JP2568584C - - Google Patents

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JP2568584C
JP2568584C JP2568584C JP 2568584 C JP2568584 C JP 2568584C JP 2568584 C JP2568584 C JP 2568584C
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epoxy resin
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resin
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epoxy
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、信頼性、特に高温雰囲気中においても優れた信頼性を保持する半
導体装置に関するものである。 〔従来の技術〕 トランジスタ,IC,LSI等の半導体素子は、一般にエポキシ樹脂組成物を
用いて封止され半導体装置化されている。上記エポキシ樹脂は、その電気特性,
耐湿性,接着性等が良好であることから、半導体装置の封止に用いられており良
好な成績を収めている。しかしながら、近年、自動車等の、多くの屋外使用機器
においても半導体装置が大量に使用されるにしたがつて、今まで以上の耐熱性、
特に従来では問題にならなかつた高温での保存信頼性が、多くの半導体装置に要
求されるようになつてきた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 このような耐熱性の向上のためには、従来から、封止に用いるエポキシ樹脂の
難燃性を高めることによつて行つている。すなわち、臭素化エポキシ樹脂と酸化
アンチモンとを組み合わせてエポキシ樹脂組成物中に配合することにより、エポ
キシ樹脂組成物硬化体の難燃性を高め、それによつて封止樹脂の耐熱性の向上を
図つている。上記臭素化エポキシ樹脂と酸化アンチモンとの組み合わせは、難燃
性の点では良好な結果を示す。ところが、高温における保存安定性の点では問題
が生じる。すなわち、高温状態においては、臭素化エポキシ樹脂の熱分解により
臭化水素が発生し、この臭化水素が半導体素子の金線とアルミパツドの接合部と
に反応して合金の生成を促し、これによつて電気抵抗値の増加を招き、導通不良
をもたらす。 また、高温下で半導体装置が使用される機会がふえ、実装時にも215〜26
0℃の半田温度にパッケージ全体がさらされることもあり、高温条件下での優れ
た機械的特性も同時に要求されるようになつている。 この発明は、このような事情に鑑みなされたもので、高温雰囲気中に長時間放 置しても優れた信頼性を示すと同時に、高温雰囲気下での機械的特性の低下の少
ない半導体装置の提供をその目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 上記の目的を達成するため、この発明の半導体装置は、下記の(A)〜(D)成
分を含有するエポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止するという構成をと
る。 (A)ノボラツク型エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂であつて1分子中にエポ
キシ基を少なくとも3個有するエポキシ樹脂。 (B)ノボラツク型フエノール樹脂以外のフエノール樹脂であつて1分子中に
フエニル基を少なくとも3個有するフエノール樹脂。 (C)臭素化エポキシ樹脂。 (D)Biの水酸化物,Biの酸化物,Alの水酸化物およびAlの酸化物か
らなる群から選択された少なくとも一つの化合物。 すなわち、本発明者らは、上記の目的を達成するため、一連の研究を重ねた結
果、難燃剤としての臭素化エポキシ樹脂の熱分解の際に発生するハロゲン化合物
ガスを、Bi,Alの水酸化物,酸化物が捕捉トラツプし高温雰囲気下の信頼性
を効果ぬに保持させることをつきとめた。 また、高温雰囲気下における機械的物性に関しては、上記特定のエポキシ樹脂
とフエノール樹脂とを使用することにより、高温雰囲気下において機械的特性の
優れたエポキシ樹脂組成物硬化体が得られるようになることをつきとめこの発明
に到達した。 この発明の半導体装置で使用するエポキシ樹脂組成物は、特定のエポキシ樹脂
(A成分)と特定のフエノール樹脂(B成分)と臭素化エポキシ樹脂(C成分)
とBi,Alの水酸化物,酸化物からなる化合物(D成分)とを用いて得られる
ものであつて、通常粉末状もしくはそれを打錠したタブレツト状になつている。 上記エポキシ樹脂組成物のA成分となるエポキシ樹脂は、ノボラツク型エポキ
シ樹脂以外のエポキシ樹脂であつて1分子中にエポキシ基を少なくとも3個有す
るエポキシ樹脂である。すなわち、本発明者らは高温雰囲気下における封止樹脂
の機械的特性の向上について一連の研究を重ねた結果、エポキシ樹脂,フエノー ル樹脂中に含まれる2核体以下の成分が、封止樹脂の高温下における機械的特性
を低下させることをつきとめた。そして、そのような2核体以下の成分を含むエ
ポキシ樹脂,フエノール樹脂はノボラツク型のものであり、エポキシ樹脂につい
ては、ノボラツク型エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂であつて1分子中にエポキ
シ基を3個以上有するエポキシ樹脂であれば、2核体以下の成分を殆ど含まない
