JP2571893B2 - Vibrating gyro - Google Patents

Vibrating gyro

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JP2571893B2
JP2571893B2 JP4178267A JP17826792A JP2571893B2 JP 2571893 B2 JP2571893 B2 JP 2571893B2 JP 4178267 A JP4178267 A JP 4178267A JP 17826792 A JP17826792 A JP 17826792A JP 2571893 B2 JP2571893 B2 JP 2571893B2
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vibrator
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piezoelectric elements
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厚吉 寺嶋
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えば自動車等に搭
載される姿勢制御システム、ナビゲーションシステム
や、ビデオカメラの手ブレ補正等に用いる角速度を検出
するための振動ジャイロに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration gyro for detecting an angular velocity used for, for example, a posture control system and a navigation system mounted on an automobile or the like, and a camera shake correction of a video camera.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の振動ジャイロとしては、例えば図
3に示すようなものが知られている。この振動ジャイロ
は、横断面形状が四角形をなす振動体1の一側面1aに
第一の圧電素子2を、その側面1aと隣接する他の側面
1bに第二の圧電素子3を、それぞれ貼着して振動子4
を構成している。そして、上記圧電素子2,3は、それ
ぞれのインピーダンス素子Z1,Z2 を介して駆動装置5
に接続され、さらにこの駆動装置5に、他のインピーダ
ンス素子Z3 を介して容量素子6が接続され、これら圧
電素子2,3および容量素子6に対して、駆動装置5か
らそれぞれ同時に交流電圧が印加されるようになってい
る。
2. Description of the Related Art As a conventional vibration gyro, for example, the one shown in FIG. 3 is known. In this vibrating gyroscope, a first piezoelectric element 2 is attached to one side surface 1a of a vibrating body 1 having a rectangular cross section, and a second piezoelectric element 3 is attached to another side surface 1b adjacent to the side surface 1a. And vibrator 4
Is composed. The piezoelectric elements 2 and 3 are connected to the driving device 5 via respective impedance elements Z 1 and Z 2.
Is connected to the further to the drive device 5, the capacitor 6 is connected via the other impedance elements Z 3, to these piezo and the capacitor 6, respectively alternating voltage simultaneously drive 5 Is applied.

【0003】一方、インピーダンス素子Z1,Z2 と圧電
素子2,3とのそれぞれの接続点7,8は、加算器9の
入力端子に接続され、さらにこの加算器9の出力端子と
インピーダンス素子Z3 および容量素子6の接続点10と
が差動増幅器11の入力端子に接続され、その差動出力が
駆動装置5に帰還されるようになっている。また、接続
点7,8は、差動増幅器12の入力端子にも接続され、こ
の差動増幅器12の出力が抵抗13aおよびコンデンサ13b
よりなるローパスフィルタ13を経て同期検波器14(ここ
ではFET)に供給され、その出力端子15に出力される
検波信号に基づいて角速度検出信号を得るようになって
いる。
On the other hand, connection points 7 and 8 between the impedance elements Z 1 and Z 2 and the piezoelectric elements 2 and 3 are connected to the input terminal of an adder 9, and the output terminal of the adder 9 is connected to the impedance element. Z 3 and a connection point 10 of the capacitive element 6 are connected to the input terminal of the differential amplifier 11, and the differential output is fed back to the driving device 5. The connection points 7 and 8 are also connected to the input terminal of the differential amplifier 12, and the output of the differential amplifier 12 is connected to a resistor 13a and a capacitor 13b.
An angular velocity detection signal is obtained based on a detection signal supplied to a synchronous detector 14 (here, an FET) via a low-pass filter 13 and output to an output terminal 15 thereof.

【0004】図3に示す振動ジャイロにおいては、駆動
装置5から圧電素子2,3に交流電圧を印加することに
よって、振動子4を直交三次元座標系のX軸方向に自励
振動させることができる。すなわち、圧電素子2,3に
交流電圧を印加すると、接続点7,8から得られる出力
は、駆動装置5からの供給電圧と、それぞれの圧電素子
2,3の歪みに伴って各圧電素子2,3から出力される
電圧との合成出力となる。したがって、それらの両合成
出力の和を加算器9で求め、その出力と接続点10からの
供給電圧に対応する出力との差を差動増幅器11で求めれ
ば、X軸方向の振動に基づいて圧電素子2,3から発生
された電圧だけが抽出され、その差動増幅器11の出力を
駆動装置5に帰還することにより、振動子4は自励振動
するようになる。
In the vibrating gyroscope shown in FIG. 3, an AC voltage is applied to the piezoelectric elements 2 and 3 from a driving device 5 to cause the vibrator 4 to self-excitedly vibrate in the X-axis direction of an orthogonal three-dimensional coordinate system. it can. That is, when an AC voltage is applied to the piezoelectric elements 2 and 3, the output obtained from the connection points 7 and 8 is equal to the supply voltage from the drive device 5 and the piezoelectric elements 2 and 3 due to the distortion of the piezoelectric elements 2 and 3. , 3 are output as a composite output. Therefore, if the sum of the two combined outputs is obtained by the adder 9 and the difference between the output and the output corresponding to the supply voltage from the connection point 10 is obtained by the differential amplifier 11, the sum is obtained based on the vibration in the X-axis direction. Only the voltage generated from the piezoelectric elements 2 and 3 is extracted, and the output of the differential amplifier 11 is fed back to the driving device 5, whereby the vibrator 4 self-oscillates.

