JP2605839B2 - Method and apparatus for manufacturing magnetic recording medium - Google Patents

Method and apparatus for manufacturing magnetic recording medium

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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は強磁性金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法お
よび装置に関するものであり、特に実用性能向上のため
金属薄膜層形成後にトップコート層として滑剤層を真空
蒸着法により均質の滑剤層を形成する手段を提供する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium, and particularly to a lubricant layer as a top coat layer after forming a metal thin film layer for improving practical performance. Provides a means for forming a homogeneous lubricant layer by a vacuum evaporation method.

従来の技術 Co,Ni,Feまたはそれらを主成分とする合金を真空蒸着
法,スパッタ法,イオンプレーティング等の真空成膜法
によりポリエステルフィルム,ポリイミドフィルムなど
の高分子フィルムや非磁性金属基板などからなる基板上
に形成した強磁性金属薄膜型磁気記録媒体は、従来の塗
布型磁気記録媒体に比して記録密度を飛躍的に向上する
ことが可能である。この高記録密度化のための条件とし
て、記録再生欠陥を極力減少させるとともに、磁気ヘッ
ド,記録媒体間のスペーシングロスを極力低減させるこ
とが重要であり、また記録媒体としては耐久性を兼ね備
えていることが必要である。それらを解決するため、金
属薄膜層形成後トップコートとしての滑剤層形成の方法
の一つとして、脂肪酸,脂肪酸エステル,脂肪酸アミド
等の滑剤を真空蒸着法にて形成する方法がある。
Conventional technology Co, Ni, Fe or alloys containing them as the main components are polymer films such as polyester films and polyimide films, non-magnetic metal substrates, etc. by vacuum deposition, sputtering, ion plating, etc. The ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium formed on a substrate made of is capable of dramatically improving the recording density as compared with a conventional coating type magnetic recording medium. As conditions for this high recording density, it is important to reduce recording / reproducing defects as much as possible and to reduce spacing loss between a magnetic head and a recording medium as much as possible. It is necessary to be. In order to solve these problems, there is a method of forming a lubricant layer as a top coat after forming a metal thin film layer by forming a lubricant such as a fatty acid, a fatty acid ester, or a fatty acid amide by a vacuum evaporation method.

以下図面を参照しながら、上述した磁気記録媒体の製
造法の一例について説明する。
Hereinafter, an example of a method for manufacturing the above-described magnetic recording medium will be described with reference to the drawings.

第4図は磁気記録媒体の構造を、第5図は従来の磁気
記録媒体の製造法および製造装置を示すものである。
FIG. 4 shows the structure of a magnetic recording medium, and FIG. 5 shows a conventional method and apparatus for manufacturing a magnetic recording medium.

第4図において、1は基板、2は真空中成膜法により
形成される強磁性金属薄膜層、3はバックコーティング
層、4はトップコート層としての滑剤層である。
In FIG. 4, 1 is a substrate, 2 is a ferromagnetic metal thin film layer formed by a film forming method in a vacuum, 3 is a back coating layer, and 4 is a lubricant layer as a top coat layer.

