JP2656176B2 - Laser plotter - Google Patents

Laser plotter

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JP2656176B2
JP2656176B2 JP3218581A JP21858191A JP2656176B2 JP 2656176 B2 JP2656176 B2 JP 2656176B2 JP 3218581 A JP3218581 A JP 3218581A JP 21858191 A JP21858191 A JP 21858191A JP 2656176 B2 JP2656176 B2 JP 2656176B2
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Japan
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laser plotter
dry plate
control unit
glass dry
laser
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清吾 今井
了 川田
耕次 八尾
良人 小山
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザプロッタ、特
に、感光板にレーザ光により2次元画像を描画するレー
ザプロッタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser plotter, and more particularly to a laser plotter which draws a two-dimensional image on a photosensitive plate with a laser beam.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザプロッタは、たとえばプリント基
板のマスターパターンの作成、LCD(液晶表示装置)
のマスクパターンの作成等に広く用いられている。レー
ザプロッタには、可撓性の感光フィルムを専ら用いる円
筒走査型のものと、ガラス乾板等の感光板を用い得る平
面走査型のものとがある。温度変化に対して伸縮しやす
いフィルム等の可撓性感光材料は高精細の画像を描画す
るには不向きであるので、大画面のアクティブマトリク
スLCD等のマスクパターンに用いる高精細の画像を描
画するためには、ガラス乾板等の感光板を用い得る平面
走査型のレーザプロッタが使用されている。
2. Description of the Related Art A laser plotter is used, for example, for forming a master pattern on a printed circuit board, an LCD (Liquid Crystal Display).
Is widely used for the production of mask patterns. Laser plotters include a cylindrical scanning type that exclusively uses a flexible photosensitive film and a plane scanning type that can use a photosensitive plate such as a glass dry plate. A flexible photosensitive material such as a film that easily expands and contracts due to temperature changes is not suitable for drawing a high-definition image. For this purpose, a plane scanning type laser plotter which can use a photosensitive plate such as a glass dry plate is used.

【0003】平面走査型のレーザプロッタでは、感光板
をテーブル上に載置し、載置した感光板を平面内の2方
向で露光走査し、所望の画像を描画する。
In a plane scanning type laser plotter, a photosensitive plate is placed on a table, and the placed photosensitive plate is exposed and scanned in two directions on a plane to draw a desired image.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】平面走査型のレーザプ
ロッタでは、従来、ガラス乾板を作業者が手で供給する
構成となっている。ところが、ガラス乾板を自動供給で
きないと、全体の処理を自動化できず、たとえば24時
間の無人運転に対応できない。一方、ガラス乾板の感光
板は、その上面が傷つきやすい感光面であり、感光板を
重ねることや上面を吸着して搬送することが不可能であ
る。
Conventionally, a flat-scanning type laser plotter has a configuration in which an operator manually supplies a glass dry plate. However, if the glass dry plate cannot be automatically supplied, the entire process cannot be automated, and cannot cope with, for example, unmanned operation for 24 hours. On the other hand, a glass dry photosensitive plate has a photosensitive surface whose upper surface is easily damaged, and it is impossible to stack the photosensitive plates or adsorb and transport the upper surface.

【0005】本発明の目的は、複数枚の感光板に対する
描画処理を自動的に行えるレーザプロッタを提供するこ
とにある。
An object of the present invention is to provide a laser plotter that can automatically perform a drawing process on a plurality of photosensitive plates.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザプロ
ッタは、レーザプロッタ本体と貯蔵手段と位置決め手段
搬送手段とを備えている。レーザプロッタ本体は感光
板にレーザ露光により2次元画像を描画する。貯蔵手段
は感光板を各々独立して上下方向に複数貯蔵する。位置
決め手段は貯蔵手段から取り出された感光板の位置決め
を行う。搬送手段は、貯蔵手段、位置決め手段及びレー
ザプロッタ本体に対して相対的に上下動かつ進退自在に
設けられるとともに感光板の下面を支持する支持手段を
有し、貯蔵手段、位置決め手段及びレーザプロッタ本体
の間で感光板を支持手段により支持して搬送する。
A laser plotter according to the present invention comprises a laser plotter body, storage means, and positioning means.
And transport means. The laser plotter body draws a two-dimensional image on a photosensitive plate by laser exposure. The storage means stores a plurality of photosensitive plates independently in the vertical direction . position
The determining means is for positioning the photosensitive plate taken out of the storage means.
I do. The transport means includes a storage means, a positioning means, and a laser.
Can move up and down and move back and forth relative to the plotter body
Support means for supporting the lower surface of the photosensitive plate
Storage means, positioning means, and laser plotter body
The photosensitive plate is supported and transported by the support means between the two.

【0007】[0007]

【作用】本発明に係るレーザプロッタでは、貯蔵手段に
複数の感光板が各々独立して上下方向に貯蔵されてい
る。貯蔵された感光板は、貯蔵手段に対して相対的に上
下動かつ進退する支持手段により一旦位置決め手段に搬
送される。そして、位置決めされた後、レーザプロッタ
本体側に搬送されてセットされる。これらの搬送の際、
感光板は支持手段によってその下面が支持されて搬送さ
れる。レーザプロッタ本体では、セットされた感光板に
対してレーザ露光により2次元画像が描画される。そし
て、描画の終了した感光板は貯蔵手段に搬送され、続い
て次の感光板が貯蔵手段から取り出されて同様の動作が
繰り返される。
In the laser plotter according to the present invention, the storage means
A plurality of photosensitive plates are independently stored vertically.
You. The stored photosensitive plate is relatively high with respect to the storage means.
Once moved to the positioning means by the supporting means that moves down and forwards and backwards
Sent. And after being positioned, the laser plotter
It is conveyed to the main body and set. During these transports,
The photosensitive plate is transported with its lower surface supported by the support means.
It is. In the laser plotter body, the photosensitive plate
On the other hand, a two-dimensional image is drawn by laser exposure. Soshi
The photosensitive plate on which the drawing has been completed is transported to the storage means, and then
The next photosensitive plate is taken out of the storage means and the same operation is performed.
Repeated.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

〔構成〕図1は本発明の一実施例によるレーザプロッタ
を示している。レーザプロッタは、分割ラスター方式を
採用した平面走査型のレーザプロッタ本体1と、レーザ
プロッタ本体1に並設配置された自動ローダ2とを備え
ている。レーザプロッタ本体1は、種々のサイズのガラ
ス乾板及びフィルムを感光材料として用い、それに、画
像データで変調されたレーザ光によりマスクパターン等
を高速で描画する。自動ローダ2は、レーザプロッタ本
体1にセットするためのガラス乾板を複数枚貯蔵し、貯
蔵されたガラス乾板のレーザプロッタ本体1へのロード
及びレーザプロッタ本体1からのアンロードを自動的に
行う。また自動ローダ2は、内部に後述する位置決め装
置を備えており、レーザプロッタ本体1にガラス乾板を
ロードする際の位置決めを行う。
[Structure] FIG. 1 shows a laser plotter according to one embodiment of the present invention. The laser plotter includes a flat-scanning laser plotter main body 1 employing a split raster system, and an automatic loader 2 arranged in parallel with the laser plotter main body 1. The laser plotter main body 1 uses glass dry plates and films of various sizes as photosensitive materials, and draws a mask pattern or the like at a high speed by laser light modulated with image data. The automatic loader 2 stores a plurality of glass plates for setting on the laser plotter main body 1 and automatically loads the stored glass dry plates onto the laser plotter main body 1 and unloads them from the laser plotter main body 1. Further, the automatic loader 2 includes a positioning device described later therein, and performs positioning when the glass dry plate is loaded on the laser plotter main body 1.

