JP2670689B2 - Media member - Google Patents

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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、ビデオテープ、オーディオテープ、コンピ
ューター用カートリッジ等の磁気や光等を利用して情報
の記録および/または再生を行なう媒体用部材に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial field of application> The present invention relates to a member for media such as video tape, audio tape, computer cartridge, etc., which records and / or reproduces information by utilizing magnetism or light. .

<従来の技術> ビデオカセット、オーディオカセット、コンピュータ
ー用カートリッジ、ビデオフロッピーディスク、レーザ
ービジョンディスク等の各種情報の記録・再生担体で
は、テープ状ないしディスク状の記録ないし再生用の媒
体が、収納ケース内に収納され、媒体は、収納ケースお
よび記録・再生装置内を走行ないし回転する。すなわ
ち、これらの記録・再生担体内部では、記録・再生媒体
と、収納ケースを構成する部材や収納ケース内に配置さ
れた部材とが、あるいはこれら各部材同士が、互いに摺
接しながら運動する。
<Prior Art> In a recording / reproducing carrier for various information such as a video cassette, an audio cassette, a computer cartridge, a video floppy disk, and a laser vision disk, a tape-shaped or disk-shaped recording or reproducing medium is stored in a storage case. And the medium travels or rotates in the storage case and the recording / reproducing apparatus. That is, inside these recording / reproducing carriers, the recording / reproducing medium, the members constituting the storage case and the members arranged in the storage case, or these members move while slidingly contacting each other.

ビデオテープを例にとると、カセットケース内には、
記録媒体であるビデオテープとともに、ビデオテープを
巻き取るリール、リールをロックするブレーキ、またテ
ープの走行をガイドするガイドポール、テープガイド等
の種々の部材とが収納されている。
Taking a video tape as an example, in the cassette case,
Along with the video tape, which is a recording medium, a reel that winds the video tape, a brake that locks the reel, various members such as a guide pole that guides the running of the tape, and a tape guide are stored.

そして、媒体を記録・再生装置に装填すると、たとえ
ば、ビデオテープとガイドポール、テープガイド等のテ
ープ走行ガイド部材や、リールとリールリーフバネなど
が互いに摺動する。
Then, when the medium is loaded into the recording / reproducing apparatus, for example, a tape running guide member such as a video tape and a guide pole, a tape guide, or a reel and a reel leaf spring slide on each other.

したがって、これらの部材には、テープやディスク等
の媒体の走行や回転が正確で、しかも円滑かつ安定に行
なえるように、 A:摩擦係数が低いこと、 B:部材やテープのケズレおよびそれに起因するドロップ
アウト等をなくすため、耐摩耗性に優れ表面硬度が高い
こと、 C:記録・再生の誤動作につながる静電気等の帯電を防ぐ
ため、帯電防止性に優れていること等の特性が要求され
る。
Therefore, in order to ensure accurate and smooth running and rotation of media such as tapes and discs, A: low friction coefficient, B: misalignment of members and tapes In order to eliminate dropouts, etc., characteristics such as excellent wear resistance and high surface hardness, C: Excellent antistatic properties to prevent static electricity and other charges that may cause recording / playback malfunctions are required. You.

従来、このような部材は、成形の容易さや軽量性か
ら、通常、樹脂材質で形成されるが、上記の特性を満足
させるために、表面に帯電防止用の塗膜を形成したり、
必要な部材を一部耐摩耗性に優れた金属にしたり、金属
被膜を設けたりしている。
Conventionally, such a member is usually formed of a resin material from the viewpoint of ease of molding and light weight, but in order to satisfy the above characteristics, a coating film for antistatic is formed on the surface,
Some of the necessary members are made of metal having excellent wear resistance, or a metal coating is provided.

<発明が解決しようとする課題> しかし、帯電防止塗膜を設けるときには薄膜で均一な
塗膜を形成することが困難で、ブルーミング等の問題が
あり、また、部材の一部を金属化するときには、加工工
数が増加してコスト高になる、また、複雑な形状のもの
の加工が困難である等の欠点がある。
<Problems to be Solved by the Invention> However, when an antistatic coating film is provided, it is difficult to form a thin and uniform coating film, and there are problems such as blooming, and when a part of a member is metallized. However, there are disadvantages such as an increase in the number of processing steps and an increase in cost, and a difficulty in processing a complicated shape.

このような実状から、本発明者らは、先に上記の部材
に有機金属(特開昭58−222115号公報)、ケイ素化合物
(特開昭58−222438号公報)等のプラズマ重合膜を形成
する旨の提案をしている。
Under such circumstances, the present inventors first formed a plasma polymerized film of an organic metal (Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-222115), a silicon compound (Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-222438), etc. on the above member. We are proposing to do so.

しかし、これらのものでは帯電防止性のみに注目し、
走行摩擦の評価も行っていない。
However, in these things, paying attention only to the antistatic property,
We also did not evaluate running friction.

本発明の目的は、帯電防止性にすぐれ、記録・再生媒
体の走行等が正確、円滑かつ安定に行なわれ、耐久性に
優れ、記録・再生に際してドロップアウトが少なく、部
品点数や加工工数増も招かない、媒体用部材を提供する
ことにある。
The object of the present invention is to have an excellent antistatic property, the recording / reproducing medium can be accurately and smoothly and stably run, the durability is excellent, the dropout during recording / reproducing is small, and the number of parts and the number of processing steps can be increased. It is to provide a member for media that is not invited.

<課題を解決するための手段> このような目的は、以下の本発明によって達成され
る。
<Means for Solving the Problems> Such an object is achieved by the present invention described below.

