JP2610329B2 - Surface acoustic wave device - Google Patents
Surface acoustic wave deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、弾性表面波装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to a surface acoustic wave device.
（従来の技術） 従来より、例えばフィルタとして使用されている弾性
表面波装置における電極構成は、LiNbO3、LiTaO3等の圧
電材料で形成された圧電基板表面上に、入力側電極とな
る第１の櫛歯状電極（以下、IDT）と出力側電極となる
第２の櫛歯状電極とを対向させ、その電極指を所定の間
隔を設けて互いに交差させて構成されている。(Prior Art) Conventionally, for example, an electrode configuration in a surface acoustic wave device used as a filter is such that a first electrode serving as an input-side electrode is provided on a piezoelectric substrate surface formed of a piezoelectric material such as LiNbO 3 or LiTaO 3 . And a second comb-shaped electrode serving as an output-side electrode are opposed to each other, and their electrode fingers are arranged at predetermined intervals to intersect with each other.
このIDTの電極構造において、入出力電極が共に交差
幅一定の正規型電極を用いると、電極対数をＮとすれば
周波数帯域幅△ｆ＝0.88/N、サイドローブレベル−26dB
の周波数特性が得られるが、さらに所望の周波数特性、
例えば通過帯域内の周波数特性がフラットであること
や、サイドローブレベルの抑圧等の要求を満たすため
に、一般に入力側電極または出力側電極の一方にアポダ
イズ法等による重み付けがなされた電極構造が用いられ
ている。In this IDT electrode structure, when a normal electrode having both input and output electrodes having a constant cross width is used, assuming that the number of electrode pairs is N, the frequency bandwidth Δf = 0.88 / N and the side lobe level −26 dB
Is obtained, but further desired frequency characteristics,
For example, in order to satisfy requirements such as flat frequency characteristics in the passband and suppression of side lobe levels, an electrode structure in which one of the input side electrode and the output side electrode is generally weighted by an apodization method or the like is used. Have been.
第７図はこのような従来の弾性表面波装置を示す図、
第７図（ａ）は従来の双方向性弾性表面波装置の構成図
であり、第７図（ｂ）は同図（ａ）の弾性表面波（SA
W）の励振パワー分布を示した図である。同図中破線１
に示すようにアポダイズ法による重み付けが電極１の開
口長の中心軸に対しほぼ対称にかけられた弾性表面波装
置においては、交差幅方向の中心にSAW励振パワーが集
中し周囲のパワーが小さくなってしまう。このような電
極構成の弾性表面波装置では、アポダイズ型電極２の交
差幅方向のほぼ中心即ちSAW励振パワーが集中する部分
から放射された弾性表面波４は正規型電極３で受信され
る。このとき、正規型電極３において、弾性表面波のパ
ワーが集中する領域Ａに対して弾性表面波のパワーが集
中しない領域Ｂは負荷となり、領域Ｂから新たに弾性表
面波５が放射される。さらに、この弾性表面波５はアポ
ダイズ型電極１で同様の理由で反射され、トリプル・ト
ランジット・エコー（以下、TTE）が生じる。その結
果、TTEとして不要スプリアスが発生してしまうという
問題があった。これを解決する方法として、励振パルス
パワーを均一にするようチルトをかける方法が知られて
いる。FIG. 7 is a diagram showing such a conventional surface acoustic wave device,
FIG. 7A is a configuration diagram of a conventional bidirectional surface acoustic wave device, and FIG. 7B is a diagram showing the surface acoustic wave (SA) shown in FIG.
FIG. 9 is a diagram showing an excitation power distribution of FIG. Dashed line 1 in FIG.
In the surface acoustic wave device in which the weighting by the apodizing method is applied almost symmetrically with respect to the central axis of the opening length of the electrode 1 as shown in FIG. 1, the SAW excitation power is concentrated at the center in the cross width direction, and the surrounding power becomes small. I will. In the surface acoustic wave device having such an electrode configuration, the surface acoustic wave 4 radiated from the approximate center of the apodized electrode 2 in the cross width direction, that is, the portion where the SAW excitation power is concentrated is received by the regular electrode 3. At this time, in the normal-type electrode 3, a region B where the power of the surface acoustic wave is not concentrated with respect to a region A where the power of the surface acoustic wave is concentrated becomes a load, and the surface acoustic wave 5 is newly radiated from the region B. Further, the surface acoustic wave 5 is reflected by the apodized electrode 1 for the same reason, and a triple transit echo (hereinafter, TTE) is generated. As a result, there is a problem that unnecessary spurious is generated as TTE. As a method of solving this, a method of applying a tilt so as to make the excitation pulse power uniform is known.
