JP2560715Y2 - Vibration sensor for compressor - Google Patents
Vibration sensor for compressorInfo
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Description
【考案の詳細な説明】 [考案の目的] (産業上の利用分野) 本考案は、2個の圧電素子を利用してコンプレッサ、
の振動を測定するコンプレッサ用振動センサに関する。[Detailed description of the invention] [Purpose of the invention] (Industrial application field) The present invention utilizes a compressor using two piezoelectric elements.
The present invention relates to a vibration sensor for a compressor that measures vibration of a compressor.
(従来の技術) 近年、機械室内に配置されたコンプレッサからの騒音
が外部に放射されることを抑制する騒音の消音技術が着
目されている。このような消音技術においては、消音を
実行するための演算実行用の演算ファクタとしてコンプ
レッサから発せられる騒音周波数が必要となる。そこ
で、コンプレッサに振動センサを取着し、その振動セン
サによりコンプレッサの振動(コンプレッサからの騒音
の周波数に対応)を直接検出することが行われている。
この場合、振動センサとして圧電素子が一般的に使用さ
れている。(Prior Art) In recent years, attention has been paid to a noise silencing technique for suppressing noise emitted from a compressor disposed in a machine room to the outside. In such a noise reduction technique, a noise frequency emitted from a compressor is required as a calculation factor for performing a calculation for performing the noise reduction. Therefore, a vibration sensor is attached to a compressor, and the vibration sensor (corresponding to the frequency of noise from the compressor) is directly detected by the vibration sensor.
In this case, a piezoelectric element is generally used as a vibration sensor.
第5図に圧電素子の一例が示されている。第5図にお
いて、圧電素子1は印加された圧力に応じて分極して電
圧を発生するもので、その分極方向に一対の正電極1a及
び負電極1bが形成されている。そして、この圧電素子1
を薄い金属板に固定すると共に、その金属板をコンプレ
ッサに固着するもので、これにより、コンプレッサの振
動に応じて金属が撓み変形してその振動加速度が圧電素
子1に印加される。従って、コンプレッサの振動に伴っ
て圧電素子1が分極して電極1a,1b間に振動加速度に応
じた電圧信号が発生するので、振動センサから出力され
る電圧信号に基づいてコンプレッサの振動を検出するこ
とができる。FIG. 5 shows an example of the piezoelectric element. In FIG. 5, the piezoelectric element 1 is polarized according to the applied pressure to generate a voltage, and a pair of a positive electrode 1a and a negative electrode 1b are formed in the polarization direction. And this piezoelectric element 1
Is fixed to a thin metal plate, and the metal plate is fixed to the compressor, whereby the metal is bent and deformed in response to the vibration of the compressor, and the vibration acceleration is applied to the piezoelectric element 1. Therefore, the piezoelectric element 1 is polarized with the vibration of the compressor, and a voltage signal corresponding to the vibration acceleration is generated between the electrodes 1a and 1b. Thus, the vibration of the compressor is detected based on the voltage signal output from the vibration sensor. be able to.
(考案が解決しようとする課題) ところで、圧電素子は、圧電効果の他に温度変化に応
じて分極する焦電効果を有しているので、冷凍室の温度
に応じて間欠運転されるコンプレッサに取着された圧電
素子にあっては、コンプレッサの温度が短時間で変動す
るのに伴って焦電効果を生じてしまう。このため、第6
図に示すように、コンプレッサの温度変化に応じてノイ
ズ電圧が圧電素子1に発生し、振動センサからの電圧信
号に基づくコンプレッサの振動周波数の検出が不正確と
なるという問題がある。(Problems to be Solved by the Invention) Since the piezoelectric element has a pyroelectric effect that polarizes in response to a temperature change in addition to the piezoelectric effect, the compressor is operated intermittently according to the temperature of the freezing compartment. In the attached piezoelectric element, a pyroelectric effect occurs as the temperature of the compressor fluctuates in a short time. Therefore, the sixth
As shown in the figure, there is a problem that a noise voltage is generated in the piezoelectric element 1 in accordance with a temperature change of the compressor, and the detection of the vibration frequency of the compressor based on the voltage signal from the vibration sensor becomes inaccurate.
