JP2570638B2 - Semiconductor package - Google Patents

Semiconductor package

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JP2570638B2
JP2570638B2 JP6293239A JP29323994A JP2570638B2 JP 2570638 B2 JP2570638 B2 JP 2570638B2 JP 6293239 A JP6293239 A JP 6293239A JP 29323994 A JP29323994 A JP 29323994A JP 2570638 B2 JP2570638 B2 JP 2570638B2
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fet
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利彦 菅野
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波帯増幅器に用
いられる高周波用トランジスタのパッケージに関し、特
にGaAsFETのような高周波トランジスタのパッケ
ージに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-frequency transistor package used in a microwave band amplifier, and more particularly to a high-frequency transistor package such as a GaAs FET.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のマイクロ波帯低雑音GaAsFE
Tにおいて通常用いられるパッケージの構造は図3に示
すようにゲート端子34を1本,ドレイン端子35を1
本,ソース端子36a,36bを2本有している。ま
た、これらの端子には細長いリボン状リードを放射状に
十字形になるように接続されている。本構造について
は、例えば特開平01−216608号公報に記載され
ている。
2. Description of the Related Art Conventional microwave band low noise GaAsFE
As shown in FIG. 3, the structure of a package usually used at T is such that one gate terminal 34 and one drain terminal 35 are connected.
And two source terminals 36a and 36b. In addition, these terminals are connected to an elongated ribbon-shaped lead so as to be radially cross-shaped. This structure is described in, for example, JP-A-01-216608.

【0003】本図についてさらに詳細に説明する。1
は、気密封止用セラミックキャップ,2はFET基板用
基板,3はFETのべアチップ,34はゲートリード端
子,35はドレインリード端子,36はリースリード端
子,11はベアチップと各リード端子をむすぶボンディ
ングワイアである。ここで各リード端子のパッケージか
ら突出した部分は幅W、長さLの細長い形状をしてい
る。次に、上述のGaAsFETを用いてマイクロ波帯
増幅器を構成した例を図4に示す。図4において、7
a,7bは、ソース接地用マイクロストリップパター
ン,8a,8bはマイクロストリップ線路,9は誘電体
基板,10は接地導体である。入力側整合回路8aはゲ
ートリード端子を半田付けするために幅W′(>W),
長さL′(>L)のマイクロストリップ線路が最初に接
続されその後に、整合回路パターンが接続される構成を
している。なお以上説明した従来技術のパッケージは1
991年版NECデータブック「マイクロ波デバイス」
第607頁から615頁にパッケージの説明として記載
されている。
FIG. 1 will be described in further detail. 1
Is a ceramic cap for hermetic sealing, 2 is a substrate for an FET substrate, 3 is a bare chip of an FET, 34 is a gate lead terminal, 35 is a drain lead terminal, 36 is a lease lead terminal, and 11 is a bare chip and each lead terminal. It is a bonding wire. Here, the portion of each lead terminal projecting from the package has an elongated shape with a width W and a length L. Next, FIG. 4 shows an example in which a microwave band amplifier is configured using the above-mentioned GaAs FET. In FIG.
Reference numerals a and 7b denote a microstrip pattern for grounding the source, 8a and 8b denote microstrip lines, 9 denotes a dielectric substrate, and 10 denotes a ground conductor. The input side matching circuit 8a has a width W '(> W) for soldering the gate lead terminals,
The configuration is such that a microstrip line having a length L '(> L) is connected first, and thereafter a matching circuit pattern is connected. The package of the prior art described above is 1
1999 edition NEC Data Book "Microwave Device"
The description of the package is described on pages 607 to 615.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来のGaAsFET
のパッケージではFETのベアチップ状のゲート,ソー
スドレインの各電極と、FETのリード端子に接続され
るマイクロストリップパターンとの距離が長く、高周波
回路ではインダクタンス成分が含まれるために実際のベ
アチップ単体の性能に比べて、FETの高周波特性が低
下する問題を有していた。また、低雑音,高利得な増幅
器を得る最適な整合回路を得るためには、特性インピー
ダンスの高い線路をできる限りゲート端子の根元に近い
場所に接続する必要がある。しかし、従来のパッケージ
構造では、半田付けのためにリード幅よりも幅の広いマ
イクロストリップパターンが必ず入るためゲート端子の
根元から特性インピーダンスの高い、すなわちリード幅
よりも幅の狭いマイクロストリップパターンを接続する
ことが困難となる問題も有していた。
SUMMARY OF THE INVENTION Conventional GaAs FET
In this package, the distance between the bare chip gate and source / drain electrodes of the FET and the microstrip pattern connected to the lead terminal of the FET is long. In comparison with the above, there is a problem that the high-frequency characteristics of the FET deteriorate. Further, in order to obtain an optimum matching circuit for obtaining a low-noise, high-gain amplifier, it is necessary to connect a line having a high characteristic impedance as close to the base of the gate terminal as possible. However, in the conventional package structure, a microstrip pattern wider than the lead width is always inserted for soldering, so a microstrip pattern with a high characteristic impedance, that is, a narrower width than the lead width, is connected from the base of the gate terminal. There was also a problem that it was difficult to do so.

