JP2599380B2 - Levitated magnetic head - Google Patents

Levitated magnetic head

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JP2599380B2
JP2599380B2 JP62034011A JP3401187A JP2599380B2 JP 2599380 B2 JP2599380 B2 JP 2599380B2 JP 62034011 A JP62034011 A JP 62034011A JP 3401187 A JP3401187 A JP 3401187A JP 2599380 B2 JP2599380 B2 JP 2599380B2
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、浮上型薄膜磁気ヘッドに関し、スライダの
浮上面を、テーパ面を持たない平面状とすると共に、空
気流入端側の稜角部、及び、空気の流れ方向に対して直
交する幅方向に表れる全ての稜角部を弧状とすることに
より、浮上量を低下させた場合でも磁気ディスクとの間
でクラッシュを生じにくく、高密度記録に適し、かつ、
高速追従が可能であり、しかも引掛りを生じることなく
スムーズにスタートし得る浮上型薄膜磁気ヘッドを提供
できるようにしたものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a flying type thin film magnetic head, in which a floating surface of a slider has a flat shape without a tapered surface, and a ridge portion on an air inflow end side, In addition, by making all the ridges appearing in the width direction perpendicular to the air flow direction to be arc-shaped, even if the flying height is reduced, it is unlikely to crash with the magnetic disk, suitable for high density recording ,And,
It is an object of the present invention to provide a flying-type thin-film magnetic head which can follow at high speed and can start smoothly without causing catching.

<従来の技術> 浮上型薄膜磁気ヘッドは、磁気ディスクに対して相対
的に移動する時に空気の粘性によって発生する動圧を利
用して、磁気ディスク面との間に微小な浮上量を発生さ
せるようにしたもので、例えばウィンチェスタ型薄膜磁
気ヘッド、コンポジット型薄膜磁気ヘッドまたは薄膜薄
膜磁気ヘッド等が知られている。その基本的な構造は、
第8図に示すように、セラミック構造体でなるスライダ
1の端面に、読み書き素子2を付着させた構造となって
いる。
<Prior Art> A flying type thin film magnetic head uses a dynamic pressure generated by the viscosity of air when moving relatively to a magnetic disk to generate a small flying height between the magnetic disk surface and the magnetic disk. For example, a Winchester-type thin-film magnetic head, a composite-type thin-film magnetic head, a thin-film thin-film magnetic head, and the like are known. Its basic structure is
As shown in FIG. 8, a read / write element 2 is attached to an end face of a slider 1 made of a ceramic structure.

スライダ1は磁気ディスクとの対向面側に間隔をおい
て突設したレール部101、102の表面に、浮上面103、104
を形成すると共に、浮上面103、104の先端部にテーパ面
103a、104aを設けた、いわゆるテーパ.フラット型とな
っている。レール部101、102は左右方向への振れを防止
して浮上安定性を確保するために間隔をおいて形成して
ある。読み書き素子2は、図示では、IC製造テクノロジ
と同様のプロセスにしたがって形成された薄膜素子であ
り、保護膜11によって覆われている。保護膜11は、スラ
イダ1の空気流出端側の側面に、スライダ1の一部を構
成するように設けられ、スライダ1とともに浮上面10
3、101を構成している。
The slider 1 has flying surfaces 103, 104 on rails 101, 102 projecting from the surface facing the magnetic disk at intervals.
And a tapered surface at the tip of the air bearing surfaces 103 and 104.
A so-called taper provided with 103a and 104a. It is a flat type. The rail portions 101 and 102 are formed at intervals so as to prevent swinging in the left and right directions and to ensure floating stability. The read / write element 2 is a thin film element formed according to a process similar to the IC manufacturing technology in the drawing, and is covered with a protective film 11. The protective film 11 is provided on the side surface on the air outflow end side of the slider 1 so as to constitute a part of the slider 1.
3 and 101.

