gauge (9A), that is, (α1 + α2 ) / 2 must be added or subtracted. Therefore, the reading values of the linear gauge (9A) and the reading values of the displacement detection sensors (26) (27) are sent as input signals to the control section (20) of the computer, and the preset reference thickness T 0 and the linear value are set. Gauge (9
Before comparing the reading T ± α in (A), the above (α1 + α
2) / 2 is used as a variable to correct the thickness T of the synthetic resin sheet (1) by a linear interpolation method. As a result, in the CRT color display (21), the true thickness T of the synthetic resin sheet (1) in which the deviation in parallelism and flatness such as unevenness and waviness is corrected is compared with the reference thickness T 0. Is displayed.
【0012】[0012]
【発明の効果】本発明によれば、横向きビーム部材のガ
イド面や計測シャフトのシート支持面の仕上げ精度や組
付精度が低くても、シート厚みの計測値にそれらの誤差
が介在しないため、オンライン計測装置の計測精度を向
上させることができ、従って、この種装置のコストダウ
ンが図れる。特に、2個の変位検出センサを可動ブロッ
クに固定配置しているため、上記センサの直線比例領域
内で正確な計測を行なわせることができ、これと、シー
ト厚み計測センサとの前記組合せ構成によって、従来装
置では得られなかった正確なシート厚み計測装置を提供
することが可能となったものである。According to the present invention, even if the finishing accuracy and the assembling accuracy of the guide surface of the lateral beam member and the sheet supporting surface of the measuring shaft are low, those errors do not intervene in the measured value of the sheet thickness. It is possible to improve the measurement accuracy of the online measuring device, and thus reduce the cost of this type of device. In particular, since the two displacement detection sensors are fixedly arranged on the movable block, it is possible to perform accurate measurement within the linear proportional region of the above-mentioned sensors, and by the combination configuration of this and the sheet thickness measurement sensor. It is now possible to provide an accurate sheet thickness measuring device which cannot be obtained by the conventional device.
【図1】本発明装置の正面図、FIG. 1 is a front view of the device of the present invention,
【図2】その要部拡大図、FIG. 2 is an enlarged view of the main part,
【図3】合成樹脂シートの延伸工程の説明図、FIG. 3 is an explanatory diagram of a stretching process of a synthetic resin sheet,
【図4】従来のシート厚みの計測装置の正面図である。FIG. 4 is a front view of a conventional sheet thickness measuring device.
1 合成樹脂シート 9A シート厚み計測センサ 25 シート厚みのオンライン計測装置 26、27 渦電流型もしくは静電容量型変位検出センサ 1 Synthetic resin sheet 9A Sheet thickness measuring sensor 25 Sheet thickness online measuring device 26, 27 Eddy current type or capacitance type displacement detection sensor
Claims (1)
と、ボールねじと、平滑なガイド面を具えた横向きのビ
ーム部材とからなるトラバース装置を配設し、このトラ
バース装置の下方に、上記ボールねじと螺合するボール
ナットと、上記ACサーボモータの起動時に上記横向き
ビーム部材の平滑なガイド面に沿ってスライドする可動
ブロックと、この可動ブロックの下面に取付けられたシ
ート厚み計測センサと、このシート厚み計測センサのト
ラバース経路と平行する平滑なシート支持面を具えた計
測シャフトとからなる計測装置の本体を配設して構成さ
れたトラバース型のシート厚み計測装置において、 上記シート厚み計測センサのトラバース方向の両側等距
離の位置に、計測シャフトの表面までの距離の変化を非
接触で検出する渦電流型もしくは静電容量型の変位検出
センサを可動ブロックに固定配置し、この2個のセンサ
の検出値の算術平均値で前記シート厚み計測センサの検
出したシート厚みを補正させたことを特徴とするシート
厚みのオンライン計測装置。1. A traverse device including an AC servomotor, a ball screw, and a lateral beam member having a smooth guide surface is provided above the gate frame, and the ball is provided below the traverse device. A ball nut screwed with the screw, a movable block that slides along the smooth guide surface of the lateral beam member when the AC servomotor is activated, a sheet thickness measuring sensor attached to the lower surface of the movable block, In a traverse type sheet thickness measuring device configured by arranging a main body of a measuring device including a measuring shaft having a smooth sheet supporting surface parallel to a traverse path of the sheet thickness measuring sensor, Eddy currents that detect changes in the distance to the surface of the measurement shaft in a non-contact manner at positions equidistant on both sides in the traverse direction. Alternatively, a capacitance type displacement detection sensor is fixedly arranged on a movable block, and the sheet thickness detected by the sheet thickness measurement sensor is corrected by an arithmetic mean value of detection values of these two sensors. Online thickness measuring device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2410746A JP2682568B2 (en) | 1990-12-13 | 1990-12-13 | Sheet thickness online measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2410746A JP2682568B2 (en) | 1990-12-13 | 1990-12-13 | Sheet thickness online measuring device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04215013A JPH04215013A (en) | 1992-08-05 |