【0009】レーザプロッタ本体1は、図2に示すよう
に平板状のグラナイド定盤3と、このグラナイド定盤3
上に配置されたYテーブル4と、Yテーブル4の図左方
に配置されたレーザ測長装置6と、Yテーブル4の図奥
側に配置された光学ヘッド5と、光学ヘッド5の奥側に
配置されたレーザプロッタ制御部7とから主に構成され
ている。
As shown in FIG. 2, a main body 1 of a laser plotter has a flat
A Y table 4 disposed above, a laser length measuring device 6 disposed on the left side of the Y table 4 in the figure, an optical head 5 disposed on the far side of the Y table 4 in the figure, and a rear side of the optical head 5 And a laser plotter control unit 7 disposed at the same time.

【0010】Yテーブル4は、図3に示すようにグラナ
イド定盤3のY方向に沿って配置された2本のレール1
0,10上にエアベアリングにてY方向移動自在に支持
されている。また、Yテーブル4は、レール10,10
間にレール10に沿って配置されたボールねじ12と、
ボールねじ12の一端に接続されたモータ11とを含む
駆動機構により、Y方向に往復駆動される。また、Yテ
ーブル4上には、9つの小孔13と、ガラス乾板を吸着
するための多数の吸着孔14とが形成されている。
As shown in FIG. 3, the Y table 4 has two rails 1 arranged along the Y direction of the granide surface plate 3.
Air bearings are supported on the reference numerals 0 and 10 so as to be movable in the Y direction. In addition, the Y table 4 includes rails 10 and 10.
A ball screw 12 arranged along the rail 10 between the
The ball screw 12 is reciprocated in the Y direction by a drive mechanism including a motor 11 connected to one end of the ball screw 12. Further, on the Y table 4, nine small holes 13 and a large number of suction holes 14 for sucking a glass dry plate are formed.

【0011】小孔13は、Y方向と直交するX方向に4
列、ガラス乾板のサイズに応じて形成されている。小孔
13には、Yテーブル4の表面に出没可能なピン15,
15…が嵌入している。ピン15,15…のそれぞれの
列に対応して、Yテーブル4の下方には、Y方向に長い
リンク16が配置されている。リンク16は、レバー1
7に接続されており、レバー17,17…はモータ18
の回動により旋回する構成となっている。ここでは、レ
バー17の旋回によりリンク16が昇降し、リンク16
の上面に接触しているピン15が出没する。また、吸着
孔14の吸着エリアはガラス乾板のサイズに応じて切り
換え得るようになっている。
The small hole 13 is formed in the X direction orthogonal to the Y direction.
The rows are formed according to the size of the glass dry plate. In the small hole 13, a pin 15 that can appear and disappear on the surface of the Y table 4,
15 ... are fitted. A long link 16 in the Y direction is arranged below the Y table 4 corresponding to each row of the pins 15. Link 16 is lever 1
7 are connected to levers 17, 17.
Is turned by the rotation of. Here, the link 16 moves up and down by turning the lever 17, and the link 16
The pin 15 which is in contact with the upper surface of the device comes and goes. Further, the suction area of the suction hole 14 can be switched according to the size of the glass dry plate.

【0012】光学ヘッド5は、図2に示すように、Y方
向と直交するX方向に沿う1対のガイド部材20,20
に移動自在に支持されている。ガイド部材20には、エ
アベアリングが採用されている。両ガイド部材20の間
には、モータ22により駆動されるボールねじ21が配
置されており、モータ22の回転駆動により光学ヘッド
5がX方向に往復移動する。
As shown in FIG. 2, the optical head 5 has a pair of guide members 20 and 20 along an X direction orthogonal to the Y direction.
It is supported movably. The guide member 20 employs an air bearing. A ball screw 21 driven by a motor 22 is arranged between the two guide members 20, and the optical head 5 reciprocates in the X direction by rotation of the motor 22.

【0013】レーザ測長装置6は、HeNeレーザ光源
25及び光学系26を備えており、Yテーブル4と、光
学ヘッド5との相対距離を測定する。レーザ測長装置9
は、この相対距離を測定することにより、Yテーブル4
及び光学ヘッド5の位置及び速度の計測と、走査のタイ
ミング信号の発生とを行う。レーザプロッタ制御部7
は、画像の記録、レーザプロッタ本体1内の各モータの
サーボ制御、光学ヘッド5内の光学系の制御等を行って
いる。レーザプロッタ制御部7は、マイクロコンピュー
タ等を備えている。
The laser length measuring device 6 includes a HeNe laser light source 25 and an optical system 26, and measures a relative distance between the Y table 4 and the optical head 5. Laser length measuring device 9
By measuring this relative distance, the Y table 4
And measurement of the position and speed of the optical head 5 and generation of a scanning timing signal. Laser plotter controller 7
Performs recording of an image, servo control of each motor in the laser plotter main body 1, control of an optical system in the optical head 5, and the like. The laser plotter control unit 7 includes a microcomputer and the like.

【0014】自動ローダ2は、図4に示すように、その
一端に配置された10枚のガラス乾板を各々独立して貯
蔵するためのストッカ30と、ストッカ30の下方に配
置された位置決め装置31と、ストッカ30よりも図奥
側に配置されたマニピュレータ32とを主に備えてい
る。ストッカ30は、自動ローダ20の一端から引き出
し可能な10枚のパレット34,34…を備えており、
パレット34上にはガラス乾板35が各々1枚ずつ載置
される。パレット34の図奥側には後述するマニピュレ
ータ32のアーム60との干渉防止用の切欠きが形成さ
れている。ガラス乾板35は、パレット34の2方向の
端部に配置された直交する位置決め部材36,37によ
り、図左右方向の中心基準に位置決めされる。なお、位
置決め部材36,37はガラス乾板35のサイズに応じ
て着脱可能になっている。
As shown in FIG. 4, the automatic loader 2 has a stocker 30 provided at one end thereof for independently storing ten glass plates, and a positioning device 31 provided below the stocker 30. And a manipulator 32 disposed on the back side of the drawing with respect to the stocker 30. The stocker 30 includes ten pallets 34, 34 ... which can be pulled out from one end of the automatic loader 20.
A glass dry plate 35 is placed on the pallet 34 one by one. A notch for preventing interference with the arm 60 of the manipulator 32 described later is formed on the back side of the pallet 34 in the figure. The glass dry plate 35 is positioned on the basis of the center in the left and right direction in the figure by orthogonal positioning members 36 and 37 disposed at the two ends of the pallet 34. The positioning members 36 and 37 are detachable according to the size of the glass dry plate 35.

