JP2595368B2 - Vibration test method and apparatus for electronic components - Google Patents

Vibration test method and apparatus for electronic components

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JP2595368B2 JP2163099A JP16309990A JP2595368B2 JP 2595368 B2 JP2595368 B2 JP 2595368B2 JP 2163099 A JP2163099 A JP 2163099A JP 16309990 A JP16309990 A JP 16309990A JP 2595368 B2 JP2595368 B2 JP 2595368B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、電子部品の振動試験方法および振動試験装
置に関し、特に超音波領域にわたる広い周波数範囲にお
ける振動試験が可能とされる電子部品の振動試験方法お
よび装置に適用して有効な技術に関する。
Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a vibration test method and a vibration test apparatus for an electronic component, and more particularly to a vibration test for an electronic component capable of performing a vibration test in a wide frequency range over an ultrasonic range. The present invention relates to techniques that are effective when applied to test methods and apparatuses.

[従来の技術] 従来、振動試験に関する技術としては、たとえば株式
会社誠文堂新光社、昭和44年5月20日発行、「振動工
学」P892〜P895などの文献に記載されるような方法によ
る振動試験装置が知られている。
[Prior Art] Conventionally, as a technique relating to a vibration test, for example, a method described in literature such as Seikodo Shinkosha Co., Ltd., published on May 20, 1969, “Vibration Engineering” P892 to P895, etc. Vibration testing devices are known.

その概要は、第4図に示すように、たとえば被試験物
である電子部品1を載置する振動台2と、この振動台2
を弾性的に支持して一方向のみに運動可能なように構成
するコイルばね3と、振動台2に回転可能なように固定
され、偏心質量4が固定された回転円板5と、この回転
円板5をフレキシブル接手6を介して回転させる電動機
7とから構成され、電動機7およびコイルばね3の一端
が基台8に固定されている。
As shown in FIG. 4, for example, a vibration table 2 on which an electronic component 1 to be tested is placed, and a vibration table 2
A coil spring 3 configured to be elastically supported so as to be movable in only one direction, a rotary disk 5 fixed to the vibrating table 2 so as to be rotatable, and an eccentric mass 4 fixed thereto; An electric motor 7 rotates the disk 5 through a flexible joint 6, and one end of the electric motor 7 and one end of the coil spring 3 are fixed to a base 8.

そして、以上のように構成される振動試験装置は、た
とえば電動機7の駆動によって回転円板5を回転させ、
この回転円板5に固定された偏心質量4によって遠心力
が半径方向に作用される。そこで、たとえば上下方向に
制限された一方向のみに運動可能なコイルばね3によっ
て、弾性的に支持された振動台2を上下方向に運動さ
せ、これに連動させて電子部品1を上下方向に運動させ
る。
The vibration test apparatus configured as described above rotates the rotating disk 5 by driving the electric motor 7, for example.
Centrifugal force is exerted in the radial direction by the eccentric mass 4 fixed to the rotating disk 5. Therefore, the elastically supported vibrating table 2 is moved in the vertical direction by, for example, the coil spring 3 that can move only in one direction limited in the vertical direction, and the electronic component 1 is moved in the vertical direction in conjunction with this. Let it.

このように、従来の振動試験方法は、振動台2に載置
された被試験物を機械的に上下方向に運動、すなわち振
動させることによって実施されている。
As described above, the conventional vibration test method is performed by mechanically moving, ie, vibrating, the test object placed on the vibration table 2 in the vertical direction.

[発明が解決しようとする課題] ところが、前記のような従来技術においては、機械的
に振動を加える方法が採用されているために、加えうる
振動の周波数が振動部分の質量などによって制限され、
およそ2〜5kHzの周波数が限度となっている。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-described prior art, since a method of mechanically applying vibration is adopted, the frequency of vibration that can be applied is limited by the mass of the vibrating portion and the like,
A frequency of about 2 to 5 kHz is the limit.

従って、十の振動試験装置においては、たとえば10kH
z、または20kHz以上の超音波領域の周波数範囲における
振動試験を行うことができないという問題がある。
Therefore, in ten vibration test devices, for example, 10 kHz
There is a problem that a vibration test cannot be performed in the frequency range of the ultrasonic range of z or 20 kHz or more.