第８図（ａ）はハミング関数のアポダイズに直線状チ
ルトをかけた電極６の構造を示す図であり、第８図
（ｂ）は同図（ａ）の重み付けの場合の開口長方向の励
振パワー分布を示した図である。FIG. 8 (a) is a diagram showing the structure of the electrode 6 obtained by applying a linear tilt to the apodization of the Hamming function, and FIG. 8 (b) shows the excitation in the opening length direction in the case of weighting in FIG. 8 (a). FIG. 4 is a diagram showing a power distribution.
第８図（ｂ）に示したように、チルトをかけることに
より励振パワーの均一性が改善され、良好な特性のフィ
ルタが実現できる。しかし、このようなチルト形状は第
７図に示したような双方向性電極で構成した損失の大き
いフィルタでは十分に励振強度が均一でなくても有効で
あったが、低損失フィルタではわずかな励振パワーの不
均一性に起因するTTEが生じ、結果的に不要スプリアス
が生じて特性に悪影響を及ぼすため、十分な励振パワー
の均一性が要求される。As shown in FIG. 8B, by applying a tilt, the uniformity of the excitation power is improved, and a filter having good characteristics can be realized. However, such a tilt shape is effective even when the excitation intensity is not sufficiently uniform in a high loss filter composed of bidirectional electrodes as shown in FIG. 7, but is small in a low loss filter. Since TTE occurs due to the non-uniformity of the excitation power, and unnecessary spurs are generated as a result, adversely affecting the characteristics. Therefore, sufficient uniformity of the excitation power is required.
また、第９図に示すように、アポダイズにサイドロー
ブを含むような重み付けをした電極７では、直線状やハ
ミング状のチルトではサイドローブ部の励振パワーが小
さくなってしまい、十分な均一性を得るのは不可能であ
り、TTEの発生原因となっていた。Further, as shown in FIG. 9, in the electrode 7 weighted such that the apodization includes side lobes, the excitation power of the side lobes becomes small in a linear or hamming-shaped tilt, and sufficient uniformity is obtained. It was impossible to obtain, and it was the cause of TTE.
第10図は、このような電極構造を有する低損失フィル
タを示す図で、圧電基板11上には、入力側電極12a、12b
および出力側電極13a、13b、13cが夫々交互に配置され
ており、各入力側電極12a、12bはボンディングパッド14
により接続され、各出力側電極13a、13b、13cはボンデ
ィングパッド15により夫々接続されている。また各入力
側電極12a、12bは上記第９図に示した電極構造のアポダ
イズ型櫛歯電極、各出力側電極13a、13b、13cは正規型
櫛歯電極から構成されている。FIG. 10 is a diagram showing a low-loss filter having such an electrode structure, in which input electrodes 12a and 12b are provided on a piezoelectric substrate 11.
And output-side electrodes 13a, 13b, 13c are alternately arranged, and each input-side electrode 12a, 12b is
And the output-side electrodes 13a, 13b, 13c are connected by bonding pads 15, respectively. Each of the input electrodes 12a and 12b is composed of an apodized comb electrode having the electrode structure shown in FIG. 9, and each of the output electrodes 13a, 13b and 13c is composed of a regular comb electrode.
このような低損失フィルタにおける周波数特性は第10
図（ｂ）に示すように、通過帯域内にリップル17が生じ
てしまい、特性を劣化させるという大きな問題があっ
た。The frequency characteristic of such a low-loss filter is the tenth
As shown in FIG. 7B, a ripple 17 occurs in the pass band, and there is a serious problem that characteristics are deteriorated.
（発明が解決しようとする課題） このように、インパルス応答によるメインローブおよ
びサイドローブを含むアポダイズがかけられたIDTにお
いては、SAW励振パワーが不均一なためパワーの小さい
位置における正規型電極から反射が起こり、TTEとして
不要スプリアスが発生してしまうという問題があり、特
に多電極型等の低損失フィルタでは、このTTEによる不
要スプリアスがフィルタの特性を大きく劣化させる原因
となっていた。(Problems to be Solved by the Invention) As described above, in the IDT to which the apodization including the main lobe and the side lobe due to the impulse response is applied, since the SAW excitation power is non-uniform, the reflection from the regular electrode at the position where the power is small is obtained. This causes a problem that unnecessary spurious is generated as a TTE. Particularly, in a low-loss filter of a multi-electrode type or the like, the unnecessary spurious due to the TTE causes a significant deterioration in filter characteristics.