【0005】このように振動子4が自励振動している状
態で、振動子4がZ軸廻りの回転を受けると、振動子4
はその角速度に比例するコリオリの力によりY軸方向に
振動し、接続点7,8からの出力に差が生じる。したが
って、この接続点7,8の出力を差動増幅器12で差動増
幅すれば、コリオリの力の発生に伴う電圧を分離して検
出することができるので、この差動出力をローパスフィ
ルタ13に供給して、差動出力中に波形歪みとなって含ま
れる高調波成分を除去した後、同期検波器14において振
動子4の励振周期に同期して検波すれば、コリオリの力
を電圧として検出でき、これに基づいて角速度検出信号
を得ることができる。
When the vibrator 4 is rotated around the Z axis while the vibrator 4 is self-excited, the vibrator 4
Vibrates in the Y-axis direction due to Coriolis force proportional to the angular velocity, and a difference occurs in the output from the connection points 7 and 8. Therefore, if the outputs of the connection points 7 and 8 are differentially amplified by the differential amplifier 12, the voltage accompanying the generation of the Coriolis force can be separated and detected. After supplying and removing harmonic components contained as a waveform distortion in the differential output, if the synchronous detector 14 detects in synchronization with the excitation cycle of the vibrator 4, the Coriolis force is detected as a voltage. And an angular velocity detection signal can be obtained based on this.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の振動ジャイロにおいては、ローパスフィルタ13
の出力を同期検波器14に直接供給するようにしているた
め、出力端子15(すなわち、ローパスフィルタ13の出力
端16)の電圧は、FETよりなる同期検波器14が、導通
状態(接地状態)から非導通状態となったときに、抵抗
13aおよびコンデンサ13bで決定される時定数に従って
充電される電圧となる。このため、充分な電圧を出力し
得ず、遅れを生じることになる。また、ローパスフィル
タ13が機能するのは、同期検波器14が非導通状態にある
ときのみとなるため、その機能が不十分となる。
However, in the above-described conventional vibrating gyroscope, a low-pass filter 13 is provided.
Is supplied directly to the synchronous detector 14, so that the voltage of the output terminal 15 (that is, the output terminal 16 of the low-pass filter 13) changes the conduction state (ground state) of the synchronous detector 14 composed of the FET. When it becomes non-conductive from
The voltage is charged according to a time constant determined by the capacitor 13a and the capacitor 13b. For this reason, a sufficient voltage cannot be output and a delay occurs. Further, the low-pass filter 13 functions only when the synchronous detector 14 is in a non-conducting state, so that the function is insufficient.

【0007】以上のことから、出力端子15の電圧波形
は、図4aに示すように、コリオリの力の発生に伴って
破線17で示す検出電圧波形が現れるべきものが、実線18
で示すように、同期検波器14が非導通になってもすぐに
は立ち上がらず、出力の損失を招くことになる。また、
図4bに示すように、検出電圧に対してほぼ90°の位相
差を有する不要な漏れ振動に伴って生じる電圧は、本来
は破線19で示すように基線20の上下で対称となって差し
引き零になるべきものが、実線21で示すように非対称波
形となり、これがため周囲温度の変化によりこの電圧が
変化してドリフトが生じることになる。
From the above, as shown in FIG. 4A, the voltage waveform at the output terminal 15 should be such that the detected voltage waveform shown by the broken line 17 should appear with the generation of the Coriolis force, but the solid line 18
As shown by, even when the synchronous detector 14 becomes non-conductive, the synchronous detector 14 does not rise immediately, resulting in loss of output. Also,
As shown in FIG. 4b, the voltage generated due to the unnecessary leakage vibration having a phase difference of about 90 ° with respect to the detected voltage is originally symmetrical above and below the base line 20 as shown by a broken line 19, and is reduced to zero. Becomes an asymmetric waveform as shown by the solid line 21, and this voltage changes due to a change in the ambient temperature, causing a drift.