また、超音波加振器などを用いた場合においても、超
音波領域の固定された周波数のみの試験が可能にされる
ものの、周波数を任意に可変して広い範囲における振動
試験を行うことができないという問題がある。
Further, even when an ultrasonic vibrator or the like is used, a test using only a fixed frequency in the ultrasonic region is enabled, but a vibration test in a wide range cannot be performed by arbitrarily changing the frequency. There is a problem.

そこで、本発明の目的は、超音波領域にわたる広い周
波数範囲において、周波数を任意に変化させうる振動試
験が可能とされる電子部品の振動試験方法および装置を
提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a vibration test method and apparatus for an electronic component that enables a vibration test in which the frequency can be arbitrarily changed in a wide frequency range over an ultrasonic range.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。
The above and other objects and novel features of the present invention are as follows.
It will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

[課題を解決するための手段] 本願において開示される発明のうち、代表的なものの
概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
[Means for Solving the Problems] Of the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described as follows.

すなわち、本発明の電子部品の振動試験方法および装
置は、内部配線を備えた電子部品の振動試験方法および
装置であって、内部配線を電磁力により振動させて機械
的弱点を知らしめるようにしたものである。
That is, the vibration test method and apparatus for an electronic component of the present invention is a vibration test method and apparatus for an electronic component having internal wiring, wherein the internal wiring is vibrated by an electromagnetic force to notify a mechanical weak point. Things.

また、この場合に電子部品が直流磁界中に配設され、
この電子部品に交流電流を流して内部配線を振動させる
ようにしたものである。
Also, in this case, the electronic components are arranged in a DC magnetic field,
An alternating current is applied to the electronic component to vibrate the internal wiring.

さらに、電子部品に直流電流を流し、この電子部品に
交流電流による交流磁界を印加して内部配線を振動させ
るようにしたものである。
Further, a direct current is applied to the electronic component, and an alternating magnetic field is applied to the electronic component by an alternating current to vibrate the internal wiring.

また、交流電流の振幅および周波数を自動的に変化さ
せ、電子部品の特性変化を検出するようにしたものであ
る。
In addition, the amplitude and frequency of the alternating current are automatically changed to detect a change in the characteristics of the electronic component.

[作用] 前記した電子部品の振動試験方法および装置によれ
ば、電子部品の内部配線を電磁力により振動させること
により、周波数に制限されることなく、超音波領域にわ
たる広範囲の周波数の振動を印加することができる。
[Operation] According to the vibration test method and apparatus for an electronic component described above, by vibrating the internal wiring of the electronic component with an electromagnetic force, vibration of a wide range of frequencies over an ultrasonic range is applied without being limited by the frequency. can do.

この場合に、電子部品を直流磁界中に配設し、さらに
この電子部品に交流電流を流すことにより、電子部品の
内部配線を広範囲の周波数によって振動させることがで
きる。これにより、電子部品の振動による機械的弱点を
超音波領域にわたる周波数範囲で知ることができる。
In this case, by arranging the electronic component in a DC magnetic field and passing an alternating current through the electronic component, the internal wiring of the electronic component can be vibrated at a wide range of frequencies. Thereby, the mechanical weak point due to the vibration of the electronic component can be known in the frequency range over the ultrasonic range.

また、電子部品に直流電流を流し、さらにこの電子部
品に交流磁界を印加することにより、上記と同様に電子
部品の内部配線を広範囲の周波数によって振動させ、超
音波領域にわたる周波数範囲で機械的弱点を知ることが
できる。
In addition, by applying a direct current to the electronic component and applying an alternating magnetic field to the electronic component, the internal wiring of the electronic component is vibrated at a wide range of frequencies in the same manner as described above, and the mechanical weakness in the frequency range over the ultrasonic range. You can know.

さらに、交流電流の振幅および周波数を自動的に変化
させることにより、電子部品の特性変化を検出すること
ができる。これにより、振動試験の自動化を図ることが
できる。
Further, by automatically changing the amplitude and frequency of the alternating current, a change in the characteristics of the electronic component can be detected. This makes it possible to automate the vibration test.