第5図において、11はトップコート形成前の磁気記録
媒体でありロール状に巻かれている。12,14はパスロー
ル、13はメインロールであり、磁気記録媒体を密着搬送
している。15はトップコート形成済の磁気記録媒体であ
り連続的に巻き取られている。16は滑剤が充填された蒸
発源、17は蒸発源16の滑剤を間接的に加熱溶融し蒸発さ
せる熱媒槽である。18は熱媒循環装置であり、これは熱
媒の温度を制御するとともに、熱媒槽17に熱媒を供給し
ており、真空槽外に設けられている。19は防着板であ
り、滑剤の蒸発粒子が真空槽内の磁気記録媒体、あるい
はそれを搬送する構成要素部品の汚染を防止するために
設けられている。20は蒸発レートモニターであり、蒸発
量を検出し、熱媒循環装置18の熱媒の温度を調整するた
めのものである。
In FIG. 5, reference numeral 11 denotes a magnetic recording medium before forming a top coat, which is wound in a roll. 12 and 14 are pass rolls and 13 is a main roll, which closely transports the magnetic recording medium. Reference numeral 15 denotes a magnetic recording medium on which a top coat has been formed, and is continuously wound. Reference numeral 16 denotes an evaporation source filled with a lubricant, and 17 denotes a heat medium tank that indirectly heats and melts and evaporates the lubricant of the evaporation source 16. Reference numeral 18 denotes a heat medium circulating device, which controls the temperature of the heat medium, supplies the heat medium to the heat medium tank 17, and is provided outside the vacuum tank. Reference numeral 19 denotes an anti-adhesion plate, which is provided to prevent the evaporated particles of the lubricant from contaminating the magnetic recording medium in the vacuum chamber or the component parts that convey it. Reference numeral 20 denotes an evaporation rate monitor for detecting the amount of evaporation and adjusting the temperature of the heat medium of the heat medium circulation device 18.

以上のように構成された従来の磁気記録媒体の製造法
について、以下その動作を説明する。
The operation of the conventional method for manufacturing a magnetic recording medium configured as described above will be described below.

強磁性金属薄膜層2を形成した非磁性体基板1上に滑
剤層4を真空蒸着法にて形成する場合、まず滑剤を熱蒸
発源16にて溶融させ、規定の蒸発量になった時点で基板
1を搬送させトップコートとして滑剤層4を形成する。
When the lubricant layer 4 is formed on the non-magnetic substrate 1 on which the ferromagnetic metal thin film layer 2 is formed by a vacuum deposition method, the lubricant is first melted by the thermal evaporation source 16 and when the evaporation amount reaches a specified amount. The substrate 1 is transported to form a lubricant layer 4 as a top coat.

発明が解決しようとする課題 しかしながら従来の真空蒸着法により、トップコート
として滑剤層を形成する場合、成膜速度を向上させるた
め、滑剤の蒸発速度を上昇させると、滑剤が凝集を起こ
して、均質な滑剤層の形成ができなくなる。また、凝集
した滑剤の一部が装置内のローラ等に付着し、装置の汚
染を助長するばかりでなく、ビデオテープレコーダでの
記録再生においても、磁気ヘッド,回転シリンダ,テー
プ走行用ポスト等が汚染され、第3図に示すように成膜
速度の上昇とともに記録再生欠陥としてのドロップアウ
トが増加するため、成膜速度を上げることが困難である
という問題があった。
Problems to be Solved by the Invention However, when a lubricant layer is formed as a top coat by a conventional vacuum deposition method, when the evaporation rate of the lubricant is increased to increase the film formation rate, the lubricant is aggregated, and the A lubricant layer cannot be formed. In addition, a part of the aggregated lubricant adheres to rollers and the like in the apparatus, which not only promotes contamination of the apparatus, but also causes a magnetic head, a rotating cylinder, a tape running post, and the like to be used in recording and reproduction with a video tape recorder. As shown in FIG. 3, contamination is increased and dropout as a recording / reproducing defect is increased as the film formation speed is increased. Therefore, there is a problem that it is difficult to increase the film formation speed.

本発明は上記問題点に鑑み、成膜速度を向上させつつ
滑剤の凝集の少ない、真空蒸着法による磁気記録媒体の
製造方法及びその製造装置を提供するものである。
The present invention has been made in view of the above problems, and provides a method of manufacturing a magnetic recording medium by a vacuum evaporation method and an apparatus for manufacturing the magnetic recording medium, in which the agglomeration of a lubricant is reduced while improving the film forming rate.

