JP2562023B2 - Light modulator - Google Patents

Light modulator

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JP2562023B2
JP2562023B2 JP2288387A JP2288387A JP2562023B2 JP 2562023 B2 JP2562023 B2 JP 2562023B2 JP 2288387 A JP2288387 A JP 2288387A JP 2288387 A JP2288387 A JP 2288387A JP 2562023 B2 JP2562023 B2 JP 2562023B2
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【発明の詳細な説明】 イ. 産業上の利用分野 本発明は光変調装置に関するものである。Detailed Description of the Invention a. TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical modulator.

ロ. 従来技術 従来、印加電圧に対して複屈折が変化するいわゆる電
気光学効果を有する電気光学素子(光制御素子)とし
て、(Pb1-x,Lax)(Zry,Tiz)1-1/4O3で表わされるOLZT結
晶が知られている。
B. Conventional technology Conventionally, as an electro-optical element (light control element) having a so-called electro-optical effect in which birefringence changes with applied voltage, (Pb 1-x , Lax) (Zry, Tiz) 1-1 / 4 O 3 An OLZT crystal represented by is known.

このPLZTは透明強誘電性セラミックスであって、その
電気光学効果に基いて印加電圧に応じて複屈折が変化す
る性質を有しているので、偏光面を互いに直交させた一
対の偏光板(偏光子と検光子)の間にPLZTを配し、偏光
子で直線偏光された光がPLZTを通過する際に偏光状態が
変化し、検光子の偏光面に一致した光成分のみが検光子
から出射することになる。こうした光変調機能は光シャ
ッタとして用いられているが、PLZTシャッタは応答速度
が非常に速く、オン/オフ時の光透過率比は2000:1にも
なり、かつ使用温度範囲も広くて長寿命である等の利点
を有している。
This PLZT is a transparent ferroelectric ceramic, and has the property that its birefringence changes depending on the applied voltage based on its electro-optical effect. Between the analyzer and the analyzer), the polarization state changes when the light linearly polarized by the polarizer passes through the PLZT, and only the light component that matches the polarization plane of the analyzer is emitted from the analyzer. Will be done. Such an optical modulation function is used as an optical shutter, but the PLZT shutter has a very fast response speed, the light transmittance ratio is 2000: 1 at on / off time, and has a wide operating temperature range and long life. It has advantages such as

このようなPLZT結晶を用いた光シャッタアレイとし
て、従来、第11図に示すものが知られている。これによ
れば、PLZT結晶64を多数の結晶部分64aに分割し、これ
らの結晶部分間に共通電極66と信号電極65とを交互に挟
着しており、1つの信号電極65の両側の一対の部分64a
が1組となってピクセル(画素)76を構成していること
になる。従って、所定の信号電極65に電気信号を供給す
ると、図示のようにそのピクセルの結晶中に矢印60で示
す電界が生じ、この電界によってピクセルに入射する光
が変調されてピクセルから出射する。しかしながら、第
11図の如きアレイでは、1つのピクセルが2つの部分64
aに分かれており、これらを信号電極65が仕切っている
構造であるから、光が変調を受ける面積が減り、かつピ
クセルへの入射光量(従って、出射光量)のロスが生
じ、このために効率良く十分な光量の出射光が得られ難
い。
As an optical shutter array using such a PLZT crystal, the one shown in FIG. 11 is conventionally known. According to this, the PLZT crystal 64 is divided into a large number of crystal parts 64a, and the common electrode 66 and the signal electrode 65 are alternately sandwiched between these crystal parts. Part 64a
Will form a set of pixels 76. Therefore, when an electric signal is supplied to the predetermined signal electrode 65, an electric field indicated by an arrow 60 is generated in the crystal of the pixel as shown in the figure, and this electric field modulates the light incident on the pixel and emits the light from the pixel. However, the
In an array like the one in Figure 11, one pixel has two parts 64
Since the structure is divided into a and the signal electrode 65 divides them, the area where the light is modulated is reduced, and the amount of incident light to the pixel (and thus the amount of emitted light) is lost, which results in efficiency. It is difficult to obtain a sufficient amount of emitted light.