すなわち、本発明は、テープ状ないしディスク状の媒
体を走行または回転可能に収納する収納ケースを構成す
る部材またはこの収納ケース内に配置される媒体以外の
部材であって、その表面に、C、FおよびNを含み、F
およびNの含有量の合計が5〜40at%、N/Fの原子比が
0.2〜5であるプラズマ重合膜を形成したことを特徴と
する媒体用部材である。
That is, the present invention relates to a member constituting a storage case that stores a tape-shaped or disk-shaped medium rotatably or rotatably, or a member other than the medium arranged in the storage case, the surface of which is C, F and N, F
And the total content of N is 5 to 40 at%, the atomic ratio of N / F is
A member for a medium, wherein a plasma polymerized film having a thickness of 0.2 to 5 is formed.

また、この場合、プラズマ重合膜が、さらにHを含む
ことが好ましい。
In this case, it is preferable that the plasma-polymerized film further contains H.

以下、本発明の具体的構成を詳細に説明する。 Hereinafter, a specific configuration of the present invention will be described in detail.

本発明の媒体用部材は、テープ状ないしディスク状の
媒体を走行または回転可能に収納する前記収納ケースを
構成するか、あるいはこの収納ケース内に配置される部
材であり、その表面に前記のプラズマ重合膜を形成した
ものである。
The medium member of the present invention is a member that constitutes the storage case that stores a tape-shaped or disk-shaped medium so that it can run or rotate, or is a member that is arranged in this storage case. A polymer film was formed.

第1図には、本発明の媒体用部材をビデオテープカセ
ットに適用した例が示される。
FIG. 1 shows an example in which the medium member of the present invention is applied to a video tape cassette.

この場合には、媒体として可撓性基体に磁性層を有す
る記録テープ11を用い、カセット14が収納ケースを構成
する。
In this case, a recording tape 11 having a magnetic layer on a flexible base is used as a medium, and a cassette 14 forms a storage case.

第1図に示されるビデオカセットにおいて、カセット
14は、上部カセットハーフ141と下部カセットハーフ142
およびガードパネル145をタッピングネジ117で組みたて
ることにより形成され、これらの部材から、本発明のケ
ースが構成される。このカセット14の内部には、テープ
を巻回した供給リール13S、テープを巻取る巻取りリー
ル13T、また、使用時以外にリールが回転するのを防ぐ
ブレーキ16等が設けられ、さらにテープガイド153、ガ
イドローラー154等の走行ガイド部材が設置される。
In the video cassette shown in FIG.
14 is the upper cassette half 141 and the lower cassette half 142
And the guard panel 145 is assembled by tapping screws 117, and these members constitute the case of the present invention. Inside the cassette 14, there are provided a supply reel 13S that winds a tape, a take-up reel 13T that winds the tape, a brake 16 that prevents the reel from rotating when not in use, and a tape guide 153. A traveling guide member such as a guide roller 154 is installed.

供給リール13Sと巻取りリール13Tはカセット内に並ん
で配置され、リールルーフバネ1411により下部カセット
ハーフ142に圧着される。また、ブレーキ16は両リール
の上部中央に配置される。さらに、テープガイド153、
ガイドローラー154等のテープ走行ガイド部材は、テー
プ送り出し口およびテープ引き込み口付近に配置され
る。
The supply reel 13S and the take-up reel 13T are arranged side by side in the cassette, and are pressed against the lower cassette half 142 by the reel roof spring 1411. Further, the brake 16 is arranged at the center of the upper part of both reels. In addition, the tape guide 153,
A tape running guide member such as the guide roller 154 is arranged near the tape feed port and the tape pull port.

さらに、他の部材として、供給リール13Sと記録テー
プ11とを接続するためのリーダートレーラーテープ121
が設けられる。
Further, as another member, a leader trailer tape 121 for connecting the supply reel 13S and the recording tape 11 is provided.
Is provided.

供給リール13Sから供給される磁気テープ11はガイド
ポール151、テープパッド152間をテープパッド152によ
り適度なバックテンションを与えられつつ通過し、テー
プ供給口のテープガイド153を経て記録・再生機器内に
引き込まれる。記録・再生機器内を走行したテープは、
テープガイド153とガイドローラー154の間を通過して、
巻取りリール13Tに巻き取られる。
The magnetic tape 11 supplied from the supply reel 13S passes between the guide pole 151 and the tape pad 152 while being given an appropriate back tension by the tape pad 152, and passes through the tape guide 153 at the tape supply port into the recording / reproducing apparatus. Be drawn in. The tape running in the recording / playback equipment
Pass between the tape guide 153 and the guide roller 154,
It is taken up by the take-up reel 13T.

ビデオカセットは通常上記のような構造を有するもの
であるが、このようなビデオカセットを構成する部材の
多くは、記録テープ11と、あるいは各部材同士で、摺動
する。
The video cassette usually has the structure as described above, but most of the members constituting such a video cassette slide on the recording tape 11 or each member.

本発明においては、このようなビデオカセットを構成
する部材の表面に、所定のプラズマ重合膜を形成するも
のであるが、中でも特に、記録テープ11と接触する走行
ガイド部材であるガイドポール151、テープパッド152、
テープガイド153、ガイドローラー154、また、記録テー
プと接続しているリーダートレーラーテープ121、さら
にはリールリーフバネ1411と接触するリールセンターボ
ス1333、上部カセットハーフ141および下部カセットハ
ーフ142の前面部141a、142aの表面に所定のプラズマ重
合膜を形成したとき、より良好な効果が得られる。
In the present invention, a predetermined plasma-polymerized film is formed on the surface of a member constituting such a video cassette, and in particular, a guide pole 151, which is a running guide member that comes into contact with the recording tape 11, and a tape. Pad 152,
The tape guide 153, the guide roller 154, the leader trailer tape 121 connected to the recording tape, and the reel center boss 1333 that contacts the reel leaf spring 1411, the front surface 141a of the upper cassette half 141 and the lower cassette half 142, A better effect can be obtained when a predetermined plasma polymerized film is formed on the surface of 142a.