ことをみいだした。 このようなエポキシ樹脂としては、つぎの〜に示すようなものを例示する
ことができる。このようなエポキシ樹脂は、単独で用いてもよいし併用してもよ
い。 また上記B成分のフエノール樹脂は、上記エポキシ樹脂と同様、ノボラツク型
フエノール樹脂以外のフエノール樹脂であつて、1分子中にフエニル基を少なく
とも3個有するフエノール樹脂である。このフエノール樹脂も上記エポキシ樹脂
と同様、2核体以下の成分を殆ど含まないフエノール樹脂である。このフエノー
ル樹脂は、上記A成分のエポキシ樹脂の硬化剤として作用する。 このようなフエノール樹脂の代表例としては、下記の〜に例示したものが
挙げられる。このようなフエノール樹脂も単独で用いてもよいし、併用してもよ
い。 上記C成分の臭素化エポキシ樹脂は、エポキシ当量が420以上のもの、好適
には420〜550のものを使用することが望ましい。特に臭素化ビスフエノー
ル型エポキシ樹脂を用いることが好結果をもたらす。エポキシ当量が420未満
の場合は、樹脂の耐熱性に劣る傾向がみられるばかりでなく、ハロゲン化水素ガ
スも発生しやすくなるためである。 このようにな臭素化エポキシ樹脂の使用量は、エポキシ樹脂組成物の樹脂成分
(A+B+C成分)中、1〜10重量%(以下「%」と略す)の範囲内に設定す
ることが好ましい。すなわち、臭素化エポキシ樹脂の使用量が1%未満では難熱
性の向上効果が不充分となり、逆に10%を超えるとハロゲン化水素ガスの発生
が多くなり半導体素子に悪影響を及ぼす傾向がみられるからである。 上記フエノール樹脂とエポキシ樹脂との相互の使用割合は、エポキシ樹脂のエ
ポキシ当量との関係から適宜に選択されるが、エポキシ基に対するフエノール性
水酸基の当量比が0.5〜1.5の範囲内になるよう設定することが好ましい。当量比
が上記の範囲を外れると、得られるエポキシ樹脂組成物硬化体の耐熱性が低下す
る傾向がみられるからである。 上記のようなエポキシ樹脂およびフエノール樹脂は、片方または双方が、下記
の一般式(1) で表されるオルガノシロキサンと反応しているものを用いることが好ましい。こ
のようなエポキシ樹脂を用いることによつて、耐クラツク性,耐温度サイクル性
が向上する。しかし、耐熱性の点では不利になる。ところが、本発明で用いるD
成分のBi,Alの水酸化物,酸化物からなる化合物を使用することにより、耐
熱性の低下現象が解消され、良好な耐熱性が得られるようになる。 上記D成分は、Biの水酸化物,Biの酸化物,Alの水酸化物,Alの酸化
物である。このような化合物の代表例としては、水酸化ビスマス,水酸化アルミ
ニウム,三酸化二ビスマス,三酸化二アルミニウム等があげられる。上記のよう
な化合物は、単独で使用してもよいし併用しても差支えはない。しかしながら、
このようなD成分の含有量は、エポキシ樹脂組成物の樹脂成分に対してD成分が
1〜10%の割合になるように設定することが好ましい。すなわち、含有量が1
%を下回ると高温放置特性の向上効果が充分あらわれず、逆に10%を上回ると
耐湿性の低下現象が見られるからである。そして、このようなD成分の化合物は
、平均粒径が0.5〜30μm で、最大粒径が74μm以下の微粒子であることが好
ましい。これよりも大きな粒径のものは、分散性が著しく低下し高温放置特性の
改善効果が充分得られにくい傾向が見られるからである。 この発明に用いられるエポキシ樹脂組成物には、上記A〜D成分以外にも、必
要に応じて従来より用いられているその他の添加剤が含有される。特に、高温放
置時の信頼性に加え、難燃性も向上させる時は、酸化アンチモン粉末を含有させ
ることが行われる。 なお、上記その他の添加剤としては、例えば硬化促進剤,離型剤,着色剤,シ
ランカツプリング剤等があげられる。 上記硬化促進剤としては、三級アミン,四級アンモニウム塩,イミダゾール類
,有機リン系化合物およびホウ素化合物等があげられ、単独でもしくは併せて使
用することができる。 上記離型剤としては、従来公知のステアリン酸,パルミチン酸等の長鎖のカル
ボン酸,ステアリン酸亜鉛,ステアリン酸カルシウム等の長鎖カルボン酸の金属
塩,カルナバワツクス,モンタンワツクス等のワツクス類を用いることができる
。 この発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、例えばつぎのようにして製造するこ
とができる。すなわち、上記A〜D成分ならびに上記その他の添加剤を適宜配合
し、この混合物をミキシングロール機等の混練機に掛け加熱状態で溶融混合し、
これを室温に冷却したのち公知の手段により粉砕し、必要に応じて打錠するとい
う一連の工程により得ることができる。 このようなエポキシ樹脂組成物を用いての半導体素子の封止は、特に制限する
ものではなく、通常のトランスフアー成形等の公知のモールド方法により行うこ
とができる。 このようにして得られる半導体装置は、高温放置時の信頼性が充分保持されて
いると共に、高温下での機械的物性の低下も見られない。 〔発明の効果〕 以上のように、この発明の半導体装置は、上記特定のエポキシ樹脂(A成分)
と、特定のフエノール樹脂(B成分)と、臭素化エポキシ樹脂(C成分)と、B
i,Alの水酸化物,酸化物等の化合物(D成分)とを含む特殊なエポキシ樹脂
組成物を用いて封止されており、高温雰囲気中における長時間放置において発生
するハロゲン化合物が上記D成分によって、捕捉されるため高温放置時に優れた
信頼性を保つことができる。しかも、上記特定のエポキシ樹脂(A成分)とフエ
ノール樹脂(B成分)とによって、封止樹脂の機械的強度の低下が少なく、高温
下での半導体素子の保護が充分に発揮され、上記ハロゲン化合物の捕捉効果と相