【0008】このように、上述した従来の振動ジャイロ
にあっては、ローパスフィルタ機能が不十分であると共
に、検出出力の損失やドリフトの発生が生じ、これがた
め角速度を常に高感度かつ高精度で検出できないという
問題があった。
As described above, in the above-described conventional vibrating gyroscope, the low-pass filter function is inadequate, and the loss of the detection output and the occurrence of drift occur. Therefore, the angular velocity can always be controlled with high sensitivity and high accuracy. There was a problem that it could not be detected.

【0009】この発明は、このような従来の問題点に着
目してなされたもので、角速度を常に高感度かつ高精度
で検出し得るよう適切に構成した振動ジャイロを提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in view of such a conventional problem, and has as its object to provide a vibrating gyroscope appropriately configured to always detect angular velocity with high sensitivity and high accuracy. .

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、横断面形状が多角形をなす振動体の
側面に、少なくとも二つの圧電素子を有する振動子を自
励振動させて、前記二つの圧電素子の出力を差動増幅器
により差動増幅し、その差動出力をローパスフィルタを
経て同期検波器により前記自励振動に同期して検波し
て、前記振動子に作用する角速度を検出するようにした
振動ジャイロにおいて、前記ローパスフィルタと前記同
期検波器との間に抵抗器を接続する。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a vibrator having at least two piezoelectric elements is self-excitedly vibrated on a side surface of a vibrating body having a polygonal cross section. The outputs of the two piezoelectric elements are differentially amplified by a differential amplifier, and the differential output is detected in synchronization with the self-excited vibration by a synchronous detector via a low-pass filter, and the angular velocity acting on the vibrator is detected. In the vibration gyro to be detected, a resistor is connected between the low-pass filter and the synchronous detector.

【0011】[0011]

【作用】このように、ローパスフィルタと同期検波器と
の間に抵抗器を接続すると、ローパスフィルタは、常に
フィルタ作用の結果を出力することになる。したがっ
て、同期検波出力は、ローパスフィルタの時定数に関わ
りなく、即座に立ち上がり、確実に同期検波された出力
波形となるので、検出出力の損失を有効に防止できると
共に、ドリフトを低減することができ、角速度を常に高
感度かつ高精度で検出することが可能となる。
When the resistor is connected between the low-pass filter and the synchronous detector, the low-pass filter always outputs the result of the filter operation. Therefore, the synchronous detection output immediately rises regardless of the time constant of the low-pass filter, and becomes an output waveform that is surely synchronously detected.Thus, the loss of the detection output can be effectively prevented, and the drift can be reduced. , The angular velocity can always be detected with high sensitivity and high accuracy.

【0012】[0012]

【実施例】図1は、この発明の一実施例を示すもので、
図3に示す符号と同一符号は同一作用を成すものを示
す。この実施例では、横断面形状が四角形を成す振動体
1の一側面1aに第一の圧電素子2を、その側面1aと
隣接する他の側面1bに第二の圧電素子3をそれぞれ貼
着して振動子4を構成する。圧電素子2,3は、それぞ
れのインピーダンス素子Z1,Z2 を介して駆動装置5に
接続し、さらにこの駆動装置5に、他のインピーダンス
素子Z3 を介して容量素子6を接続して、これら圧電素
子2,3および容量素子6に対して、駆動装置5からそ
れぞれ同時に交流電圧を印加するようにする。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention.
The same reference numerals as those shown in FIG. 3 indicate the same elements. In this embodiment, a first piezoelectric element 2 is adhered to one side surface 1a of the vibrating body 1 having a rectangular cross section, and a second piezoelectric element 3 is adhered to another side surface 1b adjacent to the side surface 1a. Thus, the vibrator 4 is formed. The piezoelectric elements 2 and 3 are connected to a driving device 5 via respective impedance elements Z 1 and Z 2 , and further connected to the driving device 5 via a capacitance element 6 via another impedance element Z 3 . An AC voltage is simultaneously applied to these piezoelectric elements 2 and 3 and the capacitive element 6 from the driving device 5.

