JP2562945B2 - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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JP2562945B2 JP63163742A JP16374288A JP2562945B2 JP 2562945 B2 JP2562945 B2 JP 2562945B2 JP 63163742 A JP63163742 A JP 63163742A JP 16374288 A JP16374288 A JP 16374288A JP 2562945 B2 JP2562945 B2 JP 2562945B2
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optical recording
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学 樋口
隆 山田
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、主として光磁気記録媒体の基板として使わ
れるポリカーボネート基板の改良により光磁気記録媒体
の保存安定性を向上させることに関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to improving the storage stability of a magneto-optical recording medium by improving a polycarbonate substrate mainly used as a substrate of a magneto-optical recording medium.

〔従来技術及びその問題点〕[Prior art and its problems]

高密度で大容量であることまた記録再生ヘッドと非接
触であること消去、再記録が容易であること等多くの特
徴を有する光磁気記録媒体は高速データファイルや映像
記録の記録媒体として、近年その開発実用化が活発に進
められている。そしてその形態は、基板上に希土類金属
及び遷移金属等を主体とする薄膜の記録層を設けたもの
が一般的である。
A magneto-optical recording medium having many characteristics such as high density and large capacity, no contact with a recording / reproducing head, and easy erasing and re-recording has recently been used as a recording medium for high-speed data files and video recording. Its development and practical use are being actively pursued. The general form is that a thin film recording layer mainly containing a rare earth metal and a transition metal is provided on a substrate.

光磁気記録媒体の基板としては、ガラスあるいはポリ
カーボネート、ポリメチルメタクリレート、エポキシ等
の樹脂が使用される。ガラス基板は、光学的特性、表面
性、化学的安定性に優れる反面、量産加工性が低いこ
と、壊れ易く取り扱いが難しいこと、高価であること等
の問題がある。それに対し、樹脂基板は、量産加工性が
高く取り扱いが容易であること、比較的安価であること
等の利点を有しており現在樹脂基板を主体に開発が進め
られている。なかでも、例えば特開昭62−252546号公
報、特開昭62−264463号公報、特開昭63−97627号公報
に開示されているポリカーボネート基板は、光透過率に
優れ、表面での複屈折が少なくかつ吸湿性も低く、さら
にコストも安く光磁気記録媒体用の基板として有望視さ
れている。
As the substrate of the magneto-optical recording medium, glass or resin such as polycarbonate, polymethylmethacrylate or epoxy is used. The glass substrate has excellent optical characteristics, surface properties, and chemical stability, but has problems such as low mass-processability, fragility, difficult handling, and high cost. On the other hand, the resin substrate has advantages such as high productivity in mass production, easy handling, and relatively low price, and therefore development is currently being made mainly on the resin substrate. Among them, the polycarbonate substrates disclosed in, for example, JP-A-62-252546, JP-A-62-264463, and JP-A-63-97627 have excellent light transmittance and birefringence on the surface. It is expected to be used as a substrate for magneto-optical recording media because of its low moisture content, low hygroscopicity and low cost.

一方、光磁気記録媒体により記録された情報は長期間
安定であることが要求され、通常30℃90%RHで10年間経
時しても消去、記録及び再生ができる程度の信頼性が望
まれている。このような信頼性を保証するために、高温
度高湿度下に光磁気記録媒体をおいて加速試験が行われ
る。例えば、岡田他、光メモリシンポジウム予稿集、60
頁(1986年)に記載があるように80℃90%RHで500時間
の経時による加速試験が概ね30℃90%RHで10年間の経時
に相当すると云われている。このような条件下に光磁気
記録媒体を置いて加速試験を行うと上記のポリカーボネ
ート基板上にしばしば径が数10μm乃至数100μmで深
さが数μmの凹状の欠陥の発生がみられる。そして、こ
れが原因となって、光磁気記録媒体のドロップ・アウト
が増加したりB.E.R.(ビットエラーレート)が増加する
等の問題を引き起こすことが分かった。そこで、光磁気
記録媒体用の基板として前述したような優れた特性を有
したポリカーボネート基板を使用しても保存安定性の面
で問題があることが分かってきた。
On the other hand, the information recorded by the magneto-optical recording medium is required to be stable for a long period of time, and it is usually desired that the information be erased, recorded, and reproduced so that it can be erased, recorded, and reproduced even after 10 years at 30 ° C, 90% RH. There is. In order to guarantee such reliability, an acceleration test is performed by placing the magneto-optical recording medium under high temperature and high humidity. For example, Okada et al., Optical Memory Symposium Proceedings, 60
As described on page (1986), it is said that an accelerated test at 80 ° C, 90% RH for 500 hours is equivalent to about 10 years at 30 ° C, 90% RH. When the magneto-optical recording medium is placed under such a condition and an acceleration test is performed, it is often observed that a concave defect having a diameter of several tens of μm to several hundreds of μm and a depth of several μm is formed on the polycarbonate substrate. It was found that this causes a problem such as an increase in drop out of the magneto-optical recording medium and an increase in BER (bit error rate). Therefore, it has been found that there is a problem in storage stability even when a polycarbonate substrate having the above-mentioned excellent properties is used as a substrate for a magneto-optical recording medium.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