伴つて、高温時における信頼性に優れている。 つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。 〔実施例1〜9、比較例1〜〕 後記の第1表に示すような原料を準備した。 つぎに、これらの原料を後記の第2表で示す割合で配合し、ミキシングロール
機で混練して冷却後粉砕し、目的とする粉末状のエポキシ樹脂組成物を得た。 上記のようにして得られた粉末状エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封
止し、得られた半導体装置の特性を調べ後記の第3表に示した。 なお、上記第3表において、曲げ強度はテンシロン万能試験機(東洋ボールド
ウイン社製)で測定した。高温状態における素子不良の測定は、半導体素子を樹
脂封止して半導体装置を組み立て、全量20個を高温にさらし、導通不良になる
個数を求めて評価した。 第3表の結果から、実施例品は比較例品に比べて不良素子数,高温強度の点に
おいて優れており高温下における信頼性に富んでいることがわかる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device having high reliability, particularly excellent reliability even in a high-temperature atmosphere. [Prior Art] Semiconductor elements such as transistors, ICs and LSIs are generally encapsulated with an epoxy resin composition to form semiconductor devices. The epoxy resin has its electrical properties,
Since it has good moisture resistance and adhesiveness, it is used for encapsulation of semiconductor devices and has achieved good results. However, in recent years, as semiconductor devices are used in large quantities in many outdoor devices, such as automobiles, heat resistance is higher than ever,
Particularly, storage reliability at high temperatures, which has not been a problem in the past, has been required for many semiconductor devices. [Problems to be Solved by the Invention] In order to improve such heat resistance, conventionally, it has been carried out by increasing the flame retardancy of an epoxy resin used for sealing. That is, by combining the brominated epoxy resin and antimony oxide into the epoxy resin composition, the flame retardancy of the cured epoxy resin composition is increased, thereby improving the heat resistance of the sealing resin. I'm wearing The combination of the above brominated epoxy resin and antimony oxide shows good results in terms of flame retardancy. However, there is a problem in terms of storage stability at high temperatures. That is, in a high temperature state, hydrogen bromide is generated due to the thermal decomposition of the brominated epoxy resin, and this hydrogen bromide reacts with the junction between the gold wire of the semiconductor element and the aluminum pad to promote the formation of an alloy. This leads to an increase in the electric resistance value, resulting in poor conduction. In addition, there are more opportunities to use the semiconductor device at high temperatures, and the mounting time is 215 to 26.