磁気ディスク装置として使用する場合は、浮上型薄膜
磁気ヘッドはジンバル系ヘッド支持装置の先端部に装着
し、スライダ1の浮上面103、104を磁気ディスクの面に
対向させて配置し、コンタクト.スタート.ストップ方
式によって駆動する。第9図は磁気ディスク装置の構成
を概略的に示す図で、3は磁気ディスク、5は薄膜磁気
ヘッド、6はジンバル系ヘッド支持装置である。磁気デ
ィスク3が静止しているときは、ヘッド支持装置6のバ
ネ圧により浮上面103、104が磁気ディスク3の面に押付
けられているが、磁気ディスク3が矢印aの方向に回転
すると、スライダ1のテーパ面103a、104aを含む浮上面
103、104に揚力動圧が発生し、動圧とヘッド支持装置6
のバネ圧Pと釣り合う浮上量gで浮上する。浮上状態で
は、所定のピッチ角θ1の前上がり状態となるのが普通
である。
When used as a magnetic disk drive, the flying thin-film magnetic head is mounted on the tip of a gimbal-based head support device, and the flying surfaces 103 and 104 of the slider 1 are arranged so as to face the surface of the magnetic disk. start. Drive by stop method. FIG. 9 is a diagram schematically showing the configuration of a magnetic disk drive, wherein 3 is a magnetic disk, 5 is a thin-film magnetic head, and 6 is a gimbal head support device. When the magnetic disk 3 is stationary, the flying surfaces 103 and 104 are pressed against the surface of the magnetic disk 3 by the spring pressure of the head support device 6, but when the magnetic disk 3 rotates in the direction of arrow a, the slider Floating surface including one tapered surface 103a, 104a
Lift dynamic pressure is generated in 103 and 104, and the dynamic pressure and the head support device 6
With the floating amount g that balances with the spring pressure P of In the floating state, it is normal to be in a state of rising forward by a predetermined pitch angle θ1.

動圧は、スライダ1のレール部101、102の浮上面10
3、104の寸法、テーパ面103a、104aのテーパ角度、寸
法、更には磁気ディスクとの間の相対移動スピード等に
よって定まり、浮上量g及びピッチ角θ1は動圧とヘッ
ド支持装置のバネ圧によって定まる。そこで、従来は、
スライダ1のレール部101、102の間隔、浮上面103、104
の面積、テーパ面103a、104aのテーパ角度、寸法及びヘ
ッド支持装置のバネ圧を適当に設計して、所定の浮上量
g及びピッチ角θ1を得るようにしてあった。上述のテ
ーパ.フラット型スライダを使用した浮上型薄膜磁気ヘ
ッドは、浮上量0.25〜1μm程度の領域では、安定な浮
上特性が得られるため、現在広く実用化されている。
The dynamic pressure is applied to the air bearing surface 10 of the rail portions 101 and 102 of the slider 1.
The dimensions of 3, 104, the taper angles of the tapered surfaces 103a, 104a, the dimensions, and the relative movement speed between the magnetic disk and the like are determined. The flying height g and the pitch angle θ1 are determined by the dynamic pressure and the spring pressure of the head support device. Is determined. So, conventionally,
The distance between the rail portions 101 and 102 of the slider 1 and the air bearing surfaces 103 and 104
, The taper angles and dimensions of the tapered surfaces 103a and 104a, and the spring pressure of the head support device are appropriately designed to obtain a predetermined flying height g and a pitch angle θ1. The above taper. Flying type thin film magnetic heads using flat type sliders are widely used at present because stable flying characteristics can be obtained in a range of flying height of about 0.25 to 1 μm.

<発明が解決しようとする課題> ところで、この種の浮上型薄膜磁気ヘッドでは、スペ
ーシングロスを減少させ、高記録密度を達成するため、
浮上量が、例えば0.2μm以下という如く、益々小さく
なる傾向にある。また、コンピュータとの組合せにおい
て、データ転送及び処理の高速化に対応するため、高速
追従性が要求されるようになっている。
<Problems to be Solved by the Invention> By the way, in this type of flying type thin film magnetic head, in order to reduce spacing loss and achieve high recording density,
The flying height tends to be smaller, for example, 0.2 μm or less. In addition, in combination with a computer, high-speed followability has been required in order to cope with high-speed data transfer and processing.