本発明は、上記の従来技術の問題点に鑑みなされたも
のであり、特にポリカーボネート基板の保存安定性を改
良して信頼性の高い光磁気記録媒体を提供することを目
的としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a highly reliable magneto-optical recording medium by improving the storage stability of a polycarbonate substrate.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上記本発明の目的は、基板上に希土類金属及び遷移金
属を主体とする記録層を形成した光磁気記録媒体におい
て、該基板はディスク状に射出形成されたポリカーボネ
ート基板であり、かつ該ポリカーボネート基板の該記録
層を形成する側の前記ポリカーボネート基板表面全面に
おいて1cm2の表面積当たりのアルカリ金属の存在量が1
×10-6grを越える部分がないことを特徴とする光磁気記
録媒体により達成される。
The above-mentioned object of the present invention is a magneto-optical recording medium in which a recording layer mainly composed of a rare earth metal and a transition metal is formed on a substrate, the substrate being a polycarbonate substrate injection-molded in a disk shape, and The amount of alkali metal present per surface area of 1 cm 2 is 1 on the entire surface of the polycarbonate substrate on which the recording layer is formed.
It is achieved by a magneto-optical recording medium characterized in that there is no portion exceeding × 10 -6 gr.

通常、光磁気記録用基板は、薄膜の密着性を高めるた
めに樹脂基板にあっては射出形成工程で付着する離形剤
等を除去したり、またドロップ・アウトの原因となるゴ
ミ等の付着物を除去するために、その上に記録層や保護
層をスパッタ等での成膜工程の前処理として表面洗浄処
理を行う。その際、洗浄の効率を上げるために各種の洗
浄が使用されるが、該洗浄の多くはその成分中にアルカ
リ金属を含有している。そしてしばしばポリカーボネー
ト基板上に微量のアルカリ金属が付着して残り、該アル
カリ金属がアルカリ性成分として働きポリカーボネート
の加水分解を促進しそれがポリカーボネート基板上の微
小な欠陥となることが分かった。また、ダストレベルを
充分に低く抑えたクリーンルーム中においても人体から
出る例えば唾液、汗の中に含まれるアルカリ金属によっ
てもこのようなことが起こる。
In general, the magneto-optical recording substrate has a resin substrate for removing the release agent or the like adhering in the injection forming process in order to enhance the adhesion of the thin film, and also has dust or the like that causes drop-out. In order to remove the kimono, a surface cleaning process is performed on the recording layer and the protective layer as a pretreatment of a film forming process such as sputtering. At that time, various kinds of cleaning are used in order to increase the efficiency of cleaning, and most of the cleanings contain an alkali metal in their components. It has been found that a trace amount of alkali metal often adheres and remains on the polycarbonate substrate and the alkali metal acts as an alkaline component to accelerate the hydrolysis of the polycarbonate, which becomes a minute defect on the polycarbonate substrate. Further, even in a clean room where the dust level is sufficiently low, such a phenomenon occurs due to, for example, saliva or alkali metal contained in sweat that comes out of the human body.