【0005】本発明は、上述の問題点を解決するため、
インダクタンス成分を低減でき、また、整合回路の構成
を容易化する高周波用トランジスタのパッケージを提供
することを目的とする。
[0005] The present invention has been developed to solve the above-mentioned problems.
It is an object of the present invention to provide a high-frequency transistor package that can reduce an inductance component and facilitate the configuration of a matching circuit.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体用パッケ
ージは、誘電帯基板上に搭載された半導体チップと、前
記半導体チップからボンディングワイアにて接続される
前記誘電帯上の電極と、前記半導体チップと前記電極と
気密封止するキャップとから構成される半導体用パッケ
ージにおいて、前記電極は、前記誘電帯基板側部を切り
欠いて凹形状部の表面に半田メッキして形成されること
を特徴としている。
A semiconductor package according to the present invention comprises a semiconductor chip mounted on a dielectric band substrate, an electrode on the dielectric band connected to the semiconductor chip by a bonding wire, and In a semiconductor package including a chip, the electrode, and a cap that hermetically seals, the electrode is formed by notching a side portion of the dielectric band substrate and performing solder plating on a surface of a concave portion. And

【0007】[0007]

【作用】本発明では、半導体のベアチップが記載されて
いる基板において、端子が接続されている部分を凹形状
に切り欠き、その切り欠いた部分を側面メッキして各電
極部を形成したことから、各電極のリード端子を不要と
して、外部回路と接続されるマイクロストリップパター
ンとの距離が短くできインダクタンス成分が低減され
る。
According to the present invention, in a substrate on which a semiconductor bare chip is described, a portion to which a terminal is connected is cut out in a concave shape, and the cutout portion is side-plated to form each electrode portion. Since the lead terminal of each electrode is not required, the distance from the microstrip pattern connected to the external circuit can be shortened, and the inductance component can be reduced.

【0008】[0008]

【実施例】本発明について、図面を参照して説明する。
図1は本発明の一実施例のGaAsFETの構造図であ
る。図1において1は気密封止用セラミックキャップ,
2はFETチップ用基板,3はFETのベアチップ,4
は側面メッキされたソース端子,11はベアチップ上の
各電極と、上記各端子を結ぶボンディングワイア,12
はゲート端子4,ドレイン端子5,ソース端子の電極で
ある。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a structural diagram of a GaAs FET according to one embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is a ceramic cap for hermetic sealing,
2 is an FET chip substrate, 3 is a bare FET chip, 4
Is a side-plated source terminal, 11 is a bonding wire connecting each electrode on the bare chip and each terminal, 12
Are electrodes of a gate terminal 4, a drain terminal 5, and a source terminal.