次に第2図に、本発明の媒体用部材を、オーディオカ
セットに適用した例を示す。
Next, FIG. 2 shows an example in which the medium member of the present invention is applied to an audio cassette.

この場合も、ビデオカセットと同様に、媒体として、
可撓性基体に磁性層を有する記録テープ21を用い、カセ
ット25がケースを構成する。
In this case, as in the case of the video cassette,
A cassette 25 forms a case using a recording tape 21 having a magnetic layer on a flexible base.

第2図に示されるオーディオカセットにおいて、カセ
ット25はハーフサイドA251とハーフサイドB253を組み合
せることにより形成され、これらの部材より、オーディ
オカセットのケースが構成される。このカセット25の内
部には、テープを巻出または巻き取るハブ部231、クラ
ンプ233やテープの走行をガイドするガイドローラ243、
ガイドピン241、さらに、他の部材として、テープの巻
回を帯電なく、正確にかつスムーズに行なうためのシー
ト261や、ハブ部231、クランプ233と記録テープ21とを
接続するリーダーテープ221等が設けられる。
In the audio cassette shown in FIG. 2, the cassette 25 is formed by combining the half side A251 and the half side B253, and the case of the audio cassette is constituted by these members. Inside the cassette 25, a hub portion 231, which winds or winds the tape, a clamp 233, a guide roller 243 which guides the running of the tape,
A guide pin 241, and further other members include a sheet 261 for accurately and smoothly winding the tape without electrification, a hub portion 231, a leader tape 221 for connecting the clamp 233 and the recording tape 21, and the like. Provided.

ハブ部231から供給されるテープは、ガイドピン241、
ガイドローラー243により走行経路をガイドされ、記録
・再生装置内のヘッド等との接触部に入る。ヘッドパッ
ド245に挾まれて、ヘッドと摺接したのち、再びガイド
ローラー243とガイドピン241とによって走行経路をガイ
ドされ、もう一方のハブ部231に巻回される。
The tape supplied from the hub portion 231 is a guide pin 241,
The guide roller 243 guides the traveling route and enters the contact portion with the head or the like in the recording / reproducing apparatus. After being sandwiched by the head pad 245 and in sliding contact with the head, the guide roller 243 and the guide pin 241 again guide the traveling path, and the hub portion 231 is wound around the other.

本発明においては、ビデオカセットと同様に、このよ
うなオーディオカセットを構成する部材の表面に、前記
したプラズマ重合膜を形成するものであるが、中でも特
に、走行ガイド部材であるガイドピン241、ガイドロー
ラー243や、また、リーダーテープ221やシート261等の
表面に所定のプラズマ重合膜を形成したとき、より良好
な結果を得る。
In the present invention, like the video cassette, the above-mentioned plasma polymerized film is formed on the surface of the member constituting such an audio cassette, but among them, the guide pin 241 which is the traveling guide member, the guide Better results are obtained when a predetermined plasma polymerized film is formed on the surface of the roller 243, the leader tape 221, the sheet 261 or the like.

本発明は、上記のビデオカセット、オーディオカセッ
トの他、同種の磁気テープと同種の部材を有する各種ビ
デオカセット、オーディオカセット、コンピューターカ
ートリッジに適用しても有効である。また、その他、フ
ロッピーディスク、ハードディスク、コンパクトディス
ク等の各種ディスク状の媒体およびクリーニングカセッ
ト等の媒体の部材に施しても、有効である。
The present invention is also effective when applied to various video cassettes, audio cassettes, and computer cartridges having the same type of members as those of the same type of magnetic tape, in addition to the above-mentioned video cassettes and audio cassettes. Further, it is also effective when applied to various disk-shaped media such as floppy disks, hard disks, and compact disks, and media members such as cleaning cassettes.

本発明においてプラズマ重合膜は、CとNとF、より
好ましくはCとHとNとFとを含有する。
In the present invention, the plasma polymerized film contains C, N and F, more preferably C, H, N and F.

このときFおよびNの含有量の合計は、5〜40at%、
より好ましくは10〜35at%である。
At this time, the total content of F and N is 5 to 40 at%,
More preferably, it is 10 to 35 at%.

この値が5at%未満であると後述のF/Nの比をコントロ
ールしても十分な帯電防止性が発現せず40at%を超える
と膜の強度が低下し、部材としての耐久性が低下する。
If this value is less than 5 at%, sufficient antistatic properties will not be exhibited even if the F / N ratio described below is controlled, and if it exceeds 40 at%, the strength of the film will decrease and the durability as a member will decrease. .

また、N/Fの原子比は、0.2〜5、より好ましくは0.3
〜3である。
Further, the atomic ratio of N / F is 0.2 to 5, more preferably 0.3.
~ 3.

この値がこの範囲を外れると十分な帯電防止性が発揮
できなくなってしまう。
If this value is out of this range, sufficient antistatic properties cannot be exhibited.

NおよびF以外の残部はC単独であっても、CとHと
から構成されていてもよい。
The balance other than N and F may be C alone or may be composed of C and H.

CとHとを含有する場合H/Cの原子比は、通常2以
下、特に0.05〜2程度である。
When C and H are contained, the atomic ratio of H / C is usually 2 or less, particularly about 0.05 to 2.