本発明では、このような考えのもとに検討した結果、
洗浄処理工程後、成膜工程前の前記ポリカーボネート基
板表面におけるアルカリ金属の存在量を基板の記録層を
形成する特に記録領域のどの1cm2の大きさの部分を取り
出しても1×10-6gr以下にすることにより、長期間保存
されたとしてもポリカーボネート基板表面に欠陥の発生
することがなく、安定に情報が再生できることを可能に
した。前記ポリカーボネート基板上の欠陥は、10μm程
度の大きさでも問題となりこれは他の用途では殆ど問題
にならない大きさと思われるが、光磁気記録用途では記
録密度が高いので無視できない大きさである。
In the present invention, as a result of examination based on such an idea,
After the cleaning process and before the film formation process, the amount of alkali metal present on the surface of the polycarbonate substrate is 1 × 10 -6 gr regardless of which 1 cm 2 portion of the recording area forming the recording layer of the substrate is taken out. By the following, it became possible to reproduce information stably without causing defects on the surface of the polycarbonate substrate even when stored for a long period of time. The defect on the polycarbonate substrate becomes a problem even if it has a size of about 10 μm, which seems to cause almost no problem in other applications, but it is a size that cannot be ignored because it has a high recording density in magneto-optical recording applications.

本発明において、ポリカーボネート基板表面上のアル
カリ金属の量を上記のようなある一定レベル以下にする
ためには、前記ポリカーボネート基板の洗浄工程におけ
る洗浄条件を充分に管理する必要がある。本発明におけ
る光磁気記録媒体においては、ポリカーボネート全表面
におけるアルカリ金属の保存量の総量があるレベル以下
であってもある部分が局部的にすなわち1cm2当たり1×
10-6grを越えてしまう部分が1ケ所でもあると欠陥を生
ずることになり好ましくない。従って、本発明において
は、ポリカーボネートの洗浄条件を決定するに当たっ
て、洗浄後のポリカーボネート基板の試料を1cm2の大き
さに切り分けてその各々についてICP分析(プラズマ発
光分析)を行ってアルカリ金属の存在量を測定して、基
板表面全面において1cm2の表面積当たりのアルカリ金属
の存在量が1×10-6grを越える部分がないようにする前
記ポリカーボネート基板の洗浄条件を決定するのであ
る。
In the present invention, in order to reduce the amount of alkali metal on the surface of the polycarbonate substrate to a certain level or less as described above, it is necessary to sufficiently control the cleaning conditions in the cleaning process of the polycarbonate substrate. In the magneto-optical recording medium of the present invention, the total amount of alkali metal stored on the entire surface of the polycarbonate is locally below a certain level, that is, a portion is 1 × 1 cm 2
If there is even one portion that exceeds 10 -6 gr, defects will occur, which is not preferable. Therefore, in the present invention, in determining the cleaning conditions of the polycarbonate, a sample of the polycarbonate substrate after cleaning is cut into a size of 1 cm 2 and an ICP analysis (plasma emission analysis) is performed on each of them to determine the amount of alkali metal present. Is measured to determine the cleaning conditions for the polycarbonate substrate so that there is no portion where the existing amount of alkali metal per 1 cm 2 of surface area exceeds 1 × 10 −6 gr on the entire surface of the substrate.

本発明においては、以上のように前記ポリカーボネー
ト基板を準備した後、人体等アルカリ金属の発生源から
できるだけ隔絶して次の成膜工程に移すことが望まし
い。節膜工程においては前記ポリカーボネート基板の上
に通常の方法で記録層及び各種の保護層を形成する。記
録層用素材としては、各種の磁性金属及び金属酸化物が
使用できるが中でも希土類遷移金属類を主体とした記録
層は光学磁気特性が優れており好ましい。
In the present invention, after the polycarbonate substrate is prepared as described above, it is desirable to move as far as possible from the source of alkali metal such as human body to the next film forming step. In the film-saving process, a recording layer and various protective layers are formed on the polycarbonate substrate by a usual method. As the material for the recording layer, various magnetic metals and metal oxides can be used, but among them, the recording layer mainly containing a rare earth transition metal is preferable because it has excellent optical magnetic properties.

さらに、本発明の記録層を保護するためまたその特性
を高める為に無機物、有機物の層も設けられる。本発明
で用いることができる無機物の保護層としては例えばSi
Ox,SiNx,AlNx及びZnS等の酸化物、窒化物及び硫化物等
の誘電体及びそれらの混合物が好ましい。
Further, in order to protect the recording layer of the present invention and to enhance its characteristics, inorganic and organic layers are also provided. Examples of the inorganic protective layer that can be used in the present invention include Si
Dielectrics such as oxides, nitrides and sulfides such as Ox, SiNx, AlNx and ZnS and mixtures thereof are preferred.