本発明は、上述した従来の問題点を解決するためにな
されたもので、不要スプリアスを除去するよう重み付け
されたIDTの励振パワー分布を十分に均一化した弾性表
面波装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and has as its object to provide a surface acoustic wave device in which the excitation power distribution of an IDT weighted to remove unnecessary spurious components is sufficiently uniform. And
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明の第１の弾性表面波装置は、圧電基板と、この
圧電基板の一主面上に形成され櫛歯状の入力側電極およ
び櫛歯状の出力側電極とを有する弾性表面波装置におい
て、前記入力側電極または前記出力側電極のいずれか一
方の電極は、この電極の開口長全体にわたってチルト傾
斜を有するインパルス応答によるメインローブと、この
メインローブの両側に形成され、前記メインローブの一
方の側ではそれぞれ前記開口長の半分にわたるように、
かつ両側では前記開口長全体にわたるように形成され直
線状のチルト傾斜を有するインパルス応答によるサイド
ローブとを有し、前記チルト傾斜の方向が隣接する前記
サイドローブまたは前記メインローブごとに反転したア
ポダイズ電極から構成されたことを特徴とするものであ
る。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) A first surface acoustic wave device according to the present invention includes a piezoelectric substrate, a comb-shaped input electrode formed on one main surface of the piezoelectric substrate, and a comb. In a surface acoustic wave device having a toothed output-side electrode, one of the input-side electrode and the output-side electrode has a main lobe by an impulse response having a tilt inclination over the entire opening length of the electrode, It is formed on both sides of this main lobe, and on one side of the main lobe, each extends over half of the opening length,
And an apodized electrode having side lobes formed by the impulse response having a linear tilt slope formed on the both sides so as to extend over the entire opening length, and in which the direction of the tilt slope is inverted for each adjacent side lobe or main lobe. Characterized by the following.
また本発明の第２の弾性表面波装置は、圧電基板と、
この圧電基板の一主面上に形成され櫛歯状の入力側電極
および櫛歯状の出力側電極とを有する弾性表面波装置に
おいて、前記入力側電極または前記出力側電極のいずれ
か一方の電極は、この電極の開口長全体にわたってチル
ト傾斜を有するインパルス応答によるメインローブと、
前記開口長全体にわたって直線状のチルト傾斜を有する
インパルス応答によるサイドローブとを有し、前記チル
ト傾斜の方向が隣接する前記サイドローブまたは前記メ
インローブごとに反転したアポダイズ電極から構成され
たことを特徴とするものである。Further, a second surface acoustic wave device according to the present invention includes a piezoelectric substrate,
In a surface acoustic wave device having a comb-shaped input electrode and a comb-shaped output electrode formed on one main surface of the piezoelectric substrate, any one of the input electrode and the output electrode may be used. Is a main lobe by an impulse response having a tilt inclination over the entire opening length of the electrode,
A side lobe by an impulse response having a linear tilt inclination over the entire aperture length, and the tilt directional direction is constituted by an apodized electrode inverted for each adjacent side lobe or main lobe. It is assumed that.
（作 用） インパルス応答にメインローブとサイドローブを含む
アポダイズ型電極のチルトをサイドローブ、メインロー
ブ毎に反転することにより、IDTの励振パワー分布が十
分に均一になり、その結果、弾性表面波の励振パワーの
不均一性に起因するTTEによる不要スプリアスが除去さ
れる。(Operation) By inverting the tilt of the apodized electrode including the main lobe and the side lobe in the impulse response for each side lobe and main lobe, the excitation power distribution of the IDT becomes sufficiently uniform, and as a result, the surface acoustic wave Unnecessary spurious due to the TTE due to the non-uniformity of the excitation power is removed.
（実施例） 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明
する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は実施例の弾性表面波装置の電極構造を示す図
で、図中破線A1は重み付けのエンベローブを描いたもの
である。LiNbO3、LiTaO3、水晶等の圧電材料からなる圧
電基板21の一主面上には、薄膜形成技術例えば蒸着膜の
フォトエッチング法等によって形成されたAl等からなる
櫛歯状の入力側電極22a、22bおよび出力側電極23a、23
b、23cが設けられている。Figure 1 is a diagram showing an electrode structure of a surface acoustic wave device of the embodiment, in the figure the dashed line A 1 is one depicting the envelope of weighted. On one main surface of a piezoelectric substrate 21 made of a piezoelectric material such as LiNbO 3 , LiTaO 3 , quartz, etc., a comb-shaped input-side electrode made of Al or the like formed by a thin-film forming technique such as a photo-etching method of a vapor-deposited film. 22a, 22b and output side electrodes 23a, 23
b and 23c are provided.