本考案は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、間欠運転されるコンプレッサからの熱の影響を受け
ることなく、コンプレッサの振動を正確に検出すること
ができるコンプレッサ用振動センサを提供するにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a vibration sensor for a compressor that can accurately detect the vibration of the compressor without being affected by heat from the compressor that is intermittently operated. It is in.
[考案の構成] (課題を解決するための手段) 本考案の振動センサは、印加圧力に応じた電圧信号を
互いに異なる極性の第1及び第2の電極間から出力する
2個の電圧素子を設け、これらの圧電素子をコンプレッ
サに対して各圧電素子の分極方向をコンプレッサの振動
方向に一致させた状態で重ね合わせ状に固定すると共に
その固定状態で上記圧電素子の第1の電極同士を接続す
る固定具を設け、前記コンプレッサの振動に応じた圧力
を前記各圧電素子に印加させるために前記固定具に装着
されたれ錘を設けた上で、前記コンプレッサから離間し
た開放空間に配置すると共に前記各圧電素子の第2の電
極を互に導通させた状態で、これら第2の電極及び前記
接続状態にある第1の電極間から電圧信号を得るように
構成したものである。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The vibration sensor of the present invention includes two voltage elements that output a voltage signal according to an applied pressure from between first and second electrodes having different polarities. These piezoelectric elements are fixed to the compressor in an overlapping manner with the polarization directions of the respective piezoelectric elements coincident with the vibration direction of the compressor, and the first electrodes of the piezoelectric elements are connected in the fixed state. A fixing device is provided, and a weight corresponding to the vibration of the compressor is applied to each of the piezoelectric elements, and a weight attached to the fixing device is provided, and the fixing device is disposed in an open space separated from the compressor. In a state where the second electrodes of the respective piezoelectric elements are electrically connected to each other, a voltage signal is obtained from between the second electrodes and the first electrodes in the connection state.
(作用) コンプレッサが運転されると、固定具に固定された振
動センサが振動する。このとき、固定具に装着された錘
はその位置にとどまろうとするので、コンプレッサの振
動に応じて圧電素子には振動に応じた圧力が印加され
る。従って、圧電素子の第1の電極を基準にした場合
は、各圧電素子の第2の電極からは同一極性の電圧信号
が出力されるので、第1の電極及び第2の電極間からは
コンプレッサの振動に応じた電圧信号が出力される。(Operation) When the compressor is operated, the vibration sensor fixed to the fixture vibrates. At this time, since the weight mounted on the fixture tries to stay at that position, a pressure corresponding to the vibration is applied to the piezoelectric element according to the vibration of the compressor. Therefore, when the first electrode of the piezoelectric element is used as a reference, a voltage signal of the same polarity is output from the second electrode of each piezoelectric element, and a compressor is provided between the first electrode and the second electrode. A voltage signal corresponding to the vibration of the is output.
しかして、コンプレッサの温度が変動した場合、その
温度変動は圧電素子に伝達される。このとき、圧電素子
は開放空間に位置していると共に固定具によりコンプレ
ッサから離間した開放空間に配置された状態で重ね合わ
せ状に固定されているので、圧電素子の温度は一定の勾
配で変化している。従って、重ね合わされた2個の圧電
素子においては、各第1の電極及び第2の電極間に発生
する焦電効果による電圧は反対極性となるので、第1の
電極及び第2の電極間に生じた焦電効果によるノイズ電
圧は無効化される。Thus, when the temperature of the compressor fluctuates, the temperature fluctuation is transmitted to the piezoelectric element. At this time, since the piezoelectric element is located in the open space and is fixed in an overlapping manner by being fixed to the open space separated from the compressor by the fixture, the temperature of the piezoelectric element changes at a constant gradient. ing. Therefore, in the two superposed piezoelectric elements, the voltage due to the pyroelectric effect generated between each first electrode and the second electrode has the opposite polarity, and therefore, the voltage between the first electrode and the second electrode is changed. The noise voltage due to the generated pyroelectric effect is nullified.
(実施例) 以下、本考案をコンプレッサ用の振動センサに適用し
た第1実施例を第1図乃至第3図を参照して説明する。(Embodiment) A first embodiment in which the present invention is applied to a vibration sensor for a compressor will be described below with reference to FIGS.