これらの記録層及び保護層等を基板上に形成する方法
としては、高周波マグネトロンスパッタ等のスパッタ法
が最も一般的である。
The most common method for forming these recording layer, protective layer and the like on the substrate is a sputtering method such as high frequency magnetron sputtering.

本発明の新規な特徴を以下の実施例及び比較例に基づ
いて説明する。
The novel features of the present invention will be described based on the following examples and comparative examples.

〔実施例〕〔Example〕

(サンプルA) 130Φ、厚さ1.2mmに射出形成されたポリカーボネート
基板を、以下の7槽の洗浄槽を通すことによって、洗浄
処理を行った。
(Sample A) A polycarbonate substrate injection-molded to have a diameter of 130 Φ and a thickness of 1.2 mm was passed through the following 7 washing baths to perform a washing treatment.

第1槽:ソノクレン277(海上電機製)1.0%の洗浄液を
満たした超音波洗浄槽。
First tank: Sonoclen 277 (Kaiyo Denki) Ultrasonic cleaning tank filled with 1.0% cleaning solution.

第2槽:純水を満たした洗浄槽。Second tank: a cleaning tank filled with pure water.

第3槽:純水を満たした洗浄槽。Third tank: a cleaning tank filled with pure water.

第4槽:純水を満たした洗浄槽。Fourth tank: a cleaning tank filled with pure water.

第5槽:AD9(フロンと界面活性剤を含有する旭ガラス
(株)製)水切り槽。
Fifth tank: AD9 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. containing Freon and a surfactant).

第6槽:フロン113(旭ガラス(株)製)を満たした洗
浄槽。
Sixth tank: A cleaning tank filled with Freon 113 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.).

第7槽:フロン113(旭ガラス(株)製)を満たした洗
浄槽。
The seventh tank: a cleaning tank filled with Freon 113 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.).

前記ソノクレン277には、ケイ酸塩、リン酸塩、スル
フォン酸塩等の形でアルカリ金属が含まれている。
The sonocrene 277 contains alkali metal in the form of silicate, phosphate, sulfonate and the like.

上記の第7槽を通した後、乾燥を行い、前記ポリカー
ボネート基板のサンプルを、1cm2の大きさの試料片に切
り分け該試料片のすべての表面におけるアルカリ金属の
存在量をICPで測定した。
After passing through the seventh tank, the sample was dried, and the polycarbonate substrate sample was cut into 1 cm 2 sample pieces, and the amount of alkali metal present on all surfaces of the sample pieces was measured by ICP.

その結果、アルカリ金属の存在量の最大値は6×10-5
g/cm2であった。
As a result, the maximum amount of alkali metal present was 6 × 10 -5.
It was g / cm 2 .

以上のような工程を経て得た基板上にスパッタ法に
て、第1のSiNの薄層を900Å、記録層としてTbFeCoの薄
膜を1000Å、第2のSiNの薄層を1000Åこの順で順次成
膜して、光磁気記録媒体を得た。
On the substrate obtained through the above steps, the first SiN thin layer is 900 Å, the TbFeCo thin film is 1000 Å as the recording layer, and the second SiN thin layer is 1000 Å in this order by sputtering. The film was formed into a magneto-optical recording medium.

次に、80℃90%RHの条件にある恒温恒湿槽中に最長15
00時間放置した後、B.E.R.が初期値の2倍になるまで保
存時間を求めた。この時間をもって、各サンプルの寿命
とした。
Next, put a maximum of 15 in a thermo-hygrostat under the conditions of 80 ℃ and 90% RH.
After leaving it for 00 hours, the storage time was calculated until the BER became twice the initial value. This time was taken as the life of each sample.

4個の光磁気記録媒体のサンプルについて測定し、そ
の最小値をもって、本洗浄条件における寿命とした。そ
の結果、本洗浄条件における寿命は、150時間であっ
た。
Four samples of the magneto-optical recording medium were measured, and the minimum value was taken as the life under the main cleaning conditions. As a result, the life under the main cleaning conditions was 150 hours.