[実施例1] 第1図は本発明の一実施例である電子部品の振動試験
装置を示す概略構成図である。
Embodiment 1 FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a vibration test apparatus for an electronic component according to an embodiment of the present invention.

まず、第1図により本実施例の振動試験装置の構成を
説明する。
First, the configuration of the vibration test apparatus of the present embodiment will be described with reference to FIG.

本実施例の振動試験装置は、たとえば電子部品に交流
電流を流して内部配線を振動させる振動試験装置11とさ
れ、電子部品の一例としてのヒューズ12と、このヒュー
ズ12に交流電流を印加する交流電源13、パワーアンプ1
4、電流計15および抵抗16を備えた交流回路とから構成
され、ヒューズ12が磁石17による直流磁界中に配設され
ている。
The vibration test apparatus according to the present embodiment is, for example, a vibration test apparatus 11 that applies an alternating current to an electronic component to vibrate an internal wiring, and a fuse 12 as an example of the electronic component, and an alternating current that applies an alternating current to the fuse 12. Power supply 13, power amplifier 1
4. An AC circuit having an ammeter 15 and a resistor 16. The fuse 12 is disposed in a DC magnetic field generated by a magnet 17.

ヒューズ12は、たとえば内部に細線の内部配線12aが
内蔵され、この内部配線12aが溶融温度の低い亜鉛、鉛
などを主成分とする合金材料によって形成されている。
The fuse 12 has, for example, a thin internal wiring 12a built therein, and the internal wiring 12a is formed of an alloy material mainly composed of zinc, lead or the like having a low melting temperature.

交流電源13は、たとえば正弦波波形が発振される発振
器とされ、超音波領域にわたる広範囲の周波数、たとえ
ば1kHz〜100kHz程度の周波数の可変が可能とされてい
る。
The AC power supply 13 is, for example, an oscillator that oscillates a sine wave waveform, and is capable of varying a wide range of frequency over an ultrasonic range, for example, a frequency of about 1 kHz to 100 kHz.

パワーアンプ14では、交流電源13からの出力電圧が増
幅され、電流調整用の抵抗16を介して電流計15による確
認によって任意の交流電流とされている。
In the power amplifier 14, the output voltage from the AC power supply 13 is amplified, and is set to an arbitrary AC current by checking with an ammeter 15 via a current adjusting resistor 16.

磁石17は、たとえば0.5Tの磁界が印加できる永久磁石
とされている。
The magnet 17 is a permanent magnet to which a magnetic field of, for example, 0.5 T can be applied.

次に、本実施例の作用について説明する。 Next, the operation of the present embodiment will be described.

始めに、交流電源13の出力をパワーアンプ14によって
電流計15による確認のもとに増幅・調整し、任意の交流
電流をヒューズ12に流す。そして、このヒューズ12を磁
石17による直流磁界中に配設して、ヒューズ12の内部配
線12aを電磁力によって振動させる。
First, the output of the AC power supply 13 is amplified and adjusted by the power amplifier 14 under the confirmation of the ammeter 15, and an arbitrary AC current is supplied to the fuse 12. Then, the fuse 12 is disposed in a DC magnetic field generated by the magnet 17, and the internal wiring 12a of the fuse 12 is vibrated by an electromagnetic force.

この場合に、磁界中に垂直に設けたヒューズ12に電流
を流すと、ヒューズ12の内部配線12aには磁界の向きと
電流の向きとの両方に対して垂直方向に力が加わる。こ
れは、フレミングの左手の法則として知られている。
In this case, when a current flows through the fuse 12 provided vertically in the magnetic field, a force is applied to the internal wiring 12a of the fuse 12 in a direction perpendicular to both the direction of the magnetic field and the direction of the current. This is known as Fleming's left-hand rule.