この弾性波装置における入力側電極22a、22bおよび出
力側電極23a、23b、23cは、夫々交互に配置され各入力
側電極22a、22bはボンディングパッド24により、各出力
側電極23a、23b、23cはボンディングパッド25により接
続されている。また上記各入力側電極22a、22bはアポダ
イズ型櫛歯電極、上記各出力側電極23a、23b、23cは正
規型櫛歯電極から構成されている。The input-side electrodes 22a, 22b and the output-side electrodes 23a, 23b, 23c in this elastic wave device are arranged alternately, and the respective input-side electrodes 22a, 22b are formed by bonding pads 24, and the respective output-side electrodes 23a, 23b, 23c are formed. They are connected by bonding pads 25. Each of the input-side electrodes 22a and 22b is formed of an apodized comb electrode, and each of the output-side electrodes 23a, 23b and 23c is formed of a regular comb electrode.
入力側電極22a、22bの構成は第２図に示すように、所
望の周波数特性と組み合せて得られたインパルス応答に
対応する重み付けがなされており、メインローブ部Ｍお
よびサイドローブ部Ｎを含む重み付けとなっている。各
櫛歯電極のチルト形状は基本的には直線であるが、第２
図に示したように、メインローブ部Ｍに対しサイドロー
ブ部Ｎが折れ曲がっており、メインローブ部Ｍの傾斜幅
を１とすると、サイドローブ部Ｎの傾斜幅は1/2となる
形状となっている。As shown in FIG. 2, the configuration of the input-side electrodes 22a and 22b is weighted corresponding to the impulse response obtained in combination with the desired frequency characteristic, and includes weights including the main lobe M and the side lobe N. It has become. Although the tilt shape of each comb electrode is basically a straight line,
As shown in the figure, the side lobe portion N is bent with respect to the main lobe portion M, and if the inclination width of the main lobe portion M is 1, the inclination width of the side lobe portion N becomes 1/2. ing.
尚、電極指26の線幅は夫々弾性表面波の波長λの1/4
の寸法となっており、このような電極指26が波長λの1/
2のピッチで配列されている。さらに、櫛歯電極間の交
差部以外の部分には、弾性表面波の乱れを防ぐために、
交差した電極指26と対向して夫々ダミー電極27が配置さ
れている。The line width of each of the electrode fingers 26 is 1/4 of the wavelength λ of the surface acoustic wave.
The electrode finger 26 has a length of 1 / λ of the wavelength λ.
They are arranged at a pitch of 2. Furthermore, in order to prevent disturbance of the surface acoustic wave,
Dummy electrodes 27 are arranged to face the intersecting electrode fingers 26, respectively.
このように構成された実施例の弾性表面波装置では、
ある周波数帯域を通過させる低損失フィルタとして動作
する。このような電極構造では、第３図（ａ）、（ｂ）
に示したように開口長方向の励振パワー分布28が十分均
一になっているので、励振された弾性表面波にとって出
力側電極である正規型櫛歯電極23a、23b、23cは、開口
長方向のどの部分をとってもほぼ等しい負荷にみられ、
正規型電極から反射が生じない。従って、出力側電極23
a、23b、23cの反射によるTTEを除去することができ、第
３図（ｃ）に示すように、通過帯域内に不要スプリアス
のない良好な特性の弾性表面波装置を得ることができ
る。In the surface acoustic wave device of the embodiment configured as described above,
It operates as a low-loss filter that passes a certain frequency band. In such an electrode structure, FIGS. 3 (a) and 3 (b)
As shown in the figure, the excitation power distribution 28 in the opening length direction is sufficiently uniform, so that the regular comb-shaped electrodes 23a, 23b, and 23c, which are output electrodes for the excited surface acoustic waves, Every part has almost the same load,
No reflection occurs from the regular electrode. Therefore, the output side electrode 23
The TTE due to the reflection at a, 23b, and 23c can be removed, and as shown in FIG. 3 (c), a surface acoustic wave device having good characteristics without unnecessary spurious components in the pass band can be obtained.