図示しない冷蔵庫の機械室にはロータリコンプレッサ
11が配設されており、そのロータリコンプレッサ11の外
周面に振動センサ12が固定されている。この振動センサ
12はロータリコンプレッサ11の振動周波数を測定するた
めに設けられているもので、測定されたロータリコンプ
レッサ11の振動周波数は騒音の消音制御に利用される。
即ち、冷蔵庫の機械室にはスピーカ(図示せず)が配設
されており、機械室の開口部においてロータリコンプレ
ッサ11からの騒音と逆位相となる音をそのスピーカから
発することにより、機械室の開口部から外部に放射され
る騒音を消音しようとするものである。従って、斯様な
消音制御を行うためには、ロータリコンプレッサ11から
の騒音の周波数を検出する必要があり、そのためにロー
タリコンプレッサ11の振動を直接検出して消音制御実行
時の演算ファクタとしている。A rotary compressor is installed in the refrigerator's machine room (not shown).
A vibration sensor 12 is fixed to the outer peripheral surface of the rotary compressor 11. This vibration sensor
Numeral 12 is provided for measuring the vibration frequency of the rotary compressor 11, and the measured vibration frequency of the rotary compressor 11 is used for noise reduction control.
That is, a speaker (not shown) is provided in the machine room of the refrigerator, and a sound having a phase opposite to that of the noise from the rotary compressor 11 is emitted from the speaker at the opening of the machine room. This is to muffle noise radiated from the opening to the outside. Therefore, in order to perform such silencing control, it is necessary to detect the frequency of the noise from the rotary compressor 11, and for that purpose, the vibration of the rotary compressor 11 is directly detected and used as a calculation factor when executing the silencing control.
次に、振動センサ12について詳述する。即ち、ロータ
リコンプレッサ11には固定具たるステー13が溶接固定さ
れており、そのステー13に固定具たるボルト14が螺着さ
れている。このボルト14には錘15及び2個の環状の圧電
素子16,17が順に挿通された形態でナット18の螺着によ
り一体化されており、これにより圧電素子16,17が重ね
合わせ状にステー13に固定されている。この圧電素子16
(17)は印加圧力に応じて分極して正電極16a(17a)及
び負電極16b(17b)(第2図参照)間で印加圧力に応じ
た電圧を出力する。この場合、ロータリコンプレッサ11
は第1図における矢印A方向に沿って振動するので、ロ
ータリコンプレッサ11に装着された圧電素子16,17の分
極方向はロータリコンプレッサ11の振動方向に一致して
いる。また、第2図に示すように、重ね合わされた圧電
素子16,17は負電極16b,17b同士が接触することにより導
通しており、これによりこれらの負電極16b,17bが第1
の電極に設定されている。尚、第1図において、19は信
号端子板、20,21はグランド端子板、22,23はワッシャ、
24,25は電気絶縁板である。ここで、ナット18を省略し
てボルト14をステー13に直接螺着するようにしてもよ
く、また、ステー13に形成された孔にボルト14を貫通す
ると共に、そのボルト14をステー13にナット締めしても
よい。Next, the vibration sensor 12 will be described in detail. That is, a stay 13 as a fixture is fixed to the rotary compressor 11 by welding, and a bolt 14 as a fixture is screwed to the stay 13. A weight 15 and two annular piezoelectric elements 16 and 17 are inserted into the bolt 14 by screwing a nut 18 in such a manner that the piezoelectric elements 16 and 17 are overlapped. Fixed to 13. This piezoelectric element 16
(17) polarizes according to the applied pressure and outputs a voltage according to the applied pressure between the positive electrode 16a (17a) and the negative electrode 16b (17b) (see FIG. 2). In this case, the rotary compressor 11
Vibrates along the direction of arrow A in FIG. 1, so that the polarization directions of the piezoelectric elements 16 and 17 mounted on the rotary compressor 11 match the vibration direction of the rotary compressor 11. As shown in FIG. 2, the superposed piezoelectric elements 16 and 17 are electrically connected to each other when the negative electrodes 16b and 17b come into contact with each other, whereby the negative electrodes 16b and 17b are connected to the first electrodes 16b and 17b.
Are set for the electrodes. In FIG. 1, 19 is a signal terminal plate, 20, 21 are ground terminal plates, 22, 23 are washers,
24 and 25 are electrical insulating plates. Here, the nut 18 may be omitted and the bolt 14 may be directly screwed to the stay 13. May be tightened.