Since the entire package may be exposed to a soldering temperature of 0 ° C., excellent mechanical properties under high temperature conditions are also required at the same time. The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a semiconductor device that exhibits excellent reliability even when left in a high-temperature atmosphere for a long time, and has a small decrease in mechanical characteristics under a high-temperature atmosphere. For that purpose. [Means for Solving the Problems] To achieve the above object, a semiconductor device of the present invention encapsulates a semiconductor element using an epoxy resin composition containing the following components (A) to (D). Take the configuration to do. (A) An epoxy resin other than a novolak type epoxy resin having at least three epoxy groups in one molecule. (B) A phenolic resin other than a novolak type phenolic resin having at least three phenyl groups in one molecule. (C) Brominated epoxy resin. (D) at least one compound selected from the group consisting of Bi hydroxide, Bi oxide, Al hydroxide and Al oxide. In other words, the present inventors have conducted a series of studies to achieve the above object, and as a result, have found that a halogenated compound gas generated during the thermal decomposition of a brominated epoxy resin as a flame retardant is converted into Bi, Al water. It has been found that oxides and oxides trap and trap the reliability under high-temperature atmosphere without any effect. Further, regarding the mechanical properties under a high-temperature atmosphere, by using the specific epoxy resin and the phenol resin, it becomes possible to obtain a cured epoxy resin composition having excellent mechanical properties under a high-temperature atmosphere. The inventors have arrived at the present invention. The epoxy resin composition used in the semiconductor device of the present invention comprises a specific epoxy resin (component A), a specific phenol resin (component B), and a brominated epoxy resin (component C).
And a compound (component (D)) composed of hydroxides and oxides of Bi and Al, and is usually in the form of powder or tablet. The epoxy resin serving as the component A of the epoxy resin composition is an epoxy resin other than the novolak type epoxy resin and has at least three epoxy groups in one molecule. That is, the present inventors have conducted a series of studies on the improvement of the mechanical properties of the sealing resin under a high-temperature atmosphere. It has been found that the mechanical properties at high temperatures are reduced. Epoxy resins and phenol resins containing such a component having two or less nuclei are of the novolak type. Epoxy resins other than the novolak type epoxy resin have three epoxy groups in one molecule. It has been found that if the epoxy resin has more than two nuclei, it hardly contains components of two or less nuclei. Examples of such an epoxy resin include the following. Such epoxy resins may be used alone or in combination. The phenolic resin of the component B is a phenolic resin other than the novolak type phenolic resin similarly to the epoxy resin, and is a phenolic resin having at least three phenyl groups in one molecule. This phenolic resin is also a phenolic resin that contains almost no binuclear component or less like the epoxy resin. This phenol resin acts as a curing agent for the epoxy resin of the component A. Representative examples of such a phenol resin include those exemplified in the following (1) to (4). Such a phenol resin may be used alone or in combination. It is desirable that the brominated epoxy resin of the component C has an epoxy equivalent of 420 or more, preferably 420 to 550. In particular, the use of a brominated bisphenol-type epoxy resin gives good results. If the epoxy equivalent is less than 420, not only does the resin have a tendency to be inferior in heat resistance, but also a hydrogen halide gas is easily generated. The amount of such a brominated epoxy resin used is preferably set within a range of 1 to 10% by weight (hereinafter abbreviated as "%") in the resin component (A + B + C component) of the epoxy resin composition. That is, if the amount of the brominated epoxy resin is less than 1%, the effect of improving the heat resistance becomes insufficient, and if it exceeds 10%, the generation of hydrogen halide gas increases, which tends to adversely affect the semiconductor element. Because. The mutual use ratio of the phenolic resin and the epoxy resin is appropriately selected from the relationship with the epoxy equivalent of the epoxy resin, and is set so that the equivalent ratio of the phenolic hydroxyl group to the epoxy group is in the range of 0.5 to 1.5. Is preferred. If the equivalent ratio is out of the above range, the heat resistance of the cured epoxy resin composition obtained tends to decrease. One or both of the epoxy resin and the phenol resin as described above have the following general formula (1) It is preferable to use one that has reacted with the organosiloxane represented by By using such an epoxy resin, crack resistance and temperature cycle resistance are improved. However, it is disadvantageous in terms of heat resistance. However, D used in the present invention
By using a compound consisting of the hydroxides and oxides of the components Bi and Al, the phenomenon of lowering the heat resistance is eliminated, and good heat resistance can be obtained. The D component is a hydroxide of Bi, an oxide of Bi, a hydroxide of Al, and an oxide of Al. Representative examples of such compounds include bismuth hydroxide, aluminum hydroxide, bismuth trioxide, and dialuminum trioxide. The above compounds may be used alone or in combination. However,