すなわち、内部配線12aの電流をI(A)、磁界の磁
束密度をB(T)、力をF(N)、内部配線12aの磁界
における有効長さをl(m)とすれば、 F=BlI(N) ……(1) の関係がある。
That is, if the current of the internal wiring 12a is I (A), the magnetic flux density of the magnetic field is B (T), the force is F (N), and the effective length of the internal wiring 12a in the magnetic field is 1 (m), then F = BlI (N) (1)

また、内部配線12aの質量をm(kg)とすれば、内部
配線12aに作用する加速度α(m/s2)は、 α=F/m=BlI/m(m/s2) ……(2) となる。
If the mass of the internal wiring 12a is m (kg), the acceleration α (m / s 2 ) acting on the internal wiring 12a is as follows: α = F / m = BlI / m (m / s 2 ) 2)

上記(2)式により、質量m、有効長さlの内部配線
12aに、磁束密度Bまたは電流Iを変化させることによ
って、任意の加速度αを印加することができる。
According to the above equation (2), the internal wiring having the mass m and the effective length l
An arbitrary acceleration α can be applied to 12a by changing the magnetic flux density B or the current I.

たとえば、市販されている0.5(T)の磁石17を使用
し、長さが5(mm)、質量が100(μg)の内部配線12a
に、1(A)の電流を流すと、25000(m/s2)の加速
度、すなわちおよそ2500Gの振動を得ることができる。
For example, a commercially available 0.5 (T) magnet 17 is used, and the length of the internal wiring 12a is 5 (mm) and the mass is 100 (μg).
Then, when a current of 1 (A) is passed, an acceleration of 25000 (m / s 2 ), that is, a vibration of about 2500 G can be obtained.

また、上記(2)式で判るように、周波数に関係がな
いので周波数の制限が基本的になく、非常に広範囲の周
波数の振動を印加することができる。
Further, as can be seen from the above equation (2), since there is no relation to the frequency, there is basically no limitation on the frequency, and vibrations in a very wide range of frequencies can be applied.

たとえば、この場合に周波数を制限するものは交流電
源13とパワーアンプ14のみであり、従来の機械的な方法
に比べて、少なくともおよそ100倍以上の広帯域の振動
を印加することができる。
For example, in this case, only the AC power supply 13 and the power amplifier 14 limit the frequency, and it is possible to apply a broadband vibration at least about 100 times or more as compared with a conventional mechanical method.

これにより、ヒューズ12に任意の電流を流すことによ
って、任意の加速度の振動を印加することができ、また
交流電源13の周波数を変化させることによって、任意の
周波数の加速度をヒューズ12の内部配線12aに印加する
ことができる。
Thereby, an arbitrary current can be applied to the fuse 12 to apply vibration with an arbitrary acceleration, and by changing the frequency of the AC power supply 13, the acceleration at an arbitrary frequency can be applied to the internal wiring 12a of the fuse 12. Can be applied.

従って、超音波領域にわたる広い周波数範囲におい
て、周波数を任意に変化させてヒューズ(電子部品)12
の振動試験を行うことができる。
Therefore, the fuse (electronic component) 12 can be changed arbitrarily in a wide frequency range over the ultrasonic range.
Vibration test can be performed.

[実施例2] 第2図は本発明の他の実施例である電子部品の振動試
験装置を示す概略構成図である。
Embodiment 2 FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a vibration test apparatus for an electronic component according to another embodiment of the present invention.

本実施例の振動試験装置は、第2図に示すように、た
とえば電子部品に直流電流を流して内部配線を振動させ
る振動試験装置11とされ、電子部品であるヒューズ12
と、このヒューズ12に直流電流を印加する直流電源18お
よび抵抗19を備えた直流回路とから構成され、ヒューズ
12が交流電源13、パワーアンプ14、電流計15、抵抗16お
よび電磁石20による交流磁界中に配設されている。
As shown in FIG. 2, the vibration test apparatus of this embodiment is, for example, a vibration test apparatus 11 for causing a direct current to flow through an electronic component to vibrate an internal wiring.
And a DC circuit having a DC power supply 18 for applying a DC current to the fuse 12 and a resistor 19,
Reference numeral 12 denotes an AC power source, a power amplifier 14, an ammeter 15, a resistor 16, and an electromagnet 20 arranged in an AC magnetic field.

すなわち、実施例2の振動試験装置11は、実施例1と
逆に、ヒューズ12に直流電流を流し、このヒューズ12を
交流磁界中に配設することが異なる点である。
That is, the vibration test apparatus 11 of the second embodiment is different from the first embodiment in that a direct current flows through the fuse 12 and the fuse 12 is disposed in an alternating magnetic field.