一方、各負電極16b,17bは同軸ケーブル26のグランド
ライン26aに接続されていると共に、正電極16a,17aは同
軸ケーブル26の芯線26bに接続されて導通しており、こ
れにより、これらの正電極16a,16bが第2の電極に設定
されている。そして、同軸ケーブル26の芯線26bは消音
制御用の信号処理回路のアンプ回路27に接続されてい
る。On the other hand, each of the negative electrodes 16b, 17b is connected to the ground line 26a of the coaxial cable 26, and the positive electrodes 16a, 17a are connected to the core wire 26b of the coaxial cable 26 to conduct electricity. The electrodes 16a and 16b are set as the second electrodes. The core wire 26b of the coaxial cable 26 is connected to an amplifier circuit 27 of a signal processing circuit for silencing control.
次に上記構成の作用について説明する。 Next, the operation of the above configuration will be described.
図示しない冷凍庫の音が設定温度よりも上昇すると、
ロータリコンプレッサ11が駆動する。すると、ロータリ
コンプレッサ11の外周面が第1図に示す矢印A方向に沿
って振動し、その振動加速度が振動センサ12に印加され
る。このとき、錘15はその位置にとどまろうとするの
で、圧電素子16,17には振動加速度に応じた圧力が印加
され、以て圧電素子16,17が分極して各正電極及び負電
極間に電圧が発生する。このとき、圧電素子16,17にあ
っては、それらの同一電極同士が接続されているので、
各負電極16b,17bに発生した電圧は同極性である。従っ
て、圧電素子16,17の負電極16b,17bからはコンプレッサ
11の振動に応じた電圧信号が発生するので、その電圧信
号は信号端子板19から同軸ケーブル26を介して消音制御
用の信号処理回路のアンプ回路27に出力される。この結
果、スピーカから消音用の制御音が出力され、以て機械
室の開口部においてコンプレッサ11からの騒音が消音さ
れる。When the sound of the freezer (not shown) rises above the set temperature,
The rotary compressor 11 is driven. Then, the outer peripheral surface of the rotary compressor 11 vibrates along the direction of arrow A shown in FIG. 1 and the vibration acceleration is applied to the vibration sensor 12. At this time, since the weight 15 tries to stay at that position, a pressure corresponding to the vibration acceleration is applied to the piezoelectric elements 16 and 17, whereby the piezoelectric elements 16 and 17 are polarized and are applied between each positive electrode and the negative electrode. Voltage is generated. At this time, since the same electrodes are connected to the piezoelectric elements 16 and 17,
The voltages generated at the negative electrodes 16b and 17b have the same polarity. Therefore, the compressor 16 is connected to the negative electrodes 16b and 17b of the piezoelectric elements 16 and 17.
Since a voltage signal corresponding to the vibration of 11 is generated, the voltage signal is output from the signal terminal board 19 via the coaxial cable 26 to the amplifier circuit 27 of the signal processing circuit for silencing control. As a result, the control sound for silencing is output from the speaker, and the noise from the compressor 11 is silenced in the opening of the machine room.
さて、コンプレッサ11の駆動に伴って、コンプレッサ
11の温度が上昇すると、ステー13を通じて圧電素子16,1
7の温度が上昇し、それに応じて圧電素子16,17が焦電効
果を生じて分極する。このとき、圧電素子16,17は開放
空間に位置しているので、ステー13側の圧電素子17の温
度は高いのに対して、錘15側の圧電素子16の温度は低
く、その温度勾配は一定である。この結果、圧電素子1
6,17の焦電効果による分極は、接触状態にある負電極16
b,17bを境界として反対方向に生じるので、各圧電素子1
6,17から出力される焦電効果によるノイズ電圧は第3図
に示すように信号端子板19において相殺されてしまう。
従って、コンプレッサ11の温度変化に伴って各圧電素子
16,17に発生するノイズ電圧は、信号端子板19から信号
処理回路に出力されてしまうことはない。Now, with the operation of the compressor 11, the compressor
When the temperature of 11 rises, the piezoelectric elements 16, 1
The temperature of 7 rises, and accordingly, the piezoelectric elements 16 and 17 generate a pyroelectric effect and polarize. At this time, since the piezoelectric elements 16 and 17 are located in the open space, the temperature of the piezoelectric element 17 on the stay 13 side is high, while the temperature of the piezoelectric element 16 on the weight 15 side is low, and the temperature gradient is It is constant. As a result, the piezoelectric element 1
The polarization due to the pyroelectric effect of 6, 17 is caused by the negative electrode 16 in contact.
b, 17b are generated in the opposite direction with the boundary, so each piezoelectric element 1
The noise voltage due to the pyroelectric effect output from 6, 17 is canceled out at the signal terminal board 19 as shown in FIG.