なお、プラズマ重合膜中のC、N、F、Hおよびその
他の元素の含有量の分析は、SIMS(2次イオン質量分
析)等に従えばよい。SIMSを用いる場合、本発明におい
てプラズマ重合膜は膜厚10〜1000Åにて好適に用いられ
るので、プラズマ重合膜表面にて、C、N、F、Hおよ
びその他の元素をカウントして算出すればよい。
The analysis of the contents of C, N, F, H and other elements in the plasma polymerized film may be performed according to SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) or the like. In the case of using SIMS, the plasma polymerized film is preferably used in the present invention with a film thickness of 10 to 1000Å, so if C, N, F, H and other elements are counted and calculated on the surface of the plasma polymerized film. Good.

あるいは、Ar等でイオンエッチングを行いながら、
C、N、F、Hおよびその他の元素のプロファイルを測
定して算出してもよい。
Alternatively, while performing ion etching with Ar or the like,
It may be calculated by measuring the profiles of C, N, F, H and other elements.

SIMSの測定については、表面科学基礎講座 第3巻
(1984)表面分析の基礎と応用(P70)“SIMSおよびLAM
MA"の記載に従えばよい。
Regarding the measurement of SIMS, Surface Science Fundamentals Volume 3 (1984) Basics and Applications of Surface Analysis (P70) “SIMS and LAM
MA ".

このような組成にて、形成されるプラズマ重合膜の膜
厚は10〜1000Å、より好ましくは20〜100Åであること
が好ましい。
With such a composition, the thickness of the plasma polymerized film formed is preferably 10 to 1000Å, more preferably 20 to 100Å.

この膜厚が1000Åを超えると、成膜時の内部応力が膜
中に残留し、膜自体の強度が低下し、媒体の破断強度が
低下し、膜ケズレが生じドロップアウトが発生し易い。
When the film thickness exceeds 1000Å, internal stress during film formation remains in the film, the strength of the film itself is lowered, the breaking strength of the medium is lowered, and the film is liable to drop and dropout easily occurs.

また、膜厚が10Å未満であると、本発明の実効がな
く、耐久性に劣り、膜ケズレを生じ、ドロップアウトが
発生し易い。さらに、面状態の悪化等の不都合を生じ
る。
Further, if the film thickness is less than 10Å, the present invention is not effective, the durability is deteriorated, the film is damaged, and the dropout is likely to occur. Furthermore, inconveniences such as deterioration of the surface condition occur.

なお、膜厚の測定は、エリプソメーター等を用いれば
よい。
Note that the film thickness may be measured using an ellipsometer or the like.

またこのような膜厚の制御は、プラズマ重合膜形成時
の反応時間、原料ガス流量等を制御すればよい。
In addition, such control of the film thickness may be performed by controlling the reaction time, the flow rate of the raw material gas, and the like when forming the plasma polymerized film.

本発明においてプラズマ重合膜に用いる原料ソースと
しては、通常、上記の各元素を含むソースを複数組合せ
て用いればよい。
In the present invention, as a raw material source used for the plasma polymerization film, a plurality of sources containing the above-described elements may be generally used in combination.

使用可能なソースとしては下記のものが挙げられる。 The available sources include:

(1)炭化水素 通常、操作性の良いことから、常温で気体のメタン、
エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、エチレン、プロ
ピレン、ブテン、ブタジエン、アセチレン、メチルアセ
チレン、その他の飽和ないし不飽和の炭化水素の1種以
上。
(1) Hydrocarbon Usually, methane which is gaseous at normal temperature
One or more of ethane, propane, butane, pentane, ethylene, propylene, butene, butadiene, acetylene, methylacetylene, and other saturated or unsaturated hydrocarbons.

(2)フッ化炭素またはフッ化炭化水素 テトラフロロメタン、オクタフロロプロパン、オクタ
フロロシクロブタン、テトラフロロエチレン、ヘキサフ
ロロプロピレン、トリフロロクロロメタン、ジフロロメ
タン、トリフロロブロモメタン、ジフロロエタン、テト
ラフロロエタン等の1種以上。
(2) Fluorocarbon or fluorinated hydrocarbon such as tetrafluoromethane, octafluoropropane, octafluorocyclobutane, tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene, trifluorochloromethane, difluoromethane, trifluorobromomethane, difluoroethane, tetrafluoroethane, etc. One or more.

(3)含窒素系炭化水素 エチレンイミン、メチルアミン、エチルアミン、ジエ
チルアミン、トリエチルアミン、エチレンジアミン等の
1種以上。
(3) Nitrogen-containing hydrocarbons One or more of ethyleneimine, methylamine, ethylamine, diethylamine, triethylamine, ethylenediamine and the like.

(4)上記(1)〜(3)の組合わせに加え、あるいは
これに替え含窒素フッ化炭化水素を用いることもでき
る。
(4) In addition to the combination of the above (1) to (3) or in place of this, a nitrogen-containing fluorohydrocarbon can be used.

(5)その他 NO、N2O、NO2などのNOX、H2、O2、O3、H2O、NH3、N
F3、CO、CO2等の1種以上をソースに加えて用いても好
適である。
(5) Other NO X such as NO, N 2 O and NO 2 , H 2 , O 2 , O 3 , H 2 O, NH 3 , N
It is also preferable to use one or more of F 3 , CO, CO 2 and the like in addition to the source.

上記したようにソース中にはBr、Cl、O等が含有され
ていてもよい。
As described above, the source may contain Br, Cl, O, and the like.