また、第12図に示す如き光シャッタアレイも知られて
いる。これでは、PLZT結晶74を分割せず、その表、裏面
に、共通電極86と信号電極86とを交互に設け、各ピクセ
ル96を形成している。このアレイの場合には、結晶74内
に図示のような電界80が生じるが、光制御を行なうピク
セルの隣りに制御を行わないピクセルがあるときに、電
界80がそのピクセルに図示したように作用することによ
って非動作部分のピクセルでも光が一部変調されてしま
うことがあり、いわゆるクロストークが生じ易い。ま
た、このアレイでは、電界が結晶の表面域に集中するた
め、結晶の厚みを十分に光変調を利用できず、効率が不
十分となる。
An optical shutter array as shown in FIG. 12 is also known. In this case, the PLZT crystal 74 is not divided, and the common electrode 86 and the signal electrode 86 are alternately provided on the front surface and the back surface thereof to form each pixel 96. In the case of this array, an electric field 80 is generated in the crystal 74 as shown, but when there is an uncontrolled pixel next to the pixel that controls light, the electric field 80 behaves as shown for that pixel. As a result, the light may be partially modulated even in the non-operating pixels, and so-called crosstalk is likely to occur. Further, in this array, since the electric field is concentrated on the surface region of the crystal, the optical thickness cannot be sufficiently utilized for the crystal thickness, resulting in insufficient efficiency.

ハ. 発明の目的 本発明の目的は、電気光学効果を有利に利用しながら
光変調(光制御)を良好に行ない、特に効率良く、クロ
ストークなしに動作可能な光変調装置を提供することに
ある。
C. OBJECT OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an optical modulation device that can perform favorable optical modulation (optical control) while advantageously utilizing the electro-optical effect, and that can operate particularly efficiently and without crosstalk.

ニ. 発明の構成 即ち、本発明は、電気光学効果を有する結晶素子と、
この結晶素子に設けられた電極とを有する光変調装置に
おいて、前記結晶素子が複数に分割され、これらの複数
の結晶素子部分が電極を介して互いに一体に結合されて
おり、かつ前記複数の結晶素子部分の夫々の表面に別の
電極が設けられていることを特徴とする光変調装置に係
るものである。
D. Structure of the Invention That is, the present invention, a crystal element having an electro-optical effect,
In an optical modulator having an electrode provided on this crystal element, the crystal element is divided into a plurality of parts, and the plurality of crystal element parts are integrally coupled to each other via an electrode, and the plurality of crystals are formed. The present invention relates to a light modulation device characterized in that another electrode is provided on each surface of an element portion.

ホ. 実施例 以下、本発明の実施例を説明する。E. Examples Hereinafter, examples of the present invention will be described.

まず、本実施例による光変調装置としての光シャッタ
を第1図〜第4図で詳しく説明する。
First, an optical shutter as an optical modulator according to this embodiment will be described in detail with reference to FIGS.

光シャッタ6は、基本的には第4図のように、光入射
側の偏光子33と、PLZT結晶44と、この結晶の透明支持基
板40と、光出射側の検光子38との組み合せの積層体から
なっている。偏光子33は接着剤49で基板40上に固定され
る。PLZT結晶44は多数の部分44aに分割されていて、各
分割部分44aの1つ当りに1つのピクセル7が構成され
るようになっている。そして、各結晶部分44aは共通電
極となる電極36を介して互いに一体に結合させて、全体
として柱状のアレイに形成されている。また、各結晶部
分44aの上、下面には、信号電極となる例えば、ITO(In
dium Tin Oxide)透明電極35a,35bが被着されている。
これらの透明電極は結晶側面の透明電極部分35cによっ
て互いに接続されている。そして、この柱状アレイ44
は、透明基板40上に取り付けられる際、予め基板40上に
設けられたリード線45,46に対して上記の電極35a及び35
b、36が夫々接続されるようにしておく。第3図では、
そうした接続を例えば半田50で行なった例を示したが、
他の方式(例えばワイヤボンディング)で行なってもよ
い。
As shown in FIG. 4, the optical shutter 6 basically comprises a combination of a light incident side polarizer 33, a PLZT crystal 44, a transparent support substrate 40 of this crystal, and a light emission side analyzer 38. It consists of a laminate. The polarizer 33 is fixed on the substrate 40 with an adhesive 49. The PLZT crystal 44 is divided into a large number of portions 44a, and one pixel 7 is formed for each divided portion 44a. Then, the respective crystal parts 44a are integrally combined with each other through the electrode 36 serving as a common electrode to form a columnar array as a whole. Further, on the upper and lower surfaces of each crystal part 44a, for example, ITO (In
transparent electrodes 35a, 35b are deposited.
These transparent electrodes are connected to each other by the transparent electrode portion 35c on the crystal side surface. And this columnar array 44
When mounted on the transparent substrate 40, the above-mentioned electrodes 35a and 35 with respect to the lead wires 45, 46 previously provided on the substrate 40.
Make sure that b and 36 are connected to each other. In Figure 3,
I showed an example of making such connection with solder 50,
Other methods (for example, wire bonding) may be used.