従って、本実施例の振動試験装置11においては、直流
電源18の出力を抵抗19を介して所定の直流電流としてヒ
ューズ12に流す。そして、このヒューズ12を電磁石20に
よる交流磁界中に配設して、ヒューズ12の内部配線12a
を電磁力によって振動させる。
Therefore, in the vibration test apparatus 11 of the present embodiment, the output of the DC power supply 18 flows through the fuse 12 as a predetermined DC current via the resistor 19. Then, the fuse 12 is disposed in an AC magnetic field generated by the electromagnet 20, and the internal wiring 12a of the fuse 12 is provided.
Is vibrated by electromagnetic force.

この交流磁界は、交流電源13の出力をパワーアンプ14
によって電流計15による確認のもとに増幅・調整し、電
磁石20を通じて任意の交流磁界とする。
This AC magnetic field applies the output of the AC power supply 13 to the power amplifier 14
The electric current is amplified and adjusted based on the confirmation by the ammeter 15 so that an arbitrary AC magnetic field is generated through the electromagnet 20.

これにより、本実施例の振動試験装置11においても、
実施例1と同様に、電磁石20に任意の電流を流すことに
よって、ヒューズ12に任意の加速度の振動を印加するこ
とができ、また交流電源13の周波数を変化させることに
よって、任意の周波数の加速度をヒューズ12の内部配線
12aに印加することができる。
Thereby, also in the vibration test apparatus 11 of the present embodiment,
As in the first embodiment, an arbitrary current can be applied to the electromagnet 20 to apply an arbitrary acceleration vibration to the fuse 12, and by changing the frequency of the AC power supply 13, an arbitrary frequency acceleration can be applied. The fuse 12 internal wiring
12a can be applied.

従って、超音波領域にわたる広い周波数範囲におい
て、周波数を任意に変化させてヒューズ(電子部品)12
の振動試験を行うことができる。
Therefore, the fuse (electronic component) 12 can be changed arbitrarily in a wide frequency range over the ultrasonic range.
Vibration test can be performed.

[実施例3] 第3図は本発明のさらに他の実施例である電子部品の
振動試験装置を示す概略構成図である。
[Embodiment 3] Fig. 3 is a schematic configuration diagram showing a vibration test apparatus for an electronic component according to still another embodiment of the present invention.

本実施例の振動試験装置は、第3図に示すように、た
とえば電子部品に交流電流を流し、この交流電源の振幅
および周波数を自動的に変化させ、振動試験を自動化さ
せる振動試験装置11とされ、電子部品であるヒューズ12
と、このヒューズ12に交流電流を印加する周波数スイー
プ形の交流電源21、パワーアンプ14、および抵抗16を備
えた交流回路とに加えて、さらに電流検出回路22、制御
プロセッサ23および出力装置24とから構成されている。
そして、交流電源21が周波数スイープ形発振器とされ、
この周波数スイープ形発振器の周波数が制御プロセッサ
23によって制御されている。
As shown in FIG. 3, the vibration test apparatus according to the present embodiment includes, as shown in FIG. 3, a vibration test apparatus 11 for flowing an AC current through an electronic component, automatically changing the amplitude and frequency of the AC power supply, and automating the vibration test. Fuses 12
In addition to an AC circuit having a frequency sweep type AC power supply 21 for applying an AC current to the fuse 12, a power amplifier 14, and a resistor 16, a current detection circuit 22, a control processor 23, and an output device 24 It is composed of
And the AC power supply 21 is a frequency sweep type oscillator,
The frequency of this frequency sweep oscillator is controlled by the control processor.
Controlled by 23.

すなわち、実施例3の振動試験装置11は、実施例1に
比べて、交流電源21からの交流電流の振幅および周波数
を自動的に変化させ、これによりヒューズ12の特性変化
を検出することが異なる点である。
That is, the vibration test apparatus 11 of the third embodiment differs from that of the first embodiment in that the amplitude and frequency of the AC current from the AC power supply 21 are automatically changed, thereby detecting the characteristic change of the fuse 12. Is a point.