さらに必要に応じて、原料にSi、B、P、S等ソース
微量成分として添加することもできる。
Further, if necessary, it can be added to the raw material as a trace component of a source such as Si, B, P, and S.

これらソースの使用量比は、目的とするプラズマ重合
膜組成に応じ、適宜設定することができる。
The use ratio of these sources can be appropriately set according to the desired composition of the plasma-polymerized film.

プラズマ重合膜は、前述の原料ガスの放電プラズマを
基板(本発明においては媒体用部材)に接触させること
により重合膜を形成するものである。
The plasma polymerized film is formed by bringing the above-mentioned discharge plasma of the source gas into contact with the substrate (in the present invention, the medium member).

プラズマ重合の原理について概説すると、気体を低圧
に保ち電場を作用させると、気体中に少量存在する自由
電子に、常圧に比べ分子間距離が非常に大きいため、電
界加速を受け5〜10eVの運動エネルギー(電子温度)を
獲得する。
The principle of plasma polymerization is outlined. When a gas is kept at a low pressure and an electric field is applied, free electrons that are present in a small amount in the gas have an intermolecular distance that is much larger than at atmospheric pressure, and therefore are subjected to an electric field acceleration of 5 to 10 eV. Acquire kinetic energy (electron temperature).

この加速電子が原子や分子に衝突すると、原子軌道や
分子軌道を分断し、これらを電子、イオン、中性ラジカ
ルなど、通常の状態では不安定の化学種に解離させる。
When the accelerated electrons collide with atoms or molecules, they break up the atomic orbitals and molecular orbitals and dissociate them into species that are unstable in normal conditions, such as electrons, ions, and neutral radicals.

解離した電子は再び電界加速を受けて、別の原子や分
子を解離させるが、この連鎖作用で気体はたちまち高度
の電離状態となる。そしてこれはプラズマガスと呼ばれ
ている。
The dissociated electrons are again subjected to electric field acceleration to dissociate other atoms and molecules, but this chain action quickly turns the gas into a highly ionized state. This is called plasma gas.

気体分子は電子との衝突の機会が少ないのでエネルギ
ーをあまり吸収せず、常温に近い温度に保たれている。
Since gas molecules have little chance of collision with electrons, they do not absorb much energy and are kept at a temperature close to room temperature.

このように、電子の運動エネルギー(電子温度)と、
分子の熱運動(ガス温度)が分離した系は低温プラズマ
と呼ばれ、ここでは化学種が比較的原型を保ったまま重
合等の加成的化学反応を進めうる状況を創出しており、
本発明はこの状況を利用して基板上にプラズマ重合膜を
形成しようとするものである。なお低温プラズマを利用
するため、基板への熱影響は全くない。
Thus, the kinetic energy of the electron (electron temperature)
A system in which the thermal motion (gas temperature) of molecules is separated is called low-temperature plasma, which creates a situation in which the chemical species can proceed with an additive chemical reaction such as polymerization while maintaining its relatively original form.
The present invention intends to form a plasma polymerized film on a substrate by utilizing this situation. Since low-temperature plasma is used, there is no thermal effect on the substrate.

基板表面にプラズマ重合膜を形成する装置例が第3図
に示してある。第3図は、周波数可変型の電源を用いた
プラズマ重合装置である。
An example of an apparatus for forming a plasma polymerized film on the surface of a substrate is shown in FIG. FIG. 3 shows a plasma polymerization apparatus using a frequency variable power source.

第3図において、反応容器Rには、原料ガス源511ま
たは512から原料ガスがそれぞれマスフローコントロー
ラ521および522を経て供給される。ガス源511または512
から別々のガスを供給する場合は、混合器53において混
合して供給する。
In FIG. 3, raw material gas is supplied to the reaction vessel R from a raw material gas source 511 or 512 via mass flow controllers 521 and 522, respectively. Gas source 511 or 512
When supplying different gases from the mixer 53, the gases are mixed and supplied in the mixer 53.

原料ガスは、各々1〜250ml/分の流量範囲をとりう
る。
The source gases can each have a flow rate range of 1 to 250 ml / min.

反応容器R内には、対向する電極551、552が設けられ
ており、一方の電極551は例えば周波数可変型の電源54
に接続され、他方の電極552は接地されている。基板
は、通常、電極552上に載置される。
Opposing electrodes 551 and 552 are provided in the reaction container R, and one electrode 551 is, for example, a frequency variable power source 54.
And the other electrode 552 is grounded. The substrate is typically placed on the electrode 552.

さらに、反応容器R内には、容器内を排気するための
真空系統が配備され、そしてこれは液体窒素トラップ5
7、油回転ポンプ58および真空コントローラ59を含む。
これら真空系統は反応容器内を0.01〜10Torrの真空度の
範囲に維持する。
Further, a vacuum system for evacuating the inside of the reaction vessel R is provided in the reaction vessel R, and this is provided with a liquid nitrogen trap 5.
7, including an oil rotary pump 58 and a vacuum controller 59.
These vacuum systems maintain the inside of the reaction vessel in a vacuum range of 0.01 to 10 Torr.

操作においては、反応容器R内がまず10-3Torr以下に
なるまで油回転ポンプにより容器内を排気し、その後原
料ガスが所定の流量において容器内に混合状態で供給さ
れる。
In operation, the inside of the reaction vessel R is first evacuated by an oil rotary pump until the pressure in the reaction vessel R becomes 10 -3 Torr or less, and thereafter, the raw material gas is supplied in a mixed state into the vessel at a predetermined flow rate.

このとき、反応容器内の真空は0.01〜10Torrの範囲に
管理される。
At this time, the vacuum in the reaction vessel is controlled in the range of 0.01 to 10 Torr.