【0015】位置決め装置31は、ガラス乾板35を水
平面上全方向に移動自在に支持する複数のフリーベアリ
ング40と、フリーベアリング40上に載置されたガラ
ス乾板35を位置決めするための2組の位置決め部材4
1,42を備えている。位置決め部材41は、ガラス乾
板35をマニピュレータ32の搬送方向(A方向)と直
交する方向に位置決めするためのものである。位置決め
部材41は、モータ43a,43で搬送方向(A方
向)と直交する方向に移動可能な当接部材44,45を
それぞれ備えている。当接部材44は、旋回自在な、レ
バー46aと、レバー46aの一端に鉛直軸回りに回転
自在に支持されたローラ46とを備えている。レバー4
6aは対向する当接部材45側に図示しないスプリング
により付勢されている。また、当接部材45は、その上
部に回転自在なローラ47を備えている。この、当接部
材45のローラ47が、搬送方向と直交する方向の基準
端となる。
The positioning device 31 includes a plurality of free bearings 40 for supporting the glass dry plate 35 movably in all directions on a horizontal plane, and two sets of positioning for positioning the glass dry plate 35 mounted on the free bearing 40. Member 4
1, 42 are provided. The positioning member 41 is for positioning the glass dry plate 35 in a direction orthogonal to the transport direction (A direction) of the manipulator 32. The positioning member 41 is provided with respective abutment members 44, 45 movable in a direction perpendicular to the conveying direction (A direction) by a motor 43a, 43 b. The contact member 44 includes a pivotable lever 46a and a roller 46 supported at one end of the lever 46a so as to be rotatable around a vertical axis. Lever 4
6a is urged toward the opposing contact member 45 by a spring (not shown). Further, the contact member 45 has a rotatable roller 47 on an upper part thereof. The roller 47 of the contact member 45 serves as a reference end in a direction orthogonal to the transport direction.

【0016】位置決め部材42は、マニピュレータ32
の搬送方向(A方向)の位置決めを行う部材であり、固
定された当接部材50と、移動可能な当接部材51とを
備えている。当接部材50は、自動ローダ2の手前側に
幅方向に延びて配置されている。当接部材50の上面に
は所定間隔をおいてローラ52,52が鉛直軸回りに回
転自在に支持されている。当接部材51は上面に、旋回
自在なレバー54aと、レバー54aの一端に鉛直軸回
りに回転自在に支持されたローラ54とを備えている。
レバー54aは、当接部材50側に図示しないスプリン
グにより付勢されている。当接部材50のローラ52,
52が、搬送方向(A方向)の基準端となる。
The positioning member 42 is used for the manipulator 32.
And a fixed contact member 50 and a movable contact member 51 that is movable. The contact member 50 extends in the width direction on the front side of the automatic loader 2. Rollers 52, 52 are supported on the upper surface of the contact member 50 at predetermined intervals so as to be rotatable about a vertical axis. The abutment member 51 includes a pivotable lever 54a on an upper surface, and a roller 54 supported at one end of the lever 54a so as to be rotatable around a vertical axis.
The lever 54a is urged toward the contact member 50 by a spring (not shown). The roller 52 of the contact member 50,
52 is a reference end in the transport direction (A direction).

【0017】マニピュレータ32は、上下、旋回及び径
方向の3軸に移動可能となっており、径方向(A方向)
に移動し、ガラス乾板35の重心を含む下面を支持する
アーム60と、アーム60を径方向に移動可能に支持す
る旋回部61と、旋回部61を旋回方向(B方向)及び
上下方向(C方向)に移動可能に支持するボディ63と
を主に備えている。ボディ63内には、旋回及び上下駆
動用のモータ(図示せず)が配置されており、旋回部6
1には径方向駆動用のモータ(図示せず)が配置されて
いる。
The manipulator 32 is movable in three axes of up and down, turning and radial directions, and is movable in a radial direction (A direction).
, The arm 60 supporting the lower surface including the center of gravity of the glass dry plate 35, a revolving portion 61 for supporting the arm 60 movably in the radial direction, and revolving the revolving portion 61 in the revolving direction (B direction) and the vertical direction (C). And a body 63 that is supported so as to be movable in the direction (1). In the body 63, a motor (not shown) for turning and vertically driving is arranged.
1 is provided with a motor (not shown) for radial driving.

【0018】自動ローダ2の一側面には、連通口70が
形成されている。連通口70は、レーザプロッタ本体1
に連通しており、この連通口70を介してレーザプロッ
タ本体1に対してガラス乾板35の搬送を行う。また、
レーザプロッタ本体1と自動ローダ2との間は光を遮断
する構造となっており、自動ローダ2のパレット34に
ガラス乾板35一旦セットした後は作業がすべて明室に
て行える。
A communication port 70 is formed on one side of the automatic loader 2. The communication port 70 is provided in the laser plotter body 1
The glass dry plate 35 is conveyed to the laser plotter main body 1 through the communication port 70. Also,
The structure between the laser plotter main body 1 and the automatic loader 2 is configured to block light, and once the glass dry plate 35 is set on the pallet 34 of the automatic loader 2, all operations can be performed in a light room.

【0019】次にレーザプロッタの制御系の構成につい
て説明する。レーザプロッタの制御系は、図5に示すよ
うに、エンジニアリングワークステーションを含む主制
御部100を備えている。主制御部100には、キーボ
ード101、CRT102、磁気ディスク103及び他
の入出力部が接続されている。また、主制御部100に
は、レーザプロッタ制御部7と、ローダ制御部104と
がそれぞれ接続されている。レーザプロッタ制御部7に
は、レーザプロッタ本体1の各制御素子が接続されてい
る。またローダ制御部104には、自動ローダ2内の各
制御素子が接続されている。
Next, the configuration of the control system of the laser plotter will be described. As shown in FIG. 5, the control system of the laser plotter includes a main control unit 100 including an engineering workstation. The main control unit 100 is connected with a keyboard 101, a CRT 102, a magnetic disk 103, and other input / output units. The main controller 100 is connected to the laser plotter controller 7 and the loader controller 104, respectively. Each control element of the laser plotter main body 1 is connected to the laser plotter control unit 7. Each control element in the automatic loader 2 is connected to the loader control unit 104.