各ピクセル7においては、両電極35-36間の電圧に応
じてPLZT結晶の複屈折が変化するので、後述するよう
に、その電圧の選択によって光制御を行なうことができ
る。即ち、第5図のように、上記電圧によってピクセル
7の結晶中には矢印20で示す電界が十分深くまで生じる
ので、入射光は十二分に変調を受けることになる。これ
は、電極35a、35bが上下面に形成されていて、後述する
ように、変調を受ける結晶の厚み(又は光路長)がほぼ
結晶の厚みdに亘っていることから、有利である。ま
た、制御用の信号電極35a、35bは共に透明電極であるか
ら、入射光量及び出射光量とを夫々大きくとれ、従って
変調光として十分な光量を得ることができ、後述の露光
光として非常に有効なものとなる。
In each pixel 7, since the birefringence of the PLZT crystal changes according to the voltage between the electrodes 35 and 36, light control can be performed by selecting the voltage, as described later. That is, as shown in FIG. 5, an electric field indicated by an arrow 20 is generated deep enough in the crystal of the pixel 7 by the above voltage, so that the incident light is sufficiently modulated. This is advantageous because the electrodes 35a and 35b are formed on the upper and lower surfaces, and the thickness of the crystal to be modulated (or the optical path length) extends substantially over the thickness d of the crystal, as described later. Further, since the control signal electrodes 35a and 35b are both transparent electrodes, it is possible to obtain a large amount of incident light and a large amount of emitted light, respectively. Therefore, it is possible to obtain a sufficient amount of light as modulated light, which is very effective as exposure light described later. It will be

また、第5図から理解されるように、各結晶部分44a
の間に共通電極36が介在しているため、電界20の影響を
防止でき、いわゆるクロストークの発生がなくなる。
Further, as understood from FIG. 5, each crystal part 44a
Since the common electrode 36 is interposed between them, the influence of the electric field 20 can be prevented and so-called crosstalk does not occur.

なお、この光シャッタアレイを製造するには、第6図
のように、各ピクセルを構成するように分割されたPLZT
結晶44aに電極36、35a、35b、35cを夫々設けてから、こ
れらの結晶部分44aを互いに貼り合せて焼結し、柱状体
に仕上げる。そして、これを基板40上に固定すればよ
い。或いは、各結晶部分44aをまず焼結した後、各電極3
6、35a、35b、35cを被着し、次いで各結晶部分を貼り合
せて柱状体に仕上げ、これを基板40に固定することもで
きる。
In order to manufacture this optical shutter array, as shown in FIG. 6, the PLZT divided into each pixel is formed.
Electrodes 36, 35a, 35b, and 35c are provided on the crystal 44a, and then these crystal portions 44a are bonded to each other and sintered to form a columnar body. Then, this may be fixed on the substrate 40. Alternatively, each crystal portion 44a is first sintered and then each electrode 3
It is also possible to deposit 6, 35a, 35b, and 35c and then bond the respective crystal parts to form a columnar body, which is fixed to the substrate 40.

