JP2561180Y2 - Electron beam irradiation device - Google Patents
Electron beam irradiation deviceInfo
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- JP2561180Y2 JP2561180Y2 JP1989009010U JP901089U JP2561180Y2 JP 2561180 Y2 JP2561180 Y2 JP 2561180Y2 JP 1989009010 U JP1989009010 U JP 1989009010U JP 901089 U JP901089 U JP 901089U JP 2561180 Y2 JP2561180 Y2 JP 2561180Y2
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- pressure tank
- electron beam
- receiver
- pressure
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Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は電子線照射装置に関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The invention relates to an electron beam irradiation apparatus.
（従来の技術） 周知のように電子線照射装置においては、加速管によ
って加速された電子ビームを走査管によって走査しなが
ら被照射物に照射するようにしている。(Prior Art) As is well known, in an electron beam irradiation apparatus, an object to be irradiated is irradiated while scanning an electron beam accelerated by an acceleration tube by a scanning tube.
加速管は通常絶縁ガスが封入されている圧力タンク内
に設置されるが、またその圧力タンク内には電子ビーム
を計測するビーム検出器を設けている。そしてこれによ
って計測された計測結果を、送信器によって同じく圧力
タンク内にある受信器まで光ファイバによって伝送し、
受信器は受信した信号を電気信号に変換して、外部に出
力するようにしている。The accelerating tube is usually installed in a pressure tank in which an insulating gas is filled, and a beam detector for measuring an electron beam is provided in the pressure tank. And the measurement result measured by this is transmitted by optical fiber to the receiver also in the pressure tank by the transmitter,
The receiver converts the received signal into an electric signal and outputs it to the outside.
（考案が解決しようとする課題） しかしこのような構成によると、受信器が加速管と同
じ圧力タンク内に設置されているため、加速管内で放電
が発生すると、その受信器にサージが入り、受信器が破
損してしまうことがある。(Problems to be solved by the invention) However, according to such a configuration, since the receiver is installed in the same pressure tank as the acceleration tube, when a discharge occurs in the acceleration tube, a surge enters the receiver, The receiver may be damaged.
この考案はビーム計測のために使用する受信器が、加
速管内での放電の発生によっても、破損することのない
ようにすることを目的とする。The purpose of the present invention is to prevent a receiver used for beam measurement from being damaged even when a discharge occurs in an acceleration tube.
（課題を解決するための手段） この考案は加速管を収納している圧力タンクの側壁
に、前記圧力タンク内の絶縁ガスの圧力に対する耐圧力
性を備えた光ファイバシーリングユニットを、前記圧力
タンクの側壁にこの側壁を貫通するように設け、送信器
に連なる光ファイバを、光ファイバシーリングユニット
を通して外部に導出し、その導出した先端を前記圧力タ
ンクから充分な距離だけ離れて設置された受信器を接続
したことを特徴とする。(Means for Solving the Problems) According to the present invention, an optical fiber sealing unit having pressure resistance against the pressure of insulating gas in the pressure tank is provided on a side wall of a pressure tank containing an accelerating tube. A receiver provided so as to penetrate the side wall of the receiver, an optical fiber connected to the transmitter is led out through an optical fiber sealing unit, and a leading end of the receiver is set a sufficient distance away from the pressure tank. Are connected.
（作用） 受信器は圧力タンクの外部に前記圧力タンクから充分
な距離だけ離れて設置されることになるため、加速管内
で放電が発生した場合でも、そのサージが受信器にまで
到達することはない。これによりサージによる受信器の
破損が防止されるようになる。(Operation) Since the receiver is installed outside the pressure tank at a sufficient distance from the pressure tank, even if a discharge occurs in the accelerating tube, the surge does not reach the receiver. Absent. This prevents the receiver from being damaged by the surge.
圧力タンクの側壁にこの側壁を貫通するように設けら
れてあって、圧力タンク内の絶縁ガスの圧力に対する耐
圧力性を備えた光ファイバシーリングユニットを介し
て、送信器に連なる光ファイバを、圧力タンクの外部に
導出しているので、このような光ファイバを圧力タンク
の側壁を貫通するように導出しても、圧力タンクの内部
の気密性は確実に維持される。An optical fiber connected to the transmitter is provided on the side wall of the pressure tank through an optical fiber sealing unit having a pressure resistance against the pressure of the insulating gas in the pressure tank. Since the optical fiber is led out of the tank, even if such an optical fiber is led to penetrate the side wall of the pressure tank, the airtightness inside the pressure tank is reliably maintained.