【0020】次に、このように構成されたレーザプロッ
タの制御機能について説明する。図6及び図7は主制御
部100の制御フローチャート、図8はレーザプロッタ
制御部7の制御フローチャート、図9はローダ制御部1
04の制御フローチャートである。主制御 オペレーターは主制御部100の起動ボタンが押される
と、図6のステップS1でCPU内のメモリ等の初期化
を行う。ステップS2では、キーボード101等によ
り、作業データの入力を行う。ここでは、たとえばスト
ッカ30の段数、ガラス乾板のサイズ、描画データが格
納された描画ファイル名、感光材料の種類、描画画素サ
イズ等のデータを入力する。続いてステップS3では、
オペレータによる作業開始指令を待つ。
Next, the control function of the laser plotter thus configured will be described. 6 and 7 are control flowcharts of the main controller 100, FIG. 8 is a control flowchart of the laser plotter controller 7, and FIG.
14 is a control flowchart of the control unit 04. When the start button of the main control unit 100 is pressed, the main control operator initializes the memory and the like in the CPU in step S1 of FIG. In step S2, work data is input using the keyboard 101 or the like. Here, data such as the number of stages of the stocker 30, the size of the glass dry plate, the name of a drawing file storing drawing data, the type of photosensitive material, and the size of a drawing pixel are input. Subsequently, in step S3,
Wait for a work start command from the operator.

【0021】オペレータが、ストッカ30の各パレット
34に、上段から順に描画対象の各サイズのガラス乾板
35をセットする等の準備作業を終え、作業開始指令を
入力すると、ステップS4に移行する。ステップS4で
は、レーザプロッタ制御部7やローダ制御部104から
の情報により、装置の状態チェックを行う。たとえば、
ガラス乾板がYテーブル4や位置決め装置31上に存在
しているか否か、ピン15,15が下降しているか否か
等のチェックを行う。ステップS5では、レーザプロッ
タ制御部7へ、Yテーブル4の原点移動指令を出力す
る。この原点移動指令は、ガラス乾板のサイズに応じた
指令となる。
When the operator finishes the preparation work such as setting the glass dry plates 35 of the respective sizes to be drawn on the respective pallets 34 of the stocker 30 in order from the top, and inputs a work start command, the process proceeds to step S4. In step S4, the status of the apparatus is checked based on information from the laser plotter control unit 7 and the loader control unit 104. For example,
It is checked whether a glass dry plate exists on the Y table 4 or the positioning device 31, whether the pins 15, 15 are lowered, and the like. In step S5, a command to move the origin of the Y table 4 to the laser plotter controller 7 is output. This origin movement command is a command corresponding to the size of the glass dry plate.

【0022】ステップS6では、レーザプロッタ制御部
7からの、テーブル原点移動完了信号を待つ。レーザプ
ロッタ制御部7から原点移動完了信号(ステップP7)
が出力されるとステップS7に移行する。ステップS7
では、ローダ制御部104に対し、ロード指令を出力す
る。ステップS8では、ローダ制御部104からガラス
乾板35のサイズチェック結果を受け取り、ガラス乾板
35のサイズが作業データのサイズと同じか否かを判断
する。ステップS8でガラス乾板35のサイズが入力さ
れた作業データが示すサイズと同じ場合にはステップS
9に進む。ステップS9では、ローダ制御部104から
の乾板移動完了信号(ステップR9)を待つ。ローダ制
御部104から乾板移動完了信号が出力されるとステッ
プS10に移行する。ステップS10では、レーザプロ
ッタ制御部7に対し、ピン15の上昇指令を出力する。
ステップS11では、レーザプロッタ制御部7からのピ
ン上昇完了信号(ステップP9)を待つ。ステップS1
1で、レーザプロッタ制御部7からピン上昇完了信号を
受けるとステップS12に移行する。ステップS12で
は、ローダ制御部104に対し、マニピュレータ32の
アーム60の引き込み指令を出力する。
In step S6, the controller waits for a table origin movement completion signal from the laser plotter controller 7. Origin move completion signal from laser plotter controller 7 (step P7)
Is output, the process proceeds to step S7. Step S7
Then, a load command is output to the loader control unit 104. In step S8, the size check result of the glass dry plate 35 is received from the loader control unit 104, and it is determined whether the size of the glass dry plate 35 is the same as the size of the work data. If the size of the glass dry plate 35 is the same as the size indicated by the input work data in step S8, the process proceeds to step S8.
Go to 9. In step S9, the process waits for a dry plate movement completion signal (step R9) from the loader control unit 104. When a dry plate movement completion signal is output from the loader control unit 104, the process proceeds to step S10. In step S10, a command to raise the pin 15 is output to the laser plotter controller 7.
In step S11, a pin rise completion signal (step P9) from the laser plotter controller 7 is waited. Step S1
In step 1, when a pin rise completion signal is received from the laser plotter control unit 7, the process proceeds to step S12. In step S12, a command to retract the arm 60 of the manipulator 32 is output to the loader control unit 104.

【0023】続いて図7のステップS13では、ローダ
制御部104からのアーム60の引き込み完了信号(ス
テップR12)を待つ。ステップS13で、アーム60
の引き込み完了信号を受けるとステップS14に進む。
ステップS14では、レーザプロッタ制御部7に対し
て、ピン下降完了信号(ステップP13)を出力する。
ステップS15では、レーザプロッタ制御部7からのピ
ン下降完了信号(ステップP13)を待つ。ステップS
15で、レーザプロッタ制御部7からピン下降信号を受
けるとステップS16に進む。
Subsequently, in step S13 of FIG. 7, the process waits for a pull-in completion signal (step R12) of the arm 60 from the loader control unit 104. In step S13, the arm 60
When the pull-in completion signal is received, the process proceeds to step S14.
In step S14, a pin lowering completion signal (step P13) is output to the laser plotter controller 7.
In step S15, a pin descent completion signal (step P13) from the laser plotter control unit 7 is waited. Step S
In step 15, when a pin down signal is received from the laser plotter control unit 7, the process proceeds to step S16.

【0024】ステップS16では、レーザプロッタ制御
部7に対し、描画指令を出力する。ステップS17で
は、レーザプロッタ制御部7からの描画完了信号(ステ
ップP17)を待つ。ステップS17で、レーザプロッ
タ制御部7から描画完了信号を受けるとステップS18
に進む。ステップS18では、レーザプロッタ制御部7
に対しピン上昇指令を出力する。ステップS19では、
レーザプロッタ制御部7からのピン上昇完了信号(ステ
ップP20)を待つ。ステップS19で、レーザプロッ
タ制御部7からピン上昇完了信号を受けるとステップS
20に進む。
In step S16, a drawing command is output to the laser plotter controller 7. In step S17, a drawing completion signal (step P17) from the laser plotter control unit 7 is waited. In step S17, when a drawing completion signal is received from the laser plotter control unit 7, step S18 is performed.
Proceed to. In step S18, the laser plotter control unit 7
Outputs a pin rise command to In step S19,
It waits for a pin rise completion signal (step P20) from the laser plotter controller 7. In step S19, when a pin rise completion signal is received from the laser plotter controller 7, step S19 is performed.
Go to 20.