原料ガスの流量が安定すると、電源がオンにされる。
こうして、基板表面にプラズマ重合膜が形成される。
When the flow rate of the source gas is stabilized, the power is turned on.
Thus, the plasma polymerized film is formed on the surface of the substrate.

キャリアガスとして、Ar,He,H2などを使用してもよ
い。
Ar, He, H 2 or the like may be used as the carrier gas.

なお、印加電流、処理時間等は通常の条件とすればよ
い。
The applied current, the processing time, etc. may be set under normal conditions.

プラズマ発生源としては、高周波数放電の他に、マイ
クロ波放電、直流放電、交流放電等いずれでも利用でき
る。
As a plasma source, in addition to high frequency discharge, any of microwave discharge, DC discharge, AC discharge and the like can be used.

このようなプラズマ重合膜は、基板上、特にプラズマ
処理された基板上に形成されることが好ましい。
Such a plasma polymerized film is preferably formed on a substrate, particularly on a substrate that has been subjected to plasma treatment.

基板表面をプラズマ処理することによって、この基板
とプラズマ重合膜との接着力が向上する。
By subjecting the substrate surface to plasma treatment, the adhesive strength between the substrate and the plasma polymerized film is improved.

基板表面のプラズマ処理法の原理、方法および形成条
件等は前述したプラズマ重合法のそれと基本的に、ほぼ
同一である。
The principle, method, forming conditions and the like of the plasma treatment method for the substrate surface are basically the same as those of the above-described plasma polymerization method.

ただし、プラズマ処理は原則として、無機ガスを処理
ガスとして用い、他方、前述したプラズマ重合法による
プラズマ重合膜の形成には原則として、有機ガス(場合
によっては無機ガスを混入させてもよい)を原料ガスと
して用いる。
However, in principle, the plasma treatment uses an inorganic gas as a treatment gas, and on the other hand, an organic gas (in some cases, an inorganic gas may be mixed) is used for the formation of the plasma polymerized film by the plasma polymerization method described above. Used as source gas.

本発明においてプラズマ処理ガスとしては、特に制限
はない。
In the present invention, the plasma processing gas is not particularly limited.

さらに、プラズマ処理電源の周波数については、特に
制限はなく、直流、交流、マイクロ波等いずれであって
もよい。
Further, the frequency of the plasma processing power supply is not particularly limited, and may be any of direct current, alternating current, microwave, and the like.

このように、より好ましい態様としてプラズマ処理さ
れた基板上には、前述のプラズマ重合膜が形成される。
As described above, as a more preferred embodiment, the above-mentioned plasma polymerized film is formed on the substrate subjected to the plasma treatment.

<実験例および実施例> 以下、本発明を具体的実験例および実施例を挙げて本
発明を詳細に説明する。
<Experimental Examples and Examples> Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to specific experimental examples and examples.

[実験例1] 第3図に示される装置を用いて、30μm厚のPET製の
シートの表面に、下記表1に示されるプラズマ重合膜を
200Å厚に形成し、シートサンプルを得た。動作圧力0.0
5Torr、プラズマ出力200W、プラズマ周波数13.56MHzと
した。プラズマ重合の原料ガスおよび流量を表1に示
す。
[Experimental Example 1] Using the apparatus shown in FIG. 3, the plasma-polymerized film shown in Table 1 below was formed on the surface of a PET sheet having a thickness of 30 μm.
It was formed to a thickness of 200Å to obtain a sheet sample. Operating pressure 0.0
The plasma power was 200 W and the plasma frequency was 13.56 MHz at 5 Torr. Table 1 shows the raw material gas and the flow rate of the plasma polymerization.

なお、プラズマ重合膜の組成(F+NおよびN/F)はS
IMSにて測定した。また、膜厚はエリプソメータにて測
定した。
The composition of the plasma polymerized film (F + N and N / F) is S
Measured by IMS. The film thickness was measured with an ellipsometer.

このようにして得られたシートの摩擦係数(μ)を測
定した。また、シートに5000Vの電荷をチャージして、
帯電量の半減期を測定した。さらに、20℃、60%RHにて
24時間保存後にも帯電量の半減期の測定を行なった。
The friction coefficient (μ) of the sheet thus obtained was measured. Also, charge the sheet with a charge of 5000V,
The half-life of the charge amount was measured. Further, at 20 ° C and 60% RH
The half-life of the charge amount was measured even after storage for 24 hours.

結果を表2に示す。 Table 2 shows the results.

なお、比較例として、同様の材質、膜厚からなり、プ
ラズマ重合膜を形成しないシートおよび本発明範囲外の
組成のプラズマ重合膜を形成したシートにも同様の実験
を行なった。結果を表2に併記する。
As a comparative example, the same experiment was conducted on a sheet having the same material and film thickness and having no plasma polymerized film formed thereon and a sheet having a plasma polymerized film having a composition outside the scope of the present invention formed thereon. The results are also shown in Table 2.

[実験例2] 第3図に示される装置を用いて、ステンレス製の直径
4mmのポールの表面に、厚さ500Å厚に、前記表1に示さ
れるプラズマ重合膜を形成し、サンプルを得た。プラズ
マ重合膜に関しては、前記実験例1と同様である。
[Experimental example 2] Using a device shown in Fig. 3, a stainless steel diameter was used.
The plasma-polymerized film shown in Table 1 was formed on the surface of a 4 mm pole to a thickness of 500 Å to obtain a sample. The plasma polymerized film is the same as in Experimental Example 1.