（実施例） この考案の実施例を図によって説明する。１は高電圧
ケーブル、２は圧力タンク、３はブッシング、４はSF6
ガスのような絶縁ガス、５はコロナシールド、６は信号
伝送のための送信器、７はビーム検出器、８は加速管用
のフィラメントトランス、９は加速管で、その先端に走
査管（図示していない。）が設置される。10は送信器６
に接続されている光ファイバである。(Example) An example of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 high voltage cables, 2 pressure tank, the bushing 3, the 4 SF 6
Insulating gas such as gas, 5 is a corona shield, 6 is a transmitter for signal transmission, 7 is a beam detector, 8 is a filament transformer for an acceleration tube, 9 is an acceleration tube, and a scanning tube (shown in the figure) Is not installed.) 10 is the transmitter 6
The optical fiber is connected to the optical fiber.
以上の構成は従来のものと特に相違するものではな
く、加速管９によって加速される電子ビームは、ビーム
検出器７によって検出され、その検出値は送信器６に与
えられる。そしてここで検出値は光に変換され、光ファ
イバ10によって伝送される。The above configuration is not particularly different from the conventional one. The electron beam accelerated by the accelerating tube 9 is detected by the beam detector 7, and the detected value is given to the transmitter 6. Then, the detected value is converted into light and transmitted by the optical fiber 10 here.
この場合、従来では光ファイバ10の先端に接続される
受信器は、圧力タンク２内に設置されていたことは既に
述べたとおりである。In this case, the receiver connected to the tip of the optical fiber 10 is conventionally installed in the pressure tank 2 as described above.
これに対しこの考案では、圧力タンク２の側壁の一部
に、光ファイバシーリングユニット（以下単にユニット
という。）11を設置する。そしてこのユニット11を通し
て圧力タンク２の外部にまで、光ファイバ10を導出す
る。そして導出された光ファイバ10の先端を前記圧力タ
ンクから充分な距離だけ離れて設置された受信器12に接
続する。On the other hand, in the present invention, an optical fiber sealing unit (hereinafter simply referred to as a unit) 11 is provided on a part of the side wall of the pressure tank 2. Then, the optical fiber 10 is led out of the pressure tank 2 through the unit 11. Then, the leading end of the optical fiber 10 is connected to a receiver 12 installed at a sufficient distance from the pressure tank.
ここに使用するユニット11としては、圧力タンク２内
の絶縁ガスの圧力に十分耐え得るもの、すなわち前記絶
縁ガスに対する耐圧力性を備えたものを使用する。その
ためこの種ユニット11としては、たとえば米国のコナツ
クス バツフアロウ コーポレーシヨン製の「コナツク
ス」（商標名）が好適である。As the unit 11 used here, a unit capable of sufficiently withstanding the pressure of the insulating gas in the pressure tank 2, that is, a unit having pressure resistance to the insulating gas is used. For this reason, as this kind of unit 11, for example, "Konuts" (trade name) manufactured by Konatsu Buffalo Corporation of the United States is suitable.
以上の構成において、送信器６からの信号は光として
光ファイバ10により伝送される。光ファイバ10はユニッ
ト11を通って圧力タンク２の外部に導出され、外部にあ
る受信器12に至っている。ここで光は電気信号に変換さ
れ、ビーム量は電気信号として取りだされる。In the above configuration, the signal from the transmitter 6 is transmitted as light through the optical fiber 10. The optical fiber 10 is led out of the pressure tank 2 through the unit 11 and reaches a receiver 12 located outside. Here, the light is converted into an electric signal, and the beam amount is extracted as an electric signal.
しかし受信器12は圧力タンク２の外部にあって、十分
な距離だけ離されているので、加速管９ないで放電が発
生しても、その放電によるサージが受信器12まで侵入す
ることはない。これによって受信器12のサージによる破
損が回避されるようになる。However, since the receiver 12 is located outside the pressure tank 2 and is separated by a sufficient distance, even if a discharge occurs without the acceleration tube 9, a surge due to the discharge does not enter the receiver 12. . This prevents the receiver 12 from being damaged by surge.