なお、第1図において、例えば、結晶44aの幅a、電
極35aの幅b,電極36-36の間隔2l、結晶44aの厚みdにつ
いては、次の寸法範囲とするのがよい。
In FIG. 1, for example, the width a of the crystal 44a, the width b of the electrode 35a, the space 2l between the electrodes 36-36, and the thickness d of the crystal 44a are preferably in the following dimensional ranges.

1000≦a≦5000μm 2l/10≦b≦2l/5 100≦2l≦300μm 300≦d≦1000μm 第7図には、第1図〜第5図に示した素子を原理的に
示したが、この光シャッタアレイについて次式が成立す
る。
1000 ≦ a ≦ 5000 μm 2l / 10 ≦ b ≦ 2l / 5 100 ≦ 2l ≦ 300 μm 300 ≦ d ≦ 1000 μm In FIG. 7, the element shown in FIGS. 1 to 5 is shown in principle. The following equation holds for the optical shutter array.

(I:出射光量、Io:入射光量、π:円周率、λ:使用
光の波長、Γ:レターデーション) 従って、Γの値によってIが変化し、 のときにI=Ioとなって最大となる。Γは次のように書
ける。
(I: outgoing light amount, I o : incident light amount, π: circular constant, λ: wavelength of used light, Γ: retardation) Therefore, I changes depending on the value of Γ, Then, I = I o , which is the maximum. Γ can be written as follows.

Γ=Δn・t(Δn:複屈折、t:光路長) =(−n3REa/2)・t(R:電気光学係数、n:材料の屈
折率、E:電界、a:材料によって決まる実数で1又は2) =(−n3RVa/2la)・t(V:印加電界、l:電極間距
離) 即ち、VによってΓが変化し、これに伴なってIが変
化する。
Γ = Δn · t (Δn: birefringence, t: optical path length) = (−n 3 RE a / 2) · t (R: electro-optic coefficient, n: refractive index of material, E: electric field, a: depending on material determined real number 1 or 2) = (- n 3 RV a / 2l a) · t (V: applied electric field, l: distance between electrodes) that, gamma is changed by V, I is changed becomes accompanied thereto .

となるときのVでIは最大となるが、このVを半波長電
圧と呼ぶ。
I becomes the maximum at V when V becomes, and this V is called a half-wave voltage.

第8図〜第10図は、上述の光シャッタアレイ6の使用
状態を説明するものである。
FIG. 8 to FIG. 10 explain the usage state of the optical shutter array 6 described above.

まず第8図について、カラー画像記録装置の要部を説
明する。この装置によれば、白色光源1と感光体材料2
との間に、スリット4付きのスリット板3、多数のピク
セル(画素)7を配列したPLZT光シャッタアレイ6が順
次配されている。このアレイ6は第1図〜第3図に示し
たアレイを簡略図示したものである。スリット板3を通
ったスリット光5は光シャッタアレイ6に入射し、前述
の如くに光変調されてから出射し、感光体2の露光に供
されることになる。光シャッタアレイ6は、画像信号8
を受けて作動する制御部(若しくは駆動部)9からの駆
動電圧によって、光シャッタとして機能せしめられる。
また、制御部9は、感光体2の駆動モータ10に信号を与
えてその回転を制御している。
First, the main part of the color image recording apparatus will be described with reference to FIG. According to this device, the white light source 1 and the photosensitive material 2
A slit plate 3 with a slit 4 and a PLZT optical shutter array 6 in which a large number of pixels (pixels) 7 are arranged are sequentially arranged between and. The array 6 is a simplified illustration of the array shown in FIGS. The slit light 5 that has passed through the slit plate 3 enters the optical shutter array 6, is optically modulated as described above, and then exits to be used for exposure of the photoconductor 2. The optical shutter array 6 receives the image signal 8
The optical shutter is made to function by the drive voltage from the control unit (or drive unit) 9 that receives and operates.
The control unit 9 also gives a signal to the drive motor 10 of the photoconductor 2 to control the rotation thereof.