尚、本実施例では電極線幅が1/4λのものを示した
が、本発明はこのような線幅に限定されるものではな
く、第４図（ａ）、（ｂ）に示すように、電極による音
響反射を生じない1/8スプリット電極構成あるいは1/8λ
−5/8λ電極構成にも適合することができる。In this embodiment, the electrode line width is shown as 1 / 4λ. However, the present invention is not limited to such a line width, as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b). , 1/8 split electrode configuration or 1 / 8λ that does not cause acoustic reflection by the electrode
It can be adapted to the -5 / 8λ electrode configuration.
第５図は他の電極構造を有する弾性表面波装置に本発
明を適用した実施例を示す図、各入力側電極31a、31bお
よび各出力側電極23a、23b、23cの配置構成は前述第１
の実施例と同様である。この弾性表面波装置における入
力側電極31a、31bのエンベローブは破線A2に示すよう
に、サイドローブ部の傾斜をメインローブ部の傾斜と同
様、開口長いっぱいに傾斜をもたせた構造である。FIG. 5 is a view showing an embodiment in which the present invention is applied to a surface acoustic wave device having another electrode structure. The arrangement of each input-side electrode 31a, 31b and each output-side electrode 23a, 23b, 23c is the same as that of the first embodiment.
This is the same as the embodiment. Input electrode 31a in the surface acoustic wave device, the envelope of 31b as indicated by the broken line A 2, similarly to the inclination of the main lobe of the inclination of the side lobe portion, a structure that remembering inclined aperture length full.
第６図はさらに本発明の他の実施例を示す図で、各入
力側電極41a、41bにサイドローブを複数含むような重み
付けをした場合においても、同図破線A3に示したよう
に、チルトの傾斜をメインローブ、サイドローブ毎に交
互に傾斜の向きを変化させたチルトをかけることによ
り、励振パワーを十分均一にすることができる。In view showing another embodiment of FIG. 6 further present invention, as the input side electrode 41a, even when the weighting as 41b to include a plurality of side lobes, shown in FIG dashed A 3, The excitation power can be made sufficiently uniform by applying a tilt in which the tilt direction is alternately changed for the main lobe and the side lobe.
さらに、低損失の弾性表面波装置を実現する方法とし
て、電極に多相励振等による方向性をもたせる方法もあ
る。このような方向性トランスジューサにおいても、前
記実施例で述べた電極構造を適用することができる。Furthermore, as a method of realizing a low-loss surface acoustic wave device, there is a method of giving directions to electrodes by multiphase excitation or the like. The electrode structure described in the above embodiment can be applied to such a directional transducer.
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の弾性表面波装置によれ
ば、櫛歯状電極の励振パワー分布が十分に均一になり、
その結果、弾性表面波の励振パワーの不均一性に起因す
るTTEによる不要スプリアスの除去が可能となる。[Effects of the Invention] As described above, according to the surface acoustic wave device of the present invention, the excitation power distribution of the comb-shaped electrodes becomes sufficiently uniform,
As a result, unnecessary spurious due to TTE due to non-uniformity of the excitation power of the surface acoustic wave can be removed.
第１図は本発明の弾性表面波装置の一実施例を示す正面
図、第２図は第１図のアポダイズ型櫛歯電極の構造を示
す図、第３図（ａ）、（ｂ）は実施例のアポダイズ型櫛
歯電極の励振パワー分布を説明するための図、同図
（ｃ）は本発明の弾性表面波装置における周波数特性を
示すグラフ、第４図は実施例の弾性表面波装置における
他の電極構造を示す図、第５図および第６図は本発明の
他の実施例を示す電極構成図、第７図（ａ）は従来の弾
性表面波装置を示す正面図、第７図（ｂ）は第７図
（ａ）の励振パワー分布を説明するための図、第８図お
よび第９図は従来のアポダイズ型櫛歯電極構造の詳細図
および励振パワー分布図、第10図（ａ）は第９図の電極
構造を用いた低損失フィルタの構成図、第10図（ｂ）は
同図（ａ）の従来の弾性表面波装置における周波数特性
を示すグラフである。 21……圧電基板 22a、22b……入力側電極（アポダイズ型櫛歯電極） 23a、23b、23c……出力側電極（正規型櫛歯電極） A1、A2、A3……アポダイズ型重み付けのエンベローブ 28……励振パワー分布曲線FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the structure of an apodized comb electrode of FIG. 1, and FIGS. FIG. 4 is a view for explaining the excitation power distribution of the apodized comb-shaped electrode of the embodiment, FIG. 4C is a graph showing the frequency characteristics of the surface acoustic wave device of the present invention, and FIG. 4 is a surface acoustic wave device of the embodiment; FIGS. 5 and 6 are diagrams showing an electrode configuration showing another embodiment of the present invention, FIG. 7 (a) is a front view showing a conventional surface acoustic wave device, FIG. FIG. 7 (b) is a diagram for explaining the excitation power distribution of FIG. 7 (a), FIG. 8 and FIG. 9 are detailed diagrams and excitation power distribution diagrams of a conventional apodized comb electrode structure, FIG. (A) is a configuration diagram of a low-loss filter using the electrode structure of FIG. 9, and (b) of FIG. 10 is a conventional elastic surface of FIG. 6 is a graph showing frequency characteristics of the wave device. 21 ...... piezoelectric substrate 22a, 22b ...... input electrodes (apodization type comb electrodes) 23a, 23b, 23c ...... output electrode (normal type comb electrodes) A 1, A 2, A 3 ...... apodization type weighting Envelope 28 …… Excitation power distribution curve