It is preferable that the content of the D component is set such that the D component accounts for 1 to 10% of the resin component of the epoxy resin composition. That is, if the content is 1
If it is less than 10%, the effect of improving the high-temperature storage characteristics will not be sufficiently exhibited, and if it exceeds 10%, a phenomenon of lowering the moisture resistance will be observed. It is preferable that the compound of the component D is fine particles having an average particle size of 0.5 to 30 μm and a maximum particle size of 74 μm or less. If the particle size is larger than this, the dispersibility tends to be remarkably reduced, and the effect of improving the high-temperature storage characteristics tends to be hardly obtained. The epoxy resin composition used in the present invention contains, if necessary, other additives conventionally used in addition to the above-mentioned components A to D. In particular, in order to improve the flame retardancy in addition to the reliability when left at high temperature, antimony oxide powder is included. Examples of the other additives include a curing accelerator, a release agent, a colorant, and a silane coupling agent. Examples of the curing accelerator include tertiary amines, quaternary ammonium salts, imidazoles, organic phosphorus compounds and boron compounds, and can be used alone or in combination. Examples of the release agent include conventionally known long-chain carboxylic acids such as stearic acid and palmitic acid, metal salts of long-chain carboxylic acids such as zinc stearate and calcium stearate, and waxes such as carnauba wax and montan wax. Can be used. The epoxy resin composition used in the present invention can be produced, for example, as follows. That is, the above-mentioned A to D components and the above-mentioned other additives are appropriately blended, and the mixture is melted and mixed in a kneading machine such as a mixing roll machine in a heated state,
This can be obtained by a series of steps of cooling to room temperature, pulverizing by a known means, and tableting if necessary. The sealing of the semiconductor element using such an epoxy resin composition is not particularly limited, and can be performed by a known molding method such as ordinary transfer molding. The semiconductor device obtained in this way has sufficient reliability when left at high temperatures and does not show any deterioration in mechanical properties at high temperatures. [Effects of the Invention] As described above, the semiconductor device of the present invention provides the above-described specific epoxy resin (A component).
And a specific phenol resin (component B), a brominated epoxy resin (component C),
It is sealed using a special epoxy resin composition containing a compound (component D) such as hydroxide or oxide of i and Al. The components are trapped, so that excellent reliability can be maintained when left at high temperatures. In addition, the specific epoxy resin (A component) and the phenol resin (B component) minimize the decrease in mechanical strength of the sealing resin, sufficiently exert the protection of the semiconductor element at high temperatures, and provide the halogen compound. It is excellent in reliability at high temperature, in conjunction with the trapping effect. Next, examples will be described together with comparative examples. Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 3 Raw materials as shown in Table 1 below were prepared. Next, these raw materials were blended at the ratios shown in Table 2 below, kneaded with a mixing roll machine, cooled and pulverized to obtain a desired powdery epoxy resin composition. A semiconductor element was sealed using the powdered epoxy resin composition obtained as described above, and the characteristics of the obtained semiconductor device were examined. The results are shown in Table 3 below. In Table 3, the bending strength was measured with a Tensilon universal tester (manufactured by Toyo Baldwin Co., Ltd.). The measurement of element failure in a high temperature state was performed by assembling a semiconductor device by sealing a semiconductor element with a resin, exposing a total of 20 devices to a high temperature, and determining and evaluating the number of defective conduction. From the results shown in Table 3, it can be seen that the product of the example is superior to the product of the comparative example in terms of the number of defective elements and the high-temperature strength and has high reliability at high temperatures.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1) 下記の(A)〜(D)成分を含有するエポキシ樹脂組成物を用いて半導体
素子を封止してなる半導体装置。 (A)ノボラツク型エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂であって1分子中にエポ
キシ基を少なくとも3個有するエポキシ樹脂。 (B)ノボラツク型フエノール樹脂以外のフエノール樹脂であって1分子中に
フエニル基を少なくとも3個有するフエノール樹脂。 (C)臭素化エポキシ樹脂。 (D)Biの水酸化物,Biの酸化物,Alの水酸化物およびAlの酸化物か
らなる群から選択された少なくとも一つの化合物。 (2) 上記(A)成分のエポキシ樹脂およびB成分のフエノール樹脂の少なくと
も一方が、下記の一般式(1) で表されるオルガノポリシロキサンと反応しているものである特許請求の範囲第
1項記載の半導体装置。
(1) A semiconductor device in which a semiconductor element is sealed using an epoxy resin composition containing the following components (A) to (D). (A) An epoxy resin other than a novolak type epoxy resin having at least three epoxy groups in one molecule. (B) A phenolic resin other than a novolak type phenolic resin having at least three phenyl groups in one molecule. (C) Brominated epoxy resin. (D) at least one compound selected from the group consisting of Bi hydroxide, Bi oxide, Al hydroxide and Al oxide. (2) At least one of the epoxy resin (A) and the phenol resin (B) is represented by the following general formula (1) 2. The semiconductor device according to claim 1, wherein said semiconductor device is one which has reacted with an organopolysiloxane represented by the following formula.

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