課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明の磁気記録媒体の製
造方法は、非磁性基板上の強磁性金属薄膜を形成した磁
気記録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップコー
トとして滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成する方
法において、少なくとも前記磁気記録媒体へのトップコ
ート形成域の両端をパスローラで支持し、かつ前記パス
ローラを介して前記強磁性金属薄膜層に電力密度が0.05
〜0.2W/cm2で通電することを特徴とする。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, a method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention is to run a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film formed on a non-magnetic substrate in a certain direction, In a method of continuously forming a lubricant layer as a top coat by a vacuum evaporation method, at least both ends of a top coat formation area on the magnetic recording medium are supported by pass rollers, and the ferromagnetic metal thin film layer is passed through the pass rollers. Power density of 0.05
It is characterized by energizing at ~ 0.2 W / cm 2 .

また本発明の磁気記録媒体の製造装置は、非磁性基板
上に強磁性金属薄膜層を形成した磁気記録媒体を一定方
向に移送するための移送装置と、前記磁気記録媒体の移
送経路上で前記強磁性金属薄膜層上に真空蒸着法により
トップコート層として滑剤層を形成するための蒸着装置
とを備えた磁気記録媒体の製造装置において、少なくと
も前記移送系路上で前記磁気記録媒体へのトップコート
形成域の両端を支持するパスローラと、前記パスローラ
を介して、前記強磁性金属薄膜層に通電すべく前記移送
装置における前記磁気記録媒体との接触部へ前記蒸着装
置の前後より給電するための電源装置を設けたことを特
徴とする。
Further, the apparatus for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention includes a transfer device for transferring a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film layer formed on a non-magnetic substrate in a fixed direction, and a transfer device for transferring the magnetic recording medium on a transfer path of the magnetic recording medium. And a vapor deposition device for forming a lubricant layer as a top coat layer on the ferromagnetic metal thin film layer by a vacuum vapor deposition method, the top coat on the magnetic recording medium at least on the transfer path. A pass roller supporting both ends of a formation area; and a power supply for supplying power to the contact portion of the transfer device with the magnetic recording medium from before and after the vapor deposition device through the pass roller to supply current to the ferromagnetic metal thin film layer. A device is provided.

作用 本発明によれば、金属薄膜層に通電することによって
温度が上昇し、その輻射熱により滑剤粒子の凝集を防止
する。また基板到達時には、金属薄膜層自体の温度上昇
による滑剤の拡散が容易に行なわれ、均質な滑剤層を形
成することができる。その結果、凝集した滑剤がローラ
等に付着して装置の汚染を助長することがなくなり、記
録再生欠陥としてのドロップアウトの大幅な低減が可能
となる。
According to the present invention, the temperature rises when electricity is supplied to the metal thin film layer, and the radiant heat prevents aggregation of the lubricant particles. Further, when the metal thin film layer arrives at the substrate, the lubricant is easily diffused due to the temperature rise of the metal thin film layer itself, and a uniform lubricant layer can be formed. As a result, the agglomerated lubricant does not adhere to the rollers or the like to promote contamination of the apparatus, and dropout as a recording / reproducing defect can be greatly reduced.

実施例 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例における装置構成の概要を
示す。本実施例において製造される磁気記録媒体の基本
構造は第4図に示すものと同様であり、本実施例では3
〜20μmのPETフィルムを非磁性基板1とし、0.1〜0.2
μmのCo−Niの斜方蒸着により強磁性金属薄膜層2を形
成し、走行性改善のため、裏面にバックコーティング層
3として樹脂とカーボンの混合体を約0.3〜1μm塗布
している。
FIG. 1 shows an outline of a device configuration in one embodiment of the present invention. The basic structure of the magnetic recording medium manufactured in this embodiment is the same as that shown in FIG.
A non-magnetic substrate 1 is made of a PET film having a thickness of 0.1 to 0.2 μm.
A ferromagnetic metal thin film layer 2 is formed by oblique vapor deposition of Co-Ni having a thickness of μm, and a mixture of a resin and carbon is applied as a back coating layer 3 on the back surface to a thickness of about 0.3 to 1 μm to improve running properties.