Therefore, with the temperature change of the compressor 11, each piezoelectric element
The noise voltages generated at 16 and 17 are not output from the signal terminal board 19 to the signal processing circuit.
要するに、上記実施例のものによれば、圧電素子に生
じる焦電効果によるノイズ電圧を、2個の圧電素子16,1
7を用いて無効化するようにしたので、1個の圧電素子
によりコンプレッサの振動を検出する従来例と違って、
振動センサ12から出力される電圧信号に基づいてロータ
リコンプレッサ11の騒音に対する消音制御を確実に行う
ことができる。In short, according to the above embodiment, the noise voltage due to the pyroelectric effect generated in the piezoelectric element is reduced by the two piezoelectric elements 16 and 1.
Because it was made to invalidate using 7, unlike the conventional example that detects the vibration of the compressor with one piezoelectric element,
Based on the voltage signal output from the vibration sensor 12, the noise reduction control for the noise of the rotary compressor 11 can be reliably performed.
第4図には本考案の第2実施例が示されており、第1
実施例と同一部分には同一符号を付して説明を省略し、
以下異なる部分について説明する。FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention.
The same parts as those in the embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
The different parts will be described below.
即ち、ボルト14には電磁波シールド28が共締めされて
おり、その電磁波シールド28により圧電素子16,17が覆
われている。この電磁波シールド28は外部から圧電素子
16,17に到達する電磁波ノイズを遮断すると共に、第1
実施例における錘15の機能を兼ねている。この場合、ボ
ルト14によりグランド端子板20,21は接続されている。That is, an electromagnetic wave shield 28 is fastened together with the bolt 14, and the piezoelectric elements 16, 17 are covered with the electromagnetic wave shield 28. This electromagnetic wave shield 28 is a piezoelectric element
In addition to blocking electromagnetic noise that reaches 16 and 17,
It also has the function of the weight 15 in the embodiment. In this case, the ground terminal plates 20, 21 are connected by bolts 14.
この第2実施例の場合、電磁波シールド28により外来
から圧電素子16,17に到達する電磁波ノイズを遮断する
ことができるので、コンプレッサ11の振動を確実に検出
することが可能となる。しかも、斯様な電磁波シールド
28を設けるにしても、電磁波シールド28は錘15を兼ねて
いるので、振動センサ全体が大形化してしまうことはな
い。In the case of the second embodiment, since electromagnetic wave noise that reaches the piezoelectric elements 16 and 17 from outside can be cut off by the electromagnetic wave shield 28, the vibration of the compressor 11 can be reliably detected. Moreover, such an electromagnetic wave shield
Even when the electromagnetic wave shield 28 is provided, the electromagnetic wave shield 28 also serves as the weight 15, so that the entire vibration sensor does not become large.
尚、上記各実施例では、ステー13を溶接でコンプレッ
サ11に溶接固定したが、例えばベーク材或はセラミック
材等の熱絶縁材をコンプレッサ11にボルト締めするよう
にしてもよい。In the above embodiments, the stay 13 is fixed to the compressor 11 by welding. However, a heat insulating material such as a bake material or a ceramic material may be bolted to the compressor 11.
また、振動センサ12をステー13に固定しているボルト
14の材質をプラスチックに変更してもよく、さらに、電
磁波シールド28として金属箔或は導電シートを用いるよ
うにしてもよい。Also, a bolt fixing the vibration sensor 12 to the stay 13
The material of 14 may be changed to plastic, and a metal foil or a conductive sheet may be used as the electromagnetic wave shield 28.
さらに、本考案をモータ等の振動体の振動検出に応用
するようにしてもよい。Further, the present invention may be applied to vibration detection of a vibrating body such as a motor.