従って、本実施例の振動試験装置11においては、制御
手段である制御プロセッサ23によって、周波数スイープ
形発振器の交流電源21を制御して周波数を変化させ、か
つパワーアンプ14を制御して振幅を変化させる。
Therefore, in the vibration test apparatus 11 of the present embodiment, the control processor 23 as a control means controls the AC power supply 21 of the frequency sweep type oscillator to change the frequency, and controls the power amplifier 14 to change the amplitude. Let it.

また、抵抗16に流れる電流を検出手段である電流検出
回路22によって検出し、制御プロセッサ23にフィードバ
ックする。さらに、制御プロセッサ23によって全体を制
御して、ヒューズ12がどの周波数のどの振幅で断線した
かを判断し、その結果を出力装置24に出力する。
Further, a current flowing through the resistor 16 is detected by a current detection circuit 22 serving as a detection unit, and is fed back to the control processor 23. Further, the whole is controlled by the control processor 23 to determine which frequency and amplitude of the fuse 12 is disconnected, and outputs the result to the output device 24.

これにより、本実施例の振動試験装置11においては、
交流電源21の振幅および周波数を制御プロセッサ23によ
って自動的に変化させ、ヒューズ12の断線した周波数お
よび振幅を確認することができる。
Thereby, in the vibration test apparatus 11 of the present embodiment,
The amplitude and frequency of the AC power supply 21 are automatically changed by the control processor 23, and the frequency and amplitude at which the fuse 12 is disconnected can be confirmed.

従って、振動試験を自動化させ、ヒューズ(電子部
品)12の特性変化を検出することができる。
Therefore, the vibration test can be automated, and a change in the characteristics of the fuse (electronic component) 12 can be detected.

以上、本発明者によってなされた発明を実施例1〜3
に基づき具体的に説明したが、本発明は前記各実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
As described above, the invention made by the inventor is described in Examples 1 to 3.
Although the present invention has been described in detail, it is needless to say that the present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the gist of the present invention.

たとえば、実施例1〜3の振動試験装置11について
は、電子部品の一例としてのヒューズ12の振動試験を行
う場合について説明したが、本発明は前記各実施例に限
定されるものではなく、たとえば電子部品としてはトラ
ンジスタ、半導体集積回路などの電子部品についても広
く適用可能とされ、特に細くて短い内部配線12aを備え
た電子部品に良好に適用できる。
For example, with respect to the vibration test apparatuses 11 of the first to third embodiments, the case of performing the vibration test of the fuse 12 as an example of the electronic component has been described. However, the present invention is not limited to the above-described respective embodiments. As the electronic component, it can be widely applied to electronic components such as transistors and semiconductor integrated circuits. Particularly, it can be favorably applied to an electronic component having a thin and short internal wiring 12a.

また、前記各実施例の振動試験装置11については、交
流電源13,21として正弦波波形が発振される発振器であ
る場合について説明したが、たとえば正弦波以外にも三
角波または方形波などの任意の波形の発振器についても
適用され、この場合にはさらに共振点、すなわち機械的
弱点の断線周波数を容易に知ることができる。
Further, in the vibration test apparatus 11 of each of the above-described embodiments, the case where the AC power supplies 13 and 21 are oscillators that oscillate a sine wave waveform has been described. The present invention is also applied to an oscillator having a waveform. In this case, a resonance point, that is, a disconnection frequency at a mechanical weak point can be easily known.

さらに、実施例1および3の振動試験装置11について
は、直流磁界が磁石17によって形成される場合について
説明したが、たとえば実施例2と同様に電磁石20に直流
電流を流すことによって直流磁界を形成する場合につい
ても適用可能である。
Further, in the vibration test apparatus 11 according to the first and third embodiments, the case where the DC magnetic field is formed by the magnet 17 has been described. This is also applicable to the case where

[発明の効果] 本願において開示される発明のうち、代表的なものに
よって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおり
である。
[Effects of the Invention] Of the inventions disclosed in the present application, effects obtained by typical ones will be briefly described as follows.

(1).内部配線を備えた電子部品の振動試験方法およ
び装置において、内部配線を電磁力により振動させるこ
とにより、電磁力による振動が周波数に制限されること
がないので、超音波領域にわたる広範囲の周波数の振動
を電子部品に印加することができる。
(1). In a method and an apparatus for testing the vibration of an electronic component having internal wiring, by vibrating the internal wiring with an electromagnetic force, the vibration due to the electromagnetic force is not limited to a frequency, so that vibrations of a wide range of frequencies over an ultrasonic range are provided. Can be applied to the electronic component.