第1図において、21は滑剤層4形成前の磁気記録媒体
であり滑剤層4形成域へ送り出されその張力は500mm幅
相当で0.5〜20Kgfに制御されている。22,24はパスロー
ラで磁気記録媒体と密着し回転する。23はメインローラ
で磁気記録媒体を定速(0.1〜200m/分)で制御し搬送し
ている。25は滑剤層4形成済の磁気記録媒体であり、50
0mm幅相当で0.5〜20Kgfの張力で連続的に巻きとられて
おり、テーパ張力の制御も可能である。26は蒸発源であ
り、この中には滑剤として、脂肪酸,脂肪酸エステル,
脂肪酸アミド等が充填されており溶融して蒸着される。
27は熱媒槽であり、これによって滑剤を加熱溶融させて
いる。28は真空槽外に設けられた熱媒循環装置であり、
これによって熱媒の温度を制御するとともに熱媒槽27に
熱媒を供給している。29は防着板であり、これにより滑
剤の蒸発粒子が真空槽内の磁気記録媒体あるいはそれを
搬送する構成要素部品の汚染を防止しており、強磁性金
属薄膜層2に通電するため、絶縁物にて制作されてい
る。30の蒸発レートモニタで滑剤粒子の蒸発量を検出
し、熱媒循環装置28の熱媒の温度を制御している。31は
シャッタであり、所定の蒸発速度に達してから開放され
基板に蒸着が開始される。32は真空槽外に設けられた通
電用電源で、パスローラを介して金属薄膜層に通電して
おり、5KWの容量を有する。
In FIG. 1, reference numeral 21 denotes a magnetic recording medium before the lubricant layer 4 is formed, which is sent to the lubricant layer 4 formation area and its tension is controlled to 0.5 to 20 kgf corresponding to a width of 500 mm. Reference numerals 22 and 24 denote pass rollers which rotate in close contact with the magnetic recording medium. Reference numeral 23 denotes a main roller which controls and conveys the magnetic recording medium at a constant speed (0.1 to 200 m / min). Reference numeral 25 denotes a magnetic recording medium on which the lubricant layer 4 has been formed.
It is continuously wound with a tension of 0.5 to 20 kgf corresponding to a width of 0 mm, and the taper tension can be controlled. 26 is an evaporation source, in which fatty acids, fatty acid esters,
It is filled with fatty acid amide or the like, and is melted and deposited.
Reference numeral 27 denotes a heat medium tank, which heats and melts the lubricant. 28 is a heat medium circulation device provided outside the vacuum chamber,
Thus, the temperature of the heat medium is controlled and the heat medium is supplied to the heat medium tank 27. Numeral 29 denotes an anti-adhesion plate, which prevents the evaporated particles of the lubricant from contaminating the magnetic recording medium in the vacuum chamber or the component parts for transporting the same. Produced by things. The amount of evaporation of the lubricant particles is detected by the evaporation rate monitor 30 to control the temperature of the heat medium of the heat medium circulation device 28. Reference numeral 31 denotes a shutter, which is opened after reaching a predetermined evaporation rate, and starts vapor deposition on the substrate. Reference numeral 32 denotes an energizing power supply provided outside the vacuum chamber, which energizes the metal thin film layer via a pass roller and has a capacity of 5 KW.

以上のように構成された本発明の磁気記録媒体の製造
法および製造装置について、第1図を用いてその動作を
説明する。
The operation of the method and apparatus for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention configured as described above will be described with reference to FIG.