【0025】ステップS20では、ローダ制御部104
に対し、アンロード指令を出力する。ステップS21で
は、ローダ制御部104からのアーム60の挿入完了信
号(ステップR17)を待つ。ステップS21で、アー
ム60の挿入完了信号を受けるとステップS22に進
む。ステップS22では、レーザプロッタ制御部7に対
し、ピン下降指令を出力する。ステップS23では、レ
ーザプロッタ制御部7からのピン下降完了信号(ステッ
プP23)を待つ。ステップS23で、レーザプロッタ
制御部7からピン下降完了信号を受けるとステップS2
4に進む。ステップS24では、ローダ制御部104に
対し乾板収納指令を出力する。ステップS25では、ス
テップS2(図6)での入力情報に基づき、作業終了で
あるか否かを判断する。ステップS25で作業終了では
ないと判断されたときにはステップS5に戻る。またス
テップS25で、作業終了であると判断され場合には
処理を終了する。
In step S20, the loader control unit 104
, An unload command is output. In step S21, the process waits for an insertion completion signal (step R17) of the arm 60 from the loader control unit 104. In step S21, when an insertion completion signal of the arm 60 is received, the process proceeds to step S22. In step S22, a pin lowering command is output to the laser plotter controller 7. In step S23, a pin lowering completion signal (step P23) from the laser plotter controller 7 is waited. In step S23, when a pin lowering completion signal is received from the laser plotter controller 7, step S2 is performed.
Proceed to 4. In step S24, a dry plate storage command is output to the loader control unit 104. In step S25, it is determined whether or not the work is completed based on the input information in step S2 (FIG. 6). When it is determined in step S25 that the work has not been completed, the process returns to step S5. In step S25, the processing is terminated when it is determined that the work end.

【0026】一方、ステップS8で、入力された作業デ
ータと異なるサイズのガラス乾板35がロードされたと
判断された場合には、ステップS26に進む。ステップ
S26ではローダ制御部104からの乾板収納完了信号
(ステップR15)を待つ。収納完了信号が出力される
とステップS5に戻る。レーザプロッタ制御 レーザプロッタ制御部7では、図8のステップP1で、
各部を初期位置にセットする等の初期化を行う。ステッ
プP2では、Yテーブル4のガラス乾板サイズに応じた
原点移動指令(ステップS5)が主制御部104から出
力されたか否かを判断する。ステップP2で原点移動指
令が出力されていないと判断された場合にはステップP
3に進む。ステップP3では、主制御部100からピン
上昇指令(ステップS10)が出力されたか否かを判断
する。ステップP3でピン上昇指令が出力されていない
と判断された場合にはステップP4に移行する。ステッ
プP4では、主制御部100から描画指令(ステップS
16)がなされたか否かを判断する。ステップP4で、
主制御部100から描画指令が出力されていないと判断
したときにはステップP5に移行する。ステップP5で
は、他の処理を実行する。ステップP5の他の処理が終
了するとステップP2に戻る。
On the other hand, if it is determined in step S8 that a glass dry plate 35 having a size different from the input work data has been loaded, the process proceeds to step S26. In step S26, a dry plate storage completion signal (step R15) from the loader control unit 104 is waited. When the storage completion signal is output, the process returns to step S5. Laser Plotter Control In the laser plotter control section 7, in step P1 of FIG.
Initialization such as setting each unit to an initial position is performed. In Step P2, it is determined whether or not an origin movement command (Step S5) corresponding to the glass dry plate size of the Y table 4 has been output from the main control unit 104. If it is determined in step P2 that the origin movement command has not been output, the process proceeds to step P2.
Proceed to 3. In Step P3, it is determined whether or not a pin raising command (Step S10) has been output from main controller 100. If it is determined in step P3 that the pin-up command has not been output, the process proceeds to step P4. In step P4, a drawing command (step S
It is determined whether 16) has been performed. In step P4,
When it is determined that the drawing command has not been output from the main control unit 100, the process shifts to Step P5. In Step P5, another process is executed. Upon completion of the other processes in Step P5, the process returns to Step P2.

【0027】ステップP2で主制御部100から原点移
動指令(ステップS5)が出力されたと判断するとステ
ップP6に進む。ステップP6では、ガラス乾板35の
サイズに応じた原点にYテーブル4を移動させる。ステ
ップP7では、Yテーブル4の原点移動完了信号を主制
御部100に出力する。ステップP7の原点移動完了信
号の出力を終わるとステップP2に戻る。
If it is determined in step P2 that the origin control command (step S5) has been output from the main controller 100, the flow proceeds to step P6. In Step P6, the Y table 4 is moved to the origin corresponding to the size of the glass dry plate 35. In Step P7, an origin movement completion signal of the Y table 4 is output to the main control unit 100. When the output of the origin movement completion signal in step P7 ends, the process returns to step P2.

【0028】ステップP3で、主制御部100からピン
上昇指令(ステップS10)が出力されたと判断すると
ステップP8に移行する。ステップP8では、ピン15
を上昇させる。ステップP9では、ピン15の上昇完了
信号を主制御部100に対し出力する。ステップP10
では、主制御部100からのピン下降指令(ステップS
14)を待つ。ステップP10で、主制御部100から
ピン下降指令を受けるとステップP11に移行する。ス
テップP11では、図示しない真空ポンプにより、吸着
孔14,14…からエアを吸い込み、吸着動作を開始す
る。ステップP12ではピン15を下降させる。ステッ
プP13では、主制御部100に対しピン下降完了信号
を出力する。ステップP14では、吸着孔14,14…
の吸着エリアをサイズに応じて切り換える。たとえばサ
イズの小さな乾板のときは、Yテーブル4の手前側のエ
リアだけを吸着エリアとする。これにより、ガラス乾板
35の保持を行う。
If it is determined in step P3 that the pin control command (step S10) has been output from the main control unit 100, the flow shifts to step P8. In step P8, the pin 15
To rise. In Step P9, a rising completion signal of the pin 15 is output to the main control unit 100. Step P10
Then, the pin lowering command from the main controller 100 (step S
14) Wait. In step P10, when a pin lowering command is received from the main control unit 100, the process proceeds to step P11. In Step P11, air is sucked from the suction holes 14, 14,... By a vacuum pump (not shown), and the suction operation is started. In step P12, the pin 15 is lowered. In step P13, a pin lowering completion signal is output to main controller 100. In step P14, the suction holes 14, 14,.
Is switched according to the size. For example, in the case of a small-sized dry plate, only the area on the front side of the Y table 4 is set as the suction area. Thus, the glass dry plate 35 is held.