制御部9に入力される画像信号8は、例えば第9図の
ようにして得られる。即ち、原稿11を照射して画像部12
からの反射光13を撮像レンズ14を介して電荷結合素子で
あるCCD15に入射せしめ、このCCDの電気信号を制御部9
に入力する。制御部9は、原稿11に対する光学ユニット
の移動16も制御する。
The image signal 8 input to the control unit 9 is obtained, for example, as shown in FIG. That is, the original 11 is illuminated and the image portion 12 is illuminated.
The reflected light 13 from is incident on the CCD 15 which is a charge-coupled device through the imaging lens 14, and the electric signal of this CCD is controlled by the control unit 9.
To enter. The controller 9 also controls the movement 16 of the optical unit with respect to the original 11.

第10図は、上記の光シャッタアレイ6を組み込んだカ
ラー画像記録装置の一例を示す(但し、制御部9は図示
省略)。この装置では、第8図の感光体2に代えて、ロ
ール状に巻回された状態からガイドローラー17の周面に
沿って移動されるベルト状感光体2を用いている。この
感光体2として、写真乳剤を塗布した印画紙を用い、こ
の印画紙2を順次繰り出しながら第1図で説明したよう
にして光シャッタアレイ6によって各色毎の露光を順次
行なう(なお、図中の23はレンズである)。そして次
に、印画紙2は、発色現像部28漂白定着部29、安定化部
30、31及び52を順次経て乾燥部53へ送られ、カラープリ
ントとして取り出される。(なお、図中の54は補充液で
ある)。
FIG. 10 shows an example of a color image recording apparatus incorporating the above optical shutter array 6 (however, the control unit 9 is not shown). In this apparatus, instead of the photoconductor 2 shown in FIG. 8, a belt-shaped photoconductor 2 which is moved from the rolled state along the peripheral surface of the guide roller 17 is used. A photographic paper coated with a photographic emulsion is used as the photoconductor 2, and the optical shutter array 6 sequentially performs the exposure for each color as described with reference to FIG. 23 is a lens). Next, the photographic printing paper 2 includes a color developing section 28, a bleach-fixing section 29, and a stabilizing section.
After passing through 30, 31, and 52 in sequence, it is sent to the drying section 53 and taken out as a color print. (Note that 54 in the figure is a replenisher).

こうした装置において、上記の光シャッタアレイ6は
制御部9からの各色(青色、緑色又は赤色)に対応した
制御電圧によって、光シャッタとして機能するように駆
動せしめられる。
In such a device, the optical shutter array 6 is driven to function as an optical shutter by a control voltage corresponding to each color (blue, green or red) from the control unit 9.

以上、本発明を例示したが、上述の例は本発明の技術
的思想に基いて更に変形が可能である。
Although the present invention has been illustrated above, the above-described example can be further modified based on the technical idea of the present invention.

例えば、上述の電極部分35cは省略可能であるが、こ
の場合には電極35aは好ましくはワイヤボンディング
で、電極35bはフリップチップ方式でリード線45と接続
できる。
For example, the electrode portion 35c described above can be omitted, but in this case, the electrode 35a can be connected to the lead wire 45 by wire bonding, and the electrode 35b can be flip-chip type.

また、電極の形状や接続方法も種々変更できる。PLZT
結晶の形状や寸法、サイズ等は種々変更してよい。ま
た、感光体としては、電子写真に用いられているSe-T
e、フタロシアニン等の感光材料も使用でき、公知の電
子写真法によってカラー画像を形成可能である。また、
本発明はフルカラー以外にもモノカラー等、白黒の画像
形成にも適用してよい。光シャッタアレイについても、
その構成又は構造、材質等を変更してよい。また、記録
方式も種々変更してよく、例えば現像を非接触で行なっ
たり、磁気ブラシ法で行なってもよい。使用する現像剤
も二成分、一成分のいずれでもよい。
Also, the shape of the electrodes and the connection method can be variously changed. PLZT
The shape, size, size, etc. of the crystal may be variously changed. In addition, as a photoconductor, Se-T used in electrophotography
Photosensitive materials such as e and phthalocyanine can also be used, and a color image can be formed by a known electrophotographic method. Also,
The present invention may be applied not only to full color but also to monochrome image formation such as mono color. Also for the optical shutter array,
The configuration, structure, material, etc. may be changed. The recording method may be variously changed, and for example, the development may be performed in a non-contact manner or a magnetic brush method. The developer used may be either a two-component or one-component developer.