このようにして作製したポールの摩擦係数μを測定し
た。
The friction coefficient μ of the pole thus manufactured was measured.

結果を表3に示す。 Table 3 shows the results.

なお、比較例として、同様の材質からなり、プラズマ
重合膜を形成しないポール(サンプルNo.11)およびPOM
製のポール(サンプルNo.12)にも同様の実験を行なっ
た。結果を表3に併記する。
As comparative examples, a pole (sample No. 11) made of the same material and not forming a plasma polymerized film and a POM
The same experiment was performed on the pole made of the sample (Sample No. 12). The results are also shown in Table 3.

なお、摩擦係数μは、0.25以下であることが望まし
く、これ以上の数値であると円滑な走行は望めない。
The coefficient of friction μ is preferably 0.25 or less, and if it is more than this value, smooth running cannot be expected.

[実施例1] 下記の部材の表面に実験例1および2と同様のプラズ
マ重合膜を形成し、その部材を用いて第1図に示される
ビデオカセットを作製した。
Example 1 The same plasma polymerized film as in Experimental Examples 1 and 2 was formed on the surface of the following member, and the member was used to fabricate the video cassette shown in FIG.

なお、プラズマ重合膜の膜厚は500Åとした。 The film thickness of the plasma polymerized film was 500Å.

リーダートレーラーテープ121(PET製) ガイドポール151(POM製) テープパッド152(PET製) テープガイド153(POM製) ガイドローラー154(POM製) リールセンターボス1333(POM製) 記録テープ11は、14μm厚のPETフィルムの上の、Co
被着−γFe2O3を磁性粉とする磁性層を有するものであ
る。
Leader Trailer Tape 121 (Made of PET) Guide Pole 151 (Made of POM) Tape Pad 152 (Made of PET) Tape Guide 153 (Made of POM) Guide Roller 154 (Made of POM) Reel Center Boss 1333 (Made of POM) Recording Tape 11 is 14 μm Co on thick PET film
Deposition-has a magnetic layer containing γFe 2 O 3 as magnetic powder.

なお、一つのビデオカセットにおいて、各部材は、同
じプラズマ重合膜を形成したものである。
In addition, in one video cassette, each member is formed with the same plasma polymerized film.

このようにして作製したサンプルビデオカセットを用
いて、下記の実験を行なった。
The following experiment was conducted using the sample video cassette thus produced.

(1)ドロップアウト 各サンプルにおける初期と、60℃、90%RH、200パス
耐久走行後のドロップアウトを測定した。
(1) Dropout The dropout of each sample was measured at the initial stage and after running for 200 passes at 60 ° C, 90% RH.

試験方法は、全長120分のビデオテープの毎分あたり
のドロップアウトの数を測定し、これの平均を算出し
た。
In the test method, the number of dropouts per minute of a video tape having a total length of 120 minutes was measured, and the average thereof was calculated.

結果は、この試験を各サンプルビデオカセットを10巻
行なったものの平均値である。
The results are the average of 10 runs of each sample video cassette for this test.

結果を表4に示す。 Table 4 shows the results.

なお、このような試験においては、1つのサンプルに
つき1回でもドロップアウト数20を超える結果が出た場
合、実用に耐えないが、本発明品においは1回たりとも
ドロップアウト数20を超える結果は出なかった。
In addition, in such a test, if the number of dropouts exceeds 20 even once for one sample, it cannot be put to practical use, but the result of the present invention exceeds 20 dropouts even once. Did not come out.

また本来の使用においては、ドロップアウトキャンセ
ラーが有効に働くので、20個以下のドロップアウトは目
視には表れない。
In the original use, the dropout canceller works effectively, so 20 or less dropouts are not visible.

[実施例2] 下記の部材の表面に実験例1および2と同様のプラズ
マ重合膜を形成し、その部材を用いて第2図に示される
オーディオカセットを作製した。なお、プラズマ重合膜
の膜厚は500Åとした。
Example 2 The same plasma polymerized film as in Experimental Examples 1 and 2 was formed on the surface of the following member, and the member was used to manufacture the audio cassette shown in FIG. The film thickness of the plasma polymerized film was 500Å.

リーダーテープ221(PET製125μm厚) シート261(PET製、35μm厚) ガイドピン241(SUS製) ガイドローラー243(POM製) 記録テープ21は、C−90用のPETフィルムの上に、Co
被着−γFe2O3を磁性粉とする磁性層を有するものであ
る。
Leader tape 221 (PET made 125 μm thick) Sheet 261 (PET made 35 μm thick) Guide pin 241 (SUS made) Guide roller 243 (POM made) Recording tape 21 is a C-90 PET film with Co
Deposition-has a magnetic layer containing γFe 2 O 3 as magnetic powder.

なお、一つのオーディオカセットにおいて、各部材
は、同じプラズマ重合膜を形成したものである。
In addition, in one audio cassette, each member is formed with the same plasma polymerized film.

このようにして作製したサンプルオーディオカセット
を用いて、下記の実験を行なった。
The following experiment was conducted using the sample audio cassette thus produced.

(1)レベルダウン 各サンプルの60℃、90%RH、200パス耐久走行後のレ
ベルダウンを測定した。
(1) Level-down The level-down of each sample was measured after running at 60 ° C, 90% RH and 200 passes.

試験条件は、B&K社製のレベルレコーダー2307に
て、10kHzの信号を用い、録音および再生にフィルター
は用いずに、チャートスピードは0.3mm/secとした。
As the test conditions, a level recorder 2307 manufactured by B & K was used, a signal of 10 kHz was used, and a chart speed was set to 0.3 mm / sec without using a filter for recording and reproduction.