滑剤層4形成前の磁気記録媒体は強磁性金属薄膜層2
にトップコートとして滑剤層4を形成するため、パスロ
ーラあるいは巻出し、パスローラ22,23より通電されな
がら連続的に、メインローラ23に密着して送られてい
る。また滑剤は熱媒循環装置28からの熱媒により加熱溶
融され蒸発を開始し、規定の蒸発レートになった時点で
シャッタ31が開放され、基板に滑剤粒子が到達し滑剤層
が形成される。このとき、非磁性基板1の強磁性金属薄
膜層2に通電しているため、その輻射熱により滑剤層が
加熱され、その結果滑剤粒子の凝集を防ぐとともに滑剤
粒子は均一に金属薄膜層に拡散し均質な滑剤層を形成す
ることができる。
Before the lubricant layer 4 is formed, the magnetic recording medium is a ferromagnetic metal thin film layer 2.
In order to form the lubricant layer 4 as a top coat, the sheet is continuously and closely fed to the main roller 23 while being energized by pass rollers or unwinding. Further, the lubricant is heated and melted by the heat medium from the heat medium circulating device 28 and starts to evaporate. When the evaporation rate reaches a specified rate, the shutter 31 is opened, the lubricant particles reach the substrate, and a lubricant layer is formed. At this time, since the ferromagnetic metal thin film layer 2 of the non-magnetic substrate 1 is energized, the radiant heat heats the lubricant layer, thereby preventing the aggregation of the lubricant particles and simultaneously dispersing the lubricant particles into the metal thin film layer. A uniform lubricant layer can be formed.

第2図は、滑剤層4の形成条件として、非磁性基板1
の幅500mm、強磁性金属薄膜層2の厚さ0.15μm、メイ
ンローラ径1m、通電間隔約2m、形成速度30m/分の場合に
おいて、金属薄膜層への通電電流を変化させたときのド
ロップアウト数の変化を示す。
FIG. 2 shows that the nonmagnetic substrate 1
Dropout when changing the current flowing through the metal thin film layer when the width of the ferromagnetic metal thin film layer is 500 mm, the thickness of the ferromagnetic metal thin film layer is 0.15 μm, the main roller diameter is 1 m, the energizing interval is about 2 m, and the forming speed is 30 m / min Shows the change in number.

なお第2図のグラフの横軸にとった通電電流の単位と
してW/cm2を用いている。
It should be noted that W / cm 2 is used as a unit of the conducting current on the horizontal axis of the graph of FIG.

またドロップアウト数は回転シリンダ型ビデオテープ
レコーダを用いて、テープ幅8mm、相対速度3.8m/s、テ
ープ速度1.4cm/s、トラックピッチ約20μmで映像信号
を10分間記録再生したとき、15μs以上の間16dB以上信
号の欠除したものの1分間当りの平均値である。
The number of dropouts is 15 μs or more when a video signal is recorded and reproduced for 10 minutes using a rotating cylinder type video tape recorder at a tape width of 8 mm, a relative speed of 3.8 m / s, a tape speed of 1.4 cm / s, and a track pitch of about 20 μm. It is the average value per minute of the signal loss of 16 dB or more during the period.

第2図のグラフから、通電電流が0.05W/cm2〜0.2W/cm
2の範囲でドロップアウト数の顕著な低減が認められ、
この範囲で充分に実用が可能であることがわかる。
From the graph of FIG. 2, it can be seen that the conduction current is 0.05 W / cm 2 to 0.2 W / cm.
A remarkable reduction in the number of dropouts was observed in the range of 2 ,
It is understood that practical use is sufficiently possible in this range.