[考案の効果] 以上の説明から明らかなように、本考案のコンプレッ
サ用振動センサによれば、2個の圧電素子を利用するこ
とにより、これらの圧電素子に発生する焦電効果による
ノイズ電圧を無効化するようにしたので、間欠運転され
るコンプレッサからの熱の影響を受けることなく、コン
プレッサの振動を正確に検出することができるという優
れた効果を奏する。[Effects of the Invention] As is clear from the above description, according to the vibration sensor for a compressor of the present invention, by using two piezoelectric elements, the noise voltage due to the pyroelectric effect generated in these piezoelectric elements can be reduced. Since it is invalidated, there is an excellent effect that the vibration of the compressor can be accurately detected without being affected by heat from the compressor that is intermittently operated.
第1図乃至第3図は本考案の第1実施例を示しており、
第1図はコンプレッサに取着された状態で示す振動セン
サの正面図、第2図は圧電素子を断面にして示す斜視
図、第3図は圧電素子に発生するノイズ電圧と温度変化
との関係を示す特性図である。また、第4図は本考案の
第2実施例を示す第1図相当図である。そして、第5図
及び第6図は従来例を示す夫々第2図及び第3図相当図
である。 図中、11はコンプレッサ、12は振動センサ、13はステー
(固定具)、14はボルト(固定具)、15は錘、16,17は
圧電素子、16a,17aは正電極(第2の電極)、16b,17bは
負電極(第1の電極)、28……電磁波シールド(錘)で
ある。FIGS. 1 to 3 show a first embodiment of the present invention.
1 is a front view of a vibration sensor attached to a compressor, FIG. 2 is a perspective view showing a cross section of a piezoelectric element, and FIG. 3 is a relationship between a noise voltage generated in the piezoelectric element and a temperature change. FIG. FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 1 showing a second embodiment of the present invention. FIGS. 5 and 6 are equivalent to FIGS. 2 and 3, respectively, showing a conventional example. In the figure, 11 is a compressor, 12 is a vibration sensor, 13 is a stay (fixing tool), 14 is a bolt (fixing tool), 15 is a weight, 16 and 17 are piezoelectric elements, 16a and 17a are positive electrodes (second electrodes). ), 16b and 17b are negative electrodes (first electrodes), 28 ... electromagnetic wave shields (weights).
Claims (1)
するものであって、印加圧力に応じた電圧信号を互いに
異なる極性の第1及び第2の電極間から出力する2個の
圧電素子と、これらの圧電素子を前記コンプレッサに対
して各圧電素子の分極方向をコンプレッサの振動方向に
一致させた状態で重ね合わせ状に固定するように設けら
れその固定状態で上記圧電素子の第1の電極同士を接続
する固定具と、前記コンプレッサの振動に応じた圧力を
前記各圧電素子に印加させるために前記固定具に装着さ
れた錘とを備え、前記固定具により一体化された前記圧
電素子及び錘を前記コンプレッサから離間した開放空間
に配置すると共に前記各圧電素子の第2の電極を互に導
通させた状態で、これら第2の電極及び前記接続状態に
ある第1の電極間から電圧信号を得るように構成したこ
とを特徴とするコンプレッサ用振動センサ。1. Two piezoelectric elements for measuring the vibration of a compressor that is operated intermittently and outputting a voltage signal corresponding to an applied pressure between first and second electrodes having different polarities, These piezoelectric elements are provided so as to be fixed to each other in a superimposed state with the polarization directions of the respective piezoelectric elements coincident with the vibration direction of the compressor with respect to the compressor, and the first electrodes of the piezoelectric elements are fixed in the fixed state. And a weight attached to the fixture to apply a pressure corresponding to the vibration of the compressor to each of the piezoelectric elements, and the piezoelectric element and the weight integrated by the fixture Are arranged in an open space separated from the compressor, and the second electrodes of the piezoelectric elements are electrically connected to each other, between the second electrode and the first electrode in the connected state. Vibration sensor compressor, characterized by being configured to obtain a Luo voltage signal.
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---|---|---|---|
JP1990116078U JP2560715Y2 (en) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | Vibration sensor for compressor |
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JPH0473825U JPH0473825U (en) | 1992-06-29 |
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JP1990116078U Expired - Lifetime JP2560715Y2 (en) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | Vibration sensor for compressor |
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