このような条件で、各サンプルにつきカセット10巻の
耐久走行前後の再生信号をチェックし、テープ全長で、
耐久走行前に対し、3dB以上の低下が一つでもあったも
のは×、一つもなかったものは○で評価した。
Under these conditions, check the playback signal before and after the endurance running of 10 cassettes for each sample, and check the total tape length.
In the case where there was at least one decrease of 3 dB or more compared to before the endurance running, the evaluation was x, and in the case where there was no reduction, the evaluation was o.

結果を表5に示す。 Table 5 shows the results.

<発明の効果> 本発明の媒体用部材は、その表面に所定のプラズマ重
合膜を形成したものである。
<Effect of the Invention> The medium member of the present invention has a predetermined plasma polymerized film formed on its surface.

従って、本発明の媒体用部材は、非常に高い帯電防止
性を有し、しかも低摩擦、耐摩耗性が高い等の優れた特
性を有する。
Therefore, the medium member of the present invention has very high antistatic properties, and also has excellent properties such as low friction and high abrasion resistance.

また、このような部材を用いた担体は、帯電防止性が
高く、しかも記録・再生媒体の走行・運動が正確、円滑
かつ安定で、しかもドロップアウトが少ない等の優れた
特性を有する。
Further, the carrier using such a member has excellent properties such as high antistatic property, accurate traveling / movement of the recording / reproducing medium, smoothness and stability, and less dropout.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明の媒体用部材を用いたVHSビデオカセ
ットの構造を示す分解斜視図である。 符号の説明 11……記録テープ、 121……リーダートレーラーテープ、 123……接着テープ、 13S……供給リール、 13T……巻取りリール、 131……リールフランジ、 133……リールハブ、 1331……ハブ部、 1333……リールセンターボス、 135……テープクランプ、 141……上部カセットハーフ、 1411……リールリーフバネ、 1412……クリアウインド、 142……下部カセットハーフ、 145……ガードパネル、 1451……ガードパネルバネ、 147……ロックプレート、 1471……ロックプレートバネ、 151……ガイドポール、 152……テープパッド、 153……テープガイド、 154……ガイドローラー、 1541……ガイドローラーピン、 161……ブレーキレバー、 1611……ブレーキバネ、 162……レリーズレバー、 第2図は、本発明の媒体用部材を用いたオーディオカセ
ットの構造を示す分解斜視図である。 符号の説明 21……記録テープ、 221……リーダーテープ、 231……ハブ部、 233……クランプ、 241……ガイドピン、 243……ガイドローラー、 2431……ガイドローラーピン、 245……ヘッドパッド、 251……ハーフサイドA、 253……ハーフサイドB、 255……シールド板、 257……タッピングネジ、 261……シート 第3図は直流、交流および周波数可変型電源を使用した
プラズマ処理装置の概略図である。 符号の説明 53……混合器、 54……直流、交流および周波数可変型電源、 57……液体窒素トラップ、 58……油回転ポンプ、 511,512……処理ガス源、 521,522……マスフローコントローラ、
FIG. 1 is an exploded perspective view showing the structure of a VHS video cassette using the medium member of the present invention. Explanation of code 11 …… Recording tape, 121 …… Leader trailer tape, 123 …… Adhesive tape, 13S …… Supply reel, 13T …… Take-up reel, 131 …… Reel flange, 133 …… Reel hub, 1331 …… Hub Part, 1333 …… reel center boss, 135 …… tape clamp, 141 …… upper cassette half, 1411 …… reel leaf spring, 1412 …… clear window, 142 …… lower cassette half, 145 …… guard panel, 1451… … Guard panel spring, 147 …… Lock plate, 1471 …… Lock plate spring, 151 …… Guide pole, 152 …… Tape pad, 153 …… Tape guide, 154 …… Guide roller, 1541 …… Guide roller pin, 161 ...... Brake lever, 1611 …… Brake spring, 162 …… Release lever, Fig. 2 shows the structure of an audio cassette using the medium member of the present invention. FIG. Explanation of code 21 …… Recording tape, 221 …… Leader tape, 231 …… Hub part, 233 …… Clamp, 241 …… Guide pin, 243 …… Guide roller, 2431 …… Guide roller pin, 245 …… Head pad , 251 ...... Half side A, 253 ...... Half side B, 255 ...... Shield plate, 257 ...... Tapping screw, 261 ...... Sheet Fig. 3 shows the plasma processing equipment using DC, AC and variable frequency power supplies. It is a schematic diagram. Explanation of code 53 …… Mixer, 54 …… DC, AC and variable frequency power supply, 57 …… Liquid nitrogen trap, 58 …… Oil rotary pump, 511,512 …… Process gas source, 521,522 …… Mass flow controller,

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】テープ状ないしディスク状の媒体を走行ま
たは回転可能に収納する収納ケースを構成する部材また
はこの収納ケース内に配置される媒体以外の部材であっ
て、 その表面に、C、FおよびNを含み、FおよびNの含有
量の合計が5〜40at%、N/Fの原子比が0.2〜5であるプ
ラズマ重合膜を形成したことを特徴とする媒体用部材。
1. A member constituting a storage case for rotatably or rotatably storing a tape-shaped or disk-shaped medium, or a member other than the medium arranged in the storage case, the surface of which is C or F. A member for media, characterized in that a plasma polymerized film containing 5 and 40 at% of the total content of F and N and having an atomic ratio of N / F of 0.2 to 5 is formed.
【請求項2】プラズマ重合膜が、さらにHを含む請求項
1に記載の媒体用部材。
2. The medium member according to claim 1, wherein the plasma polymerized film further contains H.
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