JP2682568B2 true JP2682568B2 (en) | 1997-11-26 |
Family
ID=18519858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2410746A Expired - Lifetime JP2682568B2 (en) | 1990-12-13 | 1990-12-13 | Sheet thickness online measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2682568B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5660672A (en) * | 1995-04-10 | 1997-08-26 | International Business Machines Corporation | In-situ monitoring of conductive films on semiconductor wafers |
US5559428A (en) * | 1995-04-10 | 1996-09-24 | International Business Machines Corporation | In-situ monitoring of the change in thickness of films |
CN104457664A (en) * | 2014-11-25 | 2015-03-25 | 湖州丝艺丝绸有限公司 | Improved silk fabric thickness measuring mechanism |
CN116717998B (en) * | 2023-08-07 | 2023-11-24 | 常州奥凯干燥设备有限公司 | Automatic spreading device for oven tray |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5236052A (en) * | 1975-09-17 | 1977-03-19 | Hitachi Ltd | Thickness gauge unit |
JPS55145312U (en) * | 1979-04-04 | 1980-10-18 | ||
JPS5644803A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-24 | Bridgestone Corp | System measuring for thickness of nonmetallic sheet like object |
JPS61296201A (en) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Nippon Steel Corp | Apparatus for automatically measuring film thickness of coated steel pipe |
-
1990
- 1990-12-13 JP JP2410746A patent/JP2682568B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04215013A (en) | 1992-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4059794A (en) | Method and apparatus for monitoring pass alignment in rolling mills | |
US3474668A (en) | Noncontacting gauges for automatically measuring the profile of moving strip | |
JP2626942B2 (en) | Method and apparatus for controlling sheet thickness in calendering | |
JPH01152306A (en) | Method and apparatus for measuring shape | |
JP2682568B2 (en) | Sheet thickness online measuring device | |
US5701178A (en) | Non-damaging flatness and thickness gauge for glass | |
JP5358302B2 (en) | Adhesive tape manufacturing system | |
JPH11123656A (en) | Roll measuring method and its device | |
JP2545446B2 (en) | Thin film profile measurement system | |
US3518431A (en) | Web thickness gauging and recording system having automatic web edge sensing | |
JP3452208B2 (en) | Automatic sheet thickness measuring device | |
JPH06317419A (en) | Instrument for measuring thickness of sheet | |
JPH08128807A (en) | Method and apparatus for displacement measurement of roll of rolling mill | |
JPH05240609A (en) | Instrument for measuring eccentricity of roller | |
US5099125A (en) | Sheet material sensor compensation | |
JPH0352892B2 (en) | ||
JPH04148816A (en) | Method for measuring shape and size of shape steel material | |
JPH01193604A (en) | Thickness measuring thickness of filmy object | |
JPH05164548A (en) | Method of measuring degree of steepness | |
US3962580A (en) | Infrared process for measuring the kneading mass in a calender roller gap | |
JPS6073309A (en) | Measurement of surface roughness pattern of running sheet material | |
JP2024140817A (en) | Web roll manufacturing apparatus and method | |
JPH05147785A (en) | Web alignment device for sheet feeding part | |
JP4800459B2 (en) | Sheet thickness measurement method | |
JPH05157522A (en) | Measuring method of thickness of sheet and apparatus therefor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110808 Year of fee payment: 14 |