【0029】ステップP4で、主制御部100から描画
指令(ステップS16)が出力されたと判断するとステ
ップP15に移行する。ステップP15では、Yテーブ
ル4及び光学ヘッド5を移動させ、画像データで変調さ
れたレーザ光によりガラス乾板上に所定の画像を描画す
る描画処理を行う。この描画処理では、音響光学変調素
子(AOM)により図示しないレーザ光源から出力され
たレーザ光を画像データに応じて変調し、さらに、音響
光学偏向素子(AOD)により微小幅にレーザ光を偏向
し、走査する。つまり、AODで微小幅主走査を行いつ
つ、Yテーブル4をY方向(副走査方向)に移動させ
る。そして、1つの微小幅の走査が終了すると、光学ヘ
ッド5を微小幅分移動させ、次の微小幅の走査を行う。
これを順次繰り返し、描画領域全体の描画を行う。
If it is determined in step P4 that the drawing command (step S16) has been output from the main control unit 100, the flow shifts to step P15. In Step P15, the Y table 4 and the optical head 5 are moved to perform a drawing process of drawing a predetermined image on a glass dry plate with the laser light modulated by the image data. In this drawing processing, the laser light output from a laser light source (not shown) is modulated by an acousto-optic modulation element (AOM) according to image data, and further deflected to a minute width by an acousto-optic deflection element (AOD). Scan. That is, the Y table 4 is moved in the Y direction (sub-scanning direction) while performing fine width main scanning with the AOD. When the scanning of one minute width is completed, the optical head 5 is moved by the minute width, and the scanning of the next minute width is performed.
This is sequentially repeated to draw the entire drawing area.

【0030】また、このときのYテーブル4及び光学ヘ
ッド5の相対位置はレーザ測長装置6により測定され、
モータ11及び22のサーボ制御が行われる。また、A
ODの走査のタイミング信号を発生するレーザ測長装置
6を用いることにより、AOD走査光学系の制御を正確
に行えるとともに、描画パターンの精度を高くできる。
The relative positions of the Y table 4 and the optical head 5 at this time are measured by a laser length measuring device 6,
Servo control of the motors 11 and 22 is performed. Also, A
By using the laser length measuring device 6 that generates a timing signal for OD scanning, the control of the AOD scanning optical system can be accurately performed, and the accuracy of the drawing pattern can be increased.

【0031】ステップP16では、描画が終了した際の
テーブル移動を行う。このテーブル移動により、Yテー
ブル4を原点位置に移動させる。ステップP17では、
主制御部100に対し描画完了信号を出力する。ステッ
プP18では、主制御部100からのピン上昇指令を待
つ。ステップP18で、主制御部100からピン上昇指
令を受けるとステップP19に移行する。ステップP1
9では、吸着を解除するとともに、ピン15を上昇させ
る。これによりガラス乾板35を持ち上げる。ステップ
P20では、ピン上昇完了信号を主制御部100に対し
て出力する。
In step P16, the table is moved when the drawing is completed. By this table movement, the Y table 4 is moved to the origin position. In Step P17,
A drawing completion signal is output to the main control unit 100. In Step P18, a pin rising command from the main control unit 100 is waited. In step P18, when a pin lift command is received from the main control unit 100, the flow shifts to step P19. Step P1
At 9, the suction is released and the pin 15 is raised. Thereby, the glass dry plate 35 is lifted. In step P20, a pin rise completion signal is output to main controller 100.

【0032】ステップP21では、主制御部100から
のピン下降指令を待つ。ステップP21で、主制御部か
らピン下降指令を受けるとステップP22に移行する。
ステップP22では、ピン15を下降させる。ステップ
P23では、ピン下降完了指令を主制御部100に対し
て出力する。ステップP23が終了するとステップP2
に戻る。
In Step P21, a pin lowering command from the main controller 100 is waited for. In step P21, when a pin lowering command is received from the main control unit, the flow shifts to step P22.
In Step P22, the pin 15 is lowered. In step P23, a pin lowering completion command is output to main controller 100. When step P23 ends, step P2 ends.
Return to

【0033】このように、ピンの上昇下降により、自動
ローダ2との間でガラス乾板35のロードアンロード処
理を行う。ローダ制御 ローダ制御部104では、図9に示すように、まず、ス
テップR1で各部を初期位置にセットする等の初期化が
行われる。ステップR2では、主制御部100からロー
ド指令(ステップS7)が出力されたか否かを判断す
る。ステップR2で主制御部100からロード指令が出
力されていないと判断された場合にはステップR3に移
行する。ステップR3では主制御部100からアンロー
ド指令(ステップS20)が出力されたか否かを判断す
る。ステップR3で主制御部100からアンロード指令
が出力されていないと判断されるとステップR4に移行
する。ステップR4では他の処理を行う。ステップR4
の処理が終了するとステップR2に戻る。
As described above, the loading and unloading of the glass dry plate 35 is performed with the automatic loader 2 by raising and lowering the pins. In the loader control unit 104, as shown in FIG. 9, first, in step R1, initialization such as setting each unit to an initial position is performed. In step R2, it is determined whether or not a load command (step S7) has been output from main controller 100. If it is determined in step R2 that the load command has not been output from the main control unit 100, the process proceeds to step R3. In step R3, it is determined whether or not an unload command (step S20) has been output from main controller 100. If it is determined in step R3 that the unload command has not been output from the main control unit 100, the process proceeds to step R4. In step R4, other processing is performed. Step R4
When the processing of is completed, the process returns to step R2.

【0034】ステップR2で主制御部100からロード
指令(ステップS7)が出力されたと判断するとステッ
プR5に移行する。ステップR5では、マニピュレータ
32のアーム60を引き出し、ストッカ30から作業デ
ータに応じたガラス乾板35を取り出す。ステップR6
では、取り出したガラス乾板35を位置決め装置31の
フリーベアリング40上に載置する。ステップR6で
は、載置されたガラス乾板35のサイズを、位置決め装
置31に配置された図示しないセンサによりチェックす
る。載置されたガラス乾板35のサイズが、作業データ
で指示されたサイズと同一の場合にはステップR7に移
行する。ステップR7では、当接部材44,45,5
0,51により、ガラス乾板35を、作業データに応じ
たサイズの位置で位置決めする。
When it is determined in step R2 that the load command (step S7) has been output from the main control unit 100, the flow shifts to step R5. In step R5, the arm 60 of the manipulator 32 is pulled out, and the glass dry plate 35 corresponding to the work data is taken out of the stocker 30. Step R6
Then, the taken out glass dry plate 35 is placed on the free bearing 40 of the positioning device 31. In step R6, the size of the placed glass dry plate 35 is checked by a sensor (not shown) arranged in the positioning device 31. If the size of the placed glass dry plate 35 is the same as the size specified in the work data, the process proceeds to step R7. In step R7, the contact members 44, 45, 5
According to 0 and 51, the glass dry plate 35 is positioned at a position having a size corresponding to the work data.

【0035】ステップR8では、マニピュレータ32に
より、位置決めされたガラス乾板35をアーム60の上
面に載置し、位置決め装置31からアーム60を退出さ
せる。さらに、旋回部61を時計回りに90°旋回さ
せ、連通口70を通ってガラス乾板35をYテーブル4
上へ載置する。ステップR9では、主制御部100に乾
板移動完了信号を出力する。ステップR10では、主制
御部100からのアーム引き込み指令(ステップS1
2)を待つ。ステップR10で主制御部からアーム引き
込み指令が出力されたと判断されるとステップR11に
進む。ステップR11ではマニピュレータ32によりア
ーム60の引き込め動作を実行する。ステップR12で
は、アーム60の引き込み完了信号を主制御部100に
出力する。ステップR13では、マニピュレータ32を
原点位置に復帰させる。ステップR13での処理を終了
するとステップR2に戻る。
In step R8, the positioned glass dry plate 35 is placed on the upper surface of the arm 60 by the manipulator 32, and the arm 60 is withdrawn from the positioning device 31. Further, the turning part 61 is turned 90 ° clockwise, and the glass dry plate 35 is moved through the communication port 70 to the Y table 4.
Place on top. In step R9, a dry plate movement completion signal is output to the main control unit 100. In step R10, an arm retraction command from the main control unit 100 (step S1
Wait for 2). If it is determined in step R10 that the arm retraction command has been output from the main control unit, the process proceeds to step R11. In step R11, the retracting operation of the arm 60 is executed by the manipulator 32. In step R12, a pull-in completion signal of the arm 60 is output to the main control unit 100. In Step R13, the manipulator 32 is returned to the origin position. When the process in step R13 ends, the process returns to step R2.

【0036】ステップR3で、主制御部100からアン
ロード指令(ステップS20)が出力されたと判断する
とステップR16に移行する。ステップR16ではアー
ム60を進出させ、アーム60をピン15によって上昇
させられたガラス乾板35とテーブル上面との間に挿入
する。ステップR17では、アーム挿入完了信号を主制
御部100に出力する。ステップR18では、主制御部
100からのガラス乾板35の収納指令(ステップS2
4)を待つ。ステップR18で主制御部100からガラ
ス乾板35の収納指令を受けるとステップR19に移行
する。ステップR19ではアーム60を引き込み、連通
口70からガラス乾板35を自動ローダ2内に移動させ
る。さらに、旋回部61を90°反時計回りに旋回させ
てさらに昇降させ、マニピュレータ32により、ガラス
乾板35を所定のパレット34に収納する。ステップR
20では、マニピュレータ32を原点位置に復帰させ
る。ステップR20での動作が終了するとステップR2
に戻る。
If it is determined in step R3 that the unload command (step S20) has been output from the main control unit 100, the process proceeds to step R16. In step R16, the arm 60 is advanced, and the arm 60 is inserted between the glass dry plate 35 raised by the pin 15 and the table upper surface. In step R17, an arm insertion completion signal is output to main controller 100. In step R18, a storage command for the glass dry plate 35 from the main control unit 100 (step S2).
4) Wait. When receiving the storage instruction of the glass dry plate 35 from the main control unit 100 in step R18, the process proceeds to step R19. In step R19, the arm 60 is pulled in, and the glass dry plate 35 is moved from the communication port 70 into the automatic loader 2. Further, the turning part 61 is turned 90 ° counterclockwise to be further raised and lowered, and the glass dry plate 35 is stored in a predetermined pallet 34 by the manipulator 32. Step R
At 20, the manipulator 32 is returned to the origin position. When the operation in Step R20 is completed, Step R2
Return to

【0037】一方、ステップR6でのチェックの結果、
サイズが合わなかったときにはステップR14に移行す
る。ステップR14ではフリーベアリング40上に載置
されたガラス乾板35を元のパレット位置に収納する。
ステップR14では、乾板収納完了信号を主制御部10
0に出力する。この処理が終了するとステップR2に戻
る。
On the other hand, as a result of the check in step R6,
If the sizes do not match, the process proceeds to step R14. In step R14, the glass dry plate 35 placed on the free bearing 40 is stored at the original pallet position.
In step R14, a dry plate storage completion signal is sent to the main control unit 10
Output to 0. When this process ends, the process returns to the step R2.

【0038】〔動作〕次に、上述のレーザプロッタの一
連の動作を説明する。まず、マニピュレータ32によ
り、パレット34に載置されたガラス乾板35をパレッ
ト34の切欠き部下方よりアーム60を上昇させて受け
取り、これを一旦位置決め装置31上のフリーベアリン
グ40上に載置する。ここで2組の当接部材44,4
5、50,51により、サイズに応じた位置に中心基準
に位置決めした後、マニピュレータ32でガラス乾板3
5をYテーブル上に搬送する。次に、Yテーブル4で
は、ピン15を上昇させ、搬送されたガラス乾板35を
アーム60より受け取る。ピン15上にガラス乾板35
を載置すると、マニピュレータ32のアーム60が引き
込まれ、マニピュレータ32は原点に復帰する。これと
ともに、ピン15が下降し、描画処理が行われる。描画
処理が終了すると、再度ピン15を上昇させてガラス乾
板35を持上げ、ガラス乾板35とYテーブル4上面と
の間にマニピュレータ32のアーム60を差し込み、ピ
ン15を下降させてガラス乾板をアーム60上に載置
し、元のパレット34上の位置にアンロードする。
[Operation] Next, a series of operations of the above-described laser plotter will be described. First, the manipulator 32 receives the glass dry plate 35 placed on the pallet 34 by raising the arm 60 from below the notch portion of the pallet 34, and temporarily places it on the free bearing 40 on the positioning device 31. Here, two sets of contact members 44, 4
After the positioning based on the center at a position corresponding to the size according to 5, 50, 51, the glass dry plate 3 is moved by the manipulator 32.
5 is conveyed on a Y table. Next, in the Y table 4, the pin 15 is raised, and the transported glass dry plate 35 is received from the arm 60. Glass dry plate 35 on pin 15
Is placed, the arm 60 of the manipulator 32 is retracted, and the manipulator 32 returns to the origin. At the same time, the pin 15 is lowered, and the drawing process is performed. When the drawing process is completed, the pin 15 is raised again to lift the glass dry plate 35, the arm 60 of the manipulator 32 is inserted between the glass dry plate 35 and the upper surface of the Y table 4, and the pin 15 is lowered to move the glass dry plate to the arm 60. The pallet is placed on the pallet 34 and unloaded to the original position on the pallet 34.

【0039】前記実施例では、図9のステップR6でサ
イズチェックを行い、サイズチェックの結果サイズが合
わなかった場合にはそのガラス乾板は収納して次のガラ
ス乾板に動作が移るため、自動運転中にサイズ不一致に
よるエラーが生じても、装置の動作は停止せず続けて作
業が実行される。なお、自動ローダ2には各パレット3
4毎に対応した表示ランプ(図示せず)が設けられてい
て、各パレット34の状態(処理中,処理済,未処理,
エラー等)を表示ランプの点灯状態(点滅,点灯,消
灯,速い点滅等)で表している。
In the above embodiment, the size is checked in step R6 in FIG. 9, and if the size does not match as a result of the size check, the glass dry plate is stored and the operation moves to the next glass dry plate. Even if an error occurs due to a size mismatch during the operation, the operation of the apparatus is continued without stopping the operation. Each pallet 3 is stored in the automatic loader 2.
There are provided display lamps (not shown) corresponding to the respective pallets 34, and the status of each pallet 34 (processing, processed, unprocessed,
Error etc.) is indicated by the lighting state of the display lamp (blinking, lighting, turning off, fast blinking, etc.).

【0040】また、前記実施例では、ピン15上に載置
されたガラス乾板35をピン15の下降とともにYテー
ブル4上に載置する際に、Yテーブル4の上面から真空
吸着しつつ行っているので、ガラス乾板35が下降の際
に位置ずれすることがない。また、ガラス乾板35がY
テーブル4上に載置されたら、真空エリアをガラス乾板
のサイズに応じて切り換えてガラス乾板35を保持す
る。
In the above-described embodiment, when the glass dry plate 35 placed on the pin 15 is placed on the Y table 4 with the lowering of the pin 15, the vacuum drying is performed while the glass dry plate 35 is vacuum-adsorbed from the upper surface of the Y table 4. Therefore, there is no displacement of the glass dry plate 35 when it is lowered. Also, the glass dry plate 35 is Y
After being placed on the table 4, the vacuum area is switched according to the size of the glass dry plate to hold the glass dry plate 35.

【0041】〔他の実施例〕(a) 前記実施例では感
光板としてガラス乾板を例に説明したが、ガラス乾板以
外の感光板についても本発明を適用できる。 (b) 前記実施例では搬送手段としてマニピュレータ
32を用いたが、搬送手段としては、感光板をその下面
を支持して貯蔵手段とレーザプロッタ本体との間で搬送
できるものであればどのような機構でもよい。
[Other Embodiments] (a) In the above embodiment, a glass dry plate has been described as an example of a photosensitive plate, but the present invention can be applied to a photosensitive plate other than a glass dry plate. (B) In the above embodiment, the manipulator 32 was used as the transporting means, but any transporting means can be used as long as the photosensitive plate can be transported between the storage means and the laser plotter body while supporting the lower surface thereof. It may be a mechanism.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明に係るレーザプロッタでは、貯蔵
手段とレーザプロッタ本体との間で支持手段により感光
板の下面を支持しながら搬送できるので、感光板の特に
感光面の損傷を抑えることができる。また、貯蔵手段か
ら取り出した感光板を一旦位置決めしてレーザプロッタ
本体に搬送するので、レーザプロッタ本体での高精度な
セットが可能になる。
According to the laser plotter of the present invention, since the lower surface of the photosensitive plate can be conveyed between the storage means and the main body of the laser plotter while being supported by the supporting means , particularly the photosensitive plate can be transported.
Damage to the photosensitive surface can be suppressed. Also, storage means
Once the photosensitive plate has been taken out, the laser plotter
Since it is conveyed to the main unit, high-precision
Set becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例によるレーザプロッタの外観
斜視図。
FIG. 1 is an external perspective view of a laser plotter according to one embodiment of the present invention.

【図2】レーザプロッタ本体の斜視図。FIG. 2 is a perspective view of a laser plotter main body.

【図3】Yテーブルの斜視図。FIG. 3 is a perspective view of a Y table.

【図4】自動ローダの斜視図。FIG. 4 is a perspective view of an automatic loader.

【図5】制御系のブロック図。FIG. 5 is a block diagram of a control system.

【図6】主制御部の制御フローチャート。FIG. 6 is a control flowchart of a main control unit.

【図7】主制御部の制御フローチャート。FIG. 7 is a control flowchart of a main control unit.

【図8】レーザプロッタ制御部の制御フローチャート。FIG. 8 is a control flowchart of a laser plotter control unit.

【図9】ローダ制御部の制御フローチャート。FIG. 9 is a control flowchart of a loader control unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザプロッタ本体 2 自動ローダ 30 ストッカ 32 マニピュレータ 35 ガラス乾板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser plotter main body 2 Automatic loader 30 Stocker 32 Manipulator 35 Glass dry plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八尾 耕次 京都市南区久世築山町465番地の1 大 日本スクリーン製造株式会社 久世工場 内 (72)発明者 小山 良人 京都市南区久世築山町465番地の1 大 日本スクリーン製造株式会社 久世工場 内 (56)参考文献 特開 昭59−42547(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Koji Yao, inventor, 465-1, Kuze Tsukiyama-cho, Minami-ku, Kyoto, Japan Nippon Screen Manufacturing Co., Ltd. Kuze Factory (72) Inventor Yoshito Koyama 465, Kuze Tsukiyama-cho, Minami-ku, Kyoto-shi No. 1 large Japan Screen Manufacturing Co., Ltd. Kuze Factory (56) References JP-A-59-42547 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】感光板にレーザ露光により2次元画像を描
画するレーザプロッタ本体と、 前記感光板を各々独立して上下方向に複数貯蔵する貯蔵
手段と、前記貯蔵手段から取り出された感光板の位置決めを行う
位置決め手段と、 前記貯蔵手段、位置決め手段及びレーザプロッタ本体に
対して相対的に上下動かつ進退自在に設けられるととも
に感光板の下面を支持する支持手段を有し、前記貯蔵手
段、位置決め手段及びレーザプロッタ本体の間で前記感
光板を前記支持手段により支持して 搬送する搬送手段
と、 を備えたレーザプロッタ。
1. A laser plotter main body for drawing a two-dimensional image on a photosensitive plate by laser exposure, storage means for storing a plurality of the photosensitive plates independently in a vertical direction, and a photosensitive plate taken out of the storage means. Perform positioning
Positioning means, the storage means, the positioning means and the laser plotter body
It is provided to be able to move up and down and move forward and backward relatively
Supporting means for supporting the lower surface of the photosensitive plate,
The sense between the step, the positioning means and the laser plotter body
A transporting means for transporting the light plate while supporting the optical plate with the supporting means .
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