【0009】本図において、GaAsFETのパッケー
ジのゲート端子4,ドレイン端子5及びソース端子6
a,6bは製造上の容易さから各々同一形状をしてい
る。ここで例えばソース端子6bについて説明すると、
ソース端子の電極12は半円柱形状をしており、またそ
の表面には半田メッキ13が形成されている。本形状は
基板2を半円柱形上に切り欠くことで簡易に形成でき
る。ソース端子6b以外に他の3つの端子も同形状をし
ており、ベアチップ3の各電極とボンディングワイア1
1にて接続できるようになっている。この結果半円柱状
の各電極12が直接FET基板2底面に接続されるた
め、FETのリード端子に接続されるマイクロストリッ
プパターンとの距離が短くなりインダクタンス成分が低
減される。
In FIG. 1, a gate terminal 4, a drain terminal 5 and a source terminal 6 of a GaAs FET package are shown.
a and 6b have the same shape for ease of manufacture. Here, for example, the source terminal 6b will be described.
The electrode 12 of the source terminal has a semi-cylindrical shape, and a solder plating 13 is formed on the surface thereof. This shape can be easily formed by cutting the substrate 2 into a semi-cylindrical shape. In addition to the source terminal 6b, the other three terminals have the same shape, and each electrode of the bare chip 3 and the bonding wire 1
1 can be connected. As a result, since each semi-cylindrical electrode 12 is directly connected to the bottom surface of the FET substrate 2, the distance from the microstrip pattern connected to the lead terminal of the FET is shortened, and the inductance component is reduced.

【0010】なお、気密封止用セラミックキャップ1
は、基板2を半円柱状に切り欠いたことにより封止性を
劣下させることのないよう、各電極の半円状の切り欠き
部を避けて封止することとなる。具体的には気密封止用
セラミックキャップ1の形状は、各電極の半円柱の頂点
どおしを結ぶ円の直径よりも小さい直径を有している。
[0010] The hermetic sealing ceramic cap 1
In order to prevent the sealing performance from deteriorating due to the cutout of the substrate 2 in a semi-cylindrical shape, the sealing is performed avoiding the semicircular cutout portions of the respective electrodes. Specifically, the shape of the hermetic sealing ceramic cap 1 has a diameter smaller than the diameter of the circle connecting the vertices of the semi-cylindrical columns of the respective electrodes.

【0011】図2に本発明によるパッケージを持つGa
AsFETを用いたマイクロ波帯増幅器の一実施例を示
す。
FIG. 2 shows a Ga having a package according to the present invention.
1 shows an embodiment of a microwave band amplifier using AsFET.

【0012】図2において7a,7bは、ソース接地用
マイクロストリップパターン、8a,8bは、マイクロ
ストリップ線路、9は誘電帯基板、10は接地導体であ
る。入力整合回路8aはゲート端子4を半田付けするた
めのパターンが微小であるためゲート端子4の根元から
特性インピーダンスの高いマイクロストリップ線路を接
続できる。
In FIG. 2, 7a and 7b are microstrip patterns for grounding the source, 8a and 8b are microstrip lines, 9 is a dielectric band substrate, and 10 is a ground conductor. Since the pattern for soldering the gate terminal 4 is minute in the input matching circuit 8a, a microstrip line having a high characteristic impedance can be connected from the base of the gate terminal 4.

【0013】以上説明したように本実施例ではGaAs
FETトランジスタを用いてトランジスタのゲート,ソ
ース,ドレインの各リード端子の電極構造を半円柱状と
したが、これに限定するものではない。
As described above, in this embodiment, GaAs is used.
Although an electrode structure of each of the gate, source, and drain lead terminals of the transistor is formed in a semi-cylindrical shape using an FET transistor, the present invention is not limited to this.

【0014】即ち、GaAsFETトランジスタに限定
されず、一般のトランジスタやマイクロ波集積回路(M
IC)に適用することもできる。
That is, the present invention is not limited to GaAs FET transistors, but includes general transistors and microwave integrated circuits (M
IC).