ヘ. 発明の作用効果 本発明は上述の如く、電気光学効果のある結晶素子を
複数に分割し、夫々を電極を介して一体化していると共
に表面に別の電極を設けた構造としたので、電気光学効
果を利用して光変調を有利に発揮しながら、結晶の厚み
方向に十分な変調用の電界を生ぜしめ、かつ各ピクセル
間は遮断されてクロストークも生じない。
F. As described above, the present invention has a structure in which a crystal element having an electro-optical effect is divided into a plurality of pieces, each of which is integrated through an electrode and another electrode is provided on the surface of the crystal element. Utilizing the effect, light modulation is advantageously exerted, a sufficient electric field for modulation is generated in the thickness direction of the crystal, and the pixels are cut off to prevent crosstalk.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図面は本発明の実施例を示すものであって、 第1図はPLZT結晶からなる電気光学素子(光素子)の斜
視図、 第2図は第1図のII-II線拡大断面図、 第3図は第1図のIII-III線拡大断面図、 第4図は第1図において上下の偏光子及び検光子を含め
た第2図と同様の断面図、 第5図は光変調を説明するための第2図と同様の断面図
(但し、断面ハッチングを省略した部分あり)、 第6図は光変調装置を組み立てるときの分解斜視図、 第7図は光シャッタの原理を説明する図、第 第8図は画像記録装置の要部概略斜視図、 第9図は画像信号を得るための一方式の概略図 第10図は、画像記録装置全体の概略断面図である。 第11図及び第12図は従来の光変調装置の二例を示す各拡
大断面図(但し、断面ハッチングを省略した部分あり)
である。 なお、図面に示す符号において、 1……光源 2……感光体 3……スリット板 6……光シャッタアレイ 7……ピクセル(画素) 9……制御部(駆動部) 33……偏光子 35a、35b……電極 36……共通電極 38……検光子 40……透明基板 44、44a……PLZT結晶(部分) 45、46……リード線 である。
1 is a perspective view of an electro-optical element (optical element) made of PLZT crystal, FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along line II-II of FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along the line III-III in FIG. 1, FIG. 4 is a sectional view similar to FIG. 2 including the upper and lower polarizers and the analyzer in FIG. 1, and FIG. 5 illustrates optical modulation. 2 is a cross-sectional view similar to FIG. 2 (however, there is a part where cross-section hatching is omitted), FIG. 6 is an exploded perspective view when assembling the optical modulator, and FIG. 7 is a diagram illustrating the principle of the optical shutter. FIG. 8 is a schematic perspective view of an essential part of the image recording apparatus, FIG. 9 is a schematic view of one system for obtaining an image signal, and FIG. 10 is a schematic sectional view of the entire image recording apparatus. FIG. 11 and FIG. 12 are enlarged cross-sectional views showing two examples of conventional light modulators (however, there are some parts where cross-section hatching is omitted).
Is. In the reference numerals shown in the drawings, 1 ... Light source 2 ... Photoconductor 3 ... Slit plate 6 ... Optical shutter array 7 ... Pixel (pixel) 9 ... Control unit (driving unit) 33 ... Polarizer 35a , 35b ...... Electrode 36 ...... Common electrode 38 ...... Analyzer 40 ...... Transparent substrate 44, 44a ...... PLZT crystal (part) 45, 46 ...... Lead wire.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】電気光学効果を有する結晶素子と、この結
晶素子に設けられた電極とを有する光変調装置におい
て、前記結晶素子が複数に分割され、これらの複数の結
晶素子部分が電極を介して互いに一体に結合されてお
り、かつ前記複数の結晶素子部分の夫々の表面に別の電
極が設けられていることを特徴とする光変調装置。
1. A light modulator having a crystal element having an electro-optical effect and an electrode provided on the crystal element, wherein the crystal element is divided into a plurality of portions, and the plurality of crystal element portions are provided with electrodes interposed therebetween. Are integrally coupled to each other, and another electrode is provided on each surface of the plurality of crystal element portions.
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