【0013】一方、インピーダンス素子Z1,Z2 と圧電
素子2,3とのそれぞれの接続点7,8は、加算器9の
入力端子に接続し、さらにこの加算器9の出力端子とイ
ンピーダンス素子Z3 および容量素子6の接続点10とを
差動増幅器11の入力端子に接続し、その差動出力を駆動
装置5に帰還する。また、接続点7,8は、差動増幅器
12の入力端子にも接続し、この差動増幅器12の出力を抵
抗13aおよびコンデンサ13bよりなるローパスフィルタ
13および抵抗器22を経て同期検波器14(ここではFE
T)に供給し、その出力端子15に出力される検波信号に
基づいて角速度検出信号を得るようにする。
On the other hand, connection points 7 and 8 between the impedance elements Z 1 and Z 2 and the piezoelectric elements 2 and 3 are connected to the input terminal of the adder 9, and the output terminal of the adder 9 is connected to the impedance element. Z 3 and the connection point 10 of the capacitive element 6 are connected to the input terminal of the differential amplifier 11, and the differential output is fed back to the driving device 5. Connection points 7 and 8 are differential amplifiers.
12 is connected to the input terminal of the differential amplifier 12, and the output of the differential amplifier 12 is connected to a low-pass filter comprising a resistor 13a and a capacitor 13b.
13 and a synchronous detector 14 (here, FE)
T), and an angular velocity detection signal is obtained based on the detection signal output to the output terminal 15 thereof.

【0014】図1に示す振動ジャイロにおいて、駆動装
置5から圧電素子2,3に交流電圧を印加すると、振動
子4は直交三次元座標系のX軸方向に自励振動する。す
なわち、圧電素子2,3に交流電圧を印加すると、接続
点7,8から得られる出力は、駆動装置5からの供給電
圧と、それぞれの圧電素子2,3の歪みに伴って各圧電
素子2,3から出力される電圧との合成出力となる。し
たがって、それらの両合成出力の和を加算器9で求め、
その出力と接続点10からの供給電圧に対応する出力との
差を差動増幅器11で求めれば、X軸方向の振動に基づい
て圧電素子2,3から発生された電圧だけが抽出され、
その差動増幅器11の出力を駆動装置5に帰還することに
より、振動子4は自励振動するようになる。
In the vibrating gyroscope shown in FIG. 1, when an AC voltage is applied to the piezoelectric elements 2 and 3 from the driving device 5, the vibrator 4 self-oscillates in the X-axis direction of the orthogonal three-dimensional coordinate system. That is, when an AC voltage is applied to the piezoelectric elements 2 and 3, the output obtained from the connection points 7 and 8 is equal to the supply voltage from the drive device 5 and the piezoelectric elements 2 and 3 due to the distortion of the piezoelectric elements 2 and 3. , 3 are output as a composite output. Therefore, the sum of the two combined outputs is obtained by the adder 9,
If the difference between the output and the output corresponding to the supply voltage from the connection point 10 is obtained by the differential amplifier 11, only the voltage generated from the piezoelectric elements 2 and 3 based on the vibration in the X-axis direction is extracted,
By returning the output of the differential amplifier 11 to the driving device 5, the vibrator 4 self-oscillates.

【0015】このように振動子4が自励振動している状
態で、振動子4がZ軸廻りの回転を受けると、振動子4
はその角速度に比例するコリオリの力によりY軸方向に
振動し、接続点7,8からの出力に差が生じる。したが
って、この接続点7,8の出力を差動増幅器12で差動増
幅すれば、コリオリの力の発生に伴う電圧を分離して検
出することができるので、この差動出力をローパスフィ
ルタ13に供給して、差動出力中に波形歪みとなって含ま
れる高調波成分を除去した後、抵抗器22を経て同期検波
器14に供給して、該同期検波器14において振動子4の励
振周期に同期して検波すれば、コリオリの力を電圧とし
て検出でき、これに基づいて角速度検出信号を得ること
ができる。
When the vibrator 4 is rotated around the Z axis while the vibrator 4 is self-excited, the vibrator 4
Vibrates in the Y-axis direction due to Coriolis force proportional to the angular velocity, and a difference occurs in the output from the connection points 7 and 8. Therefore, if the outputs of the connection points 7 and 8 are differentially amplified by the differential amplifier 12, the voltage accompanying the generation of the Coriolis force can be separated and detected. Then, after removing harmonic components included as a waveform distortion in the differential output, the signal is supplied to the synchronous detector 14 via the resistor 22, and the excitation period of the vibrator 4 in the synchronous detector 14 is reduced. , The Coriolis force can be detected as a voltage, and an angular velocity detection signal can be obtained based on the voltage.