発明の効果 以上のように本発明によれば、非磁性基板に強磁性金
属薄膜層を形成した磁気記録媒体に、トップコート層と
して滑剤層を真空蒸着法によって強磁性金属薄膜層に通
電しながら形成することにより、成膜速度を向上させつ
つ滑剤の凝集を減少させることができ、その結果記録再
生欠陥としてのドロップアウトが大幅に低減するという
特有の効果を有する。
Effects of the Invention As described above, according to the present invention, a magnetic recording medium in which a ferromagnetic metal thin film layer is formed on a non-magnetic substrate, a lubricant layer is applied as a top coat layer to the ferromagnetic metal thin film layer by applying a vacuum deposition method to the ferromagnetic metal thin film layer. By forming the film, it is possible to reduce the aggregation of the lubricant while improving the film forming speed, and as a result, there is a specific effect that the dropout as a recording / reproducing defect is greatly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例における滑剤層を金属薄膜層
に通電しながら真空蒸着法にて形成する方法を示す図、
第2図はドロップアウト数と通電密度との関係を成膜速
度一定の場合について示す図、第3図は従来の方法にお
けるドロップアウト数と成膜速度との関係を示す図、第
4図は磁気記録媒体の構造を示す断面図、第5図は従来
例の磁気記録媒体の製造法を示す図である。 1……非磁性基板、2……強磁性金属薄膜層、4……滑
剤層、21,25……磁気記録媒体、22,24……パスローラ、
23……メインローラ、25……滑剤層形成済磁気記録媒
体、26……蒸発源、27……熱媒槽、28……熱媒循環装
置、32……通電用電源。
FIG. 1 is a view showing a method of forming a lubricant layer by vacuum evaporation while energizing a metal thin film layer in one embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the number of dropouts and the current density when the film forming speed is constant, FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the number of dropouts and the film forming speed in the conventional method, and FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the structure of a magnetic recording medium, and FIG. 5 is a view showing a method of manufacturing a conventional magnetic recording medium. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Non-magnetic substrate, 2 ... Ferromagnetic metal thin film layer, 4 ... Lubricant layer, 21, 25 ... Magnetic recording medium, 22, 24 ... Pass roller,
23: a main roller; 25: a magnetic recording medium having a lubricant layer formed thereon; 26, an evaporation source; 27, a heating medium tank; 28, a heating medium circulating device;

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】非磁性基板上に強磁性金属薄膜層を形成し
た磁気記録媒体を一定方向に走行させ、その上にトップ
コートとして滑剤層を真空蒸着法により連続的に形成す
る方法において、少なくとも前記磁気記録媒体へのトッ
プコート形成域の両端をパスローラで支持し、かつ前記
パスローラを介して前記強磁性金属薄膜層に電力密度が
0.05〜0.2W/cm2で通電することを特徴とする磁気記録媒
体の製造方法。
A method in which a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film layer formed on a non-magnetic substrate is run in a fixed direction, and a lubricant layer is continuously formed thereon as a top coat by a vacuum deposition method. Both ends of the top coat formation area on the magnetic recording medium are supported by pass rollers, and the power density is applied to the ferromagnetic metal thin film layer via the pass rollers.
A method for producing a magnetic recording medium, comprising applying a current at 0.05 to 0.2 W / cm 2 .
【請求項2】非磁性基板上に強磁性金属薄膜層を形成し
た磁気記録媒体を一定方向に移送するための移送装置
と、前記磁気記録媒体の移送経路上で前記強磁性金属薄
膜層上に真空蒸着法によりトップコート層として滑剤層
を形成するための蒸着装置とを備えた磁気記録媒体の製
造装置において、少なくとも前記移送系路上で前記磁気
記録媒体へのトップコート形成域の両端を支持するパス
ローラと、前記パスローラを介して、前記強磁性金属薄
膜層に通電すべく前記移送装置における前記磁気記録媒
体との接触部へ前記蒸着装置の前後より給電するための
電源装置を設けたことを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置。
2. A transfer device for transferring a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film layer formed on a nonmagnetic substrate in a fixed direction, and a transfer device for transferring the magnetic recording medium on the ferromagnetic metal thin film layer on a transfer path of the magnetic recording medium. In a magnetic recording medium manufacturing apparatus having a vapor deposition device for forming a lubricant layer as a top coat layer by a vacuum vapor deposition method, at least both ends of a top coat formation area on the magnetic recording medium are supported on the transfer path. A pass roller, and a power supply device for supplying power to the contact portion of the transfer device with the magnetic recording medium from before and after the vapor deposition device to supply electricity to the ferromagnetic metal thin film layer via the pass roller. For manufacturing a magnetic recording medium.
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