ところが、上述のテーパ.フラット型スライダを使用
した浮上型薄膜磁気ヘッドは空気の流れ方向で見て、一
端側にテーパ面103a、104aを有しているので、スライダ
1の全長をLとし、その中間部(L/2)にバネ荷重Pを
加える一般的な支持状態では、ピッチ角θ1を大きくと
ることが困難で、磁気ヘッドが磁気ディスク3との間で
クラッシュを起こし易いという問題点があった。高記録
密度に対応するために浮上量を小さくした場合には、特
にこの問題を生じ易い。
However, the aforementioned taper. A floating type thin film magnetic head using a flat type slider has tapered surfaces 103a and 104a on one end side when viewed in the air flow direction. Therefore, the total length of the slider 1 is L, and an intermediate portion (L / 2 In the general support state in which the spring load P is applied in (1), it is difficult to increase the pitch angle θ1, and the magnetic head tends to crash with the magnetic disk 3. This problem is particularly likely to occur when the flying height is reduced in order to cope with a high recording density.

また、荷重点を境界にして、テーパ面103a、104aのあ
る空気流入側と空気流出端側とで質量が異なるため、荷
重点を中心にして、空気流入側の慣性モーメントと空気
流出側の慣性モーメントとがアンバランスになり、薄膜
磁気ヘッド全体として見た慣性モーメントが実質的に大
きくなる。このため、追従性が悪くなり、データ転送及
び処理の高速化に対応するための高速追従性を満たすこ
とが困難になっている。
In addition, since the mass is different between the air inlet side having the tapered surfaces 103a and 104a and the air outlet end side with the load point as a boundary, the inertia moment on the air inlet side and the inertia on the air outlet side are centered on the load point. The moment and the moment are unbalanced, and the moment of inertia of the thin-film magnetic head as a whole is substantially increased. For this reason, the follow-up property is deteriorated, and it is difficult to satisfy the high-speed follow-up property to cope with the high-speed data transfer and processing.

そこで、本発明の課題は、上述する従来の問題点を解
決し、浮上量を例えば0.2μm以下に低下させた場合で
もクラッシュを生じにくく、高記録密度に適し、高速追
従が可能であり、しかも引掛りを生じることなく、スム
ーズにスタートし得る浮上型薄膜磁気ヘッドを提供する
ことである。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-described conventional problems, and it is difficult to cause a crash even when the flying height is reduced to, for example, 0.2 μm or less, suitable for high recording density, and capable of high-speed tracking, and An object of the present invention is to provide a flying-type thin-film magnetic head that can start smoothly without catching.

<課題を解決するための手段> 上述する課題解決のため、本発明に係る浮上型薄膜磁
気ヘッドは、磁気記憶媒体と対向する面側に浮上面を有
するスライダに、読み書き素子を付着させてある。前記
読み書き素子は薄膜素子でなり、前記スライダの空気流
出端側の側面に設けられ、保護膜によって覆われてい
る。前記保護膜は、前記スライダの空気流出端側の側面
に、前記スライダの一部を構成するように設けられ、前
記スライダとともに前記浮上面を構成している。前記保
護膜を含む前記スライダの前記浮上面は、その全面にわ
たって平面状となっていて、空気流入端側の稜角部、及
び、空気の流れ方向に対して直交する幅方向に表れる全
ての稜角部が弧状である。
<Means for Solving the Problems> In order to solve the above-described problems, a flying type thin film magnetic head according to the present invention has a read / write element attached to a slider having a floating surface on a surface side facing a magnetic storage medium. . The read / write element is a thin film element, is provided on a side surface of the slider on the air outflow end side, and is covered with a protective film. The protective film is provided on a side surface on the air outflow end side of the slider so as to constitute a part of the slider, and constitutes the floating surface together with the slider. The flying surface of the slider including the protective film is planar over the entire surface, and has a ridge on the air inflow end side, and all ridges appearing in a width direction orthogonal to the air flow direction. Is arc-shaped.

<作用> スライダの浮上面は、その全面にわたって平面状とな
っているので、荷重点をスライダの中間部に設定した場
合、荷重点の前方で発生する動圧が増大する。このた
め、ピッチ角が大きくなり、記録密度向上のために浮上
量を、例えば0.2μm以下に低下させた場合でも、クラ
ッシュを生じにくくなる。
<Operation> Since the flying surface of the slider is flat over the entire surface, when the load point is set at the middle of the slider, the dynamic pressure generated in front of the load point increases. For this reason, the pitch angle becomes large, and even if the flying height is reduced to, for example, 0.2 μm or less in order to improve the recording density, a crash hardly occurs.