【0016】ここで、出力端子15は、図3の場合と同様
に、同期検波器14が振動子4の励振周期の半周期毎に導
通および非導通を交互に繰り返すのに応じて、接地側と
断続されるが、この実施例では、ローパスフィルタ13の
出力端16を抵抗器22を介して出力端子15に接続している
ので、ローパスフィルタ13は、出力端子15の接地側との
断続の繰り返しに関係なく、常にフィルタ作用の結果を
出力することになる。
Here, as in the case of FIG. 3, the output terminal 15 is connected to the ground side in response to the synchronous detector 14 repeating conduction and non-conduction alternately every half cycle of the excitation period of the vibrator 4. In this embodiment, since the output terminal 16 of the low-pass filter 13 is connected to the output terminal 15 via the resistor 22, the low-pass filter 13 is intermittent with the ground side of the output terminal 15. Regardless of the repetition, the result of the filter action will always be output.

【0017】したがって、同期検波に伴うコンデンサ13
bの接地側との充放電が無くなるので、コリオリの力の
発生に伴って出力端子15に生じる検出電圧波形は、同期
検波器14の非導通状態において、ローパスフィルタ13の
時定数に関わりなく、図2aに実線23で示すように即座
に立ち上がり、すなわち確実に同期検波された電圧波形
となり、これにより出力の損失を有効に防止することが
できる。また、検出電圧に対してほぼ90°の位相差を有
する不要な漏れ振動に伴って生じる電圧も、図2bに実
線24で示すように対称的な波形となるので、周囲温度の
変化によりこの電圧が変化してもドリフトが生じにくく
なる。
Therefore, the capacitor 13 associated with synchronous detection
Since the charging and discharging of b with respect to the ground side is eliminated, the detection voltage waveform generated at the output terminal 15 due to the generation of the Coriolis force, regardless of the time constant of the low-pass filter 13 in the non-conduction state of the synchronous detector 14, As shown by the solid line 23 in FIG. 2A, the voltage waveform rises immediately, that is, the voltage waveform is surely synchronously detected, whereby the output loss can be effectively prevented. In addition, the voltage generated due to unnecessary leakage vibration having a phase difference of about 90 ° with respect to the detected voltage also has a symmetrical waveform as shown by a solid line 24 in FIG. Drift is less likely to occur even if is changed.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、ロー
パスフィルタの出力を抵抗器を経て同期検波器に供給す
るようにしたので、ローパスフィルタを常に機能させる
ことができると共に、同期検波に伴うローパスフィルタ
の出力端の充放電を有効に防止することができる。した
がって、確実な同期検波を行うことができ、検出出力の
損失を有効に防止することができると共に、ドリフトを
低減することができるので、角速度を常に高感度かつ高
精度で検出することができる。
As described above, according to the present invention, the output of the low-pass filter is supplied to the synchronous detector via the resistor, so that the low-pass filter can always function, and the synchronous detection can be performed. Accordingly, charging and discharging of the output terminal of the low-pass filter can be effectively prevented. Therefore, the synchronous detection can be performed reliably, the loss of the detection output can be effectively prevented, and the drift can be reduced. Therefore, the angular velocity can always be detected with high sensitivity and high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】その動作を説明するための信号波形図である。FIG. 2 is a signal waveform diagram for explaining the operation.

【図3】従来の技術を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a conventional technique.

【図4】図3の動作を説明するための信号波形図であ
る。
FIG. 4 is a signal waveform diagram for explaining the operation of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 振動体 1a,1b 側面 2,3 圧電素子 4 振動子 5 駆動装置 6 容量素子 7,8,10 接続点 9 加算器 11,12 差動増幅器 13 ローパスフィルタ 14 同期検波器 15 出力端子 22 抵抗器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vibration body 1a, 1b Side surface 2, 3 Piezoelectric element 4 Vibrator 5 Drive device 6 Capacitor element 7, 8, 10 Connection point 9 Adder 11, 12 Differential amplifier 13 Low-pass filter 14 Synchronous detector 15 Output terminal 22 Resistor

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 横断面形状が多角形をなす振動体の側面
に、少なくとも二つの圧電素子を有する振動子を自励振
動させて、前記二つの圧電素子の出力を差動増幅器によ
り差動増幅し、その差動出力をローパスフィルタを経て
同期検波器により前記自励振動に同期して検波して、前
記振動子に作用する角速度を検出するようにした振動ジ
ャイロにおいて、前記ローパスフィルタと前記同期検波
器との間に抵抗器を接続したことを特徴とする振動ジャ
イロ。
1. A vibrator having at least two piezoelectric elements is self-oscillated on a side surface of a vibrating body having a polygonal cross section, and the outputs of the two piezoelectric elements are differentially amplified by a differential amplifier. The differential output is detected by a synchronous detector through a low-pass filter in synchronization with the self-excited vibration, and an angular velocity acting on the vibrator is detected. A vibrating gyroscope comprising a resistor connected between the detector and the detector.
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