そして光ファイバ10を圧力タンク２の外部に導出する
ようにしても、その導出部分に耐圧力性を備えたユニッ
ト11を介して導出するようにしているので、圧力タンク
の内外の圧力差に基づいて絶縁ガスがその導出部分より
洩れて出てくるようなことはなくなり、これによりこの
導出部分における気密性、したがって圧力タンク２の内
部の気密性は確実に維持されるようになる。Even if the optical fiber 10 is led out of the pressure tank 2, it is led out through a unit 11 having a pressure resistance at the lead-out portion. As a result, the insulating gas does not leak out from the outlet portion, thereby ensuring that the airtightness at the outlet portion, and thus the airtightness inside the pressure tank 2, is maintained.
（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、加速管による
電子ビームの計測のための、光ファイバによる受信器
が、加速管の放電によるサージによって破損するのを、
簡単に確実に回避することができるとともに、受信器を
圧力タンクの外部に光ファイバを利用して導出するよう
にしても、その導出部分における気密性、したがって圧
力タンクの内部の気密性を確実に維持することができる
効果を奏する。(Effects of the Invention) As described in detail above, according to the invention, it is possible to prevent a receiver using an optical fiber for measuring an electron beam using an accelerator from being damaged by a surge caused by discharge of the accelerator.
Even if the receiver can be easily and reliably avoided, and even if the receiver is led out of the pressure tank using an optical fiber, the airtightness at the lead-out portion, and therefore, the airtightness inside the pressure tank, is ensured. It has an effect that can be maintained.
第１図はこの考案の実施例を示す断面図である。 ２……圧力タンク、６……送信器、７……ビーム検出
器、９……加速管、10……光ファイバ、11……光ファイ
バシーリングユニット、12……受信器、FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention. 2 ... pressure tank, 6 ... transmitter, 7 ... beam detector, 9 ... accelerating tube, 10 ... optical fiber, 11 ... optical fiber sealing unit, 12 ... receiver
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−100400（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−40192（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−7679（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−8066（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−16524（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−159707（ＪＰ，Ｕ) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-56-100400 (JP, A) JP-A-53-40192 (JP, A) JP-A-55-7679 (JP, A) JP-A-62 8066 (JP, A) JP-A-53-16524 (JP, A) JP-A-63-159707 (JP, U)
Claims (1)
が封入されてある圧力タンクに収納するとともに、前記
圧力タンク内に、前記加速管により加速される電子ビー
ムを検出するビーム検出器と、前記ビーム検出器による
検出値を光ファイバによって送信するための送信器とを
収納してなる電子線照射装置において、 前記圧力タンク内の前記絶縁ガスの圧力に対する耐圧力
性を備えた光ファイバシーリングユニットを、前記圧力
タンクの側壁にこの側壁を貫通するように設け、前記送
信器に連なる前記光ファイバを、前記光ファイバシーリ
ングユニットを通して外部に導出し、その導出した先端
を前記圧力タンクから充分な距離だけ離れて設置された
受信器に接続してなる電子線照射装置。An accelerating tube for accelerating an electron beam is accommodated in a pressure tank filled with an insulating gas, and a beam detector for detecting an electron beam accelerated by the accelerating tube is provided in the pressure tank. An electron beam irradiation apparatus containing a transmitter for transmitting a detection value of the beam detector by an optical fiber, wherein the optical fiber sealing has pressure resistance to the pressure of the insulating gas in the pressure tank. A unit is provided on a side wall of the pressure tank so as to penetrate the side wall, and the optical fiber connected to the transmitter is led out to the outside through the optical fiber sealing unit. An electron beam irradiation device connected to a receiver installed at a distance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989009010U JP2561180Y2 (en) | 1989-01-26 | 1989-01-26 | Electron beam irradiation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989009010U JP2561180Y2 (en) | 1989-01-26 | 1989-01-26 | Electron beam irradiation device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0299400U JPH0299400U (en) | 1990-08-08 |
| JP2561180Y2 true JP2561180Y2 (en) | 1998-01-28 |
Family
ID=31215384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989009010U Expired - Lifetime JP2561180Y2 (en) | 1989-01-26 | 1989-01-26 | Electron beam irradiation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2561180Y2 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5340192A (en) * | 1976-09-24 | 1978-04-12 | Toshiba Corp | Separate type protection device |
| JPS56100400A (en) * | 1980-01-16 | 1981-08-12 | Nissin High Voltage Co Ltd | Electron beam projector |
-
1989
- 1989-01-26 JP JP1989009010U patent/JP2561180Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0299400U (en) | 1990-08-08 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |