JP2612483B2 - Laser light distribution device - Google Patents

Laser light distribution device

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JP2612483B2
JP2612483B2 JP63283276A JP28327688A JP2612483B2 JP 2612483 B2 JP2612483 B2 JP 2612483B2 JP 63283276 A JP63283276 A JP 63283276A JP 28327688 A JP28327688 A JP 28327688A JP 2612483 B2 JP2612483 B2 JP 2612483B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はレーザ光を用いて溶接，切断，穴あけトリ
ミング等の分野で利用されているレーザ溶接機に係り，
特に複数作業エリアへ時分割でレーザ光を分配する分配
装置の改良に関するものである 先ず，この発明が使用されるシステム構成とその適用
例を図により詳述する。第６図は対象とするレーザ分配
装置の使用内容を説明するための図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a laser welding machine used in fields such as welding, cutting, and hole trimming using laser light.
In particular, the present invention relates to an improvement of a distribution device for distributing a laser beam to a plurality of work areas in a time sharing manner. FIG. 6 is a diagram for explaining the contents of use of the target laser distribution device.

図において，（１）は各エリアへ供給するレーザ光を
作り出すレーザ発振器，（２）はレーザ発振器（１）か
らのレーザ光を各エリアへ分配する為の分岐ユニット，
（３）は第１のエリアへレーザ光を導く光ファイバ，
（４）は光ファイバ（３）で送られたレーザ光をワーク
の表面上に微小スポットで集光させる為の対物レンズ，
（５）は第１のエリアで加工する第１のワーク，（６）
は第２のエリアへレーザ光を導く光ファイバ，（７）は
第２のエリア用の対物レンズ，（８）は第２のエリアで
加工する第２のワークである。In the figure, (1) is a laser oscillator for producing laser light to be supplied to each area, (2) is a branch unit for distributing laser light from the laser oscillator (1) to each area,
(3) an optical fiber for guiding a laser beam to the first area,
(4) an objective lens for condensing the laser beam sent by the optical fiber (3) on the surface of the work in a minute spot;
(5) is a first work to be processed in the first area, (6)
Is an optical fiber for guiding a laser beam to the second area, (7) is an objective lens for the second area, and (8) is a second work to be processed in the second area.

２個所の第１のエリアと第２のエリアで異なる第１の
ワーク（５）と第２のワーク（８）をレーザ光で加工す
る場合に，時間的に切り換えて必要に応じて任意のエリ
アへレーザ光を供給する必要があり同一作業に対して複
数本の均等分配されたレーザ光を同時に供給する必要が
ある。なお，ここでは同時３分岐で説明する。レーザ発
振器（１）からのレーザ光は分岐ユニット（２）により
第１のエリアと第２のエリアへ時間的に切換え，例え
ば，第１のエリアに対しては光ファイバ（3a），（3
b），（3c）へレーザ発振器（１）からのレーザ光を３
分割して供給し，各々の光ファイバーからのレーザ光は
対物レンズ（4a），（4b），（4c）でビームを集光して
ワーク（５）を加工する。第２のエリアへのレーザ光も
分岐ユニット（２）で時間的に切り換えられた後は第１
のエリアと同様であり,2ケ所のエリアでレーザ発振器
（１）を共用して使えることになる。When the first work (5) and the second work (8), which are different in the two first areas and the second area, are processed by the laser beam, the time is switched and any area is changed as necessary. It is necessary to supply laser beams to the same operation, and it is necessary to simultaneously supply a plurality of equally distributed laser beams for the same operation. Here, a description will be given of three simultaneous branches. The laser light from the laser oscillator (1) is temporally switched to a first area and a second area by the branching unit (2). For example, the optical fibers (3a), (3
b) and (3c) apply laser light from laser oscillator (1) to 3
The laser beam from each optical fiber is split and supplied, and the beam is condensed by the objective lenses (4a), (4b), and (4c) to process the work (5). After the laser beam to the second area is also temporally switched by the branch unit (2), the first
The laser oscillator (1) can be shared and used in the two areas.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第７図は従来のレーザ分岐ユニットを示す図であり
（９）は所定のエリアを選択する可動ミラー，（10）は
第１のエリア用のハーフミラー，（11）は第１のエリア
用の全反射形ミラー，（12）は第２のエリア用のハーフ
ミラー，（13）は第２のエリア用の全反射形ミラーであ
る。次に分岐方法について説明する第６図のレーザ発振
器（１）からのレーザ光を分岐ユニット（２）内の可動
ミラー（9a）が可動ミラー（9b）で受けてレーザ光を供
給するエリアを選択する。第１のエリアを選択する場合
は可動ミラー（9a）を動作させてレーザ光を反射させ
て，ハーフミラー（10a），（10b）と全反射形ミラー
（11）から成る分配モジュールによりレーザ光を３分割
にして外部へ供給する。又，第２のエリアへレーザ光を
供給する場合は可動ミラー（9a）を動作させないで退避
しておき，可動ミラー（9b）でレーザ光を受けて90゜角
度を変えて反射させハーフミラー（12a），（12b）と全
反射形ミラー（13）により横方向に３分割する。FIG. 7 is a view showing a conventional laser branch unit. (9) is a movable mirror for selecting a predetermined area, (10) is a half mirror for the first area, and (11) is a half mirror for the first area. A total reflection mirror, (12) is a half mirror for the second area, and (13) is a total reflection mirror for the second area. Next, the branching method will be described. The movable mirror (9a) in the branching unit (2) receives the laser beam from the laser oscillator (1) in FIG. 6 with the movable mirror (9b) and selects the area to supply the laser beam. I do. When selecting the first area, the movable mirror (9a) is operated to reflect the laser light, and the laser light is reflected by the distribution module including the half mirrors (10a) and (10b) and the total reflection mirror (11). It is supplied to the outside in three parts. When the laser light is supplied to the second area, the movable mirror (9a) is retracted without being operated, and the laser light is received by the movable mirror (9b) and reflected at a 90 ° angle to change the half mirror (9a). 12a), (12b) and a total reflection mirror (13) are divided into three parts in the horizontal direction.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

従来のレーザ分配装置を構成する分岐ユニット（２）
は以上のようにレーザ光を３分割する為の分配モジュー
ルの光軸がレーザ発振器からのレーザ光の光軸と同一方
向に配置されているために，最右端の反射ミラーまでの
レーザ光の光路長が長くなりビームが拡がって来る為光
ファイバーへのレーザ光の供給が困難になり分配可能な
ファイバー本数を増やせないという課題があった。Branch unit (2) constituting a conventional laser distribution device
As described above, since the optical axis of the distribution module for dividing the laser beam into three is arranged in the same direction as the optical axis of the laser beam from the laser oscillator, the optical path of the laser beam to the rightmost reflection mirror Since the length becomes longer and the beam expands, it becomes difficult to supply the laser beam to the optical fiber, and there is a problem that the number of distributable fibers cannot be increased.

この発明は上記のような課題を解消する為になされた
もので，光路長を短くできるレーザ光分配装置を得るこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to provide a laser light distribution device capable of shortening the optical path length.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

この発明に係るレーザ光分配装置は、レーザ発振器か
らのレーザ光の光軸方向に複数個配置され、時分割制御
により、複数のミラーに対応した作業エリアに上記レー
ザ光を供給するための可動形のミラーと、上記レーザ光
の光軸方向に対し、垂直で、かつ上記可動形のミラーで
反射されたレーザ光の光軸方向に所定の間隔で配置さ
れ、上記可動形のミラーで反射されたレーザ光を受け
て、同一作業エリアにおける複数のレーザ光分配箇所へ
そのレーザ光を分配するハーフミラーと全反射形のミラ
ーを有する分配モジュールとにより上記分岐ユニットを
構成するようにしたものである。A laser light distribution device according to the present invention is provided with a plurality of movable light sources arranged in the optical axis direction of laser light from a laser oscillator, and for supplying the laser light to a work area corresponding to a plurality of mirrors by time division control. And the mirror is arranged at a predetermined interval in the optical axis direction of the laser light reflected by the movable mirror, perpendicular to the optical axis direction of the laser light, and reflected by the movable mirror. The branch unit is constituted by a half mirror for receiving the laser light and distributing the laser light to a plurality of laser light distribution locations in the same work area, and a distribution module having a total reflection type mirror.

またこの発明は上記複数の作業エリアの位置に対応し
て上記レーザ発振器からのレーザ光の光軸方向に移動す
るステージと、上記レーザ光の光軸上に位置するように
上記ステージに設けられ、上記ステージの作業エリアに
対応した位置への移動によりその位置に対応した作業エ
リアに上記レーザ光を供給するためのミラーと、上記レ
ーザ光の光軸方向に対し垂直で、かつ上記ミラーで反射
された光軸方向に所定の間隔で配置され、上記ミラーで
反射されたレーザ光を受けて、同一作業エリアにおける
複数のレーザ光分配箇所へ上記ミラーで反射されたレー
ザ光を分配するハーフミラーと全反射形のミラーを有す
る分配モジュールとにより上記分岐ユニットを構成する
ようにしたものである。Further, the present invention is provided on the stage to move in the optical axis direction of the laser light from the laser oscillator corresponding to the positions of the plurality of work areas, provided on the stage so as to be located on the optical axis of the laser light, A mirror for supplying the laser light to the work area corresponding to the position by moving the stage to a position corresponding to the work area; and a mirror perpendicular to the optical axis direction of the laser light, and reflected by the mirror. A half mirror that is disposed at a predetermined interval in the optical axis direction, receives the laser light reflected by the mirror, and distributes the laser light reflected by the mirror to a plurality of laser light distribution points in the same work area. The branch unit is configured by a distribution module having a reflection type mirror.

さらに、この発明は上記複数の作業エリアの位置に対
応して上記レーザ発振器からのレーザ光の光軸方向に移
動するステージと、上記レーザ光の光軸方向に位置する
ように上記ステージに設けられ、上記ステージの作業エ
リアに対応した位置への移動によりその位置に対応した
作業エリアに上記レーザ光を供給するためのミラーと、
上記ステージに上記レーザ光の光軸方向に対し垂直に配
置され、上記ミラーで反射されたレーザ光を受けて、同
一作業エリアにおける複数のレーザ光分配箇所へ上記ミ
ラーで反射されたレーザ光を分配するハーフミラーと全
反射形のミラーを有する分配モジュールとにより上記分
岐ユニットを構成するようにしたものである。Further, the present invention is provided on the stage moving in the optical axis direction of the laser light from the laser oscillator corresponding to the positions of the plurality of work areas, and on the stage so as to be positioned in the optical axis direction of the laser light. A mirror for supplying the laser light to a work area corresponding to the position by moving the stage to a position corresponding to the work area;
The laser light is arranged on the stage perpendicular to the optical axis direction of the laser light, receives the laser light reflected by the mirror, and distributes the laser light reflected by the mirror to a plurality of laser light distribution points in the same work area. The above-mentioned branch unit is constituted by a half mirror and a distribution module having a total reflection type mirror.

また、この発明は、レーザ光の光軸方向に有する複数
の作業エリアの位置に対応して上記レーザ光の光軸方向
に移動するステージと、上記レーザ光の光軸に位置する
ように上記ステージに設けられ、上記ステージの作業エ
リアに対応した位置への移動によりその位置に対応した
上記レーザ光の光軸を挟む複数の作業エリアを、時分割
にて方向切換えすることにより順次選択し、その選択さ
れた作業エリアへレーザ光を供給するための方向切換え
ミラーと、上記ステージに上記レーザ光の光軸方向に対
し垂直でかつ上記方向切換えミラーを挾むように複数配
置され、上記方向切換えミラーで反射されたレーザ光を
受けて、同一作業エリアにおける複数のレーザ光分配箇
所へ上記方向切換えミラーで反射されたレーザ光を分配
するハーフミラーと全反射形のミラーを有する分配モジ
ュールとにより上記分岐ユニットを構成する。Further, the present invention provides a stage which moves in the optical axis direction of the laser light corresponding to the positions of a plurality of work areas having the optical axis direction of the laser light, and the stage which moves in the optical axis of the laser light. The plurality of work areas sandwiching the optical axis of the laser light corresponding to the position by moving the stage to a position corresponding to the work area are sequentially selected by switching directions in a time-division manner. A plurality of direction switching mirrors for supplying a laser beam to a selected work area; and a plurality of direction switching mirrors arranged on the stage perpendicular to the optical axis direction of the laser beam so as to sandwich the direction switching mirror, and reflected by the direction switching mirror. A half mirror that receives the laser light, and distributes the laser light reflected by the direction switching mirror to a plurality of laser light distribution points in the same work area. By the distribution module having a mirror reflection type constituting the branch unit.

〔作用〕[Action]

この発明におけるハーフミラーと全反射形のミラーか
らなる分配モジュールを分岐ユニットへの入射レーザ光
の光軸と垂直に配置することにより、光路長が短くな
る。By arranging the distribution module including the half mirror and the total reflection type mirror according to the present invention perpendicularly to the optical axis of the laser light incident on the branch unit, the optical path length is shortened.

また、ミラーをステージに載せて光軸方向に移動させ
ることによりミラーの個数を削減できる。Further, the number of mirrors can be reduced by placing the mirrors on the stage and moving them in the optical axis direction.

さらに、ミラー、ハーフミラーおよび全反射形のミラ
ーをステージに載せて光軸方向に移動させることによ
り、さらに部品点数の削減がなされる。Further, the number of components can be further reduced by placing the mirror, half mirror and total reflection mirror on the stage and moving them in the optical axis direction.

〔実施例〕〔Example〕

以下，この発明の一実施例を図について説明する。第
１図において，（２），（９），（10），（11），（1
2）（13）は従来技術の説明と同一である。分岐ユニッ
ト（２）は入射レーザ光を可動ミラー（9a）により受け
て反射したレーザ光をハーフミラー（10a）（10b）及び
全反射形ミラー（11）により同時３分割して光ファイバ
ーへ供給するが，図のように垂直方向に配置することに
より，可動ミラー（9b）を可動ミラー（9a）に近づけて
配置が可能となり，従来の３倍の６ケ所のエリアへレー
ザ光が分配可能になる。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, (2), (9), (10), (11), (1
2) (13) is the same as the description of the prior art. The branching unit (2) receives the incident laser light by the movable mirror (9a) and reflects the laser light by the half mirrors (10a) and (10b) and the total reflection mirror (11) at the same time and supplies the laser light to the optical fiber. By disposing the movable mirror (9b) close to the movable mirror (9a) by arranging the movable mirror (9b) close to the movable mirror (9a) as shown in the figure, the laser beam can be distributed to six areas, which is three times the conventional area.

次に，第２図において他の実施例について説明する。
第２図において，（２），（９），（10），（11），
（12）（13）は従来技術の説明と同一である。この場合
はハーフミラー（10a），（10b）及び全反射形ミラー
（11）の分割方向を下方にすることにより可動ミラー
（9a）と可動ミラー（9b）の間隔を第１図と同様に狭く
することが可能である。可動ミラー（９）は作業エリア
の数と等しいだけ配置し，ソレノイド，エアシリンダ等
でON/OFFさせて使用し，同一エリア内での均等分割はハ
ーフミラーを２枚と１枚の全反射形ミラーの組合わせで
エリアの数と等しいだけ固定して配置するものである。Next, another embodiment will be described with reference to FIG.
In Fig. 2, (2), (9), (10), (11),
(12) and (13) are the same as in the description of the prior art. In this case, the distance between the movable mirror (9a) and the movable mirror (9b) is reduced as in FIG. 1 by lowering the dividing direction of the half mirrors (10a) and (10b) and the total reflection mirror (11). It is possible to The number of movable mirrors (9) is equal to the number of work areas, and they are turned ON / OFF with solenoids, air cylinders, etc., and are equally divided within the same area. The number of mirrors is fixed and arranged so as to be equal to the number of areas.

次に，他の実施例として可動ミラー及び均等分割の為
のハーフミラー及び全反射形ミラーを兼用する分岐ユニ
ットの構成とレーザ光の分配について説明する。Next, as another embodiment, a configuration of a movable mirror, a branch unit that also serves as a half mirror for equal division, and a total reflection mirror and distribution of laser light will be described.

第３図において，（14）は一軸方向に移動するステー
ジ，（15）はステージ（14）の上に固定された全反射形
ミラー，（16）はレーザ光を３分割するためのハーフミ
ラーと全反射形ミラーを固定させた分岐板であり，（1
0），（11），（12）は第１図と同じである。ステージ
（14）はエリアに対応した位置に移動し，全反射形ミラ
ー（15）により入射レーザ光を反射してハーフミラー
（10a）に供給するものであり可動ミラーの枚数が作業
エリアの数に関係なく一枚でよい。これは作業エリアが
多い場合に有効である。In FIG. 3, (14) is a stage which moves in one axis direction, (15) is a total reflection mirror fixed on the stage (14), and (16) is a half mirror for dividing laser light into three. This is a branch plate to which a total reflection mirror is fixed.
0), (11), and (12) are the same as those in FIG. The stage (14) moves to a position corresponding to the area, reflects the incident laser light by the total reflection mirror (15) and supplies it to the half mirror (10a). Regardless, one sheet is sufficient. This is effective when there are many work areas.

次に，さらに他の実施例について説明する。第４図に
おいて，（17）は作業エリアへ供給する光ファイバーを
固定するファイバー取付板であり，（10），（11），
（14），（15）は前述と同一である。この第４図の分岐
ユニットは同一エリアへのレーザ光の均等分割を行うハ
ーフミラー（10）と全反射形ミラー（11）もエリア選択
用の全反射形ミラー（15）と同様にステージ（14）で移
動させることにより作業エリアの数に関係なくハーフミ
ラー（10），全反射形ミラーを兼用することにしたもの
である。Next, still another embodiment will be described. In FIG. 4, (17) is a fiber mounting plate for fixing the optical fiber to be supplied to the work area, and (10), (11),
(14) and (15) are the same as above. In the branching unit shown in FIG. 4, the half mirror (10) and the total reflection mirror (11) for equally dividing the laser beam into the same area are also mounted on the stage (14) similarly to the total reflection mirror (15) for area selection. ), The half mirror (10) and the total reflection mirror are used irrespective of the number of work areas.

次に，さらに他の実施例について説明する。第４図の
反射ミラー（15）を回転させることによりレーザ光を分
配できる作業エリアを２倍にすることができる分岐ユニ
ットについて述べる。第５図において，（18）は入射レ
ーザ光を２方向へ切換えて反射可能な方向切換ミラーで
あり，（10）（11），（12），（13），（14），（17）
は前述と同一である。ステージ（14）の移動方向に対し
て右側に，ハーフミラー（10a），（10b）及び全反射形
ミラー（11）を配置し，左側にハーフミラー（12a），
（12b）及び全反射形ミラー（13）を配置し，入射レー
ザ光を方向切換ミラー（18）により左右へレーザ光を切
換えることにより，ファイバー取付板（17a）とファイ
バー取付板（17b）の一方へレーザ光を供給することが
可能であり，又ステージ（14）を移動させることにより
第４図と同様に移動方向の任意の光ファイバーの列を選
択することができる。ここで，方向切換ミラー（18）は
一枚の全反射形ミラーを回転させることや，複数板の全
反射形ミラーを組み合わせることでレーザ光の反射方向
をステージ（14）の左右へ切換えることが可能である。Next, still another embodiment will be described. A branch unit that can double the work area where laser light can be distributed by rotating the reflection mirror (15) in FIG. 4 will be described. In FIG. 5, (18) is a direction switching mirror that can switch and reflect the incident laser light in two directions, and (10), (11), (12), (13), (14), and (17).
Is the same as described above. Half mirrors (10a) and (10b) and a total reflection mirror (11) are arranged on the right side of the moving direction of the stage (14), and half mirrors (12a) and
(12b) and a total reflection mirror (13) are arranged, and the incident laser light is switched to the left and right by the direction switching mirror (18), so that one of the fiber mounting plate (17a) and the fiber mounting plate (17b) is provided. It is possible to supply a laser beam to the optical fiber, and by moving the stage (14), an arbitrary array of optical fibers in the moving direction can be selected in the same manner as in FIG. Here, the direction switching mirror (18) can switch the reflection direction of the laser beam to the left and right of the stage (14) by rotating one total reflection mirror or by combining a plurality of total reflection mirrors. It is possible.

また，上記実施例では作業エリアは２ケ所，同一作業
エリア内のレーザ光の分割数は３個として説明したが，
これらは説明の便宜上であり，この限りでないのはいう
までもなく，作業エリアの数が多い場合により効果を発
揮するものである。In the above embodiment, the working area is described as two places, and the number of divisions of the laser beam in the same working area is described as three.
These are for convenience of explanation, and needless to say, they are more effective when the number of work areas is large.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のように，この発明によれば，複数個配置された
時分割制御されるミラーの光軸とハーフミラーと全反射
形のミラーからなる分配モジュールの光軸をレーザ発振
器からのレーザ光の光軸に対し垂直に配置することによ
り光路長が短くできることになり従来に比べて多くの作
業エリアへ時間的に切換えてレーザ光を供給できる。As described above, according to the present invention, the optical axis of the plurality of time-divisionally controlled mirrors and the optical axis of the distribution module including the half mirror and the total reflection type mirror are adjusted by the light of the laser light from the laser oscillator. By arranging the laser beam perpendicular to the axis, the optical path length can be shortened, and laser light can be supplied to a larger number of work areas by switching over time as compared with the conventional case.

また、この発明はミラー又はミラーおよび分配モジュ
ールをステージに設け、そのステージを移動させること
により、上記効果に加え光学系の部品点数が削減できる
という効果を有する。In addition, the present invention has an effect that the number of components of the optical system can be reduced in addition to the above effect by providing a mirror or a mirror and a distribution module on a stage and moving the stage.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図はこの発明の実施例を示す図，第２図，第３図，
第４図及び第５図はこの発明の他の実施例を示す図，第
６図は対象とするレーザ光分配装置の使用内容を説明す
るための図，第７図は従来の分岐ユニットを示す図であ
る。 図において，（１）はレーザ発振器，（２）は分岐ユニ
ット，（３）は光ファイバー，（４）は対物レンズ，
（５）は第１のワーク，（６）は光ファイバー，（７）
は対物レンズ，（８）は第２のワーク，（９）は可動ミ
ラー，（10）はハーフミラー，（11）は全反射形ミラ
ー，（12）はハーフミラー，（13）は全反射形ミラー，
（14）はステージ，（15）は反射ミラー，（16）は分岐
板，（17）はファイバー取付板，（18）は方向切換ミラ
ーである。 なお，図中同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示してある。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2, FIG.
4 and 5 are views showing another embodiment of the present invention, FIG. 6 is a view for explaining the contents of use of a target laser beam distribution device, and FIG. 7 is a view showing a conventional branch unit. FIG. In the figure, (1) is a laser oscillator, (2) is a branch unit, (3) is an optical fiber, (4) is an objective lens,
(5) is the first work, (6) is an optical fiber, (7)
Is an objective lens, (8) is a second work, (9) is a movable mirror, (10) is a half mirror, (11) is a total reflection mirror, (12) is a half mirror, and (13) is a total reflection type. mirror,
(14) is a stage, (15) is a reflection mirror, (16) is a branch plate, (17) is a fiber mounting plate, and (18) is a direction switching mirror. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals.

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】レーザ光を発生するレーザ発振器からのレ
ーザ光を、上記レーザ光の光軸方向に設けられた複数の
作業エリアのレーザ光分配箇所へ分配する分岐ユニット
を有するレーザ光分配装置において、上記レーザ発振器
からのレーザ光の光軸上に複数個配置され、時分割制御
により、複数のミラーに対応した作業エリアに上記レー
ザ光を供給するための可動形のミラーと、上記レーザ光
の光軸方向に対し、垂直で、かつ上記可動形のミラーで
反射されたレーザ光の光軸方向に所定の間隔で配置さ
れ、上記可動形のミラーで反射されたレーザ光を受け
て、同一作業エリアにおける複数のレーザ光分配箇所へ
上記可動形のミラーで反射されたレーザ光を分配するハ
ーフミラーと全反射形のミラーを有する分配モジュール
とにより上記分岐ユニットを構成したことを特徴とする
レーザ光分配装置。1. A laser light distribution device having a branch unit for distributing laser light from a laser oscillator for generating laser light to laser light distribution points in a plurality of work areas provided in the optical axis direction of the laser light. A movable mirror for supplying the laser light to a work area corresponding to a plurality of mirrors, which is arranged on the optical axis of the laser light from the laser oscillator by time division control, and The laser beam reflected by the movable mirror is perpendicular to the optical axis direction and is arranged at a predetermined interval in the optical axis direction of the laser light reflected by the movable mirror. The branch unit is formed by a half mirror for distributing the laser light reflected by the movable mirror to a plurality of laser light distribution points in the area and a distribution module having a total reflection mirror. Laser beam distribution apparatus characterized by being configured and. 【請求項２】レーザ光を発生するレーザ発振器からのレ
ーザ光を、上記レーザ光の光軸方向に設けられた複数の
作業エリアのレーザ光分配箇所へ分配する分岐ユニット
を有するレーザ光分配装置において、上記複数の作業エ
リアの位置に対応して上記レーザ発振器からのレーザ光
の光軸方向に移動するステージと、上記レーザ光の光軸
上に位置するように上記ステージに設けられ、上記ステ
ージの作業エリアに対応した位置への移動によりその位
置に対応した作業エリアに上記レーザ光を供給するため
のミラーと、上記レーザ光の光軸方向に対し垂直で、か
つ上記ミラーで反射されたレーザ光の光軸方向に所定の
間隔で配置され、上記ミラーで反射されたレーザ光を受
けて、同一作業エリアにおける複数のレーザ光分配箇所
へ上記ミラーで反射されたレーザ光を分配するハーフミ
ラーと全反射形のミラーを有する分配モジュールとによ
り上記分岐ユニットを構成したことを特徴とするレーザ
光分配装置。2. A laser light distribution device having a branch unit for distributing laser light from a laser oscillator for generating laser light to laser light distribution points in a plurality of work areas provided in the optical axis direction of the laser light. A stage moving in the optical axis direction of the laser light from the laser oscillator corresponding to the positions of the plurality of work areas, and a stage provided on the stage so as to be located on the optical axis of the laser light; A mirror for supplying the laser light to the work area corresponding to the position by moving to the position corresponding to the work area, and a laser light perpendicular to the optical axis direction of the laser light and reflected by the mirror Are arranged at predetermined intervals in the optical axis direction of the laser beam, receive the laser beam reflected by the mirror, and return the laser beam to a plurality of laser beam distribution locations in the same work area by the mirror. Laser light distributor being characterized in that constitute the branching unit by a distribution module having a mirror and a total reflection type half mirror for distributing the laser beam. 【請求項３】レーザ光を発生するレーザ発振器からのレ
ーザ光を、上記レーザ光の光軸方向に設けられた複数の
作業エリアのレーザ光分配箇所へ分配する分岐ユニット
を有するレーザ光分配装置において、上記複数の作業エ
リアの位置に対応して上記レーザ発振器からのレーザ光
の光軸方向に移動するステージと、上記レーザ光の光軸
上に位置するように上記ステージに設けられ、上記ステ
ージの作業エリアに対応した位置への移動によりその位
置に対応した作業エリアに上記レーザ光を供給するため
のミラーと、上記ステージに上記レーザ光の光軸方向に
対し垂直に配置され、上記ミラーで反射されたレーザ光
を受けて、同一作業エリアにおける複数のレーザ光分配
箇所へ上記ミラーで反射されたレーザ光を分配するハー
フミラーと全反射形のミラーを有する分配モジュールと
により上記分岐ユニットを構成したことを特徴とするレ
ーザ光分配装置。3. A laser light distribution device having a branch unit for distributing laser light from a laser oscillator for generating laser light to laser light distribution points in a plurality of work areas provided in the optical axis direction of the laser light. A stage moving in the optical axis direction of the laser light from the laser oscillator corresponding to the positions of the plurality of work areas, and a stage provided on the stage so as to be located on the optical axis of the laser light; A mirror for supplying the laser light to a work area corresponding to the position by moving to a position corresponding to the work area; and a mirror disposed on the stage perpendicular to the optical axis direction of the laser light, and reflected by the mirror. A half mirror that receives the laser beam and distributes the laser beam reflected by the mirror to a plurality of laser beam distribution locations in the same work area, and a total reflection By the distribution module having a mirror laser beam dispensing device is characterized in that constitute the branch unit. 【請求項４】レーザ光を発生するレーザ発振器からのレ
ーザ光を、上記レーザ光の光軸を挟むように上記レーザ
光の光軸方向に沿って設けられた複数の作業エリアのレ
ーザ光分配箇所へ分配する分岐ユニットを有するレーザ
光分配装置において、上記レーザ光の光軸方向に有する
複数の作業エリアの位置に対応して上記レーザ光の光軸
方向に移動するステージと、上記レーザ光の光軸上に位
置するように上記ステージに設けられ、上記ステージの
作業エリアに対応した位置への移動によりその位置に対
応した上記レーザ光の光軸を挟む複数の作業エリアを、
時分割にて方向切換えすることにより順次選択し、その
選択された作業エリアへ上記レーザ光を供給するための
方向切換えミラーと、上記ステージに上記レーザ光の光
軸方向に対し垂直でかつ上記方向切換えミラーを挟むよ
うに複数配置され、上記方向切換えミラーで反射された
レーザ光を受けて、同一作業エリアにおける複数のレー
ザ光分配箇所へ上記方向切換えミラーで反射されたレー
ザ光を分配するハーフミラーと全反射形のミラーを有す
る分配モジュールとにより上記分岐ユニットを構成した
ことを特徴とするレーザ光分配装置。4. A laser beam distributing point of a plurality of work areas provided along a direction of an optical axis of the laser beam so as to sandwich an optical axis of the laser beam from a laser oscillator for generating the laser beam. A stage that moves in the optical axis direction of the laser light corresponding to the positions of a plurality of work areas in the optical axis direction of the laser light, and a light beam of the laser light. Provided on the stage so as to be located on the axis, a plurality of work areas sandwiching the optical axis of the laser light corresponding to the position by moving to a position corresponding to the work area of the stage,
A direction switching mirror for sequentially selecting by switching the direction in a time-division manner and supplying the laser light to the selected work area; and a stage perpendicular to the optical axis direction of the laser light and the direction on the stage. A plurality of half mirrors arranged so as to sandwich the switching mirror and receiving the laser beam reflected by the direction switching mirror and distributing the laser beam reflected by the direction switching mirror to a plurality of laser beam distribution locations in the same work area. And a distribution module having a total reflection mirror.
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