また、スライダの浮上面を、テーパ面を持たない平面
状にすると、荷重点をスライダの中間部に設定した場
合、荷重点の前後での質量のバランスがとれ、慣性モー
メントが空気流入及び流出端側で実質的に等しくなる。
このため、薄膜磁気ヘッド全体としての慣性モーメント
が小さくなり、磁気ディスクとの関係において追従性が
向上し、高速追従の薄膜磁気ヘッドが得られる。
Also, if the slider's flying surface is flat without a tapered surface, if the load point is set in the middle of the slider, the mass before and after the load point will be balanced, and the moment of inertia will be reduced at the air inflow and outflow ends. Side substantially equal.
For this reason, the moment of inertia of the entire thin-film magnetic head is reduced, the follow-up property is improved in relation to the magnetic disk, and a thin-film magnetic head with high-speed follow-up is obtained.

しかも、浮上面は、空気流入端側の稜角部が弧状とな
っているので、コンタクト.スタート時に粘性流体であ
る空気が、弧状部分を通して磁気ディスクと浮上面との
間にスムーズに入る。このため、引掛りを生じることな
く、スムーズにスタートできる。
Moreover, the air bearing surface has an arc-shaped ridge on the air inflow end side. At the start, air, which is a viscous fluid, smoothly enters between the magnetic disk and the air bearing surface through the arc-shaped portion. For this reason, it is possible to start smoothly without causing a catch.

更に、空気の流れ方向に対して直交する幅方向に表れ
る全ての稜角部も、弧状となっているので、浮上状態で
薄膜磁気ヘッドを磁気ディスク上でスイング動作等をさ
せたときも、引掛りを生じることがなくなり、浮上状態
でのクラッシュ、磁気ディスクとの引掛りによる損傷等
が起きにくくなる。
Furthermore, since all the ridges appearing in the width direction orthogonal to the air flow direction are also arc-shaped, even when the thin-film magnetic head is swung on the magnetic disk in a floating state, it is caught. And the likelihood of crashes in the flying state, damage due to hooking with the magnetic disk, and the like are less likely to occur.

読み書き素子は薄膜素子でなり、スライダの空気流出
端側の側面に設けられ、保護膜によって覆われている。
保護膜は、スライダの空気流出端側の側面に、スライダ
の一部を構成するように設けられ、スライダとともに浮
上面を構成している。そして、保護膜を含むスライダの
浮上面が、その全面にわたって平面状となっていて、空
気流入端側の稜角部、及び、空気の流れ方向に対して直
交する幅方向に表れる全ての稜角部が弧状となってい
る。従って、本発明によれば、薄膜磁気ヘッドにおいて
固有の保護膜の部分においても、クラッシュを生じにく
く、高記録密度に適し、高速追従が可能で、しかも引掛
りを生じることなく、スムーズにスタートし得る。
The read / write element is a thin film element, is provided on the side surface on the air outflow end side of the slider, and is covered with a protective film.
The protective film is provided on a side surface on the air outflow end side of the slider so as to form a part of the slider, and forms a floating surface together with the slider. The flying surface of the slider including the protective film is planar over the entire surface, and the ridges on the air inflow end side and all ridges appearing in the width direction perpendicular to the air flow direction are formed. It has an arc shape. Therefore, according to the present invention, even in the portion of the protective film unique to the thin-film magnetic head, it is unlikely to cause a crash, suitable for high recording density, capable of following at high speed, and starting smoothly without causing catching. obtain.