(2).電子部品が直流磁界中に配設され、この電子部
品に交流電流を流すことにより、電子部品の内部配線を
広範囲の周波数によって振動させることができるので、
電子部品の振動による機械的弱点を超音波領域にわたる
周波数範囲で知ることができる。
(2). Since the electronic components are arranged in a DC magnetic field and an alternating current is passed through the electronic components, the internal wiring of the electronic components can be vibrated at a wide range of frequencies.
The mechanical weakness due to the vibration of the electronic component can be known in a frequency range over the ultrasonic range.

(3).電子部品に直流電流を流し、この電子部品に交
流磁界を印加することにより、上記(2)と同様に電子
部品の内部配線を広範囲の周波数によって振動させ、超
音波領域にわたる周波数範囲で機械的弱点を知ることが
できる。
(3). By applying a direct current to the electronic component and applying an alternating magnetic field to the electronic component, the internal wiring of the electronic component is vibrated at a wide range of frequencies in the same manner as in the above (2), and the mechanical weak point in the frequency range over the ultrasonic range. You can know.

(4).交流電流が、正弦波、三角波、または方形波の
任意の波形とされることにより、任意の波形の振動を印
加することができるので、電子部品の機械的弱点を容易
に知ることができる。
(4). Since the alternating current has an arbitrary waveform of a sine wave, a triangular wave, or a square wave, vibration of an arbitrary waveform can be applied, so that the mechanical weak point of the electronic component can be easily known.

(5).交流電流の振幅および周波数を自動的に変化さ
せることにより、電子部品の特性変化を検出することが
できるので、振動試験の自動化を図ることができる。
(5). By automatically changing the amplitude and frequency of the alternating current, a change in the characteristics of the electronic component can be detected, so that the vibration test can be automated.

(6).前記(1)〜(5)により、超音波領域にわた
る広い周波数範囲の振動試験が可能とされ、かつ周波数
を任意に可変することが可能とされ、特に従来のような
機械的可動部分がないので安全な上に、極めて簡便で小
形の試験設備とすることが可能とされる電子部品の振動
試験方法および装置を得ることができる。
(6). According to the above (1) to (5), a vibration test in a wide frequency range over the ultrasonic range can be performed, and the frequency can be arbitrarily changed. In particular, since there is no mechanically movable part as in the related art, It is possible to obtain a method and an apparatus for testing vibration of electronic components, which are safe and can be made extremely simple and compact test equipment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の実施例1である電子部品の振動試験装
置を示す概略構成図、 第2図は本発明の実施例2である電子部品の振動試験装
置を示す概略構成図、 第3図は本発明の実施例3である電子部品の振動試験装
置を示す概略構成図、 第4図は従来の電子部品の振動試験装置を示す概略構成
図である。 1……電子部品、2……振動台、3……コイルばね、4
……偏心質量、5……回転円板、6……フレキシブル接
手、7……電動機、8……基台、11……振動試験装置、
12……ヒューズ(電子部品)、12a……内部配線、13…
…交流電源、14……パワーアンプ、15……電流計、16…
…抵抗、17……磁石、18……直流電源、19……抵抗、20
……電磁石、21……交流電源、22……電流検出回路、23
……制御プロセッサ、24……出力装置。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an electronic component vibration test apparatus according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an electronic component vibration test apparatus according to Embodiment 2 of the present invention, FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a vibration test apparatus for an electronic component according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a conventional vibration test device for an electronic component. 1 ... electronic parts, 2 ... vibration table, 3 ... coil spring, 4
... Eccentric mass, 5 ... Rotating disk, 6 ... Flexible joint, 7 ... Electric motor, 8 ... Base, 11 ... Vibration test equipment,
12 …… Fuse (electronic parts), 12a …… Internal wiring, 13…
... AC power supply, 14 ... Power amplifier, 15 ... Ammeter, 16 ...
... Resistance, 17 ... Magnet, 18 ... DC power supply, 19 ... Resistance, 20
... electromagnet, 21 ... AC power supply, 22 ... current detection circuit, 23
... Control processor, 24 ... Output device.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 俊夫 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所神奈川工場内 (72)発明者 岡村 文夫 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所神奈川工場内 (72)発明者 日沖 寛司 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所神奈川工場内 (72)発明者 藤江 利章 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所神奈川工場内 (56)参考文献 特開 昭53−19087(JP,A) 特開 昭61−196133(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Toshio Sato 1 Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Prefecture Inside Hitachi, Ltd. Kanagawa Factory (72) Inventor Fumio Okamura 1-Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Hitachi, Ltd. Kanagawa Factory, Ltd. (72) Inventor Hiroshi Hioki 1 Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Prefecture Inside Hitachi, Ltd.Kanagawa Plant (72) Inventor Toshiaki Fujie 1-Horiyamashita, Hatano-shi, Kanagawa Prefecture Inside Hitachi, Ltd.Kanagawa Plant (56) References JP-A-53-19087 (JP, A) JP-A-61-196133 (JP, A)

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】内部配線を備えた電子部品の振動試験方法
であって、前記内部配線を電磁力により振動させて機械
的弱点を知らしめることを特徴とする電子部品の振動試
験方法。
1. A vibration test method for an electronic component provided with internal wiring, wherein the internal wiring is vibrated by an electromagnetic force to notify a mechanical weak point.
【請求項2】前記電子部品が直流磁界中に配設され、該
電子部品に交流電流を流して内部配線を振動させること
を特徴とする請求項1記載の電子部品の振動試験方法。
2. The method according to claim 1, wherein the electronic component is disposed in a DC magnetic field, and an alternating current is applied to the electronic component to vibrate the internal wiring.
【請求項3】前記電子部品に直流電流を流し、該電子部
品に交流電流による交流磁界を印加して内部配線を振動
させることを特徴とする請求項1記載の電子部品の振動
試験方法。
3. The method for testing vibration of an electronic component according to claim 1, wherein a direct current is applied to said electronic component, and an internal magnetic field is applied to said electronic component by applying an alternating magnetic field to oscillate the internal wiring.
【請求項4】前記交流電流が、正弦波、三角波、または
方形波のいずれかの波形とされることを特徴とする請求
項2または3記載の電子部品の振動試験方法。
4. The method according to claim 2, wherein the alternating current has one of a sine wave, a triangular wave, and a square wave.
【請求項5】前記交流電流の振幅および周波数を自動的
に変化させ、前記電子部品の特性変化を検出することを
特徴とする請求項2または3記載の電子部品の振動試験
方法。
5. The vibration test method for an electronic component according to claim 2, wherein the amplitude and frequency of the alternating current are automatically changed to detect a change in the characteristic of the electronic component.
【請求項6】内部配線を備えた電子部品の振動試験装置
であって、前記電子部品に磁界を印加する手段と、前記
内部配線に電流を印加する手段とを有し、前記磁界と前
記電流との関係から発生する電磁力により前記内部配線
を振動させて機械的弱点を知らしめることを特徴とする
電子部品の振動試験装置。
6. An apparatus for testing the vibration of an electronic component having an internal wiring, comprising: means for applying a magnetic field to the electronic component; and means for applying a current to the internal wiring. A vibration test apparatus for an electronic component, wherein the internal wiring is vibrated by an electromagnetic force generated from the relationship with the electronic component to notify a mechanical weak point.
【請求項7】前記磁界を印加する手段は直流磁界を発生
する磁石とされ、前記電流を印加する手段は交流電流を
発生する交流電源とされ、前記磁石による直流磁界中に
前記電子部品を配設し、前記交流電源からの交流電流を
前記電子部品に流して内部配線を振動させることを特徴
とする請求項6記載の電子部品の振動試験装置。
7. The means for applying a magnetic field is a magnet for generating a DC magnetic field, the means for applying a current is an AC power supply for generating an AC current, and the electronic component is arranged in a DC magnetic field by the magnet. 7. The vibration test apparatus for an electronic component according to claim 6, wherein an AC current from the AC power supply is supplied to the electronic component to vibrate the internal wiring.
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