(サンプルB) サンプルAの洗浄条件において、第1槽は、洗剤を入
れずに純水のみとし、第4槽には、イソプロピルアルコ
ールを使用した。他の条件は、すべてサンプルAと同じ
条件で洗浄及びサンプルの作成、寿命の測定を行った。
その結果、表面におけるアルカリ金属の存在量は最大1
×10-6gr/cm2、光磁気記録媒体の寿命は、1000時間であ
った。
(Sample B) Under the cleaning conditions of Sample A, the first tank was made of pure water alone without detergent, and the fourth tank was made of isopropyl alcohol. All other conditions were the same as those for sample A, and cleaning, sample preparation, and life measurement were performed.
As a result, the maximum amount of alkali metal present on the surface is 1
× 10 −6 gr / cm 2 , and the life of the magneto-optical recording medium was 1000 hours.

(サンプルC) サンプルAの洗浄条件において、第4槽には、イソプ
ロピルアルコールを使用した。他の条件は、すべてサン
プルAと同じ条件で洗浄及びサンプルの作成、寿命の測
定を行った。その結果、表面におけるアルカリ金属の存
在量は最大6×10-6gr/cm2、光磁気記録媒体の寿命は、
300時間であった。
(Sample C) Under the washing conditions of Sample A, isopropyl alcohol was used in the fourth tank. All other conditions were the same as those for sample A, and cleaning, sample preparation, and life measurement were performed. As a result, the maximum amount of alkali metal present on the surface was 6 × 10 -6 gr / cm 2 , and the life of the magneto-optical recording medium was
It was 300 hours.

(サンプルD) サンプルAの洗浄条件において、第8槽として、純水
の槽を、第9槽として、フロン113の槽を追加した。他
の条件は、すべてサンプルAと同じ条件で洗浄及びサン
プルの作成、寿命の測定を行った。その結果、表面にお
けるアルカリ金属の存在量は最大3×10-7gr/cm2、光磁
気記録媒体の寿命は、1400時間であった。
(Sample D) Under the cleaning conditions of Sample A, a pure water tank was added as the eighth tank, and a Freon 113 tank was added as the ninth tank. All other conditions were the same as those for sample A, and cleaning, sample preparation, and life measurement were performed. As a result, the maximum amount of alkali metal present on the surface was 3 × 10 −7 gr / cm 2 , and the life of the magneto-optical recording medium was 1400 hours.

以上の、実施結果を示した第1図から明らかなよう
に、光磁気記録触媒の走行寿命と、基板表面におけるア
ルカリ金属の存在量には相関があり、本発明の光磁気記
録媒体のように基板表面におけるアルカリ金属の存在量
を1c2当たり1×10-6grを越える部分が基板全面にわた
ってないようにすることによって、走行寿命の優れた光
磁気記録媒体が得られることが分かった。
As is clear from FIG. 1 showing the results of the above-described operation, there is a correlation between the running life of the magneto-optical recording catalyst and the amount of alkali metal present on the surface of the substrate, and as in the magneto-optical recording medium of the present invention, It was found that a magneto-optical recording medium having an excellent running life can be obtained by preventing the portion where the amount of alkali metal present on the surface of the substrate exceeds 1 × 10 -6 gr per 1 c 2 over the entire surface of the substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、基板表面におけるアルカリ金属の存在量と光
磁気記録触媒の走行寿命との関係を示す図である。
FIG. 1 is a graph showing the relationship between the amount of alkali metal present on the substrate surface and the running life of the magneto-optical recording catalyst.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基板上に希土類金属及び遷移金属を主体と
する記録層を形成した光磁気記録媒体において、該基板
はディスク状に射出形成されたポリカーボネート基板で
あり、かつ該ポリカーボネート基板の該記録層を形成す
る側の前記ポリカーボネート基板表面全面において1cm2
の表面積当たりのアルカリ金属の存在量が1×10-6grを
越える部分がないことを特徴とする光磁気記録媒体。
1. A magneto-optical recording medium in which a recording layer mainly containing a rare earth metal and a transition metal is formed on a substrate, wherein the substrate is a polycarbonate substrate injection-molded in a disk shape, and the recording of the polycarbonate substrate is performed. 1 cm 2 on the entire surface of the polycarbonate substrate on which the layer is formed
A magneto-optical recording medium characterized in that there is no portion where the amount of alkali metal present per surface area of 1 exceeds 10 × 6 -6 gr.
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