<実施例> 第1図は本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッドの斜視
図、第2図は同じく要部の拡大断面図である。図におい
て、第8図と同一の参照符号は同一性ある構成部分を示
している。読み書き素子2は薄膜素子でなり、スライダ
1の空気流出端側の側面に設けられ、保護膜11によって
覆われている。保護膜11は、スライダ1の空気流出端側
の側面に、スライダ1の一部を構成するように設けら
れ、スライダ1とともに浮上面103、104を構成していい
る。保護膜11を含むスライダ1の浮上面103、104は、そ
の全面がテーパ面を持たない平面状となっている。浮上
面103、104の空気の流れ方向で見た端部(イ)、(ロ)
の稜角部は、弧状に形成してある。空気の流れ方向に対
して直交する幅方向に表れる端部(ハ)、(ニ)の稜角
部も弧状に形成してある。弧状は半径数μm程度の円弧
が適当である。
<Embodiment> FIG. 1 is a perspective view of a flying type thin film magnetic head according to the present invention, and FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the same. In the figure, the same reference numerals as those in FIG. 8 indicate identical components. The read / write element 2 is a thin film element, is provided on the side surface of the slider 1 on the air outflow end side, and is covered with a protective film 11. The protective film 11 is provided on the side surface on the air outflow end side of the slider 1 so as to constitute a part of the slider 1, and together with the slider 1, constitutes the floating surfaces 103 and 104. The flying surfaces 103 and 104 of the slider 1 including the protective film 11 are entirely flat without a tapered surface. Ends (a) and (b) of the air bearing surfaces 103 and 104 viewed in the direction of air flow
Is formed in an arc shape. The edges (c) and (d) appearing in the width direction orthogonal to the air flow direction are also formed in an arc shape. An appropriate arc shape is an arc having a radius of about several μm.

第3図は本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッドの別の実
施例における斜視図を示している。この実施例では、ス
ライダ1の浮上面105は、その全面を、レール部を持た
ない平面状に形成すると共に、端縁(イ)〜(ニ)の稜
角部を弧状に形成してある。
FIG. 3 is a perspective view showing another embodiment of the flying type thin film magnetic head according to the present invention. In this embodiment, the flying surface 105 of the slider 1 has its entire surface formed in a flat shape having no rail portion, and its edges (a) to (d) formed in an arc shape.

何れの実施例においても、浮上面103〜105は、空気流
入端側の稜角部が弧状となっているので、コンタクト.
スタート時に粘性流体である空気が、弧状部分を通して
磁気ディスクと浮上面との間にスムーズに入る。このた
め、引掛りを生じることなく、スムーズにスタートでき
る。また、空気流入端側の稜角部が弧状となっているの
で、浮上状態でのクラッシュ、磁気ディスクとの引掛り
による損傷等が起きにくくなる。
In any of the embodiments, the air bearing surfaces 103 to 105 have an arc-shaped ridge on the air inflow end side.
At the start, air, which is a viscous fluid, smoothly enters between the magnetic disk and the air bearing surface through the arc-shaped portion. For this reason, it is possible to start smoothly without causing a catch. Further, since the ridge corner on the air inflow end side is formed in an arc shape, a crash in a floating state, damage due to being caught by a magnetic disk, and the like hardly occur.

また、空気の流れ方向に対して直交する幅方向に表れ
る全ての稜角部(ハ)、(ニ)も、弧状となっているの
で、浮上状態で薄膜磁気ヘッドを磁気ディスク上でスイ
ング動作等をさせたときも、引掛りを生じることがなく
なり、浮上状態でのクラッシュ、磁気ディスクとの引掛
りによる損傷等が起きにくくなる。
Also, since all the ridges (c) and (d) appearing in the width direction perpendicular to the air flow direction are also arc-shaped, the thin-film magnetic head can be swung on the magnetic disk in a floating state. Even when this is done, no catching occurs, and a crash in the flying state, damage due to catching with the magnetic disk, and the like are less likely to occur.

更に、また、スライダ1の浮上面103〜105の全面が、
テーパ面を持たない平面状となっているので、第7図に
示すように、荷重点をスライダ1の中間部に設定した場
合において、その荷重点の前方で発生する動圧が増大
し、ピッチ角θ2が従来のピッチ角θ1よりも大きくな
る。このため、クラッシュを生じにくくなる。第7図に
おいて、点線は従来の浮上位置を示している。
Furthermore, the entire flying surface 103 to 105 of the slider 1 is
As shown in FIG. 7, when the load point is set at the middle portion of the slider 1, the dynamic pressure generated in front of the load point increases, and the pitch increases, as shown in FIG. The angle θ2 becomes larger than the conventional pitch angle θ1. For this reason, a crash is unlikely to occur. In FIG. 7, a dotted line indicates a conventional floating position.

また、スライダ1の浮上面105を、テーパ面を持たな
い平面状にすると、スライダ1の中間部に設定した荷重
点の前後での質量のバランスがとれ、慣性モーメントが
空気流入及び流出端側で実質的に等しくなる。このた
め、薄型磁気ヘッド全体としての慣性モーメントが小さ
くなり、追従性が向上し、高速追従の薄膜磁気ヘッドが
得られる。
When the flying surface 105 of the slider 1 has a flat shape without a tapered surface, the mass before and after the load point set at the intermediate portion of the slider 1 is balanced, and the moment of inertia is reduced at the air inflow and outflow end sides. Become substantially equal. Therefore, the moment of inertia of the thin magnetic head as a whole is reduced, the followability is improved, and a thin-film magnetic head capable of high-speed follow is obtained.

また、保護膜11は、スライダ1の空気流出端側の側面
に、スライダ1の一部を構成するように設けられ、スラ
イダ1とともに浮上面を構成している。そして、保護膜
11を含むスライダ1の浮上面103、104が、その全面にわ
たって平面状となっていて、空気流入端側の稜角部、及
び、空気の流れ方向に対して直交する幅方向に表れる全
ての稜角部が弧状となっている。従って、本発明によれ
ば、薄膜磁気ヘッドにおいて固有の保護膜11の部分にお
いても、クラッシュを生じにくく、高記録密度に適し、
高速追従が可能で、しかも引掛りを生じることなく、ス
ムーズにスタートし得る。
The protective film 11 is provided on the side surface of the slider 1 on the air outflow end side so as to form a part of the slider 1, and forms a floating surface together with the slider 1. And protective film
The flying surfaces 103 and 104 of the slider 1 including the surface 11 are flat over the entire surface thereof, and the ridges on the air inflow end side and all ridges appearing in the width direction perpendicular to the air flow direction. Has an arc shape. Therefore, according to the present invention, even in the portion of the protective film 11 unique to the thin-film magnetic head, it is unlikely that a crash occurs, which is suitable for high recording density,
High-speed follow-up is possible, and a smooth start can be made without causing a catch.

次に、実測データに基づいて説明する。 Next, a description will be given based on actually measured data.

第4図は第8図に示した従来の浮上型薄膜磁気ヘッド
のアコーステック.エミッション.センサ(以下AEセン
サと称する)による浮上安定性測定データを示す図、第
5図は第1図に示した本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッ
ドのAEセンサによる浮上安定性測定データを示す図であ
る。第4図及び第5図の測定データは、第6図に示すよ
うな測定システムによって得られたものである。
FIG. 4 is a diagram showing the conventional floating thin film magnetic head shown in FIG. Emission. FIG. 5 is a view showing flying stability measurement data by a sensor (hereinafter referred to as an AE sensor). FIG. 5 is a view showing flying stability measurement data by an AE sensor of the flying thin film magnetic head according to the present invention shown in FIG. is there. The measurement data shown in FIGS. 4 and 5 are obtained by a measurement system as shown in FIG.

第6図において、3は磁気ディスク、4は磁気ディス
ク3を回転駆動するスピンドル、5は浮上型薄膜磁気ヘ
ッド、6は浮上型薄膜磁気ヘッド5を支持するヘッド支
持装置、7はAEセンサ、8はフィルタ、9は増幅器、10
はオシロスコープである。第6図における測定条件は次
の通りである。
In FIG. 6, 3 is a magnetic disk, 4 is a spindle for driving the magnetic disk 3 to rotate, 5 is a floating type thin film magnetic head, 6 is a head supporting device for supporting the floating type thin film magnetic head 5, 7 is an AE sensor, 8 Is a filter, 9 is an amplifier, 10
Is an oscilloscope. The measurement conditions in FIG. 6 are as follows.

浮上型薄膜磁気ヘッド5の浮上量;0.18μm 測定周波数;150kHz〜400kHz 増幅率;60dB 磁気ディスク3の表面平滑性;Rmax<100Å オシロスコープ10;X軸5sec/div Y軸50mv/div 第4図の測定データに示すように、従来の浮上型薄膜
磁気ヘッドは、浮上量0.18μmでは、最大100mvにも達
する大きなAEセンサ出力が生じている。このことから、
テーパ.フラット型スライダを用いた従来の浮上型薄膜
磁気ヘッドは、浮上量が0.18μmのように低い値になる
と、浮上姿勢が崩れて、浮上面が磁気ディスクの表面に
衝突してしまうことが解る。
The flying height of the flying thin-film magnetic head 5; 0.18 μm Measurement frequency; 150 kHz to 400 kHz Amplification factor; 60 dB Surface smoothness of the magnetic disk 3; Rmax <100Å Oscilloscope 10; X axis 5 sec / div Y axis 50 mv / div FIG. As shown in the measurement data, the conventional levitation type thin film magnetic head has a large AE sensor output reaching a maximum of 100 mv at a flying height of 0.18 μm. From this,
Taper. It can be seen that in the conventional flying type thin film magnetic head using the flat type slider, when the flying height is as low as 0.18 μm, the flying posture is collapsed and the flying surface collides with the surface of the magnetic disk.

これに対して、本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッドは
第5図に示す通り、殆ど、AEセンサ出力が生じていな
い。このことから、本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッド
は、浮上量が0.18μmのように低い値になっても、浮上
姿勢が崩れず、安定な浮上特性が得られることが解る。
On the other hand, the flying type thin film magnetic head according to the present invention hardly generates an AE sensor output as shown in FIG. From this, it can be seen that the flying thin film magnetic head according to the present invention does not lose its flying attitude and has stable flying characteristics even when the flying height is as low as 0.18 μm.

<発明の効果> 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果
が得られる。
<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

(a)スライダの浮上面は、その全面が平面状となって
いるから、スライダの浮上面は、その全面にわたって平
面状となっているので、荷重点をスライダの中間部に設
定した場合、ピッチ角が大きくなり、浮上量を例えば0.
2μm以下に低下させた場合でも、クラッシュを生じに
くい高記録密度対応の浮上型薄膜磁気ヘッドを提供でき
る。
(A) Since the flying surface of the slider is flat on the entire surface, the flying surface of the slider is flat on the entire surface. The angle increases and the flying height is reduced to, for example, 0.
Even when the thickness is reduced to 2 μm or less, it is possible to provide a flying type thin film magnetic head which is compatible with high recording density and hardly causes a crash.

(b)スライダの浮上面は、その全面にわたって平面状
となっているので、スライダの中間部に設定された荷重
点の前後での質量のバランスがとれ、薄膜磁気ヘッド全
体としての慣性モーメントが小さく、高速追従の薄膜磁
気ヘッドを提供できる。
(B) Since the flying surface of the slider is flat over the entire surface, the mass before and after the load point set at the middle portion of the slider can be balanced, and the moment of inertia of the entire thin film magnetic head is small. And a thin-film magnetic head that can follow at high speed.

(c)浮上面は、空気流入端側の稜角部、及び、空気の
流れ方向に対して直交する幅方向に表れる全ての稜角部
が弧状となっているので、コンタクト.スタート時に、
引掛りを生じることなく、スムーズにスタートでき、浮
上状態でもクラッシュや、磁気ディスクとの引掛りによ
る損傷等を生じにくい浮上型薄膜磁気ヘッドを提供でき
る。
(C) In the air bearing surface, the ridges on the air inflow end side and all the ridges appearing in the width direction orthogonal to the air flow direction are arc-shaped. At the start,
It is possible to provide a flying thin-film magnetic head that can start smoothly without being caught and hardly causes a crash or a damage due to being caught on a magnetic disk even in a flying state.