Claims (2)
成され櫛歯状の入力側電極および櫛歯状の出力側電極と
を有する弾性表面波装置において、 前記入力側電極または前記出力側電極のいずれか一方の
電極は、この電極の開口長全体にわたってチルト傾斜を
有するインパルス応答によるメインローブと、このメイ
ンローブの両側に形成され、前記メインローブの一方の
側ではそれぞれ前記開口長の半分にわたるように、かつ
両側では前記開口長全体にわたるように形成され直線状
のチルト傾斜を有するインパルス応答によるサイドロー
ブとを有し、前記チルト傾斜の方向が隣接する前記サイ
ドローブまたは前記メインローブごとに反転したアポダ
イズ電極から構成されたことを特徴とする弾性表面波装
置。1. A surface acoustic wave device comprising a piezoelectric substrate, and a comb-shaped input electrode and a comb-shaped output electrode formed on one main surface of the piezoelectric substrate, wherein the input electrode or the comb-shaped output electrode is One of the output-side electrodes is formed on both sides of the main lobe by an impulse response having a tilt inclination over the entire opening length of the electrode, and the opening length is formed on one side of the main lobe. And a side lobe formed by an impulse response having a linear tilt slope formed so as to extend over half of the opening length and on both sides of the opening length, and the side lobe or the main lobe in which the tilt tilt direction is adjacent to the side lobe. A surface acoustic wave device comprising an apodized electrode inverted every time.
成された櫛歯状の入力側電極および櫛歯状の出力側電極
とを有する弾性表面波装置において、 前記入力側電極または前記出力側電極のいずれか一方の
電極は、この電極の開口長全体にわたってチルト傾斜を
有するインパルス応答によるメインローブと、前記開口
長全体にわたって直線状のチルト傾斜を有するインパル
ス応答によるサイドローブとを有し、前記チルト傾斜の
方向が隣接する前記サイドローブまたは前記メインロー
ブごとに反転したアポダイズ電極から構成されたことを
特徴とする弾性表面波装置。2. A surface acoustic wave device comprising: a piezoelectric substrate; and a comb-shaped input electrode and a comb-shaped output electrode formed on one main surface of the piezoelectric substrate. One of the output-side electrodes has a main lobe by an impulse response having a tilt inclination over the entire opening length of the electrode, and a side lobe by an impulse response having a linear tilt inclination over the entire opening length. A surface acoustic wave device comprising an apodized electrode in which the direction of the tilt inclination is inverted for each of the adjacent side lobes or main lobes.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP63325343A JP2610329B2 (en) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | Surface acoustic wave device |
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|---|---|---|---|
| JP63325343A JP2610329B2 (en) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | Surface acoustic wave device |
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|---|---|
| JPH02170711A JPH02170711A (en) | 1990-07-02 |
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ID=18175751
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63325343A Expired - Lifetime JP2610329B2 (en) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | Surface acoustic wave device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2610329B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0548373A (en) * | 1991-08-12 | 1993-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | Surface acoustic wave circuit |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5740684A (en) * | 1980-08-25 | 1982-03-06 | Tokyo Daigaku | D-t pellet injector for nuclear fusion |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63325343A patent/JP2610329B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5740684A (en) * | 1980-08-25 | 1982-03-06 | Tokyo Daigaku | D-t pellet injector for nuclear fusion |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02170711A (en) | 1990-07-02 |
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