【0015】また、電極構造もベアチップを搭載する誘
電帯基板を一定形状を切り欠いた部分に電極を形成する
ならば凹形状をしていれば良い。
The electrode structure may be concave if the electrode is formed in a part of a dielectric band substrate on which a bare chip is mounted and a predetermined shape is cut out.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、FETチ
ップののっている基板において、ゲート,リソース,ド
レインの各リード端子が接続されている部分を、半円柱
状に内側に切り欠いてその部分を側面メッキし、各電極
部を形成したことから、FETチップ上の各電極とFE
Tに接続されるマイクロストリップパターンとの距離を
短くすることができるためインダクタンス成分が低減さ
れるという効果を有する。
As described above, according to the present invention, in the substrate on which the FET chip is mounted, the portion where the gate, resource, and drain lead terminals are connected is cut inward in a semi-cylindrical shape. Since that part was plated on the side and each electrode part was formed, each electrode on the FET chip and FE
Since the distance from the microstrip pattern connected to T can be shortened, there is an effect that the inductance component is reduced.

【0017】また、各電極部を半田付けするときのパタ
ーンも微小であるため電極の根元から任意の回路パター
ンを接続できるため、整合回路の設計が自由にできると
いう効果も有する。したがって、従来のGaAsFET
に比べて、雑音パラメータの最良点が得られ易くなり雑
音指数の良い増幅器の設計が可能になるという効果も有
している。
Also, since the pattern for soldering each electrode portion is very small, an arbitrary circuit pattern can be connected from the base of the electrode, so that the matching circuit can be designed freely. Therefore, the conventional GaAs FET
In comparison with the above, there is an effect that the best point of the noise parameter can be easily obtained, and an amplifier having a good noise figure can be designed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例によるGaAsFET等の高
周波用トランジスタの構造図である。
FIG. 1 is a structural diagram of a high-frequency transistor such as a GaAs FET according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例によるGaAsFETのパッ
ケージを用いたマイクロ波帯増幅器の構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of a microwave band amplifier using a GaAs FET package according to an embodiment of the present invention.

【図3】従来のGaAsFETの構造図である。FIG. 3 is a structural diagram of a conventional GaAs FET.

【図4】従来のGaAsFETを用いたマイクロ波帯増
幅器の構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram of a microwave band amplifier using a conventional GaAs FET.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 気密封止用セラミックキャップ 2 FETチップ用基板 3 FETのベアチップ 4 側面メッキされたゲート端子 5 側面メッキされたドレイン端子 6 側面メッキされたソース端子 7 ソース接地用マイクロストリップパターン 8 マイクロストリップ線路 9 誘電体基板 10 接地導体 11 ボンディングワイア 12 電極 13 半田メッキ 34 ゲートリード端子 35 ドレインリード端子 36 ソースリード端子 REFERENCE SIGNS LIST 1 Hermetic sealing ceramic cap 2 FET chip substrate 3 FET bare chip 4 Side-plated gate terminal 5 Side-plated drain terminal 6 Side-plated source terminal 7 Microstrip pattern for grounding source 8 Microstrip line 9 Dielectric Body substrate 10 Ground conductor 11 Bonding wire 12 Electrode 13 Solder plating 34 Gate lead terminal 35 Drain lead terminal 36 Source lead terminal

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 誘電体基板上に搭載された半導体チップ
と、前記半導体チップからボンディングワイアにて接続
される前記誘電体基板上の電極と、前記半導体チップと
前記電極を気密封止するキャップとから構成される半導
体用パッケージにおいて、前記電極は、前記誘電体基板
側面部を切り欠いた凹形状部の表面に半田メッキして形
成されることを特徴とする半導体用パッケージ。
1. A semiconductor chip mounted on a dielectric substrate, an electrode on the dielectric substrate connected to the semiconductor chip by a bonding wire, and a cap for hermetically sealing the semiconductor chip and the electrode. Wherein the electrode is formed by solder plating on a surface of a concave portion formed by cutting a side surface of the dielectric substrate.
【請求項2】 前記キャップは、前記凹形状の切り欠き
部を避けて前記半導体チップと前記電極とを包み込む気
密封止用キャップであることを特徴とする請求項1記載
の半導体パッケージ。
2. The semiconductor package according to claim 1, wherein the cap is a hermetic sealing cap that encloses the semiconductor chip and the electrode while avoiding the concave cutout.
【請求項3】 前記半導体チップは、マイクロ波帯高周
波回路に用いられることを特徴とする請求項1記載の半
導体パッケージ。
3. The semiconductor package according to claim 1, wherein said semiconductor chip is used for a microwave band high frequency circuit.
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