(d)薄膜磁気ヘッドにおいて固有の保護膜の部分にお
いても、クラッシュを生じにくく、高記録密度に適し、
高速追従が可能で、しかも引掛りを生じることなく、ス
ムーズにスタートし得る。
(D) Crash is unlikely to occur even in the portion of the protective film unique to the thin film magnetic head, and suitable for high recording density;
High-speed follow-up is possible, and a smooth start can be made without causing a catch.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッドの斜視図、
第2図は同じく要部の拡大断面図、第3図は本発明に係
る浮上型薄膜磁気ヘッドの別の実施例における斜視図、
第4図は第8図に示した従来の浮上型薄膜磁気ヘッドの
AEセンサによる浮上安定性測定データを示す図、第5図
は第1図に示した本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッドの
AEセンサによる浮上安定性測定データを示す図、第6図
は第4図及び第5図の測定データを得るための測定シス
テムを示す図、第7図は本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘ
ッドを用いた磁気ディスク装置の構成を概略的に示す
図、第8図は従来の浮上型薄膜磁気ヘッドの斜視図、第
9図は従来の浮上型薄膜磁気ヘッドを用いた磁気ディス
ク装置の構成を概略的に示す図である。 1……スライダ、2……読み書き素子 103、104、105……浮上面
FIG. 1 is a perspective view of a floating type thin film magnetic head according to the present invention,
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of the same, FIG. 3 is a perspective view of another embodiment of the flying type thin film magnetic head according to the present invention,
FIG. 4 shows the conventional floating type thin film magnetic head shown in FIG.
FIG. 5 shows flying stability measurement data by the AE sensor. FIG. 5 shows the flying thin film magnetic head according to the present invention shown in FIG.
FIG. 6 shows a flying stability measurement data by the AE sensor, FIG. 6 shows a measurement system for obtaining the measurement data of FIGS. 4 and 5, and FIG. 7 shows a flying type thin film magnetic head according to the present invention. FIG. 8 schematically shows a configuration of a magnetic disk drive used, FIG. 8 is a perspective view of a conventional floating thin-film magnetic head, and FIG. 9 schematically shows a configuration of a magnetic disk drive using a conventional floating thin-film magnetic head. FIG. 1 ... Slider, 2 ... Read / write element 103, 104, 105 ... Floating surface

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江▲崎▼ 城一朗 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 大山 信也 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭56−101674(JP,A) 特開 昭59−60760(JP,A) 特開 昭53−73129(JP,A) 特開 昭59−11527(JP,A) 実開 昭61−21069(JP,U) 実開 昭61−193577(JP,U) 実開 昭59−149226(JP,U) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor E ▲ Saki ▼ Ichiro Jyo 1-13-1 Nihombashi, Chuo-ku, Tokyo Inside TDC Corporation (72) Inventor Shinya Oyama 1-1-13 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo No. 1 Inside TDK Corporation (56) References JP-A-56-101674 (JP, A) JP-A-59-60760 (JP, A) JP-A-53-73129 (JP, A) 11527 (JP, A) Fully open 1987-21069 (JP, U) Fully open 1986-193577 (JP, U) Fully open 1984-149226 (JP, U)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】磁気記録媒体と対向する面側に浮上面を有
するスライダに、読み書き素子を付着させた浮上型薄膜
磁気ヘッドにおいて、 前記読み書き素子は薄膜素子でなり、前記スライダの空
気流出端側の側面に設けられ、保護膜によって覆われて
おり、 前記保護膜は、前記スライダの空気流出端側の側面に、
前記スライダの一部を構成するように設けられ、前記ス
ライダとともに前記浮上面を構成しており、 前記保護膜を含む前記スライダの前記浮上面は、その全
面にわたって平面状となっていて、空気流入端側の稜角
部、及び、空気の流れ方向に対して直交する幅方向に表
れる全ての稜角部が弧状であること を特徴とする浮上型薄膜磁気ヘッド。
1. A flying thin-film magnetic head in which a read / write element is attached to a slider having an air bearing surface on a surface facing a magnetic recording medium, wherein the read / write element is a thin film element, and the slider has an air outflow end. Is provided on a side surface of the slider, and is covered with a protection film. The protection film is provided on a side surface on an air outflow end side of the slider,
The slider is provided so as to constitute a part of the slider, and constitutes the flying surface together with the slider. The flying surface of the slider including the protective film has a planar shape over its entire surface, and air A floating thin-film magnetic head, wherein the edge portions on the end side and all the edge portions appearing in a width direction perpendicular to the direction of air flow are arc-shaped.
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